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ESD保護(hù)結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號(hào):12129502閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種新型低成本高防護(hù)效果的ESD結(jié)構(gòu),該ESD保護(hù)結(jié)構(gòu)包括:基板,該基板具有第一導(dǎo)電類型;平行設(shè)置的多個(gè)注入?yún)^(qū),該多個(gè)注入?yún)^(qū)具有第二導(dǎo)電類型,其中該多個(gè)注入?yún)^(qū)中的一部分構(gòu)成漏極且該注入?yún)^(qū)中的另一部分構(gòu)成源極;環(huán)繞該漏極形成的環(huán)形阱區(qū),該環(huán)形阱區(qū)具有第二導(dǎo)電類型,且該環(huán)形阱區(qū)與該漏極串聯(lián)。

技術(shù)研發(fā)人員:劉大雁
受保護(hù)的技術(shù)使用者:上海嶺芯微電子有限公司
文檔號(hào)碼:201510581910
技術(shù)研發(fā)日:2015.09.14
技術(shù)公布日:2017.03.22

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