本發(fā)明屬于半導(dǎo)體薄膜沉積應(yīng)用及制備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種帶有金屬夾緊結(jié)構(gòu)的陶瓷擋板。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體薄膜的制程中，腔體內(nèi)部會(huì)發(fā)生高溫、放電等一些化學(xué)及物理反應(yīng)，其中腔室內(nèi)的設(shè)計(jì)方式及應(yīng)用材料要有能抵擋化學(xué)腐蝕、防止兩極尖端放電、滿足高溫下由于材料熱膨脹系數(shù)不同產(chǎn)生的受力情況來符合材料本身物理特性的功能性，如果滿足不了這些特性，沉積工藝將不能進(jìn)行。

陶瓷擋板的主要作用為在工藝制程時(shí)，通過馬達(dá)的升降過程來遮蓋傳片口位置，主要用途是防止腔內(nèi)工藝制程時(shí)的高溫環(huán)境產(chǎn)生的熱輻射加速傳片口零部件老化及使用壽命的影響，在復(fù)雜的腔室環(huán)境下，常見的陶瓷擋板與馬達(dá)之間的連接方式往往會(huì)出現(xiàn)異形結(jié)構(gòu)，而且伴有松動(dòng)、脹裂等問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是，提供一種帶有金屬夾緊結(jié)構(gòu)的陶瓷擋板，使在反應(yīng)腔室特殊環(huán)境下，陶瓷材料與金屬的連接不會(huì)受熱脹裂，不會(huì)連接失效，不會(huì)發(fā)生放電等現(xiàn)象，保證薄膜沉積工藝的順利進(jìn)行。

本發(fā)明是這樣實(shí)現(xiàn)的，一種帶有金屬夾緊結(jié)構(gòu)的陶瓷擋板，包括：

陶瓷擋板本體，其上設(shè)有一圈抽氣孔，在陶瓷擋板本體外側(cè)下部設(shè)有帶螺釘孔A的突出部，突出部與陶瓷擋板本體一體制造；

金屬夾緊結(jié)構(gòu)，由鎖緊螺釘、鎖緊墊片、上固定塊和下固定塊組成，鎖緊墊片上設(shè)有螺釘孔B，上固定塊上設(shè)有螺釘孔C，下固定塊上表面設(shè)有螺紋孔， 下表面設(shè)有銷孔，鎖緊螺釘穿過鎖緊墊片和上固定塊上的螺釘孔后，再穿過陶瓷擋板本體上的螺釘孔，與下固定塊上的螺紋孔配合，將陶瓷擋板本體與金屬夾緊結(jié)構(gòu)鎖緊成一個(gè)整體；以及

支撐桿，上端與下固定塊的銷孔間隙配合，下端連接馬達(dá)。

進(jìn)一步地，陶瓷擋板本體的突出部上有兩個(gè)螺釘孔A，并且有兩組所述金屬夾緊結(jié)構(gòu)與突出部配合。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于，利用陶瓷擋板的隔熱性能及其不導(dǎo)電的性能，根據(jù)陶瓷材料耐壓不耐拉的特性，應(yīng)用兩種材料，采用壓緊陶瓷、螺釘緊固的方法將陶瓷擋板固定，使在反應(yīng)腔室特殊環(huán)境下，陶瓷材料與金屬的連接不會(huì)受熱脹裂，不會(huì)連接失效，不會(huì)發(fā)生放電等現(xiàn)象，保證薄膜沉積工藝的順利進(jìn)行。

附圖說明

下面結(jié)合附圖及實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明：

圖1為本發(fā)明帶有金屬夾緊結(jié)構(gòu)的陶瓷擋板結(jié)構(gòu)爆炸視圖；

圖2為本發(fā)明帶有金屬夾緊結(jié)構(gòu)的陶瓷擋板結(jié)構(gòu)安裝視圖。

具體實(shí)施方式

為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，下面結(jié)合實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用于解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。

本發(fā)明提供了一種帶有金屬夾緊結(jié)構(gòu)的陶瓷擋板，如圖1-2所示，包括陶瓷擋板本體1、金屬夾緊結(jié)構(gòu)2和支撐桿3，陶瓷擋板本體1的外圍下部一體連接一個(gè)帶有螺釘孔A111的突出部11，金屬夾緊結(jié)構(gòu)2包括鎖緊螺釘21、鎖緊墊片22、上固定塊23和下固定塊24，鎖緊墊片22上有螺釘孔B221，上固定塊 23上有螺釘孔C231，下固定塊24上表面有螺紋孔241，下表面有銷孔242，鎖緊螺釘21穿過鎖緊墊片22和上固定塊23上的螺釘孔后，再穿過陶瓷擋板本體1上的螺釘孔，與下固定塊24上的螺紋孔配合，將陶瓷擋板本體1與金屬夾緊結(jié)構(gòu)2鎖緊成一個(gè)整體，支撐桿3上端與下固定塊24上的銷孔242間隙配合，下端連接馬達(dá)，最終由馬達(dá)驅(qū)使支撐桿和陶瓷擋板運(yùn)動(dòng)，發(fā)揮陶瓷擋板的作用。

為了使該帶有金屬夾緊結(jié)構(gòu)的陶瓷擋板結(jié)構(gòu)更加緊致，作為技術(shù)方案的改進(jìn)，陶瓷擋板本體的突出部上設(shè)置兩個(gè)螺釘孔A，并且有兩組所述金屬夾緊結(jié)構(gòu)與突出部配合。