本發(fā)明涉及終端技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制方法和一種基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體的生產(chǎn)過程中，難免會出現(xiàn)如環(huán)境污染造成晶圓硅片等半導(dǎo)體表面灰塵污染、機(jī)臺異常而導(dǎo)致半導(dǎo)體產(chǎn)品損壞或其它因素造成半導(dǎo)體產(chǎn)品經(jīng)量測不合格等異常情況。作業(yè)人員很難第一時間發(fā)現(xiàn)并處理，這就要求發(fā)揮作業(yè)人員的主觀靈動性，使作業(yè)人員根據(jù)自己的經(jīng)驗提出疑問并暫停作業(yè)，向上級反應(yīng)問題，并等待專業(yè)人員的結(jié)論來確定后續(xù)作業(yè)是否進(jìn)行。

然而，這樣的生產(chǎn)制造過程中，由于人工操作的局限性，作業(yè)人員發(fā)現(xiàn)問題時很可能無法及時上報處理，即使在上報后，由于人工審批流程的復(fù)雜性也會造成時間和成本的浪費。

因此，需要一種新的技術(shù)方案，可以在作業(yè)過程中及時發(fā)現(xiàn)半導(dǎo)體并立即處理。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明正是基于上述問題，提出了一種新的技術(shù)方案，可以在作業(yè)過程中及時發(fā)現(xiàn)半導(dǎo)體并立即處理，以提升生產(chǎn)效率。

有鑒于此，本發(fā)明的一方面提出了一種基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制方法，包括：從所述MES系統(tǒng)中獲取半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)；根據(jù)接收到的來自作業(yè)監(jiān)測賬戶的創(chuàng)建命令和所述半導(dǎo)體的所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)，創(chuàng)建生產(chǎn)異常單據(jù)，并向所述MES系統(tǒng)發(fā)送停止作業(yè)命令，以供所述MES系統(tǒng)停止對所述半導(dǎo)體的生產(chǎn)過程；將所述半導(dǎo)體異常單據(jù)上傳至管理賬戶， 以供在所述管理賬戶接收對所述半導(dǎo)體的處理指令；以及執(zhí)行來自所述管理賬戶的所述處理指令。

在該技術(shù)方案中，通過半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)的獲取可以使作業(yè)人員第一時間發(fā)現(xiàn)MES系統(tǒng)(制造企業(yè)生產(chǎn)過程執(zhí)行管理系統(tǒng))中的半導(dǎo)體表面異常、機(jī)臺異常、量測數(shù)據(jù)不合格等異常情況，并自動暫停作業(yè)，向上級管理人員反映問題，以及在上級管理人員發(fā)出處理指令后，不再對作業(yè)人員另行通知，而是直接控制MES系統(tǒng)執(zhí)行該處理指令，避免了成本和時間的浪費。通過該技術(shù)方案，采用Weblogic(一種用于開發(fā)、集成、部署和管理的大型分布式頁面應(yīng)用)融合嵌套于MES系統(tǒng)，實現(xiàn)了簽核過程即為處理過程，簡化了審批過程，提高了生產(chǎn)效率，同時，還具有實時性高、操作簡便、功能性和實用性強(qiáng)等特點。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，在所述從所述MES系統(tǒng)中獲取半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)之前，還包括：根據(jù)接收到的賬戶創(chuàng)建命令，創(chuàng)建所述作業(yè)監(jiān)測賬戶和所述管理賬戶。

在該技術(shù)方案中，可以在系統(tǒng)中預(yù)先為作業(yè)人員創(chuàng)建作業(yè)監(jiān)測賬戶和為上級管理人員創(chuàng)建管理賬戶，從而提升了系統(tǒng)管理的靈活性，便于進(jìn)一步通過管理賬戶直接發(fā)出處理指令，以簡化審批過程，提高生產(chǎn)效率。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，所述管理賬戶的數(shù)量為一個或多個，其中，當(dāng)所述管理賬戶的數(shù)量為多個時，在所述創(chuàng)建所述作業(yè)監(jiān)測賬戶和所述管理賬戶之后，還包括：根據(jù)接收到的設(shè)置命令，為多個所述管理賬戶分別設(shè)置管理權(quán)限和管理等級。

在該技術(shù)方案中，當(dāng)管理賬戶的數(shù)量為多個時，需要為多個管理賬戶各自設(shè)置對應(yīng)的管理權(quán)限和管理等級，以便在作業(yè)監(jiān)測賬戶上傳生產(chǎn)異常單據(jù)后，按照由低至高的管理等級依次獲取管理賬戶的審批結(jié)果，直至執(zhí)行命令所需的最高等級的管理賬戶審批后，才對半導(dǎo)體進(jìn)行處理，從而提升了系統(tǒng)管理的有效性和實用性。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，在所述將所述半導(dǎo)體異常單據(jù)上傳至管理賬戶之后，還包括：按照所述管理等級，將所述半導(dǎo)體異常單據(jù)依次發(fā)送至多個所述管理賬戶，以供多個所述管理賬戶依次根據(jù)各自的所述管理 權(quán)限對所述半導(dǎo)體異常單據(jù)發(fā)出所述處理指令。

在該技術(shù)方案中，需要按照由低至高的管理等級依次獲取管理賬戶的審批結(jié)果，直至執(zhí)行命令所需的最高等級的管理賬戶審批后，才對半導(dǎo)體進(jìn)行處理。另外，不同等級的管理賬戶的管理權(quán)限也有所不同，可由用戶根據(jù)實際需要進(jìn)行靈活設(shè)置，每個管理賬戶只能在自己的管理權(quán)限范圍內(nèi)發(fā)出指令，而對于超出管理權(quán)限的指令，系統(tǒng)采取不執(zhí)行或不上傳的方式處理。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，所述半導(dǎo)體的所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)包括以下至少之一或其組合：所述半導(dǎo)體的編號、所述半導(dǎo)體對應(yīng)的批次晶裝盒、所述半導(dǎo)體的生產(chǎn)機(jī)臺編號、所述生產(chǎn)機(jī)臺的工作參數(shù)；所述處理指令包括：分批、報廢、釋放或待觀察。

在該技術(shù)方案中，半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)包括但不限于以下至少之一或其組合：半導(dǎo)體的編號、半導(dǎo)體對應(yīng)的批次晶裝盒、半導(dǎo)體的生產(chǎn)機(jī)臺編號、生產(chǎn)機(jī)臺的工作參數(shù)，以及處理指令包括但不限于：分批、報廢、釋放或待觀察。通過該技術(shù)方案，多樣化的生產(chǎn)數(shù)據(jù)可以使上級管理人員更加準(zhǔn)確地判斷半導(dǎo)體的異常情況，從而便于發(fā)出正確有效的處理指令。

本發(fā)明的另一方面提出了一種基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制系統(tǒng)，其特征在于，包括：生產(chǎn)數(shù)據(jù)獲取單元，從所述MES系統(tǒng)中獲取半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)；異常單據(jù)創(chuàng)建單元，根據(jù)接收到的來自作業(yè)監(jiān)測賬戶的創(chuàng)建命令和所述半導(dǎo)體的所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)，創(chuàng)建生產(chǎn)異常單據(jù)；停止單元，在創(chuàng)建所述生產(chǎn)異常單據(jù)時，向所述MES系統(tǒng)發(fā)送停止作業(yè)命令，以供所述MES系統(tǒng)停止對所述半導(dǎo)體的生產(chǎn)過程；異常單據(jù)上傳單元，將所述半導(dǎo)體異常單據(jù)上傳至管理賬戶，以供在所述管理賬戶接收對所述半導(dǎo)體的處理指令；以及執(zhí)行單元，執(zhí)行來自所述管理賬戶的所述處理指令。

在該技術(shù)方案中，通過半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)的獲取可以使作業(yè)人員第一時間發(fā)現(xiàn)MES系統(tǒng)(制造企業(yè)生產(chǎn)過程執(zhí)行管理系統(tǒng))中的半導(dǎo)體表面異常、機(jī)臺異常、量測數(shù)據(jù)不合格等異常情況，并自動暫停作業(yè)，向上級管理人員反映問題，以及在上級管理人員發(fā)出處理指令后，不再對作業(yè)人員另行通知，而是直接控制MES系統(tǒng)執(zhí)行該處理指令，避免了成本和時 間的浪費。通過該技術(shù)方案，采用Weblogic(一種用于開發(fā)、集成、部署和管理的大型分布式頁面應(yīng)用)融合嵌套于MES系統(tǒng)，實現(xiàn)了簽核過程即為處理過程，簡化了審批過程，提高了生產(chǎn)效率，同時，還具有實時性高、操作簡便、功能性和實用性強(qiáng)等特點。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，還包括：賬戶創(chuàng)建單元，在所述從所述MES系統(tǒng)中獲取半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)之前，根據(jù)接收到的賬戶創(chuàng)建命令，創(chuàng)建所述作業(yè)監(jiān)測賬戶和所述管理賬戶。

在該技術(shù)方案中，可以在系統(tǒng)中預(yù)先為作業(yè)人員創(chuàng)建作業(yè)監(jiān)測賬戶和為上級管理人員創(chuàng)建管理賬戶，從而提升了系統(tǒng)管理的靈活性，便于進(jìn)一步通過管理賬戶直接發(fā)出處理指令，以簡化審批過程，提高生產(chǎn)效率。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，所述管理賬戶的數(shù)量為一個或多個，其中，當(dāng)所述管理賬戶的數(shù)量為多個時，還包括：設(shè)置單元，在所述創(chuàng)建所述作業(yè)監(jiān)測賬戶和所述管理賬戶之后，根據(jù)接收到的設(shè)置命令，為多個所述管理賬戶分別設(shè)置管理權(quán)限和管理等級。

在該技術(shù)方案中，當(dāng)管理賬戶的數(shù)量為多個時，需要為多個管理賬戶各自設(shè)置對應(yīng)的管理權(quán)限和管理等級，以便在作業(yè)監(jiān)測賬戶上傳生產(chǎn)異常單據(jù)后，按照由低至高的管理等級依次獲取管理賬戶的審批結(jié)果，直至執(zhí)行命令所需的最高等級的管理賬戶審批后，才對半導(dǎo)體進(jìn)行處理，從而提升了系統(tǒng)管理的有效性和實用性。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，還包括：管理賬戶處理單元，在所述將所述半導(dǎo)體異常單據(jù)上傳至管理賬戶之后，按照所述管理等級，將所述半導(dǎo)體異常單據(jù)依次發(fā)送至多個所述管理賬戶，以供多個所述管理賬戶依次根據(jù)各自的所述管理權(quán)限對所述半導(dǎo)體異常單據(jù)發(fā)出所述處理指令。

在該技術(shù)方案中，需要按照由低至高的管理等級依次獲取管理賬戶的審批結(jié)果，直至執(zhí)行命令所需的最高等級的管理賬戶審批后，才對半導(dǎo)體進(jìn)行處理。另外，不同等級的管理賬戶的管理權(quán)限也有所不同，可由用戶根據(jù)實際需要進(jìn)行靈活設(shè)置，每個管理賬戶只能在自己的管理權(quán)限范圍內(nèi)發(fā)出指令，而對于超出管理權(quán)限的指令，系統(tǒng)采取不執(zhí)行或不上傳的方式處理。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，所述半導(dǎo)體的所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)包括以下至少之一或其組合：所述半導(dǎo)體的編號、所述半導(dǎo)體對應(yīng)的批次晶裝盒、所述半導(dǎo)體的生產(chǎn)機(jī)臺編號、所述生產(chǎn)機(jī)臺的工作參數(shù)；所述處理指令包括：分批、報廢、釋放或待觀察。

在該技術(shù)方案中，半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)包括但不限于以下至少之一或其組合：半導(dǎo)體的編號、半導(dǎo)體對應(yīng)的批次晶裝盒、半導(dǎo)體的生產(chǎn)機(jī)臺編號、生產(chǎn)機(jī)臺的工作參數(shù)，以及處理指令包括但不限于：分批、報廢、釋放或待觀察。通過該技術(shù)方案，多樣化的生產(chǎn)數(shù)據(jù)可以使上級管理人員更加準(zhǔn)確地判斷半導(dǎo)體的異常情況，從而便于發(fā)出正確有效的處理指令。

通過以上技術(shù)方案，實現(xiàn)了簽核過程即為處理過程，簡化了審批過程，提高了生產(chǎn)效率，同時，還具有實時性高、操作簡便、功能性和實用性強(qiáng)等特點。

附圖說明

圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制方法的流程圖；

圖2示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制系統(tǒng)的框圖；

圖3示出了根據(jù)本發(fā)明的另一個實施例的基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制方法的流程圖；

圖4A至圖4N示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的生成并處理半導(dǎo)體的生產(chǎn)異常單據(jù)的截屏示意圖。

具體實施方式

為了能夠更清楚地理解本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點，下面結(jié)合附圖和具體實施方式對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步的詳細(xì)描述。需要說明的是，在不沖突的情況下，本申請的實施例及實施例中的特征可以相互組合。

在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本發(fā)明，但是，本發(fā)明還可以采用其他不同于在此描述的其他方式來實施，因此，本發(fā)明 的保護(hù)范圍并不受下面公開的具體實施例的限制。

圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制方法的流程圖。

如圖1所示，根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制方法，包括：

步驟102，從MES系統(tǒng)中獲取半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)。

步驟104，根據(jù)接收到的來自作業(yè)監(jiān)測賬戶的創(chuàng)建命令和半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)，創(chuàng)建生產(chǎn)異常單據(jù)，并向MES系統(tǒng)發(fā)送停止作業(yè)命令，以供MES系統(tǒng)停止對半導(dǎo)體的生產(chǎn)過程。

步驟106，將半導(dǎo)體異常單據(jù)上傳至管理賬戶，以供在管理賬戶接收對半導(dǎo)體的處理指令。

步驟108，以及執(zhí)行來自管理賬戶的處理指令。

在該技術(shù)方案中，通過半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)的獲取可以使作業(yè)人員第一時間發(fā)現(xiàn)MES系統(tǒng)(制造企業(yè)生產(chǎn)過程執(zhí)行管理系統(tǒng))中的半導(dǎo)體表面異常、機(jī)臺異常、量測數(shù)據(jù)不合格等異常情況，并自動暫停作業(yè)，向上級管理人員反映問題，以及在上級管理人員發(fā)出處理指令后，不再對作業(yè)人員另行通知，而是直接控制MES系統(tǒng)執(zhí)行該處理指令，避免了成本和時間的浪費。通過該技術(shù)方案，采用Weblogic(一種用于開發(fā)、集成、部署和管理的大型分布式頁面應(yīng)用)融合嵌套于MES系統(tǒng)，實現(xiàn)了簽核過程即為處理過程，簡化了審批過程，提高了生產(chǎn)效率，同時，還具有實時性高、操作簡便、功能性和實用性強(qiáng)等特點。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，在步驟102之前，還包括：根據(jù)接收到的賬戶創(chuàng)建命令，創(chuàng)建作業(yè)監(jiān)測賬戶和管理賬戶。

在該技術(shù)方案中，可以在系統(tǒng)中預(yù)先為作業(yè)人員創(chuàng)建作業(yè)監(jiān)測賬戶和為上級管理人員創(chuàng)建管理賬戶，從而提升了系統(tǒng)管理的靈活性，便于進(jìn)一步通過管理賬戶直接發(fā)出處理指令，以簡化審批過程，提高生產(chǎn)效率。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，管理賬戶的數(shù)量為一個或多個，其中，當(dāng)管理賬戶的數(shù)量為多個時，在創(chuàng)建作業(yè)監(jiān)測賬戶和管理賬戶之后，還包括：根據(jù)接收到的設(shè)置命令，為多個管理賬戶分別設(shè)置管理權(quán)限和管理等 級。

在該技術(shù)方案中，當(dāng)管理賬戶的數(shù)量為多個時，需要為多個管理賬戶各自設(shè)置對應(yīng)的管理權(quán)限和管理等級，以便在作業(yè)監(jiān)測賬戶上傳生產(chǎn)異常單據(jù)后，按照由低至高的管理等級依次獲取管理賬戶的審批結(jié)果，直至執(zhí)行命令所需的最高等級的管理賬戶審批后，才對半導(dǎo)體進(jìn)行處理，從而提升了系統(tǒng)管理的有效性和實用性。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，在步驟106之后，還包括：按照管理等級，將半導(dǎo)體異常單據(jù)依次發(fā)送至多個管理賬戶，以供多個管理賬戶依次根據(jù)各自的管理權(quán)限對半導(dǎo)體異常單據(jù)發(fā)出處理指令。

在該技術(shù)方案中，需要按照由低至高的管理等級依次獲取管理賬戶的審批結(jié)果，直至執(zhí)行命令所需的最高等級的管理賬戶審批后，才對半導(dǎo)體進(jìn)行處理。另外，不同等級的管理賬戶的管理權(quán)限也有所不同，可由用戶根據(jù)實際需要進(jìn)行靈活設(shè)置，每個管理賬戶只能在自己的管理權(quán)限范圍內(nèi)發(fā)出指令，而對于超出管理權(quán)限的指令，系統(tǒng)采取不執(zhí)行或不上傳的方式處理。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)包括以下至少之一或其組合：半導(dǎo)體的編號、半導(dǎo)體對應(yīng)的批次晶裝盒、半導(dǎo)體的生產(chǎn)機(jī)臺編號、生產(chǎn)機(jī)臺的工作參數(shù)；處理指令包括：分批、報廢、釋放或待觀察。

在該技術(shù)方案中，半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)包括但不限于以下至少之一或其組合：半導(dǎo)體的編號、半導(dǎo)體對應(yīng)的批次晶裝盒、半導(dǎo)體的生產(chǎn)機(jī)臺編號、生產(chǎn)機(jī)臺的工作參數(shù)，以及處理指令包括但不限于：分批、報廢、釋放或待觀察。通過該技術(shù)方案，多樣化的生產(chǎn)數(shù)據(jù)可以使上級管理人員更加準(zhǔn)確地判斷半導(dǎo)體的異常情況，從而便于發(fā)出正確有效的處理指令。

圖2示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制系統(tǒng)的框圖。

如圖2所示，根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制系統(tǒng)200，包括：生產(chǎn)數(shù)據(jù)獲取單元202，從MES系統(tǒng)中獲取半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)；異常單據(jù)創(chuàng)建單元204，根據(jù)接收到的來自作業(yè)監(jiān)測賬戶的創(chuàng)建命令和半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)，創(chuàng)建生產(chǎn)異常單據(jù)；停止單元206，在 創(chuàng)建生產(chǎn)異常單據(jù)時，向MES系統(tǒng)發(fā)送停止作業(yè)命令，以供MES系統(tǒng)停止對半導(dǎo)體的生產(chǎn)過程；異常單據(jù)上傳單元208，將半導(dǎo)體異常單據(jù)上傳至管理賬戶，以供在管理賬戶接收對半導(dǎo)體的處理指令；以及執(zhí)行單元210，執(zhí)行來自管理賬戶的處理指令。

在該技術(shù)方案中，通過半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)的獲取可以使作業(yè)人員第一時間發(fā)現(xiàn)MES系統(tǒng)(制造企業(yè)生產(chǎn)過程執(zhí)行管理系統(tǒng))中的半導(dǎo)體表面異常、機(jī)臺異常、量測數(shù)據(jù)不合格等異常情況，并自動暫停作業(yè)，向上級管理人員反映問題，以及在上級管理人員發(fā)出處理指令后，不再對作業(yè)人員另行通知，而是直接控制MES系統(tǒng)執(zhí)行該處理指令，避免了成本和時間的浪費。通過該技術(shù)方案，采用Weblogic(一種用于開發(fā)、集成、部署和管理的大型分布式頁面應(yīng)用)融合嵌套于MES系統(tǒng)，實現(xiàn)了簽核過程即為處理過程，簡化了審批過程，提高了生產(chǎn)效率，同時，還具有實時性高、操作簡便、功能性和實用性強(qiáng)等特點。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，還包括：賬戶創(chuàng)建單元212，在從MES系統(tǒng)中獲取半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)之前，根據(jù)接收到的賬戶創(chuàng)建命令，創(chuàng)建作業(yè)監(jiān)測賬戶和管理賬戶。

在該技術(shù)方案中，可以在系統(tǒng)中預(yù)先為作業(yè)人員創(chuàng)建作業(yè)監(jiān)測賬戶和為上級管理人員創(chuàng)建管理賬戶，從而提升了系統(tǒng)管理的靈活性，便于進(jìn)一步通過管理賬戶直接發(fā)出處理指令，以簡化審批過程，提高生產(chǎn)效率。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，管理賬戶的數(shù)量為一個或多個，其中，當(dāng)管理賬戶的數(shù)量為多個時，還包括：設(shè)置單元214，在創(chuàng)建作業(yè)監(jiān)測賬戶和管理賬戶之后，根據(jù)接收到的設(shè)置命令，為多個管理賬戶分別設(shè)置管理權(quán)限和管理等級。

在該技術(shù)方案中，當(dāng)管理賬戶的數(shù)量為多個時，需要為多個管理賬戶各自設(shè)置對應(yīng)的管理權(quán)限和管理等級，以便在作業(yè)監(jiān)測賬戶上傳生產(chǎn)異常單據(jù)后，按照由低至高的管理等級依次獲取管理賬戶的審批結(jié)果，直至執(zhí)行命令所需的最高等級的管理賬戶審批后，才對半導(dǎo)體進(jìn)行處理，從而提升了系統(tǒng)管理的有效性和實用性。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，還包括：管理賬戶處理單元216，在將 半導(dǎo)體異常單據(jù)上傳至管理賬戶之后，按照管理等級，將半導(dǎo)體異常單據(jù)依次發(fā)送至多個管理賬戶，以供多個管理賬戶依次根據(jù)各自的管理權(quán)限對半導(dǎo)體異常單據(jù)發(fā)出處理指令。

在該技術(shù)方案中，需要按照由低至高的管理等級依次獲取管理賬戶的審批結(jié)果，直至執(zhí)行命令所需的最高等級的管理賬戶審批后，才對半導(dǎo)體進(jìn)行處理。另外，不同等級的管理賬戶的管理權(quán)限也有所不同，可由用戶根據(jù)實際需要進(jìn)行靈活設(shè)置，每個管理賬戶只能在自己的管理權(quán)限范圍內(nèi)發(fā)出指令，而對于超出管理權(quán)限的指令，系統(tǒng)采取不執(zhí)行或不上傳的方式處理。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)包括以下至少之一或其組合：半導(dǎo)體的編號、半導(dǎo)體對應(yīng)的批次晶裝盒、半導(dǎo)體的生產(chǎn)機(jī)臺編號、生產(chǎn)機(jī)臺的工作參數(shù)；處理指令包括：分批、報廢、釋放或待觀察。

在該技術(shù)方案中，半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)包括但不限于以下至少之一或其組合：半導(dǎo)體的編號、半導(dǎo)體對應(yīng)的批次晶裝盒、半導(dǎo)體的生產(chǎn)機(jī)臺編號、生產(chǎn)機(jī)臺的工作參數(shù)，以及處理指令包括但不限于：分批、報廢、釋放或待觀察。通過該技術(shù)方案，多樣化的生產(chǎn)數(shù)據(jù)可以使上級管理人員更加準(zhǔn)確地判斷半導(dǎo)體的異常情況，從而便于發(fā)出正確有效的處理指令。

圖3示出了根據(jù)本發(fā)明的另一個實施例的基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制方法的流程圖。

如圖3所示，根據(jù)本發(fā)明的另一個實施例的基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制方法，包括：

步驟302，進(jìn)入半導(dǎo)體生產(chǎn)作業(yè)的任何階段。

步驟304，監(jiān)測到半導(dǎo)體出現(xiàn)表面、機(jī)臺、量測數(shù)據(jù)不合格等異常。

步驟306，作業(yè)人員開立異常單，系統(tǒng)自動暫停批次作業(yè)。

步驟308，異常單進(jìn)入走簽核流程。

步驟310，將異常單發(fā)送至至產(chǎn)品負(fù)責(zé)工程師。

步驟312，接收產(chǎn)品負(fù)責(zé)工程師的處理。

步驟314，將處理后的異常單發(fā)送至產(chǎn)品開發(fā)部科長，并接收產(chǎn)品開發(fā)部科長的處理。

步驟316，將再次處理后的異常單發(fā)送至產(chǎn)品開發(fā)經(jīng)理，并接收產(chǎn)品開發(fā)經(jīng)理的處理。

步驟318，對產(chǎn)品進(jìn)行釋放、報廢、分批等特殊處理。

通過上述技術(shù)方案，采用Weblogic(一種用于開發(fā)、集成、部署和管理的大型分布式頁面應(yīng)用)融合嵌套于MES系統(tǒng)，實現(xiàn)了簽核過程即為處理過程，簡化了審批過程，提高了生產(chǎn)效率，同時，還具有實時性高、操作簡便、功能性和實用性強(qiáng)等特點。

具體地，本發(fā)明的實施例基于以下應(yīng)用軟件：

程序語言解釋軟件Java，Java編程語言是一種高級語言，作為一種開放的標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行提供。

數(shù)據(jù)庫軟件Oracle，Oracle是以高級結(jié)構(gòu)化查詢語言為基礎(chǔ)的大型關(guān)系數(shù)據(jù)庫，通俗地講，它是用方便邏輯管理的語言操縱大量有規(guī)律數(shù)據(jù)的集合，是目前最流行的客戶/服務(wù)器體系結(jié)構(gòu)的數(shù)據(jù)庫之一。

本發(fā)明的實施例中的服務(wù)端使用操作系統(tǒng)平臺Linux/Unix/Windows等。

上述軟件均可跨平臺安裝可使用，使得服務(wù)端可以配合各種操作系統(tǒng)平臺架設(shè)。其中Linux和部分Unix系統(tǒng)均為自由軟件，故本實施例的外在軟件成本相當(dāng)?shù)土?/p>

本實例采用的Web服務(wù)器軟件版本如下：

JAVA:JDK1.6，源碼版本，下載后自行編譯完成。

Oracle:10i，源碼版本，下載后自行編譯完成。

Linux，發(fā)行版本：Ubuntu-7.10-server-i386.iso，下載后刻錄為CD光盤后安裝。

圖4A至圖4N示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的生成并處理半導(dǎo)體的生產(chǎn)異常單據(jù)的截屏示意圖。

如圖4A所示，新建異常單，并在異常單中為半導(dǎo)體器件選擇問題類型，其中，問題類型包括EQ TROUBLE、SPC異常和表面異常，EQ TROUBLE即機(jī)臺異常，SPC(質(zhì)量管理與控制)異常即量測數(shù)據(jù)不符合公司質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，表面異常即產(chǎn)品表面被污染或者劃傷等。

圖4B示出了異常單的開立界面，如圖4B所示，標(biāo)示出了從MES系統(tǒng)里選取并獲得的產(chǎn)品批次信息，一旦確認(rèn)提交后，異常單同時暫停MES系統(tǒng)里對應(yīng)的產(chǎn)品批次。其中，All、part、none分別表示整批、部分、無(如機(jī)臺異常的情況)。

如圖4C和圖4D所示，管理賬戶在接收到異常單后可以選擇自己的編號，填寫處理意見，并將處理結(jié)果發(fā)送至上一級管理賬戶。其中，Comment即簽核意見，對話框是根據(jù)異常單審批流程不同處理節(jié)點上的下一審批人員選擇對話框，同時具有加簽、轉(zhuǎn)簽的功能。

如圖4E所示，還可以分別都調(diào)用公司郵件系統(tǒng)對各級管理賬戶進(jìn)行郵件通知。

如圖4F和圖4G所示，異常單流程各級處理及簽核意見，此部分體現(xiàn)了與MES系統(tǒng)強(qiáng)大的融合功能，如執(zhí)行Release(釋放)、Rework(返工)、Scrap(報廢)等。

其中的Release與MES系統(tǒng)融合時釋放選擇處理項，Scrap與MES系統(tǒng)融合時報廢選擇處理項、選擇項，Rework與MES系統(tǒng)融合時，返工選擇處理項。

在選擇Release時，MES系統(tǒng)自動將Comment顯示在Release內(nèi)容中。

如圖4H所示，點選Release時，程序檢查該異常單是否到科長級別簽核，如果不是則顯示提示信息。

當(dāng)為科長級時，如圖4I和圖4J所示，系統(tǒng)自動出現(xiàn)連接進(jìn)Release對話頁面,并自動帶出異常單的Comment。

如圖4K所示，在選擇Scrap時MES系統(tǒng)先自動Release，并將Comment顯示在Release內(nèi)容中，同時，MES系統(tǒng)自動增加Scrap專用系統(tǒng)，同樣響應(yīng)不可以報廢的規(guī)則。

如圖4L所示，選擇Rework時，MES系統(tǒng)先自動Release，并將Comment顯示在Release內(nèi)容中，同時MES系統(tǒng)自動增加Rewrok專用系統(tǒng)暫停。另外，在選擇Rework時，程序會在提交按鍵發(fā)生后響應(yīng)。

如圖4M所示，若是某個產(chǎn)品批次中的部分晶圓硅片有異常，可自動 將晶圓硅片進(jìn)行分批，并自動將異常的晶圓硅片編號組成一個新的批次，并暫停，讓母批繼續(xù)作業(yè)。

如圖4N所示，當(dāng)此異常單流程跑到最后一級會商完成后，系統(tǒng)自動終結(jié)此異常單，同時，系統(tǒng)通過郵件知會生產(chǎn)線管理人員，并提供各個處理階段可查詢的平臺供品質(zhì)管理或者領(lǐng)導(dǎo)追蹤。

以上結(jié)合附圖詳細(xì)說明了本發(fā)明的技術(shù)方案，通過本發(fā)明的技術(shù)方案，實現(xiàn)了簽核過程即為處理過程，簡化了審批過程，提高了生產(chǎn)效率，同時，還具有實時性高、操作簡便、功能性和實用性強(qiáng)等特點。

以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。