一種硅片清洗廢水回收再利用系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種硅片清洗廢水回收再利用系統(tǒng)，包括回收裝置、預(yù)清洗機(jī)、化膠槽、超聲波水槽和過濾網(wǎng)，所述回收裝置通過管道分別與預(yù)清洗機(jī)、化膠槽、超聲波水槽和過濾網(wǎng)連接；所述回收裝置包括用于向儲(chǔ)水罐抽送硅片清洗后廢水的抽水泵、儲(chǔ)水罐和分配水泵，所述抽水泵、儲(chǔ)水罐和分配水泵通過管道依次連接。本實(shí)用新型將清洗硅片后的廢水重新收集后用于其他清洗環(huán)節(jié)，節(jié)約了用水的同時(shí)，也減少了其他清洗環(huán)節(jié)前水加溫的成本，不僅提高了設(shè)備工作效率，也降低了電能的消耗，為車間降低了生產(chǎn)成本。
【專利說明】 一種硅片清洗廢水回收再利用系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用涉及一種廢水回收再利用系統(tǒng)，特別是，涉及一種硅片清洗廢水回收再利用系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]硅片清洗機(jī)水浪費(fèi)是很嚴(yán)重的，每臺(tái)清洗機(jī)單耗水量為3m3/h，每臺(tái)清洗機(jī)每天排放的廢水約為72噸。硅片車間需要用水較多的項(xiàng)目大致分為三類:清洗硅片、清洗硅塊、清洗設(shè)備及工裝。其中清洗硅片為最后一道工序，需要的水潔凈度較高，清洗硅塊要求使用水的潔凈度較低，清洗設(shè)備及工裝主要包括過濾網(wǎng)的沖洗、超聲波水槽、化膠槽以及預(yù)清洗設(shè)備，對水質(zhì)要求不高。而且，清洗硅片后廢水溫度在30°C左右，正符合生產(chǎn)中其他清洗環(huán)節(jié)對水溫的要求，直接排放造成水資源的浪費(fèi)。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型的目的在于提供一種硅片清洗廢水回收再利用系統(tǒng)，將清洗硅片后的廢水重新收集后用于其他清洗環(huán)節(jié)，節(jié)約了用水的同時(shí)，也減少了其他清洗環(huán)節(jié)前水加溫的成本，不僅提高了設(shè)備工作效率，也降低了電能的消耗，為車間降低了生產(chǎn)成本。
[0004]為解決上述問題，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案如下:
[0005]一種硅片清洗廢水回收再利用系統(tǒng)，包括回收裝置、預(yù)清洗機(jī)、化膠槽、超聲波水槽和過濾網(wǎng)，所述回收裝置通過管道分別與預(yù)清洗機(jī)、化膠槽、超聲波水槽和過濾網(wǎng)連接；所述回收裝置包括用于向儲(chǔ)水罐抽送硅片清洗后廢水的抽水泵、儲(chǔ)水罐和分配水泵，所述抽水泵、儲(chǔ)水罐和分配水泵通過管道依次連接。
[0006]優(yōu)選的，所述回收裝置還包括過濾器，所述過濾器設(shè)置在抽水泵前端的管道上。
[0007]優(yōu)選的，所述回收裝置還包括液位傳感器，所述液位傳感器設(shè)置在儲(chǔ)水罐上部。
[0008]優(yōu)選的，所述回收裝置還包括時(shí)間繼電器，所述時(shí)間繼電器與液位傳感器串聯(lián)。
[0009]優(yōu)選的，所述預(yù)清洗機(jī)、化膠槽、超聲波水槽和過濾網(wǎng)上分別設(shè)置有控制分配水泵開閉的傳感器。
[0010]相比現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型的有益效果在于:
[0011]1、本實(shí)用新型將清洗硅片后的廢水重新收集后用于其他清洗環(huán)節(jié)，節(jié)約了用水的同時(shí)，也減少了其他清洗環(huán)節(jié)前水加溫的成本，不僅提高了設(shè)備工作效率，也降低了電能的消耗，為車間降低了生產(chǎn)成本；
[0012]2、本實(shí)用新型回收廢水的同時(shí)對廢水進(jìn)行過濾,減少了廢水中雜質(zhì)對后續(xù)工序的影響，保證了后續(xù)工序的正常進(jìn)行；
[0013]3、本實(shí)用新型將液位傳感器和時(shí)間繼電器串聯(lián)，有效保證儲(chǔ)水罐內(nèi)水位的同時(shí)，減少了注水時(shí)水位波動(dòng)對液位傳感器的影響，使得廢水回收裝置更穩(wěn)定；
[0014]4、本實(shí)用新型通過傳感器控制分配水泵的開閉，實(shí)現(xiàn)了廢水利用的自動(dòng)化，大大提高了工作效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]圖1為本實(shí)用新型中硅片清洗廢水回收再利用系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]其中，I為回收裝置，101為抽水泵，102為儲(chǔ)水罐，103為分配水泵，104為過濾器，105為液位傳感器，106為時(shí)間繼電器，2為預(yù)清洗機(jī)，3為化膠槽，4為超聲波水槽，5為過濾網(wǎng)。

【具體實(shí)施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0018]如圖1所示，為硅片清洗廢水回收再利用系統(tǒng)，包括回收裝置1、預(yù)清洗機(jī)2、化膠槽3、超聲波水槽4和過濾網(wǎng)5，回收裝置I通過管道分別與預(yù)清洗機(jī)2、化膠槽3、超聲波水槽4和過濾網(wǎng)5連接；回收裝置I包括用于向儲(chǔ)水罐102抽送硅片清洗后廢水的抽水泵101、儲(chǔ)水罐102和分配水泵103，抽水泵101、儲(chǔ)水罐102和分配水泵103通過管道依次連接?；厥昭b置還包括過濾器104，過濾器104設(shè)置在抽水泵101前端的管道上。回收裝置I還包括液位傳感器105，液位傳感器105設(shè)置在儲(chǔ)水罐102上部。所述回收裝置I還包括時(shí)間繼電器106，時(shí)間繼電器106通過電路與液位傳感器105串聯(lián)，通過時(shí)間繼電器的緩沖，實(shí)現(xiàn)了儲(chǔ)水罐進(jìn)水的連續(xù)性，避免水波對液位傳感器的影響。
[0019]在一個(gè)具體實(shí)施例中，硅片清洗廢水回收再利用系統(tǒng)的預(yù)清洗機(jī)2、化膠槽2、超聲波水槽4和過濾網(wǎng)5上分別設(shè)置有傳感器，通過傳感器感應(yīng)控制分配水泵的開閉，從而實(shí)現(xiàn)各工序的自動(dòng)化控制。
[0020]使用時(shí)，抽水泵101從硅片清洗后排水的廢水溝中抽取經(jīng)過過濾器104過濾的廢水至儲(chǔ)水罐102，然后根據(jù)人為觀察或者傳感器信號，將廢水經(jīng)過分配水泵103分配到預(yù)清洗機(jī)2、化膠槽3、超聲波水槽4和過濾網(wǎng)5。系統(tǒng)運(yùn)作過程中，液位傳感器105和時(shí)間繼電器106相互配合，保證儲(chǔ)水罐102內(nèi)水位，達(dá)到一定高度時(shí)抽水泵101停止運(yùn)行。
[0021]對本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，可根據(jù)以上描述的技術(shù)方案以及構(gòu)思，做出其它各種相應(yīng)的改變以及形變，而所有的這些改變以及形變都應(yīng)該屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種硅片清洗廢水回收再利用系統(tǒng)，其特征在于，包括回收裝置(I)、預(yù)清洗機(jī)(2)、化膠槽(3)、超聲波水槽(4)和過濾網(wǎng)(5)，所述回收裝置(I)通過管道分別與預(yù)清洗機(jī)(2)、化膠槽(3)、超聲波水槽(4)和過濾網(wǎng)連接(5);所述回收裝置(I)包括用于向儲(chǔ)水罐(102)抽送硅片清洗后廢水的抽水泵(101)、儲(chǔ)水罐(102)和分配水泵(103)，所述抽水泵(101)、儲(chǔ)水罐(102)和分配水泵(103)通過管道依次連接。
2.如權(quán)利要求1所述的硅片清洗廢水回收再利用系統(tǒng)，其特征在于，所述回收裝置(I)還包括過濾器(104)，所述過濾器(104)設(shè)置在抽水泵(101)前端的管道上。
3.如權(quán)利要求1所述的硅片清洗廢水回收再利用系統(tǒng)，其特征在于，所述回收裝置(I)還包括液位傳感器(105)，所述液位傳感器(105)設(shè)置在儲(chǔ)水罐(102)上部。
4.如權(quán)利要求3所述的硅片清洗廢水回收再利用系統(tǒng)，其特征在于，所述回收裝置(I)還包括時(shí)間繼電器(106)，所述時(shí)間繼電器(106)與液位傳感器(105)串聯(lián)。
5.如權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的硅片清洗廢水回收再利用系統(tǒng)，其特征在于，所述預(yù)清洗機(jī)(2)、化膠槽(3)、超聲波水槽(4)和過濾網(wǎng)(5)上分別設(shè)置有控制分配水泵(103)開閉的傳感器。
【文檔編號】H01L21/67GK204074597SQ201420509640
【公開日】2015年1月7日 申請日期:2014年9月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月5日
【發(fā)明者】張建, 狄紅祥, 靳達(dá)興 申請人:中衛(wèi)市銀陽新能源有限公司