一種碎片處理的制造方法
【專利摘要】本實用新型提供一種碎片處理機(jī)，包括：用于使承載待碎片基板的機(jī)械手臂進(jìn)入的第一開口；基板存放結(jié)構(gòu)，包括一存放空間；基板拾取結(jié)構(gòu)，包括從進(jìn)入所述第一開口的機(jī)械手臂上獲取所述待碎片基板的狀態(tài)和使所述待碎片基板松脫落入所述存放空間內(nèi)的狀態(tài)。通過本實用新型所述碎片處理機(jī)，使承載待碎片基板的機(jī)械手臂可以進(jìn)入其內(nèi)部，由基板拾取結(jié)構(gòu)完成待碎片基板的自動碎片和回收，因而避免現(xiàn)有技術(shù)人工處理待碎片基板時造成人員受傷的安全隱患，還避免人為手動碎片時對機(jī)械手臂產(chǎn)生損傷的問題，并大大提高碎片處理的效率。
【專利說明】一種碎片處理機(jī)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實用新型涉及顯示器制造領(lǐng)域，尤其是指一種碎片處理機(jī)。

【背景技術(shù)】
[0002] 目前在薄膜場效應(yīng)晶體管型液晶顯示器TFT-IXD的制造行業(yè)中，工廠出現(xiàn)玻璃基 板破損時，為了避免破損基板污染設(shè)備，均將破損基板整體取放到用于基板承載和傳輸?shù)?機(jī)械手臂上，然后由工程師對機(jī)械手臂上的破損基板進(jìn)行人工碎片。
[0003] 該種處置方法存在如下的缺陷：
[0004] 容易造成工作人員劃傷，存在安全隱患；
[0005] 人為碎片處理會對機(jī)械手臂造成刮蹭，使機(jī)械手臂損傷，降低使用壽命；
[0006] 會有部分玻璃碎屑?xì)埩粼跈C(jī)械手臂和其運行軌道上，影響機(jī)械手臂的正常運動， 因此對設(shè)備產(chǎn)生損傷，容易造成設(shè)備當(dāng)機(jī)；
[0007] 此外還存在影響無塵間的潔凈度以及碎片處理效率較低的缺點。 實用新型內(nèi)容
[0008] 本實用新型的目的是提供一種碎片處理機(jī)，應(yīng)用于顯示器制作的生產(chǎn)線中，用于 從生產(chǎn)線中的機(jī)械手臂中獲得待碎片基板，并自動對其進(jìn)行碎片處理。
[0009] 本實用新型提供一種碎片處理機(jī)，包括：
[0010] 用于使承載待碎片基板的機(jī)械手臂進(jìn)入的第一開口；
[0011] 基板存放結(jié)構(gòu)，包括一存放空間；
[0012] 基板拾取結(jié)構(gòu)，包括從進(jìn)入所述第一開口的機(jī)械手臂上獲取所述待碎片基板的狀 態(tài)和使所述待碎片基板松脫落入所述存放空間內(nèi)的狀態(tài)。
[0013] 優(yōu)選地，上述所述的碎片處理機(jī)，所述碎片處理機(jī)還包括：用于當(dāng)所述基板拾取結(jié) 構(gòu)獲取所述待碎片基板后，將所述機(jī)械手臂上的碎片掃入所述存放空間的碎片清掃結(jié)構(gòu)， 設(shè)置于所述基板存放結(jié)構(gòu)的上方位置。
[0014] 優(yōu)選地，上述所述的碎片處理機(jī)，所述碎片處理機(jī)還包括：用于當(dāng)所述基板拾取結(jié) 構(gòu)獲取所述待碎片基板后，所述機(jī)械手臂移離所述第一開口時，控制所述碎片清掃結(jié)構(gòu)從 第一停留位置移動至所述機(jī)械手臂處，以及所述機(jī)械手臂從所述第一開口移出后，控制所 述碎片清掃結(jié)構(gòu)返回至所述第一停留位置的第一控制結(jié)構(gòu)。
[0015] 優(yōu)選地，上述所述的碎片處理機(jī)，所述碎片處理機(jī)還包括一具有容納空間的外框 體，所述基板拾取結(jié)構(gòu)和所述基板存放結(jié)構(gòu)設(shè)置于所述容納空間中，所述第一開口開設(shè)于 所述外框體上。
[0016] 優(yōu)選地，上述所述的碎片處理機(jī)，所述外框體上還開設(shè)有用于所述基板存放結(jié)構(gòu) 進(jìn)出所述容納空間的第二開口。
[0017] 優(yōu)選地，上述所述的碎片處理機(jī)，所述基板存放結(jié)構(gòu)的底部設(shè)置有滾輪，所述容納 空間內(nèi)設(shè)置有延伸至所述第二開口處的滑動軌道，所述滾輪滑動地設(shè)置于所述滑動軌道 上。
[0018] 優(yōu)選地，上述所述的碎片處理機(jī)，所述碎片處理機(jī)還包括一支撐柱體，所述外框體 與所述支撐柱體通過轉(zhuǎn)軸連接。
[0019] 優(yōu)選地，上述所述的碎片處理機(jī)，所述基板拾取結(jié)構(gòu)包括多個吸盤和與所述吸盤 連接的氣動裝置。
[0020] 優(yōu)選地，上述所述的碎片處理機(jī)，所述基板存放結(jié)構(gòu)設(shè)置于所述基板拾取結(jié)構(gòu)的 正下方位置，所述第一開口位于所述基板存放結(jié)構(gòu)和所述基板拾取結(jié)構(gòu)之間的位置。
[0021] 優(yōu)選地，上述所述的碎片處理機(jī)，所述碎片處理機(jī)還包括：用于當(dāng)承載待碎片基板 的所述機(jī)械手臂進(jìn)入所述第一開口后，使所述基板拾取結(jié)構(gòu)從第二停留位置向下移動至位 于所述機(jī)械手臂處，并當(dāng)所述基板拾取結(jié)構(gòu)獲取所述待碎片基板后，使所述基板拾取結(jié)構(gòu) 返回至所述第二停留位置，以及當(dāng)所述機(jī)械手臂從所述第一開口移出后，使所述基板拾取 結(jié)構(gòu)從所述第二停留位置移動至所述存放空間處的第二控制裝置。
[0022] 本實用新型具體實施例上述技術(shù)方案中的至少一個具有以下有益效果：
[0023] 通過所述碎片處理機(jī)，使承載待碎片基板的機(jī)械手臂可以進(jìn)入其內(nèi)部，由基板拾 取結(jié)構(gòu)完成待碎片基板的自動碎片和回收，因而避免現(xiàn)有技術(shù)人工處理待碎片基板時造成 人員受傷的安全隱患，還避免人為手動碎片時對機(jī)械手臂產(chǎn)生損傷的問題，并大大提高碎 片處理的效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0024] 圖1為本實用新型實施例所述碎片處理機(jī)的部分結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025] 圖2為本實用新型實施例所述碎片處理機(jī)的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026] 圖3為本實用新型實施例所述碎片處理機(jī)的整個結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027] 圖4為表示本實用新型實施例所述碎片處理機(jī)的設(shè)置位置和處于第一狀態(tài)的示 意圖；
[0028] 圖5為表示本實用新型實施例所述碎片處理機(jī)的設(shè)置位置和處于第二狀態(tài)的示 意圖；
[0029] 圖6a至圖6e為表示本實用新型實施例所述碎片處理機(jī)的工作流程結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實施方式】
[0030] 為使本實用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合附圖及具體實施 例對本實用新型進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0031] 本實用新型實施例所述碎片處理機(jī)，包括：
[0032] 用于使承載待碎片基板的機(jī)械手臂進(jìn)入的第一開口；
[0033] 基板存放結(jié)構(gòu)，包括一存放空間；
[0034] 基板拾取結(jié)構(gòu)，包括從進(jìn)入所述第一開口的機(jī)械手臂上獲取所述待碎片基板的狀 態(tài)和使所述待碎片基板松脫落入所述存放空間內(nèi)的狀態(tài)。
[0035] 本實用新型通過提供一種碎片處理機(jī)，使承載待碎片基板的機(jī)械手臂可以進(jìn)入其 內(nèi)部，由基板拾取結(jié)構(gòu)從機(jī)械手臂上獲得該待碎片基板，將待碎片基板放入基板存放結(jié)構(gòu) 的存放空間，由此完成待碎片基板的自動碎片和回收，因而避免現(xiàn)有技術(shù)人工處理待碎片 基板時造成人員受傷的安全隱患，還避免人為手動碎片時對機(jī)械手臂產(chǎn)生損傷的問題，并 大大提高碎片處理的效率。
[0036] 圖1為本實用新型實施例所述碎片處理機(jī)的平面結(jié)構(gòu)示意圖。參閱圖1，本實用新 型實施例所述碎片處理機(jī)包括：
[0037] 具有容納空間的外框體10,該外框體10上設(shè)置有第一開口 11，用于機(jī)械手臂的進(jìn) 出，并使機(jī)械手臂的進(jìn)出位置固定，防止出現(xiàn)位置偏移導(dǎo)致的設(shè)備故障；本領(lǐng)域技術(shù)人員可 以理解，為使機(jī)械手臂可以通過第一開口 11自由進(jìn)出外框體10的容納空間，第一開口 11 的形狀和尺寸應(yīng)該與機(jī)械手臂的形狀和尺寸對應(yīng)設(shè)置，優(yōu)選地，稍大于機(jī)械手臂的尺寸；
[0038] 基板存放結(jié)構(gòu)20,包括一存放空間（圖中未示出），用于存放待碎片基板，避免碎 片基板直接掉落對設(shè)備造成損傷；具體地該存放空間也可以為一平臺，用于能夠放置基板 碎片即可，優(yōu)選地該存放空間為一容納腔體，用于存放大量的基板碎片；
[0039] 基板拾取結(jié)構(gòu)30,包括從進(jìn)入所述第一開口 11的機(jī)械手臂上獲取所述待碎片基 板的狀態(tài)和使所述待碎片基板松脫落入所述存放空間內(nèi)的狀態(tài)。
[0040] 所述基板拾取結(jié)構(gòu)30具有以下的兩種基本功能：一種功能是可移動地設(shè)置于外 框體10的容納空間內(nèi)，這樣當(dāng)承載待碎片基板的機(jī)械手臂進(jìn)入第一開口 11時，可以移動至 機(jī)械手臂位置處；另一種功能是能夠拾取起機(jī)械手臂上的待碎片基板，并能夠使待碎片基 板從其上松脫而落入基板存放結(jié)構(gòu)20的存放空間，完成碎片處理。
[0041] 本實施例中，優(yōu)選地，為了能夠?qū)Τ休d待碎片基板的機(jī)械手臂上的碎片進(jìn)行清理， 參閱圖1，所述碎片處理機(jī)還包括：
[0042] 用于當(dāng)所述基板拾取結(jié)構(gòu)30獲取所述待碎片基板后，將所述機(jī)械手臂上的碎片 掃入所述存放空間的碎片清掃結(jié)構(gòu)40,設(shè)置于所述基板存放結(jié)構(gòu)20的上方位置。
[0043] 結(jié)合圖2并參閱圖1，本實施例中所述碎片清掃結(jié)構(gòu)40包括一毛刷，設(shè)置于第一開 口 11的上方位置處，且該毛刷在如圖2所示y方向的長度與機(jī)械手臂在該y方向上的長度 相同。
[0044] 優(yōu)選地，為避免所述碎片清掃結(jié)構(gòu)40靠近第一開口 11設(shè)置時，對機(jī)械手臂的進(jìn)出 產(chǎn)生影響，優(yōu)選地，所述碎片清掃結(jié)構(gòu)40可移動地設(shè)置于第一開口 11位置處，所述碎片處 理機(jī)還包括：用于當(dāng)所述基板拾取結(jié)構(gòu)30獲取所述待碎片基板后，所述機(jī)械手臂移離所述 第一開口 11時，控制所述碎片清掃結(jié)構(gòu)11從第一停留位置移動至所述機(jī)械手臂處，以及所 述機(jī)械手臂從所述第一開口移出后，控制所述碎片清掃結(jié)構(gòu)40返回至所述第一停留位置 的第一控制結(jié)構(gòu)。
[0045] 上述中所提及的所述第一停留位置為所述碎片清掃結(jié)構(gòu)40在不使用狀態(tài)時所處 的停放位置，本實施例中，該第一停留位置為稍高于第一開口 11的位置。
[0046] 通過該第一控制結(jié)構(gòu)的設(shè)置，當(dāng)機(jī)械手臂進(jìn)入第一開口 11，所述基板拾取結(jié)構(gòu)30 獲取所述待碎片基板后，機(jī)械手臂從第一開口 11移離前，才將毛刷下降移動至與機(jī)械手臂 接觸，機(jī)械手臂抽離第一開口 11的過程中對玻璃碎屑進(jìn)行清掃，使其落入基板存放結(jié)構(gòu)20 的存放空間；并當(dāng)機(jī)械手臂完全離開后，使毛刷上升返回至所述第一停留位置處。
[0047] 參閱圖1，本實施例中，所述外框體10上還開設(shè)有用于基板存放結(jié)構(gòu)20進(jìn)出容納 空間的第二開口 12。最佳地，所述基板存放結(jié)構(gòu)20的底部設(shè)置有滾輪21，所述容納空間內(nèi) 設(shè)置有延伸至所述第二開口 12處的滑動軌道22,所述滾輪21滑動地設(shè)置于所述滑動軌道 22上，且第二開口 12的設(shè)置位置與尺寸和基板存放結(jié)構(gòu)20在容納空間內(nèi)的高度和尺寸對 應(yīng)設(shè)置。
[0048] 利用上述滾輪21和滑動軌道22配合的結(jié)構(gòu)，當(dāng)需要清理基板存放結(jié)構(gòu)20內(nèi)的碎 片基板時，只需要使基板存放結(jié)構(gòu)20沿滑動軌道22通過第二開口 12拉出即可，處理過程 簡單、方便。
[0049] 此外，為防止所述基板存放結(jié)構(gòu)20在設(shè)置于所述外框體10的容納空間內(nèi)時由于 滾輪21的設(shè)置而偏移位置，最佳地，所述外框體20的內(nèi)部，所述基板存放結(jié)構(gòu)20的兩側(cè)還 設(shè)置有用于固定基板存放結(jié)構(gòu)20的定位結(jié)構(gòu)23,當(dāng)需要從第二開口 12拉出基板存放結(jié)構(gòu) 20時，先將定位結(jié)構(gòu)23移開即可。
[0050] 本實用新型實施例中，如圖1所示，所述基板存放結(jié)構(gòu)20設(shè)置于基板拾取結(jié)構(gòu)30 的正下方位置，第一開口 11位于所述基板存放結(jié)構(gòu)20和所述基板拾取結(jié)構(gòu)30之間的位 置。
[0051] 此外，結(jié)合圖1，所述基板拾取結(jié)構(gòu)30包括多個吸盤31和與所述吸盤31連接的氣 動裝置（圖中未顯示），且參閱圖2,所述吸盤31具有多排，在待碎片基板的整個面積內(nèi)分 布。多個吸盤31的氣動管路與氣動裝置連接，當(dāng)氣動裝置提供真空吸附力時，可以使基板 吸附于吸盤31上，當(dāng)真空吸附圖消失時，基板可以從吸盤31上脫落。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該 能夠了解通過該種結(jié)構(gòu)吸附基板時的原理與設(shè)置結(jié)構(gòu)，在此不詳細(xì)描述。
[0052] 采用本實施例所述碎片處理機(jī)，所述基板拾取結(jié)構(gòu)30還能夠相靠近和遠(yuǎn)離所述 基板存放結(jié)構(gòu)20的方向移動，也即在垂直方向上、下移動，因此所述基板拾取結(jié)構(gòu)30與一 升降架連接。
[0053] 具體地，當(dāng)承載待碎片基板的機(jī)械手臂進(jìn)入第一開口 11后，所述基板拾取結(jié)構(gòu)30 從第二停留位置向下移動至位于所述機(jī)械手臂處，從機(jī)械手臂上吸附起待碎片基板；之后 返回至所述第二停留位置，并當(dāng)所述機(jī)械手臂從所述第一開口 11移出后，從所述第二停留 位置移動至所述基板存放結(jié)構(gòu)20的所述存放空間處，使所吸附的待碎片基板脫落于該存 放空間內(nèi)。
[0054] 因此，本實用新型實施例所述碎片處理機(jī)還包括用于控制所述基板拾取結(jié)構(gòu)30 執(zhí)行上述動作的第二控制裝置。
[0055] 上述所提及的第二停留位置為所述基板拾取結(jié)構(gòu)30在不工作狀態(tài)時位于外框體 10上的位置，該位置高于第一開口 11的位置。
[0056] 如圖3,最佳地，本實用新型具體實施例所述碎片處理機(jī)還包括支撐柱體50,上述 的外框體10設(shè)置于該支撐柱體50上，并與支撐柱體50通過轉(zhuǎn)軸連接。
[0057] 參閱圖4和圖5,所述碎片處理機(jī)處于第一狀態(tài)和第二狀態(tài)的示意圖。本實施例 中，所述碎片處理機(jī)設(shè)置于機(jī)械手臂60所移動軌道1的邊緣位置，如圖4所示，碎片處理機(jī) 在處于工作狀態(tài)時，外框體10相對于支撐柱體50水平設(shè)置，使外框體10內(nèi)的所述基板拾 取結(jié)構(gòu)30和所述基板存放結(jié)構(gòu)20均為水平，且外框體10上第一開口 11的高度位置與機(jī) 械手臂60的高度位置對應(yīng)，機(jī)械手臂60通過沿移動軌道1的移動，可以將所承載的待碎片 基板運送至碎片處理機(jī)的第一開口 11中，并伸入至第一開口 11的內(nèi)部；如圖5所示，當(dāng)碎 片處理機(jī)處于非工作狀態(tài)時，可以使外框體10相對于支撐柱體50轉(zhuǎn)動至堅直狀態(tài)，以減小 水平位置的空間，避免對機(jī)械手臂60的運動產(chǎn)生影響。
[0058] 結(jié)合圖4,并參閱圖6a至圖6e，采用本實用新型所述碎片處理機(jī)的方法具有以下 步驟：
[0059] 當(dāng)顯示面板的生產(chǎn)線上出現(xiàn)破損基板時，破損基板被傳送至圖4所示的機(jī)械手臂 60上；
[0060] 機(jī)械手臂60沿移動軌道1移動至外框體10的第一開口 11位置處，碎片處理機(jī)處 于開啟狀態(tài)；
[0061] 如圖6a所示，承載待碎片基板2的機(jī)械手臂60完全插伸進(jìn)入第一開口 11內(nèi)，第 二控制裝置使基板拾取結(jié)構(gòu)30下移至機(jī)械手臂60上方，吸附住待碎片基板2 ;
[0062] 如圖6b所示，第二控制裝置繼續(xù)使基板拾取結(jié)構(gòu)30上移，使待碎片基板2脫離機(jī) 械手臂60 ;
[0063] 如圖6c所示，當(dāng)基板拾取結(jié)構(gòu)30上移至最高位置時，機(jī)械手臂60從第一開口 11 抽離的過程中，第一控制裝置使碎片清掃結(jié)構(gòu)40的毛刷下移至機(jī)械手臂60上方并與之接 觸，用于清掃機(jī)械手臂60上的玻璃碎屑，使其掉落于基板存放結(jié)構(gòu)20上的存放空間內(nèi)；
[0064] 如圖6d所示，當(dāng)整個機(jī)械手臂60完全從第一開口 11中抽離時，第一控制裝置使 碎片清掃結(jié)構(gòu)40的毛刷上升至原始位置（第一停留位置），第二控制裝置使基板拾取結(jié)構(gòu) 30下移至基板存放結(jié)構(gòu)20上的存放空間處，并松脫所吸附的待碎片基板，使之掉落于該存 放空間內(nèi)；
[0065] 如圖6e所示，第二控制裝置使基板拾取結(jié)構(gòu)30返回至最初的原始停留位置（第 二停留位置），此時可以通過滑動軌道22將基板存放結(jié)構(gòu)20從第二開口 12中拉出，以清理 基板存放結(jié)構(gòu)20的存放空間中的碎片基板。最佳地，根據(jù)圖6a至圖6e的過程，每完成一 次碎片處理則對基板存放結(jié)構(gòu)20中的碎片基板進(jìn)行一次清理。
[0066] 本實用新型實施例所述碎片處理機(jī)，替代現(xiàn)有人工清理碎片的方式，能夠?qū)ζ茡p 基板進(jìn)行自動碎片處理。該碎片處理機(jī)安裝在機(jī)械手臂的移動軌道的最邊緣，當(dāng)需要進(jìn)行 碎片處理時，將機(jī)械手臂伸入到碎片機(jī)的內(nèi)部，碎片機(jī)通過基板拾取結(jié)構(gòu)的可升降吸盤將 待碎片基板吸起，并通過碎片清掃結(jié)構(gòu)的毛刷清掃機(jī)械手臂上的碎屑等工序，自動完成機(jī) 械手臂上破損基板的處理。采用該碎片處理機(jī)既避免了人員受傷的安全隱患，還避免了人 為手動清理碎片時對手臂的損傷，同時還能夠達(dá)到大大提高了碎片處理效率的目的。
[〇〇67] 以上所述僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技 術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和 潤飾也應(yīng)視為本實用新型的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1. 一種碎片處理機(jī)，其特征在于，包括： 用于使承載待碎片基板的機(jī)械手臂進(jìn)入的第一開口； 基板存放結(jié)構(gòu)，包括一存放空間； 基板拾取結(jié)構(gòu)，包括從進(jìn)入所述第一開口的機(jī)械手臂上獲取所述待碎片基板的狀態(tài)和 使所述待碎片基板松脫落入所述存放空間內(nèi)的狀態(tài)。
2. 如權(quán)利要求1所述的碎片處理機(jī)，其特征在于，所述碎片處理機(jī)還包括：用于當(dāng)所述 基板拾取結(jié)構(gòu)獲取所述待碎片基板后，將所述機(jī)械手臂上的碎片掃入所述存放空間的碎片 清掃結(jié)構(gòu)，設(shè)置于所述基板存放結(jié)構(gòu)的上方位置。
3. 如權(quán)利要求2所述的碎片處理機(jī)，其特征在于，所述碎片處理機(jī)還包括：用于當(dāng)所述 基板拾取結(jié)構(gòu)獲取所述待碎片基板后，所述機(jī)械手臂移離所述第一開口時，控制所述碎片 清掃結(jié)構(gòu)從第一停留位置移動至所述機(jī)械手臂處，以及所述機(jī)械手臂從所述第一開口移出 后，控制所述碎片清掃結(jié)構(gòu)返回至所述第一停留位置的第一控制結(jié)構(gòu)。
4. 如權(quán)利要求1所述的碎片處理機(jī)，其特征在于，所述碎片處理機(jī)還包括一具有容納 空間的外框體，所述基板拾取結(jié)構(gòu)和所述基板存放結(jié)構(gòu)設(shè)置于所述容納空間中，所述第一 開口開設(shè)于所述外框體上。
5. 如權(quán)利要求4所述的碎片處理機(jī)，其特征在于，所述外框體上還開設(shè)有用于所述基 板存放結(jié)構(gòu)進(jìn)出所述容納空間的第二開口。
6. 如權(quán)利要求5所述的碎片處理機(jī)，其特征在于，所述基板存放結(jié)構(gòu)的底部設(shè)置有滾 輪，所述容納空間內(nèi)設(shè)置有延伸至所述第二開口處的滑動軌道，所述滾輪滑動地設(shè)置于所 述滑動軌道上。
7. 如權(quán)利要求4所述的碎片處理機(jī)，其特征在于，所述碎片處理機(jī)還包括一支撐柱體， 所述外框體與所述支撐柱體通過轉(zhuǎn)軸連接。
8. 如權(quán)利要求1所述的碎片處理機(jī)，其特征在于，所述基板拾取結(jié)構(gòu)包括多個吸盤和 與所述吸盤連接的氣動裝置。
9. 如權(quán)利要求1所述的碎片處理機(jī)，其特征在于，所述基板存放結(jié)構(gòu)設(shè)置于所述基板 拾取結(jié)構(gòu)的正下方位置，所述第一開口位于所述基板存放結(jié)構(gòu)和所述基板拾取結(jié)構(gòu)之間的 位置。
10. 如權(quán)利要求9所述的碎片處理機(jī)，其特征在于，所述碎片處理機(jī)還包括：用于當(dāng)承 載待碎片基板的所述機(jī)械手臂進(jìn)入所述第一開口后，使所述基板拾取結(jié)構(gòu)從第二停留位置 向下移動至位于所述機(jī)械手臂處，并當(dāng)所述基板拾取結(jié)構(gòu)獲取所述待碎片基板后，使所述 基板拾取結(jié)構(gòu)返回至所述第二停留位置，以及當(dāng)所述機(jī)械手臂從所述第一開口移出后，使 所述基板拾取結(jié)構(gòu)從所述第二停留位置移動至所述存放空間處的第二控制裝置。
【文檔編號】H01L21/67GK203871306SQ201420296258
【公開日】2014年10月8日 申請日期:2014年6月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月5日
【發(fā)明者】毛繼禹, 駱宏晨, 張然 申請人:北京京東方顯示技術(shù)有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司