一種擴散硅片顯結(jié)用酸腐蝕架具的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及擴散硅片顯結(jié)用酸腐蝕處理領域,具體涉及一種擴散硅片顯結(jié)用酸腐蝕架具。它包括手柄、架體和隔板,所述的架體是一個長方體,包括底板和四個圍板,四個圍板首尾相接,底板連接在圍板下端,形成一個長方形凹槽,設計有若干個隔板依次連接在長方形凹槽內(nèi),形成若干個洗槽,所述的手柄連接在架體一側(cè),即手柄連接在一側(cè)圍板上。優(yōu)點是設計簡單,方便工作人員把樣片一一放到對應設計的洗槽內(nèi),不會損害樣片,工作人員只要手捏著手柄上端圓弧狀位置,不會接觸酸液,安全可靠,而且依次可以酸處理7-9片,工作效率大大增加。
【專利說明】
【技術領域】
[0001] 本實用新型涉及擴散硅片顯結(jié)用酸腐蝕處理領域,具體涉及一種擴散硅片顯結(jié)用 酸腐蝕架具。 一種擴散硅片顯結(jié)用酸腐蝕架具
【背景技術】
[0002] 高壓二極管用硅片涂源擴散后,每批須抽樣一片進行結(jié)深測量評價。該抽取硅片 首先用劃片機切取14*14mm的樣片,置于研磨具中,然后在玻璃板上以研磨粉作直線研磨, 研磨后的樣片在紅外燈照射下,在HF酸中處理進行顯結(jié)(處理后PN結(jié)面顯露出來),樣片在 HF酸中腐蝕中工作人員只能一個一個的處理,還要防止損壞產(chǎn)品,還要對自身安全做出防 護,沒有一種合理的工具能夠有效地快捷的安全的對其進行酸處理。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003] 為了解決上述問題,本實用新型提出了一種擴散硅片顯結(jié)用酸腐蝕架具,設計簡 單,使用方便,安全可靠,大大提高了樣片在HF酸中腐蝕處理工作效率。
[0004] 為了達到上述發(fā)明目的,本實用新型提出以下技術方案:
[0005] -種擴散硅片顯結(jié)用酸腐蝕架具,它包括手柄、架體和隔板,所述的架體是一個長 方體,包括底板和四個圍板,四個圍板首尾相接,底板連接在圍板下端,形成一個長方形凹 槽,設計有若干個隔板依次連接在長方形凹槽內(nèi),形成若干個洗槽,所述的手柄連接在架體 一側(cè),即手柄連接在一側(cè)圍板上。
[0006] 所述的一種擴散硅片顯結(jié)用酸腐蝕架具是采用耐腐蝕的塑料制作形成。
[0007] 所述的手柄上端是圓弧狀,下端是直線狀,直線狀連接在架體一側(cè)的圍板外側(cè)。
[0008] 本實用新型的優(yōu)點是設計簡單,方便工作人員把樣片一一放到對應設計的洗槽 內(nèi),不會損害樣片,工作人員只要手捏著手柄上端圓弧狀位置,不會接觸酸液,安全可靠,而 且依次可以酸處理7-9片,工作效率大大增加。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0009] 圖1是本實用新型的示意圖。
【具體實施方式】
[0010] 為了對本實用新型進一步說明,下面結(jié)合說明書附圖來介紹:
[0011] 參照附圖1,一種擴散硅片顯結(jié)用酸腐蝕架具,它包括手柄1、架體2和隔板3,所述 的架體是一個長方體,包括底板和四個圍板,四個圍板首尾相接,底板連接在圍板下端,形 成一個長方形凹槽,設計有若干個隔板3依次連接在長方形凹槽內(nèi),形成若干個洗槽4,所 述的手柄1連接在架體2 -側(cè),即手柄1連接在一側(cè)圍板上。
[0012] 所述的一種擴散硅片顯結(jié)用酸腐蝕架具是采用耐腐蝕的塑料制作形成。
[0013] 所述的手柄上1端是圓弧狀,下端是直線狀,直線狀連接在架體一側(cè)的圍板外側(cè)。
[0014] 使用本實用新型時,只需要把7-9片研磨好的樣片一一放到擴散硅片顯結(jié)用酸腐 蝕架具內(nèi)的洗槽內(nèi),然后工作人員手持手柄把其放置到酸液內(nèi),這樣不但安全可靠,工作效 率很高,而且酸腐蝕處理均一,結(jié)面顯示清晰。
【權(quán)利要求】
1. 一種擴散硅片顯結(jié)用酸腐蝕架具,其特征是它包括手柄、架體和隔板,所述的架體是 一個長方體,包括底板和四個圍板,四個圍板首尾相接,底板連接在圍板下端,形成一個長 方形凹槽,設計有若干個隔板依次連接在長方形凹槽內(nèi),形成若干個洗槽,所述的手柄連接 在架體一側(cè),即手柄連接在一側(cè)圍板上。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種擴散硅片顯結(jié)用酸腐蝕架具,其特征是所述的一種擴散 硅片顯結(jié)用酸腐蝕架具是采用耐腐蝕的塑料制作形成。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種擴散硅片顯結(jié)用酸腐蝕架具,其特征是所述的手柄上端 是圓弧狀,下端是直線狀,直線狀連接在架體一側(cè)的圍板外側(cè)。
【文檔編號】H01L21/67GK203882970SQ201420251518
【公開日】2014年10月15日 申請日期:2014年5月16日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月16日
【發(fā)明者】姚永紅 申請人:南通皋鑫電子股份有限公司