用于接收至少一個太陽能電池印刷巢的旋轉(zhuǎn)臺和包括該旋轉(zhuǎn)臺的太陽能電池處理系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】提供一種用于接收至少一個印刷巢的旋轉(zhuǎn)臺(130)。旋轉(zhuǎn)臺具有慣性減少區(qū)域(10，145，146)、在旋轉(zhuǎn)臺中的至少一個切口，和/或具有減少的厚度的至少一個區(qū)域，所述慣性減少區(qū)域(10，145，146)可以是在旋轉(zhuǎn)臺的外圓周中提供的一個或多個凹槽。提供一種太陽能電池處理系統(tǒng)(110)，所述太陽能電池處理系統(tǒng)(110)包括如本文所述的至少一個旋轉(zhuǎn)臺。
【專利說明】用于接收至少一個太陽能電池印刷巢的旋轉(zhuǎn)臺和包括該旋轉(zhuǎn)臺的太陽能電池處理系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本公開的實施例涉及如用于在太陽能電池晶片上印刷電極的沉積系統(tǒng)中使用的旋轉(zhuǎn)臺，且特別地涉及如用于在太陽能電池晶片上印刷電極的屏幕沉積系統(tǒng)中使用的旋轉(zhuǎn)臺。特別地，本公開的實施例涉及一種旋轉(zhuǎn)臺，所述旋轉(zhuǎn)臺被配置成旋轉(zhuǎn)且由此沿著如由旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)運動界定的軌道輸送太陽能電池晶片。此外，本公開涉及包括所述旋轉(zhuǎn)臺的太陽能電池處理系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]太陽能電池裝置是將太陽光轉(zhuǎn)換成為電力的光生伏打(photovoltaic ；PV)裝置。也可在本文中僅被稱為“太陽能電池”或“電池”的典型太陽能電池裝置包括也可在本文中稱為晶片的基板。晶片通常是由硅制成。晶片可設(shè)置有形成在所述晶片中的一個或多個p-n結(jié)或p-1-n結(jié)。每一 p_n結(jié)具有p型區(qū)和η型區(qū)。當ρ_η結(jié)暴露于太陽光時,太陽光通過PV效應轉(zhuǎn)換為電力。大量的太陽能電池通常被組裝在一起以形成面板或，同義地，模塊。面板被例如安裝在外殼頂部等之上。
[0003]太陽能電池通常是由硅基板形成，所述硅基板可為單晶硅基板或多晶硅基板。硅基板可具有在前側(cè)上的η型硅薄層，和在背側(cè)上形成的P型區(qū)域?；蛘?，硅基板可具有在前側(cè)上的P型硅薄層，和在背側(cè)上形成的η型區(qū)域(所謂的“η型晶片”)。電極被沉積在太陽能電池晶片上，所述電極傳導由入射光產(chǎn)生的電流。還可提供諸如在前側(cè)上的抗反射層，或在背側(cè)上的反射層之類的附加層。
[0004]已知太陽能電池生產(chǎn)包括使用傳送帶，所述傳送帶將未處理的或部分處理的晶片輸送到各種處理站，所述處理站諸如清洗站、注入站、沉積(例如，印刷)站，或裝箱站。由于各種原因，在生產(chǎn)過程中包括一個或多個旋轉(zhuǎn)臺可能是有用的。
[0005]參看圖1，以示意頂視圖圖示如在本技術(shù)中已知的旋轉(zhuǎn)臺。旋轉(zhuǎn)臺130被配置成包括四個印刷巢131。每一印刷巢131被配置成接收太陽能電池晶片。旋轉(zhuǎn)臺可被旋轉(zhuǎn)以根據(jù)順時針或逆時針旋轉(zhuǎn)移動位于印刷巢131上的太陽能電池晶片。為了進行此旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)臺必須加速到最大旋轉(zhuǎn)速度且隨后再減速運動以再次停止工作臺。
[0006]太陽能電池生產(chǎn)行業(yè)經(jīng)受巨大價格壓力。對于太陽能電池生產(chǎn)系統(tǒng)，一個基本特征數(shù)目是按由每小時生產(chǎn)的太陽能電池的數(shù)目所量度的產(chǎn)量。為了最大化此數(shù)目，必須最優(yōu)化太陽能電池生產(chǎn)期間的每一步驟。特別地，給定某一質(zhì)量，必須最小化每一工藝步驟和每一輸送步驟。
[0007]如由本公開的
【發(fā)明者】所發(fā)現(xiàn)，原來仍可最優(yōu)化當前的太陽能電池生產(chǎn)。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]鑒于上文，本公開提供以下內(nèi)容。
[0009]根據(jù)本公開的一方面，提供了用于接收至少一個太陽能電池印刷巢的旋轉(zhuǎn)臺。旋轉(zhuǎn)臺具備慣性降低區(qū)域。
[0010]特別地，旋轉(zhuǎn)臺可具有非圓形的圓周。通常，可在旋轉(zhuǎn)臺的外圓周中提供一個或多個凹槽。另外地或替代地，旋轉(zhuǎn)臺可在所述旋轉(zhuǎn)臺中具有至少一個切口(cut-out)。另外地或替代地，可提供具有減少的厚度的區(qū)域。
[0011]根據(jù)本公開的進一步方面，提供了太陽能電池處理系統(tǒng)。太陽能電池處理系統(tǒng)包括如本文所述的至少一個旋轉(zhuǎn)臺。
[0012]特別地，如本文所述的太陽能電池處理系統(tǒng)可具有至少一個印刷站，用于在太陽能電池晶片上印刷電極。
[0013]進一步實施例、方面、細節(jié)和優(yōu)點根據(jù)附屬權(quán)利要求、描述和附圖將進一步顯現(xiàn)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]因此，以可詳細地理解本公開的上述特征的方式，可參考實施例獲得上文簡要概述的本公開的更特定描述。附圖涉及本公開的實施例且描述如下:
[0015]圖1圖示如本技術(shù)中已知的旋轉(zhuǎn)臺的示意圖。
[0016]圖2圖示根據(jù)本文所述的實施例的太陽能電池處理系統(tǒng)的示意透視圖。
[0017]圖3圖示根據(jù)本文所述的實施例的太陽能電池處理系統(tǒng)的示意頂視圖。
[0018]圖4至圖8圖示根據(jù)本公開的旋轉(zhuǎn)臺的實施例的示意圖，所述旋轉(zhuǎn)臺具有位于所述旋轉(zhuǎn)臺的圓周中的凹槽。
[0019]圖9圖示根據(jù)本公開的包括若干切口的旋轉(zhuǎn)臺的實施例的示意圖。
[0020]圖10至圖11圖示根據(jù)本公開的旋轉(zhuǎn)臺的實施例的示意圖，所述旋轉(zhuǎn)臺具有位于旋轉(zhuǎn)臺的圓周中的凹槽且具有在旋轉(zhuǎn)臺中的切口。
[0021]圖12圖示根據(jù)本文所述的實施例的旋轉(zhuǎn)臺的示意剖視圖。

【具體實施方式】
[0022]現(xiàn)將對本發(fā)明的各種實施例進行詳細參考，所述實施例的一個或多個實例圖示于諸圖中。在附圖的以下描述中，相同附圖標記指代相同元件。在本公開中，僅描述了對于各實施例的差異。各實例是作為對本發(fā)明的說明而提供，且各實例并不意指作為對本發(fā)明的限制。此外，圖示或描述為一個實施例的一部分的特征可用于其他實施例或結(jié)合其他實施例一起使用，以產(chǎn)生更進一步實施例。本描述意圖包括所述修改和變化。
[0023]參看圖2，示例性地圖示了沉積系統(tǒng)。如圖所示，沉積系統(tǒng)110可包含傳入傳送裝置111。在附圖中未圖示的其他實施例中，可提供第二傳入傳送裝置，所述第二傳入傳送裝置通常平行于第一傳入傳送裝置。傳入傳送裝置通常包括一個或多個傳送帶。例如，如圖所示，傳送裝置可包括例如彼此以一距離平行布置的兩個傳送帶115，所述距離在5cm和15cm之間。傳入傳送裝置111可被配置成從諸如輸入傳送裝置113的輸入裝置接收太陽能電池晶片250( S卩，圖2和圖3中的路徑“A”)，和將太陽能電池晶片250傳遞到布置在旋轉(zhuǎn)臺130上的太陽能電池印刷巢131 (也僅稱為“印刷巢”)。
[0024]如本文所使用，術(shù)語“基板”或“太陽能電池晶片”可指代被處理以成為太陽能電池的半導體基板?？蓱酶鞣N工藝步驟以生產(chǎn)太陽能電池，特別地，印刷允許電流流經(jīng)導電材料的細線的所述細線。通常在絲網(wǎng)印刷腔室102中進行此印刷步驟。太陽能電池晶片的典型大小在1cm和20cm之間。
[0025]如圖2中示例性所示的沉積系統(tǒng)進一步包括旋轉(zhuǎn)臺130、絲網(wǎng)印刷腔室102和傳出傳送裝置112。代替所圖示的絲網(wǎng)印刷腔室102，可使用允許導電電極沉積在太陽能電池晶片上的其他沉積系統(tǒng)。特別地，也可使用模版(例如，模版印刷腔室)完成印刷。
[0026]絲網(wǎng)印刷腔室102通常在旋轉(zhuǎn)臺130上延伸。當太陽能電池晶片被擱在旋轉(zhuǎn)臺130的印刷巢131上時完成印刷。
[0027]太陽能電池印刷巢131，或在本文中也僅被稱為“印刷巢”的太陽能電池印刷巢131可由傳送帶組件組成,所述傳送帶組件具有饋帶軸(feed spool)、卷帶軸(take-upspool)、滾子和一個或多個致動器，所述滾子和一個或多個致動器被耦合到饋帶軸和/或卷帶軸或適合于暫時地與饋帶軸和/或卷帶軸哨合。所述線軸(spool)適合于饋送和保持輔助材料。在實施例中，輔助材料是多孔材料，所述材料允許通過來自輔助材料下方的負壓將布置在輔助材料上的太陽能電池晶片保持到印刷巢。在一個實施例中，輔助材料是諸如可蒸發(fā)紙的可蒸發(fā)材料。在實施例中，饋帶軸和卷帶軸各自適合于接收輔助材料的相對端。
[0028]此外，可在如圖2和圖3中所示的位置“I”、位置“2”、位置“3”或位置“4”的一個或多個位置處執(zhí)行太陽能電池晶片檢查。特別地，太陽能電池晶片檢查可在印刷太陽能電池晶片(根據(jù)圖2和圖3的實施例，所述印刷在位置“2”處進行)之前和/或在印刷太陽能電池晶片之后進行。例如，可在旋轉(zhuǎn)臺之上提供一個或多個照相機(未圖示)。
[0029]傳出傳送裝置112可被配置成從旋轉(zhuǎn)臺130上的印刷巢131接收已處理的太陽能電池晶片250，且將太陽能電池晶片250傳送到退出傳送裝置114(即，圖2和圖3中的路徑“E”)。輸入傳送裝置113和退出傳送裝置114可以是作為較大生產(chǎn)線的一部分的自動基板處理裝置。
[0030]旋轉(zhuǎn)臺130適合于圍繞以圖2中的“F”所示的中心軸旋轉(zhuǎn)。可提供旋轉(zhuǎn)致動器(未圖示)以驅(qū)動旋轉(zhuǎn)運動。
[0031]可提供系統(tǒng)控制器101以控制旋轉(zhuǎn)致動器。通常，旋轉(zhuǎn)致動器適合于按一個運動以90°、180°或270°旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)臺。旋轉(zhuǎn)致動器的控制通常使得一個印刷巢131位于沉積系統(tǒng)110之內(nèi)(例如，圖3中的路徑“D1”和“D2”)。
[0032]在實施例中，旋轉(zhuǎn)臺130可被配置成接收四個印刷巢131，或基板支撐件。旋轉(zhuǎn)臺130也可包括一個或多個，特別地，四個印刷巢。通常，而不限于任何實施例，每一印刷巢通常適合于在于沉積系統(tǒng)中執(zhí)行的沉積工藝期間支撐太陽能電池晶片250。
[0033]圖3是根據(jù)本文所述的實施例的沉積系統(tǒng)的示意頂視圖。圖3示意地圖示旋轉(zhuǎn)臺130的位置，其中一個印刷巢131處于位置“I”以從傳入傳送裝置111接收太陽能電池晶片250，另一印刷巢131處于絲網(wǎng)印刷腔室102中的位置“2”，在所述絲網(wǎng)印刷腔室102中，印刷圖案被沉積在太陽能電池晶片的上表面上。另一印刷巢131處于位置“3”，用于將已處理的基板250傳遞到一個或多個傳出傳送裝置112和/或114。
[0034]如圖3的示例性實施例中所示，另一印刷巢131處于位置“4”，所述位置“4”是位置“I”和位置“3”之間的中間級。有可能的是，在基板受損且無法進一步被處理的情況下，基板被旋轉(zhuǎn)直至位置“4”。在這種情況下，位置“4”上的印刷巢131可允許將太陽能電池晶片丟棄到用于破裂或以其他方式損壞的基板的料箱120中。
[0035]為了減少沉積系統(tǒng)的循環(huán)時間且增加每小時的印刷太陽能電池的數(shù)目，可減少沉積工藝和/或輸送時間。本公開實施例目的在于減少輸送時間。這意味著對于旋轉(zhuǎn)臺的操作，旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)應在最短的可能時間內(nèi)進行。換句話說，旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)運動必須在高角加速度和聞最聞速度下進行。
[0036]根據(jù)本文所述的實施例的旋轉(zhuǎn)致動器的控制可為使得致動器加速到最大旋轉(zhuǎn)速度，且例如在不保持此速度的情況下，使得致動器再次減速。因為根據(jù)實施例，執(zhí)行減速消耗較少功率，所以旋轉(zhuǎn)致動器的控制可為使得用于加速旋轉(zhuǎn)臺的時間可大于減速所需的時間。
[0037]為了說明性目的，應如下給出示例。假定旋轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)例如約90°以將傳入的太陽能電池晶片從圖3中的位置“I”移動到印刷腔室102，即圖3中的位置“2”。開始于角度0°，旋轉(zhuǎn)致動器將旋轉(zhuǎn)臺加速達到旋轉(zhuǎn)臺的60°位置。換句話說，在旋轉(zhuǎn)臺的60°位置處，達到旋轉(zhuǎn)臺的最大旋轉(zhuǎn)速度。
[0038]一旦到達60°，旋轉(zhuǎn)臺可被再次減速以開始在90°位置處停止。顯著地，雖然減速可在技術(shù)上被進一步加強，但是加速和減速的控制仍必須滿足位于印刷巢上的太陽能電池晶片應保持所述太陽能電池晶片的位置的要求。在本文所述的各種實施例中，為了避免太陽能電池晶片相對于印刷巢的任何移動，可從下方施加負壓吸力到太陽能電池晶片以將所述太陽能電池晶片暫時地固定到印刷巢。
[0039]為了最大化加速且降低減速，與現(xiàn)有技術(shù)的旋轉(zhuǎn)臺相比，本公開的
【發(fā)明者】提出使用具有減少慣性的旋轉(zhuǎn)臺。在下文中論述所述旋轉(zhuǎn)臺的各種示例。所論述的實施例的目標在于通過提供具有降低慣性的區(qū)域來降低慣性。此目的的實現(xiàn)可如下完成。
[0040]首先，如已參照圖2和圖3的實施例所論述的，旋轉(zhuǎn)臺可具有非圓形圓周形狀以使得旋轉(zhuǎn)臺的外圓周具備凹槽。
[0041]其次，旋轉(zhuǎn)臺可具有切口。如本文所理解的切口與凹槽的區(qū)別在于所述切口位于旋轉(zhuǎn)臺中。換句話說，如本文所理解的切口嵌入旋轉(zhuǎn)臺中，而凹槽位于旋轉(zhuǎn)臺的外圓周處。
[0042]第三，旋轉(zhuǎn)臺可具有薄化區(qū)(thinning)。通常，如本文所理解的薄化區(qū)是與相鄰區(qū)相比具有減小的厚度的旋轉(zhuǎn)臺區(qū)域。雖然凹槽區(qū)域和切口區(qū)域不對旋轉(zhuǎn)臺的任何慣性具有貢獻，但是薄化區(qū)域仍對旋轉(zhuǎn)臺的慣性具有貢獻，盡管薄化區(qū)域以一降低的量對旋轉(zhuǎn)臺的慣性具有貢獻。
[0043]通常，根據(jù)本公開的旋轉(zhuǎn)臺相對于旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)地對稱。
[0044]如已在圖2和圖3的沉積系統(tǒng)實施例中所示的，在所述圖中所示的旋轉(zhuǎn)臺130具有非圓形圓周。特別地，在印刷巢位置之間的區(qū)域處提供非圓形圓周。
[0045]顯著地，用于接收印刷巢的旋轉(zhuǎn)臺的適應可能已導致印刷巢的相應位置處的非圓形形狀。本公開中所使用的“非圓形圓周”的意義并不旨在于此。如本文所理解的非圓形圓周通常被提供在兩個相鄰印刷巢的位置之間的區(qū)域處。非圓形圓周在本文中可理解成所述圓周包括一個或多個凹槽，所述凹槽界定與旋轉(zhuǎn)臺的理論圓形的偏差。
[0046]圖2和圖3圖示旋轉(zhuǎn)臺130的一個可能的非圓形圓周形狀。應理解，如圖2和圖3中所示的沉積系統(tǒng)I1可包括其他旋轉(zhuǎn)臺作為替代，特別地，如參照圖4至圖12更加詳細描述的旋轉(zhuǎn)臺。
[0047]在圖2和圖3中所示的實施例中，與理論圓形圓周相比，在印刷巢131的位置之間提供了凹槽145。根據(jù)本文所述的各種實施例，且不限于圖2和圖3中所示的實施例，特別地在旋轉(zhuǎn)臺的外圓周處提供凹槽，因為外部對旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)慣性具有較大影響。例如，如圖2和圖3中所示，在根據(jù)本文所述的實施例的旋轉(zhuǎn)臺中提供的凹槽134可具有半圓形形狀。此形狀允許在外部上的旋轉(zhuǎn)臺的高慣性降低。
[0048]旋轉(zhuǎn)臺的每一額外質(zhì)量(mass)導致旋轉(zhuǎn)臺的額外慣性。為了迅速地旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)臺，如上文所論述，需要施加加速力和減速力。如果慣性過大，那么此舉進而可能需要強的旋轉(zhuǎn)致動器，且因此需要高的生產(chǎn)成本和操作成本。另一方面，如果有可能降低旋轉(zhuǎn)臺的慣性，那么旋轉(zhuǎn)致動器可較小且可以降低旋轉(zhuǎn)致動器的電流消耗。
[0049]根據(jù)實施例，與旋轉(zhuǎn)臺的理論圓形圓周相比，所述旋轉(zhuǎn)臺具備四個凹槽。特別地，在每兩個相鄰印刷巢位置之間提供一個凹槽。
[0050]圖4至圖8圖示其中慣性降低區(qū)域是通過旋轉(zhuǎn)臺的外圓周中的凹槽提供，從而導致旋轉(zhuǎn)臺的非圓形圓周的實施例的示意圖。
[0051]如圖4、圖5和圖6中所示，旋轉(zhuǎn)臺可具有十字形形狀。如圖4的實施例中所示，旋轉(zhuǎn)臺的內(nèi)部可具有圓形。此圓形可能對穩(wěn)定性具有積極影響。此外，如所論述，與旋轉(zhuǎn)臺的外部相比，旋轉(zhuǎn)臺的內(nèi)部對旋轉(zhuǎn)相關(guān)的慣性貢獻較小。旋轉(zhuǎn)臺的外部具備凹槽145，所述凹槽145在四個印刷巢131之間的區(qū)域上延伸。由于此外部區(qū)域是對于旋轉(zhuǎn)慣性高度相關(guān)的區(qū)域，所以所圖示的實施例提供優(yōu)于如本技術(shù)中已知的旋轉(zhuǎn)臺的本質(zhì)加速益處。
[0052]如本文所理解，凹槽可在旋轉(zhuǎn)臺的徑向上具有至少1cm或至少30cm的長度。在諸如圖4、圖5和圖6中所示的實施例中，凹槽可在旋轉(zhuǎn)臺的徑向上具有一長度，所述長度相對于旋轉(zhuǎn)臺的徑向具有至少印刷巢的長度。
[0053]也可描述具有例如在圖4、圖5和圖6中所示的凹槽的非圓形形狀，因為印刷巢是在從旋轉(zhuǎn)臺的中心部分延伸的臂狀物上提供的。對于某些實施例，此舉只是描述旋轉(zhuǎn)臺具備圓周定位的凹槽的情況的另一方式。
[0054]每一印刷巢可被定位在一個臂狀物上。臂狀物可被以特別地在旋轉(zhuǎn)臺的加速和減速的額外負載期間足以承載印刷巢的方式設(shè)計和成形。在任何情況下，根據(jù)本公開的理解，旋轉(zhuǎn)臺被理解為完整的旋轉(zhuǎn)臺，所述旋轉(zhuǎn)臺在太陽能電池處理系統(tǒng)的操作中旋轉(zhuǎn)。
[0055]參看圖5，圖示了旋轉(zhuǎn)臺的進一步實施例。再次，旋轉(zhuǎn)臺的外形具備十字形形狀且適合于接收位于旋轉(zhuǎn)臺的外圓周上的四個印刷巢131。每一印刷巢通過由凹槽145界定的臂狀物被連接到旋轉(zhuǎn)臺的中心部分，所述凹槽145在旋轉(zhuǎn)臺的圓周中提供。凹槽被調(diào)整大小和成形以使得在凹槽之間的其余旋轉(zhuǎn)臺的寬度30(即，相對于旋轉(zhuǎn)臺的切線方向)大體上對應于印刷巢的寬度(相對于旋轉(zhuǎn)臺的切線方向)。如在本上下文中理解的術(shù)語“大體上”通常不包括大于20%的偏差。
[0056]如本文所使用，措辭“在旋轉(zhuǎn)臺的圓周中提供凹槽”通常被理解為凹槽可相對于旋轉(zhuǎn)臺的徑向在旋轉(zhuǎn)臺的實質(zhì)長度上延伸。甚至可能的是，此措辭“在旋轉(zhuǎn)臺的圓周中提供延伸”可達到接近于旋轉(zhuǎn)臺的中心，其中“接近于中心”可被理解為“至旋轉(zhuǎn)臺的中心20具有20cm或甚至1cm的最大距離”。明顯地,旋轉(zhuǎn)臺的中心被理解為旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)軸。
[0057]圖6圖示具有十字形旋轉(zhuǎn)臺的進一步實施例。如在相對于圖5所示的實施例中所示，凹槽145使得印刷巢位于臂狀物上，所述臂狀物全部通向旋轉(zhuǎn)臺的中心部分。臂狀物的寬度可通常沿著所述臂狀物的徑向延伸恒定，如參照圖5所示的。然而，臂狀物的寬度也可變化，特別地，隨著距中心20的距離增加，臂狀物的寬度可沿著徑向增加。這是由于以下的事實:在旋轉(zhuǎn)加速和減速期間，遠離旋轉(zhuǎn)臺的中心定位的臂狀物部分上的負載大于臂狀物的內(nèi)部部分所面向的負載。此臂狀物寬度的增加圖示在圖6中。
[0058]特別地，與現(xiàn)有技術(shù)實施例相比，圖6的實施例允許旋轉(zhuǎn)相關(guān)慣性的高度降低。
[0059]圖7圖示進一步實施例。如在圖7中所示，且不以此為限，旋轉(zhuǎn)臺可具有多邊形形狀。特別地，旋轉(zhuǎn)臺可具有八角形形狀，然而，諸如二次形狀(quadratic shape)(其中印刷巢位置通常在矩形的角落處)的其他形狀也是可能的。
[0060]圖8圖示旋轉(zhuǎn)臺的進一步實施例。如圖所示的旋轉(zhuǎn)臺130類似于如圖2和圖3中所示的旋轉(zhuǎn)臺。旋轉(zhuǎn)臺具備四個凹槽145，每一凹槽位于相鄰印刷巢位置的相應位置之間。如圖所示，凹槽可具有半圓形形狀，其中半圓形的中心例如位于旋轉(zhuǎn)臺的理論圓形處或接近于旋轉(zhuǎn)臺的理論圓形。在實施例中，半圓形的半徑可以是至少20cm。
[0061]圖9圖示如本文揭示的旋轉(zhuǎn)臺的進一步實施例。與所有其他旋轉(zhuǎn)臺實施例相反，圖9中所示的旋轉(zhuǎn)臺具有圓形圓周。用于減少圖9的旋轉(zhuǎn)臺慣性的區(qū)域是通過切口 10實現(xiàn)，所述切口 10在旋轉(zhuǎn)臺130的外圓周之內(nèi)提供。
[0062]通常，且不限于附圖中所述的任何實施例，有可能提供數(shù)個切口，例如四個切口或甚至更多個切口。在提供四個切口的情況下，所述四個切口通常被各自定位于兩個相鄰印刷巢之間。切口的數(shù)目通常是印刷巢數(shù)目的倍數(shù)。例如，在四個印刷巢的情況下，可提供四個、八個，十二個等切口。還有可能的是，提供高數(shù)目的切口，諸如五十個或更多個切口。
[0063]切口的形狀可以是圓形、橢圓形，多邊形等等。由于生產(chǎn)原因，圓形切口是有利的。接近于旋轉(zhuǎn)臺的外圓周的切口的位置是有利的，因為與旋轉(zhuǎn)加速和減速有關(guān)的慣性比在切口更接近于旋轉(zhuǎn)臺中心的情況中的減少地更多。
[0064]例如，根據(jù)實施例，理論圓形旋轉(zhuǎn)臺的表面的至少50%可被替換為根據(jù)如本文所述的實施例的一個或多個凹槽和/或一個或多個切口。特別地，理論圓形旋轉(zhuǎn)臺的外部部分表面的至少50%被替換為根據(jù)如本文所述的實施例的一個或多個凹槽和/或一個或多個切口。在本文中，外部應被理解為旋轉(zhuǎn)臺半徑的一半和半徑之間的區(qū)域。因此，外部構(gòu)成圓形旋轉(zhuǎn)臺的整個表面和質(zhì)量的3/4 (假設(shè)r是半徑，則外部表面計算為πι.2-(π l/2r)2 =3/4 π r2) 0另外，外部必須同時比內(nèi)部移動更長距離，這就是外部與旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)慣性高度相關(guān)的原因。
[0065]圖10和圖11的實施例圖示旋轉(zhuǎn)臺，其中用于降低慣性的手段包括在旋轉(zhuǎn)臺的外圓周處提供的凹槽和嵌入在旋轉(zhuǎn)臺130中的切口 10兩者。如圖10和圖11中所示，凹槽可被提供在印刷巢之間。如圖11中所示，且不限于任何實施例，凹槽可將旋轉(zhuǎn)臺的外部成形以使得印刷巢位于臂狀物上，且另外可在旋轉(zhuǎn)臺的內(nèi)部中提供切口。此外，盡管未圖示，可提供臂狀物上的切口。
[0066]作為如上述實施例中所述的凹槽和/或切口的補充或替代，旋轉(zhuǎn)臺也可具有一個或多個區(qū)域，所述一個或多個區(qū)域具有減少的旋轉(zhuǎn)臺厚度。例如，在旋轉(zhuǎn)臺的一個或多個區(qū)域中的厚度可小于旋轉(zhuǎn)臺的相鄰區(qū)域的厚度的70%，或甚至小于所述厚度的50%。
[0067]如本文所述的旋轉(zhuǎn)臺的典型最大厚度在25cm和50cm的范圍之內(nèi)。如本文所述的典型的減小的厚度在低于25cm的范圍內(nèi)。
[0068]圖12圖示具有減少厚度的區(qū)域146的旋轉(zhuǎn)臺130的實施例的示意截面圖。由于穩(wěn)定性的原因，減小的厚度的區(qū)域可與旋轉(zhuǎn)臺的正常厚度的區(qū)域交替。甚至還可能的是，在旋轉(zhuǎn)臺上提供具有增加的厚度的肋條等等。增加的厚度被理解為與正常厚度相比較。旋轉(zhuǎn)臺的正常厚度通常對應于中心20處或接近于中心的厚度。在穩(wěn)定性考慮下的此設(shè)計的優(yōu)點勝過在額外重量和慣性方面的缺點。
[0069]如本技術(shù)中已知的旋轉(zhuǎn)臺相比，如本文所提出的旋轉(zhuǎn)臺具有降低的質(zhì)量，且因此與現(xiàn)有技術(shù)旋轉(zhuǎn)臺相比具有減少的慣性。因此，與現(xiàn)有技術(shù)旋轉(zhuǎn)臺相比，可提高旋轉(zhuǎn)臺的加速和減速。
[0070]因此，由于根據(jù)本文所述的實施例的旋轉(zhuǎn)臺的減少的慣性，對于給定旋轉(zhuǎn)致動器，旋轉(zhuǎn)臺的加速度增加且因此，在其他條件都相同時，太陽能電池晶片可被在所述太陽能電池晶片的位置1、2、3或4之間以較短時間輸送。沉積系統(tǒng)的整體產(chǎn)量從而增加，且太陽能電池處理系統(tǒng)具有較高生產(chǎn)率(即，每小時更多晶片)。不限于任何實施例，與旋轉(zhuǎn)相關(guān)的慣性力矩通常低于4*106kg*mm2，諸如3715659kg*mm2。與具有大于4*106kg*mm2的值的現(xiàn)有技術(shù)旋轉(zhuǎn)臺相比，此降低是本質(zhì)的降低。
[0071 ] 雖然前述內(nèi)容是針對本發(fā)明實施例，但是可在不背離本發(fā)明的基本范圍的情況下設(shè)計本發(fā)明的其他和進一步實施例，且本發(fā)明的范圍是由所附權(quán)利要求書所決定。
【權(quán)利要求】
1.一種用于接收至少一個太陽能電池印刷巢的旋轉(zhuǎn)臺(130)，其中所述旋轉(zhuǎn)臺(130)具有慣性減少區(qū)域(10，145，146)。
2.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)臺，其特征在于，所述慣性減少區(qū)域包括在所述旋轉(zhuǎn)臺的圓周中的至少一個凹槽(145)。
3.如權(quán)利要求2所述的旋轉(zhuǎn)臺，其特征在于，提供所述至少一個凹槽(145)導致所述旋轉(zhuǎn)臺的非圓形圓周。
4.如權(quán)利要求2或3所述的旋轉(zhuǎn)臺，其特征在于，所述凹槽(145)的形狀和大小使得所述旋轉(zhuǎn)臺(130)具有多邊形形狀。
5.如權(quán)利要求4所述的旋轉(zhuǎn)臺，其特征在于，所述多邊形形狀是八角形形狀。
6.如權(quán)利要求1或2中任一項所述的旋轉(zhuǎn)臺,其特征在于,所述旋轉(zhuǎn)臺相對于所述旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)地對稱。
7.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)臺，其特征在于，所述慣性減少區(qū)域包括在所述旋轉(zhuǎn)臺中的切口(10)。
8.如權(quán)利要求7所述的旋轉(zhuǎn)臺，其特征在于，所述切口位于距所述旋轉(zhuǎn)臺的中心(20)大于所述旋轉(zhuǎn)臺的半徑的一半的距離處。
9.如權(quán)利要求7或8所述的旋轉(zhuǎn)臺，其特征在于，所述切口具有圓形、橢圓形和多邊形形狀。
10.如權(quán)利要求1或2中任一項所述的旋轉(zhuǎn)臺，其特征在于，所述慣性減少區(qū)域包括至少一個區(qū)域(146)，所述至少一個區(qū)域(146)具有減少的厚度的旋轉(zhuǎn)臺。
11.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)臺，其特征在于，所述慣性減少區(qū)域包括以下各項中的兩個或多個:在所述旋轉(zhuǎn)臺的圓周中的至少一個凹槽(145);在所述旋轉(zhuǎn)臺中的切口(10);以及至少一個區(qū)域(146)，所述至少一個區(qū)域(146)具有減少的厚度的旋轉(zhuǎn)臺。
12.如權(quán)利要求11所述的旋轉(zhuǎn)臺，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)臺的所述慣性力矩低于4*106kg*mm2。
13.如權(quán)利要求1或2中任一項所述的旋轉(zhuǎn)臺，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)臺被配置成接收四個太陽能電池印刷巢(131)。
14.如權(quán)利要求1或2中任一項所述的旋轉(zhuǎn)臺,其特征在于,所述旋轉(zhuǎn)臺包含至少一個太陽能電池印刷巢(131)。
15.如權(quán)利要求1或2中任一項所述的旋轉(zhuǎn)臺，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)臺具有四個太陽能電池印刷巢。
16.如權(quán)利要求1或2中任一項所述的旋轉(zhuǎn)臺，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)臺(130)具有十字形形狀。
17.如權(quán)利要求1或2中任一項所述的旋轉(zhuǎn)臺，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)臺的所述慣性力矩低于 4*106kg*mm2。
18.一種包括如權(quán)利要求1或2中任一項所述的旋轉(zhuǎn)臺的太陽能電池處理系統(tǒng)(110)。
19.如權(quán)利要求18所述的太陽能電池處理系統(tǒng)，其特征在于，進一步包含印刷站(102)。
20.如權(quán)利要求18所述的太陽能電池處理系統(tǒng)，其特征在于，進一步包括傳入傳送裝置(111)和傳出傳送裝置(112)。
21.如權(quán)利要求19所述的太陽能電池處理系統(tǒng)，其特征在于，進一步包括傳入傳送裝置(111)和傳出傳送裝置(112)。
【文檔編號】H01L31/18GK204045612SQ201420231247
【公開日】2014年12月24日 申請日期:2014年5月7日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月10日
【發(fā)明者】D·吉斯隆 申請人:應用材料意大利有限公司