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一種硅片推片裝置制造方法

文檔序號:7066162閱讀:368來源:國知局
一種硅片推片裝置制造方法
【專利摘要】一種硅片推片裝置,包括推送機構(gòu)和承載盒輸送機構(gòu);所述推送機構(gòu)包括一推送機構(gòu)支架、推桿和推桿固定部;所述承載盒輸送機構(gòu)包括水平設(shè)置的負載承載盒輸送帶、水平設(shè)置的硅片輸送帶和升降平臺;所述負載承載盒輸送帶和硅片輸送帶成夾角設(shè)置,所述升降平臺位于所述負載承載盒輸送帶和硅片輸送帶的夾角處;所述升降平臺作用有豎向移動驅(qū)動裝置。本發(fā)明的推送機構(gòu)和承載盒輸送機構(gòu)聯(lián)合,實現(xiàn)在承載盒內(nèi)取出硅片,具有操作方便的優(yōu)點。
【專利說明】一種硅片推片裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種硅片推片裝置,屬于太陽能光伏設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】。

【背景技術(shù)】
[0002]21世紀以來,全球能源消費急劇攀升,傳統(tǒng)化石能源日益枯竭,能源問題和環(huán)境問題逐漸成為全球關(guān)注的兩大重點問題。迫于可持續(xù)發(fā)展的壓力,各主要國家紛紛將太陽能光伏產(chǎn)業(yè)列入可再生能源開發(fā)利用的重點。伴隨著我國成為世界第二經(jīng)濟體,2013年10月,中國10月石油進口量達到每日630萬桶,超過美國的每日624萬桶,首次取代美國成為全球最大石油凈進口國。2013年,中國石油和天然氣的對外依存度分別達到58.1%和31.6%,中國已成為全球第三大天然氣消費國。傳統(tǒng)化石能源已越來越難以滿足我國國民經(jīng)濟的旺盛需求。在過去的20年中全球大約有75%左右的人為二氧化碳排放量來源于化石燃料燃燒。因此,不管是從低碳環(huán)保的能源發(fā)展角度,還是順應(yīng)我國產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)升級與轉(zhuǎn)型壓力,我國必須加快發(fā)展新能源產(chǎn)業(yè)。
[0003]太陽能屬于清潔可再生能源。根據(jù)歐盟委員會提出的“歐洲可再生能源技術(shù)戰(zhàn)略計劃”,到2020年,太陽能將占歐盟電力需求的15%。2010年,美國能源部制定規(guī)劃,計劃到2030年,太陽能占總能源消費量的10%?15%。從世界范圍內(nèi)的太陽能和潮汐能合計凈發(fā)電量看,中國為30億千瓦時,德國為190億干瓦時,意大利為107億干瓦時,西班牙為91億千瓦時,日本為38億千瓦時。未來我國水電增長空間有限,核能存在不安全因素?;茉词芄?jié)能減排約束成本將上升,太陽能光伏發(fā)電的市場前景廣闊。
[0004]在晶體硅片加工過程中,需要用硅片承載盤進行轉(zhuǎn)運。硅片承載盤包括一截面為矩形的殼體,殼體的一對側(cè)壁上設(shè)有多個娃片插槽,娃片在轉(zhuǎn)運時即插設(shè)在娃片插槽內(nèi),當(dāng)硅片轉(zhuǎn)運到目的地使用時,需要將硅片從硅片承載盤取出。因此,有必要設(shè)計一種硅片推片
目.ο


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明目的是提供一種硅片推片裝置。
[0006]為達到上述目的,本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:一種硅片推片裝置,包括推送機構(gòu)和承載盒輸送機構(gòu);所述推送機構(gòu)包括一推送機構(gòu)支架、推桿和推桿固定部;所述推送機構(gòu)支架的頂部設(shè)有一主動皮帶輪和一從動皮帶輪,所述主動皮帶輪和從動皮帶輪上套設(shè)有閉環(huán)的皮帶,所述主動皮帶輪的轉(zhuǎn)軸與一驅(qū)動馬達的輸出軸驅(qū)動連接;所述推桿一端固定在推桿固定部上,另一端為自由端,所述推桿固定部與皮帶固接;所述推送機構(gòu)支架的頂部沿主動皮帶輪和從動皮帶輪連線的方向設(shè)有推桿固定部導(dǎo)軌,所述推桿固定部滑動支撐于所述推桿固定部導(dǎo)軌上;所述承載盒輸送機構(gòu)包括水平設(shè)置的負載承載盒輸送帶、水平設(shè)置的硅片輸送帶和升降平臺;所述負載承載盒輸送帶和硅片輸送帶成夾角設(shè)置,所述升降平臺位于所述負載承載盒輸送帶和硅片輸送帶的夾角處;所述升降平臺作用有豎向移動驅(qū)動
目.ο
[0007]優(yōu)選的技術(shù)方案為:所述負載承載盒輸送帶設(shè)置在一安裝架上,該安裝架水平滑動設(shè)置在安裝架導(dǎo)軌上,所述安裝架作用有安裝架水平移動驅(qū)動缸,所述安裝架導(dǎo)軌朝向所述升降平臺方向設(shè)置。
[0008]優(yōu)選的技術(shù)方案為:所述安裝架在位于負載承載盒輸送帶的下方設(shè)有空載承載盒輸送帶。
[0009]優(yōu)選的技術(shù)方案為:所述推送機構(gòu)支架的頂部設(shè)有導(dǎo)板,該導(dǎo)板開設(shè)有導(dǎo)孔,所述推桿插設(shè)在所述導(dǎo)孔內(nèi)。
[0010]優(yōu)選的技術(shù)方案為:所述推桿的自由端的端部設(shè)有推片凹部。
[0011]由于上述技術(shù)方案運用,本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點和效果:
本發(fā)明的推送機構(gòu)和承載盒輸送機構(gòu)聯(lián)合,實現(xiàn)在承載盒內(nèi)取出硅片,具有操作方便的優(yōu)點。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]附圖1為硅片推片裝置用承載盒輸送機構(gòu)示意圖。
[0013]附圖2為硅片推片裝置用承載盒輸送機構(gòu)側(cè)視示意圖。
[0014]附圖3為硅片推片裝置用承載盒輸送機構(gòu)立體示意圖一。
[0015]附圖4為硅片推片裝置用承載盒輸送機構(gòu)立體示意圖二。
[0016]附圖5為硅片推片裝置用推送機構(gòu)示意圖。
[0017]附圖6為硅片推片裝置用推送機構(gòu)立體示意圖。
[0018]以上附圖中,1、推送機構(gòu)支架;2、推桿;3、推桿固定部;4、主動皮帶輪;5、從動皮帶輪;6、皮帶;7、驅(qū)動馬達;8、推桿固定部導(dǎo)軌;9、導(dǎo)板;10、推片凹部;11、負載承載盒輸送帶;12、硅片輸送帶;13、升降平臺;14、承載盒;15、安裝架;16、安裝架導(dǎo)軌;17、安裝架水平移動驅(qū)動缸;18、空載承載盒輸送帶;19、豎向移動驅(qū)動裝置;20、推送機構(gòu)。

【具體實施方式】
[0019]下面結(jié)合附圖及實施例對本發(fā)明作進一步描述:
須知,本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等,均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容,以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀,并非用以限定本發(fā)明可實施的限定條件,故不具技術(shù)上的實質(zhì)意義,任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整,在不影響本發(fā)明所能產(chǎn)生的功效及所能達成的目的下,均應(yīng)仍落在本發(fā)明所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時,本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語,亦僅為便于敘述的明了,而非用以限定本發(fā)明可實施的范圍,其相對關(guān)系的改變或調(diào)整,在無實質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下,當(dāng)亦視為本發(fā)明可實施的范疇。
[0020]實施例:一種硅片推片裝置
參見附圖1?附圖6所示,一種硅片推片裝置,包括推送機構(gòu)20和承載盒輸送機構(gòu)。
[0021]參見附圖5?附圖6所示,所述推送機構(gòu)20包括一推送機構(gòu)支架1、推桿2和推桿固定部3 ;所述推送機構(gòu)支架I的頂部設(shè)有一主動皮帶輪4和一從動皮帶輪5,所述主動皮帶輪4和從動皮帶輪5上套設(shè)有閉環(huán)的皮帶6,所述主動皮帶輪4的轉(zhuǎn)軸與驅(qū)動馬達7的輸出軸驅(qū)動連接;所述推桿2 —端固定在推桿固定部3上,另一端為自由端,所述推桿固定部3與皮帶6固接;所述推送機構(gòu)支架I的頂部沿主動皮帶輪4和從動皮帶輪5連線的方向設(shè)有推桿固定部導(dǎo)軌8,所述推桿固定部3滑動支撐于所述推桿固定部導(dǎo)軌8上。所述推送機構(gòu)支架I的頂部設(shè)有導(dǎo)板9,該導(dǎo)板9開設(shè)有導(dǎo)孔,所述推桿2插設(shè)在所述導(dǎo)孔內(nèi)。所述推桿2的自由端的端部設(shè)有推片凹部10。
[0022]參見附圖1?4所示,承載盒輸送機構(gòu)包括水平設(shè)置的負載承載盒輸送帶11、水平設(shè)置的硅片輸送帶12和升降平臺13 ;所述負載承載盒輸送帶11和硅片輸送帶12成夾角設(shè)置,所述升降平臺13位于所述負載承載盒輸送帶11和硅片輸送帶12的夾角處。所述升降平臺作用有豎向移動驅(qū)動裝置19。本實施例中,豎向移動驅(qū)動裝置19采用的是伺服電機,在其它實施方式中也可采用齒輪齒條機構(gòu)或者驅(qū)動缸。
[0023]所述負載承載盒輸送帶11設(shè)置在安裝架15上,該安裝架15水平滑動設(shè)置在安裝架導(dǎo)軌16上,所述安裝架15作用有安裝架水平移動驅(qū)動缸17,所述安裝架導(dǎo)軌16朝向所述升降平臺13方向設(shè)置。本實施例中的安裝架水平移動驅(qū)動缸17可以采用液壓油缸,安裝架水平移動驅(qū)動缸17的缸體固定設(shè)置,活塞桿與安裝架15固定連接,所述安裝架導(dǎo)軌16朝向所述升降平臺13方向設(shè)置的目的是,安裝架15帶動負載承載盒輸送帶11在安裝架水平移動驅(qū)動缸17的驅(qū)動下向升降平臺13移動,或者背離升降平臺13移動。所述安裝架15在位于負載承載盒輸送帶11的下方設(shè)有空載承載盒輸送帶18。
[0024]操作方法:負載承載盒輸送帶11將負載有硅片的承載盒14向升降平臺13移動,豎向移動驅(qū)動裝置19動作,使升降平臺13與負載承載盒輸送帶11保持水平,承載盒14會被送至升降平臺13上,然后推送機構(gòu)20將承載盒14的硅片推出至硅片輸送帶12上,豎向移動驅(qū)動裝置19動作,使升降平臺13帶動承載盒14往上移動一定距離,使推送機構(gòu)20的推桿推出承載盒14的硅片,循環(huán)往復(fù)以將承載盒14內(nèi)的硅片清空。當(dāng)承載盒14內(nèi)的硅片被清空后,豎向移動驅(qū)動裝置19動作動作,使升降平臺13帶動空載的承載盒14下移,承載盒14移至空載承載盒輸送帶18,被空載承載盒輸送帶18送出。安裝架水平移動驅(qū)動缸17的作用是相對調(diào)整安裝架15與升降平臺13之間的距離。推送機構(gòu)20的操作方法具體為:驅(qū)動馬達7正轉(zhuǎn)時,驅(qū)動主動皮帶輪4轉(zhuǎn)動,主動皮帶輪4的轉(zhuǎn)動帶動皮帶6轉(zhuǎn)動,皮帶6的轉(zhuǎn)動帶動固定在皮帶6上的推桿固定部3沿著推桿固定部導(dǎo)軌8移動,從而帶動推桿2在導(dǎo)板9的導(dǎo)孔的限位下移動,當(dāng)推桿2的自由端的端部的推片凹部10接觸晶體硅片的端部時,將晶體硅片從硅片承載盤推出。驅(qū)動馬達7反轉(zhuǎn)時,推桿2歸位以進行下一次推片操作。
[0025]上述實施例只為說明本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思及特點,其目的在于讓熟悉此項技術(shù)的人士能夠了解本發(fā)明的內(nèi)容并據(jù)以實施,并不能以此限制本發(fā)明的保護范圍。凡根據(jù)本發(fā)明精神實質(zhì)所作的等效變化或修飾,都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種硅片推片裝置,其特征在于:包括推送機構(gòu)和承載盒輸送機構(gòu);所述推送機構(gòu)包括一推送機構(gòu)支架、推桿和推桿固定部;所述推送機構(gòu)支架的頂部設(shè)有一主動皮帶輪和一從動皮帶輪,所述主動皮帶輪和從動皮帶輪上套設(shè)有閉環(huán)的皮帶,所述主動皮帶輪的轉(zhuǎn)軸與一驅(qū)動馬達的輸出軸驅(qū)動連接;所述推桿一端固定在推桿固定部上,另一端為自由端,所述推桿固定部與皮帶固接;所述推送機構(gòu)支架的頂部沿主動皮帶輪和從動皮帶輪連線的方向設(shè)有推桿固定部導(dǎo)軌,所述推桿固定部滑動支撐于所述推桿固定部導(dǎo)軌上;所述承載盒輸送機構(gòu)包括水平設(shè)置的負載承載盒輸送帶、水平設(shè)置的硅片輸送帶和升降平臺;所述負載承載盒輸送帶和硅片輸送帶成夾角設(shè)置,所述升降平臺位于所述負載承載盒輸送帶和硅片輸送帶的夾角處;所述升降平臺作用有豎向移動驅(qū)動裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片推片裝置,其特征在于:所述負載承載盒輸送帶設(shè)置在一安裝架上,該安裝架水平滑動設(shè)置在安裝架導(dǎo)軌上,所述安裝架作用有安裝架水平移動驅(qū)動缸,所述安裝架導(dǎo)軌朝向所述升降平臺方向設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片推片裝置,其特征在于:所述安裝架在位于負載承載盒輸送帶的下方設(shè)有空載承載盒輸送帶。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片推片裝置,其特征在于:所述推送機構(gòu)支架的頂部設(shè)有導(dǎo)板,該導(dǎo)板開設(shè)有導(dǎo)孔,所述推桿插設(shè)在所述導(dǎo)孔內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片推片裝置,其特征在于:所述推桿的自由端的端部設(shè)有推片凹部。
【文檔編號】H01L21/677GK104465471SQ201410852060
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2014年12月31日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月31日
【發(fā)明者】邱文良 申請人:蘇州格林電子設(shè)備有限公司
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