一種堵片報(bào)警方法及系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種堵片報(bào)警方法,用于制絨機(jī)及濕法刻蝕機(jī)的堵片報(bào)警,先獲得硅片經(jīng)過進(jìn)片傳感器和出片傳感器所需的通過時(shí)間T;硅片先經(jīng)過進(jìn)片傳感器,進(jìn)片傳感器檢測到硅片后,經(jīng)過T時(shí)間后,判斷出片傳感器是否能夠檢測到硅片,若檢測到硅片,則硅片正常通過,若沒檢測到硅片,則設(shè)備發(fā)生了堵片,發(fā)出堵片報(bào)警信號(hào)。該堵片報(bào)警方法能夠及時(shí)準(zhǔn)確的提示設(shè)備內(nèi)是否發(fā)生堵片,使操作者及時(shí)發(fā)現(xiàn)設(shè)備內(nèi)發(fā)生了堵片并進(jìn)行處理,將損失降到最低,降低成本,同時(shí)避免了人工定時(shí)檢查,減少了操作者的工作量,并提高了安全性。本發(fā)明還提供了一種應(yīng)用上述堵片報(bào)警方法的堵片報(bào)警系統(tǒng)。
【專利說明】一種堵片報(bào)警方法及系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及光伏【技術(shù)領(lǐng)域】,特別是涉及一種堵片報(bào)警方法及系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]光伏組件作為太陽能的一種利用形式正在大規(guī)模的應(yīng)用,并形成了龐大的產(chǎn)業(yè),越來越多的光伏組件投入使用,為人類提供著清潔的電力能源。
[0003]光伏組件利用玻璃板、背板和EVA封裝電池片,電池片由硅片制成,硅片由硅錠切割而成,然后經(jīng)過表面制絨、擴(kuò)散制結(jié)、濕法刻蝕、沉積減反射膜、印刷燒結(jié)等工藝制成電池片。其中,制絨工序和濕法刻蝕工序所使用的設(shè)備均為鏈?zhǔn)缴a(chǎn)模式,即硅片從設(shè)備的一端進(jìn)入,從另一端離開,在經(jīng)過設(shè)備的過程中與酸堿等藥液反應(yīng)完成制絨工序和濕法刻蝕工序。
[0004]由于酸堿藥液均為危險(xiǎn)藥液,所以出于安全考慮,制絨機(jī)及濕法刻蝕機(jī)在設(shè)計(jì)上均設(shè)計(jì)成封閉形式,并且,由于強(qiáng)酸強(qiáng)堿的環(huán)境,不便于在設(shè)備內(nèi)部安裝傳感器,因此一旦發(fā)生堵片事故,操作人員很難及時(shí)發(fā)現(xiàn),從而不能使事故及時(shí)得到解決,嚴(yán)重浪費(fèi)了生產(chǎn)成本,影響產(chǎn)品質(zhì)量。
[0005]目前,通常采用人工定時(shí)檢查的方法來確定是否出現(xiàn)堵片現(xiàn)象,由于設(shè)備是封閉的,人工定時(shí)檢查的方法存在許多不確定性,不能保證及時(shí)發(fā)現(xiàn)堵片事故,另外,頻繁的人工檢查還增加了工作人員的工作量。
[0006]因此,如何能及時(shí)的發(fā)現(xiàn)堵片現(xiàn)象,又不增加工作人員的工作量,是本領(lǐng)域技術(shù)人員目前急需解決的技術(shù)問題。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0007]本發(fā)明的目的是提供一種堵片報(bào)警方法,該堵片報(bào)警方法能夠及時(shí)準(zhǔn)確的發(fā)現(xiàn)設(shè)備內(nèi)部是否發(fā)生堵片,提醒操作人員及時(shí)發(fā)現(xiàn)并處理堵片現(xiàn)象。本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供一種應(yīng)用上述堵片報(bào)警方法的堵片報(bào)警系統(tǒng)。
[0008]為了實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的,本發(fā)明提供了一種堵片報(bào)警方法,用于制絨機(jī)及濕法刻蝕機(jī)的堵片報(bào)警,包括以下步驟:
[0009]I)獲得硅片經(jīng)過進(jìn)片傳感器和出片傳感器所需的通過時(shí)間T ;
[0010]2)判斷所述進(jìn)片傳感器是否檢測到所述硅片,若是,進(jìn)入步驟3);若否,返回步驟2);
[0011]3)判斷T時(shí)間后所述出片傳感器是否檢測到所述硅片,若是,返回步驟2);若否,進(jìn)入步驟4);
[0012]4)發(fā)出堵片報(bào)警信號(hào)。
[0013]優(yōu)選地,步驟I)中還包括:
[0014]11)獲取所述進(jìn)片傳感器和所述出片傳感器之間的距離L ;
[0015]12)獲取所述硅片經(jīng)過所述進(jìn)片傳感器和所述出片傳感器的通過速度V ;
[0016]13)根據(jù)距離L和通過速度V計(jì)算所述硅片的通過時(shí)間T = L/V。
[0017]優(yōu)選地,步驟I)中還包括:
[0018]14)使一個(gè)硅片進(jìn)入制絨機(jī)及濕法刻蝕機(jī),所述進(jìn)片傳感器檢測到所述硅片時(shí),開始計(jì)時(shí);
[0019]15)所述出片傳感器檢測到所述硅片時(shí),計(jì)時(shí)結(jié)束,獲得所述硅片通過的實(shí)際時(shí)間T,;
[0020]16)判斷通過時(shí)間T是否等于實(shí)際時(shí)間T’,若等于,則進(jìn)入步驟2);若不等,則返回步驟11)。
[0021]優(yōu)選地,步驟4)中發(fā)出堵片報(bào)警信號(hào)的同時(shí),控制硅片停止進(jìn)入制絨機(jī)及濕法刻蝕機(jī)。
[0022]本發(fā)明提供了一種堵片報(bào)警系統(tǒng),用于制絨機(jī)及濕法刻蝕機(jī)的堵片報(bào)警,包括進(jìn)片傳感器、出片傳感器、控制器和報(bào)警器,所述進(jìn)片傳感器、所述出片傳感器和所述報(bào)警器均通過信號(hào)線與所述控制器相連;所述控制器能夠獲得硅片的通過時(shí)間,當(dāng)所述進(jìn)片傳感器檢測到所述硅片后,經(jīng)過所述通過時(shí)間后,所述控制器若未收到所述出片傳感器檢測到所述硅片的信號(hào),則控制所述報(bào)警器發(fā)出堵片報(bào)警信號(hào)。
[0023]優(yōu)選地,所述硅片通過傳輸滾輪移動(dòng),所述控制器根據(jù)所述進(jìn)片傳感器與所述出片傳感器之間的距離和所述傳輸滾輪的轉(zhuǎn)動(dòng)速度獲得所述硅片的通過時(shí)間。
[0024]優(yōu)選地,所述傳輸滾輪的轉(zhuǎn)動(dòng)由馬達(dá)控制,所述馬達(dá)通過信號(hào)線與所述控制器相連,以便所述控制器獲得所述傳輸滾輪的轉(zhuǎn)動(dòng)速度。
[0025]優(yōu)選地,所述報(bào)警器發(fā)出堵片報(bào)警信號(hào)時(shí),所述控制器控制所述馬達(dá)停止運(yùn)行。
[0026]本發(fā)明提供了一種堵片報(bào)警方法,用于制絨機(jī)及濕法刻蝕機(jī)的堵片報(bào)警,先獲得硅片經(jīng)過進(jìn)片傳感器和出片傳感器所需的通過時(shí)間T ;硅片先經(jīng)過進(jìn)片傳感器,進(jìn)片傳感器檢測到硅片后,經(jīng)過T時(shí)間后,判斷出片傳感器是否能夠檢測到硅片,若檢測到硅片,則硅片正常通過,若沒檢測到硅片,則設(shè)備發(fā)生了堵片,發(fā)出堵片報(bào)警信號(hào)。
[0027]硅片在傳輸滾輪上通過制絨機(jī)及濕法刻蝕機(jī),進(jìn)片傳感器位于傳輸滾輪的前端,硅片進(jìn)入設(shè)備前先經(jīng)過進(jìn)片傳感器,出片傳感器位于傳輸滾輪的后端,硅片完成工序從設(shè)備出來后經(jīng)過出片傳感器。進(jìn)片傳感器每檢測到一個(gè)硅片就傳遞給控制器一個(gè)信號(hào),控制器在T時(shí)間后判斷出片傳感器是否能夠檢測到硅片,以此來判斷設(shè)備內(nèi)部是否發(fā)生了堵片。該堵片報(bào)警方法能夠及時(shí)準(zhǔn)確的提示設(shè)備內(nèi)是否發(fā)生堵片,使操作者及時(shí)發(fā)現(xiàn)設(shè)備內(nèi)堵片并進(jìn)行處理,將損失降到最低,降低了成本,同時(shí)避免了人工定時(shí)檢查,減少了操作者的工作量,并提高了安全性。
[0028]本發(fā)明還提供了一種應(yīng)用上述堵片報(bào)警方法的堵片報(bào)警系統(tǒng),該堵片報(bào)警方法具有上述技術(shù)效果,故該堵片報(bào)警系統(tǒng)也具有相應(yīng)的技術(shù)效果。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0029]圖1為本發(fā)明所提供的堵片報(bào)警方法一種【具體實(shí)施方式】的流程圖;
[0030]圖2為本發(fā)明所提供的堵片報(bào)警方法另一種【具體實(shí)施方式】的流程圖;
[0031]圖3為本發(fā)明所提供的堵片報(bào)警系統(tǒng)一種【具體實(shí)施方式】的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0032]其中,圖3中的附圖標(biāo)記和部件名稱之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系如下所示:
[0033]傳輸滾輪I ;進(jìn)片傳感器2 ;出片傳感器3 ;報(bào)警器4 ;控制器5 ;馬達(dá)6 ;硅片7。
【具體實(shí)施方式】
[0034]本發(fā)明的核心是提供一種堵片報(bào)警方法,該堵片報(bào)警方法能夠及時(shí)準(zhǔn)確的發(fā)現(xiàn)設(shè)備內(nèi)部是否發(fā)生堵片,提醒操作人員及時(shí)發(fā)現(xiàn)并處理堵片現(xiàn)象。本發(fā)明的另一個(gè)核心是提供一種應(yīng)用上述堵片報(bào)警方法的堵片報(bào)警系統(tǒng)。
[0035]為了使本【技術(shù)領(lǐng)域】的人員更好地理解本發(fā)明方案,下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
[0036]請(qǐng)參考圖1和圖2,圖1為本發(fā)明所提供的堵片報(bào)警方法一種【具體實(shí)施方式】的流程圖,圖2為本發(fā)明所提供的堵片報(bào)警方法另一種【具體實(shí)施方式】的流程圖。
[0037]在一種具體的實(shí)施方式中,本發(fā)明提供了一種堵片報(bào)警方法,用于制絨機(jī)及濕法刻蝕機(jī)的堵片報(bào)警,包括以下步驟:
[0038]步驟S1:獲得硅片經(jīng)過進(jìn)片傳感器和出片傳感器所需的通過時(shí)間T ;
[0039]步驟S2:判斷所述進(jìn)片傳感器是否檢測到所述硅片,若是,進(jìn)入步驟S3 ;若否,返回步驟S2 ;
[0040]步驟S3:判斷T時(shí)間后所述出片傳感器是否檢測到所述硅片,若是,返回步驟S2 ;若否,進(jìn)入步驟S4;
[0041]步驟S4:發(fā)出堵片報(bào)警信號(hào)。
[0042]該堵片報(bào)警方法,先獲得硅片7經(jīng)過進(jìn)片傳感器2和出片傳感器3所需的通過時(shí)間T ;硅片7先經(jīng)過進(jìn)片傳感器2,進(jìn)片傳感器2檢測到硅片7后,經(jīng)過T時(shí)間后,判斷出片傳感器3是否能夠檢測到硅片7,若檢測到硅片7,則硅片7正常通過,若沒檢測到硅片7,則設(shè)備發(fā)生了堵片,發(fā)出堵片報(bào)警信號(hào)。
[0043]硅片7在傳輸滾輪I上通過制絨機(jī)及濕法刻蝕機(jī),進(jìn)片傳感器2位于傳輸滾輪I的前端,硅片7進(jìn)入設(shè)備前先經(jīng)過進(jìn)片傳感器2,出片傳感器3位于傳輸滾輪I的后端,硅片7完成工序從設(shè)備出來后經(jīng)過出片傳感器3。進(jìn)片傳感器2每檢測到一個(gè)硅片7就傳遞給控制器5 —個(gè)信號(hào),控制器5經(jīng)過T時(shí)間后判斷出片傳感器3是否能夠檢測到硅片7,以此來判斷設(shè)備內(nèi)部是否發(fā)生了堵片。
[0044]該堵片報(bào)警方法應(yīng)用在制絨機(jī)及濕法刻蝕機(jī)中,能夠及時(shí)準(zhǔn)確的提示設(shè)備內(nèi)是否發(fā)生堵片,使操作者及時(shí)發(fā)現(xiàn)設(shè)備內(nèi)堵片并進(jìn)行處理,將損失降到最低,降低了成本,同時(shí)避免了人工定時(shí)檢查,減少了操作者的工作量,并提高了安全性。
[0045]上述方法中,硅片7的通過時(shí)間T會(huì)由于硅片7的通過速度的不同而不同,可以采集硅片7的通過速度V,通過計(jì)算的方式獲得硅片7的通過時(shí)間T ;也可以先使一個(gè)硅片7通過,直接檢測硅片7的通過時(shí)間V。
[0046]另一種具體的實(shí)施方式中,本發(fā)明提供的堵片報(bào)警方法包括以下步驟:
[0047]步驟Sll:獲取所述進(jìn)片傳感器和所述出片傳感器之間的距離L ;
[0048]步驟S12:獲取所述硅片經(jīng)過所述進(jìn)片傳感器和所述出片傳感器的通過速度V ;
[0049]步驟S13:根據(jù)距離L和通過速度V計(jì)算所述硅片的通過時(shí)間T = L/V。
[0050]步驟S2:判斷所述進(jìn)片傳感器是否檢測到所述硅片,若是,進(jìn)入步驟S3 ;若否,返回步驟S2 ;
[0051]步驟S3:判斷T時(shí)間后所述出片傳感器是否檢測到所述硅片,若是,返回步驟S2 ;若否,進(jìn)入步驟S4;
[0052]步驟S4:發(fā)出堵片報(bào)警信號(hào)。
[0053]進(jìn)片傳感器2和出片傳感器3之間的距離L可以是確定的,也可以是可改變的,可以根據(jù)具體的需要設(shè)置。硅片7通常在傳輸滾輪I上通過設(shè)備,傳輸滾輪I的滾動(dòng)速度即為硅片7的通過速度V。
[0054]各部件均通過信號(hào)線與控制器5相連,硅片7通過設(shè)備前,先由控制器5獲取進(jìn)片傳感器2和出片傳感器3之間的距離L,控制器5繼續(xù)獲取傳輸滾輪I的滾動(dòng)速度V,然后,控制器5即可計(jì)算出硅片7正常通過所需的通過時(shí)間T。設(shè)備工作過程中,硅片7通過時(shí),控制器5根據(jù)通過時(shí)間T和進(jìn)片傳感器2、出片傳感器3的檢測信號(hào),判斷是否設(shè)備內(nèi)部是否發(fā)生堵片。
[0055]一種優(yōu)選的實(shí)施方式中,步驟SI中包括一下步驟:
[0056]步驟Sll:獲取所述進(jìn)片傳感器和所述出片傳感器之間的距離L ;
[0057]步驟S12:獲取所述硅片經(jīng)過所述進(jìn)片傳感器和所述出片傳感器的通過速度V ;
[0058]步驟S13:根據(jù)距離L和通過速度V計(jì)算所述硅片的通過時(shí)間T = L/V。
[0059]步驟S14:使一個(gè)硅片進(jìn)入制絨機(jī)及濕法刻蝕機(jī),所述進(jìn)片傳感器檢測到所述硅片時(shí),開始計(jì)時(shí);
[0060]步驟S15:所述出片傳感器檢測到所述硅片時(shí),計(jì)時(shí)結(jié)束,獲得所述硅片通過的實(shí)際時(shí)間T’ ;
[0061]步驟S16:判斷通過時(shí)間T是否等于實(shí)際時(shí)間T’,若等于,則進(jìn)入步驟S2 ;若不等,則返回步驟S11。
[0062]通過上述方式獲得硅片7的通過時(shí)間T后,先利用一個(gè)硅片7測試一下硅片7通過的實(shí)際時(shí)間T’,對(duì)比一下通過時(shí)間T和實(shí)際時(shí)間T’,如果二者相同或在允許的誤差范圍內(nèi),則設(shè)備開始工作;如果二者相差很大,則重新獲取硅片7的通過時(shí)間T。
[0063]另一種具體的實(shí)施方式中,步驟S4中發(fā)出堵片報(bào)警信號(hào)的同時(shí),控制硅片停止進(jìn)入制絨機(jī)及濕法刻蝕機(jī)。
[0064]發(fā)生堵片現(xiàn)象時(shí),報(bào)警器發(fā)出堵片報(bào)警信號(hào)的同時(shí)控制設(shè)備停止運(yùn)行,避免更多的硅片7進(jìn)入設(shè)備,避免硅片7在設(shè)備內(nèi)堆積,造成嚴(yán)重浪費(fèi)。
[0065]請(qǐng)參考圖3,圖3為本發(fā)明所提供的堵片報(bào)警系統(tǒng)一種【具體實(shí)施方式】的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0066]一種具體的實(shí)施方式中,本發(fā)明提供了一種堵片報(bào)警系統(tǒng),用于制絨機(jī)及濕法刻蝕機(jī)的堵片報(bào)警,包括進(jìn)片傳感器2、出片傳感器3、控制器5和報(bào)警器4,進(jìn)片傳感器2、出片傳感器3和報(bào)警器4均通過信號(hào)線與控制器5相連;控制器5能夠獲得硅片7的通過時(shí)間,當(dāng)進(jìn)片傳感器2檢測到硅片7后,經(jīng)過通過時(shí)間后,控制器5若未收到出片傳感器3檢測到硅片7的信號(hào),則控制報(bào)警器4發(fā)出堵片報(bào)警信號(hào)。
[0067]進(jìn)片傳感器2和出片傳感器3分別位于制絨機(jī)及濕法刻蝕機(jī)的傳輸滾輪I的兩端,控制器5能夠通過進(jìn)片傳感器2、出片傳感器3和通過時(shí)間判斷是否發(fā)生堵片,以便控制報(bào)警器4發(fā)出堵片報(bào)警信號(hào)。
[0068]硅片7在傳輸滾輪I上通過制絨機(jī)及濕法刻蝕機(jī),進(jìn)片傳感器2位于傳輸滾輪I的前端,硅片7進(jìn)入設(shè)備前先經(jīng)過進(jìn)片傳感器2,出片傳感器3位于傳輸滾輪I的后端,硅片7完成工序從設(shè)備出來后經(jīng)過出片傳感器3。
[0069]控制器5先獲得硅片7正常通過所需的通過時(shí)間T,硅片7經(jīng)過時(shí),先經(jīng)過進(jìn)片傳感器2,進(jìn)片傳感器2檢測到硅片7后,將信號(hào)傳遞給控制器5,經(jīng)過T時(shí)間后,控制器5判斷出片傳感器3是否傳來檢測到硅片7的信號(hào),如果硅片7正常通過,則T時(shí)間后,出片傳感器3能夠檢測到硅片7,否則,即設(shè)備內(nèi)部發(fā)生了堵片現(xiàn)象,控制器5便控制報(bào)警器4發(fā)出堵片報(bào)警信號(hào)。
[0070]進(jìn)片傳感器2每檢測到一個(gè)硅片7就傳遞給控制器5 —個(gè)信號(hào),控制器5經(jīng)過T時(shí)間后判斷出片傳感器3是否能夠檢測到硅片7,以此來判斷設(shè)備內(nèi)部是否發(fā)生了堵片。
[0071]該堵片報(bào)警系統(tǒng)應(yīng)用在制絨機(jī)及濕法刻蝕機(jī)中,能夠及時(shí)準(zhǔn)確的發(fā)現(xiàn)設(shè)備內(nèi)部是否發(fā)生堵片,提醒操作人員及時(shí)發(fā)現(xiàn)并處理堵片現(xiàn)象,將損失降到最低,降低了成本,同時(shí)避免了人工定時(shí)檢查,減少了操作者的工作量。
[0072]具體的,硅片7通過傳輸滾輪I移動(dòng),控制器5根據(jù)進(jìn)片傳感器2與出片傳感器3之間的距離和傳輸滾輪I的轉(zhuǎn)動(dòng)速度獲得硅片7的通過時(shí)間T。
[0073]進(jìn)片傳感器2和出片傳感器3之間的距離L可以是確定的,也可以是可改變的,可以根據(jù)具體的需要設(shè)置,二者均通過信號(hào)線與控制器5相連,控制器5能夠獲取進(jìn)片傳感器2和出片傳感器3之間的距離L。
[0074]硅片7通常在傳輸滾輪I上通過設(shè)備,傳輸滾輪I的滾動(dòng)速度即為硅片7的通過速度V,控制器5也能夠獲取傳輸滾輪I的滾動(dòng)速度V,即硅片7的通過速度V。
[0075]進(jìn)一步的,傳輸滾輪I的轉(zhuǎn)動(dòng)由馬達(dá)6控制,馬達(dá)6通過信號(hào)線與控制器5相連,馬達(dá)6的輸出速度可以通過信號(hào)線傳遞給控制器5,以便控制器5獲得傳輸滾輪I的轉(zhuǎn)動(dòng)速度。
[0076]具體的,報(bào)警器4發(fā)出堵片報(bào)警信號(hào)時(shí),控制器5控制馬達(dá)6停止運(yùn)行。發(fā)生堵片現(xiàn)象時(shí),報(bào)警器4發(fā)出堵片報(bào)警信號(hào)的同時(shí)控制設(shè)備停止運(yùn)行,避免更多的硅片7進(jìn)入設(shè)備,避免堵片后更多的娃片7在設(shè)備內(nèi)堆積,造成浪費(fèi)。
[0077]以上對(duì)本發(fā)明所提供的堵片報(bào)警方法及系統(tǒng)進(jìn)行了詳細(xì)介紹。本文中應(yīng)用了具體個(gè)例對(duì)本發(fā)明的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述,以上實(shí)施例的說明只是用于幫助理解本發(fā)明的方法及其核心思想。應(yīng)當(dāng)指出,對(duì)于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本發(fā)明原理的前提下,還可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行若干改進(jìn)和修飾,這些改進(jìn)和修飾也落入本發(fā)明權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種堵片報(bào)警方法,用于制絨機(jī)及濕法刻蝕機(jī)的堵片報(bào)警,其特征在于,包括以下步驟: 1)獲得硅片經(jīng)過進(jìn)片傳感器和出片傳感器所需的通過時(shí)間T; 2)判斷所述進(jìn)片傳感器是否檢測到所述硅片,若是,進(jìn)入步驟3);若否,返回步驟2); 3)判斷T時(shí)間后所述出片傳感器是否檢測到所述硅片,若是,返回步驟2);若否,進(jìn)入步驟4); 4)發(fā)出堵片報(bào)警信號(hào)。
2.如權(quán)利要求1所述的堵片報(bào)警方法,其特征在于,步驟I)中還包括: 11)獲取所述進(jìn)片傳感器和所述出片傳感器之間的距離L; 12)獲取所述硅片經(jīng)過所述進(jìn)片傳感器和所述出片傳感器的通過速度V; 13)根據(jù)距離L和通過速度V計(jì)算所述硅片的通過時(shí)間T= L/V。
3.如權(quán)利要求2所述的堵片報(bào)警方法,其特征在于,步驟I)中還包括: 14)使一個(gè)硅片進(jìn)入制絨機(jī)及濕法刻蝕機(jī),所述進(jìn)片傳感器檢測到所述硅片時(shí),開始計(jì)時(shí); 15)所述出片傳感器檢測到所述硅片時(shí),計(jì)時(shí)結(jié)束,獲得所述硅片通過的實(shí)際時(shí)間T’; 16)判斷通過時(shí)間T是否等于實(shí)際時(shí)間T’,若等于,則進(jìn)入步驟2);若不等,則返回步驟 11)。
4.如權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的堵片報(bào)警方法,其特征在于,步驟4)中發(fā)出堵片報(bào)警信號(hào)的同時(shí),控制硅片停止進(jìn)入制絨機(jī)及濕法刻蝕機(jī)。
5.一種堵片報(bào)警系統(tǒng),用于制絨機(jī)及濕法刻蝕機(jī)的堵片報(bào)警,其特征在于,包括進(jìn)片傳感器(2)、出片傳感器(3)、控制器(5)和報(bào)警器(4),所述進(jìn)片傳感器(2)、所述出片傳感器(3)和所述報(bào)警器(4)均通過信號(hào)線與所述控制器(5)相連;所述控制器(5)能夠獲得硅片(7)的通過時(shí)間,當(dāng)所述進(jìn)片傳感器(2)檢測到所述硅片(7)后,經(jīng)過所述通過時(shí)間后,所述控制器(5)若未收到所述出片傳感器(3)檢測到所述硅片(7)的信號(hào),則控制所述報(bào)警器(4)發(fā)出堵片報(bào)警信號(hào)。
6.如權(quán)利要求5所述的堵片報(bào)警系統(tǒng),其特征在于,所述硅片(7)通過傳輸滾輪(I)移動(dòng),所述控制器(5)根據(jù)所述進(jìn)片傳感器(2)與所述出片傳感器(3)之間的距離和所述傳輸滾輪(I)的轉(zhuǎn)動(dòng)速度獲得所述硅片(7)的通過時(shí)間。
7.如權(quán)利要求6所述的堵片報(bào)警系統(tǒng),其特征在于,所述傳輸滾輪(I)的轉(zhuǎn)動(dòng)由馬達(dá)(6)控制,所述馬達(dá)(6)通過信號(hào)線與所述控制器(5)相連,以便所述控制器(5)獲得所述傳輸滾輪(I)的轉(zhuǎn)動(dòng)速度。
8.如權(quán)利要求7所述的堵片報(bào)警系統(tǒng),其特征在于,所述報(bào)警器(4)發(fā)出堵片報(bào)警信號(hào)時(shí),所述控制器(5)控制所述馬達(dá)(6)停止運(yùn)行。
【文檔編號(hào)】H01L31/18GK104183671SQ201410448637
【公開日】2014年12月3日 申請(qǐng)日期:2014年9月4日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月4日
【發(fā)明者】李建朋, 吳成新, 王月超, 李永洋, 張繼偉, 楊曉超 申請(qǐng)人:天津英利新能源有限公司