基板處理裝置的故障監(jiān)視系統(tǒng)及基板處理裝置的故障監(jiān)視方法
【專利摘要】本發(fā)明提供用于監(jiān)視對被處理基板實施規(guī)定處理的基板處理裝置的故障的基板處理裝置的故障監(jiān)視系統(tǒng)，所述基板處理裝置的故障監(jiān)視系統(tǒng)具備：警報收集單元，其收集由所述基板處理裝置發(fā)出了的警報；和解析單元，其解析通過所述警報收集單元收集到的警報，并且在將一個軸設(shè)為確定警報發(fā)出部位的警報ID、將另一個軸設(shè)為規(guī)定的監(jiān)視期間的2維空間上作為表示各監(jiān)視期間的警報發(fā)出頻率的圖像而顯示。
【專利說明】基板處理裝置的故障監(jiān)視系統(tǒng)及基板處理裝置的故障監(jiān)視方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及基板處理裝置的故障監(jiān)視系統(tǒng)及基板處理裝置的故障監(jiān)視方法。

【背景技術(shù)】
[0002]以往，在半導體器件、平板顯示器用基板或者太陽能電池板等的制造中，使用多個基板處理裝置。例如，在半導體器件的制造中，使用半導體晶片的清洗裝置、涂覆顯影裝置、蝕刻裝置、成膜裝置、熱處理裝置等各種基板處理裝置(例如，參照專利文獻I。)。這樣的基板處理裝置中存在如下所述的裝置，即，該裝置構(gòu)成為在發(fā)生了某些故障的情況下發(fā)出警報來通知故障的發(fā)生。
[0003]然而，在基板處理裝置中，存在其結(jié)構(gòu)復雜的傾向，并且故障的發(fā)生也存在不僅發(fā)生單一部位的故障，而是在相互關(guān)聯(lián)的部位發(fā)生的混合故障、連鎖故障的傾向。例如，在對半導體晶片進行批量處理的熱處理爐中，有時警報發(fā)生部位涉及數(shù)千個部位。而且，當在這樣的基板處理裝置中發(fā)生了故障的情況下，難以對故障發(fā)生部位進行準確的確定和修理，從而要求裝置維護工程師具有較高的技巧。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0005]專利文獻
[0006]專利文獻1:日本特開2012-19156號公報


【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]如上所述，基板處理裝置存在其結(jié)構(gòu)復雜、難以進行故障發(fā)生部位的準確的確定和修理的問題。
[0008]本發(fā)明是為了解決上述以往的問題而提出的，其目的在于提供一種能夠?qū)逄幚硌b置中的故障發(fā)生部位進行準確的確定和修理的基板處理裝置的故障監(jiān)視系統(tǒng)及基板處理裝置的故障監(jiān)視方法。
[0009]本發(fā)明的基板處理裝置的故障監(jiān)視系統(tǒng)的一個方式是用于監(jiān)視對被處理基板實施規(guī)定處理的基板處理裝置的故障的基板處理裝置的故障監(jiān)視系統(tǒng)，所述基板處理裝置的故障監(jiān)視系統(tǒng)具備:警報收集單元，其收集在由所述基板處理裝置發(fā)出了的警報；和解析單元，其解析通過所述警報收集單元收集到的警報，并且在將一個軸設(shè)為確定警報發(fā)出部位的警報ID、將另一個軸設(shè)為規(guī)定的監(jiān)視期間的2維空間上作為表示各監(jiān)視期間的警報發(fā)出頻率的圖像而顯示。
[0010]本發(fā)明的基板處理裝置的故障監(jiān)視方法的一方式涉及用于監(jiān)視對被處理基板實施規(guī)定處理的基板處理裝置的故障的基板處理裝置的故障監(jiān)視方法，所述基板處理裝置的故障監(jiān)視方法具備:收集由所述基板處理裝置發(fā)出了的警報的警報收集工序；和解析通過所述警報收集工序收集到的警報，并且在將一個軸設(shè)為確定警報發(fā)出部位的警報ID、將另一個軸設(shè)為規(guī)定的監(jiān)視期間的2維空間上作為表示各監(jiān)視期間的警報發(fā)出頻率的圖像而顯示的工序。
[0011]根據(jù)本發(fā)明，能夠提供可對基板處理裝置中的故障發(fā)生部位進行準確的確定和修理的基板處理裝置的故障監(jiān)視系統(tǒng)及基板處理裝置的故障監(jiān)視方法。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1是表示本發(fā)明的一實施方式的結(jié)構(gòu)的圖。
[0013]圖2是表示警報發(fā)生狀況的圖表的例子的圖。
[0014]圖3是表示警報網(wǎng)格的顯示畫面的例子的圖。
[0015]圖4是表示警報網(wǎng)格的顯示畫面的例子的圖。
[0016]圖5是表示警報網(wǎng)格的顯示畫面的例子的圖。
[0017]圖6是表示顯示畫面的例子的圖。
[0018]圖7是表示顯示畫面的例子的圖。

【具體實施方式】
[0019]以下，參照圖面來說明本發(fā)明的實施方式。
[0020]圖1是表示本發(fā)明的一實施方式所涉及的基板處理裝置的故障監(jiān)視系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的圖。在圖1中，100是基板處理裝置的故障監(jiān)視系統(tǒng)，110、111是基板處理裝置，在本實施方式中是利用批量處理對半導體晶片實施熱處理的熱處理裝置(熱處理爐)?；逄幚硌b置的故障監(jiān)視系統(tǒng)100經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)線路120與基板處理裝置110、111連接。
[0021]基板處理裝置(熱處理裝置)110、111具備大致垂直地立起設(shè)置且下端作為爐口而開口的圓筒狀的熱處理爐、在晶片載體與石英制的晶片舟之間移栽半導體晶片的移栽機構(gòu)、使晶片舟上下移動來向熱處理爐內(nèi)加載或從熱處理爐卸載的晶舟升降機等公知的熱處理裝置的結(jié)構(gòu)。
[0022]而且構(gòu)成為，利用移栽機構(gòu)將晶片載體內(nèi)的半導體晶片移栽到晶片舟，利用晶舟升降機將該晶片舟向熱處理爐內(nèi)插入，將熱處理爐內(nèi)設(shè)為規(guī)定的氛圍并對其進行半導體晶片的熱處理。
[0023]另外，在基板處理裝置110、111的各部配置有警報機構(gòu)，例如構(gòu)成為，在半導體晶片的傳送中發(fā)生了故障的情況、在熱處理中發(fā)生了故障的情況等發(fā)生了各種故障的情況下，發(fā)出警報。分別在基板處理裝置110、111中配置有多個這樣的警報機構(gòu)，例如數(shù)千個。
[0024]其中，作為基板處理裝置110、111，除了熱處理裝置外，還能夠使用例如對半導體晶片(被處理基板)進行光刻膠的涂覆以及顯影的涂覆顯影裝置、進行半導體晶片(被處理基板)的蝕刻的蝕刻裝置、在半導體晶片(被處理基板)進行成膜的成膜裝置、清洗半導體晶片(被處理基板)的清洗裝置，另外，能夠應(yīng)用于對平板顯示器用基板或者太陽能電池板進行處理的基板處理裝置等中。
[0025]基板處理裝置的故障監(jiān)視系統(tǒng)100具備:警報收集器101、數(shù)據(jù)庫102、警報網(wǎng)格解析器103、圖案提取器104、圖案檢測器105。
[0026]警報收集器101具有經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)線路120，將由基板處理裝置110、111發(fā)出的警報全部收集并記錄的功能。
[0027]數(shù)據(jù)庫102存儲關(guān)于通過警報收集器101收集到的警報的發(fā)出的數(shù)據(jù)、后述的警報網(wǎng)格中的圖案的數(shù)據(jù)、關(guān)于與該圖案的數(shù)據(jù)建立關(guān)聯(lián)的修理的數(shù)據(jù)等。
[0028]警報網(wǎng)格解析器103具有基于通過警報收集器101收集到的由基板處理裝置110、111發(fā)出的警報的數(shù)據(jù)來制作并輸出后述的警報網(wǎng)格的功能。
[0029]圖案提取器104具有從后述的警報網(wǎng)格找出圖案的功能。
[0030]圖案檢測器105具有通過將警報ID、警報網(wǎng)格中的圖案的信息作為檢索鍵值而賦予，從而從存儲于數(shù)據(jù)庫102中的警報網(wǎng)格中的圖案的信息檢測候補圖案并輸出的功能。
[0031]其中，作為統(tǒng)一控制基板處理裝置110、111等多個基板處理裝置的系統(tǒng)，已知例如進行下述等處理的AGC(Advance Group Controller)等,其通過網(wǎng)絡(luò)線路120收集來自各基板處理裝置110、111等的所有過程數(shù)據(jù)，并進行過程數(shù)據(jù)的解析處理，并對該解析結(jié)果、過程數(shù)據(jù)進行集中監(jiān)控處理、進而將解析/統(tǒng)計結(jié)果反映在配方(Recipe)中。能夠構(gòu)成為，使構(gòu)成這樣的AGC的計算機具有上述的基板處理裝置的故障監(jiān)視系統(tǒng)100的警報收集器101、數(shù)據(jù)庫102、警報網(wǎng)格解析器103、圖案提取器104、圖案檢測器105的功能。
[0032]在基板處理裝置110、111中發(fā)出的警報經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)線路120被基板處理裝置的故障監(jiān)視系統(tǒng)100的警報收集器101收集，并收納在數(shù)據(jù)庫102中。利用警報網(wǎng)格解析器103，在規(guī)定的監(jiān)視期間、例如每日或者每周等對保存在數(shù)據(jù)庫102中的關(guān)于警報的信息進行合計。
[0033]而且，該每周的合計結(jié)果例如顯示在如圖2所示的警報發(fā)生狀況圖表的畫面上。在圖2中，在顯示于左側(cè)部分的表中，針對每個確定警報的發(fā)出部位的警報ID顯示發(fā)出的警報的總計次數(shù)、時間(累計時間)。另外，在圖2的右側(cè)部分中，將縱軸設(shè)為確定警報的發(fā)出部位的警報ID、將橫軸設(shè)為規(guī)定的監(jiān)視期間，在它們的2維空間內(nèi)，顯示從M(星期一)到S (星期日)為止的每日發(fā)出的警報的發(fā)出時刻(時間戳)。
[0034]圖3表示了基于上述的警報發(fā)出狀況圖表，通過警報網(wǎng)格解析器103制作并輸出的警報網(wǎng)格的顯示例。在該警報網(wǎng)格中，在將縱軸設(shè)為確定警報的發(fā)出部位的警報ID、將橫軸設(shè)為規(guī)定的監(jiān)視期間(在圖3中顯示的例子中是一周)的2維空間(警報網(wǎng)格)上，表示發(fā)出的警報的頻率的圖像成為將警報頻率的等高圖以2維方式顯示的圖像。
[0035]其中，圖3中，根據(jù)填充的圖案的不同來顯示警報的頻率，但是在實際的顯示圖像中，不是根據(jù)填充的圖案的不同來顯示頻率的不同，而是例如根據(jù)顏色的不同來表示頻率的不同。該情況下，例如，將警報發(fā)出次數(shù)為O的情況設(shè)為原色(例如，淡藍色)、將發(fā)出警報且頻率低的情況設(shè)為黃色、將發(fā)出警報且頻率在中等程度的情況設(shè)為橙色、將發(fā)出警報且頻率高的情況設(shè)為紅色等，根據(jù)不同的顏色表示不同的頻率。另外，除了顏色的不同之外，還可以根據(jù)顏色的濃淡來表示不同的頻率。
[0036]另外，如圖4所示，基于警報網(wǎng)格進行的顯示能夠構(gòu)成為，顯示不同的顏色并且顯示數(shù)值。其中，在圖4中也根據(jù)填充的圖案的差異來表示不同的顏色。
[0037]而且，在圖3所示的警報網(wǎng)格的例子是在將縱軸設(shè)為確定警報的發(fā)出部位的警報ID、將橫軸設(shè)為規(guī)定的監(jiān)視期間的2維空間(警報網(wǎng)格)上，以2維方式顯示的圖像作為警報頻率的等高圖的圖像，但是，例如如圖5所示的顯示畫面的例子那樣，還可以在除了顏色的不同(在圖5中是根據(jù)填充的圖案的不同來顯示)之外，在3維上根據(jù)立體的高度的不同顯示警報頻率的不同。
[0038]在圖3所示的警報網(wǎng)格的例中，橫軸方向表示了每周的警報發(fā)出的趨勢。另一方面，縱軸方向表示了同一周內(nèi)的警報之間的趨勢。這樣，若在將縱軸設(shè)為確定警報的發(fā)出部位的警報ID、將橫軸設(shè)為規(guī)定的監(jiān)視期間(在圖3所示的例子中是一周)的2維空間(警報網(wǎng)格)內(nèi)顯示警報頻率的等高圖(例如，根據(jù)色表示警報頻率)，則在視覺上，能夠?qū)⒛炒_定的警報變成從某時期起頻繁地發(fā)出的情況、若確定的警報變成頻繁地發(fā)出則其他警報也變成連鎖發(fā)出的情況等作為警報網(wǎng)格中的圖案來捕捉。
[0039]由此，能夠得到關(guān)于在跨越數(shù)周時間的過去的警報發(fā)出的狀態(tài)的推移和與確定的警報發(fā)出相關(guān)聯(lián)地發(fā)出的警報的信息，能夠?qū)收习l(fā)生部位進行更準確的確定。
[0040]另外，在伴隨警報發(fā)出而實際進行修理的情況下，將關(guān)于修理的信息，例如修理部位與修理的內(nèi)容、裝置維護工序師的姓名等錄入到數(shù)據(jù)庫102中。在該情況下，將修理的內(nèi)容與利用圖案提取器104提取出的警報網(wǎng)格中的圖案建立關(guān)聯(lián)地存儲。
[0041]如上所述，將關(guān)于伴隨警報的發(fā)出而實際進行的修理的信息錄入到數(shù)據(jù)庫102中，由此能夠針對每個警報網(wǎng)格中的圖案，積存該進行何種修理才能夠解決的信息。
[0042]例如，針對警報發(fā)出進行了修理，而在修理剛結(jié)束后沒有發(fā)出相同的警報，但是立即再次發(fā)出了相同的警報的情況相當于未對成為警報發(fā)出的根本原因的故障部分進行修理。相對于此，針對警報發(fā)出進行了修理，而在修理剛結(jié)束后和之后均未發(fā)生相同的警報發(fā)出的情況，相當于正確地進行了成為警報發(fā)出的根本原因的故障部分的修理。
[0043]通過將如上所述的信息積存在數(shù)據(jù)庫102中，能夠搭建將警報網(wǎng)格中的圖案與正確的修理方法建立關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)庫。由此，即使沒有具有較高的技巧的裝置維護工序師，也能夠正確地進行復雜的結(jié)構(gòu)的基板處理裝置110、111的修理。
[0044]即在進行修理時，利用圖案提取器104提取本次在警報網(wǎng)格中顯示的圖案，根據(jù)圖案檢測器105檢測在數(shù)據(jù)庫102內(nèi)是否保存有與該圖案相同的圖案。然后，在檢測到相同的圖案的情況下，從數(shù)據(jù)庫102讀出過去發(fā)生了該圖案時的應(yīng)對方法，例如修理的部位與修理的內(nèi)容,并顯示該內(nèi)容。由此,能夠提示針對故障需要修理的部位與修理的內(nèi)容。
[0045]另外，在出現(xiàn)了某警報網(wǎng)格的圖案后發(fā)生了較大的故障的事實的情況下，通過將其錄入到數(shù)據(jù)庫102中，從而能夠在下次出現(xiàn)了相同的警報網(wǎng)格的圖案時，預知之后發(fā)生的可能性高的較大的故障。由此，通過在較大的故障發(fā)生之前進行必要的修理等應(yīng)對，能夠防止較大的故障于未然。
[0046]另外，上述的警報的發(fā)出能夠大致分為機械類的警報和非機械類的警報。因此，例如如圖6所示，能夠在柱形圖上將機械類的警報和非機械類的警報的發(fā)出狀況分顏色(在圖6中是根據(jù)填充的種類來區(qū)別顯示)等來顯示。另外，該情況下，例如如圖7所示，還能夠?qū)C械類的警報和非機械類的警報的發(fā)出狀況分別以3維方式顯示。
[0047]另外，本發(fā)明并不限于上述的實施方式，還能夠進行各種變形。
[0048]例如，在上述的實施方式中，對獨立于基板處理裝置110、111地配置了基板處理裝置的故障監(jiān)視系統(tǒng)100的情況進行了說明，但是還能夠以將基板處理裝置的故障監(jiān)視系統(tǒng)100組裝在基板處理裝置110、111內(nèi)的方式配置。另外，在該情況下，還能夠讓用于控制基板處理裝置110、111的動作的控制用計算機內(nèi)具有警報收集器101、數(shù)據(jù)庫102、警報網(wǎng)格解析器103、圖案提取器104、圖案檢測器105的功能。
[0049]工業(yè)上的可利用性
[0050]本發(fā)明的基板處理裝置的故障監(jiān)視系統(tǒng)及基板處理裝置的故障監(jiān)視方法能夠用于半導體器件、平板顯示器用基板或者太陽能電池板等的制造領(lǐng)域等中。因此具有工業(yè)上的可利用性。
[0051]附圖標記說明
[0052]100...基板處理裝置的故障監(jiān)視系統(tǒng)；101...警報收集器；102...數(shù)據(jù)庫；103...警報網(wǎng)格解析器；104...圖案提取器；105...圖案檢測器；110、111...基板處理裝置；120...網(wǎng)絡(luò)線路。
【權(quán)利要求】
1.一種基板處理裝置的故障監(jiān)視系統(tǒng)，其用于監(jiān)視對被處理基板實施規(guī)定處理的基板處理裝置的故障， 其特征在于，具備: 警報收集單元，其收集由所述基板處理裝置發(fā)出了的警報；和解析單元，其解析通過所述警報收集單元收集到的警報，并且在將一個軸設(shè)為確定警報發(fā)出部位的警報ID、將另一個軸設(shè)為規(guī)定的監(jiān)視期間的2維空間上作為表示各監(jiān)視期間的警報發(fā)出頻率的圖像而顯示。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板處理裝置的故障監(jiān)視系統(tǒng)，其特征在于，具備: 圖案提取單元，其提取通過所述解析單元顯示的所述2維空間上的圖案；和 存儲單元，其將通過所述圖案提取單元提取出的圖案與關(guān)于修理內(nèi)容的信息建立關(guān)聯(lián)而存儲。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板處理裝置的故障監(jiān)視系統(tǒng)，其特征在于， 所述存儲單元存儲通過所述圖案提取單元提取出的圖案、和關(guān)于之后發(fā)生的故障的信肩、O
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的基板處理裝置的故障監(jiān)視系統(tǒng)，其特征在于，具備: 圖案檢測單元，其從通過所述圖案提取單元提取出的圖案中檢測在所述存儲單元中存儲的對應(yīng)的圖案。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的基板處理裝置的故障監(jiān)視系統(tǒng)，其特征在于， 通過不同的顏色來顯示警報發(fā)出頻率。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項所述的基板處理裝置的故障監(jiān)視系統(tǒng)，其特征在于， 所述基板處理裝置是清洗被處理基板的基板清洗裝置、對被處理基板進行光刻膠的涂覆以及顯影的涂覆顯影裝置、進行被處理基板的蝕刻的蝕刻裝置、對被處理基板進行成膜的成膜裝置、以及對被處理基板實施熱處理的熱處理裝置中的任意裝置。
7.一種基板處理裝置的故障監(jiān)視方法，其用于監(jiān)視對被處理基板實施規(guī)定處理的基板處理裝置的故障， 其特征在于，包括: 收集由所述基板處理裝置發(fā)出了的警報的警報收集工序；和 解析通過所述警報收集工序收集到的警報，并且在將一個軸設(shè)為確定警報發(fā)出部位的警報ID、將另一個軸設(shè)為規(guī)定的監(jiān)視期間的2維空間上作為表示各監(jiān)視期間的警報發(fā)出頻率的圖像而顯示的工序。
【文檔編號】H01L21/02GK104185893SQ201380016313
【公開日】2014年12月3日 申請日期:2013年3月14日 優(yōu)先權(quán)日:2012年3月26日
【發(fā)明者】波岡一朗 申請人:東京毅力科創(chuàng)株式會社