基板傳送裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型的基板傳送裝置至少包含有：入料區(qū)、出料區(qū)、加工區(qū)、第一軌道、第二軌道、第一搬動(dòng)模組以及第二搬動(dòng)模組，該加工區(qū)位于該入料區(qū)及出料區(qū)之間，該第一軌道位于該入料區(qū)及該加工區(qū)上方，且橫跨于該入料區(qū)及該加工區(qū)之間，該第二軌道位于該出料區(qū)及該加工區(qū)上方，且橫跨于該出料區(qū)及該加工區(qū)之間，該第一搬動(dòng)模組裝設(shè)于該第一軌道處，用以將位于入料區(qū)的基板傳送至該加工區(qū)，該第二搬動(dòng)模組裝設(shè)于該第二軌道處，用以將位于加工區(qū)的基板傳送至該出料區(qū)，以達(dá)到快速傳送具有提高產(chǎn)能的功效。
【專利說(shuō)明】基板傳送裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型有關(guān)一種基板傳送裝置，尤指一種可快速傳送基板，具有提高產(chǎn)能功效的基板傳送裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]按，在各種加工作業(yè)的流程中，加工對(duì)象的運(yùn)送是最重要也最繁瑣的步驟，利用輸送帶或機(jī)械手臂等，將加工對(duì)象移送至各個(gè)加工作業(yè)區(qū)中，進(jìn)行不同的加工作業(yè)，以將加工對(duì)象制造為成品后，完成加工作業(yè)的流程。
[0003]一般運(yùn)送裝置中，包括有至少一滑軌以及一機(jī)械手臂。該機(jī)械手臂設(shè)置于一滑軌上，且具有X與Y方向的自由度。其中該機(jī)械手臂可自一上游設(shè)備擷取一基板，并將其傳送至一加工設(shè)備的工作區(qū)進(jìn)行加工，待加工后，再由機(jī)械手臂將其載出，并送至下游設(shè)備進(jìn)行下一階段的制程，最后，再由該機(jī)械手臂至上游設(shè)備取一新基板加載工作區(qū)，進(jìn)行加工。
[0004]如前述的運(yùn)作模式，可以了解在該機(jī)械手臂將完成加工的基板載出時(shí)，新基板必須在工作區(qū)等待，如此一來(lái)，在更換過(guò)程的等待時(shí)間就造成了時(shí)間上的浪費(fèi)，進(jìn)而影響產(chǎn)量。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]本實(shí)用新型所解決的技術(shù)問(wèn)題即在提供一種基板傳送裝置，尤指一種可快速傳送基板，具有提高產(chǎn)能功效的基板傳送裝置。
[0006]本實(shí)用新型所采用的技術(shù)手段如下所述。
[0007]為達(dá)上揭目的，本實(shí)用新型的基板傳送裝置至少包含有:入料區(qū)、出料區(qū)、加工區(qū)、第一軌道、第二軌道、第一搬動(dòng)模組以及第二搬動(dòng)模組，該加工區(qū)位于該入料區(qū)及出料區(qū)的間，該第一軌道位于該入料區(qū)及該加工區(qū)上方，且橫跨于該入料區(qū)及該加工區(qū)之間，該第二軌道位于該出料區(qū)及該加工區(qū)上方，且橫跨于該出料區(qū)及該加工區(qū)之間，該第一搬動(dòng)模組裝設(shè)于該第一軌道處，用以將位于入料區(qū)的基板傳送至該加工區(qū)，該第二搬動(dòng)模組裝設(shè)于該第二軌道處，用以將位于加工區(qū)的基板傳送至該出料區(qū)，以達(dá)到快速傳送具有提高產(chǎn)能的功效。
[0008]為達(dá)上述目的，所述第一搬動(dòng)模組設(shè)有抓取件、上/下驅(qū)動(dòng)件以及橫向驅(qū)動(dòng)件，該上/下驅(qū)動(dòng)件與該抓取件連接，可控制該抓取件上下移動(dòng)，而該橫向驅(qū)動(dòng)件與該抓取件連接，可控制該抓取件沿該第一軌道形成橫向移動(dòng)。
[0009]為達(dá)上述目的，所述第二搬動(dòng)模組設(shè)有抓取件、上/下驅(qū)動(dòng)件以及橫向驅(qū)動(dòng)件，該上/下驅(qū)動(dòng)件與該抓取件連接，可控制該抓取件上下移動(dòng)，而該橫向驅(qū)動(dòng)件與該抓取件連接，可控制該抓取件沿該第二軌道形成橫向移動(dòng)。
[0010]上述的抓取件具有一基座以及位于該基座一側(cè)的復(fù)數(shù)吸嘴。
[0011]為達(dá)上述目的，所述上/下驅(qū)動(dòng)件具有一動(dòng)力件以及與該動(dòng)力件連接的伸縮桿，該伸縮桿與該抓取件的基座連接。[0012]本實(shí)用新型所產(chǎn)生的有益效果如下:可快速傳送基板，具有提高產(chǎn)能功效。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1為本實(shí)用新型中基板傳送裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖2為本實(shí)用新型中第一搬動(dòng)模組的動(dòng)作示意圖。
[0015]圖3為本實(shí)用新型中第一、第二搬動(dòng)模組同時(shí)橫向移動(dòng)的動(dòng)作示意圖。
[0016]圖4為本實(shí)用新型中第一、第二搬動(dòng)模組同時(shí)上下移動(dòng)的動(dòng)作示意圖。
[0017]圖5為本實(shí)用新型中第一、第二搬動(dòng)模組同時(shí)橫向移動(dòng)的另一動(dòng)作示意圖。
[0018]圖號(hào)說(shuō)明:
[0019]基板傳送裝置I
[0020]入料區(qū)10
[0021]出料區(qū)20
[0022]加工區(qū)30
[0023]第一軌道40
[0024]第二軌道50
[0025]第一搬動(dòng)模組60
[0026]抓取件61
[0027]基座611
[0028]吸嘴612
[0029]上/下驅(qū)動(dòng)件62
[0030]動(dòng)力件62I
[0031]伸縮桿622
[0032]橫向驅(qū)動(dòng)件63
[0033]第二搬動(dòng)模組70
[0034]抓取件71
[0035]基座711
[0036]吸嘴712
[0037]上/下驅(qū)動(dòng)件72
[0038]動(dòng)力件721
[0039]伸縮桿722
[0040]橫向驅(qū)動(dòng)件73
[0041]基板80。
【具體實(shí)施方式】
[0042]如圖1為本實(shí)用新型基板傳送裝置的結(jié)構(gòu)示意圖所示，本實(shí)用新型的基板傳送裝置I至少包含有:入料區(qū)10、出料區(qū)20、加工區(qū)30、第一軌道40、第二軌道50、第一搬動(dòng)模組60以及第二搬動(dòng)模組70。
[0043]如圖所示的實(shí)施例中，該加工區(qū)30位于該入料區(qū)10及出料區(qū)20之間；該第一軌道40位于該入料區(qū)10及該加工區(qū)30上方，且橫跨于該入料區(qū)10及該加工區(qū)30之間；該第二軌道50位于該出料區(qū)20及該加工區(qū)30上方，且橫跨于該出料區(qū)20及該加工區(qū)30之間。
[0044]該第一搬動(dòng)模組60裝設(shè)于該第一軌道40處，該第二搬動(dòng)模組70則裝設(shè)于該第二軌道50處，其中，該第一搬動(dòng)模組60設(shè)有抓取件61、上/下驅(qū)動(dòng)件62以及橫向驅(qū)動(dòng)件63，該抓取件61具有一基座611以及位于該基座611 —側(cè)的復(fù)數(shù)吸嘴612，該上/下驅(qū)動(dòng)件62與該抓取件61連接，該上/下驅(qū)動(dòng)件62具有一動(dòng)力件621以及與該動(dòng)力件621連接的伸縮桿622，該伸縮桿622與該抓取件的基座611連接，可控制該抓取件61上下移動(dòng)，而該橫向驅(qū)動(dòng)件63與該抓取件61連接，可控制該抓取件61沿該第一軌道40形成橫向移動(dòng)。
[0045]而該第二搬動(dòng)模組70與該第一搬動(dòng)模組60的結(jié)構(gòu)大致相同，同樣設(shè)有抓取件71、上/下驅(qū)動(dòng)件72以及橫向驅(qū)動(dòng)件73，該抓取件71具有一基座711以及位于該基座711 —側(cè)的復(fù)數(shù)吸嘴712，該上/下驅(qū)動(dòng)件72與該抓取件71連接，該上/下驅(qū)動(dòng)件72具有一動(dòng)力件721以及與該動(dòng)力件721連接的伸縮桿722，該伸縮桿722與該抓取件的基座711連接，可控制該抓取件71上下移動(dòng)，而該橫向驅(qū)動(dòng)件73與該抓取件71連接，可控制該抓取件71沿該第二軌道50形成橫向移動(dòng)。
[0046]整體使用時(shí)，如圖1所示，于該入料區(qū)10放置有復(fù)數(shù)重疊排列的基板80，先由該第一搬動(dòng)模組60將位于入料區(qū)10的基板傳送至該加工區(qū)30，先藉由該上/下驅(qū)動(dòng)件62使該抓取件61往下移動(dòng)，令該抓取件61的吸嘴612吸取該基板80，再利用該上/下驅(qū)動(dòng)件62使該抓取件61往上移動(dòng),并藉由該橫向驅(qū)動(dòng)件63作動(dòng)，使該抓取件61連同基板80橫向移動(dòng)至該加工區(qū)30之上，如圖2所示，再由該上/下驅(qū)動(dòng)件62使該抓取件61往下移動(dòng)，讓該基板80放置于該加工區(qū)30，以進(jìn)行加作業(yè)。如圖3所示，此時(shí)，該抓取件61則回復(fù)至該入料區(qū)10之上，而該第二搬動(dòng)模組70的抓取件71并同時(shí)移動(dòng)至該加工區(qū)30上方待命；當(dāng)然，亦可于該第一搬動(dòng)模組60的抓取件61以及第二搬動(dòng)模組70的抓取件71可于加工區(qū)30之上形成交錯(cuò)，進(jìn)一步縮短交換基板80的時(shí)間。
[0047]待位于加工區(qū)的基板80完成加工后，則由該第二搬動(dòng)模組70以將位于加工區(qū)的基板80傳送至該出料區(qū)20，藉由加工區(qū)30上方的上/下驅(qū)動(dòng)件72作動(dòng)，使該抓取件71往下移動(dòng)吸取該基板80，如圖4所示，再利用該上/下驅(qū)動(dòng)件72使該抓取件71往上移動(dòng)，并藉由該橫向驅(qū)動(dòng)件73作動(dòng)，如圖5所示，使該抓取件71連同基板80橫向移動(dòng)至該出料區(qū)20之上，再由該基板80放置于該加工區(qū)30。于該抓取件71連同基板80橫向移動(dòng)至該出料區(qū)20上方的同時(shí)，該第一搬動(dòng)模組60將位于入料區(qū)10的基板傳送至該加工區(qū)30。
[0048]故當(dāng)在第二搬動(dòng)模組由加工區(qū)將基板移出的同時(shí)，第一搬動(dòng)模組便馬上將下一基板傳送至加工區(qū)進(jìn)行加工，如此一來(lái)，即可提高加工區(qū)的效率。
【權(quán)利要求】
1.一種基板傳送裝置，其特征在于，至少包含有: 入料區(qū)； 出料區(qū)； 加工區(qū)，位于該入料區(qū)及出料區(qū)之間； 第一軌道，位于該入料區(qū)及該加工區(qū)上方，且橫跨于該入料區(qū)及該加工區(qū)之間； 第二軌道，位于該出料區(qū)及該加工區(qū)上方，且橫跨于該出料區(qū)及該加工區(qū)之間； 第一搬動(dòng)模組，裝設(shè)于該第一軌道處，用以將位于入料區(qū)的基板傳送至該加工區(qū)；以及 第二搬動(dòng)模組，裝設(shè)于該第二軌道處，用以將位于加工區(qū)的基板傳送至該出料區(qū)。
2.如權(quán)利要求1所述的基板傳送裝置，其特征在于，該第一搬動(dòng)模組設(shè)有抓取件、上/下驅(qū)動(dòng)件以及橫向驅(qū)動(dòng)件，該上/下驅(qū)動(dòng)件與該抓取件連接，可控制該抓取件上下移動(dòng)，而該橫向驅(qū)動(dòng)件與該抓取件連接，可控制該抓取件沿該第一軌道形成橫向移動(dòng)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的基板傳送裝置，其特征在于，該第二搬動(dòng)模組設(shè)有抓取件、上/下驅(qū)動(dòng)件以及橫向驅(qū)動(dòng)件，該上/下驅(qū)動(dòng)件與該抓取件連接，可控制該抓取件上下移動(dòng)，而該橫向驅(qū)動(dòng)件與該抓取件連接，可控制該抓取件沿該第二軌道形成橫向移動(dòng)。
4.如權(quán)利要求3所述的基板傳送裝置，其特征在于，該抓取件具有一基座以及位于該基座一側(cè)的復(fù)數(shù)吸嘴。
5.如權(quán)利要求3所述的基板傳送裝置，其特征在于，該上/下驅(qū)動(dòng)件具有一動(dòng)力件以及與該動(dòng)力件連接的伸縮桿，該伸縮桿與該抓取件的基座連接。
【文檔編號(hào)】H01L21/687GK203386735SQ201320422576
【公開(kāi)日】2014年1月8日 申請(qǐng)日期:2013年7月16日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月16日
【發(fā)明者】楊智強(qiáng) 申請(qǐng)人:威至科技股份有限公司