帶擴(kuò)張裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種帶擴(kuò)張裝置，其用于擴(kuò)張矩形的帶，其具備：第1夾持構(gòu)件，其夾持帶的第1邊；第2夾持構(gòu)件，其夾持帶的與第1邊對置的第2邊；第3夾持構(gòu)件，其夾持帶的與第1邊及第2邊垂直的第3邊；第4夾持構(gòu)件，其夾持帶的與第3邊對置的第4邊；和擴(kuò)張構(gòu)件，其使第1～第4夾持構(gòu)件分別在與夾持的各邊垂直的方向移動，第1～第4夾持構(gòu)件分別具有下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)，在下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)的上部和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)的下部配設(shè)有在沿著夾持的邊的方向旋轉(zhuǎn)的多個輥子，下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)中的任一方具備：支承塊，其將兩個輥子以具有預(yù)定間隔的方式支承為能夠旋轉(zhuǎn)；以及按壓構(gòu)件，其用于按壓支承塊的將兩個輥子的間隔二等分的作用位置。
【專利說明】帶擴(kuò)張裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及帶擴(kuò)張裝置，其用于擴(kuò)張粘貼有晶片的粘接帶，來對晶片賦予外力。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體器件制造工序中，在為大致圓板形狀的半導(dǎo)體晶片的表面由排列為格子狀的稱為間隔道的分割預(yù)定線劃分出多個區(qū)域，在該劃分出的區(qū)域中形成1C (集成電路)、LSI (大規(guī)模集成電路)等器件。然后，沿著間隔道來切斷半導(dǎo)體晶片，由此對形成有器件的區(qū)域進(jìn)行分割從而制造出一個個器件。另外，對于在藍(lán)寶石基板的表面層疊有氮化鎵類化合物半導(dǎo)體等的光器件晶片，也沿著預(yù)定的分割預(yù)定線來切斷，由此分割出一個個發(fā)光二極管、激光二極管等光器件，并廣泛利用到電氣設(shè)備。
[0003]作為分割所述半導(dǎo)體晶片或光器件晶片等被加工物的方法，以下方法被實用化:使用相對于該被加工物具有透射性的波長的脈沖激光光線，將聚光點對準(zhǔn)到需要分割的區(qū)域的內(nèi)部來進(jìn)行照射，在被加工物的內(nèi)部沿著間隔道連續(xù)地形成改性層，沿著由于形成有該改性層而強(qiáng)度降低的間隔道施加外力，由此分割被加工物(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。
[0004]并且，作為沿著由于形成有改性層而強(qiáng)度降低的間隔道施加外力的技術(shù)，在下述專利文獻(xiàn)2記載有以下技術(shù):擴(kuò)張粘貼有晶片的粘接帶，然后，在擴(kuò)張了粘接帶的狀態(tài)下將環(huán)狀框架圍繞被分割成一個個器件的晶片地粘貼到粘接帶。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)1:日本特許第3408805號公報
[0007]專利文獻(xiàn)2:日本特開2006-229021號公報
[0008]然而，記載于所述專利文獻(xiàn)2的對粘貼有晶片的粘接帶進(jìn)行擴(kuò)張的技術(shù)存在以下問題:由于是夾持粘接帶的對置的兩條邊進(jìn)行拉伸的方法，所以垂直的兩條邊縮小，從而使粘貼在粘接帶且分割成一個個的器件受到損傷。并且還存在以下問題:在夾持了垂直的兩條邊的狀態(tài)下拉伸對置的兩條邊時，粘接帶沒有充分?jǐn)U張。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]本發(fā)明是鑒于所述事實而完成的，其主要技術(shù)課題在于提供帶擴(kuò)張裝置，其即使夾持粘接帶的對置的兩條邊進(jìn)行拉伸而使粘接帶擴(kuò)張，垂直的兩條邊也不會縮小，并且即使在夾持了垂直的兩條邊的狀態(tài)下也能夠充分?jǐn)U張粘接帶。
[0010]為了解決上述主要技術(shù)課題，根據(jù)本發(fā)明，提供一種帶擴(kuò)張裝置，其用于擴(kuò)張矩形形狀的帶，所述帶擴(kuò)張裝置的特征在于，其具備:第1夾持構(gòu)件，其用于夾持帶的第1邊；第2夾持構(gòu)件，其用于夾持帶的與所述第1邊對置的第2邊；第3夾持構(gòu)件，其用于夾持帶的與所述第1邊以及所述第2邊垂直的第3邊；第4夾持構(gòu)件，其用于夾持帶的與所述第3邊對置的第4邊；以及擴(kuò)張構(gòu)件，其用于使所述第1夾持構(gòu)件、所述第2夾持構(gòu)件、所述第3夾持構(gòu)件以及所述第4夾持構(gòu)件分別在相對于所夾持的各邊垂直的方向移動，所述第1夾持構(gòu)件、所述第2夾持構(gòu)件、所述第3夾持構(gòu)件以及所述第4夾持構(gòu)件分別具有下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)，在所述下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)的上部配設(shè)有在沿著所夾持的邊的方向旋轉(zhuǎn)的多個輥子，在所述上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)的下部配設(shè)有在沿著所夾持的邊的方向旋轉(zhuǎn)的多個輥子，所述下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)中的任一方具備:支承塊，其將兩個輥子以具有預(yù)定間隔的方式支承為能夠旋轉(zhuǎn)；以及按壓構(gòu)件，其用于按壓所述支承塊的將兩個輥子的間隔二等分的作用位置。
[0011]所述按壓構(gòu)件由以下部分構(gòu)成:按壓塊，其將兩個支承塊支承成能夠分別在所述作用位置旋轉(zhuǎn)；以及促動器，其用于按壓所述按壓塊的將兩個支承塊的所述作用位置二等分的按壓位置。
[0012]在根據(jù)本發(fā)明構(gòu)成的帶擴(kuò)張裝置中，第1夾持構(gòu)件、第2夾持構(gòu)件、第3夾持構(gòu)件以及第4夾持構(gòu)件分別具有下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)，在下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)的上部配設(shè)有在沿著夾持的邊的方向旋轉(zhuǎn)的多個輥子，在上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)的下部配設(shè)有在沿著夾持的邊的方向旋轉(zhuǎn)的多個輥子，因此，在例如夾持粘接帶的第3邊以及第4邊進(jìn)行擴(kuò)張時，即使利用夾持與第3邊以及第4邊垂直的第1邊以及第2邊的第1夾持構(gòu)件以及第2夾持構(gòu)件的下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)以及上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)來進(jìn)行夾持，由于配設(shè)于下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)的多個輥子旋轉(zhuǎn)，所以能夠充分地擴(kuò)張粘接帶。此外，在夾持粘接帶的第1邊以及第2邊進(jìn)行擴(kuò)張時，即使利用夾持與第1邊以及第2邊垂直的第3邊以及第4邊的第3夾持構(gòu)件以及第4夾持構(gòu)件的下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)以及上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)來進(jìn)行夾持，由于配設(shè)于下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)的多個輥子旋轉(zhuǎn)，所以能夠充分地擴(kuò)張粘接帶。
[0013]此外，在基于本發(fā)明的帶擴(kuò)張裝置中，由于下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)中的任一方具備:支承塊，其將兩個輥子以具有預(yù)定間隔的方式支承為能夠旋轉(zhuǎn)；以及按壓構(gòu)件，其用于按壓支承塊的將兩個輥子的間隔二等分的作用位置，因此，由于對支承兩個輥子的多個支承塊分別在將兩個輥子的間隔二等分的作用位置進(jìn)行按壓，所以能夠借助成對的所有的兩個輥子、和配設(shè)在上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)或下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)的下側(cè)夾持部件的多個輥子，以均等的力來夾持粘接帶的各邊。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1是根據(jù)本發(fā)明而構(gòu)成的帶擴(kuò)張裝置的立體圖。
[0015]圖2是構(gòu)成圖1所示的帶擴(kuò)張裝置的上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)的主要部分立體圖。
[0016]圖3是將圖2所示的上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)的主要部分分解示出的立體圖。
[0017]圖4是放大表示構(gòu)成圖1所示的帶擴(kuò)張裝置的夾持構(gòu)件的下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)以及上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)的主要部分的主視圖。
[0018]圖5是使用圖1所示的帶擴(kuò)張裝置來實施的帶夾持工序的說明圖。
[0019]圖6是使用圖1所示的帶擴(kuò)張裝置來實施的第1帶擴(kuò)張工序的說明圖。
[0020]圖7是使用圖1所示的帶擴(kuò)張裝置來實施的第2帶擴(kuò)張工序的說明圖。
[0021]圖8是表示粘貼在實施了第1帶擴(kuò)張工序以及第2帶擴(kuò)張工序的粘接帶上的分割為一個一個的器件的狀態(tài)的說明圖。
[0022]圖9是使用圖1所示的帶擴(kuò)張裝置來實施的框架安裝工序的說明圖。
[0023]圖10是表示實施了圖9所示的框架安裝工序，并經(jīng)粘接帶將在分割為一個一個的器件之間形成有間隔(s)的晶片10支承在環(huán)狀框架的狀態(tài)的剖視圖。[0024]圖11是被帶擴(kuò)張裝置擴(kuò)張的粘接帶的俯視圖。
[0025]標(biāo)號說明
[0026]1:粘接帶；
[0027]2:帶擴(kuò)張裝置；
[0028]20:固定基座；
[0029]3:圓形的保持工作臺；
[0030]4a:第1夾持構(gòu)件；
[0031]4b:第2夾持構(gòu)件；[0032]4c:第3夾持構(gòu)件；
[0033]4d:第4夾持構(gòu)件；
[0034]41:可動基座；
[0035]42:下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)；
[0036]422:下側(cè)夾持部件；
[0037]423:棍子；
[0038]43:上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)；
[0039]433:棍子；
[0040]434:支承塊；
[0041]435:按壓構(gòu)件；
[0042]436:按壓塊；
[0043]437:促動器；
[0044]44:第1移動機(jī)構(gòu)；
[0045]45:第2移動機(jī)構(gòu)；
[0046]5a:第1帶擴(kuò)張構(gòu)件；
[0047]5b:第2帶擴(kuò)張構(gòu)件；
[0048]5c:第3帶擴(kuò)張構(gòu)件；
[0049]5d:第4帶擴(kuò)張構(gòu)件；
[0050]7:環(huán)狀框架；
[0051]10:晶片。
【具體實施方式】
[0052]以下，參照附圖對根據(jù)本發(fā)明構(gòu)成的帶擴(kuò)張裝置的優(yōu)選實施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0053]圖11表示被帶擴(kuò)張裝置擴(kuò)張的粘接帶的俯視圖。圖示的粘接帶1形成為正方形(矩形)，并具有--第1邊la、與該第1邊la對置的第2邊lb、與該第1邊la以及該第2邊lb垂直的第3邊lc、以及與該第3邊lc對置的第4邊Id。在像這樣形成的粘接帶1的表面涂布有粘接層，在該表面的中央部粘貼有晶片10。另外，在圖不的實施方式中，晶片10由這樣的半導(dǎo)體晶片構(gòu)成:在表面10a呈格子狀地形成有多個間隔道101，并且在通過該多個間隔道101劃分出的多個區(qū)域中分別形成有器件102，晶片10沿著間隔道101被分割成一個個器件102。
[0054]接著，參照圖1至圖3對擴(kuò)張粘接帶1的帶擴(kuò)張裝置進(jìn)行說明，所述粘接帶1上粘貼有所述的分割成一個個器件102的晶片10。
[0055]在圖1示出了根據(jù)本發(fā)明而構(gòu)成的帶擴(kuò)張裝置的一個實施方式的立體圖。
[0056]圖1所示的實施方式中的帶擴(kuò)張裝置2具有:固定基座20 ;圓形的保持工作臺3，其配設(shè)于該固定基座20的中央部上表面，用于裝載所述粘接帶1 ;第1夾持構(gòu)件4a、第2夾持構(gòu)件4b、第3夾持構(gòu)件4c和第4夾持構(gòu)件4d，它們用于夾持裝載于該保持工作臺3的所述粘接帶1 ;以及第1帶擴(kuò)張構(gòu)件5a、第2帶擴(kuò)張構(gòu)件5b、第3帶擴(kuò)張構(gòu)件5c和第4帶擴(kuò)張構(gòu)件5d，它們用于使該第1夾持構(gòu)件4a、該第2夾持構(gòu)件4b、該第3夾持構(gòu)件4c、該第4夾持構(gòu)件4d分別在圓形的保持工作臺3的徑向移動。此外，在圖示的實施方式中，第1夾持構(gòu)件4a夾持所述粘接帶1的第1邊la，第2夾持構(gòu)件4b夾持與第1邊la對置的第2邊lb，第3夾持構(gòu)件4c夾持與第1邊la和第2邊lb垂直的第3邊lc，第4夾持構(gòu)件4d夾持與第3邊lc對置的第4邊Id。此外，第1帶擴(kuò)張構(gòu)件5a、第2帶擴(kuò)張構(gòu)件5b、第3帶擴(kuò)張構(gòu)件5c和第4帶擴(kuò)張構(gòu)件5d使第1夾持構(gòu)件4a、第2夾持構(gòu)件4b、第3夾持構(gòu)件4c和第4夾持構(gòu)件4d分別沿著與所夾持的粘接帶1的各邊垂直的方向移動。
[0057]所述固定基座20形成為矩形形狀，在其上表面形成有相互隔開90度的角度地朝向所述圓形的保持工作臺3的中心形成的第1引導(dǎo)槽201a、第2引導(dǎo)槽201b、第3引導(dǎo)槽201c和第4引導(dǎo)槽201d。另外，固定基座20的形成有所述第1引導(dǎo)槽201a、第2引導(dǎo)槽201b、第3引導(dǎo)槽201c和第4引導(dǎo)槽201d的外周部形成為朝向外方突出。
[0058]借助支承構(gòu)件30將所述圓形的保持工作臺3支承在固定基座20的上表面。在圖示的實施方式中，該支承構(gòu)件30構(gòu)成為，使保持工作臺3能夠在上下方向移動。
[0059]分別將所述第1夾持構(gòu)件4a、第2夾持構(gòu)件4b、第3夾持構(gòu)件4c和第4夾持構(gòu)件4d配設(shè)于在所述固定基座20形成的第1引導(dǎo)槽201a、第2引導(dǎo)槽201b、第3引導(dǎo)槽201c和第4引導(dǎo)槽201d上。即，4個夾持構(gòu)件4a、4b、4c、4d在周方向彼此隔開相等角度地進(jìn)行配設(shè)。在圖示的實施方式中，像這樣配設(shè)于固定基座20上的第1夾持構(gòu)件4a、第2夾持構(gòu)件4b、第3夾持構(gòu)件4c和第4夾持構(gòu)件4d為相同的結(jié)構(gòu)，它們各自具有:可動基座41，其形成為L字狀；下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42以及上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43，它們以能夠在上下方向移動的方式安裝在該可動基座41 ;和第1移動機(jī)構(gòu)44以及第2移動機(jī)構(gòu)45，它們分別使該下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42以及上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43在上下方向移動。可動基座41由移動部411、以及從該移動部411的上表面立起設(shè)置而形成的支承部412構(gòu)成。在移動部411的下表面分別設(shè)置有與所述第1引導(dǎo)槽20la、第2引導(dǎo)槽20lb、第3引導(dǎo)槽201c和第4引導(dǎo)槽20Id嵌合的被引導(dǎo)軌道411a，該被引導(dǎo)軌道411a分別與所述第1引導(dǎo)槽201a、第2引導(dǎo)槽201b、第3引導(dǎo)槽201c和第4引導(dǎo)槽201d嵌合，由此可動基座41構(gòu)成為能夠分別沿著所述第1引導(dǎo)槽201a、第2引導(dǎo)槽201b、第3引導(dǎo)槽201c和第4引導(dǎo)槽201d在固定基座20移動。另外，在移動部411中貫穿地形成有內(nèi)螺紋411b。在所述支承部412的內(nèi)側(cè)面(相互對置的一側(cè)的面)設(shè)置有在上下方向延伸的導(dǎo)軌412a，在所述支承部412的外側(cè)面形成有在上下方向延伸的長槽412b。另外，在導(dǎo)軌412a形成有從內(nèi)側(cè)面到達(dá)所述長槽412b且在上下方向延伸的長孔 412c。
[0060]所述下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42由以下部分構(gòu)成:支承臂421，其配設(shè)成能夠沿著設(shè)置于所述可動基座41的支承部412的導(dǎo)軌412a移動；以及下側(cè)夾持部件422，其安裝于該支承臂421。在支承臂421的基端設(shè)置有與所述導(dǎo)軌412a嵌合的被引導(dǎo)槽421a，通過使該被引導(dǎo)槽421a與導(dǎo)軌412a嵌合，支承臂421構(gòu)成為能夠沿著可動基座41的支承部412的導(dǎo)軌412a在上下方向移動。另外，在支承臂421的基部設(shè)置有具有內(nèi)螺紋421b的內(nèi)螺紋塊421c，該內(nèi)螺紋塊421c以貫穿所述長孔412c的方式配設(shè)。在圖示的實施方式中，所述下側(cè)夾持部件422形成為長方體狀，并且朝向與被引導(dǎo)軌道411a垂直的方向配設(shè)長邊方向。在作為像這樣構(gòu)成的下側(cè)夾持部件422的夾持面?zhèn)鹊纳媳砻妫湓O(shè)有在下側(cè)夾持部件422的長邊方向旋轉(zhuǎn)的多個輥子423。
[0061]所述上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43具備:支承臂431，其配設(shè)成能夠沿著設(shè)置于所述可動基座41的支承部412的導(dǎo)軌412a移動；以及支承罩432，其安裝于該支承臂431。在支承臂431的基端設(shè)置有與所述導(dǎo)軌412a嵌合的被引導(dǎo)槽431a，通過使該被引導(dǎo)槽431a與導(dǎo)軌412a嵌合，支承臂431構(gòu)成為能夠在可動基座41的支承部412沿著導(dǎo)軌412a在上下方向移動。另外，在支承臂431的基部設(shè)置有具有內(nèi)螺紋431b的內(nèi)螺紋塊431c，該內(nèi)螺紋塊431c以貫穿所述長孔412c的方式配設(shè)。
[0062]參照圖2和圖3對上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43的配設(shè)在所述支承罩432內(nèi)的構(gòu)成部件進(jìn)行說明。圖2和圖3所示的上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43具備:支承塊434，其分別將兩個輥子433以具有預(yù)定的間隔的方式支承為能夠旋轉(zhuǎn)；以及按壓構(gòu)件435，其用于按壓該支承塊的將兩個輥子的間隔二等分的作用位置。支承塊434具備輥子支承部434a和按壓作用部434b，按壓作用部434b在該輥子支承部434a從上端水平延伸。在輥子支承部434a隔開預(yù)定間隔地配設(shè)有兩個支承軸433a，在這兩個支承軸433a分別以能夠旋轉(zhuǎn)的方式支承有輥子433。此夕卜，在構(gòu)成支承塊434的按壓作用部434b，在將兩個支承軸433a (兩個輥子433)的間隔二等分的作用位置設(shè)置有軸貫穿插入孔434c。這樣構(gòu)成的支承塊434以兩個為一對地被按壓構(gòu)件435按壓。
[0063]按壓構(gòu)件435由以下部分構(gòu)成:按壓塊436，其分別將兩個支承塊434以能夠旋轉(zhuǎn)的方式支承在作用位置；以及促動器437，其用于按壓該按壓塊436的將兩個支承塊434的作用位置二等分的按壓位置。按壓塊436由上壁436a、側(cè)壁436b和436c、以及端壁436d和436e構(gòu)成，形成為下側(cè)開放的箱狀。所述設(shè)置于構(gòu)成支承塊434的按壓作用部434b的軸貫穿插入孔434c分別以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與安裝于這樣形成的按壓塊436的側(cè)壁436b的兩根支承軸(未圖示)嵌合。在這樣構(gòu)成的按壓塊436的上壁436a，安裝有用于連結(jié)促動器437的一對連結(jié)部件438a、438b。在一個連結(jié)部件438a形成有貫穿插入孔438c，在另一個連結(jié)部件438b形成有螺紋孔438d。在圖示的實施方式中，促動器437由氣缸機(jī)構(gòu)構(gòu)成，在其活塞桿437a的末端部形成有連結(jié)孔437b。將這樣構(gòu)成的促動器437的活塞桿437a的末端部定位于一對連結(jié)部件438a、438b之間，將連結(jié)螺栓439貫穿插入到形成于一個連結(jié)部件438a的貫穿插入孔438c、和形成于活塞桿437a的末端部的連結(jié)孔437b，并與形成于另一個連結(jié)部件438b的螺紋孔438d螺合，由此，將構(gòu)成促動器437的活塞桿437a與安裝在按壓塊436的上壁436a的一對連結(jié)部件438a、438b連結(jié)。這樣構(gòu)成的促動器437安裝于所述支承罩432的上壁。
[0064]以所述方式構(gòu)成的上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43與所述下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42對置配設(shè)。并且，被多個支承塊434分別兩個兩個地支承的多個輥子433配設(shè)為與配設(shè)于所述下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42的下側(cè)夾持部件422的多個輥子423對置。
[0065]回到圖1繼續(xù)說明，使所述下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42在上下方向移動的第1移動機(jī)構(gòu)44由以下部分構(gòu)成:外螺紋桿441，其與導(dǎo)軌412a平行地配設(shè)于在所述可動基座41的支承部412形成的長槽412b內(nèi)，并與設(shè)置于所述支承臂421的基部的內(nèi)螺紋塊421c的內(nèi)螺紋421b螺合；軸支承件442，其配設(shè)于可動基座41的支承部412，且將外螺紋桿441的一端部支承為能夠旋轉(zhuǎn)；以及脈沖馬達(dá)443，其與外螺紋桿441的另一端相連結(jié)，并用于驅(qū)動外螺紋桿441旋轉(zhuǎn)。這樣構(gòu)成的第1移動機(jī)構(gòu)44驅(qū)動脈沖馬達(dá)443來使外螺紋桿441向一個方向或另一方向轉(zhuǎn)動，由此使下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42沿著導(dǎo)軌412a在上下方向移動。
[0066]使所述上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43在上下方向移動的第2移動機(jī)構(gòu)45是與所述第1移動機(jī)構(gòu)44同樣的結(jié)構(gòu)，其配設(shè)于第1移動機(jī)構(gòu)44的上側(cè)。S卩，第2移動機(jī)構(gòu)45由以下部分構(gòu)成:外螺紋桿451，其與導(dǎo)軌412a平行地配設(shè)于在所述可動基座41的支承部412形成的長槽412b內(nèi)，并與設(shè)置于所述支承臂431的基部的內(nèi)螺紋塊431c的內(nèi)螺紋431b螺合；軸支承件452，其配設(shè)于可動基座41的支承部412，且將外螺紋桿451的一端部支承為能夠旋轉(zhuǎn)；以及脈沖馬達(dá)453，其與外螺紋桿451的另一端相連結(jié)，并用于驅(qū)動外螺紋桿451旋轉(zhuǎn)。這樣構(gòu)成的第2移動機(jī)構(gòu)45驅(qū)動脈沖馬達(dá)453來使外螺紋桿451向一個方向或另一方向轉(zhuǎn)動，由此使上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43沿著導(dǎo)軌412a在上下方向移動。
[0067]用于使所述第1夾持構(gòu)件4a、第2夾持構(gòu)件4b、第3夾持構(gòu)件4c、第4夾持構(gòu)件4d分別沿著圓形的保持工作臺3的徑向移動的第1帶擴(kuò)張構(gòu)件5a、第2帶擴(kuò)張構(gòu)件5b、第3帶擴(kuò)張構(gòu)件5c、第4帶擴(kuò)張構(gòu)件5d分別沿著形成于所述固定基座20的所述第1引導(dǎo)槽201a、第2引導(dǎo)槽201b、第3引導(dǎo)槽201c、第4引導(dǎo)槽201d配設(shè)。所述第1帶擴(kuò)張構(gòu)件5a、第2帶擴(kuò)張構(gòu)件5b、第3帶擴(kuò)張構(gòu)件5c、第4帶擴(kuò)張構(gòu)件5d由以下部分構(gòu)成:外螺紋桿51，其分別配設(shè)為與第1引導(dǎo)槽201a、第2引導(dǎo)槽201b、第3引導(dǎo)槽201c、第4引導(dǎo)槽201d平行，并與形成于所述可動基座41的移動部411的內(nèi)螺紋411b螺合；軸支承件52，其配設(shè)于所述固定基座20，并將外螺紋桿51的一端部支承為能夠旋轉(zhuǎn)；以及脈沖電動機(jī)53，其與外螺紋桿51的另一端連結(jié)，用于驅(qū)動外螺紋桿51旋轉(zhuǎn)。通過分別驅(qū)動脈沖電動機(jī)53來使外螺紋桿51向一個方向或另一個方向轉(zhuǎn)動，以上述方式構(gòu)成的第1帶擴(kuò)張構(gòu)件5a、第2帶擴(kuò)張構(gòu)件5b、第3帶擴(kuò)張構(gòu)件5c、第4帶擴(kuò)張構(gòu)件5d使第1夾持構(gòu)件4a、第2夾持構(gòu)件4b、第3夾持構(gòu)件4c、第4夾持構(gòu)件4d分別沿著圓形的保持工作臺3的徑向移動。
[0068]圖1至圖3所示的實施方式中的帶擴(kuò)張裝置2如上所述地構(gòu)成，以下對其作用進(jìn)行說明。
[0069]通過未圖示的搬送裝置將所述圖11所示的在表面中央部粘貼有晶片10 (分割成了一個個器件102)的粘接帶1裝載到保持工作臺3上。這時粘接帶1裝載成第1邊la朝向第1夾持構(gòu)件4a，第2邊lb朝向第2夾持構(gòu)件4b，第3邊lc朝向第3夾持構(gòu)件4c，第4邊Id朝向第4夾持構(gòu)件4d。另外，這時保持工作臺3的上表面定位于構(gòu)成所述第1夾持構(gòu)件4a、第2夾持構(gòu)件4b、第3夾持構(gòu)件4c和第4夾持構(gòu)件4d的下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42的下側(cè)夾持部件422與上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43的多個支承塊434的中間位置的高度。
[0070]接著，使第1帶擴(kuò)張構(gòu)件5a、第2帶擴(kuò)張構(gòu)件5b、第3帶擴(kuò)張構(gòu)件5c和第4帶擴(kuò)張構(gòu)件5d進(jìn)行動作，來將第1夾持構(gòu)件4a、第2夾持構(gòu)件4b、第3夾持構(gòu)件4c和第4夾持構(gòu)件4d的下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42以及上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43定位到能夠夾持粘接帶1的位置。然后，使構(gòu)成第1夾持構(gòu)件4a、第2夾持構(gòu)件4b、第3夾持構(gòu)件4c和第4夾持構(gòu)件4d的第1移動機(jī)構(gòu)44以及第2移動機(jī)構(gòu)45進(jìn)行動作，并使構(gòu)成上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43的促動器437進(jìn)行動作來經(jīng)由按壓塊436將支承塊434向下方按壓。其結(jié)果是，如圖4以及圖5所示，借助配設(shè)于下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42的下側(cè)夾持部件422的多個輥子423、和分別被支承塊434 (參照圖3)支承的兩個兩個的輥子433，來夾持粘接帶1的各邊(帶夾持工序)，所述支承塊434被上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43的多個按壓塊436分別按壓。此時，由于對支承兩個兩個的輥子433的多個支承塊434分別在將兩個輥子433的間隔二等分的作用位置進(jìn)行按壓，因此，能夠借助成對的所有的兩個輥子433、和配設(shè)在下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42的下側(cè)夾持部件422的多個輥子423，以均等的力來夾持粘接帶1的各邊。
[0071]在如圖4以及圖5所示，借助配設(shè)于下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42的下側(cè)夾持部件422的多個輥子423、和分別支承在被上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43的多個按壓塊436分別按壓的支承塊434的兩個兩個的輥子433來夾持了粘接帶1的各邊之后，例如使第3帶擴(kuò)張構(gòu)件5c以及第4帶擴(kuò)張構(gòu)件5d進(jìn)行動作，如圖6所示，使構(gòu)成第3夾持構(gòu)件4c以及第4夾持構(gòu)件4d的下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42以及上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43沿在圖6中以箭頭A1以及A2所示的方向(圖6中為左右方向)移動。其結(jié)果為，粘接帶1在箭頭A1以及A2所示的方向(圖6中為左右方向)被拉伸而擴(kuò)張(第1帶擴(kuò)張工序)。這時，第1夾持構(gòu)件4a以及第2夾持構(gòu)件4b的在構(gòu)成下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42的下側(cè)夾持部件422配設(shè)的多個輥子423、和在被構(gòu)成上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43的多個按壓塊436分別按壓的支承塊434分別支承的2個輥子433配設(shè)為在長邊方向(沿著第1邊la以及第2邊lb的方向)旋轉(zhuǎn)，所述第1夾持構(gòu)件4a以及第2夾持構(gòu)件4b夾持粘接帶1的與被構(gòu)成第3夾持構(gòu)件4c以及第4夾持構(gòu)件4d的下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42以及上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43夾持的第3邊lc和第4邊Id垂直的第1邊la以及第2邊lb，因此當(dāng)粘接帶1在箭頭A1以及A2所示的方向(圖6中為左右方向)被拉伸而擴(kuò)張時，在構(gòu)成下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42的下側(cè)夾持部件422配設(shè)的多個輥子423、以及在被構(gòu)成上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43的多個按壓塊436分別按壓的支承塊434分別支承的2個輥子433旋轉(zhuǎn)。因此，在夾持粘接帶1的第3邊lc以及第4邊Id進(jìn)行擴(kuò)張時，即使利用夾持與第3邊lc以及第4邊Id垂直的第1邊la以及第2邊lb的第1夾持構(gòu)件4a以及第2夾持構(gòu)件4b的下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42以及上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43來進(jìn)行夾持，由于在構(gòu)成下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42的下側(cè)夾持部件422配設(shè)的多個輥子423、以及在被構(gòu)成上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43的多個按壓塊436分別按壓的支承塊434分別支承的2個輥子433旋轉(zhuǎn)，所以能夠充分地擴(kuò)張粘接帶1。
[0072]接著，在所述圖6所示的夾持粘接帶1的第3邊lc以及第4邊Id進(jìn)行了擴(kuò)張的狀態(tài)下，如圖7所示，使構(gòu)成第1夾持構(gòu)件4a以及第2夾持構(gòu)件4b的下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42以及上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43在圖7中箭頭B1以及B2所示的方向(圖7中為上下方向)移動。其結(jié)果為，粘接帶1在箭頭B1以及B2所示的方向(圖7中為上下方向)被拉伸而擴(kuò)張(第2帶擴(kuò)張工序)。這時，第3夾持構(gòu)件4c以及第4夾持構(gòu)件4d的在下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42的下側(cè)夾持部件422配設(shè)的多個輥子423、和在被上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43的多個按壓塊436分別按壓的支承塊434分別支承的2個輥子433配設(shè)為在長邊方向(沿著第3邊lc以及第4邊Id的方向)旋轉(zhuǎn)，所述第3夾持構(gòu)件4c以及第4夾持構(gòu)件4d夾持粘接帶1的與被構(gòu)成第1夾持構(gòu)件4a以及第2夾持構(gòu)件4b的下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42以及上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43夾持的第1邊la和第2邊lb垂直的第3邊lc以及第4邊ld，因此當(dāng)粘接帶1在箭頭B1以及B2所示的方向(圖7中為上下方向)被拉伸而擴(kuò)張時，在構(gòu)成下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42的下側(cè)夾持部件422配設(shè)的多個輥子423、以及在被構(gòu)成上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43的多個按壓塊436分別按壓的支承塊434分別支承的2個輥子433旋轉(zhuǎn)。因此，在夾持粘接帶1的第1邊la以及第2邊lb進(jìn)行擴(kuò)張時，即使利用夾持與第1邊la以及第2邊lb垂直的第3邊lc以及第4邊Id的第3夾持構(gòu)件4c以及第4夾持構(gòu)件4d的下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42以及上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43來進(jìn)行夾持，由于在構(gòu)成下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42的下側(cè)夾持部件422配設(shè)的多個輥子423、以及在被構(gòu)成上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43的多個按壓塊436分別按壓的支承塊434分別支承的2個輥子433旋轉(zhuǎn)，所以能夠充分地擴(kuò)張粘接帶1。
[0073]另外，在所述的實施方式中，示出了這樣的例子:在夾持了粘接帶1的第1邊la以及第2邊lb與第3邊lc以及第4邊Id的狀態(tài)下，分開實施擴(kuò)張粘接帶1的第3邊lc以及第4邊Id的第1帶擴(kuò)張工序、與擴(kuò)張粘接帶1的第1邊la以及第2邊lb的第2帶擴(kuò)張工序，但是也可以同時實施第1帶擴(kuò)張工序與第2帶擴(kuò)張工序。
[0074]通過如上所述擴(kuò)張粘接帶1的第3邊lc以及第4邊Id與第1邊la以及第2邊lb，如圖8所示，在粘貼于粘接帶1的晶片10被分割成一個一個而得到的器件102之間，形成有間隙S。
[0075]另外，即使在器件的縱向尺寸以及橫向尺寸不同，配設(shè)于晶片的器件的縱列和橫列的數(shù)量不同時，通過與配設(shè)的器件數(shù)量對應(yīng)地調(diào)整粘接帶1的第1邊la和第2邊lb的擴(kuò)張量、以及第3邊lc和第4邊Id擴(kuò)張量，能夠使分割成一個一個的器件之間的間隙S恒定，并且能夠使間隙形成在一條直線上。
[0076]接著，在所述粘貼于粘接帶1的晶片10被分割成一個一個而形成的器件102之間形成有間隙s的狀態(tài)下，如圖9所示，將具有收納晶片10的大小的開口部70的環(huán)狀框架7安裝到粘接帶1的涂布有粘接層的表面(框架安裝工序)。其結(jié)果為，如圖10所示，在分割成一個一個的器件102之間形成有間隔(s)的晶片10被收納到環(huán)狀框架7的開口部70，并經(jīng)粘接帶1由環(huán)狀框架7支承。像這樣，在將環(huán)狀框架7安裝到粘接帶1的表面后，沿著環(huán)狀框架7的外周切斷粘接帶1。然后，將經(jīng)粘接帶1支承在環(huán)狀框架7的晶片10 (在器件102之間形成有間隔(s))搬送至拾取器件的拾取工序。
[0077]以上，根據(jù)圖示的實施方式對本發(fā)明進(jìn)行了說明，但是本發(fā)明并不僅僅限定于實施方式，能夠在本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變形。在所述的實施方式中，示出了以下例子:將多個支承塊434和多個按壓構(gòu)件435配設(shè)在上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43，多個支承塊434將兩個輥子433支承為能夠旋轉(zhuǎn)，多個按壓構(gòu)件435按壓多個支承塊434，但是也可以將多個支承塊434和多個按壓構(gòu)件435配設(shè)在下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42。
[0078]此外，在所述實施方式中，示出了對粘貼有沿著間隔道101分割后的晶片10的粘接帶1進(jìn)行擴(kuò)張的例子，但是，本發(fā)明的帶擴(kuò)張裝置也可以應(yīng)用于以下情況:對粘貼有沿著間隔道101在內(nèi)部形成有改性層的晶片的粘接帶進(jìn)行擴(kuò)張，從而沿著形成有改性層的間隔道分割晶片。
【權(quán)利要求】
1.一種帶擴(kuò)張裝置，其用于擴(kuò)張矩形形狀的帶，所述帶擴(kuò)張裝置的特征在于，其具備:第1夾持構(gòu)件，其用于夾持帶的第1邊；第2夾持構(gòu)件，其用于夾持帶的與所述第1邊對置的第2邊；第3夾持構(gòu)件，其用于夾持帶的與所述第1邊以及所述第2邊垂直的第3邊；第4夾持構(gòu)件，其用于夾持帶的與所述第3邊對置的第4邊；以及擴(kuò)張構(gòu)件，其用于使所述第1夾持構(gòu)件、所述第2夾持構(gòu)件、所述第3夾持構(gòu)件以及所述第4夾持構(gòu)件分別在相對于所夾持的各邊垂直的方向移動，所述第1夾持構(gòu)件、所述第2夾持構(gòu)件、所述第3夾持構(gòu)件以及所述第4夾持構(gòu)件分別具有下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)，在所述下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)的上部配設(shè)有在沿著所夾持的邊的方向旋轉(zhuǎn)的多個輥子，在所述上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)的下部配設(shè)有在沿著所夾持的邊的方向旋轉(zhuǎn)的多個輥子，所述下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)中的任一方具備:支承塊，其將兩個輥子以具有預(yù)定間隔的方式支承為能夠旋轉(zhuǎn)；以及按壓構(gòu)件，其用于按壓所述支承塊的將兩個輥子的間隔二等分的作用位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶擴(kuò)張裝置，其中，所述按壓構(gòu)件由以下部分構(gòu)成:按壓塊，其將兩個支承塊支承成能夠分別在作用位置旋轉(zhuǎn)；以及促動器，其用于按壓所述按壓塊的將兩個支承塊的作用位置二等分的按壓位置。
【文檔編號】H01L21/301GK103681292SQ201310435231
【公開日】2014年3月26日 申請日期:2013年9月23日 優(yōu)先權(quán)日:2012年9月24日
【發(fā)明者】高澤徹 申請人:株式會社迪思科