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背照式圖像傳感器及其制作方法與流程

文檔序號(hào):12039838閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種背照式圖像傳感器及其制作方法,所述背照式圖像傳感器包括:硅片層,其包括用于感光產(chǎn)生電信號(hào)的光電二極管,所述硅片層具有正表面和背表面;后端層,其設(shè)置于所述硅片層的正表面,所述后端層包括晶體管柵極、柵氧化層、導(dǎo)線層和介電層;入光層,其包括微透鏡層和濾光膜層,所述入光層設(shè)置于所述硅片層背表面;所述后端層還包括:吸光層,其設(shè)置于所述后端層預(yù)設(shè)位置,所述吸光層用于吸收從硅片層透射過(guò)來(lái)的光線。本發(fā)明采用的吸光層吸收從器件層透射過(guò)來(lái)的光線,由此大大降低透射光線被反射到其他像素的機(jī)會(huì),從而降低相鄰像素之間的相互串?dāng)_。

技術(shù)研發(fā)人員:趙立新
受保護(hù)的技術(shù)使用者:格科微電子(上海)有限公司
文檔號(hào)碼:201310294893
技術(shù)研發(fā)日:2013.07.15
技術(shù)公布日:2016.12.28

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