晶粒重排的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明為一種晶粒重排機，其包括有一機架，在機架上設有載片架及膠墊，所述載片架上可置放供承載膠膜的載片，在機架上設有載片移動機構、影像判讀裝置、頂針裝置及一轉(zhuǎn)印臺，所述影像判讀裝置辨別所述膠膜上的合格晶粒位置后，由所述頂針裝置將所述合格晶粒依序頂至所述膠墊上，再由所述膠墊配合所述轉(zhuǎn)印臺將所述晶粒轉(zhuǎn)印至另一膠膜上，借此達到自動化排列晶粒的目的，可降低現(xiàn)有人為操作的作業(yè)成本及因誤差導致的損耗，提供更低的作業(yè)成本及更佳的產(chǎn)出合格率。
【專利說明】晶粒重排機

【技術領域】
[0001] 本發(fā)明關于晶片制造流程，特別涉及一種用于將檢收后的晶粒重新排列的晶粒重 排機。

【背景技術】
[0002] 半導體的主要制造流程可分為1C設計、晶片制造流程、晶片測試及晶片封裝等。 其中，在晶片測試時，是以一測試機對晶片進行測試，該測試機上設置有檢測頭，在檢測頭 上設有多個探針，當探針與晶粒上的接點接觸時可測試晶粒的電氣特性，測試不合格的晶 粒會被標上記號，在該晶片上粘貼一膠帶并置放在一鋼制框架上，而后送入晶片切割機中 進行切割，當晶片以晶粒為單位切割為獨立的晶粒后，標有記號的不合格晶粒即會被淘汰 排除，而不再進行下一個制造流程。
[0003] 現(xiàn)有技術中在排除不合格的晶粒時，通常以人工方式進行，將不合格的晶粒先予 以排除，再以吸取方式將合格晶粒一粒粒地在膠帶上重新排列整齊，然而，此步驟中需要相 當高昂的人力成本，且人為操作上的疏失更會造成晶粒的損耗，因此現(xiàn)有技術在排除不合 格晶粒及將其重新排列的方式實有待加以改進。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 有鑒于現(xiàn)有技術在重新排列晶粒時必須以人力進行，不僅人力成本高昂且會額外 造成損耗的缺點，本發(fā)明的目的是設計有一種晶粒重排機，其可達到自動化地進行晶粒排 列的效果。
[0005] 為達到上述的發(fā)明目的，本發(fā)明的晶粒重排機所運用的技術手段包括有：設置一 機架、一載片架、一載片移動機構、一頂針裝置、一頂座、一影像判讀裝置、一膠墊、一轉(zhuǎn)印臺 及一控制裝置；該機架上設有一安裝平臺及一升降機構，在該第一安裝平臺上設置有一承 架，該升降機構上設有一升降臺；
[0006] 該載片架上設有多個供置放載片的片槽，該載片架設置在該升降臺上；
[0007] 該載片移動機構包括有一移動盤及一夾持機構，該移動盤可移動地設置在安裝平 臺上，該移動盤上間隔設有兩根承桿，所述兩根承桿可供載片的兩側(cè)片緣置放，該夾持機構 設置在該移動盤上，該夾持機構可移動夾持位于載片架上的載片并將載片移動至所述兩根 承桿上，或?qū)⑺鰞筛袟U上的載片移動至所述載片架上；
[0008] 該頂針裝置包括有一縱向移動機構、一頂針座及一頂針，該縱向移動機構設置在 該機架的安裝平臺上且位于所述兩根承桿下方處，該縱向移動機構連接該頂針座，該頂針 設置在該頂針座上；
[0009] 該頂座包括有一移動座，該移動座可水平及縱向移動地設置在承架上；
[0010] 該影像判讀裝置具有一讀取頭，該影像判讀裝置設置在該移動座上，該讀取頭朝 向于該移動盤的兩根承桿之間；
[0011] 該膠墊為具有粘性的硅膠片體，該膠墊設置在該移動座上，該膠墊朝向于該移動 盤的兩根承桿之間及頂針裝置；
[0012] 該轉(zhuǎn)印臺包括有一縱向頂升機構及一抵座，該縱向頂升機構設置在該機架的安裝 平臺上且位于該移動座的兩根承桿下方處，該縱向頂升機構連接該抵座，該抵座頂面呈平 面狀且朝向于該膠墊；
[0013] 該控制裝置連接該載片移動機構、頂針裝置、頂座、影像判讀裝置及轉(zhuǎn)印臺。
[0014] 在所述的晶粒重排機中，所述兩根承桿相對的一側(cè)處設有承槽，該載片的兩側(cè)片 緣可位于所述兩根承桿的承槽上。
[0015] 在所述的晶粒重排機中，所述夾持機構包括有一軌條、一座體、一夾頭座、一氣壓 缸及一夾頭，該軌條可滑動地設置在移動座上且朝向于該載片架的方向，該座體連接該軌 條，該座體一側(cè)連接該夾頭座，該氣壓缸設置在該夾頭座上，該氣壓缸具有一可突伸或縮回 的作動桿，該作動桿連接該夾頭，該夾頭供夾持該載片。
[0016] 在所述的晶粒重排機中，所述晶粒重排機包括有兩個載片架，所述兩個載片架并 列設置。
[0017] 在所述的晶粒重排機中，所述機架包括有一機箱，所述控制裝置設置在機箱中。
[0018] 在所述的晶粒重排機中，所述控制裝置連接有一顯示器及一輸入裝置。
[0019] 在所述的晶粒重排機中，所述載片移動機構包括有一第一移動機構及一第二移動 機構；該第一移動機構包括有一馬達、一螺桿、一螺母套及滑軌；該馬達設置在該安裝平臺 上，該馬達連接該螺桿，該螺桿水平橫向設置，該螺母套套設在該螺桿上，該滑軌間隔水平 橫向設置在該安裝平臺上；該第二移動機構包括有一滑座、一馬達、一螺桿、一螺母套及兩 滑軌；該滑座的底部設有滑塊并與該第一移動機構的滑軌相互結(jié)合，該滑座的底部與該第 一移動機構的螺母套相互連接，該第二移動機構的馬達水平直向設置在該滑座上，該第二 移動機構的馬達與該第二移動機構的螺桿相連接，該第二移動機構的螺母套套設在該第二 移動機構的螺桿上，該第二移動機構的滑軌水平直向設置在滑座上；該移動盤的底部設有 滑塊且與該第二移動機構的滑軌可滑移地相互結(jié)合，該移動盤與該第二移動機構的螺母套 相互連接。
[0020] 在所述的晶粒重排機中，所述頂座包括有一第三移動機構、一第四移動機構及一 第五移動機構；該第三移動機構、第四移動機構及第五移動機構都包括有一馬達、一螺桿、 一螺母套及一滑軌，該第三移動機構水平橫向設置在承架上，該第四移動機構水平直向設 置在第三移動機構的螺母套及滑軌上，該第五移動機構垂直設置在該第四移動機構的螺母 套及滑軌上，該移動座設置在第五移動機構的螺母套及滑軌上。
[0021] 本發(fā)明的有益效果為：通過上述技術手段的運用，本發(fā)明的夾持機構可將載片移 動位于承桿上，并通過影像判讀裝置的讀取頭依序移動相對于載片上的各晶粒并判讀載片 上合格晶粒的位置，并以頂針裝置配合移動盤的位移，以頂針將合格的晶粒依序推頂粘附 在膠墊上，合格的晶粒之間經(jīng)過上述手續(xù)后即依序整齊排列粘附在膠墊上，而不合格的晶 粒仍位于原先的載片上，該膠墊配合轉(zhuǎn)印臺將合格晶粒轉(zhuǎn)印至另一膠膜上，即可自動化地 完成晶粒重排的作業(yè)，本發(fā)明可降低現(xiàn)有人為操作的作業(yè)成本及因誤差導致的損耗，提供 更低的作業(yè)成本及更佳的產(chǎn)出合格率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0022] 圖1為本發(fā)明的立體外觀圖。
[0023] 圖2為本發(fā)明的側(cè)視外觀圖。
[0024] 圖3為本發(fā)明的部分載片移動機構的立體外觀圖。
[0025] 圖4為本發(fā)明的載片移動機構的立體外觀圖。
[0026] 圖5為本發(fā)明的主視示意圖。
[0027] 圖6為本發(fā)明的動作示意圖。
[0028] 主要元件符號說明：
[0029] 10 機架
[0030] 11 機箱
[0031] 12第一安裝平臺
[0032] 120 承架
[0033] 121第二安裝平臺
[0034] 13載片架
[0035] 130 載片
[0036] 14升降機構
[0037] 140升降臺
[0038] 20載片移動機構
[0039] 21第一移動機構
[0040] 210 馬達
[0041] 211 螺桿
[0042] 212螺母套
[0043] 213 滑軌
[0044] 22第二移動機構
[0045] 220 滑座
[0046] 221 馬達
[0047] 222 螺桿
[0048] 2?螺母套
[0049] 224 滑軌
[0050] 23移動盤
[0051] 230 承桿
[0052] 231 承槽
[0053] 240 軌條
[0054] 241 座體
[0055] 242夾頭座
[0056] 243氣壓缸
[0057] 244 夾頭
[0058] 245推回機構
[0059] 30頂針裝置
[0060] 31縱向移動機構
[0061] 32頂針座
[0062] 33 頂針
[0063] 40 頂座
[0064] 41第三移動機構
[0065] 42第四移動機構
[0066] 43第五移動機構
[0067] 44移動座
[0068] 50影像判讀裝置
[0069] 51讀取頭
[0070] 60 膠墊
[0071] 70轉(zhuǎn)印臺
[0072] 71縱向頂升機構
[0073] 72 抵座
[0074] 80顯示器
[0075] 81輸入裝置。

【具體實施方式】
[0076] 本發(fā)明為一種晶粒重排機，請參閱圖1、圖2及圖5所示，其包括有一機架10、至 少一載片架13、一載片移動機構20、一頂針裝置30、一頂座40、一影像判讀裝置50、一膠墊 60、一轉(zhuǎn)印臺70及一控制裝置。
[0077] 該機架10的底部設有一機箱11，該機架10位于機箱11的頂面形成有一第一安裝 平臺12,并在第一安裝平臺12上方間隔設有一第二安裝平臺121，在該第一安裝平臺12上 設置有一承架120。在該機架10的一側(cè)處設置有一升降機構14,該升降機構14上設置有 一升降臺140,該升降臺140可被升降機構14驅(qū)動縱向上升或下降。
[0078] 該載片架13設置在升降臺140上，該載片架13的架體的兩相對側(cè)板上縱向間隔 設有多個片槽，該位于兩相對位置的片槽中可供橫向置放載片130,該載片架13 -側(cè)設有 可供載片130移入或移出的開口，該開口方向朝向于該機架10,在本發(fā)明的具體實施例中 配置有兩個載片架13,兩個載片架13并列設置在升降臺140上。
[0079] 請配合參閱圖2至圖4所示，該載片移動機構20包括有一第一移動機構21、一第 二移動機構22、一移動盤23及一夾持機構。
[0080] 該第一移動機構21包括有一馬達210、一螺桿211、一螺母套212及兩滑軌213 ; 該馬達210設置在第一安裝平臺12上，該馬達210具有一可旋轉(zhuǎn)或停止的驅(qū)動軸，該螺桿 211 -端連接馬達210的驅(qū)動軸，另一端樞設在第一安裝平臺12上，該螺桿211水平橫向設 置，該螺母套212具有與螺桿211相對應的內(nèi)螺紋，該螺母套212套設在該螺桿211上，該 兩滑軌213間隔平行水平橫向設置在第一安裝平臺12上且位于該馬達210及螺桿211的 兩側(cè)處，該兩滑軌213與該螺桿211間呈相互平行。
[0081] 該第二移動機構22包括有一滑座220、一馬達221、一螺桿222、一螺母套及兩滑軌 224 ;該滑座220的底部設有兩滑塊并與該兩滑軌213可滑移地相互結(jié)合，該滑座220的底 部與該螺母套212相互連接固定結(jié)合，該馬達221設置在該滑座220上，該馬達221具有一 可旋轉(zhuǎn)或停止的驅(qū)動軸，該螺桿222 -端連接馬達221的驅(qū)動軸，另一端樞設在該滑座220 上，該螺桿222水平直向設置，該螺母套具有與螺桿222相對應的內(nèi)螺紋，該螺母套套設在 該螺桿222上，該兩滑軌224間隔水平直向設置在該滑座220上且位于該馬達221及螺桿 22的兩側(cè)處，該兩滑軌224與該螺桿22間呈相互平行。
[0082] 該移動盤23的底部設有兩滑塊且分別與該第二移動機構22的兩滑軌224可滑移 地相互結(jié)合，該移動盤23的一側(cè)分別間隔設有兩根承桿230,所述兩根承桿230相對的一側(cè) 處內(nèi)凹設有承槽231，所述兩個承槽231對應于該載片架13的開口側(cè)，該載片130可移入使 其兩側(cè)片緣位于承槽231上，或可由承槽231移出位于載片架13上。
[0083] 該夾持機構包括有一軌條240、一座體241、一夾頭座242、一氣壓缸243、一夾頭 244及一推回機構245,該軌條240可滑動地設置在移動盤23上且朝向于該載片架13的方 向，該座體241連接該軌條240,該座體241 -側(cè)連接該夾頭座242,該氣壓缸243設置在該 夾頭座242上，該氣壓缸243具有一可突伸或縮回的作動桿，該作動桿的端頭貫穿夾頭座 242,該夾頭244位于夾頭座242中且連接該氣壓缸243的作動桿，該夾頭244朝向于載片 架13的方向，該夾頭244可供夾持該載片130。該夾持機構位于承架120的下方處，該推回 機構245為一氣壓缸且具有一可突伸及縮回的推頂桿，該推回機構245設置在移動盤23上 且間隔位于軌條240的一側(cè)，該推頂桿的端部朝向于載片架13的方向。
[0084] 請配合參閱圖5所示，該頂針裝置30包括有一縱向移動機構31、一頂針座32及一 頂針33,該縱向移動機構31設置在該機架10的第一安裝平臺12上且位于該移動座23的 兩根承桿230下方處，該縱向移動機構31的具體實施例為一氣壓缸，該縱向移動機構31具 有一頂升桿，該頂升桿的自由端連接該頂針座32,該頂針33設置在該頂針座32上，該頂針 33的尖端朝向于上方。
[0085] 請配合參閱圖2及圖5所示，該頂座40包括有一第三移動機構41、一第四移動機 構42、一第五移動機構43及一移動座44 ;該第三移動機構41、第四移動機構42及第五移動 機構43的結(jié)構都接近上述的第一移動機構21及第二移動機構22,同樣包括有馬達、螺桿、 一螺母套及滑軌，該第三移動機構41水平橫向設置在承架120上，該第四移動機構42水平 直向設置在第三移動機構41的螺母套及滑軌上，該第五移動機構43垂直設置在該第四移 動機構42的螺母套及滑軌上，該移動座44設置在第五移動機構43的螺母套及滑軌上。
[0086] 該影像判讀裝置50中設有影像處理單元，該影像判讀裝置50底端延伸設有一讀 取頭51，該影像判讀裝置50設置在該移動座44上，該讀取頭51朝向于下方且可相對于該 移動盤23的兩根承桿230之間，該讀取頭51可隨移動座44移動，即可通過該第三移動機 構41、第四移動機構42及第五移動機構43的相互移動位移而相對于載片130。
[0087] 該膠墊60為具有粘性的硅膠片體，該膠墊60設置在該移動座44上，該膠墊60朝 向于下方且可相對于該移動盤23的兩根承桿230之間，該膠墊60可隨移動座44移動而相 對于載片130及頂針裝置30。
[0088] 該轉(zhuǎn)印臺70包括有一縱向頂升機構71及一抵座72,該縱向頂升機構71設置在該 機架10的第一安裝平臺12上且位于該移動座23的兩根承桿230下方處，該縱向頂升機構 71可具體實施為一氣壓缸，該縱向頂升機構71具有一頂升桿，該頂升桿的自由端連接該抵 座72,該抵座72頂面呈一平面狀且相對朝向于該膠墊70。
[0089] 請配合參閱圖1及圖5所示，該控制裝置為一電腦且設置于機箱11中，該控制裝 置連接有一顯示器80及一輸入裝置81，該顯示器80及輸入裝置81設置在該機架10的第二 安裝平臺121上，該控制裝置與該升降機構14、該載片移動機構20、頂針裝置30、頂座40、 影像判讀裝置50及轉(zhuǎn)印臺70電連接。
[0090] 請配合參閱圖1、圖2及圖4所示，在實際使用本發(fā)明時，首先將載有切割后的多個 晶粒的膠帶置放在載片130上，并將多個載片130置放在載片架13后，控制裝置首先控制 該升降機構14的升降臺140縱向移動，使其載片130移動至相對于載片移動機構20的高 度處，該載片移動機構20的第一移動機構21及第二移動機構22作動，使該夾持機構橫向 移動至相對于載片架13上其中一載片130的位置，該夾持機構的座體241朝向載片130方 向移動，該氣壓缸243驅(qū)動其作動桿突伸并以夾頭244夾持該載片130,隨后該氣壓缸243 驅(qū)動其作動桿縮回及該夾持機構的座體241縮回，使該載片130被移動位于所述兩根承桿 230 上。
[0091] 請配合參閱圖1、圖2及圖5所示，該控制裝置帶動該頂座40的第三移動機構41、 第四移動機構42及第五移動機構43,使其移動座44及影像判讀裝置50移動，該影像判讀 裝置50的讀取頭51依序移動相對于載片130上的各晶粒，通過影像判讀裝置50判讀載片 130上合格晶粒的位置，并將合格晶粒的位置紀錄在控制裝置中；而后，該控制裝置帶動該 載片移動機構20的移動盤23移動，使該載片13移動位于頂針裝置30的上方，該控制裝置 帶動頂座40的第三移動機構41、第四移動機構42及第五移動機構43,使設置在頂座40上 的移動座44及膠墊60移動位于該載片13的上方，該頂針裝置30配合移動盤23的位移， 通過縱向移動機構31帶動頂針33朝向上方移動，即可通過頂針33將合格的晶粒依序推頂 粘附在膠墊60上，合格的晶粒之間經(jīng)過上述手續(xù)后即依序整齊排列粘附在膠墊60上，而不 合格的晶粒仍位于原先的載片130上。
[0092] 請配合參閱圖1、圖4及圖6所示，該推回機構245的推頂桿向外推頂，以其端部 將夾頭244所夾持的該載片130推頂放回至載片架13上，該升降機構14的升降臺140縱 向移動，使載片架13上另一載片130移動至相對于夾持機構的高度處，該夾持機構的夾頭 244移動夾持載片架13上的另一載片130,并將其移動位于膠墊60及轉(zhuǎn)印臺70之間，該載 片130上設有具有粘性的膠膜，該控制裝置帶動頂座40及該膠墊60移動，使該膠墊60移 動抵靠在載片130上膠膜具有粘性的頂面上，該轉(zhuǎn)印臺70的縱向頂升機構71的頂升桿帶 動抵座72朝向上方移動，該抵座72的頂面抵靠于該載片130及膠膜的底面，通過膠墊60 及抵座72分別抵靠該膠膜的兩側(cè)面，使該膠墊60上的晶粒轉(zhuǎn)印至膠膜上，并在膠膜上整齊 排列。當轉(zhuǎn)印完成后，該膠墊60及抵座72即離開該膠膜的兩側(cè)面，并通過該夾持機構及移 動盤23將該載片130置放至載片架13上，至此完成一次晶粒重排的作業(yè)，并預備進行下一 次的晶粒重排作業(yè)。
[〇〇93] 以上所述僅是本發(fā)明的較佳實施例而已，并非對本發(fā)明作任何形式上的限制，雖 然本發(fā)明已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何所屬【技術領域】中具有 通常知識者，在不脫離本發(fā)明技術方案的范圍內(nèi)，當可利用上述揭示的技術內(nèi)容作出些許 更動或修飾為等同變化的等效實施例，但凡是未脫離本發(fā)明技術方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明 的技術實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術方 案的范圍內(nèi)。
【權利要求】
1. 一種晶粒重排機，所述晶粒重排機包括有一機架、一載片架、一載片移動機構、一頂 針裝置、一頂座、一影像判讀裝置、一膠墊、一轉(zhuǎn)印臺及一控制裝置； 所述機架上設有一安裝平臺及一升降機構，在所述安裝平臺上設置有一承架，所述升 降機構上設置有一升降臺； 所述載片架上設有多個供置放載片的片槽，所述載片架設置在升降臺上； 所述載片移動機構包括有一移動盤及一夾持機構，所述移動盤能夠移動地設置在所 述安裝平臺上，所述移動盤上間隔設有兩根承桿，所述兩根承桿能夠供載片的兩側(cè)片緣置 放，所述夾持機構設置在所述移動盤上，所述夾持機構能夠移動夾持位于載片架上的載片， 并將所述載片移動至所述兩根承桿上，或?qū)⑺鰞筛袟U上的所述載片移動至所述載片架 上； 所述頂針裝置包括有一縱向移動機構、一頂針座及一頂針，所述縱向移動機構設置在 所述機架的所述安裝平臺上且位于所述兩根承桿下方處，所述縱向移動機構連接所述頂針 座，所述頂針設置在所述頂針座上； 所述頂座包括有一移動座，所述移動座能夠水平及縱向移動地設置在所述承架上； 所述影像判讀裝置具有一讀取頭，所述影像判讀裝置設置在所述移動座上，所述讀取 頭朝向于所述移動盤的所述兩根承桿之間； 所述膠墊為具有粘性的硅膠片體，所述膠墊設置在所述移動座上，所述膠墊朝向于所 述移動盤的所述兩根承桿之間及頂針裝置； 所述轉(zhuǎn)印臺包括有一縱向頂升機構及一抵座，所述縱向頂升機構設置在所述機架的 所述安裝平臺上且位于所述移動座的所述兩根承桿下方處，所述縱向頂升機構連接所述抵 座，所述抵座頂面呈平面狀且朝向于所述膠墊； 所述控制裝置連接所述載片移動機構、頂針裝置、頂座、影像判讀裝置及轉(zhuǎn)印臺。
2. 根據(jù)權利要求1所述的晶粒重排機，其中所述兩根承桿相對的一側(cè)處設有承槽，所 述載片的兩側(cè)片緣能夠位于所述兩根承桿的承槽上。
3. 根據(jù)權利要求2所述的晶粒重排機，其中所述夾持機構包括有一軌條、一座體、一夾 頭座、一氣壓缸及一夾頭，該軌條能夠滑動地設置在所述移動座上且朝向于所述載片架的 方向，所述座體連接所述軌條，所述座體一側(cè)連接所述夾頭座，所述氣壓缸設置在所述夾頭 座上，所述氣壓缸具有一能夠突伸或縮回的作動桿，所述作動桿連接所述夾頭，所述夾頭供 夾持所述載片。
4. 根據(jù)權利要求3所述的晶粒重排機，所述晶粒重排機包括有兩個載片架，所述兩個 載片架并列設置。
5. 根據(jù)權利要求4所述的晶粒重排機，其中所述機架包括有一機箱，所述控制裝置設 置在所述機箱中。
6. 根據(jù)權利要求5所述的晶粒重排機，其中所述控制裝置連接有一顯示器及一輸入裝 置。
7. 根據(jù)權利要求1至6中任一項所述的晶粒重排機，其中所述載片移動機構包括有一 第一移動機構及一第二移動機構； 所述第一移動機構包括有一馬達、一螺桿、一螺母套及滑軌；所述馬達設置在所述安裝 平臺上，所述馬達連接所述螺桿，所述螺桿水平橫向設置，所述螺母套套接設置在所述螺桿 上，所述滑軌間隔水平橫向設置在所述安裝平臺上； 所述第二移動機構包括有一滑座、一馬達、一螺桿、一螺母套及兩個滑軌；所述滑座的 底部設有滑塊并與所述第一移動機構的滑軌相互結(jié)合，所述滑座的底部與所述第一移動機 構的螺母套相互連接，所述第二移動機構的馬達水平直向設置在所述滑座上，所述第二移 動機構的馬達與所述第二機構的螺桿相連接，所述第二移動機構的螺母套套接設置在所述 第二移動機構的螺桿上，所述第二移動機構的滑軌水平直向設置在所述滑座上； 所述移動盤的底部設有滑塊且與所述第二移動機構的滑軌能夠滑移地相互結(jié)合，所述 移動盤與所述第二移動機構的螺母套相互連接。
8.根據(jù)權利要求7所述的晶粒重排機，其中所述頂座包括有一第三移動機構、一第四 移動機構及一第五移動機構；所述第三移動機構、第四移動機構及第五移動機構都包括有 一馬達、一螺桿、一螺母套及一滑軌，所述第三移動機構水平橫向設置在所述承架上，所述 第四移動機構水平直向設置在所述第三移動機構的螺母套及滑軌上，所述第五移動機構垂 直設置在所述第四移動機構的螺母套及滑軌上，所述移動座設置在第五移動機構的螺母套 及滑軌上。
【文檔編號】H01L21/67GK104103551SQ201310124266
【公開日】2014年10月15日 申請日期:2013年4月11日 優(yōu)先權日:2013年4月11日
【發(fā)明者】蔡正欣 申請人:捷毅系統(tǒng)股份有限公司