薄板部件移載裝置制造方法
【專利摘要】提供一種薄板部件移載裝置，即使在薄板部件以狹小的間隔收納于收納部件內(nèi)的情況下，也能夠可靠地保持并移載。薄板部件移載裝置(1)將以規(guī)定的間隔排列收納于第一收納部件(5)的多張薄板部件(3)移載到第二收納部件(8)，所述薄板部件移載裝置(1)具備：保持移動(dòng)部件(10)、(20)，它們具有多個(gè)保持件(11)、(21)，將薄板部件(3)以多張集中起來(lái)的方式以規(guī)定的間隔進(jìn)行保持并使所述薄板部件(3)移動(dòng)；第一突出部件(50)，其以每隔規(guī)定的張數(shù)的方式將被收納于第一收納部件的薄板部件(3)頂起，用以在第一收納部件(5)和保持移動(dòng)部件(10)、(20)之間進(jìn)行薄板部件(3)的交接；以及第二突出部件(60)，其在保持移動(dòng)部件(10)、(20)和第二收納部件(8)之間進(jìn)行薄板部件(3)的交接。
【專利說(shuō)明】薄板部件移載裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及移載半導(dǎo)體用晶片等薄板部件的薄板部件移載裝置，特別涉及同時(shí)移載多張薄板部件的薄板部件移載裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]以往提供有許多移載裝置，所述移載裝置將用于半導(dǎo)體制造的半導(dǎo)體晶片或用于液晶顯示裝置的玻璃薄板等薄板部件以多張集中起來(lái)的方式從規(guī)定的場(chǎng)所移載到規(guī)定的場(chǎng)所。
[0003]例如，在下述專利文獻(xiàn)1、2中公開(kāi)了將晶片或玻璃基板等薄板部件以多張集中起來(lái)的方式從規(guī)定的收納部件保持并移載到其他收納部件的移載裝置。
[0004]在先技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2000-114344號(hào)公報(bào)
[0007]專利文獻(xiàn)2:日本特開(kāi)2006-156667號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]發(fā)明要解決的課題
[0009]但是，在上述專利文獻(xiàn)1、2所公開(kāi)的薄板部件移載裝置中，是通過(guò)真空吸附來(lái)吸附保持各薄板部件，需要在收納于收納部件的各薄板部件之間插入用于吸附的板狀吸附部件。
[0010]因此，在上述專利文獻(xiàn)1、2的移載裝置中，若沒(méi)有將薄板部件以比板狀吸附部件的厚度大的間隔收納在收納部件內(nèi)，則無(wú)法吸附保持薄板部件，產(chǎn)生了由于薄板部件的收納間距而無(wú)法進(jìn)行移載這樣的問(wèn)題。
[0011]本發(fā)明正是鑒于這樣的課題而完成的，其目的在于提供一種薄板部件移載裝置，即使在薄板部件以狹小的間隔收納在收納部件內(nèi)的情況下，也能夠可靠地保持并移載。
[0012]用于解決課題的技術(shù)方案
[0013]為了解決上述課題，本發(fā)明的薄板部件移載裝置將以規(guī)定的間隔排列收納于第一收納部件的多張薄板部件移載到第二收納部件，所述薄板部件移載裝置的特征在于，其具備:保持移動(dòng)部件，其具有以規(guī)定的間隔設(shè)置的多個(gè)保持件，用以一張一張地保持所述薄板部件，所述保持移動(dòng)部件將所述薄板部件以多張集中起來(lái)的方式以規(guī)定的間隔進(jìn)行保持并使所述薄板部件移動(dòng)；第一突出部件，其以每隔規(guī)定的張數(shù)的方式支承被收納于所述第一收納部件的所述薄板部件，并朝向所述保持移動(dòng)部件突出，用以在所述第一收納部件和所述保持移動(dòng)部件之間進(jìn)行所述薄板部件的交接；以及第二突出部件，其支承被所述保持移動(dòng)部件移動(dòng)到所述第二收納部件的附近的多張所述薄板部件，并將該多張所述薄板部件收納到所述第二收納部件，用以在所述保持移動(dòng)部件和所述第二收納部件之間進(jìn)行所述薄板部件的交接。[0014]此外，本發(fā)明的薄板部件移載方法用于將以規(guī)定的間隔排列收納于第一收納部件的多張薄板部件移載到第二收納部件，所述薄板部件移載方法的特征在于，其具備:第一頂起工序，在該第一頂起工序中，利用突出部件將收納于所述第一收納部件的所述薄板部件以每隔一張的方式向上方頂起；第一移動(dòng)工序，在該第一移動(dòng)工序中，將通過(guò)所述第一頂起工序被頂起的所述薄板部件保持于保持移動(dòng)部件并使所述薄板部件朝向所述第二收納部件移動(dòng)；第二頂起工序，在該第二頂起工序中，利用所述突出部件將在所述第一收納部件中每隔一張地剩余的所述薄板部件向上方頂起；以及第二移動(dòng)工序，在該第二移動(dòng)工序中，利用所述保持移動(dòng)部件保持通過(guò)所述第二頂起工序被頂起的所述薄板部件并使所述薄板部件朝向所述第二收納部件移動(dòng)，以每隔一張的方式分兩次移載被收納于所述第一收納部件的薄板部件。
[0015]發(fā)明效果
[0016]根據(jù)本發(fā)明的薄板部件移載裝置，即使在薄板部件以狹小的間隔收納于收納部件內(nèi)的情況下，也能夠可靠地保持并移載。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0017]圖1是本發(fā)明的實(shí)施方式的晶片移載裝置的立體圖。
[0018]圖2是本發(fā)明的實(shí)施方式的晶片移載裝置的主視圖。
[0019]圖3是從本發(fā)明的實(shí)施方式的第一吸附移動(dòng)部件的下方觀察的立體圖。
[0020]圖4是本發(fā)明的實(shí)施方式的第一吸附移動(dòng)部件的吸附板的立體圖。
[0021]圖5是示出利用本發(fā)明的實(shí)施方式的第一吸附移動(dòng)部件的吸附板來(lái)吸附保持晶片的狀態(tài)的圖。
[0022]圖6是示出本發(fā)明的實(shí)施方式的第一吸附移動(dòng)部件的凸輪板驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的立體圖。
[0023]圖7是示出利用本發(fā)明的實(shí)施方式的第一吸附移動(dòng)部件來(lái)保持晶片的狀態(tài)的主視圖。
[0024]圖8是本發(fā)明的實(shí)施方式的第二吸附移動(dòng)部件的吸附板的立體圖。
[0025]圖9是示出利用本發(fā)明的實(shí)施方式的第二吸附移動(dòng)部件來(lái)保持晶片的狀態(tài)的主視圖。
[0026]圖10是本發(fā)明的實(shí)施方式的中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)的立體圖。
[0027]圖11是示出本發(fā)明的實(shí)施方式的晶片支承部件的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0028]圖12是示出本發(fā)明的實(shí)施方式的晶片支承部件的滑動(dòng)引導(dǎo)部件的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0029]圖13是本發(fā)明的實(shí)施方式的第一突出單元的立體圖。
[0030]圖14是本發(fā)明的實(shí)施方式的第二突出單元的主視圖。
[0031]圖15是示出本發(fā)明的實(shí)施方式的晶片的移載處理的流程的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0032]以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式的晶片移載裝置進(jìn)行說(shuō)明。在本實(shí)施方式中，作為薄板部件移載裝置，列舉通過(guò)真空吸附來(lái)保持并移載半導(dǎo)體晶片的晶片移載裝置為例進(jìn)行說(shuō)明。圖1是示出本實(shí)施方式的晶片移載裝置的結(jié)構(gòu)的立體圖。圖2是本實(shí)施方式的晶片移載裝置的主視圖。
[0033]如該圖所示，晶片移載裝置I具備:盒5、船槽(boat)8、第一吸附移動(dòng)部件10、第二吸附移動(dòng)部件20、中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)40、第一突出單元50、第二突出單元60和第三突出單元70。
[0034]盒5是以規(guī)定的間隔(間距)收納多張晶片3的收納部件，在本實(shí)施方式中，以5mm間距收納50張晶片3。船槽8也是以規(guī)定的間隔收納多張晶片3的收納部件，在本實(shí)施方式中，以4_間隔收納100張晶片3。另外，盒5構(gòu)成為使晶片3以垂直地豎立的垂直狀態(tài)進(jìn)行收納，而船槽8構(gòu)成為使晶片3以從垂直狀態(tài)傾斜10°的傾斜狀態(tài)進(jìn)行收納。
[0035]在將收納于該盒5內(nèi)的晶片3移載到船槽8時(shí)，晶片移載裝置I在能夠改變晶片3的間隔的同時(shí)進(jìn)行轉(zhuǎn)移。并且，在本實(shí)施方式的晶片3的一個(gè)面上涂布有用于對(duì)晶片3實(shí)施規(guī)定的處理的處理液(以下，將涂布有處理液的一側(cè)作為表面)，在移載處理的后續(xù)工序中，將船槽8放入擴(kuò)散爐對(duì)晶片3的表面進(jìn)行燒制。
[0036]并且，在本實(shí)施方式中，將兩張晶片3以未涂布處理液的另一個(gè)面(以下，將其作為背面)對(duì)合的狀態(tài)重合，并以兩張重合的狀態(tài)收納在船槽8內(nèi)。
[0037]S卩，晶片移載裝置I具備下述功能:在移載時(shí)，將收納于盒5內(nèi)的晶片3每隔一張地翻轉(zhuǎn)而使兩張重合，并且移載到船槽8。因此，在本實(shí)施方式中，在盒5和船槽8之間設(shè)置有中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)40，在該中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)40上臨時(shí)載置晶片3，利用中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)40進(jìn)行晶片3的翻轉(zhuǎn)。
[0038]第一吸附移動(dòng)部件20使收納于盒5的晶片3以5張為單位而移動(dòng)到中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)40。圖3是從第一吸附移動(dòng)部件的下方觀察的立體圖。圖4是第一吸附移動(dòng)部件的吸附板的立體圖。圖5是示出利用第一吸附移動(dòng)部件的吸附板來(lái)保持晶片的狀態(tài)的圖。圖6是示出第一吸附移動(dòng)部件的凸輪板驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的立體圖。圖7是示出利用第一吸附移動(dòng)部件來(lái)保持晶片的狀態(tài)的主視圖，圖7(a)示出擴(kuò)大吸附板的間距進(jìn)行保持的狀態(tài)，圖7(b)示出縮小吸附板的間距進(jìn)行保持的狀態(tài)。
[0039]第一吸附移動(dòng)部件10具備:一張一張地保持晶片3的作為保持件的吸附板11、板保持部件12、空氣供給部件13、間距可變部件15、罩17和第一臂30。如圖4所示，吸附板11為板狀形狀，下端部分形成為朝向末端而厚度變得更薄的尖尖的形狀。另外，在圖3和圖6中，省略了吸附板11的厚度而進(jìn)行表示。
[0040]在吸附板11的上表面形成有用于吸附的空氣供給口 112。并且，在吸附板11的側(cè)面形成有用于將晶片3吸附于吸附板11的吸附口 113和吹出口 114。在圖4中，在近前側(cè)的側(cè)面的4個(gè)部位形成的是利用正壓吹出空氣的吹出口 114，在背側(cè)的側(cè)面的4個(gè)部位形成并用虛線表示的是利用負(fù)壓進(jìn)行抽吸的吸附口 113。
[0041]空氣供給口 112a經(jīng)由吸附板11內(nèi)的空氣流路與吸附口 113連接，并且空氣供給口 112a利用由管等構(gòu)成的空氣供給部件13與氣泵連接。在保持晶片3時(shí)，吸附口 113內(nèi)成為負(fù)壓，從而晶片3被真空吸附于吸附板11。
[0042]空氣供給口 112b經(jīng)由吸附板11內(nèi)的空氣流路與吹出口 114連接，并且空氣供給口 112b利用由管等構(gòu)成的空氣供給部件13與氣泵連接。在保持晶片3時(shí)，能夠利用從吹出口 114吹出的空氣流而朝向相鄰的吸附板11按壓晶片3，從而使該晶片3可靠地吸附于相鄰的吸附板11的吸附口 113。[0043]如圖5所示，在由吸附板11對(duì)晶片3的保持中，利用吸附板11保持晶片3的上部。并且，在吸附板11的上部?jī)啥藗?cè)形成有缺口 115，通過(guò)在該缺口 115插入板保持部件12的保持件而將吸附板11固定保持于板保持部件12。
[0044]這里，第一吸附移動(dòng)部件10具備并列地配置的6個(gè)吸附板11和板保持部件12，從而能夠在相鄰的吸附板11之間的5個(gè)部位的間隙中保持5張晶片3并一次進(jìn)行移載。另夕卜，位于兩端的吸附板11的外側(cè)的吸附口 113和吹出口 114未有助于晶片3的保持，因此不對(duì)它們供給負(fù)壓和正壓。
[0045]并且，第一吸附移動(dòng)部件10具備間距可變部件15，并構(gòu)成為能夠通過(guò)變更吸附板11的間隔來(lái)變更所保持的晶片3的間隔。如圖6所示，間距可變部件15具備:凸輪板151、在板保持部件12的上部形成的凸輪從動(dòng)件155、以及用于驅(qū)動(dòng)凸輪板151滑動(dòng)的凸輪板驅(qū)動(dòng)部件156。
[0046]在凸輪板151的6個(gè)部位形成有用于引導(dǎo)凸輪從動(dòng)件155的引導(dǎo)孔152，插入于各引導(dǎo)孔152的各凸輪從動(dòng)件155與凸輪板151的滑動(dòng)相應(yīng)地沿著各引導(dǎo)孔152的形狀移動(dòng)，由此能夠變更凸輪從動(dòng)件152的間隔、即板保持部件12(吸附板11)的間隔。
[0047]圖7 (a)示出將吸附板11的間隔縮小的狀態(tài)，圖7 (b)示出將吸附板11的間隔擴(kuò)大的狀態(tài)，在圖7(a)所示的狀態(tài)中，以4mm間距保持晶片3，在圖7(b)所示的狀態(tài)中，以5mm間距保持晶片3。由此，關(guān)于第一吸附移動(dòng)部件10，從以5mm間距收納有晶片3的盒5中取出晶片3的作業(yè)在圖7(b)所示的狀態(tài)下進(jìn)行，并且，以4mm間隔將晶片3載置到中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)40的作業(yè)在圖7(a)所示的狀態(tài)下進(jìn)行。
[0048]第一臂30是能夠移動(dòng)地保持第一吸附移動(dòng)部件10的臂。第一臂30具備臂驅(qū)動(dòng)部件31，并構(gòu)成為能夠沿臂移動(dòng)軌道38在水平方向上滑動(dòng)移動(dòng)，并且能夠使第一吸附移動(dòng)部件10在垂直方向上移動(dòng)。
[0049]具體來(lái)說(shuō)，第一臂30從圖2中位于左側(cè)的盒5在與正中央附近的中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)40之間沿臂移動(dòng)軌道38往復(fù)移動(dòng)，并且使第一吸附移動(dòng)部件10在垂直方向上移動(dòng)，由此能夠在盒5和中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)40之間一邊變更間距一邊移動(dòng)晶片3。
[0050]接著，對(duì)第二吸附移動(dòng)部件20的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。第二吸附移動(dòng)部件20具有與上述的第一吸附移動(dòng)部件10大致相同的結(jié)構(gòu)和功能，因此，對(duì)于相同的結(jié)構(gòu)省略說(shuō)明。
[0051]兩者主要的不同點(diǎn)在于以下方面:第二吸附移動(dòng)部件20不具有間距可變部件；第二吸附移動(dòng)部件20從兩側(cè)保持兩張重合的狀態(tài)的晶片3，因而在吸附板21上僅設(shè)置有吸附口 213 ;以及第二吸附移動(dòng)部件20具有用于使吸附板21成為傾斜狀態(tài)的傾斜機(jī)構(gòu)24。
[0052]第二吸附移動(dòng)部件20具備:吸附板21、板保持部件22、空氣供給部件23、傾斜機(jī)構(gòu)24、罩27和第二臂35。圖8是第二吸附移動(dòng)部件的吸附板的立體圖。圖9是示出利用第二吸附移動(dòng)部件來(lái)保持晶片3的狀態(tài)的主視圖。
[0053]在吸附板21的上表面形成有與空氣供給部件連接的空氣供給口 212。并且，在吸附板21的兩側(cè)面的各4個(gè)部位設(shè)置有用于將晶片3吸附于吸附板21的吸附口 113。
[0054]如后述那樣，由于在中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)40上，晶片3被兩張重合，所以當(dāng)保持在中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)40上載置的晶片3時(shí)，第二吸附移動(dòng)部件20以兩張重合的狀態(tài)進(jìn)行保持。在圖9中，被第二吸附移動(dòng)部件20保持的晶片3為兩張重合的晶片3。
[0055]在吸附板21的兩側(cè)面設(shè)置有吸附口 213，從兩張重合的晶片3的兩側(cè)各吸附保持一張晶片3。另外，在圖9中，第二吸附移動(dòng)部件20以8mm間距保持兩張重合狀態(tài)的晶片3。第二吸附移動(dòng)部件20不具備間距可變機(jī)構(gòu)，被保持的晶片3在8mm間距的狀態(tài)下以每隔一段的方式移載到船槽8。
[0056]并且，第二吸附移動(dòng)部件具備未圖示的傾斜機(jī)構(gòu)24，能夠?qū)ξ桨?1在垂直狀態(tài)和從垂直狀態(tài)傾斜10°的傾斜狀態(tài)之間進(jìn)行轉(zhuǎn)換。
[0057]第二臂35是能夠移動(dòng)地保持第二吸附移動(dòng)部件20的臂。第二臂35具備臂驅(qū)動(dòng)部件36，并構(gòu)成為能夠沿臂移動(dòng)軌道38在水平方向上滑動(dòng)移動(dòng)，并且能夠使第二吸附移動(dòng)部件20在垂直方向上移動(dòng)。
[0058]具體來(lái)說(shuō)，第二臂35從圖2正中央附近的中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)40在與船槽8之間往復(fù)移動(dòng)，并且使第二吸附移動(dòng)部件20在垂直方向上移動(dòng)，由此能夠使晶片3在中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)40和船槽8之間移動(dòng)。
[0059]接著，對(duì)中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)40的結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。圖10是中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)的立體圖。圖11是放大地示出晶片支承部件的立體圖。圖12是放大地示出晶片支承部件的滑動(dòng)引導(dǎo)部件的立體圖。
[0060]中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)40設(shè)置在盒5與船槽8的中間，并作為臨時(shí)載置在兩者間進(jìn)行移載的晶片3的中轉(zhuǎn)點(diǎn)發(fā)揮功能。并且，中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)40具有下述功能:在連續(xù)地收納于盒5的10張晶片3中，在使先取出的每隔一張的5張晶片3翻轉(zhuǎn)之后，使背面?zhèn)确謩e與剩余的5張晶片3緊貼而整理成5組10張的兩張重合的晶片3。
[0061]中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)40具備:旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)41、在旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)41上設(shè)置的一對(duì)晶片支承部件42、以及下端支承件43，晶片3以下端與下端支承件43接觸的垂直狀態(tài)被載置在旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)41上。旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)41構(gòu)成為借助驅(qū)動(dòng)部件而以圓中心為旋轉(zhuǎn)軸線轉(zhuǎn)動(dòng)自如。在旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)41的中心形成有孔411,后述的第三突出單元70的收集器(catcher)從該孔411中躍出。
[0062]一對(duì)晶片支承部件42在旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)41上的孔411的周圍以180°間隔相對(duì)地設(shè)置，在兩者之間引導(dǎo)并支承有晶片3。晶片支承部件42具備固定引導(dǎo)部件421和滑動(dòng)引導(dǎo)部件422。固定引導(dǎo)部件421固定于各晶片支承部件42的與晶片3對(duì)置的內(nèi)側(cè)面的最上部(第一層)和最下部(第四層)，并具備并行地形成的6個(gè)引導(dǎo)件用以排列晶片3。
[0063]滑動(dòng)引導(dǎo)部件422在第一層和第四層具備進(jìn)退引導(dǎo)部423，在第二層和第三層具備橫向滑動(dòng)引導(dǎo)部424 (參照?qǐng)D11、圖12)。進(jìn)退引導(dǎo)部423具有并列地形成的5個(gè)引導(dǎo)件423a，進(jìn)退引導(dǎo)部423利用氣缸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，在引導(dǎo)件423a躍出至與固定引導(dǎo)件421的引導(dǎo)件421a相同的位置的前進(jìn)位置、和拉入的后退位置之間進(jìn)行進(jìn)退滑動(dòng)。
[0064]在前進(jìn)位置，進(jìn)退引導(dǎo)部423的5個(gè)引導(dǎo)件423a位于6個(gè)引導(dǎo)件421a之間的5個(gè)間隙。由此，當(dāng)進(jìn)退引導(dǎo)部423位于躍出的位置時(shí)，在6個(gè)引導(dǎo)件421a和5個(gè)引導(dǎo)件423a之間形成10個(gè)間隙。使晶片3通過(guò)該間隙，由此晶片支承部件42能夠進(jìn)行引導(dǎo)而使得10張晶片3以等間距(4mm)地排列。
[0065]另一方面，當(dāng)進(jìn)退引導(dǎo)部423位于后退位置時(shí)，晶片支承部件42的第一層和第四層利用固定引導(dǎo)部件421的6個(gè)引導(dǎo)件421a之間的5個(gè)間隙來(lái)引導(dǎo)晶片3。這時(shí)，6個(gè)引導(dǎo)件421a的設(shè)置間隔為8mm間距。
[0066]橫向滑動(dòng)引導(dǎo)部424具有與進(jìn)退引導(dǎo)部423的引導(dǎo)件423a相同間距的5個(gè)引導(dǎo)件424a，橫向滑動(dòng)引導(dǎo)部424借助氣缸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)在引導(dǎo)件424a的排列方向上水平地進(jìn)行橫向滑動(dòng)。橫向滑動(dòng)引導(dǎo)部424以下述方式進(jìn)行橫向移動(dòng):在固定位置處，各引導(dǎo)件424a位于固定引導(dǎo)部件421的各引導(dǎo)件421a的正下方和正上方，而在像后述那樣使晶片3兩張重合的移動(dòng)位置處，各引導(dǎo)件424a橫向滑動(dòng)至位于進(jìn)退引導(dǎo)部423的各引導(dǎo)件423a的正下方和正上方。
[0067]接著，對(duì)第一突出單元50的結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。圖13是第一突出單元的立體圖。第一突出單元50設(shè)置在盒5的下方，用于輔助盒5和第一吸附移動(dòng)部件10之間的晶片3的交接。
[0068]第一突出單元50具備收集器51、收集器支承部件52、收集器滑動(dòng)部件53和突出單元移動(dòng)軌道58。收集器51為大致板狀的部件，在其上端，在兩端的兩個(gè)部位形成有用于嵌入一張晶片3并對(duì)其進(jìn)行支承的嵌合槽51a
[0069]并且，第一突出單元50具備5個(gè)收集器51，利用收集器支承部件52以將收集器51以規(guī)定的間隔并列地排列的方式支承收集器51的下端。在本實(shí)施方式中，第一突出單元50進(jìn)行將以5mm間距排列收納于盒5的晶片3每隔一張地嵌合保持并向上方頂起的處理，因此，收集器51被設(shè)置成嵌合槽51a以IOmm間距布置。
[0070]收集器滑動(dòng)部件53是將收集器支承部件52保持成能夠在垂直方向上下滑動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，利用收集器滑動(dòng)部件53，能夠?qū)⑹占?1從盒5的下方的位置頂起到盒5內(nèi)。
[0071]當(dāng)5個(gè)收集器51被頂起到盒5內(nèi)時(shí)，關(guān)于被收納于盒5內(nèi)的晶片3，以每隔一張的方式有5張嵌入到各嵌合槽51a中，并被向上方頂起。這樣,從盒5內(nèi)向上方突出的5張晶片3被上述第一吸附移動(dòng)部件10吸附保持并移動(dòng)。
[0072]并且，第一突出單元50構(gòu)成為借助滑動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)而沿突出單元移動(dòng)軌道58移動(dòng)自如。突出單元移動(dòng)軌道58沿著盒5所在的區(qū)域地設(shè)置，第一突出單元50沿突出單元移動(dòng)軌道58移動(dòng)，從而能夠?qū)⑹占{于盒5內(nèi)的所有晶片3依次頂起。
[0073]接著，對(duì)第二突出單元60的結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。圖14是第二突出單元的主視圖。第二突出單元60被設(shè)置在船槽8的下方，并且輔助晶片3在第二吸附移動(dòng)部件20和船槽8之間的交接。
[0074]第二突出單元60具備收集器61、收集器支承部件62、收集器滑動(dòng)部件63和突出單元移動(dòng)軌道68。第二突出單元60構(gòu)成為與上述的第一突出單元50大致相同的結(jié)構(gòu)。兩者主要的不同點(diǎn)在于:第二突出單元自身以傾斜的狀態(tài)設(shè)置于晶片移載裝置1、以及5個(gè)收集器61的設(shè)置間隔與嵌合槽61a的大小不同。
[0075]船槽8構(gòu)成為傾斜地收納兩張重合的晶片3，在第二突出單元60上，傾斜地設(shè)置有收集器61，用以支承傾斜的狀態(tài)下的晶片3。
[0076]并且，如上述那樣，以5mm間距排列于盒5的晶片3，借助中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)40被整理成以8mm間距排列的5組10張的兩張重合的晶片3，并移動(dòng)到船槽8。因此，利用收集器支承部件62以嵌合槽61a以8mm間距布置的方式排列支承第二突出單元60的收集器61，并且，嵌合槽61a具有使兩張重合狀態(tài)下的晶片3嵌合并對(duì)其進(jìn)行支承的寬度。
[0077]并且，第二突出單元60構(gòu)成為借助滑動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)而沿突出單元移動(dòng)軌道68移動(dòng)自如。突出單元移動(dòng)軌道68沿著船槽8所在的區(qū)域地設(shè)置，第二突出單元60沿突出單元移動(dòng)軌道68移動(dòng)，從而能夠?qū)⒕?依次收納到整個(gè)船槽8。[0078]第三突出單元70被設(shè)置在中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)40的下方，并且輔助晶片3在第一吸附移動(dòng)部件10和中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)40之間的交接、以及晶片3在中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)40和第二吸附移動(dòng)部件20之間的交接。
[0079]第三突出單元70具備收集器71、收集器支承部件72、收集器滑動(dòng)部件73和突出部件移動(dòng)軌道78，并且是與第一突出單元50大致相同的結(jié)構(gòu)。兩者主要的不同點(diǎn)在于5個(gè)收集器71的設(shè)置間隔與嵌合槽71a的大小不同。
[0080]如上述那樣，保持于第一吸附移動(dòng)部件10的晶片3作為以8mm間距間隔的5張晶片3移動(dòng)到中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)40。并且，在中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)40上被整理成8mm間隔的5組10張的兩張重合的晶片3。由此，利用收集器支承部件72以將嵌合槽71a以8mm間距布置的方式排列支承第三突出單元70的收集器71，并且，嵌合槽71a具有使一張晶片3以及兩張重合的晶片3雙方嵌合并對(duì)它們進(jìn)行支承的寬度。
[0081]以上，對(duì)晶片移載裝置I的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明，接著，對(duì)晶片3在晶片移載裝置I中的移載處理進(jìn)行說(shuō)明。圖15是示出本實(shí)施方式的晶片的移載處理的流程的流程圖。在本實(shí)施方式中，進(jìn)行如下的移載處理:在將以5_間隔排列收納于盒5的晶片3的背面面對(duì)而兩張重合的狀態(tài)下，以4_間隔排列收納到船槽8中。
[0082]首先，在SlO中，第一突出單元50將排列收納于盒5的晶片3中的每隔一張共5張的晶片3向上方頂起并使其突出。接著，在Sll中，第一吸附移動(dòng)部件10保持這5張晶片3并使其移動(dòng)到中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)40。
[0083]具體來(lái)說(shuō)，使第一吸附移動(dòng)部件10下降，使吸附板11介于突出的5張晶片3之間。之后，使吸附口 113成為負(fù)壓并且使吹出口 114成為正壓，從而使5張晶片3分別吸附保持于吸附板11。在這樣地吸附保持晶片3的狀態(tài)下，利用第一臂30使第一吸附移動(dòng)部件10移動(dòng)到中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)40。
[0084]在本實(shí)施方式中，并沒(méi)有使收納于盒5內(nèi)的晶片3以那樣的間隔(5mm間距)直接保持于第一吸附移動(dòng)部件10，而是構(gòu)成為利用第一突出單元50使晶片3以每隔一張的方式突出，并且第一吸附移動(dòng)部件10以每隔一張的方式保持晶片3，由此，即使是以狹小的間距排列于盒5內(nèi)的晶片3，也能夠進(jìn)行移載處理。
[0085]以每隔一張的方式的話，由第一吸附移動(dòng)部件10保持的晶片3的間隔為IOmm間距。本實(shí)施方式的吸附板11的厚度為7mm左右。因此，無(wú)法將吸附板11插入到以5mm間距排列的晶片3之間，但通過(guò)以每隔一張的方式突出，能夠?qū)⑽桨?1插入到變?yōu)镮Omm間距地排列的晶片3間之間進(jìn)行吸附。
[0086]而且，在Sll中，利用間距可變部件15對(duì)晶片3的間隔進(jìn)行變更。在中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)40上，在進(jìn)行兩張重合之前，使10張晶片3以4mm間距排列，因此，在Sll中，為了應(yīng)對(duì)從5mm間距到4mm間距，而進(jìn)行晶片3的排列間隔的變換。但是，由于第一吸附移動(dòng)部件10是以每隔一張的方式保持晶片3，因此，間距可變部件15進(jìn)行從IOmm間距到8mm間距的變換。
[0087]接著，在S12中，將晶片3載置于中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)40。具體來(lái)說(shuō)，第三突出單元70的收集器71上升，從第一吸附移動(dòng)部件10接收以8mm間距排列的5張晶片3，然后使收集器71下降，利用晶片支承部件42 —邊引導(dǎo)5張晶片3 —邊將所述5張晶片3載置在旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)41上。[0088]這時(shí)，關(guān)于晶片支承部件42的滑動(dòng)引導(dǎo)部件422，進(jìn)退引導(dǎo)部423位于前進(jìn)位置，并且橫向滑動(dòng)引導(dǎo)部424位于固定位置。由此，晶片支承部件42由于固定引導(dǎo)部件421和進(jìn)退引導(dǎo)部423的存在而成為能夠以4mm間距保持10張晶片3的狀態(tài)。
[0089]在該狀態(tài)下，下降到旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)41上的5張晶片3在一張躍起的狀態(tài)(8mm間距)下被晶片支承部件42支承，從而被載置到旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)41上。接著，在S13中，進(jìn)行先載置的這5張晶片3的翻轉(zhuǎn)。具體來(lái)說(shuō)，使旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)41旋轉(zhuǎn)180°。
[0090]在進(jìn)行S12?S13期間，同時(shí)進(jìn)行剩余的5張晶片3的移動(dòng)處理(S14和S15)。在S14中，與SlO同樣地，剩余的5張晶片3被第一突出單元50頂起。在S15中，與Sll同地，在進(jìn)行間距變換的同時(shí)，使剩余的5張晶片3朝向中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)40移動(dòng)。
[0091]接著，在S16中，與S12同樣地，將剩余的5張晶片3載置在旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)41上。這時(shí)，與上述S12同樣地，晶片支承部件42成為能夠以4mm間距保持10張晶片3的狀態(tài)，以一張躍起的方式在5個(gè)間隙中已經(jīng)載置有先前的5張晶片3。剩余5張晶片3以每隔一張的方式收納于剩余的5個(gè)間隙。
[0092]這里，由于通過(guò)上述S13翻轉(zhuǎn)了先前的5張晶片3，因此，先前的5張晶片3和剩余的5張晶片以表面或背面彼此面對(duì)的狀態(tài)載置在旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)41上。
[0093]接著，在S17中，進(jìn)行使相鄰的晶片3兩張兩張地緊貼的兩張重合處理。具體來(lái)說(shuō)，使進(jìn)退引導(dǎo)部423滑動(dòng)到后退位置，并且，使橫向滑動(dòng)引導(dǎo)件424在水平方向上滑動(dòng)，由此成為兩張重合狀態(tài)。在本實(shí)施方式中，構(gòu)成為使晶片3的背面彼此面對(duì)并緊貼。
[0094]接著，在S18中，利用第三突出單元70對(duì)兩張重合了的5組10張晶片3進(jìn)行向上方頂起的處理。然后，在S19中，利用第二吸附移動(dòng)部件20保持兩張重合了的10張晶片3并使其朝向船槽8移動(dòng)。如上述那樣，第二吸附移動(dòng)部件20以兩張重合的狀態(tài)吸附保持并移動(dòng)10張晶片3。另外，在S19中，利用傾斜機(jī)構(gòu)24使吸附板21變換成傾斜狀態(tài)。
[0095]然后，在S20中，將晶片3載置到船槽8上。具體來(lái)說(shuō)，傾斜地設(shè)置的第二突出單元60的收集器61上升，從第二吸附移動(dòng)部件20接收到5組10張的兩張重合的晶片3，然后使收集器61下降，由此，將5組兩張重合的晶片3以8mm間距每隔一段地收納于船槽8內(nèi)。
[0096]通過(guò)重復(fù)上述的SlO?S20，能夠依次使盒5內(nèi)的晶片3兩張重合并每5組10張地移載到船槽8。另外，如上述那樣，船槽8構(gòu)成為能夠以4mm間距收納晶片3。
[0097]由此，在本實(shí)施方式中，構(gòu)成為在利用第二吸附移動(dòng)部件20移動(dòng)接下來(lái)的5組10張的晶片3的情況下，在已經(jīng)每隔一段地收納于船槽8的收納部位的兩張重合的晶片3之間收納接下來(lái)的兩張重合的晶片3。由此，最終，兩張重合的晶片3以4mm間距收納在船槽8內(nèi)。
[0098]這樣，通過(guò)作為兩張重合的晶片3收納于船槽8內(nèi)，能夠一次將大量的晶片3收納在船槽8內(nèi)，能夠高效率地進(jìn)行后述的燒制工序。這是因?yàn)樵诒緦?shí)施方式的燒制工序中只對(duì)涂布有處理液的表面進(jìn)行燒制即可。另外，在本實(shí)施方式中，能夠在可以4mm間距收納100張的船槽8內(nèi)一次收納100組200張的晶片3。
[0099]收納有晶片3的船槽8在后續(xù)工序中被搬至擴(kuò)散爐，對(duì)晶片3進(jìn)行燒制。當(dāng)該燒制工序結(jié)束時(shí)，將船槽8從擴(kuò)散爐取出，這次，進(jìn)行晶片3的從船槽8到盒5的轉(zhuǎn)移。該從船槽8返回到盒5的作業(yè)通過(guò)相反地進(jìn)行上述的移載處理作業(yè)來(lái)實(shí)現(xiàn)。由此，晶片3從船槽8到中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)40是在兩張重合狀態(tài)下進(jìn)行移載，從中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)40到盒5是以一張一張地分離的方式進(jìn)行移載。
[0100]以上，對(duì)本實(shí)施方式進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明，但根據(jù)本實(shí)施方式，構(gòu)成為將晶片3每隔一張地取出并利用吸附移動(dòng)部件10、20進(jìn)行移動(dòng)，因此，即使是以狹小的間距間隔被收納于收納部件的晶片3，也能夠良好地進(jìn)行移載。
[0101]并且，根據(jù)本實(shí)施方式，在中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)40上，使晶片3兩張重合之后移載到船槽8，由此與一張一張地收納的情況相比，能夠在船槽8內(nèi)收納更多的晶片3，能夠高效率地進(jìn)行后續(xù)工序即燒制工序。
[0102]并且，在本實(shí)施方式中，設(shè)置了用于使晶片3從盒5移動(dòng)到中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)40的第一吸附移動(dòng)部件10、和用于使晶片3從中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)40移動(dòng)到船槽8的第二吸附移動(dòng)部件20，通過(guò)同時(shí)進(jìn)行兩種移動(dòng)，能夠高速地進(jìn)行移載處理。
[0103]并且，在本實(shí)施方式中，第一吸附部件10具備間距可變機(jī)構(gòu)，對(duì)于收納間距不同的收納部件也能夠容易地進(jìn)行移載處理。
[0104]以上，對(duì)本實(shí)施方式進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明，但本發(fā)明的實(shí)施方式不限于上述實(shí)施方式，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)能夠進(jìn)行各種變形。例如，構(gòu)成上述實(shí)施方式的晶片移載裝置的部件的形狀和尺寸等能夠適當(dāng)變更是不言而喻的。
[0105]此外，盒和船槽的收納張數(shù)、中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)上的載置張數(shù)、吸附移動(dòng)部件的晶片保持張數(shù)等也能夠適當(dāng)變更。并且，在上述實(shí)施方式中，當(dāng)利用吸附移動(dòng)部件保持晶片時(shí)，將收納于盒的晶片每隔一張地進(jìn)行保持，并分兩次進(jìn)行移動(dòng)，但也可以是每隔三張、每隔四張等，并分三次以上進(jìn)行移動(dòng)。
[0106]此外，在上述實(shí)施方式中，作為薄板部件，列舉移載半導(dǎo)體晶片的情況為例進(jìn)行了說(shuō)明，但對(duì)于液晶面板用的玻璃薄板等、適當(dāng)?shù)钠渌“宀考?，也能夠適用本發(fā)明。
[0107]此外，在上述實(shí)施方式中，晶片的保持移動(dòng)部件通過(guò)真空吸附來(lái)保持晶片，但只要是能夠一張一張地保持晶片并能夠改變間隔的保持部件，則例如也可以使用伯努利吸盤(pán)等或以其他適當(dāng)?shù)姆椒ū３志谋３忠苿?dòng)部件。
[0108]標(biāo)號(hào)說(shuō)明
[0109]1:晶片移載裝置；
[0110]3:晶片;
[0111]5:盒;
[0112]8:船槽；
[0113]10:第一吸附移動(dòng)部件；
[0114]11:吸附板;
[0115]12:板保持部件；
[0116]13:空氣供給部件；
[0117]15:間距可變部件；
[0118]151:凸輪板;
[0119]155:凸輪從動(dòng)件；
[0120]20:第二吸附移動(dòng)部件；
[0121]21:吸附板;[0122]22:板保持部件；
[0123]23:空氣供給部件；
[0124]24:傾斜機(jī)構(gòu)；
[0125]30:第一臂；
[0126]35:第二臂；
[0127]38:臂移動(dòng)軌道；
[0128]40:中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)；
[0129]41:旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)；
[0130]42:晶片支承部件；
[0131]421:固定引導(dǎo)部件;
[0132]422:滑動(dòng)引導(dǎo)部件；
[0133]423:進(jìn)退引導(dǎo)部；
[0134]424:橫向滑動(dòng)引導(dǎo)部；
[0135]43:下端支承件；
[0136]50:第一突出單元；
[0137]51:收集器；
[0138]53:收集器滑動(dòng)部件；
[0139]58:突出單元移動(dòng)軌道；
[0140]60:第二突出單元；
[0141]61:收集器；
[0142]63:收集器滑動(dòng)部件；
[0143]68:突出單元移動(dòng)軌道；
[0144]70:第三突出單元；
[0145]71:收集器；
[0146]73:收集器滑動(dòng)部件；
[0147]78:突出單元移動(dòng)軌道。
【權(quán)利要求】
1.一種薄板部件移載裝置，其將以規(guī)定的間隔排列收納于第一收納部件的多張薄板部件移載到第二收納部件，所述薄板部件移載裝置的特征在于，其具備: 保持移動(dòng)部件，其具有以規(guī)定的間隔設(shè)置的多個(gè)保持件，用以一張一張地保持所述薄板部件，所述保持移動(dòng)部件將所述薄板部件以多張集中起來(lái)的方式以規(guī)定的間隔進(jìn)行保持并使所述薄板部件移動(dòng)； 第一突出部件，其以每隔規(guī)定的張數(shù)的方式支承被收納于所述第一收納部件的所述薄板部件，并朝向所述保持移動(dòng)部件突出，用以在所述第一收納部件和所述保持移動(dòng)部件之間進(jìn)行所述薄板部件的交接；以及 第二突出部件，其支承被所述保持移動(dòng)部件移動(dòng)到所述第二收納部件的附近的多張所述薄板部件，并將該多張所述薄板部件收納到所述第二收納部件，用以在所述保持移動(dòng)部件和所述第二收納部件之間進(jìn)行所述薄板部件的交接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄板部件移載裝置，其特征在于， 所述薄板部件移載裝置還具備: 中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)，其具有旋轉(zhuǎn)自如的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)，用以臨時(shí)載置被所述保持移動(dòng)部件移動(dòng)的所述薄板部件并且使所載置的所述薄板部件的表背翻轉(zhuǎn)，所述中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)被設(shè)置在所述第一收納部件和所述第二收納部件之間；以及 第三突出部件，其支承被所述保持移動(dòng)部件移動(dòng)到所述中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)的附近的多張所述薄板部件并載置到所述旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)上，用以在所述保持移動(dòng)部件和所述中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)之間進(jìn)行所述薄板部件的交接，并且，所述第三突出部件支承被載置在所述旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)上的所述薄板部件并朝向所述保持移動(dòng)部件突出。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的薄板部件移載裝置，其特征在于， 所述保持移動(dòng)部件具備用于使所述薄板部件在所述第一收納部件和所述中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)之間移動(dòng)的第一保持移動(dòng)部件、和用于使所述薄板部件在所述中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)和所述第二收納部件之間移動(dòng)的第二保持移動(dòng)部件。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的薄板部件移載裝置，其特征在于， 所述中間回轉(zhuǎn)載物臺(tái)具備一對(duì)薄板支承部件，所述薄板支承部件被設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)上，從兩側(cè)支承被載置在該旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)上的所述薄板部件，所述薄板支承部件具有引導(dǎo)部件，所述引導(dǎo)部件引導(dǎo)由所述第三突出部件支承的多張所述薄板部件以按照規(guī)定的間隔將其載置到所述旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)上， 該引導(dǎo)部件具備橫向滑動(dòng)引導(dǎo)部，所述橫向滑動(dòng)引導(dǎo)部具有引導(dǎo)件并且在水平方向上滑動(dòng)自如，所述引導(dǎo)件以每隔一個(gè)部位的方式介于被載置在所述旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)上的多張所述薄板部件之間，通過(guò)使所述橫向滑動(dòng)引導(dǎo)部在水平方向上滑動(dòng)移動(dòng)，由此使所述薄板部件兩張兩張地重合。
5.根據(jù)權(quán)利要求1~4中的任一項(xiàng)所述的薄板部件移載裝置，其特征在于， 所述保持移動(dòng)部件具備真空吸附板作為所述保持件， 所述保持移動(dòng)部件還具備用于變更所述保持件的間隔的間隔可變部件，所述間隔可變部件具有用于變更被設(shè)置在所述保持件側(cè)的凸輪從動(dòng)件的間隔的凸輪板、和使凸輪板滑動(dòng)移動(dòng)的凸輪驅(qū)動(dòng)部件。
6.—種薄板部件移載方法，用于將以規(guī)定的間隔排列收納于第一收納部件的多張薄板部件移載到第二收納部件，所述薄板部件移載方法的特征在于，其具備: 第一頂起工序，在該第一頂起工序中，利用突出部件將收納于所述第一收納部件的所述薄板部件以每隔一張的方式向上方頂起； 第一移動(dòng)工序，在該第一移動(dòng)工序中，將通過(guò)所述第一頂起工序被頂起的所述薄板部件保持于保持移動(dòng)部件并使所述薄板部件朝向所述第二收納部件移動(dòng)； 第二頂起工序，在該第二頂起工序中，利用所述突出部件將在所述第一收納部件中每隔一張地剩余的所述薄板部件向上方頂起；以及 第二移動(dòng)工序，在該第二移動(dòng)工序中，利用所述保持移動(dòng)部件保持通過(guò)所述第二頂起工序被頂起的所述薄板部件并使所述薄板部件朝向所述第二收納部件移動(dòng)， 以每隔一張的方式分兩次移載被收納于所述第一收納部件的薄板部件。
【文檔編號(hào)】H01L21/677GK103999206SQ201280062229
【公開(kāi)日】2014年8月20日 申請(qǐng)日期:2012年11月14日 優(yōu)先權(quán)日:2011年12月16日
【發(fā)明者】藤原弘一, 藤原賢司 申請(qǐng)人:福來(lái)斯科精密機(jī)械有限公司