專利名稱：一種適于導(dǎo)片的石英舟的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及太陽能電池片的擴(kuò)散設(shè)備，特別涉及一種適于導(dǎo)片的石英舟。
背景技術(shù)：
石英舟是一種在擴(kuò)散爐中用來裝載硅太陽能電池片或稱硅片的夾具，其外形需要與擴(kuò)散設(shè)備、硅片、自動化設(shè)備相適應(yīng)。由于硅片厚度正常處于200-170um范圍，較薄，因此要保證硅片在裝載過程及后續(xù)的高溫?cái)U(kuò)散和氧化過程中保持完整，不受損壞。同時(shí)，隨著硅太陽能電池片生產(chǎn)線對自動化和品質(zhì)要求的提高，要求石英舟能滿足擴(kuò)散品質(zhì)與自動化。但是目前國內(nèi)廠家采用的石英舟存在以下問題:(I)在槽口設(shè)計(jì)不合理，槽口較窄，使得裝載有硅片的石英舟同一性不好，不但影響了擴(kuò)散工藝，同時(shí)也使得自動化導(dǎo)片過程中碎片率高；(2)取舟套筒設(shè)于石英舟框架的底部中間，阻礙了自動化導(dǎo)片設(shè)備從底部頂起硅片；(3)結(jié)構(gòu)不牢固，使用后變形、損壞率過高。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種適于導(dǎo)片的石英舟，可降低硅片碎片率。本實(shí)用新型的目的可通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):一種適于導(dǎo)片的石英舟，包括支撐框架和安裝于支撐框架上的取舟套筒，所述支撐框架包括兩端面板以及一對相互平行的上槽棒和一對相互平行的下槽棒，所述上槽棒和下槽棒上均開有用于卡插硅片的卡槽，所述上槽棒的卡槽設(shè)置在上槽棒的內(nèi)側(cè)面，所述下槽棒的卡槽設(shè)置在下槽棒的上表面，所述上槽棒的卡槽和下槽棒的卡槽均為傾斜設(shè)置的V型槽，以端面板為基準(zhǔn)面，該V型槽的傾斜角度a為2° 5°，槽深為3mnT4mm，槽底寬度為ImnTl.5mm，兩槽壁的夾角@為20° 30°，通過較寬的V型槽槽口來適于自動導(dǎo)片設(shè)備進(jìn)行導(dǎo)片，降低硅片碎片率。在上述基礎(chǔ)上，本實(shí)用新型可做如下改進(jìn):本實(shí)用新型所述的一對上槽棒的間距大于所述的一對下槽棒的間距，以穩(wěn)定卡插硅片，并利于自動導(dǎo)片設(shè)備從框架底部向上托起硅片。本實(shí)用新型所述下槽棒的兩側(cè)設(shè)有一對相互平行的支撐棒，所述支撐棒的兩端固定于兩端面板上，以增強(qiáng)支撐框架的牢固程度，降低硅片碎片率。本實(shí)用新型所述的一對支撐棒的間距大于所述的一對上槽棒的間距，以進(jìn)一步增強(qiáng)支撐框架的牢固程度，降低硅片碎片率。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn):本實(shí)用新型所述取舟套筒位于端面板的頂部，以避免取舟套筒阻礙自動導(dǎo)片設(shè)備進(jìn)行導(dǎo)片。本實(shí)用新型所述端面板的底部中心開有用于外部自動導(dǎo)片設(shè)備定位的半圓形定位孔，以便自動導(dǎo)片設(shè)備精確定位石英舟的位置，提高導(dǎo)片成功率。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型技術(shù)具有如下有益效果:(I)本實(shí)用新型的V型槽的設(shè)置可使硅片穩(wěn)固卡插在卡槽內(nèi)，同時(shí)也降低了插片難度，降低了插片時(shí)或自動導(dǎo)片設(shè)備導(dǎo)片時(shí)的碎片率，從而提高硅片擴(kuò)散工藝中的擴(kuò)散品質(zhì)；(2)本實(shí)用新型通過各槽棒及支撐棒間距的設(shè)置，提高了支撐框架整體的牢固程度，使石英舟結(jié)構(gòu)緊湊，不易扭曲，進(jìn)一步降低了硅片碎片率；(3)本實(shí)用新型將取舟套筒設(shè)于端面板的頂部，避免了現(xiàn)有技術(shù)中取舟套筒在一對下槽棒之間而阻礙自動導(dǎo)片設(shè)備進(jìn)行導(dǎo)片的問題，從而降低了插片、導(dǎo)片的難度，更進(jìn)一步降低了硅片的碎片率。

圖1為本實(shí)用新型的主視結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1的A處放大示意圖；圖3為圖1的側(cè)視圖。圖中:1、支撐框架；11、上槽棒；111、上槽棒的卡槽；12、下槽棒；121、下槽棒的卡槽；13、端面板；14、支撐棒；2、取舟套筒；4、定位孔。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。如圖f 3所示的一種適于導(dǎo)片的石英舟，包括支撐框架I和安裝于支撐框架上的取舟套筒2，支撐框架I包括兩端面板13以及一對相互平行的上槽棒11和一對相互平行的下槽棒12，上槽棒11和下槽棒12架設(shè)在兩端面板13上，取舟套筒2位于端面板13的頂部。兩上槽棒11的間距大于兩下槽棒12的間距，在下槽棒12的兩側(cè)設(shè)有一對相互平行的支撐棒14，支撐棒14的兩端固定于兩端面板13上，兩支撐棒14的間距大于兩上槽棒11的間距，從而形成穩(wěn)固的支撐框架I結(jié)構(gòu)。上槽棒11和下槽棒12上均開有卡槽,卡槽沿各槽棒長度方向陣列設(shè)置,卡槽用于卡插娃片，每個(gè)卡槽可卡插兩個(gè)娃片。上槽棒11的卡槽111設(shè)置在上槽棒11的內(nèi)側(cè)面，下槽棒12的卡槽121設(shè)置在下槽棒11的上表面。上槽棒11的卡槽111和下槽棒121的卡槽121均為為傾斜設(shè)置的V型槽，以端面板13為豎直的基準(zhǔn)面，該V型槽的傾斜角度α為2° 5°，槽深為3mnT4mm，槽底寬度為ImnTl.5mm，兩槽壁的夾角β為20。 30°，通過較寬的V型槽槽口，及傾斜的角度來穩(wěn)固承載硅片，并適于自動導(dǎo)片設(shè)備進(jìn)行導(dǎo)片，降低硅片碎片率。其中，本實(shí)施例的上槽棒11、下槽棒12和支撐棒14均選用Φ14的石英棒，取舟套筒2選用外徑Φ16、內(nèi)徑Φ10、長度194mm的石英管,端面板13選用厚度為IOmm的石英板。娃片裝載在上、下槽棒11、12的V型槽上，形成與四根槽棒的四個(gè)接觸點(diǎn)。上槽棒11中的每個(gè)V型槽相同，上槽棒11的V型槽的傾斜角度為3°，乂型槽槽深為4mm，V型槽槽底寬度為1mm，V型槽兩槽壁的夾角為20°，各V型槽的槽距為
4.76±0.05mm ;設(shè)置兩上槽棒11槽底間的距離為159mm,該距離略大于156mmX 156mm規(guī)格硅片的長度，進(jìn)一步降低插片、導(dǎo)片難度。下槽棒12中的每個(gè)V型槽相同，下槽棒12的V型槽的傾斜角度為3°，V型槽槽深為3mm，V型槽槽底寬度為1mm，V型槽兩槽壁的夾角為30°，各V型槽的槽距為4.76±0.05mm。端面板13的外側(cè)壁與下槽棒12中最靠近的V型槽的距離為15mm±0.1mm。如圖3所示，端面板13的底部中心開有用于外部自動導(dǎo)片設(shè)備定位的半圓形定位孔4，該定位孔4半徑為R6.5mm。本實(shí)用新型的實(shí)施方式不限于此，按照本實(shí)用新型的上述內(nèi)容，利用本領(lǐng)域的普通技術(shù)知識和慣用手段，在不脫離本實(shí)用新型上述基本技術(shù)思想前提下，本實(shí)用新型還可以做出其它多種形式的修改、替換或變更，均落在本實(shí)用新型權(quán)利保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種適于導(dǎo)片的石英舟，包括支撐框架(I)和安裝于支撐框架(I)上的取舟套筒(2)，所述支撐框架(I)包括兩端面板(13)以及一對相互平行的上槽棒(11)和一對相互平行的下槽棒(12)，所述上槽棒(11)和下槽棒(12)均開有用于卡插硅片的卡槽，所述上槽棒(11)的卡槽(111)設(shè)置在上槽棒(11)的內(nèi)側(cè)面，所述下槽棒(12)的卡槽(121)設(shè)置在下槽棒(12)的上表面，其特征在于:所述上槽棒(11)的卡槽(111)和下槽棒(12)的卡槽(121)均為傾斜設(shè)置的V型槽，以端面板(13)為基準(zhǔn)面，所述V型槽的傾斜角度a為2° 5。，槽深為3mm 4mm,槽底寬度為Imm 1.5mm,兩槽壁的夾角P為20° 30°。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適于導(dǎo)片的石英舟，其特征在于:所述的一對上槽棒(11)的間距大于所述的一對下槽棒(12)的間距。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適于導(dǎo)片的石英舟，其特征在于:所述下槽棒(12)的兩側(cè)設(shè)有一對相互平行的支撐棒(14)，所述支撐棒(14)的兩端固定于兩端面板(13)上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的適于導(dǎo)片的石英舟，其特征在于:所述的一對支撐棒(14)的間距大于所述的一對上槽棒(11)的間距。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的適于導(dǎo)片的石英舟，其特征在于:所述取舟套筒(2)位于端面板(13)的頂部。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的適于導(dǎo)片的石英舟，其特征在于:所述端面板(13)的底部中心開有用于外部自動導(dǎo)片設(shè)備定位的半圓形定位孔(4)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種適于導(dǎo)片的石英舟，包括支撐框架和安裝于支撐框架上的取舟套筒，所述支撐框架包括兩端面板以及一對相互平行的上槽棒和一對相互平行的下槽棒，所述上槽棒和下槽棒上均開有用于卡插硅片的卡槽，所述上槽棒的卡槽設(shè)置在上槽棒的內(nèi)側(cè)面，所述下槽棒的卡槽設(shè)置在下槽棒的上表面，所述上槽棒的卡槽和下槽棒的卡槽均為傾斜設(shè)置的V型槽，以端面板為基準(zhǔn)面，該V型槽的傾斜角度α為2°~5°，槽深為3mm~4mm，槽底寬度為1mm~1.5mm，兩槽壁的夾角β為20°~30°。本實(shí)用新型可使硅片穩(wěn)固卡插在卡槽內(nèi)，同時(shí)也降低了插片難度，降低了插片時(shí)或自動導(dǎo)片設(shè)備導(dǎo)片時(shí)的碎片率，從而提高硅片擴(kuò)散工藝中的擴(kuò)散品質(zhì)。
文檔編號H01L21/673GK203071053SQ20122074583
公開日2013年7月17日 申請日期2012年12月29日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月29日
發(fā)明者唐亮, 王利國, 戴德鵬, 劉屹, 張偉, 冷皓, 郭輝, 周洋 申請人:晶澳(揚(yáng)州)太陽能科技有限公司