專利名稱：一種基材承載裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，特別是涉及一種基材承載裝置。
背景技術(shù)：
在太陽(yáng)能電池制造的制絨制程中，需要用收片裝置來(lái)收集處理好的硅片，此時(shí)硅片是從外部插入收片裝置的裝片槽；在后續(xù)的擴(kuò)散制程中，需要將硅片從收片裝置中取出。硅片在這些進(jìn)出過(guò)程中存在碎裂的風(fēng)險(xiǎn)，因此需要設(shè)計(jì)合理的收片裝置來(lái)減少硅片的碎片率。如圖廣圖3所示，現(xiàn)有的一種收片裝置包括位于左右兩側(cè)的直立面111及112、設(shè)于上下兩側(cè)連接所述兩直立面的連接體121及122，設(shè)置于后側(cè)且與所述兩直立面連接的支撐體14、及位于前側(cè)的一開(kāi)口，所述直立面內(nèi)側(cè)具有由多個(gè)橫肋體組成的裝片槽13，一般的橫肋體為長(zhǎng)方體形狀。圖2為現(xiàn)有的收片裝置的俯視圖，由圖2可見(jiàn)(其中，上下兩側(cè)連接體121及122未予圖示)，該收片裝置的裝片槽朝向開(kāi)口的頂端側(cè)面與與其相連的另一側(cè)面之間的夾角131為直角結(jié)構(gòu)；圖3為該收片裝置開(kāi)口處的側(cè)視圖，由圖3可見(jiàn)，各該裝片槽朝向開(kāi)口的頂端側(cè)面與裝片槽上下表面之間的夾角也為直角結(jié)構(gòu)，這種結(jié)構(gòu)的收片裝置，硅片在水平進(jìn)出裝片槽時(shí)與頂端接觸面較大，從而摩擦面積較大，在進(jìn)出過(guò)程中易導(dǎo)致碎片。因此，提供一種能夠有效降低硅片進(jìn)出收片裝置時(shí)硅片的裂片幾率的新型收片裝
置實(shí)屬必要
實(shí)用新型內(nèi)容
鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種基材承載裝置，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中的基材承載裝置在硅片水平進(jìn)出時(shí)，由于與裝片槽頂端的接觸面積過(guò)大而導(dǎo)致容易出現(xiàn)硅片碎片現(xiàn)象的問(wèn)題。為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種基材承載裝置，至少包括:位于左右兩側(cè)的直立面、設(shè)于上下兩側(cè)連接所述兩直立面的連接體，設(shè)置于后側(cè)且與所述兩直立面連接的支撐體、及位于前側(cè)的一開(kāi)口，所述兩直立面的內(nèi)側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)置有多個(gè)由所述開(kāi)口向所述支撐體延伸的橫肋體，與所述橫肋體上下表面平行的截面于開(kāi)口處至少具有一圓弧邊。作為本實(shí)用新型的基材承載裝置的一種優(yōu)選方案，所述圓弧邊連接于所述直立面及與該直立面相對(duì)的橫肋體的側(cè)面。進(jìn)一步地，所述圓弧邊與所述橫肋體的側(cè)面相切。作為本實(shí)用新型的基材承載裝置的一種優(yōu)選方案，于開(kāi)口處連接所述橫肋體上下表面的連接面為圓弧面。進(jìn)一步地，所述圓弧面與所述橫肋體的上下表面相切。作為本實(shí)用新型的基材承載裝置的一種優(yōu)選方案，所述橫肋體的上表面與所述橫肋體朝向所述開(kāi)口的側(cè)面之間的連接面為圓弧面。進(jìn)一步地，所述圓弧面與所述橫肋體的上表面及所述橫肋體朝向所述開(kāi)口的側(cè)面均相切。如上所述，本實(shí)用新型提供一種基材承載裝置，至少包括:位于左右兩側(cè)的直立面、設(shè)于上下兩側(cè)連接所述兩直立面的連接體，設(shè)置于后側(cè)且與所述兩直立面連接的支撐體、及位于前側(cè)的一開(kāi)口，所述兩直立面的內(nèi)側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)置有多個(gè)由所述開(kāi)口向所述支撐體延伸的橫肋體，與所述橫肋體上下表面平行的截面于開(kāi)口處至少具有一圓弧邊。本實(shí)用新型具有以下有益效果:減小了硅片與橫肋體頂端的接觸面積，在水平進(jìn)出收片裝置的過(guò)程中硅片與橫肋體頂端的摩擦面積也減少，從而在進(jìn)出過(guò)程中承受更小的阻力。橫肋體開(kāi)口上端垂直接觸硅片的表面進(jìn)行圓鈍化后，硅片進(jìn)入收片裝置時(shí)接觸到的頂端可以更圓滑，從而減少硅片因?qū)ξ徊粶?zhǔn)而產(chǎn)生碎片的可能性。

圖1-圖3顯示為現(xiàn)有技術(shù)的收片裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖Γ圖5顯示為本實(shí)用新型的基材承載裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖。圖6顯示為本實(shí)用新型的基材承載裝置的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。圖7顯示為本實(shí)用新型實(shí)施例1中的基材承載裝置的橫肋體側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。圖8顯示為本實(shí)用新型實(shí)施例2中的基材承載裝置的橫肋體側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。元件標(biāo)號(hào)說(shuō)明211、212直立面221、222連接體23支撐體24橫肋體241圓弧邊25裝片槽
具體實(shí)施方式
以下由特定的具體實(shí)施例說(shuō)明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，熟悉此技術(shù)的人士可由本說(shuō)明書(shū)所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)及功效。請(qǐng)參閱圖4至圖8。須知，本說(shuō)明書(shū)所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說(shuō)明書(shū)所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的限定條件，故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實(shí)用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本實(shí)用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時(shí)，本說(shuō)明書(shū)中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語(yǔ)，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的范圍，其相對(duì)關(guān)系的改變或調(diào)整，在無(wú)實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)亦視為本實(shí)用新型可實(shí)施的范疇。實(shí)施例1如圖Γ圖7所示，本實(shí)用新型提供一種基材承載裝置，至少包括:位于左右兩側(cè)的直立面211、212、設(shè)于上下兩側(cè)連接所述兩直立面211、212的連接體221、222，設(shè)置于后側(cè)且與所述兩直立面211、212連接的支撐體23、及位于前側(cè)的一開(kāi)口，所述兩直立面211、212的內(nèi)側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)置有多個(gè)由所述開(kāi)口向所述支撐體23延伸的橫肋體24，與所述橫肋體24上下表面平行的截面于開(kāi)口處至少具有一圓弧邊241。需要說(shuō)明的是，相鄰的兩橫肋體24組成一裝片槽25，一般來(lái)說(shuō)，硅片裝載時(shí)，將硅片從所述開(kāi)口沿所述裝片槽25插入，裝載過(guò)程中或裝載完成時(shí)，所述硅片與位于裝片槽25下方的橫肋體24的上表面相接觸。所述圓弧邊241可以是所述橫肋體24截面于開(kāi)口處連接朝向開(kāi)口的頂側(cè)面及與該頂側(cè)面相接的另一側(cè)面的圓弧倒角，也可以作為橫肋體24截面的一邊，連接于所述直立面211、212及與該直立面211、212相對(duì)的橫肋體24的側(cè)面。在本實(shí)施例中，所述圓弧邊241連接于所述直立面211、212及與該直立面211、212相對(duì)的橫肋體24的側(cè)面，如圖6所示(其中，上下兩側(cè)的連接體221及222未予圖示)。采用這種結(jié)構(gòu)的橫肋體24，可以有效地減小硅片于開(kāi)口處與橫肋體24的接觸面積，弧形的設(shè)計(jì)也可以有效地避免硅片在水平進(jìn)出收片裝置時(shí)因摩擦等所造成裂片的幾率。在本實(shí)施例中，所述圓弧邊241與所述橫肋體24的側(cè)面相切。所述圓弧邊241與所述橫肋體24的側(cè)面相切，可以有效地提高相接處的平滑度，降低硅片裂片的幾率。本實(shí)施例的基材承載裝置在上述結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上又作了改進(jìn)，于開(kāi)口處連接所述橫肋體24上下表面的連接面采用圓弧面設(shè)計(jì)。進(jìn)一步地，所述圓弧面與所述橫肋體24的上下表面相切。這種結(jié)構(gòu)的橫肋體24，可以使硅片進(jìn)入收片裝置時(shí)接觸到的頂端更圓滑，從而減少硅片因?qū)ξ徊粶?zhǔn)而產(chǎn)生碎片的可能性。實(shí)施例2`[0035]如圖Γ圖6及圖8所示，本實(shí)施例提供一種基材承載裝置，至少包括:位于左右兩側(cè)的直立面211、212、設(shè)于上下兩側(cè)連接所述兩直立面211、212的連接體221、222，設(shè)置于后側(cè)且與所述兩直立面211、212連接的支撐體23、及位于前側(cè)的一開(kāi)口，所述兩直立面211、212的內(nèi)側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)置有多個(gè)由所述開(kāi)口向所述支撐體23延伸的橫肋體24，與所述橫肋體24上下表面平行的截面于開(kāi)口處至少具有一圓弧邊241。需要說(shuō)明的是，相鄰的兩橫肋體24組成一裝片槽25，一般來(lái)說(shuō)，硅片裝載時(shí)，將硅片從所述開(kāi)口延所述裝片槽25插入，裝載過(guò)程中或裝載完成時(shí)，所述硅片與位于裝片槽25下方的橫肋體24的上表面相接觸。所述圓弧邊241可以是所述橫肋體24截面于開(kāi)口處連接朝向開(kāi)口的頂側(cè)面及與該頂側(cè)面相接的另一側(cè)面的圓弧倒角，也可以作為橫肋體24截面的一邊，連接于所述直立面211、212及與該直立面211、212相對(duì)的橫肋體24的側(cè)面。在本實(shí)施例中，所述圓弧邊241連接于所述直立面211、212及與該直立面211、212相對(duì)的橫肋體24的側(cè)面，如圖6所示(其中，上下兩側(cè)的連接體221及222未予圖示)。采用這種結(jié)構(gòu)的橫肋體24，可以有效地減小硅片于開(kāi)口處與橫肋體24的接觸面積，弧形的設(shè)計(jì)也可以有效地避免硅片在水平進(jìn)出收片裝置時(shí)因摩擦等所造成裂片的幾率。在本實(shí)施例中，所述圓弧邊241與所述橫肋體24的側(cè)面相切。所述圓弧邊241與所述橫肋體24的側(cè)面相切，可以有效地提高相接處的平滑度，降低硅片裂片的幾率。本實(shí)施例的基材承載裝置在上述結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上又作了改進(jìn)，所述橫肋體24的上表面與所述橫肋體24朝向所述開(kāi)口的側(cè)面之間的連接面為圓弧面。進(jìn)一步地，所述圓弧面與所述橫肋體24的上表面及所述橫肋體24朝向所述開(kāi)口的側(cè)面均相切。綜上所述，本實(shí)用新型提供一種基材承載裝置，至少包括:位于左右兩側(cè)的直立面211、212、設(shè)于上下兩側(cè)連接所述兩直立面211、212的連接體221、222，設(shè)置于后側(cè)且與所述兩直立面211、212連接的支撐體23、及位于前側(cè)的一開(kāi)口，所述兩直立面211、212的內(nèi)側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)置有多個(gè)由所述開(kāi)口向所述支撐體23延伸的橫肋體24，與所述橫肋體24上下表面平行的截面于開(kāi)口處至少具有一圓弧邊241。本實(shí)用新型具有以下有益效果:減小了硅片與橫肋體頂端的接觸面積，在水平進(jìn)出收片裝置的過(guò)程中硅片與橫肋體頂端的摩擦面積也減少，從而在進(jìn)出過(guò)程中承受更小的阻力。橫肋體開(kāi)口上端垂直接觸硅片的表面進(jìn)行圓鈍化后，硅片進(jìn)入收片裝置時(shí)接觸到的頂端可以更圓滑，從而減少硅片因?qū)ξ徊粶?zhǔn)而產(chǎn)生碎片的可能性。所以，本實(shí)用新型有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點(diǎn)而具高度產(chǎn)業(yè)利用價(jià)值。上述實(shí)施例僅例示性說(shuō)明本實(shí)用新型的原理及其功效，而非用于限制本實(shí)用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實(shí)用新型的精神及范疇下，對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此，舉凡所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者在未脫離本實(shí)用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本實(shí)用新型的權(quán)利要求所涵蓋。
權(quán)利要求1.一種基材承載裝置，其特征在于，至少包括:位于左右兩側(cè)的直立面、設(shè)于上下兩側(cè)連接所述兩直立面的連接體，設(shè)置于后側(cè)且與所述兩直立面連接的支撐體、及位于前側(cè)的一開(kāi)口，所述兩直立面的內(nèi)側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)置有多個(gè)由所述開(kāi)口向所述支撐體延伸的橫肋體，與所述橫肋體上下表面平行的截面于開(kāi)口處至少具有一圓弧邊。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基材承載裝置，其特征在于:所述圓弧邊連接于所述直立面及與該直立面相對(duì)的橫肋體的側(cè)面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基材承載裝置，其特征在于:所述圓弧邊與所述橫肋體的側(cè)面相切。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基材承載裝置，其特征在于:于開(kāi)口處連接所述橫肋體上下表面的連接面為圓弧面。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基材承載裝置，其特征在于:所述圓弧面與所述橫肋體的上下表面相切。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基材承載裝置，其特征在于:所述橫肋體的上表面與所述橫肋體朝向所述開(kāi)口的側(cè)面之間的連接面為圓弧面。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基材承載裝置，其特征在于:所述圓弧面與所述橫肋體的上表面及所述橫肋體朝向所述開(kāi)口的側(cè)面均相切。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種基材承載裝置，至少包括位于左右兩側(cè)的直立面、設(shè)于上下兩側(cè)連接所述兩直立面的連接體，設(shè)置于后側(cè)且與所述兩直立面連接的支撐體、及位于前側(cè)的一開(kāi)口，所述兩直立面的內(nèi)側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)置有多個(gè)由所述開(kāi)口向所述支撐體延伸的橫肋體，與所述橫肋體上下表面平行的截面于開(kāi)口處至少具有一圓弧邊。本實(shí)用新型具有以下有益效果減小了硅片與橫肋體頂端的接觸面積，在水平進(jìn)出收片裝置的過(guò)程中硅片與橫肋體頂端的摩擦面積也減少，從而在水平進(jìn)出過(guò)程中承受更小的阻力。對(duì)開(kāi)口上端垂直接觸硅片的橫肋體表面進(jìn)行圓鈍化后，硅片進(jìn)入收片裝置時(shí)接觸到的頂端可以更圓滑，從而減少硅片因?qū)ξ徊粶?zhǔn)而產(chǎn)生碎片的可能性。
文檔編號(hào)H01L21/677GK202977390SQ20122064470
公開(kāi)日2013年6月5日 申請(qǐng)日期2012年11月29日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月29日
發(fā)明者李洋, 付安強(qiáng) 申請(qǐng)人:茂迪(蘇州)新能源有限公司