專利名稱：硅片傳送機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及光伏器件的制造設(shè)備部件，具體是一種用來(lái)在硅片清洗和干燥設(shè)備中傳送娃片的娃片傳送機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有太陽(yáng)能電池企業(yè)清洗設(shè)備中清洗槽及風(fēng)刀烘干處的傳送機(jī)構(gòu)通常包括由上滾輪、下滾輪組成的至少一對(duì)滾輪，上、下滾輪相對(duì)滾動(dòng)并借助摩擦力將夾持在兩滾輪之間的硅片向前傳送，由于滾輪與硅片表面相接觸，上滾輪的存在會(huì)阻礙水噴淋對(duì)硅片進(jìn)行充分的清洗或風(fēng)刀對(duì)硅片進(jìn)行充分的烘干，最主要的是，在傳送過(guò)程中硅片表面容易被滾輪上的化學(xué)物質(zhì)污染，可能使硅片在風(fēng)刀烘干后在表面留下滾輪印痕跡，而經(jīng)過(guò)PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)鍍膜或燒結(jié)后滾輪痕跡會(huì)變的更為明顯，影響了產(chǎn)品的外觀質(zhì)量。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是，提供一種能夠提高清洗設(shè)備的清洗效果、減少對(duì)娃片污染的娃片傳送機(jī)構(gòu)。本實(shí)用新型的硅片傳送機(jī)構(gòu)包括有一個(gè)用來(lái)承載硅片的由動(dòng)力驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)的下滾輪；下滾輪的正上方設(shè)置有與下滾輪轉(zhuǎn)軸平行的中空的噴氣桿，噴氣桿的底部設(shè)置有下噴氣孔，噴氣桿的前下側(cè)和后下側(cè)·設(shè)置有側(cè)噴氣孔；下噴氣孔和側(cè)噴氣孔均沿噴氣桿長(zhǎng)度方向排列，并經(jīng)過(guò)噴氣桿內(nèi)腔與外部氣源連通。所述下噴氣孔的直徑大于側(cè)噴氣孔的直徑。本實(shí)用新型由于采用不與硅片相接觸的噴氣桿替代傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)中的上滾輪，利用合理分布的噴氣孔，使硅片平穩(wěn)地與下滾輪接觸，使下滾輪能夠借助摩擦力將硅片向前送進(jìn)，不僅使硅片上表面的清洗和烘干效果更佳，并且避免了傳送機(jī)構(gòu)污染硅片上表面，提高了硅片的外觀質(zhì)量。

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖所示，該硅片傳送機(jī)構(gòu)包括有一個(gè)用來(lái)承載硅片P的由動(dòng)力驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)的下滾輪I ;下滾輪I的正上方設(shè)置有與下滾輪轉(zhuǎn)軸平行的中空的噴氣桿2，噴氣桿的底部設(shè)置有下噴氣孔21，噴氣桿的前下側(cè)和后下側(cè)設(shè)置有側(cè)噴氣孔22 ;下噴氣孔21和側(cè)噴氣孔22均沿噴氣桿長(zhǎng)度方向排列，并經(jīng)過(guò)噴氣桿內(nèi)腔與外部氣源連通。下噴氣孔21的直徑大于側(cè)噴氣孔22的直徑。本實(shí)用新型工作過(guò)程中，當(dāng)硅片進(jìn)入噴氣桿與下滾輪之間時(shí)，下噴氣孔21噴出的凈化空氣均勻緊壓硅片，從而使硅片受到下滾輪的摩擦力而繼續(xù)行進(jìn)；側(cè)噴氣孔22噴出氣體對(duì)娃片施加一個(gè)向前下方和后下方的力，以確保娃片在傳輸中不會(huì)發(fā)生走偏、翅片、疊片或卡片等現(xiàn)象；由于噴氣桿與硅片無(wú)直接接觸，硅片經(jīng)過(guò)清洗、風(fēng)刀烘干后無(wú)接觸式滾輪留下的印跡，硅片經(jīng)過(guò)后續(xù)工 藝如PECVD鍍膜或燒結(jié)后不會(huì)產(chǎn)生滾輪印，從而提高電池片外觀良率。
權(quán)利要求1.一種硅片傳送機(jī)構(gòu)，包括有一個(gè)用來(lái)承載硅片的由動(dòng)力驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)的下滾輪(I);其特征是下滾輪(I)的正上方設(shè)置有與下滾輪轉(zhuǎn)軸平行的中空的噴氣桿(2)，噴氣桿的底部設(shè)置有下噴氣孔(21)，噴氣桿的前下側(cè)和后下側(cè)設(shè)置有側(cè)噴氣孔(22);下噴氣孔(21)和側(cè)噴氣孔(22)均沿噴氣桿長(zhǎng)度方向排列，并經(jīng)過(guò)噴氣桿內(nèi)腔與外部氣源連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片傳送機(jī)構(gòu)，其特征是下噴氣孔(21)的直徑大于側(cè)噴氣孔(22)的直徑。
專利摘要本實(shí)用新型涉及光伏器件的制造設(shè)備部件，具體是一種用來(lái)在硅片清洗和干燥設(shè)備中傳送硅片的硅片傳送機(jī)構(gòu)。硅片傳送機(jī)構(gòu)包括有一個(gè)用來(lái)承載硅片的由動(dòng)力驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)的下滾輪；下滾輪的正上方設(shè)置有與下滾輪轉(zhuǎn)軸平行的中空的噴氣桿，噴氣桿的底部設(shè)置有下噴氣孔，噴氣桿的前下側(cè)和后下側(cè)設(shè)置有側(cè)噴氣孔；下噴氣孔和側(cè)噴氣孔均沿噴氣桿長(zhǎng)度方向排列，并經(jīng)過(guò)噴氣桿內(nèi)腔與外部氣源連通。本實(shí)用新型由于采用不與硅片相接觸的噴氣桿替代傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)中的上滾輪，利用合理分布的噴氣孔，使硅片平穩(wěn)地與下滾輪接觸，使下滾輪能夠借助摩擦力將硅片向前送進(jìn)，不僅使硅片上表面的清洗和烘干效果更佳，并且避免了傳送機(jī)構(gòu)污染硅片上表面，提高了硅片的外觀質(zhì)量。
文檔編號(hào)H01L21/677GK202905681SQ201220558728
公開日2013年4月24日 申請(qǐng)日期2012年10月29日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月29日
發(fā)明者劉振華, 李化陽(yáng), 任海兵 申請(qǐng)人:鎮(zhèn)江大全太陽(yáng)能有限公司