專利名稱：一種全自動(dòng)化se電池量產(chǎn)腐蝕裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種全自動(dòng)化SE電池量產(chǎn)腐蝕裝置，屬于光伏技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
目前，制絨是對(duì)硅片表面進(jìn)行各向同性腐蝕，形成微溝，降低硅片表面的反射率，促使太陽(yáng)在硅片表面進(jìn)行多級(jí)反射，提升光的利用率。在太陽(yáng)能晶硅電池的制備工藝中，制絨工藝是關(guān)系到太陽(yáng)能電池表面的光吸收的重要部分，也是提高太陽(yáng)能電池轉(zhuǎn)換效率的重要途徑之一。在制絨工藝中，酸制絨處理設(shè)備是很重要的一部份，現(xiàn)有制絨處理設(shè)備是由處理 槽(含內(nèi)、外槽)和循環(huán)儲(chǔ)存罐(處理液用)所構(gòu)成。但存在以下幾個(gè)問題I :酸制絨處理設(shè)備的基板表面的要求是刻蝕中要確保被處理物的表面溫度和濃度要均勻。在處理大量的被處理物時(shí)，要確保所有表面整體的溫度、濃度達(dá)到均勻性是很難做到的。2 :將大量的被處理物一次性放入處理槽中處理時(shí)，按現(xiàn)有的方法(槽的構(gòu)造也僅是從槽底部的注入到槽上部的溢流)即使沒有強(qiáng)烈的反應(yīng)熱的發(fā)生，基板的上下溫度差和濃度差也是必然要發(fā)生的，為此很難保證被處理物處理完畢后表面的均一性，并且如何提高刻蝕后的表面精度也是很困難的問題。3 :為改善濃度及溫度不均勻的問題，如果僅僅將循環(huán)流量大幅度的增加，會(huì)帶來上部液面極端上升的問題。如此不僅給設(shè)備小型化帶來了障礙，也存在下面噴淋過程中達(dá)不到完全噴淋等問題(比如傳送機(jī)械手以及帶把手的花籃會(huì)使下面噴淋不到位等)。
發(fā)明內(nèi)容為了克服現(xiàn)有的不足，本實(shí)用新型提供一種全自動(dòng)化SE電池量產(chǎn)腐蝕裝置。本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述不足，提供了一種全自動(dòng)化SE電池量產(chǎn)腐蝕裝置，可以確保被處理物的表面溫度和濃度均勻，以及提高刻蝕后的表面精度，大大提高了電池片的轉(zhuǎn)換率；解決背景技術(shù)存在的問題。為實(shí)現(xiàn)以上目的，本實(shí)用新型提供了一種全自動(dòng)化SE電池量產(chǎn)腐蝕加工方法，含有以下步驟步驟I、自動(dòng)上料被處理物硅片；步驟2、被處理物硅片進(jìn)入2#酸腐蝕槽；步驟3、被處理物硅片進(jìn)入3#酸腐蝕槽；步驟4、被處理物硅片進(jìn)入4#QDR槽；步驟5、被處理物硅片進(jìn)入5#堿洗槽；步驟6、被處理物硅片進(jìn)入6#噴淋槽；步驟7、被處理物硅片進(jìn)入7#堿洗槽；步驟8、被處理物硅片進(jìn)入8#噴淋槽；[0018]步驟9、被處理物硅片進(jìn)入9#超聲波清洗槽；步驟10、被處理物硅片進(jìn)入10#超聲波清洗槽；步驟11、被處理物硅片進(jìn)入11#噴淋槽；步驟12、被處理物硅片進(jìn)入12#慢提拉槽；步驟13、被處理物硅片進(jìn)入13#自動(dòng)下料；上述步驟中腐蝕槽的堿洗藥液自動(dòng)循環(huán)并鼓泡，確保藥液的均勻；對(duì)腐蝕槽、堿洗、IPA工藝槽上、側(cè)部設(shè)計(jì)排風(fēng)管路，保持設(shè)備內(nèi)部工作環(huán)境清潔，防止交叉污染。還含有以下步驟液位、溫度等參數(shù)檢測(cè)步驟；液位對(duì)槽體的液位補(bǔ)液箱的液位和加熱箱的液位進(jìn)行時(shí)時(shí)控制起到保護(hù)作用。溫度對(duì)槽體的溫度補(bǔ)液箱的溫度和加熱箱的溫度進(jìn)行時(shí)時(shí)控制起到保護(hù)作用；自動(dòng)、手動(dòng)操作轉(zhuǎn)換步驟；手動(dòng)步驟可以對(duì)每各閥門，泵，電機(jī)，加熱器單獨(dú)啟動(dòng)，對(duì)機(jī)械手可以手動(dòng)縱向和橫向到達(dá)任意位置。自動(dòng)步驟對(duì)每個(gè)槽體自動(dòng)補(bǔ)液，溫度自動(dòng)調(diào)節(jié)，液位自動(dòng)調(diào)節(jié)，機(jī)械手自動(dòng)在槽體之間運(yùn)送花籃，機(jī)械手到達(dá)每個(gè)槽工位時(shí)槽蓋將會(huì)自動(dòng)開啟，離開時(shí)槽蓋將會(huì)自動(dòng)關(guān)閉。時(shí)間、溫度、搬送速度數(shù)字化設(shè)定步驟；可以對(duì)時(shí)間、溫度和機(jī)械手的運(yùn)行速度進(jìn)行合理性設(shè)定，以達(dá)到生產(chǎn)工藝的要求。對(duì)設(shè)備進(jìn)行全方位的安全保護(hù)步驟，機(jī)械手急停、系統(tǒng)急停、機(jī)械手上下極限、左右極限開關(guān)啟動(dòng)步驟。對(duì)設(shè)備手動(dòng)運(yùn)行步驟，通過按鈕按照管路圖設(shè)定畫面對(duì)設(shè)備準(zhǔn)備完成監(jiān)視，每個(gè)槽體各種功能監(jiān)視，包括液位，操蓋狀態(tài)，機(jī)械手到位狀態(tài)，泵和閥門的啟停，加熱器的啟停，報(bào)警顯示，報(bào)警記錄。全自動(dòng)化SE電池量產(chǎn)腐蝕裝置,包括自動(dòng)上料裝置或自動(dòng)下料裝置、慢提拉槽
I、第一噴淋槽2、第一超聲波清洗槽3、第二超聲波清洗槽4、第二噴淋槽5、第一堿洗槽6、第三噴淋槽7、第二堿洗槽8、QDR槽9、第一酸腐蝕槽10、第二酸腐蝕槽11、自動(dòng)上料裝置或自動(dòng)下料裝置依次順序排列和連接。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是采用上述的技術(shù)方案之后，在處理大量的被處理物時(shí)，可以確保所有表面整體的溫度、濃度達(dá)到均勻性；保證被處理物處理完畢后表面的均一性，并且提高刻蝕后的表面精度；改善濃度及溫度不均勻的問題，且噴淋過程中達(dá)到完全噴淋；可以避免造成滯流部分的溫度、濃度不均勻，從而降低滯流部分顆粒對(duì)被處理物的污染；保證槽內(nèi)被處理物的清潔度。

當(dāng)結(jié)合附圖考慮時(shí)，通過參照下面的詳細(xì)描述，能夠更完整更好地理解本實(shí)用新型以及容易得知其中許多伴隨的優(yōu)點(diǎn)，但此處所說明的附圖用來提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，構(gòu)成本實(shí)用新型的一部分，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的不當(dāng)限定，如圖其中[0039]圖I為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)主視示意以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。
具體實(shí)施方式
顯然，本領(lǐng)域技術(shù)人員基于本實(shí)用新型的宗旨所做的許多修改和變化屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。實(shí)施例I:如圖I所示，一種全自動(dòng)化SE電池量產(chǎn)腐蝕裝置，自動(dòng)上料裝置或自動(dòng)下料裝置連接慢提拉槽，慢提拉槽連接第一噴淋槽，第一噴淋槽連接第一超聲波清洗槽連接，第一超聲波清洗槽連接第二超聲波清洗槽連接、第二超聲波清洗槽連接第二噴淋槽連接，第二噴淋槽連接第一堿洗槽連接，第一堿洗槽連接第三噴淋槽連接，第三噴淋槽連接第二堿洗槽連接，第二堿洗槽連接QDR槽連接，QDR槽連接第一酸腐蝕槽連接，第一酸腐蝕槽連接第二酸腐蝕槽，第二酸腐蝕槽連接自動(dòng)上料裝置或自動(dòng)下料裝置，上述裝置依次順序排列和連接。 可以確保被處理物的表面溫度和濃度均勻，以及提高刻蝕后的表面精度，大大提高了電池片的轉(zhuǎn)換率；解決背景技術(shù)存在的問題。I)腐蝕槽、堿洗工藝槽自動(dòng)循環(huán)及鼓泡功能，確保藥液的均勻；2)腐蝕槽、堿洗、IPA工藝槽上、側(cè)部設(shè)計(jì)排風(fēng)管路，保持設(shè)備內(nèi)部工作環(huán)境清潔，防止交叉污染；3)QDR工藝的應(yīng)用，保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度；4)機(jī)械臂的橫向移動(dòng)和縱向提升均采用進(jìn)口伺服馬達(dá)，閉環(huán)控制，定位準(zhǔn)確，可靠性高；采用圓導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)及線性模塊傳動(dòng)，機(jī)械臂升降部及懸臂部均用PP包覆，確保機(jī)械臂壽命；幾何曲線加減速運(yùn)動(dòng)，沖擊小，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)；5)多工藝數(shù)據(jù)庫(kù)，可供用戶使用和存儲(chǔ)；6)機(jī)械手單獨(dú)急停開關(guān)、系統(tǒng)急停開關(guān)和機(jī)械手電機(jī)自動(dòng)過載保護(hù)等多重保護(hù)，確保操作者的安全。全自動(dòng)化SE電池量產(chǎn)腐蝕裝置,包括自動(dòng)上料裝置或自動(dòng)下料裝置、慢提拉槽I、第一噴淋槽2、第一超聲波清洗槽3、第二超聲波清洗槽4、第二噴淋槽5、第一堿洗槽6、第三噴淋槽7、第二堿洗槽8、QDR槽9、第一酸腐蝕槽10、第二酸腐蝕槽11、自動(dòng)上料裝置或自動(dòng)下料裝置依次順序排列和連接。腐蝕槽、堿洗工藝槽的藥液自動(dòng)循環(huán)及鼓泡功能，確保藥液的均勻；腐蝕槽、堿洗、IPA工藝槽上、側(cè)部設(shè)計(jì)排風(fēng)管路，保持設(shè)備內(nèi)部工作環(huán)境清潔，防止交叉污染；QDR工藝的應(yīng)用，保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度；機(jī)械臂的橫向移動(dòng)和縱向提升均采用進(jìn)口伺服馬達(dá)，閉環(huán)控制，定位準(zhǔn)確，可靠性高；采用圓導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)及線性模塊傳動(dòng)，機(jī)械臂升降部及懸臂部均用PP包覆，確保機(jī)械臂壽命；幾何曲線加減速運(yùn)動(dòng)，沖擊小，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)；多工藝數(shù)據(jù)庫(kù)，可供用戶使用和存儲(chǔ)；機(jī)械手單獨(dú)急停開關(guān)、系統(tǒng)急停開關(guān)和機(jī)械手電機(jī)自動(dòng)過載保護(hù)等多重保護(hù)，確保操作者的安全。[0058]該清洗機(jī)是由工控機(jī)控制的全自動(dòng)清洗系統(tǒng)。操作者只須將裝有工件的清洗籃放置于自動(dòng)上料臺(tái)，再由工控機(jī)控制機(jī)械手依次將工件輸送到各個(gè)工位，按照事先輸入的程序?qū)i電池片進(jìn)行清洗、酸、堿腐蝕處理等工藝處理后，從下料臺(tái)輸出。I)技術(shù)參數(shù)a)設(shè)備外形尺寸LxWxH = 1 2106x4096x2416mm ；b)處理硅片125*125*0. 16mm/156*156*0. 16mm ;c)生產(chǎn)能力3000 片 / 小時(shí)(156*156*0. 16mm)；每批200片/批；d)節(jié)拍4min ；·[0065]e)片盒50片片盒4籃/批；(根據(jù)客戶需求定制)100片片盒2籃/批；(根據(jù)客戶需求定制)f)處理最大重量40Kg ；設(shè)備組成清洗設(shè)備主體、移載機(jī)械臂、排風(fēng)系統(tǒng)、電控及操作面板等組成，設(shè)備工藝流向采用“左進(jìn)右出”(也可采用右進(jìn)左出)一種全自動(dòng)化SE電池量產(chǎn)腐蝕加工方法，工藝流程方法步驟依次執(zhí)行1#自動(dòng)上料步驟、2#第二酸腐蝕槽步驟、3#第一酸腐蝕槽步驟、4#QDR槽步驟、5#第二堿洗槽步驟、6#第三噴淋槽步驟、7#第一堿洗槽步驟、8#第二噴淋槽步驟、9#第二超聲波清洗槽步驟、10#第一超聲波清洗槽步驟、11#第一噴淋槽步驟、12#慢提拉槽步驟、13#自動(dòng)下料步驟。
權(quán)利要求1.ー種全自動(dòng)化SE電池量產(chǎn)腐蝕裝置，其特征在于自動(dòng)上料裝置或自動(dòng)下料裝置、慢提拉槽、第一噴淋槽、第一超聲波清洗槽、第二超聲波清洗槽、第二噴淋槽、第一堿洗槽、第三噴淋槽、第二堿洗槽、QDR槽、第一酸腐蝕槽、第二酸腐蝕槽、自動(dòng)上料裝置或自動(dòng)下料裝置依次順序排列和連接。
專利摘要一種全自動(dòng)化SE電池量產(chǎn)腐蝕裝置，自動(dòng)上料裝置或自動(dòng)下料裝置、慢提拉槽、第一噴淋槽、第一超聲波清洗槽、第二超聲波清洗槽、第二噴淋槽、第一堿洗槽、第三噴淋槽、第二堿洗槽、QDR槽、第一酸腐蝕槽、第二酸腐蝕槽、自動(dòng)上料裝置或自動(dòng)下料裝置依次順序排列和連接。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是采用上述的技術(shù)方案之后，在處理大量的被處理物時(shí)，可以確保所有表面整體的溫度、濃度達(dá)到均勻性；保證被處理物處理完畢后表面的均一性，并且提高刻蝕后的表面精度；改善濃度及溫度不均勻的問題，且噴淋過程中達(dá)到完全噴淋；可以避免造成滯流部分的溫度、濃度不均勻，從而降低滯流部分顆粒對(duì)被處理物的污染；保證槽內(nèi)被處理物的清潔度。
文檔編號(hào)H01L31/18GK202616273SQ20122014152
公開日2012年12月19日 申請(qǐng)日期2012年4月1日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月1日
發(fā)明者孫良欣, 夏文斌, 劉小龍 申請(qǐng)人:吉陽(yáng)設(shè)備(海安)有限公司