固化設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種固化設(shè)備，該固化設(shè)備包括：箱盒；設(shè)置在所述箱盒中的燈具；具有燈具容納部的燈罩，所述燈具容納部設(shè)置在所述箱盒內(nèi)，以容納所述燈具；以及單獨地設(shè)置以便與所述燈具容納部的位置對應(yīng)的窗板。
【專利說明】固化設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及固化設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]在顯示裝置如有機發(fā)光顯示裝置(0LED)、電泳顯示裝置(EH))以及液晶顯示裝置(IXD)中，元件或線是通過沉積薄膜而形成的。
[0003]上述顯示裝置在沉積工藝之后需要固化工藝來形成固體薄膜。在制造顯示裝置中使用的固化設(shè)備的示例包括腔室型設(shè)備，在腔室型設(shè)備中箱盒式結(jié)構(gòu)以多層堆疊。
[0004]每個箱盒中配置有燈具，使箱盒中的溫度從環(huán)境溫度升至高溫。這種箱盒通常設(shè)計成在其中放置單個或多個目標基板。
[0005]窗板應(yīng)用于每個箱盒以均勻地輻射燈具產(chǎn)生的熱，并防止在目標基板上生成污斑。窗板執(zhí)行各種功能，包括將目標基板所在的加工區(qū)與燈具區(qū)隔離。
[0006]為此，窗板由大尺寸的板狀石英制成。通過將板狀的窗板安裝到在每個箱盒的側(cè)部形成的狹槽處來設(shè)置窗板。
[0007]然而，由于應(yīng)用于每個箱盒的窗板呈大尺寸的板狀，因此難以制造大面積的固化設(shè)備。例如，如果對窗板進行防偏差處理以實現(xiàn)大面積窗板，隨之而來的是厚度補償或結(jié)構(gòu)添加的困難。此外，由于難以制造大尺寸的板狀窗板，預(yù)計投資成本會由于材料和加工成本的增加而上升。因此，需要尋找用于制造使應(yīng)用于常規(guī)固化設(shè)備的窗板具有更大面積的方案。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明的示例性實施例提供一種固化設(shè)備，該固化設(shè)備包括:箱盒；設(shè)置在所述箱盒中的燈具；具有燈具容納部的燈罩，所述燈具容納部設(shè)置在所述箱盒內(nèi)以容納所述燈具；以及單獨地設(shè)置以便與所述燈具容納部的位置相對應(yīng)的窗板。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]附圖提供對本發(fā)明的進一步理解并且并入說明書而組成說明書的一部分。所述附圖示出本發(fā)明的實施方式，并且與說明書文字一起用于解釋本發(fā)明的原理。
[0010]圖1示出本發(fā)明示例性實施例的固化設(shè)備的視圖；
[0011]圖2示出圖1所示的箱盒的視圖；
[0012]圖3示出沿圖2的A1-A2線的第一截面圖；
[0013]圖4示出沿圖2的A1-A2線的第二截面圖；
[0014]圖5示出當使用第一箱盒時熱輻射模式的截面圖；
[0015]圖6示出當使用第一箱盒時熱輻射模式的模擬結(jié)果的截面圖；
[0016]圖7示出第一箱盒內(nèi)部構(gòu)造的設(shè)計值的截面圖；
[0017]圖8示出本發(fā)明第一示例性實施例的燈具容納部和窗板；[0018]圖9示出本發(fā)明第二示例性實施例的燈具容納部和窗板；
[0019]圖10示出本發(fā)明第三示例性實施例的燈具容納部和窗板；
[0020]圖11示出本發(fā)明第四示例性實施例的燈具容納部和窗板；
[0021]圖12示出本發(fā)明第五示例性實施例的第一箱盒；
[0022]圖13示出燈具容納部和窗板的結(jié)構(gòu)；
[0023]圖14示出本發(fā)明第六示例性實施例的第一箱盒；
[0024]圖15示出燈具容納部和窗板的結(jié)構(gòu)；以及
[0025]圖16示出常規(guī)窗板和本發(fā)明示例性實施例的窗板的輻射角度測量結(jié)果圖?！揪唧w實施方式】
[0026]現(xiàn)將詳細描述本發(fā)明的實施例，其示例在附圖中示出。
[0027]以下，將參照附圖來描述本發(fā)明的具體的示例性實施例。
[0028]如圖1和圖2所示，本發(fā)明示例性實施例的固化設(shè)備是以腔室型實現(xiàn)的，所述腔室型具有以多層形式容納在腔室Iio中的第一至第五箱盒CS1-CS5。然而，本發(fā)明示例性實施例的固化設(shè)備可以實施為腔室110中僅容納一個箱盒或容納比附圖中示出的更多的箱盒。
[0029]本發(fā)明示例性實施例的固化設(shè)備能夠利用容納在腔室110中的第一至第五箱盒CS1-CS5來執(zhí)行固化工藝。盡管第一至第五箱盒CS1-CS5能夠分別執(zhí)行固化工藝，但是本發(fā)明并不局限于此。
[0030]本發(fā)明示例性實施例的固化設(shè)備能夠?qū)τ糜陲@示裝置的基板執(zhí)行熱處理工藝(聚酰亞胺、氧化物、光刻膠等)，該顯示裝置例如有機發(fā)光顯示裝置(0LED)、電泳顯示裝置(EPD)、液晶顯示裝置(IXD)以及立體圖像顯示裝置。
[0031]將考慮若干實例。本發(fā)明示例性實施例的固化設(shè)備可以用于低溫多晶硅(LTPS)活化、脫氫/加氫、以及預(yù)壓縮(pre-compaction)工藝。
[0032]現(xiàn)將描述用于在本發(fā)明示例性實施例的固化設(shè)備中的第一至第五箱盒CS1-CS5的構(gòu)造中的第一箱盒CSl。
[0033]如圖3和圖4所示，包括在本發(fā)明示例性實施例的固化設(shè)備中的第一箱盒CSl包括箱盒體120、燈罩130、冷卻部145、燈具140以及窗板150。
[0034]燈具區(qū)LZ包括燈罩130、燈具140和窗板150所占的空間，加工區(qū)PZ包括其余空間。
[0035]燈具區(qū)LZ用作這樣一個空間，在此空間中燈具140產(chǎn)生的熱輻射至加工區(qū)PZ，力口工區(qū)PZ用作對目標基板執(zhí)行熱處理工藝的空間。第一箱盒CSl可以實現(xiàn)為以燈具區(qū)LZ位于上部(或下部)的結(jié)構(gòu)(圖3)，或者實現(xiàn)為燈具區(qū)LZ位于上部和下部的結(jié)構(gòu)(圖4)。圖3限定為多箱盒單段結(jié)構(gòu)，而圖4限定為多箱盒多段結(jié)構(gòu)。
[0036]燈罩130設(shè)置在第一箱盒CSl內(nèi)的上端。燈罩130具有容納燈具140的燈具容納部135。燈具容納部135具有自燈罩130的暴露的底面131凹陷的凹陷。盡管凹陷具有包括三角形、矩形、多邊形、半圓形以及橢圓形的各種形狀，在本發(fā)明的示例性實施例中，它們作為示例呈半圓形。
[0037]燈具140設(shè)置在燈具容納部135內(nèi)。燈具140通過提供至第一箱盒CSl的電功率產(chǎn)生熱。燈具140可以輻射短波長、中波長以及長波長。如果燈具140輻射1.5μπι或更長的長波長，則不產(chǎn)生臭氧03。這可以防止對設(shè)置在第一箱盒CSl上的部件的腐蝕并且使固化更慢。
[0038]冷卻部145冷卻燈具140產(chǎn)生的熱。冷卻部145可以是空氣冷卻型或水冷卻型。盡管冷卻部145作為示例設(shè)置在兩個燈具容納部135之間，但是本發(fā)明并不局限于此。
[0039]窗板150被單獨地設(shè)置，以便與燈具容納部的位置對應(yīng)。窗板150起到將燈具區(qū)LZ與加工區(qū)PZ分開(隔離)的作用。此外，窗板150起到均勻地散開和輻射燈具140產(chǎn)生的熱的作用。
[0040]窗板150由具有高透光率和低吸收率的材料形成。例如，窗板150可以由石英、堿石灰或石墨形成。
[0041]如圖5所示，當打開燈具140后，燈具140產(chǎn)生熱，所產(chǎn)生的熱穿過窗板150輻射并被引導(dǎo)至目標基板180的一個表面。
[0042]如圖6所示，如果模擬每隔一個的燈具140的熱輻射，能夠看出燈具140產(chǎn)生的熱在穿過窗板150時，以各種角度均勻地輻射。此結(jié)構(gòu)的輻射角度為大約70度。
[0043]如圖7所示，燈具140產(chǎn)生的熱的輻射效率及均勻性取決于LI至L5。LI表示燈具容納部135的開口部的距離(或直徑)，L2表示從燈具140的中心至燈罩130的頂面的距離，L3表示從燈具140的底部至窗板150的頂部的距離。L4表示從窗板150的底部至目標基板180的頂部的距離，以及L5表示從燈具140的中心至目標基板180的頂部的距離。
[0044]在示例性實施例中，為了示出圖6的模擬分析，LI為50mm，L2為10mm，L3為12mm，L4為89.3mm以及L5為101.3mm。參照以上設(shè)計值，通過最佳化燈罩130的尺寸、燈具140的尺寸、接觸燈具140的空間的尺寸、輻射燈具140產(chǎn)生的熱的輻射角度以及到目標基板180的距離，能夠進一步提高輻射效率及均勻性。
[0045]現(xiàn)將描述燈具容納部及窗板的各種結(jié)構(gòu)。
[0046]如圖8所示，根據(jù)本發(fā)明的第一示例性實施例，燈具容納部135具有凹陷的半圓形形狀。此外，燈具容納部135具有溝槽136，溝槽136形成在與燈罩130的底面131相鄰的部分處。燈罩130的溝槽136具有方括號“[]”的形狀(凹陷的矩形)，并且溝槽136凹進燈具容納部135的內(nèi)表面且與燈罩130的底面131分開。
[0047]當燈具容納部135具有上述形狀時，窗板150的所有部分具有如(a)所示的平面形狀。在此情況中，Ca)的窗板150設(shè)置為待安裝在燈具容納部135的溝槽136處。
[0048]另一方面，如(b)所示，僅是窗板150的待安裝在燈具容納部135的溝槽136處的部分具有凸出的突起物156 (凸出的矩形)，其余部分具有平面的形狀。在此情況中，(b)的窗板150設(shè)置為突起物156安裝在燈具容納部135的溝槽136處。
[0049]如圖9所示，根據(jù)本發(fā)明的第二示例性實施例，燈具容納部135具有凹陷的半圓形形狀。此外，燈具容納部135具有阻擋件137，阻擋件137從燈具容納部135的外表面凸出。燈具容納部135的阻擋件137具有矩形形狀。
[0050]當燈具容納部135具有上述形狀時，僅是窗板150的待被燈具容納部135的阻擋件137阻擋的頂部具有凸出的突起物157 (凸出的矩形)，其余部分具有平面的形狀。在此情況中，Ca)的窗板150設(shè)置為突起物157放置在燈具容納部135的阻擋件137上。
[0051]另一方面，如(b)所示，窗板150的頂部和底部具有突起物157 (凸出的矩形)，其余部分具有平面的形狀。在此情況中，(b)的窗板150設(shè)置為凹陷部H安裝在燈具容納部135的阻擋件137處。
[0052]如圖10所示，根據(jù)本發(fā)明的第三示例性實施例，燈具容納部135具有凹陷的半圓形形狀。此外，燈具容納部135具有溝槽138，溝槽138形成在與燈罩130的底面131相鄰的部分處。燈罩130的溝槽138具有不等號“O”的形狀(凹陷的三角形)，并且溝槽138在從燈罩130的底面131向燈具容納部135的內(nèi)表面延伸的部分處凹陷。
[0053]當燈具容納部135具有上述形狀時，僅是窗板150的待安裝在燈具容納部135的溝槽138處的部分具有凸出的突起物158 (凸出的三角形)，其余部分具有平面的形狀。在此情況中，窗板150設(shè)置為突起物158安裝在燈具容納部135的溝槽138處。
[0054]如圖11所示，根據(jù)本發(fā)明的第四示例性實施例，燈具容納部135具有凹陷的半圓形形狀。此外，燈具容納部135具有溝槽139，溝槽139形成在與燈罩130的底面131相鄰的部分處。燈罩130的溝槽139具有圓括號“O”的形狀(凹陷的半圓形)，并且溝槽139在從燈罩130的底面131向燈具容納部135的內(nèi)表面延伸的部分處凹陷。
[0055]當燈具容納部135具有上述形狀時，僅是窗板150的待安裝在燈具容納部135的溝槽139處的部分具有凸出的突起物158 (凸出的半圓形)，其余部分具有平面的形狀。在此情況中，窗板150設(shè)置為突起物158安裝在燈具容納部135的溝槽139處。
[0056]從以上描述中看出，窗板150可以配置為放置在或安裝在凹進燈具容納部135的內(nèi)表面的溝槽136、138以及139處，或者放置在或安裝在從燈具容納部135的外表面凸出的阻擋件137處。盡管窗板150可以具有平面的形狀，根據(jù)燈具容納部135的結(jié)構(gòu)，窗板150也可以具有突起物156、157、158以及159。此外，窗板150的突起物156、157、158以及159可以具有矩形、半圓形、三角形或它們組合的形狀。
[0057]現(xiàn)將描述根據(jù)另一示例性實施例具體化的箱盒。
[0058]如圖12所示，包括在本發(fā)明第五示例性實施例的固化設(shè)備中的第一箱盒包括箱盒體120、燈罩130、燈具140以及窗板160。
[0059]根據(jù)第五示例性實施例，窗板160具有圓形或橢圓形形狀，而不是在第一至第四示例性實施例中的平面形。窗板160具有圓形或橢圓形形狀并且設(shè)置為待安裝在燈具容納部135處。
[0060]具有圓形或橢圓形形狀的窗板160向外凸出得越少，它們就需要越強的耦接力來安裝在燈具容納部135處。
[0061]然而，如果改變窗板160被容納的部分與窗板160凸出的部分的比例，可以如下改變它們的耦接結(jié)構(gòu)。
[0062]如圖13所示，燈具容納部135的溝槽136可以具有方括號“ □”的形狀(凹陷的矩形)，并且溝槽136凹進燈具容納部135的內(nèi)表面且與燈罩130的底面131分開。
[0063]當燈具容納部135具有上述形狀時，僅是窗板160的待安裝在燈具容納部135的溝槽136處的部分具有凸出的突起物166 (凸出的矩形)，其余部分具有圓形或橢圓形形狀。在此情況中，窗板160設(shè)置為突起物166安裝在燈具容納部135的溝槽136處。
[0064]圖13描述了增加燈具容納部135與窗板160之間的耦接力的示例。然而，燈具容納部135的溝槽136和窗板160的突起物166并不局限于圖13,而可以具有包括上述第一至第四示例性實施例的那些溝槽和突起物的組合的其它形狀。
[0065]將具體地描述此點。燈具容納部135的溝槽136可以具有方括號“[]”、圓括號“O”、不等號“〈>”或這些形狀的組合的形狀。窗板160的突起物166可以具有矩形、半圓形、三角形或它們的組合的形狀，以便與燈具容納部135的溝槽136對應(yīng)。
[0066]現(xiàn)將描述根據(jù)又另一示例性實施例具體化的箱盒。
[0067]如圖14所示，包括在本發(fā)明第六示例性實施例的固化設(shè)備中的第一箱盒包括箱盒體120、燈罩130、燈具140以及窗板170。
[0068]與第一至第五示例性實施例不同，根據(jù)本發(fā)明第六示例性實施例，窗板170的面對目標基板180的一些部分具有凸出的彎曲的形狀。窗板170具有凸出的彎曲的形狀并被設(shè)置為待安裝在燈具容納部135處。
[0069]如圖15所示，本發(fā)明第六示例性實施例的燈具容納部135具有凹陷的半圓形形狀。此外，燈具容納部135具有自燈具容納部135的外表面凸出的阻擋件137。燈具容納部135的阻擋件137具有矩形形狀。
[0070]當燈具容納部135具有上述形狀時，僅是窗板170的待被燈具容納部135的阻擋件137阻擋的頂部具有凸出的突起物177 (凸出的矩形)，其余部分具有凸出的彎曲的形狀。在此情況中，Ca)的窗板170設(shè)置為突起物177放置在燈具容納部135的阻擋件137上。
[0071]另一方面，如(b)所示，窗板170的頂部和底部具有突起物177 (凸出的矩形)，其余部分具有凸出的彎曲的形狀。在此情況中，(b)的窗板170設(shè)置為凹陷部H安裝在燈具容納部135的阻擋件137處。
[0072]圖15描述了燈具容納部135和窗板170的示例。然而，燈具容納部135和窗板170并不局限于圖15，燈具容納部135和窗板170可以具有包括上述第一至第四示例性實施例的那些溝槽和突起物的組合的其它形狀。
[0073]將具體描述此點。燈具容納部135可以具有溝槽而非阻擋件137。溝槽可以具有方括號“[]”、圓括號“ O”、不等號“〈>”或這些形狀的組合的形狀。窗板170的突起物177可以具有矩形、半圓形、三角形或它們的組合的形狀，以便與燈具容納部135的溝槽對應(yīng)。
[0074]以下將描述相對于使用常規(guī)窗板而言，使用示例性實施例的窗板的優(yōu)點。
[0075]圖16所示的輻射角度測量結(jié)果顯示出常規(guī)窗板的輻射角度為約170度而示例性實施例的窗板的輻射角度為約70度。盡管未在圖16中示出，常規(guī)窗板的輻射水平為約1.6，而示例性實施例的窗板的輻射水平為約1.8。
[0076]圖16的測量結(jié)果并不代表其它的示例性實施例，因為這些結(jié)果是以圖3的結(jié)構(gòu)為例而獲得的。然而，正如能夠從圖16看出的，相比于常規(guī)窗板而言，示例性實施例的窗板顯示出改進的結(jié)果。
[0077]如上所述，本發(fā)明的作用在于通過將窗板布置為多層結(jié)構(gòu)以與布置為多層結(jié)構(gòu)的燈具對應(yīng)，能夠確保固化設(shè)備制造簡單、成本降低、尺寸可擴大性以及在熱處理(聚酰亞胺、氧化物、光刻膠等)前的對于部件而言的工藝對應(yīng)性。此外，本發(fā)明的作用在于，窗板能夠被做成比用于常規(guī)窗板的盤的尺寸(例如,用于4.5代的1300 X 1400mm)小(例如，30至200mm)及不被盤的尺寸(或長度)限制的尺寸，因此該固化設(shè)備能夠應(yīng)用于第五代或更高的大規(guī)模的設(shè)備。此外，本發(fā)明的作用在于該固化設(shè)備能夠減少缺陷產(chǎn)生，并防止在目標基板上形成污斑。此外，本發(fā)明的作用在于通過優(yōu)化燈罩的尺寸、燈具的尺寸、接觸燈具的空間的尺寸、輻射燈具產(chǎn)生的熱的輻射角度以及至目標基板的距離，該固化設(shè)備能夠提高輻射效率以及均勻性。此外，本發(fā)明的作用在于能夠自由地以多箱盒單段或多箱盒多段結(jié)構(gòu)實現(xiàn)該固化設(shè)備。此外，本發(fā)明具有取代/克服在擴大所有使用燈具和窗板的設(shè)備的尺寸上的局限作用。
【權(quán)利要求】
1.一種固化設(shè)備，包括: 箱盒； 設(shè)置在所述箱盒中的燈具； 具有燈具容納部的燈罩，所述燈具容納部設(shè)置在所述箱盒內(nèi)以容納所述燈具；以及 單獨地設(shè)置以便與所述燈具容納部的位置對應(yīng)的窗板。
2.如權(quán)利要求1所述的固化設(shè)備，其中所述窗板設(shè)置為待放置在凹進所述燈具容納部的內(nèi)表面的溝槽上，或待安裝在凹進所述燈具容納部的內(nèi)表面的溝槽處。
3.如權(quán)利要求2所述的固化設(shè)備，其中所述燈具容納部的溝槽具有方括號“[]”、不等號“O”、圓括號“O”或這些形狀的組合的形狀。
4.如權(quán)利要求3所述的固化設(shè)備，其中所述窗板包括突起物，所述突起物形成在待安裝在所述燈具容納部的溝槽處的部分處。
5.如權(quán)利要求1所述的固化設(shè)備，其中所述窗板設(shè)置為待放置在從所述燈具容納部的外表面凸出的阻擋件上，或待安裝在從所述燈具容納部的外表面凸出的阻擋件處。
6.如權(quán)利要求5所述的固化設(shè)備，其中所述窗板包括突起物，所述突起物形成在待放置在或待安裝在所述燈具容納部的溝槽處的部分處。
7.如權(quán)利要求2或5所述的固化設(shè)備，其中所述窗板具有從所述燈罩的表面凸出的彎曲的形狀。
8.如權(quán)利要求4或6所述的固化設(shè)備，其中所述窗板的突起物具有矩形、三角形、半圓形或這些形狀的組合的形狀。
9.如權(quán)利要求1所述的固化設(shè)備，其中所述窗板具有圓形或橢圓形形狀，并且所述窗板配置為待安裝在所述燈具容納部處。
10.如權(quán)利要求1所述的固化設(shè)備，其中所述窗板包括突起物，所述突起物安裝在在所述燈具容納部中形成的溝槽處， 其中所述窗板的突起物具有矩形、三角形、半圓形或這些形狀的組合的形狀。
【文檔編號】H01L21/67GK103681404SQ201210554688
【公開日】2014年3月26日 申請日期:2012年12月19日 優(yōu)先權(quán)日:2012年8月31日
【發(fā)明者】許在烈, 權(quán)五晙, 柳京伯, 康訓(xùn)碩, 宋鐘鎬 申請人:樂金顯示有限公司