專利名稱：一種制絨深度穩(wěn)定的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種多晶太陽能電池的制造工藝，具體涉及一種制絨深度穩(wěn)定的方法。
背景技術(shù)：
現(xiàn)在的多晶太陽能電池制造工藝中，制絨工藝是關(guān)鍵的一步，制絨的好壞直接關(guān)系著電池片的外觀和性能。制絨深度的穩(wěn)定是后段工序的基礎(chǔ)，如果制絨深度不穩(wěn)定，會影響擴(kuò)散方阻的片內(nèi)均勻性和方阻波動；還會導(dǎo)致鍍膜膜厚波動較大，偏薄發(fā)紅或偏厚發(fā)白，影響電池片的外觀，并且制絨波動較大，絨面和燒結(jié)溫度不匹配，會導(dǎo)致電池片燒結(jié)后出現(xiàn)鋁包，所以控制制絨深度的穩(wěn)定至關(guān)重要，制絨深度的穩(wěn)定是后續(xù)工序做好的基礎(chǔ)。多晶硅片制絨采用酸腐蝕，酸腐蝕液為HF、HN03和去離子水按一定比例混合而成，·其中HNO3為強(qiáng)氧化劑，在反應(yīng)中提供反應(yīng)所需要的空穴；HF的作用是與反應(yīng)的中間產(chǎn)物SiO2反應(yīng)生成絡(luò)合物H2SiF6以促進(jìn)反應(yīng)進(jìn)行；水對反應(yīng)起緩沖作用；反應(yīng)中還會生成少量HNO2,它能促進(jìn)反應(yīng)的發(fā)生，因此這是一種自催化反應(yīng)，HNO2的量達(dá)到飽和后反應(yīng)的速率會非常穩(wěn)定。由于HF、HN03和去離子水的混合液發(fā)生了多種配比的化學(xué)反應(yīng)，如下
S i+2HN03+6HF=H2S i F6+2HN02+2H20(I)
3 S i +4HN03+18HF=3H2S i F6+4N0+8H20(2 )
3 S i+2HN03+18HF=3H2S i F6+2N0+4H20+3H2(3 )
5 S i +6HN03+30HF=5H2S i F6+2N02+4N0+10H20+3H2(4)
過程的中間產(chǎn)物HNO2起到自催化作用，如果生產(chǎn)過程中不能保持穩(wěn)定的話，會影響到整個反應(yīng)，制絨深度波動較大。RENA新型NIAK機(jī)臺溶液由溶液罐循環(huán)進(jìn)制絨槽的過程中，由于循環(huán)是層流，產(chǎn)生的NOx主要集中在制絨槽上部，下部比較少，這樣溶液就形成了許多濃度不同的氮氧化物層，僅僅只有上層是飽和的，但也溶液揮發(fā)，被排風(fēng)抽走，短時間不放片制絨，不能持續(xù)產(chǎn)生NOx，和多晶硅片反應(yīng)的上部溶液中的NOx的量急劇減少，制絨深度也會急劇下降，影響制絨的穩(wěn)定性。NIAK機(jī)臺的原溶液循環(huán)設(shè)計為溶液由罐通過噴頭噴入制絨槽內(nèi)，但由于溶液為層流，多晶硅片進(jìn)入制絨槽只和上層溶液反應(yīng)，反應(yīng)產(chǎn)生的NOx主要富集在上層溶液中，下層溶液中NOx濃度較小，且各層溶液交換很少，此種情況下如果不連續(xù)放片，就不能持續(xù)產(chǎn)生NOx,表層中的NOx很容易揮發(fā)，導(dǎo)致多晶硅片在和溶液反應(yīng)時，NOx含量較少，制絨深度急劇下降，此種循環(huán)設(shè)計在放片速度不能完全均速的情況下，制絨深度波動較大。

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明目的是針對現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，提供了一種制絨深度穩(wěn)定的方法。技術(shù)方案為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種制絨深度穩(wěn)定的方法，NIAK機(jī)臺的的在制絨槽中部設(shè)置前粗后細(xì)的多噴嘴管道，所述多噴嘴管道上的噴嘴從前到后噴出液體的高度相同。本發(fā)明采用通過多噴嘴管道均勻的噴入制絨槽的各點，帶動制絨槽中各處溶液的交換、循環(huán)；制絨槽中不再有層流現(xiàn)象，使NOx在制絨槽中均勻分布，不連續(xù)放片的時候由于制絨槽中各處的NOx相同且都處于飽和，此時從溶液中揮發(fā)出的氮氧化物的量不足以改變?nèi)芤撼煞?，制絨深度波動較小，使制絨深度穩(wěn)定。本發(fā)明中所述多噴嘴管道上噴嘴噴嘴的位置位于傳送滾輪的正下方；噴嘴和多噴嘴管道管道體之間安裝限流圈來調(diào)節(jié)各道噴嘴噴出液體的高度，正好噴在傳送滾輪上，不直接噴到硅片上，保證了多晶硅片制絨的穩(wěn)定性、均勻性。有益效果本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點
本發(fā)明采用通過多噴嘴管道均勻的噴入制絨槽的各點，帶動制絨槽中各處溶液的交 換、循環(huán)；制絨槽中不再有層流現(xiàn)象，使NOx在制絨槽中均勻分布，不連續(xù)放片的時候由于制絨槽中各處的NOx相同且都處于飽和，此時從溶液中揮發(fā)出的氮氧化物的量不足以改變?nèi)芤撼煞?，制絨深度波動較小，使制絨深度穩(wěn)定。


圖I為本發(fā)明的示意圖。圖2為現(xiàn)有技術(shù)中換液周期的示例圖。圖3為本實施例中換液周期的示例圖。圖4為現(xiàn)有技術(shù)與本發(fā)明對比示意圖。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖和具體實施例，進(jìn)一步闡明本發(fā)明，本實施例在以本發(fā)明技術(shù)方案為前提下進(jìn)行實施，應(yīng)理解這些實施例僅用于說明本發(fā)明而不用于限制本發(fā)明的范圍。
實施例如圖I所述的一種制絨深度穩(wěn)定的方法，在NIAK機(jī)臺的在制絨槽I中部設(shè)置前粗后細(xì)的多噴嘴管道2，所述多噴嘴管道上的噴嘴3從前到后噴出液體的高度相同；所述多噴嘴管道2上噴嘴3噴嘴的位置位于傳送滾輪5的正下方；噴嘴和多噴嘴管道2管道體之間安裝限流圈來調(diào)節(jié)各道噴嘴噴出液體的高度，正好噴在傳送滾輪5上，不直接噴到硅片上。如圖2為現(xiàn)有技術(shù)中Iv換液周期的不例圖；Iv換液周期生廣796組娃片中有8組減重超控制線，555組制絨深度在3. 5 3. 7，占69. 7% ；
圖3為本發(fā)明一個換液周期的示例圖；一個換液周期524組中沒有超控制線的，其中428組制絨深度在3. 5 3. 7之間，占81. 68%?，F(xiàn)有技術(shù)中平均2 3組就需工藝調(diào)節(jié)一次；本發(fā)明中一旦穩(wěn)定基本不需要調(diào)節(jié)?，F(xiàn)有技術(shù)中，2. lm/min的帶速下待機(jī)5min減重下降了 O. 08g。本實施例中2. lm/min的帶速下待機(jī)5min減重下降O. Olg ;2. 28m/min的帶速下減重下降O. 02g,明顯優(yōu)于現(xiàn)有技術(shù)，保證了后續(xù)工序的穩(wěn)定和電池性能的提高(如圖3)。
權(quán)利要求
1.一種制絨深度穩(wěn)定的方法，其特征在于=NIAK機(jī)臺的在制絨槽(I)中部設(shè)置前粗后細(xì)的多噴嘴管道(2 )，所述多噴嘴管道上的噴嘴(3 )從前到后噴出液體的高度相同。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種制絨深度穩(wěn)定的方法，其特征在于所述多噴嘴管道(2)上噴嘴(3)噴嘴的位置位于傳送滾輪(5)的正下方；噴嘴和多噴嘴管道(2)管道體之間安裝限流圈來調(diào)節(jié)各道噴嘴噴出液體的高度，正好噴在傳送滾輪(5)上，不直接噴到硅片上。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種制絨深度穩(wěn)定的方法，NIAK機(jī)臺的在制絨槽中部設(shè)置前粗后細(xì)的多噴嘴管道，所述多噴嘴管道上的噴嘴從前到后噴出液體的高度相同。本發(fā)明采用通過多噴嘴管道均勻的噴入制絨槽的各點，帶動制絨槽中各處溶液的交換、循環(huán)；制絨槽中不再有層流現(xiàn)象，使NOx在制絨槽中均勻分布，制絨深度波動較小，使制絨深度穩(wěn)定。
文檔編號H01L31/18GK102916075SQ20121037331
公開日2013年2月6日 申請日期2012年9月27日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月27日
發(fā)明者張若華, 楊樂, 陸宇峰, 姚猛, 豆曉波 申請人:奧特斯維能源(太倉)有限公司