專利名稱：實現(xiàn)偏振輸出激光束的高速強度變化的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光學(xué)系統(tǒng)，且明確地說涉及用于使偏振輸出激光束的強度變化的激光束光學(xué)系統(tǒng)及方法。
背景技術(shù)：
在許多激光處理應(yīng)用中，使用光學(xué)衰減器使偏振激光束的強度變化(例如，衰減)。在一種常規(guī)方法中，使用旋轉(zhuǎn)波片(或者電光調(diào)制器(EOM))與后續(xù)偏振器的組合來產(chǎn)生具有可變強度的偏振激光束。例如，在使用旋轉(zhuǎn)波片及后續(xù)偏振器的系統(tǒng)中，將所述旋轉(zhuǎn)波片及后續(xù)偏振器定位在激光束的光束路徑中，并且將所述旋轉(zhuǎn)波片圍繞平行于所述光束路徑的軸旋轉(zhuǎn)，從而使偏振向量旋轉(zhuǎn)，此舉改變偏振激光束離開所述后續(xù)偏振器的強度。在另一常規(guī)方法中，利用聲光調(diào)制器(AOM)來產(chǎn)生具有可變強度的偏振激光束。在使用AOM的系 統(tǒng)中，聲電換能器(例如，壓電換能器)改變在介質(zhì)(例如，玻璃，石英)中產(chǎn)生的聲波的強度，由此使入射在所述介質(zhì)上并且由所述介質(zhì)繞射的激光束的強度變化。常規(guī)方法具有多個缺點。例如，包含旋轉(zhuǎn)波片及后續(xù)偏振器的光學(xué)衰減器在使光束強度變化時相對緩慢。盡管AOM可以使光束強度快速變化(在約100納秒或100納秒以下內(nèi))，但是實施AOM的系統(tǒng)通常是復(fù)雜的，所述系統(tǒng)的光學(xué)對準(zhǔn)相對具有挑戰(zhàn)性，并且所述光束路徑相對長。此外，AOM通常具有低于90% (例如，約85%)的峰值繞射效率。需要可以使激光束的強度快速變化的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)的特征為光學(xué)簡單性，并且具有相對高的峰值透射效率。

發(fā)明內(nèi)容
實現(xiàn)偏振輸出激光束的高速強度變化的優(yōu)選方法需要產(chǎn)生沿著光束路徑的第一部分向工件上的目標(biāo)位置傳播的輸入激光束。所述方法還包含設(shè)置電流計系統(tǒng)，其包含與可旋轉(zhuǎn)驅(qū)動軸配合以使所述可旋轉(zhuǎn)驅(qū)動軸圍繞垂直于所述光束路徑的第一部分的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的電流計驅(qū)動構(gòu)件。所述電流計驅(qū)動構(gòu)件控制所述可旋轉(zhuǎn)驅(qū)動軸的旋轉(zhuǎn)以提供所述可旋轉(zhuǎn)驅(qū)動軸在所選擇的角位置之間的高速轉(zhuǎn)變。緊固至所述可旋轉(zhuǎn)驅(qū)動軸的光入射敏感光學(xué)元件的角度實現(xiàn)光入射敏感光學(xué)元件的角度圍繞所述旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)。光入射敏感光學(xué)元件的角度包含平面光學(xué)薄膜，其經(jīng)定位以與所述光束路徑的第一部分相交，以使得所述輸入激光束以通過所述可旋轉(zhuǎn)驅(qū)動軸的角位置確定的入射角入射在所述平面光學(xué)薄膜上。所述平面光學(xué)薄膜從所述輸入激光束產(chǎn)生偏振輸出激光束，所述偏振輸出激光束沿著所述光束路徑的第二部分向所述工件上的所述目標(biāo)位置傳播。所述偏振輸出激光束的特征為隨所述輸入激光束與所述平面光學(xué)薄膜之間的入射角而變化的強度。通過所述電流計驅(qū)動構(gòu)件的所述可旋轉(zhuǎn)驅(qū)動軸的高速轉(zhuǎn)變改變所述輸入激光束與所述平面光學(xué)薄膜之間的入射角，由此實現(xiàn)所述偏振輸出激光束的強度的高速變化。額外的方面及優(yōu)點將從優(yōu)選實施例的以下詳細說明變得顯而易見，所述優(yōu)選實施例的以下詳細說明參考附圖進行。


圖I是根據(jù)一個實施例的用于實現(xiàn)偏振輸出激光束的高速強度變化的系統(tǒng)的示意性方塊圖。圖2是沿著圖I的線2-2所獲得的系統(tǒng)的各部分的仰視圖。圖3是表示圖I的系統(tǒng)的光入射敏感光學(xué)元件的角度的透射效率相對于所述光入射敏感光學(xué)元件的角度的平面光學(xué)薄膜與入射激光束之間的入射角的曲線圖。
具體實施例方式圖I是展示系統(tǒng)100的實施例的硬件架構(gòu)的示意性方塊圖，所述系統(tǒng)100用于選擇性地使輸入激光束102衰減以產(chǎn)生變化強度(例如，功率級)的偏振輸出激光束103。輸入激光束102包含P-偏振光并且優(yōu)選地排除大體上所有S-偏振光。通過常規(guī)激光源(未圖 示)產(chǎn)生輸入激光束102，所述常規(guī)激光源例如(但不限于)紫外線(UV)激光源(例如，355nm激光)。系統(tǒng)100包含經(jīng)定位以與光束路徑108的第一部分106相交的光入射敏感光學(xué)元件104的角度，輸入激光束102沿著所述光束路徑108向工件(未圖示)上的目標(biāo)位置傳播。在一個實例中，光學(xué)元件104是偏振器，優(yōu)選為薄膜偏振器。然而，如下文進一步詳細描述，可以使用特征如下的任何其他光學(xué)元件隨所述光學(xué)元件與入射光之間的入射角而變化的入射光透射效率。光學(xué)元件104包含由玻璃或者玻璃類材料制成的基板112，所述基板112上形成了平面光學(xué)薄膜114 (例如，光學(xué)涂層)。基板112可以是如圖I中所描繪的相對平坦的板?；蛘?，基板112可為楔形并且固定(例如，粘結(jié))至第二楔形基板以形成立方體，其中平面光學(xué)薄膜114穿過所述立方體的中心對角地切割。平面光學(xué)薄膜114將輸入激光束102分成對應(yīng)于偏振輸出激光束103的透射光分量，以及反射光分量118。偏振輸出激光束103包含p-偏振光,所述p-偏振光具有如下文所描述的可變并且依賴于平面光學(xué)薄膜114與輸入激光束102之間的入射角Θ i的強度級。優(yōu)選地，偏振輸出激光束103排除S-偏振光。反射光分量118還包含p-偏振光,所述p-偏振光具有與偏振輸出激光束103的強度級的變化成反比關(guān)系而變化的強度級。如果輸入激光束102除包含P-偏振光之外還包含S-偏振光,那么偏振輸出激光束103及反射光分量118還可包含具有隨入射角Θ i而變的可變強度級的S-偏振光。反射光分量118沿著反射光束路徑120行進至激光收集元件122，所述激光收集元件122吸收反射光分量118以防止其到達所述工件。在第一實施例中，偏振輸出激光束103沿著光束路徑108的第二部分124行進至經(jīng)定位以與偏振輸出激光束103相交的第二光學(xué)元件126。第二光學(xué)元件126是光束位移光學(xué)元件，其經(jīng)設(shè)置以補償由光學(xué)元件104引入的下文更詳細描述的光束偏移127。在替代性第二實施例(未圖不)中,第二光學(xué)兀件126被省略，并且偏振輸出激光束103繼續(xù)沿著光束路徑108的第二部分124行進至后續(xù)常規(guī)光學(xué)器件128 (例如，聚焦透鏡、光束定位器)，所述后續(xù)常規(guī)光學(xué)器件128調(diào)節(jié)偏振輸出激光束103使之入射在所述工件上的目標(biāo)位置處。以下描述針對所述第一實施例。第二光學(xué)元件126接收偏振輸出激光束103并且沿著光束路徑108的第三部分129將偏振輸出激光束103 (或者偏振輸出激光束103的一部分)傳輸至光學(xué)器件128。類似于光學(xué)元件104，第二光學(xué)元件126可以是包含平面光學(xué)薄膜的光入射敏感光學(xué)元件的角度，所述平面光學(xué)薄膜將偏振輸出激光束103的一些光與光束路徑108分離以產(chǎn)生反射光束130,而偏振輸出激光束103的剩余部分(由參考標(biāo)號103’表不)通過第二光學(xué)兀件126沿著光束路徑108的第三部分129傳輸。在一個實例中，第二光學(xué)兀件126是薄膜偏振器。當(dāng)?shù)诙鈱W(xué)元件126包含產(chǎn)生反射光束130的平面光學(xué)薄膜時，設(shè)置第二激光收集元件132來吸收反射光束130?；蛘撸诙鈱W(xué)元件126可以是經(jīng)抗反射涂布的板，在這種情況下，不產(chǎn)生反射光束130，省略第二激光收集元件132，并且大體上所有偏振輸出激光束103通過第二光學(xué)元件126沿著光束路徑108的第三部分129傳輸。如圖I所示，光束路徑108的第二部分124相對于第一部分106偏移對應(yīng)于光束偏移127的量。在系統(tǒng)100中設(shè)置第二光學(xué)元件126來使光束路徑108的第三部分129相對于第二部分124移置位移量134，所述位移量134的量值大體上等于光束偏移127且方向與光束偏移127相反，以使得光束路徑108的第三部分129與第一部分106對準(zhǔn)。換句話說，視情況設(shè)置第二光學(xué)兀件126來補償由光學(xué)兀件104引入的光束偏移127。
圖2是展示電流計系統(tǒng)200的系統(tǒng)100 (為了清楚起見排除收集元件122及132)的仰視圖，所述電流計系統(tǒng)200與光學(xué)元件104配合來控制入射角Θ i并且因此控制偏振輸出激光束103的強度級。電流計系統(tǒng)200包含與可旋轉(zhuǎn)驅(qū)動軸204配合的電流計驅(qū)動構(gòu)件202。常規(guī)電流計系統(tǒng)通常包含緊固至驅(qū)動軸以將激光束導(dǎo)引至工件上的不同目標(biāo)位置的反射鏡。例如，標(biāo)題為“用于將聚焦光束定位在集成電路上的方法和設(shè)備(Method andApparatus for Positioning a Focused Beam on an Integrated Circuit)，，的美國專利4，532，402號描述一種常規(guī)電流計系統(tǒng)。然而，在電流計系統(tǒng)200中，用光學(xué)元件104替換常規(guī)反射鏡以實現(xiàn)偏振輸出激光束103的高速衰減，所述光學(xué)元件104通過安裝座206(例如，安裝極靴)緊固至驅(qū)動軸204的末端。響應(yīng)于從處理器209接收的控制信號208，電流計驅(qū)動構(gòu)件202使軸204及光學(xué)元件104圍繞垂直于光束路徑108的第一部分106的旋轉(zhuǎn)軸210旋轉(zhuǎn)。在圖I中，旋轉(zhuǎn)軸210延伸進出所述圖的平面。處理器209根據(jù)將偏振輸出激光束103的所選擇的強度級與對應(yīng)的軸204及光學(xué)元件104的角位置相關(guān)聯(lián)的信息(例如，計算機程序)操作。當(dāng)偏振輸出激光束103的所選擇的強度級是所需強度級時，處理器209傳輸控制信號208至電流計驅(qū)動構(gòu)件202，所述控制信號208包含表示與所述所選擇的強度級相關(guān)聯(lián)的對應(yīng)角位置的指令。電流計驅(qū)動構(gòu)件202通過將軸204及光學(xué)元件104旋轉(zhuǎn)至對應(yīng)的角位置來對控制信號208作響應(yīng)。電流計系統(tǒng)200操作來以相對高的速度且以準(zhǔn)確的精度將軸204轉(zhuǎn)變至由處理器209指示的對應(yīng)的角位置。因此，通過將光學(xué)元件104緊固至軸204，電流計系統(tǒng)200能夠快速改變在平面光學(xué)薄膜114與輸入激光束102之間的入射角Θ 17并且準(zhǔn)確地將光學(xué)元件104定位在與偏振輸出激光束103的所選擇的強度級相關(guān)聯(lián)的對應(yīng)的角位置處。在一個實例中，電流計系統(tǒng)200可在小于10毫秒(ms)(優(yōu)選約200微秒(μ s))內(nèi)使光學(xué)元件104在對應(yīng)的角位置中的不同者之間旋轉(zhuǎn)。通過改變?nèi)肷浣铅?i的程度，電流計系統(tǒng)200能夠控制偏振輸出激光束103的P-偏振光的強度級。如上文所描述，平面光學(xué)薄膜114操作來透射輸入激光束102的一些P-偏振光并且反射輸入激光束102的一些p-偏振光。由平面光學(xué)薄膜114透射的p-偏振光的量取決于平面光學(xué)薄膜114與輸入激光束102之間的入射角θ1()換句話說，偏振輸出激光束103的P-偏振光的強度級隨入射角Θ i而變化。在一個實例中，偏振輸出激光束103的P-偏振光的強度級在入射角Θ i對應(yīng)于布魯斯特角(Brewster’s angle)時最大。由平面光學(xué)薄膜114反射的P-偏振光的量也取決于入射角Θ i，但是與由平面光學(xué)薄膜114透射的P-偏振光的量反比變化。因此，在一個實例中，反射光分量118的P-偏振光的強度級在入射角Θi處于布魯斯特角時最小。圖3展不根據(jù)一個實例表不光學(xué)兀件104的p-偏振光透射效率相對于入射角Θ i的曲線300，在所述實例中光學(xué)元件104是薄膜偏振器并且輸入激光束102的波長為約355nm。在圖3中，縱坐標(biāo)軸(即，透射軸)在O. 0001到I范圍內(nèi)變化，其中O. 0001表示O. 01%的P-偏振入射光被透射并且I對應(yīng)于100%的P-偏振入射光被透射。在此實例中，布魯斯特角對應(yīng)于約56. 6度的角度，并且當(dāng)入射角Θ i處于布魯斯特角時， 光學(xué)元件104可操作來透射接近100% (例如，大于95%)的輸入激光束102的P-偏振光。曲線300展示偏振輸出激光束103的p-偏振光的強度級在入射角Θ I偏離(例如，小于)布魯斯特角時降低。例如，偏振輸出激光束103的p-偏振光的強度級在入射角Q1為約25度時小于輸入激光束102的P-偏振光的強度級的O. 1%。因此，電流計系統(tǒng)200可通過使光學(xué)元件104圍繞旋轉(zhuǎn)軸210旋轉(zhuǎn)至所選擇的角位置來快速且準(zhǔn)確地使偏振輸出激光束103衰減至所需的強度級。因為系統(tǒng)100包含可操作來使光學(xué)元件104快速旋轉(zhuǎn)的電流計系統(tǒng)200，所以系統(tǒng)100實現(xiàn)比常規(guī)旋轉(zhuǎn)波片及后續(xù)偏振器快得多的動態(tài)激光束衰減。此外，相較于AOM系統(tǒng)，系統(tǒng)100可實現(xiàn)較大的最大透射效率并且可用較小光學(xué)復(fù)雜性來實施，這樣使得較容易對準(zhǔn)系統(tǒng)100并且允許系統(tǒng)100具有較短的必要光束路徑。當(dāng)電流計系統(tǒng)200使入射角Q1變化時，光束偏移127的程度也變化。因此，系統(tǒng)100視情況包含與第二光學(xué)元件126配合來補償光束偏移127的變化的第二電流計系統(tǒng)400。第二電流計系統(tǒng)400包含與可旋轉(zhuǎn)驅(qū)動軸404配合的電流計驅(qū)動構(gòu)件402。第二光學(xué)元件126通過安裝座406 (例如，安裝極靴)固定至驅(qū)動軸404的末端。響應(yīng)于自處理器209接收的控制信號408，電流計驅(qū)動構(gòu)件402使軸404及第二光學(xué)元件126圍繞垂直于光束路徑108的第二部分124的旋轉(zhuǎn)軸410旋轉(zhuǎn)，從而改變第二光學(xué)元件126與偏振輸出激光束103之間的入射角θ2。當(dāng)入射角θ2改變時，位移量134的程度改變。因此，處理器209根據(jù)使第二光學(xué)元件126的旋轉(zhuǎn)與光學(xué)元件104的旋轉(zhuǎn)協(xié)調(diào)的信息(例如，計算機程序)操作，以使得光束路徑108的第三部分129保持與第一部分106對準(zhǔn)。當(dāng)處理器209傳輸控制信號208至電流計驅(qū)動構(gòu)件202以使光學(xué)元件104旋轉(zhuǎn)時，處理器209也傳輸控制信號408至電流計驅(qū)動構(gòu)件402，所述控制信號408包含表示第二光學(xué)元件126的角位置的指令，并且電流計驅(qū)動構(gòu)件402使第二光學(xué)元件126與光學(xué)元件104的旋轉(zhuǎn)協(xié)調(diào)旋轉(zhuǎn)，從而使光束路徑108的第三部分129與第一部分106保持對準(zhǔn)。此外，當(dāng)?shù)诙鈱W(xué)元件126是類似光學(xué)元件104的光入射敏感光學(xué)元件的角度時，電流計系統(tǒng)400也可使第二光學(xué)元件126圍繞旋轉(zhuǎn)軸410旋轉(zhuǎn),從而增大系統(tǒng)100可以使偏振輸出激光束103衰減的程度。當(dāng)入射角Θ i由于光學(xué)元件104的旋轉(zhuǎn)而改變時，反射光束路徑120從其圖I中的位置向左或向右移位。因此，在一個實施例中，激光收集元件122足夠大，以使得反射光分量118在反射光束路徑120的移位程度上入射在激光收集元件122上。在替代性實施例中，激光收集元件122與反射光束路徑120的移位配合移動，從而確保反射光分量118入射在激光收集元件122上。此外，當(dāng)?shù)诙鈱W(xué)元件126包含產(chǎn)生反射光束130的平面光學(xué)薄膜時，可根據(jù)激光收集元件122的實施例中的一者設(shè)計激光收集元件132來在其響應(yīng)于入射角Θ 2的改變而移位時捕獲反射光束130。對所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員顯而易見的是，在不脫離本發(fā)明的基本原則的情況下，可對上文描述的實施例的細節(jié)作出許多改變。例如，預(yù)期可將反射光分量118代替偏振輸出激光束103或者除偏振輸出激光束103之外用作可變強度處理光束。因此，本發(fā)明的范圍 應(yīng)僅由隨附權(quán)利要求書確定。
權(quán)利要求
1.一種實現(xiàn)偏振輸出激光束的高速強度變化的方法，其包括 產(chǎn)生輸入激光束，其沿著光束路徑的第一部分向工件上的目標(biāo)位置傳播； 設(shè)置電流計系統(tǒng)，其包含與可旋轉(zhuǎn)驅(qū)動軸配合來使所述可旋轉(zhuǎn)驅(qū)動軸圍繞垂直于所述光束路徑的所述第一部分的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的電流計驅(qū)動構(gòu)件，所述電流計驅(qū)動構(gòu)件使所述可旋轉(zhuǎn)驅(qū)動軸圍繞所述旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，從而提供所述可旋轉(zhuǎn)驅(qū)動軸在所選擇的角位置之間的高速轉(zhuǎn)變；以及 將光入射敏感光學(xué)元件的角度緊固至所述可旋轉(zhuǎn)驅(qū)動軸，從而實現(xiàn)所述光入射敏感光學(xué)元件的角度圍繞所述旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)，所述光入射敏感光學(xué)元件的角度包含平面光學(xué)薄膜，所述平面光學(xué)薄膜經(jīng)定位以與所述光束路徑的所述第一部分相交，以使得所述輸入激光束以由所述可旋轉(zhuǎn)驅(qū)動軸的角位置確定的入射角入射在所述平面光學(xué)薄膜上，所述平面光學(xué)薄膜從所述輸入激光束產(chǎn)生沿著所述光束路徑的第二部分向所述工件上的所述目標(biāo)位置傳播的偏振輸出激光束，所述偏振輸出激光束的特征為隨所述輸入激光束與所述平面光學(xué)薄膜之間的所述入射角而變化的強度，由所述電流計驅(qū)動構(gòu)件提供的所述可旋轉(zhuǎn)驅(qū)動軸的所述高速轉(zhuǎn)變改變所述輸入激光束與所述平面光學(xué)薄膜之間的所述入射角，由此實現(xiàn)所述偏振輸出激光束的所述強度的高速變化。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法，其中所述平面光學(xué)薄膜將所述輸入激光束分成第一及第二光分量，由此產(chǎn)生所述偏振輸出激光束，所述偏振輸出激光束對應(yīng)于所述第一光分量。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中所述平面光學(xué)薄膜通過透射所述第一光分量穿過所述平面光學(xué)薄膜并且通過使所述第二光分量從所述平面光學(xué)薄膜反射來將所述輸入激光束分成所述第一及第二光分量。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其進一步包括設(shè)置經(jīng)定位以與從所述平面光學(xué)薄膜反射的所述第二光分量相交的激光收集元件，所述激光收集元件吸收所述第二光分量以抑制其到達所述工件。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法，其中所述光入射敏感光學(xué)元件的角度是薄膜偏振器。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法，其中所述光入射敏感光學(xué)元件的角度引入所述光束路徑的所述第一與第二部分之間的光束偏移，所述方法進一步包括定位光束位移光學(xué)元件來與所述光束路徑的所述第二部分相交，以使得所述偏振輸出激光束入射在所述光束位移光學(xué)元件上，所述光束位移光學(xué)元件沿著所述光束路徑的第三部分向所述目標(biāo)位置傳輸所述偏振輸出激光束的至少一部分，并且所述光束位移光學(xué)元件使所述光束路徑的所述第三部分相對于所述光束路徑的所述第二部分移置補償所述光束路徑的所述第一與第二部分之間的所述光束偏移的位移量。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中所述電流計驅(qū)動構(gòu)件是第一電流計驅(qū)動構(gòu)件，所述可旋轉(zhuǎn)驅(qū)動軸是第一可旋轉(zhuǎn)驅(qū)動軸，所述平面光學(xué)薄膜與所述輸入激光束之間的所述入射角是第一入射角，并且所述旋轉(zhuǎn)軸是第一旋轉(zhuǎn)軸，所述方法進一步包括設(shè)置第二電流計驅(qū)動構(gòu)件，所述第二電流計驅(qū)動構(gòu)件與第二可旋轉(zhuǎn)驅(qū)動軸配合來使所述第二可旋轉(zhuǎn)驅(qū)動軸圍繞垂直于所述光束路徑的所述第二部分的第二旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，所述光束位移光學(xué)元件緊固至所述第二可旋轉(zhuǎn)驅(qū)動軸以實現(xiàn)所述光束位移光學(xué)元件圍繞所述第二旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)，并且所述第二電流計驅(qū)動構(gòu)件使所述第二可旋轉(zhuǎn)驅(qū)動軸與所述光束位移光學(xué)元件圍繞所述第二旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)來調(diào)整所述光束位移光學(xué)元件與所述偏振輸出激光束之間的第二入射角。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中所述光束路徑的所述第一與第二部分之間的所述光束偏移的程度隨所述第一入射角而變并且所述光束路徑的所述第二與第三部分之間的所述位移量隨所述第二入射角而變，所述第二電流計驅(qū)動構(gòu)件使所述第二可旋轉(zhuǎn)驅(qū)動軸與所述光束位移光學(xué)元件圍繞所述第二旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，由此響應(yīng)于所述光束偏移的改變調(diào)整所述位移量。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中所述光束位移光學(xué)元件是經(jīng)抗反射涂布的板。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中所述光束位移光學(xué)元件是薄膜偏振器。
全文摘要
本發(fā)明提供一種實現(xiàn)偏振輸出激光束(103)的高速強度變化的方法，所述方法包含將光入射敏感光學(xué)元件(104)的角度緊固至提供所述光入射敏感光學(xué)元件的角度在不同角位置之間高速轉(zhuǎn)變的電流計系統(tǒng)(200)。由所述電流計系統(tǒng)提供的所述高速轉(zhuǎn)變使在輸入激光束(102)與所述光入射敏感光學(xué)元件的角度之間的入射角θ1變化，由此提供由所述光入射敏感光學(xué)元件的角度產(chǎn)生的所述偏振輸出激光束的強度的高速變化。
文檔編號H01S3/101GK102934299SQ201180026750
公開日2013年2月13日 申請日期2011年3月17日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月2日
發(fā)明者杰恩·克雷能特 申請人:伊雷克托科學(xué)工業(yè)股份有限公司