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激光模塊的制作方法

文檔序號(hào):7236475閱讀:269來(lái)源:國(guó)知局
專(zhuān)利名稱(chēng):激光模塊的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種激光模塊,所述激光模塊包括透鏡,該透鏡準(zhǔn)直或聚焦從激光源發(fā)射的激光。下列日本專(zhuān)利申請(qǐng)的內(nèi)容通過(guò)引用并入本文2010年5月11號(hào)提交的第2010-109207號(hào)日本專(zhuān)利申請(qǐng)。
背景技術(shù)
設(shè)有準(zhǔn)直或聚焦從激光源發(fā)射的激光的透鏡的傳統(tǒng)激光模塊是已知的。在這樣的傳統(tǒng)激光模塊中,透鏡以入射面和出射面露出的方式保持在金屬框架中,并且通過(guò)焊接將金屬框架固定至襯底。然而,金屬框架使得難以降低激光模塊的成本和尺寸。因此,最近的透鏡不使用金屬框架,而是使用樹(shù)脂膠附接至襯底(例如參見(jiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)1和2)。專(zhuān)利文獻(xiàn)1 第2006-301597號(hào)日本特許公開(kāi)專(zhuān)利申請(qǐng)專(zhuān)利文獻(xiàn)2 第2004-U6319號(hào)日本特許公開(kāi)專(zhuān)利申請(qǐng)

發(fā)明內(nèi)容
一些樹(shù)脂膠包括主要成分是無(wú)機(jī)材料的填料(分散粒子),以調(diào)節(jié)用于將透鏡附接至襯底的樹(shù)脂膠的特性,例如線(xiàn)性膨脹系數(shù)、固化收縮和導(dǎo)熱率。然而,當(dāng)使用包含這種填料的樹(shù)脂膠時(shí),在透鏡的接合表面與襯底的頂面之間的填料的插入使得透鏡被接合為其相對(duì)于與襯底的表面垂直的方向傾斜。如果接合的透鏡相對(duì)于與襯底的表面垂直的方向的傾斜角超出可容許角(在下文中為“可容許傾斜角”),激光的光軸變得不齊并且激光的光束輪廓變得扭曲,使得激光模塊的光學(xué)特性下降。因此,需要提供一種這樣的激光模塊,該激光模塊可抑制由于樹(shù)脂膠包含無(wú)機(jī)填料而造成的光學(xué)特性的下降。鑒于上述問(wèn)題實(shí)現(xiàn)本發(fā)明,并且本發(fā)明的目的是提供一種激光模塊,該激光模塊可抑制由于樹(shù)脂膠包含無(wú)機(jī)填料而造成的光學(xué)特性的下降。為了解決上述問(wèn)題并實(shí)現(xiàn)該目的,根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面,提供一種激光模塊,該激光模塊包括激光源,所述激光源發(fā)射激光;和透鏡,所述透鏡利用樹(shù)脂膠接合至襯底的表面。所述透鏡準(zhǔn)直或聚焦從所述激光源發(fā)射的激光。所述樹(shù)脂膠包括主要成分為無(wú)機(jī)材料的填料。所述填料沿著與所述襯底的表面垂直的方向的高度h滿(mǎn)足
^fsin^max……(1)其中d是所述透鏡的接合表面沿著所述激光的光軸的方向的寬度,且θ_是所述透鏡的可容許傾斜角。在上述激光模塊中,當(dāng)所述透鏡的接合表面寬度d不小于0. 5毫米且不大于1毫米時(shí),所述填料的高度h可小于或等于8微米。所述填料可包括作為主要成分的、選自如下物質(zhì)的無(wú)機(jī)材料Si02、 Mg3Si4O10 (OH)2, Al2O3> A1N、BN 和 TiO20所述填料具有球形、磷片狀、板狀或粉碎塊狀。
所述填料在所述樹(shù)脂膠中的含量按重量百分比計(jì)可大于或等于25%。所述樹(shù)脂膠可包括作為主要成分的、選自以下物質(zhì)的樹(shù)脂材料環(huán)氧樹(shù)脂、丙烯酸樹(shù)脂、聚氨酯樹(shù)脂和硅樹(shù)酯。所述激光源可以是分布反饋式半導(dǎo)體激光元件。所述激光源可以是分布反射鏡半導(dǎo)體激光元件。所述激光源可以是通過(guò)集成多個(gè)縱向單模半導(dǎo)體激光元件、半導(dǎo)體光放大器和復(fù)用器而形成的陣列型半導(dǎo)體激光元件,所述半導(dǎo)體光放大器放大從所述縱向單模半導(dǎo)體激光元件發(fā)射的激光,所述復(fù)用器將從所述縱向單模半導(dǎo)體激光元件發(fā)射的激光引導(dǎo)至所述半導(dǎo)體光放大器。所述透鏡可以準(zhǔn)直所述激光并出射準(zhǔn)直的激光。所述激光模塊還可包括接收所述準(zhǔn)直的激光的聚焦透鏡??苫谒鐾哥R和所述聚焦透鏡之間的距離、所述激光被所述聚焦透鏡接受的接受區(qū)域的直徑和所述激光的光點(diǎn)直徑中的一個(gè)或多個(gè),確定可容許傾斜角
θ 0 max υ當(dāng)所述激光的光點(diǎn)直徑為0. 5毫米并且可容許入射區(qū)域的直徑為1. 55毫米時(shí),所述透鏡和所述聚焦透鏡之間的距離可以為15毫米。技術(shù)效果根據(jù)本發(fā)明的激光模塊可限制由于樹(shù)脂膠包含無(wú)機(jī)填料而造成的光學(xué)特性的下降。


圖1是從上方觀(guān)察的根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的激光模塊的剖視示意圖。圖2是如圖1所示的激光源的結(jié)構(gòu)的示意圖。圖3示出如圖1所示的準(zhǔn)直透鏡的示例性構(gòu)造。圖4是用于獲取無(wú)機(jī)填料沿著垂直于襯底表面的方向的可容許高度的方法示意圖。圖5是朝著出射表面傾斜的準(zhǔn)直透鏡的示意圖。圖6是朝著入射表面傾斜的準(zhǔn)直透鏡的示意圖。圖7示出了當(dāng)準(zhǔn)直透鏡的可容許傾斜角為2度時(shí)透鏡寬度與填料的可容許高度之間的關(guān)系。
具體實(shí)施例方式下文參照附圖詳細(xì)地描述本發(fā)明的示例性實(shí)施方式。圖1和圖2用于描述根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的激光模塊1的結(jié)構(gòu)。圖1是從上方觀(guān)察的激光模塊1的剖視示意圖。圖2是如圖1所示的激光源2的結(jié)構(gòu)的示意圖。在該說(shuō)明書(shū)中,在水平面內(nèi)發(fā)射激光的方向,即光軸的方向定義為X軸,在水平面內(nèi)垂直于X軸的方向定義為Y軸,并且垂直于水平的XY面的方向,即豎直方向定義為Z軸。如圖1所示,激光模塊1包括激光源2、準(zhǔn)直透鏡3、襯底4、分束器5、光強(qiáng)監(jiān)測(cè)光電二極管6、標(biāo)準(zhǔn)濾光器7、波長(zhǎng)監(jiān)測(cè)光電二極管8、底板9、匹爾特設(shè)備10、光隔離器11、聚焦透鏡12以及容納所有這些構(gòu)件的殼體13。如圖2所示,激光源2包括半導(dǎo)體激光陣列21、波導(dǎo)管22、復(fù)用器23、波導(dǎo)管M、 半導(dǎo)體光放大器(SOA) 25以及彎曲波導(dǎo)管26。激光源2是將上述構(gòu)件集成在單個(gè)襯底上形成的陣列型半導(dǎo)體激光元件。半導(dǎo)體激光陣列21包括形成為條形的多個(gè)縱向單模半導(dǎo)體激光元件(在后文中為“半導(dǎo)體激光元件”)211,以從前端面發(fā)射具有不同波長(zhǎng)的激光。半導(dǎo)體激光元件211是分布反饋式(DFB)激光元件,并且其振蕩波長(zhǎng)可通過(guò)調(diào)節(jié)所述元件的溫度而被控制。更具體地說(shuō),每個(gè)半導(dǎo)體激光元件211的振蕩波長(zhǎng)可以在例如從大約3納米至4 納米的范圍內(nèi)變化。半導(dǎo)體激光元件211設(shè)計(jì)成使得其振蕩波長(zhǎng)之間具有大約3納米至4 納米的間隔。因此,通過(guò)切換半導(dǎo)體激光元件211并控制半導(dǎo)體激光元件211的溫度,半導(dǎo)體激光陣列21可發(fā)射激光LB,該激光LB的波長(zhǎng)區(qū)在比單個(gè)半導(dǎo)體激光元件更寬的頻寬上連續(xù)。通過(guò)將振蕩波長(zhǎng)可在3納米至4納米的范圍內(nèi)變化的十個(gè)或更多個(gè)半導(dǎo)體激光元件211集成在一起,激光的波長(zhǎng)可在30納米或更大的波長(zhǎng)區(qū)內(nèi)變化。因此,這十個(gè)或更多個(gè)半導(dǎo)體激光元件211可覆蓋用于WDM通信的整個(gè)波長(zhǎng)區(qū),例如其可以是從1. 53微米至1. 56 微米的C頻段,或是從1. 57微米至1. 61微米的L頻段。為每個(gè)半導(dǎo)體激光元件211提供波導(dǎo)管22,該波導(dǎo)管22將從相應(yīng)的半導(dǎo)體激光元件211發(fā)射的激光LB引導(dǎo)至復(fù)用器23。復(fù)用器23例如可以是多模干涉(MMI)耦合器,其將來(lái)自波導(dǎo)管22的激光LB引導(dǎo)至波導(dǎo)管24。波導(dǎo)管M將來(lái)自復(fù)用器23的激光LB引導(dǎo)至半導(dǎo)體光放大器25。半導(dǎo)體光放大器25將波導(dǎo)管M引導(dǎo)的激光LB放大,并將放大的激光LB引導(dǎo)至彎曲波導(dǎo)管沈。彎曲波導(dǎo)管沈以相對(duì)于發(fā)射端面大約7度的角,發(fā)射由半導(dǎo)體光放大器25沿X 軸方向引導(dǎo)的激光LB。激光LB相對(duì)于發(fā)射端面形成的角度優(yōu)選地調(diào)節(jié)為6度至12度的范圍。由此,較少的光朝著半導(dǎo)體激光陣列21反射。下文基于圖1描述激光模塊1的結(jié)構(gòu)。準(zhǔn)直透鏡3布置在激光源2的發(fā)射端面附近。準(zhǔn)直透鏡3使從激光源2發(fā)射的激光LB準(zhǔn)直,并且將準(zhǔn)直的激光LB引導(dǎo)至分束器5。 在襯底4水平安裝表面(即XY面)上裝載激光源2和準(zhǔn)直透鏡。分束器5透射來(lái)自準(zhǔn)直透鏡3的激光LB的一部分,并將該部分激光引導(dǎo)至光隔離器11。分束器5朝著光強(qiáng)監(jiān)測(cè)光電二極管6和標(biāo)準(zhǔn)濾光器7分離來(lái)自準(zhǔn)直透鏡3的激光 LB的其余部分,即沒(méi)有被分束器5透射的部分。光強(qiáng)監(jiān)測(cè)光電二極管6檢測(cè)由分束器5分離的激光LB的光強(qiáng)。光強(qiáng)監(jiān)測(cè)光電二極管6將與檢測(cè)的光強(qiáng)相對(duì)應(yīng)的電信號(hào)輸入到與激光模塊1連接的控制設(shè)備。標(biāo)準(zhǔn)濾光器7具有與激光LB的波長(zhǎng)有關(guān)的周期透射特性,并選擇性地透射具有與所述透射特性相對(duì)應(yīng)的光強(qiáng)的激光LB,以輸入至波長(zhǎng)監(jiān)測(cè)光電二極管8。波長(zhǎng)監(jiān)測(cè)光電二極管8檢測(cè)從標(biāo)準(zhǔn)濾光器7輸入的激光LB的光強(qiáng),并將與檢測(cè)的光強(qiáng)對(duì)應(yīng)的電信號(hào)輸入至控制設(shè)備。由光強(qiáng)監(jiān)測(cè)光電二極管6和波長(zhǎng)監(jiān)測(cè)光電二極管8檢測(cè)的激光LB的光強(qiáng)由控制設(shè)備使用以執(zhí)行波長(zhǎng)鎖定控制。具體地說(shuō),激光模塊1由控制設(shè)備控制,以通過(guò)控制半導(dǎo)體光放大器25的驅(qū)動(dòng)電流來(lái)執(zhí)行波長(zhǎng)鎖定控制,使得由光強(qiáng)監(jiān)測(cè)光電二極管6檢測(cè)的激光LB的光強(qiáng)與由波長(zhǎng)監(jiān)測(cè)光電二極管8檢測(cè)的激光的光強(qiáng)的比率與當(dāng)激光LB的振蕩波長(zhǎng)和光強(qiáng)為預(yù)期值時(shí)獲得的比率匹配。而且,激光模塊1通過(guò)控制設(shè)置在激光源2和襯底4之間的匹爾特設(shè)備(未示出)而調(diào)節(jié)激光源2的溫度。利用上述結(jié)構(gòu),激光模塊1可控制激光LB的振蕩波長(zhǎng)和光強(qiáng)為預(yù)期值。底板9具有在XY面內(nèi)的水平安裝表面,在該安裝表面上裝載有襯底4、分束器5、 光強(qiáng)監(jiān)測(cè)光電二極管6、標(biāo)準(zhǔn)濾光器7和波長(zhǎng)監(jiān)測(cè)光電二極管8。匹爾特設(shè)備10具有在XY 面內(nèi)的水平安裝表面,底板9裝載在該安裝表面上。匹爾特設(shè)備10經(jīng)由底板9和襯底4來(lái)冷卻激光源2,并且通過(guò)經(jīng)由底板9調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)濾光器7的溫度來(lái)控制標(biāo)準(zhǔn)濾光器7的選定波長(zhǎng)。光隔離器11限制從光纖14反射回的光與激光LB重新組合。聚焦透鏡12將由分束器 5透射的激光LB在光纖14中組合,以供輸出。下面參照?qǐng)D3描述準(zhǔn)直透鏡3的結(jié)構(gòu)。圖3示出了準(zhǔn)直透鏡3的示例性構(gòu)造。如圖3所示,準(zhǔn)直透鏡3是雙面透鏡,該雙面透鏡包括透鏡本體31,其具有長(zhǎng)方體形,在激光 LB的光軸的方向上的寬度為d ;透鏡部分32,其形成在透鏡本體31的入射激光LB的一側(cè); 和透鏡部分33,其形成在透鏡本體31的發(fā)射激光LB的一側(cè)。準(zhǔn)直透鏡3由比如玻璃、晶體、金剛石、紅寶石之類(lèi)的材料制成。準(zhǔn)直透鏡3使用樹(shù)脂膠34固定至襯底4的表面,樹(shù)脂膠34包含主要成分為無(wú)機(jī)材料的無(wú)機(jī)填料341。樹(shù)脂膠34將透鏡本體31的底面接合至襯底4的頂面。無(wú)機(jī)填料341 優(yōu)選地包括作為其主要成分的、選自以下的無(wú)機(jī)材料Si02、M&Si401(1(0H)2、Al203、AlN、BN和 Ti02。無(wú)機(jī)填料341的形狀優(yōu)選地為球形、磷片狀、板狀或粉碎塊狀。樹(shù)脂膠34中的無(wú)機(jī)填料341含量按重量百分比計(jì)優(yōu)選地不少于25%且不大于 95%。為了調(diào)節(jié)樹(shù)脂膠34的特性,例如固化收縮率、線(xiàn)性熱膨脹系數(shù)和導(dǎo)熱系數(shù),無(wú)機(jī)填料 341的含量按重量百分比計(jì)必須為25%或更多。另一方面,如果無(wú)機(jī)填料341的含量按重量百分比計(jì)大于95%,則樹(shù)脂膠34的粘度變得太大,這降低了可使用性,并且樹(shù)脂膠34變得脆弱,這降低粘附性。樹(shù)脂膠34優(yōu)選地包括作為其主要成分的、選自以下的樹(shù)脂材料環(huán)氧樹(shù)脂、丙烯酸樹(shù)脂、聚氨酯樹(shù)脂和硅樹(shù)酯。在具有上述結(jié)構(gòu)的激光模塊1中,以如下所示的方式設(shè)定無(wú)機(jī)填料341沿著垂直于襯底4的表面的方向(Z軸方向)和垂直于激光LB的光軸的方向的可容許高度,防止了準(zhǔn)直透鏡3相對(duì)于與襯底4的表面垂直的方向超出可容許的角度范圍,所述角度范圍定義使激光LB的光軸的傾斜和激光LB的光束形狀的變形落在可容許的范圍內(nèi)的角度。下面參照?qǐng)D4至圖6描述無(wú)機(jī)填料341的可容許高度。圖4至圖6是用于描述用于獲取無(wú)機(jī)填料341在與襯底4的表面垂直的方向上的可容許高度的方法的示意圖。如圖4所示,可想到這樣的狀況一種無(wú)機(jī)填料341設(shè)在透鏡本體31的接合表面(底面)與襯底(未示出)之間。在下面的描述中,在X軸方向上,透鏡本體31的入射表面?zhèn)?11定位在X = 0處,透鏡本體31的出射表面?zhèn)?12定位在X = d處,并且無(wú)機(jī)填料341定位在X = χ處,該X軸方向是透鏡本體31的寬度方向。在該狀態(tài)下,如圖5所示,將無(wú)機(jī)填料341從透鏡本體31的入射表面?zhèn)?11移動(dòng)至更靠近寬度方向的中央(X= l/2d)使得準(zhǔn)直透鏡3朝著出射表面傾斜,并且傾斜角θ 增加。當(dāng)無(wú)機(jī)填料341移動(dòng)超出透鏡本體31的寬度方向的中央時(shí),準(zhǔn)直透鏡3朝著入射表面傾斜,如圖6所示,并且傾斜角θ減小。因此,當(dāng)無(wú)機(jī)填料341位于寬度方向的中央時(shí)準(zhǔn)直透鏡3的傾斜角θ為最大值。因此,通過(guò)設(shè)定無(wú)機(jī)填料341沿著垂直于襯底4的方向的可容許高度h和透鏡本體31的接合表面寬度d,使得當(dāng)無(wú)機(jī)填料341靠近寬度方向的中央時(shí),準(zhǔn)直透鏡3的傾斜角 θ不超出可容許最大傾斜角θ _,即使當(dāng)無(wú)機(jī)填料341插入準(zhǔn)直透鏡3的底面與襯底4的頂面之間時(shí),也可限制激光模塊1的光學(xué)特性的下降。具體地,如從圖5和圖6中了解的,準(zhǔn)直透鏡3的傾斜角θ的正弦值sin θ可以如下所示的表達(dá)式( 表示。因此,準(zhǔn)直透鏡3的傾斜角θ的最大可容許傾斜角θ_的正弦值Sinemax可以如下所示的表達(dá)式(3)表示。因此,通過(guò)以滿(mǎn)足如下所示的表達(dá)式的方式設(shè)定無(wú)機(jī)填料341的沿著垂直于襯底4的表面的方向的可容許高度h,即使當(dāng)無(wú)機(jī)填料341插入準(zhǔn)直透鏡3的底面與襯底4的頂面之間,可限制激光模塊1的光學(xué)特性的下降。


權(quán)利要求
1.一種激光模塊,包括激光源,所述激光源發(fā)射激光;和透鏡,所述透鏡利用樹(shù)脂膠接合至襯底的表面,所述透鏡準(zhǔn)直或聚焦從所述激光源發(fā)射的激光,其中所述樹(shù)脂膠包括主要成分為無(wú)機(jī)材料的填料,和所述填料在與所述襯底的表面垂直的方向的高度h滿(mǎn)足/ζ < I Sin^max,其中d是所述透鏡的接合表面沿著所述激光的光軸的方向的寬度,且θ_是所述透鏡的可容許傾斜角。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光模塊,其中,當(dāng)所述透鏡的接合表面的寬度d不小于0.5 毫米且不大于1毫米時(shí),所述填料的高度h不大于8微米。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的激光模塊,其中,所述填料包括作為主要成分的、選自如下物質(zhì)的無(wú)機(jī)材料SiO2、Mg3Si4Oltl (OH) 2、A1203、A1N、BN 和 TiO2。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的激光模塊,其中,所述填料具有球形、磷片狀、板狀或粉碎塊狀的形狀。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的激光模塊,其中,所述填料在所述樹(shù)脂膠中的含量按重量百分比計(jì)不少于25%。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的激光模塊,其中,所述樹(shù)脂膠包括作為主要成分的、選自以下物質(zhì)的樹(shù)脂材料環(huán)氧樹(shù)脂、丙烯酸樹(shù)脂、聚氨酯樹(shù)脂和硅樹(shù)酯。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的激光模塊,其中,所述激光源是分布反饋式半導(dǎo)體激光元件。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的激光模塊,其中,所述激光源是分布反射鏡半導(dǎo)體激光元件。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的激光模塊,其中,所述激光源是通過(guò)集成多個(gè)縱向單模半導(dǎo)體激光元件、半導(dǎo)體光放大器和復(fù)用器而形成的陣列型半導(dǎo)體激光元件,所述半導(dǎo)體光放大器放大從所述縱向單模半導(dǎo)體激光元件發(fā)射的激光,所述復(fù)用器將從所述縱向單模半導(dǎo)體激光元件發(fā)射的激光引導(dǎo)至所述半導(dǎo)體光放大器。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的激光模塊,其中,所述透鏡準(zhǔn)直所述激光并出射準(zhǔn)直的激光;所述激光模塊還包括接收所述準(zhǔn)直的激光的聚焦透鏡,并且基于所述透鏡和所述聚焦透鏡之間的距離、所述激光被所述聚焦透鏡接受的接受區(qū)域的直徑和所述激光的光點(diǎn)直徑中的一個(gè)或多個(gè),確定所述可容許傾斜角θ _。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的激光模塊,其中,當(dāng)所述激光的光點(diǎn)直徑為0.5毫米并且所述接受區(qū)域的直徑為1. 55毫米時(shí),所述透鏡和所述聚焦透鏡之間的距離為15毫米。
全文摘要
激光模塊(1)包括激光源(2)和利用樹(shù)脂膠(34)接合至襯底(4)的表面的透鏡(3),該樹(shù)脂膠包括無(wú)機(jī)填料顆粒(341)。為了限制由于樹(shù)脂膠包含無(wú)機(jī)填料造成的光學(xué)特性的下降,透鏡本體(31)的寬度(d)和無(wú)機(jī)填料(341)沿著與襯底的表面垂直的方向的高度設(shè)定為,使得當(dāng)無(wú)機(jī)填料(341)位于透鏡本體(31)的寬度方向的中央時(shí),準(zhǔn)直透鏡(3)的傾斜角不超出最大可容許傾斜角,例如2度。由此,即使當(dāng)無(wú)機(jī)填料(341)插入準(zhǔn)直透鏡(3)的底面與襯底(4)的頂面之間時(shí),可限制激光模塊的光學(xué)特性的下降,該光學(xué)特性的下降包括激光的光軸的偏斜和激光的光束形狀的變形。
文檔編號(hào)H01S5/40GK102472876SQ201180003196
公開(kāi)日2012年5月23日 申請(qǐng)日期2011年5月9日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月11日
發(fā)明者有賀麻衣子, 木村俊雄 申請(qǐng)人:古河電氣工業(yè)株式會(huì)社
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