專利名稱：組裝式設備支撐裝置的制作方法
技術領域：
組裝式設備支撐裝置
技術領域：
本實用新型涉及設備支撐領域，尤其涉及一種組裝式設備支撐裝置。
背景技術：
晶圓是生產(chǎn)集成電路所用的載體。在實際生產(chǎn)中需要制備的晶圓具有平整、超清潔的表面，而用于制備超清潔晶圓表面的現(xiàn)有方法可分為兩種類別諸如浸沒與噴射技術的濕法處理過程，及諸如基于化學氣相與等離子技術的干法處理過程。其中濕法處理過程是現(xiàn)有技術采用較為廣泛的方法，濕法處理過程通常包括采用適當化學溶液浸沒或噴射晶圓之一連串步驟組成。一般現(xiàn)有的制備超清潔晶圓表面的設備一般結(jié)構都非常復雜、體積非常龐大。通常，承載所述設備的支撐架和框架都需要根據(jù)工廠的環(huán)境及生產(chǎn)線的布局特別定制的，制造成本很高。此外，大多數(shù)設備的支撐架和框架不能重復利用。隨著半導體器件尺寸的不斷縮小，制造半導體器件所用的晶圓尺寸不斷增大，半導體生產(chǎn)工藝需要不斷改進，所用設備也跟著需要更換。更換下來的設備往往就只能作為廢品處理掉，浪費資源的 同時還會給環(huán)境添加了很大的負擔。因此，有必要提出一種解決方案來解決上述問題。

實用新型內(nèi)容本實用新型要解決的技術問題在于提供一種組裝式設備支撐裝置，其具有功能上能完全滿足支撐架和框架的要求，結(jié)構上易于組裝拆卸，大部分材料可回收利用等特點。為了解決上述問題，根據(jù)本實用新型的一個方面，本實用新型提供了一種設備支撐裝置，其包括多個豎桿、多個第一橫桿、多個第二橫桿和多個側(cè)面插板，所述豎桿、所述第一橫桿和所述第二橫桿構成一個長方體框架，所述豎桿形成所述長方體框架的豎直邊，所述第一橫桿形成所述長方體框架的第一橫邊，所述第二橫桿形成所述長方體框架的第二橫邊。每個橫桿向外延伸并形成超出與該橫桿連接的豎桿的外側(cè)面的外延部，每個橫桿的外延部的面向其對應的另一個橫桿的外延部的一面設置有一條貫穿該橫桿的溝道，所述側(cè)面插板插接于相對的兩個第一橫桿和/或兩個第二橫桿的外延部的溝道之間。進一步的，所述設備支撐裝置還包括有多個定位柱，每個定位柱分別位于相鄰的第一橫桿和第二橫桿的外延部之間，相鄰的兩個定位柱對插接于兩個第一橫桿和/或兩個第二橫桿的外延部的溝道之間的側(cè)面插板進行定位。進一步的，所述定位柱中有的為活動定位柱，有的為固定定位柱，所述固定定位柱與相鄰的橫桿固定連接，所述活動定位柱與相鄰的橫桿活動連接。更進一步的，所述活動定位柱在一開啟位置和關閉位置之間移動，在所述活動定位柱移動至開啟位置時，從所述活動定位柱位置處插入或卸下所述側(cè)面插板。進一步的，所述第一橫桿包括兩個頂部第一橫桿和兩個底部第一橫桿，所述第二橫桿包括兩個頂部第二橫桿和兩個底部第二橫桿，所述豎桿為四個，每個頂部第一橫桿的兩端分別與兩個豎桿的頂端面抵靠并連接，每個頂部第二橫桿的兩端分別與兩個頂部第一橫桿的一端的側(cè)面抵靠并連接，每個底部第一橫桿的兩端分別與兩個豎桿的底端面抵靠并連接，每個底部第二橫桿的兩端分別與兩個底部第一橫桿的一端的側(cè)面抵靠并連接。再進一步的，所述設備支撐裝置還包括兩個平行的第一支撐桿和一個第二支撐桿，每個第一支撐桿位于兩個底部第一橫桿之間，每個第一支撐桿的兩端分別與兩個底部第一橫桿的一端連接，所述第二支撐桿的兩端分別連接于兩個第一支撐桿上。更進一步的，所述設備支撐裝置還包括兩個平行的第三支撐桿，兩個第三支撐桿分別位于兩個頂部第二橫桿的內(nèi)側(cè)，每個第三支撐桿的兩端分別連接在兩個頂部第一橫桿的一個側(cè)面上。進一步的，所述豎桿、所述第一橫桿、所述第二橫桿和/或所述定位柱由型材制成。更進一步的，所述豎桿和/或所述定位柱由第一種型材制成，第一種型材的橫截面大致為正方形，其橫截面的高度為Hl，長度為LI，其中LI等于Hl，第一種型材的每個側(cè)面上都設有貫穿該側(cè)面的溝道。所述第一橫桿和所述第二橫桿由第二種型材制成，第二種型材的橫截面大致為長方形，其橫截面的高度為H2，長度為L2，其中L2大于H2，第二種型材的兩個寬度較大的側(cè)面中的每一個上都設有貫穿該側(cè)面的互相平行且間隔一定距離的兩個溝道，第二種型材的兩個寬度較小的側(cè)面中的每一個上都設有貫穿該側(cè)面的一個溝道，其中 H2 = H1。與現(xiàn)有技術相比，本實用新型中的組裝式設備支撐裝置使用通?；蛱刂频男筒慕M裝而成，具有結(jié)構簡單，易于制造、組裝、拆卸，支撐強度高，事后可回收利用等優(yōu)點。關于本實用新型的其他目的，特征以及優(yōu)點，下面將結(jié)合附圖在具體實施方式
中詳細描述。

結(jié)合參考附圖及接下來的詳細描述，本實用新型將更容易理解，其中同樣的附圖標記對應同樣的結(jié)構部件，其中圖IA為本實用新型中的設備支撐裝置在一個實施例中的立體結(jié)構示意圖；圖IB為圖IA中的設備支撐裝置的平面視主圖；圖IC為圖IA中的設備支撐裝置的平面左視圖；圖2為本實用新型中的設備支撐裝置在另一個實施例中的組裝立體結(jié)構示意圖；圖3A為本實用新型中的設備支撐裝置使用的一種型材的立體結(jié)構示意圖；圖3B為圖3A示出的型材的截面結(jié)構示意圖；圖4A為本實用新型中的設備支撐裝置使用的另一種型材的立體結(jié)構示意圖；圖4B為圖4A示出的型材的截面結(jié)構示意圖；圖5為兩個型材采用外連接件進行連接的示意圖；圖6為兩個型材采用內(nèi)連接件進行連接的示意圖。
具體實施方式為使本實用新型的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，
以下結(jié)合附圖和具體實施方式
對本實用新型作進一步詳細的說明。[0028]此處所稱的“一個實施例”或“實施例”是指與所述實施例相關的特定特征、結(jié)構或特性至少可包含于本實用新型至少一個實現(xiàn)方式中。在本說明書中不同地方出現(xiàn)的“在一個實施例中”并非必須都指同一個實施例，也不必須是與其他實施例互相排斥的單獨或選擇實施例。本實用新型中的“多個”、“若干”表示兩個或兩個以上。本實用新型中的“和/或”表示“和”或者“或”。圖IA示出了本實用新型中的設備支撐裝置100在一個實施例中的立體結(jié)構示意圖，圖IB為圖IA中的設備支撐裝置100的平面視主圖，圖IC為圖IA中的設備支撐裝置100的平面左視圖。請結(jié)合參考圖IA至圖IC所示，所述設備支撐裝置100包括四個豎桿110、兩個頂部第一橫桿120、兩個頂部第二橫桿130、兩個底部第一橫桿140和兩個底部第二橫桿150。所述四個豎桿110豎直間隔放置并互相平行。所述兩個頂部第一橫桿120與所述豎桿110垂直并互相平行，每個頂部第一橫桿120的兩端分別與兩個豎桿110的頂端面抵靠并連接。所述兩個頂部第二橫桿130與所述豎桿110以及所述頂部第一橫桿120垂直并互相平行，每個頂部第二橫桿130的兩端分別與兩個頂部第一橫桿120的一端的側(cè)面抵靠并連接。所述兩個底部第一橫桿140與所述豎桿110垂直并與頂部第一橫桿120平行，每個底部第一橫桿140的兩端分別與兩個豎桿110的底端面抵靠并連接。所述兩個底部第二橫桿150與所述豎桿110以及所述頂部第二橫桿130平行，每個底部第二橫桿150的兩端分別與兩個底部第一橫桿140的一端的側(cè)面抵靠并連接。這樣，所述設備支撐裝置100就形成了一個長方體框架(或稱為長方體框架)，四個豎桿Iio形成所述長方體框架的豎直邊，四個第一橫桿120和140形成所述長方體框架的第一橫邊，四個第二橫桿130和150形成所述長方體框架的第二橫邊。位于所述長方體框架的同一側(cè)的一個頂部第一橫桿120、兩個豎桿110和一個底部第一橫桿140形成所述長方體框架的一個側(cè)面，位于所述長方體框架的同一側(cè)的一個頂部第二橫桿130、兩個豎桿110和一個底部第二橫桿150形成所述長方體框架的一個側(cè)面，兩個頂部第一橫桿120和兩個頂部第二橫桿130形成所述長方體框架的頂面，兩個底部第一橫桿130和兩個底部第二橫桿150形成所述長方體框架的底面。對于所述長方體框架來講，所述豎桿110在豎直方向上可以對頂部第一橫桿120和頂部第二橫桿130提供強有力的支撐，使得所述長方體框架的頂面上可以放置較重的晶圓表面處理設備中的部分部件。所述長方體框架內(nèi)也可以放置晶圓表面處理設備中 的部分部件。所述設備支撐裝置100還包括兩個平行的第一支撐桿160、一個第二支撐桿170和兩個平行的第三支撐桿180。每個第一支撐桿160位于兩個底部第一橫桿140之間并與兩個底部第一橫桿140的一端連接。所述第二支撐桿170的兩端分別連接于兩個第一支撐桿160上。兩個第三支撐桿180分別位于兩個頂部第二橫桿130的內(nèi)側(cè)，每個第三支撐桿180的兩端分別連接在兩個頂部第一橫桿120的一個側(cè)面上。第一支撐桿160、第二支撐桿170和底部第一橫桿140的上側(cè)面共同形成所述長方體框架的內(nèi)側(cè)底面，可以在該內(nèi)側(cè)底面上放置所述晶圓表面處理設備部件。同時，第一支撐桿160第二支撐桿170也可以對整個設備支撐裝置100起到一定的加固作用。第三支撐桿180和頂部第二橫桿130的上側(cè)面共同形成所述長方體框架的頂面，可以在該頂面上放置所述晶圓表面處理設備的部分部件。第三支撐桿180的位置可根據(jù)其上所放設備部件的尺寸而調(diào)整；同時，第三支撐桿180也可以對整個設備支撐裝置100起到一定的加固作用。請重 點參閱圖IB和圖IC所示，每個橫桿向外延伸并形成超出與該橫桿連接的豎桿的外側(cè)面的外延部，每個橫桿的外延部的面向其對應的另一個橫桿的外延部的一面設置有一條貫穿該橫桿的溝道，外延部相向面對的兩個橫桿的溝道相對設置。具體來講，每個頂部第一橫桿120向外延伸并形成超出與該頂部第一橫桿120連接的豎桿110的外側(cè)面111的外延部121，每個底部第一橫桿140向外延伸并形成超出與該底部第一橫桿140連接的豎桿110的外側(cè)面111的外延部141,每個頂部第二橫桿130向外延伸并形成超出與該頂部第二橫桿130連接的豎桿110的外側(cè)面111的外延部131，每個底部第二橫桿150向外延伸并形成超出與該底部第二橫桿150連接的豎桿110的外側(cè)面111的外延部151。每個頂部第一橫桿120的外延部121的面向其對應的底部第一橫桿140的外延部141的一面設置有一條貫穿該頂部第一橫桿120的溝道122，同樣的，每個底部第一橫桿140的外延部141的面向其對應的頂部第一橫桿120的外延部121的一面設置有一條貫穿該底部第一橫桿140的溝道142。每個頂部第二橫桿130的外延部131的面向其對應的底部第二橫桿150的外延部151的一面設置有一條貫穿該頂部第二橫桿130的溝道132，同樣的，每個底部第二橫桿150的外延部151的面向其對應的頂部第二橫桿130的外延部131的一面設置有一條貫穿該底部第二橫桿150的溝道152。圖2為本實用新型中的設備支撐裝置100在一個進一步的實施例中的組裝立體結(jié)構示意圖。圖2所示的設備支撐裝置與圖IA所示的設備支撐裝置相比，其還包括有四個側(cè)面插板210。結(jié)合參考圖IB和圖IC所示，每個側(cè)面插板210可拆卸的插接于對應的一個頂部橫桿的外延部和一個底部橫桿的外延部的溝道之間，每個側(cè)面插板210的上邊緣收容于所述頂部橫桿的外延部的溝道內(nèi)，每個側(cè)面插板210的下邊緣收容于所述底部橫桿的外延部的溝道內(nèi)。具體的，有兩個側(cè)面插板210分別插接于對應的頂部第一橫桿120的外延部121和底部第一橫桿140的外延部141之間，該兩個側(cè)面插板210的上邊緣收容于所述頂部第一橫桿120的外延部121的溝道122內(nèi)，其下邊緣收容于所述底部第一橫桿140的外延部141的溝道142內(nèi)。有兩個側(cè)面插板210分別插接于對應的頂部第二橫桿130的外延部131和底部第二橫桿150的外延部151之間，該兩個側(cè)面插板210的上邊緣收容于所述頂部第二橫桿130的外延部131的溝道132內(nèi)，其下邊緣收容于所述底部第二橫桿150的外延部151的溝道152內(nèi)。所述側(cè)面插板210可以給所述設備支撐裝置100內(nèi)的晶圓表面處理設備部件提供一定的半封閉式的容納空間。這樣，既可以保護其內(nèi)的晶圓表面處理設備部件，也可以防止其內(nèi)的晶圓表面處理設備部件發(fā)生故障(比如出現(xiàn)意外的液體泄漏或噴灑)之后影響到外部環(huán)境。此外，所述側(cè)面插板也使得整個設備支撐裝置的外觀更加美觀。為了將所述側(cè)面插板210更好的進行固定，圖2所示的設備支撐裝置100還包括有四個與所述豎桿110平行的定位柱220。每個定位柱220的頂端位于相鄰的頂部第一橫桿120和頂部第二橫桿130之間，每個定位柱220的底端位于相鄰的底部第一橫桿140和底部第二橫桿140之間。相鄰的兩個定位柱220可以將插接于頂部橫桿和底部橫桿之間的側(cè)面插板210定位于兩者之間。[0042]所述定位柱220中有兩個為活動定位柱220A，所述定位柱220中有兩個為固定定位柱220B。所述固定定位柱220B與相鄰的橫桿固定連接。所述活動定位柱220A與相鄰的橫桿活動連接。在一個活動定位柱220A移動至開啟位置時，與該活動定位柱220A相鄰的兩個側(cè)面插板210可以從該活動定位柱220A位置處插入對應的位置，在該活動定位柱220A移動至關閉位置時，已經(jīng)插入的側(cè)面插板210則被定位在其位置上。在需要將所述側(cè)面插板210取下時，同樣可以將所述活動定位柱210移動至開啟位置，從而可以從該活動定位柱220A處取下對應的側(cè)面插板210。如果兩個活動定位柱220A間隔設置，這樣可以實現(xiàn)4個側(cè)面插板210的隨意安裝與拆卸。如果兩個活動定位柱220A相鄰設置，這樣可以實現(xiàn)其中3個側(cè)面插板210的隨意安裝與拆卸。如果只有一個活動定位柱220A，有3個固定定位柱220B，這時只有與該活動定位柱220A相鄰的2個側(cè)面插板210可以隨意安裝與拆卸?？筛鶕?jù)需要而定。在一個實施例中，所述活動定位柱220A通過樞軸(未圖示)可轉(zhuǎn)動的樞接于第一橫桿120和140或第二橫桿130和140上，所述活動定位柱220A可沿所述樞軸轉(zhuǎn)動至開啟位置，之后再轉(zhuǎn)動至關閉位置。在所述活動定位柱220A處于關閉位置上時，所述活動定位柱220A與相鄰的橫桿連接在一起，比如通過磁鐵吸附在一起。 在一個實施例中，本實用新型中的設備支撐裝置100中的豎桿110，橫桿120、130、140和150，支撐桿160、170和180，以及定位柱220都可以采用通常使用的標準型材。圖3A為可應用本實用新型中的設備支撐裝置的一種型材300的立體結(jié)構示意圖，圖3B為圖3A示出的型材300的截面結(jié)構示意圖。所述型材300大致為長方體形，其長度可以根據(jù)需要設定，其橫截面大致為正方形，其橫截面的高度為H1，長度為LI，其中LI等于Hl0所述型材300的每個側(cè)面上都設有貫穿該側(cè)面的溝道310，四個側(cè)面上的四個溝道310將所述型材300分為位于中心的連接部330以及位于四個角落的末端部320。所述末端部320和所述連接部330都為中空的結(jié)構。在其他實施例中，Hl和LI的尺寸也可以設計的不一致，并且可以根據(jù)需要設計Hl和LI的值。圖4A為可應用本實用新型中的設備支撐裝置的另一種型材400的立體結(jié)構示意圖，圖4B為圖4A示出的型材400的截面結(jié)構示意圖。所述型材400大致為長方體形，其長度可以根據(jù)需要設定，其橫截面大致為長方形，其橫截面的高度為H2，長度為L2，其中L2大于H2。所述型材400的兩個寬度較大(寬L2)的側(cè)面401中的每一個上都設有貫穿該側(cè)面的互相平行且間隔一定距離的兩個溝道410，所述型材400的兩個寬度較小(寬H2)的側(cè)面403中的每一個上都設有貫穿該側(cè)面的一個溝道410。四個側(cè)面上的溝道410將所述型材400分為位于中心的連接部430以及位于四個角落的末端部420。所述末端部420和所述連接部430都為中空的結(jié)構。在其他實施例中，H2和L2的尺寸也可以根據(jù)需要設定。在此實施例中，圖4B示出的型材400的橫截面的高度為H2等于圖3B示出的型材300的橫截面的高度Hl。當然，在其他實施例中，也可以設計H2不等于Hl，而可以根據(jù)需要設計兩者的尺寸關系。圖5為兩個型材采用外連接件進行連接的示意圖，即第一型材桿510和第二型材桿520通過外連接件530相互連接，其中第一型材桿510和第二型材桿520可以采用的是圖3A示出的型材300。第一型材桿510包括貫穿其側(cè)面的溝道511，第二型材桿520包括貫穿其側(cè)面的溝道521。第一型材桿510和第二型材桿520通過所述外連接件530進行連接，所述外連接件530具有兩個互相垂直的延伸部，每個延伸部上具有一個穿孔，可以使用螺接部件借助所述外連接件530上的穿孔和所述型材桿的溝道511或521將外連接件530與型材桿510或520相對固定,進而將第一型材桿510和第二型材桿520相對固定。根據(jù)需要可以將第一型材桿510和第二型材桿520在任意位置進行連接。圖6為兩個型材采用內(nèi)連接件進行連接的示意圖，即第三型材桿610和第四型材桿620通過內(nèi)連接件630相互連接，其中第三型材桿610可以采用圖3A示出的型材300，第四型材桿620可以采用圖4A示出的型材400。第三型材桿610包括貫穿其側(cè)面的溝道611，第四型材桿620包括貫穿其側(cè)面的溝道621。第三型材桿610和第四型材桿620通過所述內(nèi)連接件630進行連接，所述內(nèi)連接件630具有兩個互相垂直的延伸部，每個延伸部上具有一個或多個穿孔，可以使用螺接部件借助所述外連接件630上的穿孔和所述型材桿的溝道611或621將內(nèi)連接件630與型材桿610或620相對固定，進而將第三型材桿610和第四型材桿620相對固定。根據(jù)需要可以將第三型材桿610和第四型材桿620在任意位置進行連接。 圖5和圖6所示的兩種型材連接方式均屬于大眾常用的型材和連接方法。當然，還可以將兩個圖4A或圖3A所示的型材通過特制的內(nèi)連接件或外連接件進行連接。再進一步，為了能達到特殊的強度或固定效果，可用焊接或其它方法來連接型材。請再次參考圖IA和圖2所示，在此實施例中，所述豎桿110，支撐桿160、170和180以及定位柱220采用的是圖3A、3B所示的型材，第一橫桿120和140以及第二橫桿130和150采用的是圖4A、4B所示的型材，各個型材桿的連接可以參看圖5和圖6所示，也可以采用其他連接方式。每個支撐桿180的一個側(cè)面上設置有兩個缺口?？梢钥闯?，所述設備支撐裝置100采用的都是基本的型材，通過簡單的組裝就可以組裝而成，拆卸時同樣很方便，拆卸后的型材還可以再次重復利用，節(jié)省資源，減少垃圾，有利于環(huán)保。所屬領域內(nèi)的普通技術人員應該理解，實施例中的關于設備支撐裝置100的描述僅僅是示例性的，在不偏離本實用新型的真實精神和范圍的前提下做出所有改變都應該屬于本實用新型的保護范圍。限于篇幅，下面僅列舉了部分改動的實施例。在一些實施例中，圖IA所示的設備支撐裝置100所采用的所述型材的樣式并不局限于圖4A和圖3A所示的兩種型材，只要是該型材可以搭建成圖IA所示的結(jié)構即可，比如該型材只有I個或2個側(cè)面具有貫穿該側(cè)面的溝道，再比如圖4A中的型材的寬大較大的側(cè)面上設有三個溝道等。在一些實施例中，第一橫桿120和140可以位于第二橫桿130和150的外側(cè)，也就是說，第二橫桿130和150直接與豎桿的末端面相抵靠并連接,而第一橫桿120和140分別與第二橫桿130和150的側(cè)面相抵靠并連接。當然，還可以根據(jù)需要調(diào)換第一橫桿120和第二橫桿130之間的位置關系，也可以根據(jù)需要調(diào)換第一橫桿140和第二橫桿150之間的
位置關系。在一個實施例中，所有定位柱都可以設置為活動定位柱。在另一些實施例中，可以不設置定位柱來定位側(cè)面插板210，而采用其他定位方式對側(cè)面插板進行定位，比如用螺栓將其固定在對應的橫桿上。本文中“頂”和“底”是相對的，如果其中的一個是“頂”，那么其相對的一個就是“底”。[0057] 上述說明已經(jīng)充分揭露了本實用新型的具體實施方式
。需要指出的是，熟悉該領域的技術人員對本實用新型的具體實施方式
所做的任何改動均不脫離本實用新型的權利要求書 的范圍。相應地，本實用新型的權利要求的范圍也并不僅僅局限于前述具體實施方式
。
權利要求1.一種設備支撐裝置，其特征在于，其包括多個豎桿、多個第一橫桿、多個第二橫桿和多個側(cè)面插板，所述豎桿、第一橫桿和第二橫桿構成一個長方體框架，所述豎桿形成所述長方體框架的豎直邊，所述第一橫桿形成所述長方體框架的第一橫邊，所述第二橫桿形成所述長方體框架的第二橫邊， 每個橫桿向外延伸并形成超出與該橫桿連接的豎桿的外側(cè)面的外延部，每個橫桿的外延部的面向其對應的另一個橫桿的外延部的一面設置有一條貫穿該橫桿的溝道，所述側(cè)面插板插接于相對的兩個第一橫桿和/或兩個第二橫桿的外延部的溝道之間。
2.根據(jù)權利要求I所述的設備支撐裝置，其特征在于，其還包括有多個定位柱，每個定位柱位于相鄰的第一橫桿和第二橫桿的外延部之間，相鄰的兩個定位柱對插接于兩個第一橫桿和/或兩個第二橫桿的外延部的溝道之間的側(cè)面插板進行定位。
3.根據(jù)權利要求2所述的設備支撐裝置，其特征在于，所述定位柱中有的為活動定位柱，有的為固定定位柱，所述固定定位柱與相鄰的橫桿固定連接，所述活動定位柱與相鄰的橫桿活動連接。
4.根據(jù)權利要求3所述的設備支撐裝置，其特征在于，所述活動定位柱在開啟位置和關閉位置之間移動，在所述活動定位柱移動至開啟位置時，從所述活動定位柱位置處插入或卸下所述側(cè)面插板。
5.根據(jù)權利要求I所述的設備支撐裝置，其特征在于，所述第一橫桿包括兩個頂部第一橫桿和兩個底部第一橫桿，所述第二橫桿包括兩個頂部第二橫桿和兩個底部第二橫桿，所述豎桿為四個，每個頂部第一橫桿的兩端分別與兩個豎桿的頂端面抵靠并連接，每個頂部第二橫桿的兩端分別與兩個頂部第一橫桿的一端的側(cè)面抵靠并連接，每個底部第一橫桿的兩端分別與兩個豎桿的底端面抵靠并連接，每個底部第二橫桿的兩端分別與兩個底部第一橫桿的一端的側(cè)面抵靠并連接。
6.根據(jù)權利要求5所述的設備支撐裝置，其特征在于，所述設備支撐裝置還包括兩個平行的第一支撐桿和一個第二支撐桿，每個第一支撐桿位于兩個底部第一橫桿之間，每個第一支撐桿的兩端分別與兩個底部第一橫桿的一端連接，所述第二支撐桿的兩端分別連接于兩個第一支撐桿上。
7.根據(jù)權利要求6所述的設備支撐裝置，其特征在于，所述設備支撐裝置還包括兩個平行的第三支撐桿，兩個第三支撐桿分別位于兩個頂部第二橫桿的內(nèi)側(cè)，每個第三支撐桿的兩端分別連接在兩個頂部第一橫桿的一個側(cè)面上。
8.根據(jù)權利要求1-7任一所述的設備支撐裝置，其特征在于，所述豎桿、所述第一橫桿、所述第二橫桿和/或所述定位柱由型材制成。
9.根據(jù)權利要求8所述的設備支撐裝置，其特征在于，所述豎桿和/或所述定位柱由第一種型材制成， 第一種型材的橫截面大致為正方形，其橫截面的高度為Hl，長度為LI，其中LI等于Hl，第一種型材的每個側(cè)面上都設有貫穿該側(cè)面的溝道。
10.根據(jù)權利要求9所述的設備支撐裝置，其特征在于，所述第一橫桿和所述第二橫桿由第二種型材制成， 第二種型材的橫截面大致為長方形，其橫截面的高度為H2，長度為L2，其中L2大于H2，第二種型材的每個寬度較大的側(cè)面上都設有貫穿該側(cè)面的互相平行且間隔一定距離的兩個溝道，第二種型材的每個寬度較小的側(cè)面 上都設有貫穿該側(cè)面的一個溝道，其中H2 =Hl0
專利摘要本實用新型公開了一種組裝式設備支撐裝置，其包括多個豎桿、多個第一橫桿、多個第二橫桿和多個側(cè)面插板。所述豎桿、所述第一橫桿和所述第二橫桿構成一個長方體框架，所述豎桿形成所述長方體框架的豎直邊，所述第一橫桿形成所述長方體框架的第一橫邊，所述第二橫桿形成所述長方體框架的第二橫邊。每個橫桿向外延伸并形成超出與該橫桿連接的豎桿的外側(cè)面的外延部，每個橫桿的外延部的面向其對應的另一個橫桿的外延部的一面設置有一條貫穿該橫桿的溝道，所述側(cè)面插板插接于相對的兩個第一橫桿和/或兩個第二橫桿的外延部的溝道之間。其具有功能上能完全滿足支撐架和框架的要求，結(jié)構上易于組裝拆卸，大部分材料可回收利用等特點。
文檔編號H01L21/67GK202423240SQ20112055381
公開日2012年9月5日 申請日期2011年12月27日 優(yōu)先權日2011年12月27日
發(fā)明者溫子瑛, 馬彥圣 申請人:無錫華瑛微電子技術有限公司