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單晶硅截?cái)鄠魉脱b置的制作方法

文檔序號(hào):7178371閱讀:173來源:國(guó)知局
專利名稱:?jiǎn)尉Ч杞財(cái)鄠魉脱b置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及一種傳送裝置,具體為一種單晶硅截?cái)鄠魉脱b置。
背景技術(shù)
在單晶硅的生產(chǎn)過程中,需要將單晶硅棒按所需要的尺寸進(jìn)行截?cái)?,通用的方法是將單晶硅棒放到切割機(jī)上進(jìn)行截?cái)?,通常采用的傳送裝置為正反絲桿夾具,這種裝置操作繁瑣、費(fèi)時(shí)費(fèi)力,由于單晶硅棒材質(zhì)較脆,采用此方法切割出的單晶硅棒直徑不均勻,缺乏合適的定位方式,導(dǎo)致切割后的單晶硅棒的端面出現(xiàn)掰斷裂痕,造成單晶硅的質(zhì)量不合格,降低使用率。

實(shí)用新型內(nèi)容針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題,本實(shí)用新型的目的在于提供一種單晶硅截?cái)鄠魉脱b置的技術(shù)方案。所述的單晶硅截?cái)鄠魉脱b置,包括夾卡裝置、滑動(dòng)軌道和伸縮式導(dǎo)軌,其特征在于所述的夾卡裝置由三組并列的夾緊機(jī)構(gòu)組成,其中夾緊機(jī)構(gòu)與工作臺(tái)托板固定連接;所述的滑動(dòng)軌道由支撐板和滾動(dòng)塊組成且位于夾卡裝置和伸縮式導(dǎo)軌之間,其中支撐板與工作臺(tái)托板固定連接;所述的伸縮式導(dǎo)軌一端與工作臺(tái)固定連接,另一端為伸縮結(jié)構(gòu)。所述的單晶硅截?cái)鄠魉脱b置,其特征在于所述的夾緊機(jī)構(gòu)一側(cè)設(shè)置有手輪。所述的單晶硅截?cái)鄠魉脱b置,其特征在于所述的滾動(dòng)塊至少有三個(gè)。所述的單晶硅截?cái)鄠魉脱b置,其特征在于所述的滾動(dòng)塊兩頭粗中間細(xì)呈弧度設(shè)置,所述的滾動(dòng)塊兩端各有一凸出的支撐桿,與支撐板上對(duì)應(yīng)設(shè)置的凹槽配合連接。所述的單晶硅截?cái)鄠魉脱b置,其特征在于所述的伸縮式導(dǎo)軌的伸縮端配合設(shè)置有一控制導(dǎo)軌伸縮的搖手,且伸縮式導(dǎo)軌的高度與工作臺(tái)托板的高度一致。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型夾卡方便、定位準(zhǔn)確、操作簡(jiǎn)單、便于操作工操作,單晶硅在去頭尾時(shí),硅棒通過滑動(dòng)軌道方便送入夾卡裝置,夾卡裝置有效控制松緊度并校對(duì)平衡,進(jìn)行按尺寸截?cái)唷?br>
圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合說明書附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步說明單晶硅截?cái)鄠魉脱b置,包括夾卡裝置、滑動(dòng)軌道和伸縮式導(dǎo)軌1,所述的夾卡裝置由三組并列的夾緊機(jī)構(gòu)2組成,且與工作臺(tái)托板3固定連接,所述的夾緊機(jī)構(gòu)2通過其上設(shè)置的手輪4進(jìn)行松緊度的控制,單晶硅進(jìn)入夾緊機(jī)構(gòu)2后,該機(jī)構(gòu)對(duì)單晶硅進(jìn)行均勻夾持, 即使單晶硅棒外圓有誤差,也不會(huì)對(duì)夾持定位產(chǎn)生影響,在該機(jī)構(gòu)的夾持下,避免了單晶硅棒切斷后端面出現(xiàn)裂痕;所述的滑動(dòng)軌道由支撐板5和至少三個(gè)滾動(dòng)塊6組成,所述的滾動(dòng)塊6兩頭粗中間細(xì)呈弧度設(shè)置,且滑動(dòng)塊6的兩端各有一凸出的支撐桿7與支撐板5上對(duì)應(yīng)設(shè)置的凹槽配合使用;所述的支撐板5與工作臺(tái)托板3固定連接,且位于夾卡裝置和伸縮式導(dǎo)軌1之間;所述伸縮式導(dǎo)軌1的伸縮端配合設(shè)置有一控制導(dǎo)軌伸縮的搖手8,通過搖手 8的動(dòng)作,實(shí)現(xiàn)導(dǎo)軌伸縮,伸縮式導(dǎo)軌1的高度與工作臺(tái)托板3的高度一致。使用時(shí),根據(jù)加工要求,調(diào)整夾緊機(jī)構(gòu)2的工作位置,將單晶硅依次通過伸縮
式導(dǎo)軌1、滑動(dòng)軌道送入夾緊機(jī)構(gòu)2定位夾緊,達(dá)到傳送目的,然后進(jìn)行截?cái)嗖僮鳌?br> 權(quán)利要求1.單晶硅截?cái)鄠魉脱b置,包括夾卡裝置、滑動(dòng)軌道和伸縮式導(dǎo)軌,其特征在于所述的夾卡裝置由三組并列的夾緊機(jī)構(gòu)組成,其中夾緊機(jī)構(gòu)與工作臺(tái)托板固定連接;所述的滑動(dòng)軌道由支撐板和滾動(dòng)塊組成且位于夾卡裝置和伸縮式導(dǎo)軌之間,其中支撐板與工作臺(tái)托板固定連接;所述的伸縮式導(dǎo)軌一端與工作臺(tái)固定連接,另一端為伸縮結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶硅截?cái)鄠魉脱b置,其特征在于所述的夾緊機(jī)構(gòu)一側(cè)設(shè)置有手輪。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶硅截?cái)鄠魉脱b置,其特征在于所述的滾動(dòng)塊至少有三個(gè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的單晶硅截?cái)鄠魉脱b置,其特征在于所述的滾動(dòng)塊兩頭粗中間細(xì)呈弧度設(shè)置,所述的滾動(dòng)塊兩端各有一凸出的支撐桿,與支撐板上對(duì)應(yīng)設(shè)置的凹槽配合連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶硅截?cái)鄠魉脱b置,其特征在于所述的伸縮式導(dǎo)軌的伸縮端配合設(shè)置有一控制導(dǎo)軌伸縮的搖手,且伸縮式導(dǎo)軌的高度與工作臺(tái)托板的高度一致。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種傳送裝置,具體為一種單晶硅截?cái)鄠魉脱b置。包括夾卡裝置、滑動(dòng)軌道和伸縮式導(dǎo)軌,其特征在于所述的夾卡裝置由三組并列的夾緊機(jī)構(gòu)組成,其中夾緊機(jī)構(gòu)與工作臺(tái)托板固定連接;所述的滑動(dòng)軌道由支撐板和滾動(dòng)塊組成且位于夾卡裝置和伸縮式導(dǎo)軌之間,其中支撐板與工作臺(tái)托板固定連接;所述的伸縮式導(dǎo)軌一端與工作臺(tái)固定連接,另一端為伸縮結(jié)構(gòu)。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型夾卡方便、定位準(zhǔn)確、操作簡(jiǎn)單、便于操作工操作,單晶硅在去頭尾時(shí),硅棒通過滑動(dòng)軌道方便送入夾卡裝置,夾卡裝置有效控制松緊度并校對(duì)平衡,進(jìn)行按尺寸截?cái)唷?br> 文檔編號(hào)H01L21/683GK201985083SQ20112012822
公開日2011年9月21日 申請(qǐng)日期2011年4月27日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月27日
發(fā)明者翟孫華 申請(qǐng)人:浙江好亞能源股份有限公司
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