專(zhuān)利名稱(chēng)：蜂窩狀硅片的制造工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種硅片制造領(lǐng)域，特別是涉及蜂窩狀硅片的制造工藝。
背景技術(shù)：
目前，電器行業(yè)朝著高集成、高電壓、大功率的方向發(fā)展。由于市場(chǎng)上對(duì)六角形硅片這一原料供小于求，使得六角形硅片的商業(yè)價(jià)格一直較高。而現(xiàn)有六角形硅片的制造方法，是通過(guò)對(duì)經(jīng)過(guò)合金化處理的擴(kuò)散片，實(shí)施劃片(如附圖
3所示)之后才能制得產(chǎn)品，由于劃片的技術(shù)限制，無(wú)論傳統(tǒng)刀片及激光劃片均只能直線運(yùn)行，造成了在切割時(shí)硅片的大量浪費(fèi)?，F(xiàn)有制造方法存在下述缺點(diǎn)①由于需要通過(guò)劃片才能制得六角形硅片，因而制造步驟復(fù)雜、且易損傷硅片；②由于劃片后制得六角形硅片的外圍產(chǎn)生了若干個(gè)三角形區(qū)域， 使得硅片的利用率低下；不僅生產(chǎn)成本高，而且造成硅片資源的浪費(fèi)。說(shuō)明書(shū)內(nèi)容針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供二極管用玻璃鈍化工藝。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)蜂窩狀硅片的制造工藝，由如下步驟組成(1)將清洗和烘干后的擴(kuò)散片作為加工對(duì)象，將其放在勻膠臺(tái)的吸盤(pán)上，調(diào)整位置后均勻的滴上光刻膠，進(jìn)行勻膠；待上膠后的擴(kuò)散片風(fēng)干后，放入烘箱內(nèi)，控制溫度在 110°C范圍內(nèi)，烘焙25 30分鐘；(2)保持在步驟⑴中得到的擴(kuò)散片與邊緣之間的距離在0.5 1.0mm范圍內(nèi)，控制光刻時(shí)間在40 80秒范圍內(nèi)，將擴(kuò)散片進(jìn)行雙面光刻；(3)將步驟O)中得到的擴(kuò)散片放入顯影液中，控制清濾時(shí)間在2 4分鐘范圍內(nèi)，將擴(kuò)散片進(jìn)行第一次清濾；再將經(jīng)第一次清濾的擴(kuò)散片，控制清濾時(shí)間在1 2分鐘范圍內(nèi)，將擴(kuò)散片進(jìn)行第二次清濾；(4)將步驟(3)中經(jīng)兩次清濾的擴(kuò)散片放入烘箱內(nèi)，控制溫度在135 140°C范圍內(nèi)，烘焙25 30分鐘進(jìn)行堅(jiān)膜處理；(5)將步驟中經(jīng)堅(jiān)膜處理的擴(kuò)散片冷卻后，放入腐蝕液內(nèi)，控制酸腐蝕時(shí)間在 5 14分鐘范圍內(nèi)，進(jìn)行酸腐蝕；(6)將步驟(5)中經(jīng)酸腐蝕的擴(kuò)散片裝有去離子水的水槽內(nèi)清洗8 10分鐘；(7)將步驟(6)中經(jīng)清洗的擴(kuò)散片進(jìn)行剝離，即得到所需的蜂窩狀硅片。所述的步驟(3)中第一次清濾所用的顯影液選用蘇州瑞紅RFX-2277型號(hào)的顯影液。所述的步驟(3)中第二次清濾所用的漂洗液選用蘇州瑞紅RFP-2202型號(hào)的漂洗液。所述的步驟(5)中腐蝕液選用硝酸氫氟酸冰乙酸5 1 4 1 3容積比的混合液。本發(fā)明的技術(shù)方案中擴(kuò)散片進(jìn)行清洗，保證其表面潔凈度，充分清潔之后在擴(kuò)散片的兩面均勻的涂抹光刻膠，之后對(duì)光刻膠進(jìn)行固化，使其不會(huì)流動(dòng)及被碰傷，為了防止眾多的六角形硅片不易散架，具有六角形蜂窩狀圖紋區(qū)的邊緣，因此控制擴(kuò)散片的邊緣之間的距離保持在0. 5 1. Omm范圍內(nèi)，同時(shí)使用雙面光刻，避免了單面光刻存在的弊端。因?yàn)椋?在酸腐時(shí)只能進(jìn)行單面酸蝕，印記處無(wú)法完全被酸液侵蝕，酸腐后留得的留底會(huì)非常厚，力口到了裂片時(shí)的難度，且容易出現(xiàn)裂片時(shí)擴(kuò)散片不規(guī)則崩裂的情況，嚴(yán)重影響產(chǎn)品良率及出率，雙面光刻后的雙面酸腐可以很好的解決這個(gè)問(wèn)題，因此本發(fā)明的技術(shù)方案采用雙面光刻替代單面腐蝕；本發(fā)明的有益效果在于本發(fā)明采用雙面同步光刻，因而擴(kuò)散片的上下表面直接得到相互重合的六角形的光刻圖形，經(jīng)過(guò)酸腐蝕和清洗后，可直接通過(guò)人工剝離得到六角形硅片，即不需劃片就可得到產(chǎn)品。本發(fā)明提供的制造工藝所生產(chǎn)的成品具有成型正確，不易損傷硅片以及原料硅片的利用率高，生產(chǎn)成本低等特點(diǎn)。
具體實(shí)施例方式下面通過(guò)具體實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明做詳細(xì)的描述。實(shí)施例1蜂窩狀硅片的制造工藝，由如下步驟組成(1)將清洗和烘干后的擴(kuò)散片作為加工對(duì)象，將其放在勻膠臺(tái)的吸盤(pán)上，調(diào)整位置后均勻的滴上光刻膠，進(jìn)行勻膠；待上膠后的擴(kuò)散片風(fēng)干后，放入烘箱內(nèi)，控制溫度在 110°C范圍內(nèi)，烘焙25分鐘；(2)保持在步驟⑴中得到的擴(kuò)散片與邊緣之間的距離在0. 5mm范圍內(nèi)，控制光刻時(shí)間在40秒范圍內(nèi)，將擴(kuò)散片進(jìn)行雙面光刻；(3)將步驟O)中得到的擴(kuò)散片放入蘇州瑞紅RFX-2277型號(hào)的顯影液中，控制清濾時(shí)間在2分鐘范圍內(nèi)，將擴(kuò)散片進(jìn)行第一次清濾；再將經(jīng)第一次清濾的擴(kuò)散片放入蘇州瑞紅RFP-2202型號(hào)的漂洗液中，控制清濾時(shí)間在1分鐘范圍內(nèi)，將擴(kuò)散片進(jìn)行第二次清濾；(4)將步驟(3)中經(jīng)兩次清濾的擴(kuò)散片放入烘箱內(nèi)，控制溫度在135°C范圍內(nèi)，烘焙25分鐘進(jìn)行堅(jiān)膜處理；(5)將步驟(4)中經(jīng)堅(jiān)膜處理的擴(kuò)散片冷卻后，放入腐蝕液內(nèi)，控制酸腐蝕時(shí)間在 5分鐘范圍內(nèi)，進(jìn)行酸腐蝕，所述的腐蝕液選用硝酸氫氟酸冰乙酸5 1 1容積比的混合液。(6)將步驟(5)中經(jīng)酸腐蝕的擴(kuò)散片裝有去離子水的水槽內(nèi)清洗8分鐘；(7)將步驟(6)中經(jīng)清洗的擴(kuò)散片進(jìn)行剝離，即得到所需的蜂窩狀硅片。實(shí)施例2蜂窩狀硅片的制造工藝，由如下步驟組成(1)將清洗和烘干后的擴(kuò)散片作為加工對(duì)象，將其放在勻膠臺(tái)的吸盤(pán)上，調(diào)整位置后均勻的滴上光刻膠，進(jìn)行勻膠；待上膠后的擴(kuò)散片風(fēng)干后，放入烘箱內(nèi)，控制溫度在 110°C范圍內(nèi)，烘焙30分鐘；(2)保持在步驟(1)中得到的擴(kuò)散片與邊緣之間的距離在Imm范圍內(nèi)，控制光刻時(shí)間在80秒范圍內(nèi)，將擴(kuò)散片進(jìn)行雙面光刻；
(3)將步驟O)中得到的擴(kuò)散片放入蘇州瑞紅RFX-2277型號(hào)的顯影液中，控制清濾時(shí)間在4分鐘范圍內(nèi)，將擴(kuò)散片進(jìn)行第一次清濾；再將經(jīng)第一次清濾的擴(kuò)散片放入蘇州瑞紅RFP-2202型號(hào)的漂洗液中，控制清濾時(shí)間在2分鐘范圍內(nèi)，將擴(kuò)散片進(jìn)行第二次清濾；
(4)將步驟(3)中經(jīng)兩次清濾的擴(kuò)散片放入烘箱內(nèi)，控制溫度在140°C范圍內(nèi)，烘焙30分鐘進(jìn)行堅(jiān)膜處理；
(5)將步驟(4)中經(jīng)堅(jiān)膜處理的擴(kuò)散片冷卻后，放入腐蝕液內(nèi)，控制酸腐蝕時(shí)間在 5分鐘范圍內(nèi)，進(jìn)行酸腐蝕，所述的腐蝕液選用硝酸氫氟酸冰乙酸5 4 3容積比的混合液。
(6)將步驟(5)中經(jīng)酸腐蝕的擴(kuò)散片裝有去離子水的水槽內(nèi)清洗10分鐘；
(7)將步驟(6)中經(jīng)清洗的擴(kuò)散片進(jìn)行剝離，即得到所需的蜂窩狀硅片。
實(shí)施例3
蜂窩狀硅片的制造工藝，由如下步驟組成
(1)將清洗和烘干后的擴(kuò)散片作為加工對(duì)象，將其放在勻膠臺(tái)的吸盤(pán)上，調(diào)整位置后均勻的滴上光刻膠，進(jìn)行勻膠；待上膠后的擴(kuò)散片風(fēng)干后，放入烘箱內(nèi)，控制溫度在 110°C范圍內(nèi)，烘焙觀分鐘；
(2)保持在步驟⑴中得到的擴(kuò)散片與邊緣之間的距離在0. 8mm范圍內(nèi)，控制光刻時(shí)間在80秒范圍內(nèi)，將擴(kuò)散片進(jìn)行雙面光刻；
(3)將步驟O)中得到的擴(kuò)散片放入蘇州瑞紅RFX-2277型號(hào)的顯影液中，控制清濾時(shí)間在3分鐘范圍內(nèi)，將擴(kuò)散片進(jìn)行第一次清濾；再將經(jīng)第一次清濾的擴(kuò)散片放入蘇州瑞紅RFP-2202型號(hào)的漂洗液中，控制清濾時(shí)間在2分鐘范圍內(nèi)，將擴(kuò)散片進(jìn)行第二次清濾；
(4)將步驟(3)中經(jīng)兩次清濾的擴(kuò)散片放入烘箱內(nèi)，控制溫度在136°C范圍內(nèi)，烘焙觀分鐘進(jìn)行堅(jiān)膜處理；
(5)將步驟(4)中經(jīng)堅(jiān)膜處理的擴(kuò)散片冷卻后，放入腐蝕液內(nèi)，控制酸腐蝕時(shí)間在 5分鐘范圍內(nèi)，進(jìn)行酸腐蝕，所述的腐蝕液選用硝酸氫氟酸冰乙酸5 3 2容積比的混合液。
(6)將步驟(5)中經(jīng)酸腐蝕的擴(kuò)散片裝有去離子水的水槽內(nèi)清洗10分鐘；
(7)將步驟(6)中經(jīng)清洗的擴(kuò)散片進(jìn)行剝離，即得到所需的蜂窩狀硅片。
權(quán)利要求
1.蜂窩狀硅片的制造工藝，其特征在于，由如下步驟組成(1)將清洗和烘干后的擴(kuò)散片作為加工對(duì)象，將其放在勻膠臺(tái)的吸盤(pán)上，調(diào)整位置后均勻的滴上光刻膠，進(jìn)行勻膠；待上膠后的擴(kuò)散片風(fēng)干后，放入烘箱內(nèi)，控制溫度在110°c范圍內(nèi)，烘焙W 30分鐘；(2)保持在步驟⑴中得到的擴(kuò)散片與邊緣之間的距離在0.5 1.0mm范圍內(nèi)，控制光刻時(shí)間在40 80秒范圍內(nèi)，將擴(kuò)散片進(jìn)行雙面光刻；(3)將步驟O)中得到的擴(kuò)散片放入顯影液中，控制清濾時(shí)間在2 4分鐘范圍內(nèi)，將擴(kuò)散片進(jìn)行第一次清濾；再將經(jīng)第一次清濾的擴(kuò)散片放入漂洗液，控制清濾時(shí)間在1 2分鐘范圍內(nèi)，將擴(kuò)散片進(jìn)行第二次清濾；(4)將步驟(3)中經(jīng)兩次清濾的擴(kuò)散片放入烘箱內(nèi)，控制溫度在135 140°C范圍內(nèi)， 烘焙25 30分鐘進(jìn)行堅(jiān)膜處理；(5)將步驟(4)中經(jīng)堅(jiān)膜處理的擴(kuò)散片冷卻后，放入腐蝕液內(nèi)，控制酸腐蝕時(shí)間在5 14分鐘范圍內(nèi)，進(jìn)行酸腐蝕；(6)將步驟(5)中經(jīng)酸腐蝕的擴(kuò)散片裝有去離子水的水槽內(nèi)清洗8 10分鐘；(7)將步驟(6)中經(jīng)清洗的擴(kuò)散片進(jìn)行剝離，即得到所需的蜂窩狀硅片。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蜂窩狀硅片的制造工藝，其特征在于所述的步驟(3)中第一次清濾所用的顯影液選用蘇州瑞紅RFX-2277型號(hào)的顯影液。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蜂窩狀硅片的制造工藝，其特征在于所述的步驟(3)中第二次清濾所用的漂洗液選用蘇州瑞紅RFP-2202型號(hào)的漂洗液。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蜂窩狀硅片的制造工藝，其特征在于所述的步驟(5)中腐蝕液選用硝酸氫氟酸冰乙酸5 1 4 1 3容積比的混合液。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種蜂窩狀硅片的制造工藝，將清洗和烘干后的擴(kuò)散片作為加工對(duì)象進(jìn)行勻膠，待上膠后經(jīng)烘焙后，將擴(kuò)散片進(jìn)行雙面光刻，將雙面光刻得到的擴(kuò)散片分別放入顯影液和漂洗液中進(jìn)行清濾，清濾后的擴(kuò)散片進(jìn)行堅(jiān)膜處理，再放入腐蝕液內(nèi)，進(jìn)行酸腐蝕，經(jīng)酸腐蝕的擴(kuò)散片清洗、剝離，即得到所需的蜂窩狀硅片，本發(fā)明提供的制造工藝所生產(chǎn)的成品具有成型正確，不易損傷硅片以及原料硅片的利用率高，生產(chǎn)成本低等特點(diǎn)。
文檔編號(hào)H01L21/02GK102543677SQ201110430209
公開(kāi)日2012年7月4日 申請(qǐng)日期2011年12月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月21日
發(fā)明者郭寧 申請(qǐng)人:常州星海電子有限公司, 常州星?？萍加邢薰?br>