專利名稱：液晶顯示面板及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種液晶顯示面板及其制造方法，尤其涉及一種在物理碰撞或振動時能防止產(chǎn)生意外的污漬以提高顯示質(zhì)量的液晶顯示面板及其制造方法。
背景技術(shù)：
液晶顯示器通過電場控制具有介電各向異性的液晶的光透射率從而顯示圖像。參照圖1，液晶顯示器具有液晶顯示面板10，液晶顯示面板10具有彼此相對粘接在一起的薄膜晶體管基板14和濾色器基板12、在兩個基板12和14之間保持固定盒間隙的柱狀襯墊料 40、以及填充在盒間隙中的液晶。薄膜晶體管基板14具有在下基板上彼此交叉形成且在其間設(shè)置有柵絕緣膜的柵線和數(shù)據(jù)線、形成在每個交點部分的薄膜晶體管TFT、形成在由所述交叉結(jié)構(gòu)提供的像素區(qū)域的像素電極、以及涂布在上述元件上的下取向膜。濾色器基板12具有用于產(chǎn)生彩色的濾色器、用于防止光泄漏的黑矩陣、用于與像素電極形成垂直電場的公共電極、以及涂布在上述元件上用于液晶取向的上取向膜。如果給液晶顯示面板10施加物理碰撞，或者使液晶顯示面板10振動，則上基板處的柱狀襯墊料40與下基板之間的摩擦面積變大，柱狀襯墊料40被下壓從而形成污漬。為了減小摩擦面積，與柱狀襯墊料相對地在下基板上形成突出部32，從而柱狀襯墊料40被壓入(driven into)突出部32中及恢復(fù)初始狀態(tài)以減小污漬。然而，參照圖1，如果在液晶顯示面板10的機(jī)械硬度測試中物理碰撞或振動很強(qiáng)， 當(dāng)固定液晶顯示面板10的模件22和20彎曲時，如圖所示在M區(qū)域，保持顯示面板中間隙的突出部32和突出部支撐圖案34戳入柱狀襯墊料40中。就是說，當(dāng)力因物理碰撞而集中在突出部32時，柱狀襯墊料40陷入(stick into)突出部32中，這導(dǎo)致在其中陷入了柱狀襯墊料40的區(qū)域處的污漬。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明涉及一種液晶顯示面板及其制造方法。本發(fā)明的一個目的是提供一種在發(fā)生物理碰撞或振動時能防止產(chǎn)生污漬以提高顯示質(zhì)量的液晶顯示面板及其制造方法。在下面的描述中將部分列出本發(fā)明的其它優(yōu)點、目的和特征，這些優(yōu)點、目的和特征的一部分根據(jù)下面的描述對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說將變得顯而易見，或者可從本發(fā)明的實施領(lǐng)會到。通過說明書、權(quán)利要求以及附圖中特別指出的結(jié)構(gòu)可實現(xiàn)和獲得本發(fā)明的目的和其他優(yōu)點。為了獲得這些目的和其它的優(yōu)點，根據(jù)本發(fā)明的目的，如這里具體表示和廣義描述的，一種液晶顯示面板，包括形成在上基板上的柱狀襯墊料；形成在與所述上基板相對的下基板上的薄膜晶體管，所述薄膜晶體管與多條柵線和多條數(shù)據(jù)線連接；形成在由所述柵線和所述數(shù)據(jù)線的交叉所提供的像素區(qū)域的像素電極，所述像素電極與所述薄膜晶體管連接；和與所述像素區(qū)域相配地形成在所述柵線上的突出圖案部，所述突出圖案部包括突出部和突出部支撐圖案，所述突出部形成為與所述柱狀襯墊料接觸，以減小所述柱狀襯墊料與所述下基板之間的摩擦面積，所述突出部支撐圖案防止所述襯墊料在發(fā)生物理碰撞或振動時陷入。在該情形中，所述突出圖案部與所述像素區(qū)域相配地形成在所述柵線上，或者與每兩個像素區(qū)域相配地形成在所述柵線上，或者與所述液晶顯示面板的四個角和中心相配地形成在所述柵線上。而且，所述突出圖案部是在形成所述薄膜晶體管的源電極、漏電極和半導(dǎo)體圖案時用半色調(diào)掩?；颡M縫掩模來形成的。而且，所述突出部與所述薄膜晶體管的源電極和漏電極由相同的材料同時形成在相同的層上。而且，所述突出部支撐圖案與所述薄膜晶體管的半導(dǎo)體圖案由相同的材料同時形成在相同的層上。而且，所述突出部支撐圖案包括用于支撐所述突出部的芯部和圍繞所述芯部形成的尾部。而且，所述突出部支撐圖案的所述尾部具有1.8μπι 5μπι的長度。在本發(fā)明的另一個方面，一種制造液晶顯示面板的方法，包括下述步驟在上基板上形成柱狀襯墊料；在與所述上基板相對的下基板上形成柵電極圖案，所述柵電極圖案包括柵線和柵電極；在上面形成有所述柵電極圖案的所述下基板上沉積柵絕緣膜、半導(dǎo)體層和數(shù)據(jù)電極層；在所述柵絕緣膜、所述半導(dǎo)體層和所述數(shù)據(jù)電極層上形成具有彼此不同厚度的第一和第二光刻膠圖案；用所述第一和第二光刻膠圖案蝕刻所述半導(dǎo)體層和所述數(shù)據(jù)電極層，從而形成包括源電極和漏電極的數(shù)據(jù)金屬圖案、下層半導(dǎo)體圖案、以及突出圖案部，所述突出圖案部具有突出部和突出部支撐圖案，所述突出部支撐圖案所形成的面積大于當(dāng)發(fā)生物理碰撞或振動時所述柱狀襯墊料下壓在所述突出部上時的所述柱狀襯墊料下壓表面的面積；和將所述上基板與所述下基板粘結(jié)在一起，以使所述柱狀襯墊料與所述突出部接觸。在該情形中，其中所述突出部支撐圖案包括用于支撐所述突出部的芯部和圍繞所述芯部形成的尾部。而且，所述突出部支撐圖案的所述尾部具有1. 8 μ m 5 μ m的長度，用于在發(fā)生物理碰撞或振動時防止所述柱狀襯墊料陷入。而且，所述突出圖案部與所述像素區(qū)域相配地形成在所述柵線上，或者與每兩個像素區(qū)域相配地形成在所述柵線上，或者與所述液晶顯示面板的四個角和中心相配地形成在所述柵線上。而且，在所述柵絕緣膜、所述半導(dǎo)體層和所述數(shù)據(jù)電極層上形成具有彼此不同厚度的第一和第二光刻膠圖案的步驟包括下述步驟在所述柵絕緣膜、所述半導(dǎo)體層和所述數(shù)據(jù)電極層上涂布光刻膠；提供半色調(diào)掩模或狹縫掩模，所述掩模包括在將要形成所述半導(dǎo)體圖案、所述數(shù)據(jù)金屬圖案和所述突出部的區(qū)域處的用于遮蔽UV射線的遮光區(qū)域、在將要形成突出部支撐圖案和所述薄膜晶體管的溝道的區(qū)域處具有半透射層以控制光透射率的半透射區(qū)域、以及完全透射UV射線的透射區(qū)域；以及用所述半色調(diào)掩模或所述狹縫掩模形成第一和第二光刻膠圖案。在本發(fā)明的另一個方面，一種液晶顯示面板，包括形成在上基板上的柱狀襯墊料；形成在下基板上的薄膜晶體管，所述薄膜晶體管與多條柵線和多條數(shù)據(jù)線連接；形成在由所述柵線和所述數(shù)據(jù)線的交叉所提供的像素區(qū)域的像素電極，所述像素電極與所述薄膜晶體管連接；和突出圖案部，所述突出圖案部包括與所述像素區(qū)域相配地形成在所述柵線上的第一突出圖案部，和與所述液晶顯示面板的外圍區(qū)域或中心相配地形成在除上面形成有所述第一突出圖案部的柵線之外的柵線上的第二突出圖案部，所述第二突出圖案部的面積大于所述第一突出圖案部的面積。而且，所述第一突出圖案部包括第一突出部，所述第一突出部被提供以與所述柱狀襯墊料接觸，從而減小所述上基板上的所述柱狀襯墊料與所述下基板之間的摩擦面積； 和支撐所述第一突出部的第一突出部支撐圖案。而且，所述第二突出圖案部包括第二突出部，所述第二突出部被提供以與所述柱狀襯墊料接觸，從而減小所述上基板上的所述柱狀襯墊料與所述下基板之間的摩擦面積； 和支撐所述第二突出部的第二突出部支撐圖案，所述第二突出部支撐圖案所形成的面積大于所述第一突出部支撐圖案的面積。而且，所述第一突出部支撐圖案的尾部的左/右方向長度形成為比所述第二突出部支撐圖案的尾部的左/右方向長度要長。而且，所述第一突出部支撐圖案的所述尾部的長度以及所述第二突出部支撐圖案的所述尾部的長度的每個都為1. 8 μ m 5 μ m，以在發(fā)生物理碰撞或振動時防止所述柱狀襯墊料陷入。在本發(fā)明的另一個方面，一種制造液晶顯示面板的方法，包括下述步驟在上基板上形成柱狀襯墊料；在與所述上基板相對的下基板上形成柵電極圖案，所述柵電極圖案包括柵線和柵電極；在上面形成有所述柵電極圖案的所述下基板上沉積柵絕緣膜、半導(dǎo)體層和數(shù)據(jù)電極層；在所述柵絕緣膜、所述半導(dǎo)體層和所述數(shù)據(jù)電極層上形成具有彼此不同厚度的第一和第二光刻膠圖案；用所述第一和第二光刻膠圖案蝕刻所述半導(dǎo)體層和所述數(shù)據(jù)電極層，從而形成具有源電極和漏電極的數(shù)據(jù)金屬圖案、下層半導(dǎo)體圖案、第一突出圖案部和第二突出圖案部，所述第一突出圖案部在所述柵線上，所述第二突出圖案部在除上面形成有所述第一突出圖案部的所述柵線之外的與外圍區(qū)域或中心相配的柵線上，所述第二突出圖案部的面積大于所述第一突出圖案部的面積；和將所述上基板與所述下基板粘結(jié)在一起，以使所述柱狀襯墊料與所述第一和第二突出部接觸。而且，所述第一突出圖案部包括第一突出部，所述第一突出部被提供以與所述柱狀襯墊料接觸，從而減小所述上基板上的所述柱狀襯墊料與所述下基板之間的摩擦面積； 和支撐所述第一突出部的第一突出部支撐圖案。而且，所述第二突出圖案部包括第二突出部，所述第二突出部被提供以與所述柱狀襯墊料接觸，從而減小所述上基板上的所述柱狀襯墊料與所述下基板之間的摩擦面積； 和支撐所述第二突出部的第二突出部支撐圖案，所述第二突出部支撐圖案所形成的面積大于所述第一突出部支撐圖案的面積。而且，所述第二突出部支撐圖案的尾部的長度形成為長于所述第一突出部支撐圖案的尾部的長度。而且，所述第一突出部支撐圖案的所述尾部的長度以及所述第二突出部支撐圖案的所述尾部的長度的每個都為1. 8 μ m 5 μ m，以在發(fā)生物理碰撞或振動時防止所述柱狀襯墊料陷入。應(yīng)當(dāng)理解，本發(fā)明前面的一般性描述和下面的詳細(xì)描述都是例示性的和解釋性的，意在對要求保護(hù)的內(nèi)容提供進(jìn)一步的解釋。


給本發(fā)明提供進(jìn)一步理解并組成說明書一部分的附解了本發(fā)明的實施例并與說明書一起用于解釋本發(fā)明的原理。在附圖中圖1分別圖解了當(dāng)在機(jī)械強(qiáng)度測試中給現(xiàn)有技術(shù)液晶顯示面板施加物理碰撞或振動時現(xiàn)有技術(shù)液晶顯示面板的剖面圖；圖2圖解了根據(jù)本發(fā)明第一個優(yōu)選實施方式的液晶顯示面板的平面圖；圖3分別圖解了圖2中的液晶顯示面板沿線1-1’和11-11’的剖面圖；圖4A到4C圖解了顯示根據(jù)本發(fā)明第一個優(yōu)選實施方式的突出圖案部的平面圖；圖5圖解了圖2或3中突出圖案部的放大平面圖；圖6A和6B分別圖解了用于描述在制造根據(jù)本發(fā)明第一個優(yōu)選實施方式的液晶顯示面板的方法中的柵金屬圖案的平面圖和剖面圖；圖7A和7B分別圖解了用于描述在制造根據(jù)本發(fā)明第一個優(yōu)選實施方式的液晶顯示面板的方法中形成半導(dǎo)體圖案、數(shù)據(jù)金屬圖案和突出圖案部的步驟的平面圖和剖面圖；圖8A到8E詳細(xì)圖解了用于描述圖7A和7B中所示的半導(dǎo)體圖案、數(shù)據(jù)金屬圖案和突出圖案部的剖面圖；圖9圖解了在制造根據(jù)本發(fā)明第一個優(yōu)選實施方式的液晶顯示面板的方法中用于形成半導(dǎo)體圖案、數(shù)據(jù)金屬圖案和突出圖案部的狹縫掩模的剖面圖；圖IOA和IOB分別圖解了用于描述在制造根據(jù)本發(fā)明第一個優(yōu)選實施方式的液晶顯示面板的方法中形成保護(hù)膜的步驟的平面圖和剖面圖；圖IlA和IlB分別圖解了用于描述在制造根據(jù)本發(fā)明第一個優(yōu)選實施方式的液晶顯示面板的方法中形成像素電極的步驟的平面圖和剖面圖；圖12圖解了在制造根據(jù)本發(fā)明第一個優(yōu)選實施方式的液晶顯示面板的方法中提供濾色器基板的剖面圖；圖13圖解了通過制造根據(jù)本發(fā)明第一個優(yōu)選實施方式的液晶顯示面板的方法制造的液晶顯示面板的剖面圖；圖14A和14B圖解了顯示根據(jù)本發(fā)明第二個優(yōu)選實施方式的液晶顯示面板的平面圖；圖15圖解了圖14A中液晶顯示面板沿線I-IMl-II'和111-111’的剖面圖；圖16圖解了圖14A中突出圖案部的剖面的放大圖；圖17A到17E圖解了用于顯示在制造根據(jù)本發(fā)明第二個優(yōu)選實施方式的液晶顯示面板的方法中形成第一和第二突出圖案、半導(dǎo)體圖案和數(shù)據(jù)金屬圖案的步驟的剖面圖。
具體實施例方式現(xiàn)在詳細(xì)描述本發(fā)明的具體實施方式
，附圖中圖解了這些實施方式的一些例子。 只要可能，在整個附圖中將使用相同的參考數(shù)字表示相同或相似的部件。需要引起注意的是，如果確定公知技術(shù)會導(dǎo)致誤解本發(fā)明，則將省略對該公知技術(shù)的詳細(xì)描述。將參照圖2到17E描述本發(fā)明的優(yōu)選實施方式。圖2圖解了根據(jù)本發(fā)明第一個優(yōu)選實施方式的液晶顯示面板的平面圖，圖3分別圖解了圖2中的液晶顯示面板沿線1-1’和11-11’的剖面圖。圖4A到4C圖解了顯示根據(jù)本發(fā)明第一個優(yōu)選實施方式的突出圖案部的平面圖，圖5圖解了圖2或3中突出圖案部的放大平面圖。參照圖2和3，液晶顯示面板包括薄膜晶體管基板和濾色器基板，所述薄膜晶體管基板和濾色器基板彼此相對且在兩者間設(shè)置有液晶。濾色器基板具有形成在上基板230上的濾色器陣列，所述濾色器基板包括用于防止漏光的黑矩陣232、用于產(chǎn)生彩色的濾色器234、用于補(bǔ)償由濾色器234導(dǎo)致的臺階的涂層236、用于與像素電極122形成垂直電場的公共電極238、以及用于保持盒間隙的柱狀襯墊料160。濾色器234包括用于產(chǎn)生彩色的紅色、綠色和藍(lán)色濾色器R，G，B。紅色、綠色和藍(lán)色濾色器R，G，B每個都吸收或透過特定波長的光，紅色、綠色或藍(lán)色濾色器包括用于產(chǎn)生紅色、綠色或藍(lán)色的紅色、綠色或藍(lán)色顏料。黑矩陣232形成在上基板230上，以劃分出上面形成有濾色器234的像素區(qū)域，黑矩陣232與薄膜晶體管基板上的柵線102、數(shù)據(jù)線104和薄膜晶體管130重疊。黑矩陣232 遮蔽由不希望的液晶取向?qū)е碌墓馔干?，從而提高液晶顯示器的對比度，并且黑矩陣232 防止光直接入射到薄膜晶體管130上，從而防止薄膜晶體管130的漏光。在濾色器234和黑矩陣232上由諸如壓克力樹脂的透明有機(jī)絕緣材料形成涂層 236。涂層236補(bǔ)償濾色器234和黑矩陣232的臺階以提供平坦的表面。公共電極238是涂布在涂層236整個表面上的透明導(dǎo)電層，用來在驅(qū)動液晶時供給作為基準(zhǔn)電壓的公共電壓。因而，公共電極238由與像素電極122相同或不同的材料形成在與像素電極122不同的基板上以形成垂直電場，或者與像素電極122由相同的材料形成在同一基板上以形成平面電場。作為例子，本發(fā)明圖解了形成在彼此不同基板上的像素電極122和公共電極238。柱狀襯墊料160形成在公共電極238上，用于保持上基板230與下基板101之間的盒間隙。柱狀襯墊料160支撐在形成于下基板101上的突出圖案部150上。薄膜晶體管基板包括與柵線102和數(shù)據(jù)線104連接的薄膜晶體管130、形成在由柵線102和數(shù)據(jù)線104的交叉結(jié)構(gòu)提供的像素區(qū)域的像素電極120、以及用于支撐形成在上基板230上的柱狀襯墊料160的突出圖案部150。薄膜晶體管130響應(yīng)于供給到柵線102的掃描信號，用供給到數(shù)據(jù)線104的像素信號給像素電極充電并保持該像素信號。為此，薄膜晶體管130具有柵電極106、源電極 108、漏電極110、有源層114和歐姆接觸層116。
柵電極106與柵線102連接，從而具有從柵線102供給到柵電極106的掃描信號。 源電極108與數(shù)據(jù)線104連接，從而具有從數(shù)據(jù)線104供給到源電極108的像素信號。漏電極110形成為與源電極108相對，且在漏電極110與源電極108間設(shè)置了有源層114的溝道部分，從而將像素信號從數(shù)據(jù)線104供給到像素電極122。有源層114與柵電極106重疊，且在有源層114與柵電極106間設(shè)置有柵絕緣膜112，以在源電極和漏電極108和110 之間形成溝道部分。歐姆接觸層116形成在源電極108、漏電極110與有源層114之間，即形成在除溝道部分外的有源層114上。歐姆接觸層116用于減小源電極108、漏電極110與有源層114之間接觸電阻。包括有源層114和歐姆接觸層116的半導(dǎo)體圖案形成為不僅與源電極和漏電極108和110重疊，而且還與包括數(shù)據(jù)線104和數(shù)據(jù)下電極的數(shù)據(jù)金屬圖案重疊。像素電極122通過接觸孔120與薄膜晶體管130的漏電極110接觸。據(jù)此，通過薄膜晶體管130從數(shù)據(jù)線104供給像素電極122像素信號。突出圖案部150可如圖4A中所示分別與像素區(qū)域122相配地形成在柵線102上， 或者可如圖4B中所示分別與每兩個像素區(qū)域122相配地形成在柵線102上，或者可如圖4C 中所示分別與在液晶顯示面板上受到物理碰撞或振動時變形嚴(yán)重的液晶顯示面板的四個角和中心相配地形成在柵線102上。如圖2和4A中所示，將以突出圖案部150與像素區(qū)域 122相配地形成在柵線102上的情形作為例子描述第一個實施方式的突出圖案部150。突出圖案部150包括突出部152和支撐所述突出部152的突出部支撐圖案IM或 156，所述突出部152形成為與上基板230上的柱狀襯墊料160接觸。突出部152具有較小面積，以減小柱狀襯墊料160與下基板101之間的摩擦面積并確保透射率。突出部152在形成源電極和漏電極108和110的步驟中由與源電極和漏電極108和110相同的材料與源電極和漏電極108和110 —起形成在相同的層上。突出部支撐圖案154或156防止柱狀襯墊料160由于物理碰撞而陷在下基板101 中。就是說，如果液晶顯示面板處于高溫環(huán)境中，或者經(jīng)受類似于液晶顯示面板的機(jī)械強(qiáng)度測試的物理碰撞，使負(fù)荷集中在突出部上，則柱狀襯墊料不能恢復(fù)初始狀態(tài)，而是按壓突出部152及覆蓋該突出部152的突出部支撐圖案IM或156。在該情形中，因為突出部支撐圖案巧4或156所形成的面積比下壓在突出部152上的柱狀襯墊料160的面積大，所以柱狀襯墊料160不會陷在下基板101中。詳細(xì)地說，參照圖5，突出部支撐圖案巧4或156包括用于支撐突出部152的芯部和圍繞該芯部的尾部15 或156a。突出部支撐圖案巧4或156的尾部15 或156a具有 1. 8 μ m 5 μ m的長度D1，從而尾部15 或156a的面積大于發(fā)生物理碰撞或振動時的柱狀襯墊料160下壓表面的面積。當(dāng)突出部支撐圖案IM或156的尾部15 或156a的長度 Dl變長時，突出部支撐圖案IM或156的整個圓形面積變大。因而，在形成源電極、漏電極和半導(dǎo)體圖案時，利用半色調(diào)掩?；颡M縫掩模將尾部15 或156a的長度Dl形成得較長。 突出部支撐圖案1 或156是半導(dǎo)體層。如之前所述，突出圖案部150可通過減小突出部152的面積確保面板的透射率，并通過改善由物理碰撞或振動導(dǎo)致的柱狀襯墊料160的陷入而防止產(chǎn)生污漬。同時，盡管以突出部152和突出部支撐圖案154或156形成為圓形的情形作為例子描述了突出圖案部150的突出部152和突出部支撐圖案IM或156，突出圖案部150的突出部152和突出部支撐圖案巧4或156可以是圓形、橢圓形、矩形或三角形，但不限于上述形狀。圖6A 12圖解了用于描述制造根據(jù)本發(fā)明第一個優(yōu)選實施方式的液晶顯示面板的方法的平面圖和剖面圖。圖6A和6B分別圖解了用于描述在制造根據(jù)本發(fā)明第一個優(yōu)選實施方式的液晶顯示面板的方法中柵金屬圖案的平面圖和剖面圖。在下基板101上形成包括柵線102和柵電極106的柵金屬圖案。詳細(xì)地說，通過諸如濺射的沉積方法在下基板101上形成柵金屬層。柵金屬層可以是Mo、Ti、AINd、Al、Cr、Mo合金、Cu合金、或Al合金的單金屬層，或者是Al/Cr、Al/Mo、 Al/(Nd)/Al、Al(Nd)/Cr、Mo/Al(Nd)/Mo、Cu/Mo、Ti/Al(Nd)/Ti、Mo/Al、Mo/Ti/Al(Nd)、Cu 合金/Mo、Cu合金/Al、Cu合金/Mo合金、Cu合金/Al合金、Al/Mo合金、Mo合金/Al、Al合金 /Mo合金、Mo合金/Al合金、或Mo/Al合金中至少兩層的疊層。然后，通過光刻和蝕刻將柵金屬層構(gòu)圖，以形成包括柵線102和柵電極106的柵金屬圖案。圖7A和7B分別圖解了用于描述在制造根據(jù)本發(fā)明第一個優(yōu)選實施方式的液晶顯示面板的方法中形成半導(dǎo)體圖案、數(shù)據(jù)金屬圖案和突出圖案部的步驟的平面圖和剖面圖， 圖8A到8E詳細(xì)圖解了用于描述圖7A和7B中所示的半導(dǎo)體圖案、數(shù)據(jù)金屬圖案和突出圖案部的剖面圖。參照圖8A，在上面形成有柵金屬圖案的下基板101上依次形成柵絕緣膜112、非晶硅層214、摻雜(η+或ρ+)的非晶硅層216、和數(shù)據(jù)金屬層218。例如，通過PECVD形成柵絕緣膜112、非晶硅層214和摻雜非晶硅層216，通過濺射形成數(shù)據(jù)金屬層218。柵絕緣膜112 由諸如SiOx和SiNx的無機(jī)絕緣材料形成，數(shù)據(jù)金屬層218可以是Mo、Ti、AINd、Al、Cr、Mo 合金、Cu合金、或Al合金的單金屬層，或者是Al/Cr、Al/Mo、Al/(Nd)/Al、Al (Nd)/Cr、Mo/ Al (Nd)/Mo、Cu/Mo、Ti/Al (Nd)/Ti、Mo/Al、Mo/Ti/Al (Nd)、Cu 合金 /Mo、Cu 合金 /Al、Cu 合金/Mo合金、Cu合金/Al合金、Al/Mo合金、Mo合金/Al、Al合金/Mo合金、Mo合金/Al合金、或Mo/Al合金中至少兩層的疊層。然后，在數(shù)據(jù)金屬層218上涂布光刻膠220并使用狹縫掩?；虬肷{(diào)掩模通過光刻法使光刻膠經(jīng)過曝光和顯影，以形成具有臺階的光刻膠圖案 220a 或 220b。詳細(xì)地說，參照圖8A，半色調(diào)掩模具有形成在基板170上具有遮光層172的遮光區(qū)域Si、形成在基板170上具有半透射層174的半透射區(qū)域S2、以及僅具有基板170的透射層S3?；蛘?，如圖9中所示，可提供狹縫掩模，狹縫掩模包括形成在基板270上具有遮光層272的遮光區(qū)域Si、形成在基板270上具有多個狹縫274的半透射區(qū)域S2、以及僅具有基板270的透射區(qū)域S3。將描述使用半色調(diào)掩模的情形。遮光區(qū)域Sl位于將要形成半導(dǎo)體圖案、數(shù)據(jù)金屬圖案和突出部152的區(qū)域以遮蔽UV射線，從而如圖8B中所示在顯影之后留下第一光刻膠圖案220a。半透射區(qū)域S2具有疊在將要形成突出部支撐圖案IM或156 以及薄膜晶體管溝道的區(qū)域的半透射層174以控制光透射率，從而如圖8B中所示在顯影之后留下比第一光刻膠圖案220a薄的第二光刻膠圖案220b。透射區(qū)域S3完全透射UV射線， 從而如圖8B中所示在顯影之后移除光刻膠。因而，通過控制半色調(diào)掩模的半透射層174的長度，可將突出部支撐圖案1 或156的尾部15 或156a的長度Dl形成得較長。半色調(diào)掩?；?70上的半透射層174的長度越長，尾部15 或156a的長度越長。在該情形中，可以形成半透射層174，以使突出部支撐圖案巧4或156的尾部15 或156a的長度Dl形 ) 1. 8 μ m 5 μ m。參照圖8C，通過用具有臺階的光刻膠圖案220a或220b進(jìn)行蝕刻，將數(shù)據(jù)金屬層 218、非晶硅層214和摻雜(η型或ρ型)的非晶硅層216構(gòu)圖，從而形成數(shù)據(jù)金屬圖案218、 下層半導(dǎo)體圖案114或116以及突出部支撐圖案IM或156。在該情形中，數(shù)據(jù)金屬圖案中的源電極和漏電極具有連接的結(jié)構(gòu)。然后，參照圖8D，通過使用氧等離子體將光刻膠圖案220a灰化，從而使第一光刻膠圖案220a變薄，并移除第二光刻膠圖案220b。然后，通過用灰化后的第一光刻膠圖案 220a進(jìn)行蝕刻，移除暴露的數(shù)據(jù)金屬層218和下層摻雜的非晶硅層116。據(jù)此，將源電極 108和漏電極110分離并暴露出有源層。當(dāng)暴露出突出部支撐圖案IM或156的尾部時，形成了突出部152。然后，參照圖8E，通過剝離工藝移除數(shù)據(jù)金屬圖案的源/漏電極108、110上殘留的第一光刻膠圖案220a。因而，因為可在半導(dǎo)體圖案和數(shù)據(jù)金屬圖案的步驟中，用半色調(diào)掩模形成包括突出部152和突出部支撐圖案巧4或156的突出圖案部150，所以可簡化制造工藝，且通過控制半色調(diào)掩模的半透射層的面積，可將突出部支撐圖案的尾部的長度控制為較長。圖IOA和IOB分別圖解了用于描述在制造根據(jù)本發(fā)明第一個優(yōu)選實施方式的液晶顯示面板的方法中形成保護(hù)膜的步驟的平面圖和剖面圖。在上面形成有半導(dǎo)體圖案114或116、數(shù)據(jù)金屬圖案108，110、以及突出圖案部150 的柵絕緣膜112上形成包括像素接觸孔120的保護(hù)膜118。詳細(xì)地說，在上面形成有半導(dǎo)體圖案114或116、數(shù)據(jù)金屬圖案108，110、以及突出圖案部150的柵絕緣膜112上形成保護(hù)膜118。保護(hù)膜118由與柵絕緣膜112相同的無機(jī)絕緣材料、或者諸如壓克力樹脂的有機(jī)絕緣材料形成。通過光刻和蝕刻將保護(hù)膜118構(gòu)圖， 從而形成穿過保護(hù)膜118的像素接觸孔120。像素接觸孔120形成為經(jīng)保護(hù)膜118暴露漏電極110。圖IlA和IlB分別圖解了用于描述在制造根據(jù)本發(fā)明第一個優(yōu)選實施方式的液晶顯示面板的方法中形成像素電極的步驟的平面圖和剖面圖。參照圖IlA和11B，在保護(hù)膜118上形成像素電極122。詳細(xì)地說，通過諸如濺射的沉積工藝在保護(hù)膜118上形成透明導(dǎo)電層。透明導(dǎo)電層由氧化錫TO、氧化銦錫ΙΤ0、氧化銦鋅IZO或氧化銦錫鋅ITZO形成。通過光刻和蝕刻將透明導(dǎo)電層構(gòu)圖，從而形成像素電極122。圖12圖解了在制造根據(jù)本發(fā)明第一個優(yōu)選實施方式的液晶顯示面板的方法中提供濾色器基板的剖面圖。提供濾色器基板，該濾色器基板具有形成在上基板230上用于劃分上面分別形成濾色器234的像素區(qū)域的黑矩陣232、紅色R，綠色G和藍(lán)色B濾色器234、形成為覆蓋黑矩陣232和R，G，B濾色器234的諸如壓克力樹脂的透明有機(jī)材料的涂層236、形成在涂層236 上的透明導(dǎo)電材料層的公共電極238、以及形成在公共電極上用于保持盒間隙的柱狀襯墊料 160。參照圖13，將在圖6A IlB中所示步驟中形成的薄膜晶體管基板和濾色器基板粘接在一起，以形成液晶顯示面板。通過粘接，上基板上的柱狀襯墊料與下基板接觸。圖14A和14B圖解了顯示根據(jù)本發(fā)明第二個優(yōu)選實施方式的液晶顯示面板的平面圖，圖15圖解了圖14A中液晶顯示面板沿線Ι-Γ，ΙΙ-ΙΓ和ΙΙΙ-ΙΙΓ的剖面圖。圖16圖解了圖14Α中突出圖案部的剖面的放大圖。因為圖14Α、14Β或15所示的液晶顯示面板具有與圖2或3中所示的液晶顯示面板相同的元件，所以將省略相同元件的詳細(xì)描述。參照圖14Α，突出圖案部150和160包括在除液晶顯示面板的四個角Α，B，C，D以及中心之外的像素區(qū)域處形成在柵線102上的第一突出圖案部150、以及與液晶顯示面板的四個角Α，B, C，D以及中心相配地形成在柵線102上的第二突出圖案部160，每個第二突出圖案部160的面積都大于第一突出圖案部150的面積。如圖14Β中所示，第二個實施方式的突出圖案部可包括與液晶顯示面板的四個角Α，B, C，D以及中心相配地形成在柵線上的第二突出圖案部160。參照圖15和16，第一突出圖案部150包括第一突出部152和支撐第一突出部152 的第一突出部支撐圖案巧4或156，第一突出部152形成為與柱狀襯墊料160接觸，以減小上基板203上的柱狀襯墊料160與下基板101之間的摩擦面積。第一突出部152與源電極和漏電極108和110由相同的材料形成在相同的層上，第一突出部支撐圖案巧4或156與半導(dǎo)體圖案114或116由相同的材料形成在相同的層上。第二突出圖案部160包括第二突出部162和支撐第二突出部162的第二突出部支撐圖案164或166，第二突出部162形成為與柱狀襯墊料160接觸以減小上基板203上的柱狀襯墊料160與下基板101之間的摩擦面積，第二突出部支撐圖案所形成的面積大于第一突出部支撐圖案的面積。詳細(xì)地說，如圖15和16中所示，第二突出部支撐圖案的尾部16 或166a的左/右方向D2長度形成為比第一突出部支撐圖案的尾部15 或156a的左/右方向Dl長度要長。第二突出部162與源電極和漏電極108和110由相同的材料形成在相同的層上，第二突出部支撐圖案164或166與半導(dǎo)體圖案由相同的材料形成在相同的層上。 在形成數(shù)據(jù)金屬圖案和半導(dǎo)體圖案的步驟中，用具有彼此不同的半透射部分的半色調(diào)掩?；颡M縫掩模形成第一突出圖案部150和第二突出圖案部160。因而，通過將第二突出部支撐圖案164或166的尾部的長度形成為比第一突出部支撐圖案巧4或156的尾部的長度長，可更有效地解決受物理碰撞或振動影響嚴(yán)重的區(qū)域處柱狀襯墊料160陷入突出部152或162中的問題，從而防止產(chǎn)生意外的污漬。除了制造根據(jù)本發(fā)明第二個優(yōu)選實施方式的液晶顯示面板的方法在形成半導(dǎo)體圖案和數(shù)據(jù)金屬圖案時形成第一和第二突出圖案部之外，制造根據(jù)本發(fā)明第二個優(yōu)選實施方式的液晶顯示面板的方法與制造根據(jù)本發(fā)明第一個優(yōu)選實施方式的液晶顯示面板的方法相同。因此，將參照圖17A 17E詳細(xì)描述在制造根據(jù)本發(fā)明第二個優(yōu)選實施方式的液晶顯示面板的方法中形成第一和第二突出圖案部、半導(dǎo)體圖案和數(shù)據(jù)金屬圖案的步驟。參照圖17A，在上面形成有柵金屬圖案的下基板101上依次形成柵絕緣膜112、非晶硅層214、摻雜(η+或ρ+)的非晶硅層216和數(shù)據(jù)金屬層218。例如，通過PECVD形成柵絕緣膜112、非晶硅層214和摻雜非晶硅層216，通過濺射形成數(shù)據(jù)金屬層218。柵絕緣膜112 由諸如SiOx和SiNx的無機(jī)絕緣材料形成，數(shù)據(jù)金屬層218可以是Mo、Ti、AINcUAI、Cr、Mo 合金、Cu合金、或Al合金的單個金屬層，或者是六1/0^1/^0^1/(而)/^1、六1(而)/0、10/Al (Nd)/Mo、Cu/Mo、Ti/Al (Nd)/Ti、Mo/Al、Mo/Ti/Al (Nd),Cu 合金 /Mo、Cu 合金 /Al、Cu 合金 /Mo合金、Cu合金/Al合金、Al/Mo合金、Mo合金/Al、Al合金/Mo合金、Mo合金/Al合金、 或Mo/Al合金中至少兩層的疊層。然后，在數(shù)據(jù)金屬層218上涂布光刻膠220，并使用狹縫掩模或半色調(diào)掩模通過光刻法使光刻膠220經(jīng)過曝光和顯影，以形成具有臺階的光刻膠圖案 220a 或 220b ο詳細(xì)地說，參照圖17A，半色調(diào)掩模具有形成在基板170上具有遮光層172的遮光區(qū)域Sl、形成在基板170上具有半透射層174的半透射區(qū)域S2、以及僅具有基板170的透射層S3。遮光區(qū)域Sl位于將要形成半導(dǎo)體圖案114或116、數(shù)據(jù)金屬圖案108或110和突出部152的區(qū)域以遮蔽UV射線，從而如圖17B中所示在顯影之后留下第一光刻膠圖案220a。 半透射區(qū)域S2具有疊在將要形成薄膜晶體管溝道ch、以及第一和第二突出部支撐圖案IM 或156和164或166的區(qū)域處的半透射層174以控制光透射率，從而如圖17B中所示在顯影之后留下比第一光刻膠圖案220a薄的第二光刻膠圖案220b。在該情形中，用于形成第二突出部支撐圖案164或166的半透射層174的長度D2形成為比用于形成第一突出部支撐圖案IM或156的半透射層174的長度Dl長。詳細(xì)地說，如圖16中所示，形成半透射層使得第一突出部支撐圖案巧4或156的左、右、上和下尾部15 或156a每一個的長度都形成為第一長度D1，形成半透射層174使得第二突出部支撐圖案164或166的左右尾部16 或 166a每一個的長度形成為第二長度D2，且形成半透射層174使得第二突出部支撐圖案164 或166的上下尾部16 或166a每一個的長度形成為第一長度Dl。由于透射區(qū)域S3完全透射UV射線，從而如圖17B中所示在顯影之后移除光刻膠。因而，通過控制半色調(diào)掩模的半透射層174的長度，可將第一和第二突出部支撐圖案巧4或156和164或166的尾部15 或156a和16 或166a每一個的長度形成為使得第一突出部支撐圖案巧4或156和第二突出部支撐圖案164或166具有彼此不同的長度。在該情形中，可形成半透射層，以使突出部支撐圖案154，156，164或166的尾部IMa，156a，164a或166a的長度形成為1. 8 μ m 5 μ m0參照圖17C，通過用具有臺階的光刻膠圖案220a或220b進(jìn)行蝕刻，將數(shù)據(jù)金屬層 218、非晶硅層214和摻雜(η型或ρ型)的非晶硅層216構(gòu)圖，從而形成數(shù)據(jù)金屬圖案108 或110、下層半導(dǎo)體圖案114或116以及具有彼此不同長度的第一和第二突出部支撐圖案 154，156和164或166。同時，數(shù)據(jù)金屬圖案中的源電極和漏電極具有連接的結(jié)構(gòu)。然后，參照圖17D，通過使用氧等離子體將光刻膠圖案220a灰化，從而使第一光刻膠圖案220a變薄，并移除第二光刻膠圖案220b。然后，通過用灰化后的第一光刻膠圖案 220a進(jìn)行蝕刻，移除暴露的數(shù)據(jù)金屬層和下層摻雜非晶硅層。據(jù)此，將源電極108和漏電極 110分離并暴露出有源層114。當(dāng)暴露出第一突出部支撐圖案IM或156的尾部以及第二突出部支撐圖案164或166的尾部時，形成了第一和第二突出部152和162。然后，參照圖17E，通過剝離工藝移除數(shù)據(jù)金屬圖案上殘留的第一光刻膠圖案 220a。因而，因為可在半導(dǎo)體圖案和數(shù)據(jù)金屬圖案的步驟中，用半色調(diào)掩模形成包括第一和第二突出部152和162以及第一和第二突出部支撐圖案巧4或156和164或166的突出圖案部150和160，所以可簡化制造工藝，且通過控制半色調(diào)掩模的半透射層的面積，可將突出部支撐圖案的尾部的長度控制為較長。
14
如上所述，本發(fā)明的液晶顯示面板及其制造方法具有下面的優(yōu)點。因為本發(fā)明的液晶顯示面板及其制造方法包括突出部和支撐所述突出部的突出部支撐圖案，所述突出部形成為與柱狀襯墊料接觸，以減小柱狀襯墊料與下基板之間的摩擦面積，所述突出部支撐圖案所形成的面積大于在發(fā)生物理碰撞或振動時施加給柱狀襯墊料的力的表面積。因此，本發(fā)明可通過減小突出部的面積來確保面板的透射率，和通過改善由物理碰撞導(dǎo)致的柱狀襯墊料的陷入而防止產(chǎn)生意外的污漬。而且，在形成突出部支撐圖案的尾部時采用的半色調(diào)掩模或狹縫掩?？蓽p少制造步驟數(shù)目。而且，在與物理碰撞或振動發(fā)生得比其他區(qū)域更嚴(yán)重的液晶顯示面板的四個角和中心相配的區(qū)域，將突出部支撐圖案形成得比上述區(qū)域更大，可防止由于物理碰撞或振動而產(chǎn)生的陷入。在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，本發(fā)明可進(jìn)行各種修改和變化，這對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說是顯而易見的。因而，本發(fā)明意在覆蓋落入所附權(quán)利要求及其等價物范圍內(nèi)的本發(fā)明的修改和變化。
權(quán)利要求
1.一種液晶顯示面板，包括 形成在上基板上的柱狀襯墊料；形成在與所述上基板相對的下基板上的薄膜晶體管，所述薄膜晶體管與多條柵線和多條數(shù)據(jù)線連接；形成在由所述柵線和所述數(shù)據(jù)線的交叉所提供的像素區(qū)域的像素電極，所述像素電極與所述薄膜晶體管連接；和與所述像素區(qū)域相配地形成在所述柵線上的突出圖案部，其中所述突出圖案部包括突出部和突出部支撐圖案，所述突出部形成為與所述柱狀襯墊料接觸，以減小所述柱狀襯墊料與所述下基板之間的摩擦面積，所述突出部支撐圖案防止所述襯墊料在發(fā)生物理碰撞或振動時陷入。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶顯示面板，其中所述突出圖案部與所述像素區(qū)域相配地形成在所述柵線上，或者與每兩個像素區(qū)域相配地形成在所述柵線上，或者與所述液晶顯示面板的四個角和中心相配地形成在所述柵線上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶顯示面板，其中所述突出圖案部是在形成所述薄膜晶體管的源電極、漏電極和半導(dǎo)體圖案時用半色調(diào)掩?；颡M縫掩模來形成的。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的液晶顯示面板，其中所述突出部與所述薄膜晶體管的源電極和漏電極由相同的材料同時形成在相同的層上。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的液晶顯示面板，其中所述突出部支撐圖案與所述薄膜晶體管的半導(dǎo)體圖案由相同的材料同時形成在相同的層上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶顯示面板，其中所述突出部支撐圖案包括 用于支撐所述突出部的芯部；和圍繞所述芯部形成的尾部。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的液晶顯示面板，其中所述突出部支撐圖案的所述尾部具有 1. 8μπι 5μπι的長度。
8.—種制造液晶顯示面板的方法，包括下述步驟 在上基板上形成柱狀襯墊料；在與所述上基板相對的下基板上形成柵電極圖案，所述柵電極圖案包括柵線和柵電極；在上面形成有所述柵電極圖案的所述下基板上沉積柵絕緣膜、半導(dǎo)體層和數(shù)據(jù)電極層；在所述柵絕緣膜、所述半導(dǎo)體層和所述數(shù)據(jù)電極層上形成具有彼此不同厚度的第一和第二光刻膠圖案；用所述第一和第二光刻膠圖案蝕刻所述半導(dǎo)體層和所述數(shù)據(jù)電極層，從而形成包括源電極和漏電極的數(shù)據(jù)金屬圖案、下層半導(dǎo)體圖案、以及突出圖案部，所述突出圖案部具有突出部和突出部支撐圖案，所述突出部支撐圖案所形成的面積大于當(dāng)發(fā)生物理碰撞或振動時所述柱狀襯墊料下壓在所述突出部上時的所述柱狀襯墊料下壓表面的面積；和將所述上基板與所述下基板粘結(jié)在一起，以使所述柱狀襯墊料與所述突出部接觸。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中所述突出部支撐圖案包括 用于支撐所述突出部的芯部；和圍繞所述芯部形成的尾部。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中所述突出部支撐圖案的所述尾部具有1.8μπι 5 μ m的長度，以在發(fā)生物理碰撞或振動時防止所述柱狀襯墊料陷入。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中所述突出圖案部與所述像素區(qū)域相配地形成在所述柵線上，或者與每兩個像素區(qū)域相配地形成在所述柵線上，或者與所述液晶顯示面板的四個角和中心相配地形成在所述柵線上。
12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中在所述柵絕緣膜、所述半導(dǎo)體層和所述數(shù)據(jù)電極層上形成具有彼此不同厚度的第一和第二光刻膠圖案的步驟包括下述步驟在所述柵絕緣膜、所述半導(dǎo)體層和所述數(shù)據(jù)電極層上涂布光刻膠； 提供半色調(diào)掩?；颡M縫掩模，所述掩模包括在將要形成所述半導(dǎo)體圖案、所述數(shù)據(jù)金屬圖案和所述突出部的區(qū)域處的用于遮蔽UV 射線的遮光區(qū)域、在將要形成突出部支撐圖案和所述薄膜晶體管的溝道的區(qū)域處具有半透射層以控制光透射率的半透射區(qū)域、以及完全透射UV射線的透射區(qū)域；以及用所述半色調(diào)掩?；蛩霆M縫掩模形成第一和第二光刻膠圖案。
13.一種液晶顯示面板，包括 形成在上基板上的柱狀襯墊料；形成在下基板上的薄膜晶體管，所述薄膜晶體管與多條柵線和多條數(shù)據(jù)線連接； 形成在由所述柵線和所述數(shù)據(jù)線的交叉所提供的像素區(qū)域的像素電極，所述像素電極與所述薄膜晶體管連接；和突出圖案部，所述突出圖案部包括與所述像素區(qū)域相配地形成在所述柵線上的第一突出圖案部，和與所述液晶顯示面板的外圍區(qū)域或中心相配地形成在除上面形成有所述第一突出圖案部的柵線之外的柵線上的第二突出圖案部，所述第二突出圖案部的面積大于所述第一突出圖案部的面積。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的液晶顯示面板，其中所述第一突出圖案部包括第一突出部，所述第一突出部被提供以與所述柱狀襯墊料接觸，從而減小所述上基板上的所述柱狀襯墊料與所述下基板之間的摩擦面積；和支撐所述第一突出部的第一突出部支撐圖案。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的液晶顯示面板，其中所述第二突出圖案部包括第二突出部，所述第二突出部被提供以與所述柱狀襯墊料接觸，從而減小所述上基板上的所述柱狀襯墊料與所述下基板之間的摩擦面積；和支撐所述第二突出部的第二突出部支撐圖案，所述第二突出部支撐圖案所形成的面積大于所述第一突出部支撐圖案的面積。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的液晶顯示面板，其中所述第一突出部支撐圖案的尾部的左 /右方向長度形成為比所述第二突出部支撐圖案的尾部的左/右方向長度要長。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的液晶顯示面板，其中所述第一突出部支撐圖案的所述尾部的長度以及所述第二突出部支撐圖案的所述尾部的長度的每個都為1. 8 μ m 5 μ m，以在發(fā)生物理碰撞或振動時防止所述柱狀襯墊料陷入。
18.—種制造液晶顯示面板的方法，包括下述步驟在上基板上形成柱狀襯墊料；在與所述上基板相對的下基板上形成柵電極圖案，所述柵電極圖案包括柵線和柵電極；在上面形成有所述柵電極圖案的所述下基板上沉積柵絕緣膜、半導(dǎo)體層和數(shù)據(jù)電極層；在所述柵絕緣膜、所述半導(dǎo)體層和所述數(shù)據(jù)電極層上形成具有彼此不同厚度的第一和第二光刻膠圖案；用所述第一和第二光刻膠圖案蝕刻所述半導(dǎo)體層和所述數(shù)據(jù)電極層，從而形成具有源電極和漏電極的數(shù)據(jù)金屬圖案、下層半導(dǎo)體圖案、第一突出圖案部和第二突出圖案部，所述第一突出圖案部在所述柵線上，所述第二突出圖案部在除上面形成有所述第一突出圖案部的所述柵線之外的與外圍區(qū)域或中心相配的柵線上，所述第二突出圖案部的面積大于所述第一突出圖案部的面積；和將所述上基板與所述下基板粘結(jié)在一起，以使所述柱狀襯墊料與所述第一和第二突出部接觸。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法，其中所述第一突出圖案部包括第一突出部，所述第一突出部被提供以與所述柱狀襯墊料接觸，從而減小所述上基板上的所述柱狀襯墊料與所述下基板之間的摩擦面積；和支撐所述第一突出部的第一突出部支撐圖案。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中所述第二突出圖案部包括第二突出部，所述第二突出部被提供以與所述柱狀襯墊料接觸，從而減小所述上基板上的所述柱狀襯墊料與所述下基板之間的摩擦面積；和支撐所述第二突出部的第二突出部支撐圖案，所述第二突出部支撐圖案所形成的面積大于所述第一突出部支撐圖案的面積。
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其中所述第二突出部支撐圖案的尾部的長度形成為長于所述第一突出部支撐圖案的尾部的長度。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的方法，其中所述第一突出部支撐圖案的所述尾部的長度以及所述第二突出部支撐圖案的所述尾部的長度的每個都為1. 8 μ m 5 μ m，以在發(fā)生物理碰撞或振動時防止所述柱狀襯墊料陷入。
全文摘要
一種液晶顯示面板及其制造方法，所述液晶顯示面板包括形成在上基板上的柱狀襯墊料、形成在與所述上基板相對的下基板上的與多條柵線和多條數(shù)據(jù)線連接的薄膜晶體管、形成在由所述柵線和所述數(shù)據(jù)線的交叉所提供的像素區(qū)域的像素電極，所述像素電極與所述薄膜晶體管連接、和與所述像素區(qū)域相配地形成在所述柵線上的突出圖案部，所述突出圖案部具有突出部和突出部支撐圖案，所述突出部形成為與所述柱狀襯墊料接觸，以減小所述柱狀襯墊料與所述下基板之間的摩擦面積、所述突出部支撐圖案防止所述襯墊料在發(fā)生物理碰撞或振動時陷入。
文檔編號H01L21/77GK102566148SQ20111035123
公開日2012年7月11日 申請日期2011年11月4日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月4日
發(fā)明者沈錫浩 申請人:樂金顯示有限公司