專利名稱：搬送系統(tǒng)以及搬送方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及搬送系統(tǒng)，特別是涉及不便處理裝置等待而供給搬送物品的搬送系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
近年需要不便半導(dǎo)體加工裝置以及半導(dǎo)體的檢查裝置等處理裝置等待，而將 FOUP(用于搬送半導(dǎo)體晶片的密閉型盒體)等物品向這些裝置的裝載ロ(load port) 供給以及搬送。因此提出有下述方案在處理裝置的附近設(shè)置緩沖部(buffer)，并且為了進(jìn)行緩沖部與處理裝置之間的搬送，而設(shè)置追加的搬送裝置。例如在專利文獻(xiàn) 1 (JP2006-224944A)中，將高架輸送車(overhead travelling vehicle)的軌道與頂板空間平行地配置多個(gè)，將一方設(shè)為長(zhǎng)距離搬送用，將另一方設(shè)為短距離搬送用。并且在長(zhǎng)距離搬送用的軌道的正下方配置緩沖部，在短距離搬送用的軌道的正下方配置處理裝置的裝載 ロ。長(zhǎng)距離搬送用的高架輸送車在與緩沖部之間交接物品，短距離搬送用的高架輸送車在緩沖部與裝載ロ之間交接物品。因此當(dāng)處理裝置所需要的物品被預(yù)先搬送到緩沖部吋，就能夠以高速向處理裝置進(jìn)行物品的供給。另外，來(lái)自處理裝置的裝載ロ的物品的搬出，利用短距離搬送用的高架輸送車以高速進(jìn)行。然而，這樣ー來(lái)，由于在相同高度位置平行地設(shè)置軌道，故在俯視觀察下會(huì)増大搬送系統(tǒng)所占的占地面積。在專利文獻(xiàn)2(JP2005-150129A)中，在處理裝置的前表面設(shè)置具備搬送裝置的緩沖部，高架輸送車在與緩沖部之間交接物品，緩沖部?jī)?nèi)的搬送裝置在與裝載ロ之間交接物品。然而在處理裝置的前表面設(shè)置表示運(yùn)轉(zhuǎn)狀況的顯示器、手動(dòng)操作用的操作面板等，會(huì)因緩沖部而將它們堵塞，因此不是優(yōu)選的。另外裝載ロ不只使用自動(dòng)搬送裝置，有時(shí)也用人工來(lái)供給搬出物品，當(dāng)用緩沖部覆蓋處理裝置的前表面時(shí)，則用人エ進(jìn)行搬入搬出變得困難。專利文獻(xiàn)1 JP2006-224944A專利文獻(xiàn)2 JP2005-150129A

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的課題在干，不堵塞處理裝置的前表面、且在俯視觀察下搬送系統(tǒng)所占的占地面積減小，并且迅速地向處理裝置供給以及搬出物品。本發(fā)明的課題還在于，盡量減少在與緩沖部之間交接物品時(shí)的升降量。本發(fā)明的課題還在于，縮短緩沖部與裝載ロ之間的搬送距離。本發(fā)明的追加的課題在干，提供不與區(qū)間(local)臺(tái)車干涉、且高架輸送車在與緩沖部之間交接物品的具體的結(jié)構(gòu)。本發(fā)明涉及ー種搬送系統(tǒng)，用于在多個(gè)處理裝置之間搬送物品，該搬送系統(tǒng)包括 高架輸送車軌道，其在處理裝置的裝載ロ的上部通過(guò)；以及高架輸送車，其沿著高架輸送車軌道向ー個(gè)方向行駛且具備提升機(jī)，
本發(fā)明的系統(tǒng)的特征在干，包括區(qū)間軌道，其在高架輸送車軌道的下方且沿著所述ー個(gè)方向從處理裝置的裝載ロ 的上游側(cè)到下游側(cè)配置在裝載ロ的上方，并且與高架輸送車軌道平行地配置；區(qū)間臺(tái)車，其在所述區(qū)間軌道上行駛，并且具備使物品升降的提升機(jī)；第一緩沖部，其在所述區(qū)間軌道的下部且沿著所述ー個(gè)方向配置在處理裝置的裝載ロ的上游側(cè)，并且使高架輸送車與區(qū)間臺(tái)車都自如地交接物品；以及第二緩沖部，其在所述區(qū)間軌道的下部且沿著所述ー個(gè)方向配置在處理裝置的裝載ロ的下游側(cè)，并且使高架輸送車與區(qū)間臺(tái)車都自如地交接物品。在該發(fā)明中，能夠?qū)⒐└呒茌斔蛙囆旭偟目臻g與供區(qū)間臺(tái)車行駛的空間在豎直方向重合，從而能夠減小在俯視觀察下搬送系統(tǒng)所占的占地面積。另外，不會(huì)因緩沖部而堵塞處理裝置的前表面。由于第一緩沖部與第二緩沖部設(shè)置于裝載ロ的上游側(cè)和下游側(cè)，故區(qū)間臺(tái)車能夠在裝載ロ與緩沖部之間迅速地供給搬出物品。裝載ロ在處理裝置上可以僅設(shè)置一個(gè)，也可以設(shè)置多個(gè)。在設(shè)置多個(gè)裝載ロ的情況下，區(qū)間軌道從各裝載ロ的上游側(cè)設(shè)置到下游側(cè)，第一緩沖部設(shè)置在各裝載ロ的上游側(cè)，第二緩沖部設(shè)置在各裝載ロ的下游側(cè)。本發(fā)明還涉及后安裝于已設(shè)的高架輸送車系統(tǒng)的搬送系統(tǒng)。該系統(tǒng)的特征在干，包括區(qū)間軌道，其在高架輸送車軌道的下方且沿著所述ー個(gè)方向從處理裝置的裝載ロ 的上游側(cè)到下游側(cè)配置在裝載ロ的上方，并且與高架輸送車軌道平行地配置；區(qū)間臺(tái)車，其在所述區(qū)間軌道上行駛，并且具備使物品升降的提升機(jī)；第一緩沖部，其在所述區(qū)間軌道的下部且沿著所述ー個(gè)方向配置在處理裝置的裝載ロ的上游側(cè)，并且使高架輸送車與區(qū)間臺(tái)車都自如地交接物品；以及第二緩沖部，其在所述區(qū)間軌道的下部且沿著所述ー個(gè)方向配置在處理裝置的裝載ロ的下游側(cè)，并且使高架輸送車與區(qū)間臺(tái)車都自如地交接物品。這樣ー來(lái)，能夠在已設(shè)的高架輸送車系統(tǒng)上后安裝由區(qū)間軌道、區(qū)間臺(tái)車以及第一、第二緩沖部構(gòu)成的搬送系統(tǒng)。并且后安裝的搬送系統(tǒng)無(wú)需對(duì)處理裝置改造，即便對(duì)已設(shè)的高架輸送車系統(tǒng)，也只需進(jìn)行兼用支柱程度的改造。另外，能夠?qū)⒐└呒茌斔蛙囆旭偟目臻g與供區(qū)間臺(tái)車行駛的空間在豎直方向上重合，進(jìn)而不會(huì)因緩沖部而堵塞處理裝置的前表面。由于第一緩沖部和第二緩沖部被設(shè)置在裝載ロ的上游側(cè)和下游側(cè)，故區(qū)間臺(tái)車能夠在裝載ロ與緩沖部之間迅速地供給搬出物品。優(yōu)選地，第一緩沖部和第二緩沖部構(gòu)成為能夠分別ー個(gè)ー個(gè)地載置物品。這樣ー 來(lái)，能夠與裝載ロ鄰接，在上游側(cè)和下游側(cè)配置合計(jì)兩個(gè)緩沖部。優(yōu)選為，第一緩沖部與第二緩沖部被配置在下述高度在第一緩沖部和第二緩沖部載置有物品吋，只有未支承物品的區(qū)間臺(tái)車能夠在第一緩沖部和第二緩沖部的上方行駛，在所述第一緩沖部和第二緩沖部未載置物品吋，支承物品的區(qū)間臺(tái)車和未支承物品的區(qū)間臺(tái)車均在第一緩沖部和第二緩沖部的上方行駛自如的高度。這樣ー來(lái)，區(qū)間臺(tái)車能夠在與緩沖部之間迅速地轉(zhuǎn)移物品。另外，優(yōu)選為，所述第一緩沖部和第二緩沖部分別為具有上層和下層的兩層臺(tái)階狀的結(jié)構(gòu)，第一緩沖部和第二緩沖部能夠在上層和下層分別ー個(gè)ー個(gè)地載置物品，下層被配置在接近裝載ロ的ー側(cè)，上層被配置在距離裝載ロ較遠(yuǎn)的ー側(cè)，且所述下層和所述上層被配置在下述高度與下層有無(wú)物品載置無(wú)關(guān)，支承物品的區(qū)間臺(tái)車和未支承物品的區(qū)間臺(tái)車均自如地通過(guò)下層的上方，在上層載置有物品時(shí)，僅未支承物品的區(qū)間臺(tái)車在上層的上方行駛自如，在上層未載置物品時(shí)，支承物品的區(qū)間臺(tái)車和未支承物品的區(qū)間臺(tái)車均在上層的上方行駛自如的高度。這樣ー來(lái)，能夠在裝載ロ的上游和下游配置四個(gè)物品的量的緩沖部，而且區(qū)間臺(tái)車能夠迅速地向上層的緩沖部轉(zhuǎn)移物品。另外，優(yōu)選為，區(qū)間軌道由兩條平行的導(dǎo)軌構(gòu)成，且在兩條導(dǎo)軌之間設(shè)置有能夠供物品沿豎直方向移動(dòng)的間隙。這樣ー來(lái)，即便將區(qū)間軌道配置在第一軌道的正下方，高架輸送車也能夠在裝載ロ以及緩沖部之間交接物品。優(yōu)選為，高架輸送車進(jìn)行向所述第一緩沖部和所述第二緩沖部的物品的搬入、以及來(lái)自所述裝載ロ的物品的搬出，所述區(qū)間臺(tái)車進(jìn)行從所述第一緩沖部和所述第二緩沖部向所述裝載ロ的物品的搬入。該控制由高架輸送車的控制器和區(qū)間臺(tái)車的控制器等執(zhí)行。 這樣ー來(lái)，能夠從裝載ロ迅速地搬送物品，并且與裝載口上有無(wú)物品無(wú)關(guān)，均將物品從高架輸送車向緩沖部卸貨。并且當(dāng)裝載ロ空閑時(shí)，能夠迅速地將物品從緩沖部搬入裝載ロ。優(yōu)選為，由配置在裝載ロ的上方的水平的機(jī)架來(lái)支承第一緩沖部和第二緩沖部， 在機(jī)架上設(shè)置有用于檢測(cè)裝載ロ側(cè)的干渉物的俯視傳感器。借助俯視傳感器，使得高架輸送車、區(qū)間臺(tái)車均不會(huì)發(fā)生與裝載ロ側(cè)的人等的干渉。裝載ロ側(cè)是指裝載ロ的附近或裝載 ロ的近旁。另外，本發(fā)明的搬送系統(tǒng)設(shè)置區(qū)間軌道，其被配置在高架輸送車軌道的下方且在所述裝載ロ的上方，并且與高架輸送車軌道平行地配置；區(qū)間臺(tái)車，其在所述區(qū)間軌道上行駛，并且具備使物品升降的提升機(jī)；以及具有上層和下層的兩層臺(tái)階狀的緩沖部；能夠在上層和下層分別ー個(gè)ー個(gè)地載置物品，下層配置在接近裝載ロ的ー側(cè)，上層配置在距離裝載ロ較遠(yuǎn)的ー側(cè)，且所述下層和所述上層被配置在下述高度與下層有無(wú)物品載置無(wú)關(guān)，支承物品的區(qū)間臺(tái)車和未支承物品的區(qū)間臺(tái)車均在下層的上方自如地通過(guò)，在上層載置有物品時(shí)，僅未支承物品的區(qū)間臺(tái)車能在上層的上方行駛自如，在上層未載置物品吋，支承物品的區(qū)間臺(tái)車和未支承物品的區(qū)間臺(tái)車均在上層的上方行駛自如的高度。例如，作為臺(tái)階狀的緩沖部，設(shè)置圖1的緩沖部25aJ6a的組合與緩沖部25b 的組合的至少一方。這樣ー來(lái)，能夠?qū)⒐└呒茌斔蛙囆旭偟目臻g與供區(qū)間臺(tái)車行駛的空間在豎直方向上重合，能夠減小在俯視觀察下搬送系統(tǒng)所占的占地面積。另外，不會(huì)因緩沖部而堵塞處理裝置的前表面。另外，由于將緩沖部以臺(tái)階狀配置為上下兩層，故高架輸送車與區(qū)間臺(tái)車能夠相對(duì)于上下任意一層進(jìn)行搬入搬出，由于上層的緩沖部與區(qū)間軌道的高度水平差較小， 故以較小的升降量就能夠供給搬出物品。另外，本發(fā)明是使用在處理裝置的裝載ロ的上部通過(guò)的高架輸送車軌道、和沿著所述高架輸送車軌道向ー個(gè)方向行駛且具備提升機(jī)的高架輸送車向裝載ロ搬送物品的方法，設(shè)置有區(qū)間軌道，其在高架輸送車軌道的下方且沿著所述ー個(gè)方向從處理裝置的裝載ロ 的上游側(cè)到下游側(cè)配置在裝載ロ的上方，并且與高架輸送車軌道平行地配置；區(qū)間臺(tái)車，其在所述區(qū)間軌道上行駛，并且具備使物品升降的提升機(jī)；第一緩沖部，其在所述區(qū)間軌道的下部且沿著所述ー個(gè)方向配置在處理裝置的裝載ロ的上游側(cè)，并且使高架輸送車與區(qū)間臺(tái)車都自如地交接物品；以及
第二緩沖部，其在所述區(qū)間軌道的下部且沿著所述ー個(gè)方向配置在處理裝置的裝載ロ的下游側(cè)，并且使高架輸送車與區(qū)間臺(tái)車都自如地交接物品。并且執(zhí)行以下步驟高架輸送車將物品向第一緩沖部或第二緩沖部卸貨的步驟；區(qū)間臺(tái)車將第一緩沖部或第二緩沖部的物品向裝載ロ卸貨的步驟；以及高架輸送車將裝載ロ的物品搬出的步驟。這樣ー來(lái)，能夠從裝載ロ迅速地搬送物品，并且與裝載口上有無(wú)物品無(wú)關(guān)，將物品從高架輸送車向緩沖部卸貨。并且，當(dāng)裝載ロ空閑時(shí)，能夠迅速地從緩沖部向裝載ロ搬入物
P
ΡΠ O


圖1是實(shí)施例的搬送系統(tǒng)的主要部分的側(cè)視圖。圖2是表示從實(shí)施例的搬送系統(tǒng)拆下高架輸送車的行駛軌道的狀態(tài)的主要部分的俯視圖。圖3是表示區(qū)間臺(tái)車的結(jié)構(gòu)的主視圖。圖4是表示搬送系統(tǒng)內(nèi)的通信的圖。圖5是變形例的搬送系統(tǒng)的主要部分的主視圖。圖6是最佳實(shí)施例的搬送系統(tǒng)的主要部分的側(cè)視圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明如下2…搬送系統(tǒng)；4…處理裝置；6…裝載ロ ；10…軌道；11…支柱；12…高架輸送車；14…提升機(jī)；16…升降臺(tái)；18···物品；20…區(qū)間軌道；22…區(qū)間臺(tái)車； 23…升降臺(tái)；24...吊裝件；25a、25b...緩沖部；26a、26b…緩沖部；27、沘 支柱；30、31…緩沖部；34···間隙；36…充電裝置；38…行駛車輪；40…行駛電機(jī)；42…蓄電池；43…用電裝置；44…提升機(jī)；45…夾頭；50…高架輸送車控制器；51 54…通信単元；60…區(qū)間軌道； 62…區(qū)間臺(tái)車；63 65…導(dǎo)輪；67、68…支柱；70、71…緩沖部；72…機(jī)架；73…控制器； 74…充電裝置；76…俯視傳感器。
具體實(shí)施例方式以下，表示用于實(shí)施本發(fā)明的最佳實(shí)施例。本發(fā)明的范圍應(yīng)基于權(quán)利要求書的記載，并參考說(shuō)明書的記載和本領(lǐng)域的公知技術(shù)，按照本領(lǐng)域技術(shù)人員的理解而能夠確定。圖1 圖5表示實(shí)施例的搬送系統(tǒng)與其變形。在各圖中，2是搬送系統(tǒng)，4是處理裝置，例如是半導(dǎo)體處理裝置以及半導(dǎo)體的檢查裝置等。另外，搬送系統(tǒng)2被設(shè)置于潔凈室內(nèi)。處理裝置4具備ー個(gè)或多個(gè)裝載ロ 6，在處理裝置4的正上方設(shè)置高架輸送車12的軌道10，從頂板利用支柱11進(jìn)行支承。高架輸送車12具備提升機(jī)14，以使升降臺(tái)16與物品 18—起升降。物品18例如是容納半導(dǎo)體晶片的F0UP，物品18的種類是任意的。另外，高架輸送車12除了提升機(jī)14以外，也可以具備橫移提升機(jī)14的裝置以及使提升機(jī)繞豎直軸旋轉(zhuǎn)的裝置等。由軌道10與高架輸送車12構(gòu)成高架輸送車系統(tǒng)，該系統(tǒng)本身是公知的。例如在軌道10的正下方設(shè)置區(qū)間軌道20，區(qū)間軌道20例如設(shè)置于每個(gè)處理裝置。 設(shè)置區(qū)間軌道20的范圍是裝載ロ 6的正上部和例如其左右兩側(cè)，但也可以是裝載ロ 6的上部與其左右當(dāng)中的一方。22是區(qū)間臺(tái)車，沿著區(qū)間軌道20而往復(fù)移動(dòng)，并利用帶、鋼絲、鋼纜等吊裝件M使升降臺(tái)23升降。從裝載ロ 6觀察，在區(qū)間臺(tái)車22的行駛方向例如前后雙方各設(shè)置兩種緩沖部25a、25b以及^aJ6b。高架輸送車12沿圖1的箭頭方向行駛，例如一對(duì)裝載ロ 6、6的上游側(cè)的緩沖部25a、26a為第一緩沖部，下游側(cè)的緩沖部25b 為第
ニ緩沖部。緩沖區(qū)25a、2^設(shè)置在能夠不干渉支承有物品18的區(qū)間臺(tái)車22通過(guò)其上部的高度，設(shè)置在俯視觀察時(shí)與裝載ロ 6鄰接的位置。換而言之，在區(qū)間臺(tái)車22所支承的物品18 的底面與在緩沖區(qū)25a、25b的物品載置面之間，設(shè)置超過(guò)ー個(gè)物品18的量的高度差。緩沖區(qū)^a、26b是第二緩沖區(qū)，從緩沖區(qū)25a、2^觀察時(shí)設(shè)置于裝載ロ 6的相反一側(cè)，且設(shè)置在未支承物品18的區(qū)間臺(tái)車22能夠在其上部行駛，但支承有物品18的區(qū)間臺(tái)車22無(wú)法行駛的高度。換而言之，將區(qū)間臺(tái)車22所支承的物品18的底面與在緩沖區(qū)的物品載置面之間的高度差設(shè)為小于ー個(gè)物品18的量的高度。例如緩沖區(qū)^5a、26b設(shè)置在僅比緩沖區(qū)25a、25b高出ー個(gè)物品18的量的高度的較高的位置，高低差是以緩沖區(qū)25a、25b、 沈3、2乩構(gòu)成ー層臺(tái)階。并且緩沖區(qū)25a、25bJ6aJ6b由支柱27J8支承，支柱27例如兼做區(qū)間軌道20的支柱，但也可以與區(qū)間軌道20的支柱分開(kāi)設(shè)置。在實(shí)施例中，在裝載ロ 6的左右兩側(cè)(當(dāng)以高架輸送車12的行駛方向?yàn)榛鶞?zhǔn)吋， 裝載ロ 6的前后兩側(cè))設(shè)置有緩沖部25a、25bJ6aJ6b，但也可以只設(shè)置在ー側(cè)。在緩沖部的容量不足的情況下，如圖1中用點(diǎn)劃線所示的那樣，可以使緩沖部沈向緩沖部31 的位置移動(dòng)，在原來(lái)的緩沖部的下部設(shè)置緩沖部30。并且在該情況下，區(qū)間軌道 20也延長(zhǎng)到緩沖部31的上部。如以上那樣，當(dāng)配置緩沖部25a、25bJ6a、26b等吋，高架輸送車12和區(qū)間臺(tái)車22 能夠在與任意的緩沖部25a、25bJ6a、26b之間交接物品18。由于緩沖部25a、2^位于較低的位置，故高架輸送車12與區(qū)間臺(tái)車22雖能夠自由地進(jìn)行搬入搬出，但交接物品18時(shí)的升降量較大。當(dāng)緩沖部沈a、26b空閑的情況下，實(shí)際負(fù)載的區(qū)間臺(tái)車22與實(shí)際負(fù)載的高架輸送車12能夠進(jìn)行搬入搬出。在緩沖部^5a、26b載置有物品18的情況下，空載的區(qū)間臺(tái)車22與空載的高架輸送車12能夠進(jìn)行搬入搬出。此外，高架輸送車12使物品18經(jīng)由由一對(duì)行駛軌道構(gòu)成的區(qū)間軌道20的間隙而升降，關(guān)于該機(jī)構(gòu)詳見(jiàn)后述。上述結(jié)果使區(qū)間臺(tái)車22及高架輸送車12能夠相對(duì)于緩沖部25a、25bJ6a、26b進(jìn)行搬入搬出。由于緩沖部^a、26b與緩沖部25a、2^相比位于較高的位置，故高架輸送車 12及區(qū)間臺(tái)車22能夠縮短轉(zhuǎn)移時(shí)間。特別是區(qū)間臺(tái)車22能夠使轉(zhuǎn)移物品18時(shí)的升降量變短，能夠縮短轉(zhuǎn)移時(shí)間。另外由于緩沖部25a、25bJ6a、26b被設(shè)置在裝載ロ 6的附近，故區(qū)間臺(tái)車22能夠以短時(shí)間在裝載ロ 6與緩沖部25a、25bJ6a、26b之間搬送物品18。圖2是沿著圖1的II-II線觀察下側(cè)的圖，除去高架輸送車12與軌道10而表示搬送系統(tǒng)2。區(qū)間軌道20如圖2所示由ー對(duì)軌道構(gòu)成，軌道間是間隙34。該間隙M的寬度大于物品18的縱深，物品18能夠沿豎直方向通過(guò)間隙。另外在裝載ロ 6的上部設(shè)置充電裝置36，用于向區(qū)間臺(tái)車22進(jìn)行充電。在圖1、圖2中是將充電裝置36配置在一方的裝載ロ 6的正上部，但也可以配置在另一方的裝載ロ的上部、或一對(duì)裝載ロ 6、6的中間部等。高架輸送車12除了處理裝置4立即需要的物品之外，是用緩沖部25a、25bJ6a、 26b將物品18卸貨。另外除了下一個(gè)處理裝置立即需要的物品之外，高架輸送車12搬出緩沖部25a、25bJ6aJ6b的物品而不是裝載ロ 6上的物品。并且裝載ロ 6與緩沖部25a、25b J6a、26b之間的搬送基本上由區(qū)間臺(tái)車22來(lái)進(jìn)行。其結(jié)果，即便是區(qū)間臺(tái)車22由于充電而在裝載ロ 6的上部停止，也不會(huì)干渉由高架輸送車12進(jìn)行的物品的搬送。此外充電裝置36也可以設(shè)置在面對(duì)緩沖部25a、25b、^a、^b的位置。在該情況下，當(dāng)區(qū)間臺(tái)車22由于充電而長(zhǎng)時(shí)間停止在該位置時(shí)，則會(huì)妨礙高架輸送車12相對(duì)于緩沖部進(jìn)行搬入搬出。圖3表示區(qū)間臺(tái)車22的結(jié)構(gòu)，38是行駛車輪，由行駛電機(jī)40驅(qū)動(dòng)，42是蓄電池， 經(jīng)由用電裝置43而由充電裝置36進(jìn)行充電，向用電裝置43的供電，例如可以是非接觸供電、由連接器或充電連接器等進(jìn)行的接觸充電的任ー種。44是提升機(jī)，用于使升降臺(tái)23升降，45是夾頭，用于對(duì)物品18上部的凸緣進(jìn)行把持及釋放。圖4表示搬送系統(tǒng)內(nèi)的通信，高架輸送車控制器50與高架輸送車12進(jìn)行通信并分配搬送指令。例如，充電裝置36兼做區(qū)間臺(tái)車22的控制器，經(jīng)由通信単元51在與高架輸送車控制器50之間進(jìn)行通信，由此向高架輸送車控制器50報(bào)告在緩沖部25a、25bJ6a、 26b上有無(wú)物品18及其ID。另外充電裝置36從高架輸送車控制器50接收關(guān)于經(jīng)由緩沖部25a、25bJ6aJ6b的物品18的搬送指示。通信単元52與高架輸送車12通信，進(jìn)行高架輸送車12在與緩沖部25a、25bJ6a、26b之間交接物品18時(shí)的聯(lián)鎖。通信単元53與區(qū)間臺(tái)車22的通信単元M通信，指示緩沖部25a、25b、26a、2m3與裝載ロ 6間的物品18向區(qū)間臺(tái)車22的轉(zhuǎn)移。對(duì)搬送系統(tǒng)2的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。搬送系統(tǒng)的目標(biāo)是在處理裝置4恰好需要的時(shí)刻將物品18向裝載ロ 6供給，當(dāng)物品18從內(nèi)部向裝載ロ 6搬出吋，立即向處理裝置4的外部搬離。因此只要相對(duì)于處理裝置4有專屬的區(qū)間臺(tái)車22和緩沖部25a、25bJ6aJ6b即可。將處理裝置4所需的物品18預(yù)先保持于緩沖部25a、25bJ6aJ6b，并在處理裝置4所要求的時(shí)刻向裝載ロ 6搬送即可。另外，只要是將從內(nèi)部向裝載ロ 6搬送的物品18，用區(qū)間臺(tái)車22立即向緩沖部25a、25bJ6a、26b轉(zhuǎn)移即可。并且高架輸送車12進(jìn)行比緩沖部25a、 25b,26a,26b更靠遠(yuǎn)方的搬送，高架輸送車12能夠相對(duì)于緩沖部25a、25bJ6aJ6b中的任一個(gè)進(jìn)行搬入搬出，也能夠在緊急時(shí)等直接相對(duì)于裝載ロ 6進(jìn)行搬入搬出。有時(shí)在處理裝置4需要的時(shí)刻，所需的物品18卻未被載置于緩沖部25a、25bJ6a、 26b0在這樣的情況下，當(dāng)高架輸送車12能夠?qū)⑽锲?8直接地向裝載ロ卸貨時(shí)，則能夠縮短處理裝置4的等待時(shí)間。另外，在下一個(gè)處理裝置所需的物品的搬送延遲的情況下，當(dāng)高架輸送車12從裝載ロ 6直接將物品18搬離時(shí)，則能夠縮短下一個(gè)處理裝置的等待時(shí)間。由于區(qū)間臺(tái)車22沿著區(qū)間軌道20行駛較短的距離，故簡(jiǎn)單的臺(tái)車即可。與作為控制器的充電裝置36的通信通過(guò)以下方式進(jìn)行例如將導(dǎo)體的區(qū)間軌道20兼作信號(hào)線、沿著區(qū)間軌道20設(shè)置饋電線、或者在臺(tái)車22與充電裝置36之間進(jìn)行無(wú)線通信等。并且，通往充電裝置36的電源與高架輸送車控制器50之間的通信線，能夠利用支柱27等進(jìn)行布線。在實(shí)施例中，雖示出將區(qū)間軌道20配置在軌道10的正下方的例子，但并不局限于此。圖5表示這樣的例子，與實(shí)施例相同的標(biāo)記表示相同的部件。60是新的區(qū)間軌道，其以避開(kāi)軌道10的正下方的方式配置在軌道10的下方，62是新的區(qū)間臺(tái)車。區(qū)間臺(tái)車62利用導(dǎo)輪63 65而被區(qū)間軌道60支承并行駛，67、68是新的支柱，其他方面與圖1 圖4的實(shí)施例相同。最佳實(shí)施例圖6表示最佳實(shí)施例，與圖1 圖4相同的標(biāo)記表示相同的部件，除特殊指出的方面以外，與圖1 圖4的實(shí)施例相同。高架輸送車12沿著圖6的箭頭向ー個(gè)方向行駛。處理裝置4例如具備ー對(duì)裝載ロ 6、6，在高架輸送車12的行駛方向且在各裝載ロ 6、6的上游側(cè)設(shè)置有第一緩沖部70，在各裝載ロ 6、6的下游側(cè)設(shè)置有第二緩沖部71。此外，每個(gè)處理裝置4的裝載ロ 6的數(shù)量是任意的。區(qū)間軌道20從裝載ロ 6、6的上游側(cè)的第一緩沖部70 的上部延伸到下游側(cè)的第二緩沖部71的上部。72是水平的機(jī)架，由支柱27支承，且從裝載 ロ 6、6的上部向其左右(上游側(cè)和下游側(cè))延伸，并支承緩沖部70、71。緩沖部70、71被配置在未支承物品18的區(qū)間臺(tái)車22能夠在上方行駛、而支承有物品18的區(qū)間臺(tái)車22不能在上方行駛的高度。在俯視觀察下，軌道10及軌道20與緩沖部70、71重合，在軌道10、20的正下方有裝載ロ 6、6。另外，軌道20由兩條導(dǎo)軌構(gòu)成，在導(dǎo)軌之間有供物品18沿豎直方向自如地通過(guò)的間隙。沿著軌道20，區(qū)間臺(tái)車22的停止位置例如有四個(gè)位置，在各個(gè)位置設(shè)置充電連接器等充電裝置74，從而向區(qū)間臺(tái)車的鋰離子電池等蓄電池或雙電荷層電容器等蓄電器進(jìn)行充電。由于區(qū)間臺(tái)車22能夠接受停止的隨時(shí)充電，故能夠由小容量的蓄電池或小容量的電容器驅(qū)動(dòng)。此外由于裝載ロ 6、6的正上方的位置不適于區(qū)間臺(tái)車22的待機(jī)位置，故可以只在緩沖部70、71的正上方的位置設(shè)置充電裝置74。73是控制器，控制區(qū)間臺(tái)車22，并且與高架輸送車12或圖4的高架輸送車控制器 50通信。機(jī)架72在裝載ロ 6、6的上部例如具備ー對(duì)俯視傳感器(Look Down Sensor) 76, 76，用于監(jiān)視裝載ロ 6、6附近的干渉物，例如作業(yè)者。俯視傳感器76例如，具備激光光源、 改變激光的方向并掃描圖6的點(diǎn)劃線的范圍的機(jī)構(gòu)、以及反射光的感光元件。并且，例如當(dāng)監(jiān)視圖6的點(diǎn)劃線的范圍內(nèi)的物體且在點(diǎn)劃線的范圍內(nèi)檢測(cè)到物體吋，則控制器73禁止相應(yīng)的裝載ロ 6相對(duì)于區(qū)間臺(tái)車22和高架輸送車12的轉(zhuǎn)移。此外，也可以用ー個(gè)俯視傳感器監(jiān)視多個(gè)裝載ロ 6。另外控制器73也可以不與高架輸送車12直接通信，而經(jīng)由圖4的高架輸送車控制器50進(jìn)行通信。對(duì)最佳實(shí)施例的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。高架輸送車12將物品18向緩沖部70、71卸貨 (搬入)，并且將裝載ロ 6、6上的物品18搬出(裝貨)。在緩沖部70有空閑、且在裝載ロ 6 有應(yīng)搬出的物品18的情況下，高架輸送車12將搬送來(lái)的物品18向緩沖部70卸貨，并且將物品18從裝載ロ 6搬出。因此能夠用一臺(tái)高架輸送車12執(zhí)行搬入和搬出。區(qū)間臺(tái)車22將緩沖部70、71的物品搬入裝載ロ 6、6。區(qū)間臺(tái)車22的待機(jī)位置在緩沖部70、71的上部，交替地改變待機(jī)位置。例如當(dāng)將緩沖部71上的物品搬入裝載ロ 6吋，能夠在緩沖部70上待機(jī)，接著將緩沖部70的物品迅速地搬入裝載ロ 6。此外在緩沖部70、71上均無(wú)物品18的情況下，也可以在緩沖部71上待機(jī)，以使高架輸送車12能夠?qū)⑽锲?8向緩沖部70卸貨。在裝載ロ 6、6有可能因物品18發(fā)生溢出的情況下，區(qū)間臺(tái)車22也可以將物品從裝載ロ 6搬出到緩沖部70、71。另外，對(duì)于特急物品，高架輸送車12也可以將物品直接搬入裝載ロ 6。在最佳實(shí)施例中，緩沖部70、71與裝載ロ 6、6鄰接，軌道20與緩沖部70、71的高度差較小。因此區(qū)間臺(tái)車22能夠以短時(shí)間將物品18從緩沖部70、71搬入裝載ロ 6。對(duì)于高架輸送車12，與處理裝置4具備兩個(gè)搬出專用的裝載ロ和兩個(gè)搬入專用的裝載ロ相同。 因此能夠減少不能將物品18向裝載ロ 6卸貨的故障。另外對(duì)于處理裝置4，能夠在緩沖部 70、71最多堆積兩個(gè)預(yù)處理的物品。在實(shí)施例中得到以下的效果。
(1)能夠不堵塞處理裝置4的前表面而設(shè)置緩沖部25a、25bJ6aJ6b。(2)能夠?qū)⒐└呒茌斔蛙?2行駛的空間與供區(qū)間臺(tái)車22行駛的空間在豎直方向重合，從而能夠減小在俯視觀察下搬送系統(tǒng)所占的占地面積。(3)由于將緩沖部25a、25bJ6aJ6b以階梯狀配置為上下兩層，故高架輸送車12 和區(qū)間臺(tái)車22能夠相對(duì)于任意的緩沖部25a、25bJ6a、26b進(jìn)行搬入搬出。特別是由于緩沖部沈a、26b與區(qū)間軌道20之間的高度水平差減小，故能夠以較小的升降量來(lái)供給搬出物
ロロ Io0(4)由于物品18通過(guò)設(shè)置于區(qū)間軌道20的間隙34，故能夠?qū)^(qū)間軌道20和緩沖部25a、25bJ6a、26b配置在高架輸送車12的軌道10的正下方。(5)能夠基本不改造處理裝置4以及已設(shè)的高架輸送車系統(tǒng)，而后安裝由區(qū)間軌道20和區(qū)間臺(tái)車22以及緩沖部25a、25bJ6a、26b構(gòu)成的搬送系統(tǒng)。(6)由于區(qū)間臺(tái)車22在較短的區(qū)間軌道20上往復(fù)運(yùn)動(dòng)，故能夠在裝載ロ 6與緩沖部25a、25bJ6a、26b之間迅速地供給搬出物品。特別是當(dāng)在裝載ロ 6的前后兩側(cè)設(shè)置緩沖部25a、25bJ6aJ6b時(shí)，能夠在裝載ロ 6的附近設(shè)置多個(gè)緩沖部25a、25bJ6aJ6b。(7)當(dāng)在裝載ロ 6的上部設(shè)置充電裝置36吋，能夠不妨礙高架輸送車12相對(duì)于緩沖部25a、25bJ6a、26b搬入搬出，而對(duì)區(qū)間臺(tái)車22的蓄電池42進(jìn)行充電。另外，由于是蓄電池驅(qū)動(dòng)，故無(wú)需與區(qū)間軌道20并列設(shè)置供電軌道。此外，無(wú)需在所有的處理裝置4設(shè)置由緩沖部70、71和區(qū)間軌道20以及區(qū)間臺(tái)車 22構(gòu)成的系統(tǒng)。例如，也可以只在物品18的處理量較多的處理裝置4上設(shè)置。搬送的物品 18的種類可以任意，例如，可以是容納半導(dǎo)體曝光用的中間掩膜的盒體、平板顯示器的基板寸。
1權(quán)利要求
1.ー種搬送系統(tǒng)，用于在多個(gè)處理裝置之間搬送物品，該搬送系統(tǒng)包括高架輸送車軌道，其在處理裝置的裝載ロ的上部通過(guò)；以及高架輸送車，其沿著所述高架輸送車軌道向 ー個(gè)方向行駛且具備提升機(jī)，該搬送系統(tǒng)的特征在干，包括區(qū)間軌道，其在所述高架輸送車軌道的下方且沿著所述ー個(gè)方向從處理裝置的裝載ロ 的上游側(cè)到下游側(cè)配置在裝載ロ的上方，并且與高架輸送車軌道平行地配置；區(qū)間臺(tái)車，其在所述區(qū)間軌道上行駛，并且具備使物品升降的提升機(jī)；第一緩沖部，其在所述區(qū)間軌道的下部且沿著所述ー個(gè)方向配置在處理裝置的裝載ロ 的上游側(cè)，并且使高架輸送車與區(qū)間臺(tái)車都自如地交接物品；以及第二緩沖部，其在所述區(qū)間軌道的下部且沿著所述ー個(gè)方向配置在處理裝置的裝載ロ 的下游側(cè)，并且使高架輸送車與區(qū)間臺(tái)車都自如地交接物品。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬送系統(tǒng)，其特征在干，所述第一緩沖部和所述第二緩沖部構(gòu)成為能夠分別ー個(gè)ー個(gè)地載置物品。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的搬送系統(tǒng)，其特征在干，所述第一緩沖部和所述第二緩沖部被配置在下述的高度在所述第一緩沖部和所述第 ニ緩沖部載置有物品吋，只有未支承物品的區(qū)間臺(tái)車能夠在第一緩沖部和第二緩沖部的上方行駛，在所述第一緩沖部和所述第二緩沖部未載置物品吋，支承物品的區(qū)間臺(tái)車和未支承物品的區(qū)間臺(tái)車均在第一緩沖部和第二緩沖部的上方行駛自如的高度。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬送系統(tǒng)，其特征在干，所述第一緩沖部和所述第二緩沖部分別為具有上層和下層的兩層臺(tái)階狀的結(jié)構(gòu)，第一緩沖部和第二緩沖部能夠在上層和下層分別ー個(gè)ー個(gè)地載置物品，下層被配置在接近裝載 ロ的ー側(cè)，上層被配置在距離裝載ロ較遠(yuǎn)的ー側(cè)，且所述下層和所述上層被配置在下述高度與下層有無(wú)物品載置無(wú)關(guān)，支承物品的區(qū)間臺(tái)車和未支承物品的區(qū)間臺(tái)車均自如地通過(guò)下層的上方，在上層載置有物品吋，只有未支承物品的區(qū)間臺(tái)車在上層的上方行駛自如， 在上層未載置物品時(shí)，支承物品的區(qū)間臺(tái)車和未支承物品的區(qū)間臺(tái)車均在上層的上方行駛自如的高度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的搬送系統(tǒng)，其特征在干，所述區(qū)間軌道由兩條平行的導(dǎo)軌構(gòu)成，且在兩條導(dǎo)軌之間設(shè)置有能夠供物品沿豎直方向移動(dòng)的間隙。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的搬送系統(tǒng)，其特征在干，所述搬送系統(tǒng)還具備控制高架輸送車和區(qū)間臺(tái)車的単元，以便高架輸送車進(jìn)行向所述第一緩沖部和所述第二緩沖部的物品的搬入、以及來(lái)自所述裝載ロ的物品的搬出，所述區(qū)間臺(tái)車進(jìn)行從所述第一緩沖部和所述第二緩沖部向所述裝載ロ的物品的搬入。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的搬送系統(tǒng)，其特征在干，由配置在裝載ロ的上方的水平的機(jī)架來(lái)支承所述第一緩沖部和所述第二緩沖部，在所述機(jī)架上設(shè)置有用于檢測(cè)裝載ロ側(cè)的干渉物的俯視傳感器。
8.—種搬送系統(tǒng)，是后安裝于已設(shè)的高架輸送車系統(tǒng)的搬送系統(tǒng)，該搬送系統(tǒng)的特征在干，包括區(qū)間軌道，其在所述高架輸送車軌道的下方且沿著所述ー個(gè)方向從處理裝置的裝載ロ 的上游側(cè)到下游側(cè)配置在裝載ロ的上方，并且與高架輸送車軌道平行地配置；區(qū)間臺(tái)車，其在所述區(qū)間軌道上行駛，并且具備使物品升降的提升機(jī)； 第一緩沖部，其在所述區(qū)間軌道的下部且沿著所述ー個(gè)方向配置在處理裝置的裝載ロ 的上游側(cè)，并且使高架輸送車與區(qū)間臺(tái)車都自如地交接物品；以及第二緩沖部，其在所述區(qū)間軌道的下部且沿著所述ー個(gè)方向配置在處理裝置的裝載ロ 的下游側(cè)，并且使高架輸送車與區(qū)間臺(tái)車都自如地交接物品。
9.ー種搬送系統(tǒng)，用于在多個(gè)處理裝置之間搬送物品，該搬送系統(tǒng)包括高架輸送車軌道，其在處理裝置的裝載ロ的上部通過(guò)；以及高架輸送車，其沿著所述高架輸送車軌道向 ー個(gè)方向行駛且具備提升機(jī)，該搬送系統(tǒng)的特征在于，設(shè)置有區(qū)間軌道，其被配置在所述高架輸送車軌道的下方且在所述裝載ロ的上方，并且與高架輸送車軌道平行地配置；區(qū)間臺(tái)車，其在所述區(qū)間軌道上行駛，且具備使物品升降的提升機(jī)；以及具有上層和下層的兩層臺(tái)階狀的緩沖部，能夠在所述上層和所述下層分別ー個(gè)一個(gè)地載置物品，下層配置在接近裝載ロ的一側(cè)，上層配置在距離裝載ロ較遠(yuǎn)的ー側(cè)，且下層和上層被配置在下述的高度與下層有無(wú)物品載置無(wú)關(guān)，支承物品的區(qū)間臺(tái)車和未支承物品的區(qū)間臺(tái)車均在下層的上方自如地通過(guò)， 在上層載置有物品時(shí)，僅未支承物品的區(qū)間臺(tái)車能在上層的上方行駛自如，在上層未載置物品時(shí)，支承物品的區(qū)間臺(tái)車和未支承物品的區(qū)間臺(tái)車均在上層的上方行駛自如的高度。
10.ー種搬送方法，是用在處理裝置的裝載ロ的上部通過(guò)的高架輸送車軌道、和沿著所述高架輸送車軌道向ー個(gè)方向行駛且具備提升機(jī)的高架輸送車向裝載ロ搬送物品的方法，該搬送方法的特征在于，設(shè)置有區(qū)間軌道，其在所述高架輸送車軌道的下方且沿著所述ー個(gè)方向從處理裝置的裝載ロ 的上游側(cè)到下游側(cè)配置在裝載ロ的上方，并且與高架輸送車軌道平行地配置； 區(qū)間臺(tái)車，其在所述區(qū)間軌道上行駛，并且具備使物品升降的提升機(jī)； 第一緩沖部，其在所述區(qū)間軌道的下部且沿著所述ー個(gè)方向配置在處理裝置的裝載ロ 的上游側(cè)，并且使高架輸送車與區(qū)間臺(tái)車都自如地交接物品；以及第二緩沖部，其在所述區(qū)間軌道的下部且沿著所述ー個(gè)方向配置在處理裝置的裝載ロ 的下游側(cè)，并且使高架輸送車與區(qū)間臺(tái)車都自如地交接物品， 該搬送方法執(zhí)行以下步驟高架輸送車將物品向第一緩沖部或第二緩沖部卸貨的步驟； 區(qū)間臺(tái)車將第一緩沖部或第二緩沖部的物品向裝載ロ卸貨的步驟；以及高架輸送車將裝載ロ的物品搬出的步驟。
全文摘要
本發(fā)明提供一種搬送系統(tǒng)以及搬送方法，能夠不堵塞處理裝置的前表面并且減小在俯視觀察下搬送系統(tǒng)所占的占地面積，且迅速地向處理裝置供給搬出物品。與高架輸送車軌道平行且在高架輸送車軌道的下方，設(shè)置從處理裝置的裝載口的上游側(cè)到下游側(cè)且配置于裝載口的上方的區(qū)間軌道，供具備提升機(jī)的區(qū)間臺(tái)車行駛。在區(qū)間軌道的下部設(shè)置有配置在處理裝置的裝載口的上游側(cè)的第一緩沖部、和配置在下游側(cè)的第二緩沖部，從而使高架輸送車和區(qū)間臺(tái)車都自如地交接物品。
文檔編號(hào)H01L21/677GK102530553SQ20111033893
公開(kāi)日2012年7月4日 申請(qǐng)日期2011年10月28日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月4日
發(fā)明者伊藤靖久, 太田達(dá)司, 福島正純 申請(qǐng)人:村田自動(dòng)化機(jī)械有限公司