專利名稱：一種晶圓固定裝置及其使用方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及集成電路制造工藝技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓固定裝置及其使用方法。
背景技術(shù)：
制造具有微小結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體元件需要高度精確的技術(shù)。在制造過(guò)程中，將晶圓置于承載臺(tái)上，對(duì)晶圓進(jìn)行不同制程時(shí)，需要將晶圓固定，而制程結(jié)束后又需要將晶圓取出， 若晶圓固定或取出的時(shí)候有所偏差，容易對(duì)晶圓造成損傷，因此對(duì)晶圓的固定狀態(tài)進(jìn)行檢測(cè)至關(guān)重要。圖1為現(xiàn)有技術(shù)中晶圓固定裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。參照?qǐng)D1，晶圓固定裝置包括多個(gè)推動(dòng)元件11，多個(gè)推動(dòng)元件11固定在基板16內(nèi)，與多個(gè)推動(dòng)元件11分別連接的多個(gè)推盤12，所述多個(gè)推盤12分別與多個(gè)夾具13連接，推動(dòng)元件11控制推盤12的運(yùn)動(dòng)， 而推盤12控制夾具13的開合，在夾具處于開狀態(tài)時(shí)，準(zhǔn)備固定住晶圓，在夾具處于合狀態(tài)時(shí)，準(zhǔn)備取出晶圓。在其中一個(gè)推動(dòng)元件11上設(shè)置監(jiān)測(cè)元件14，通過(guò)該監(jiān)測(cè)元件14監(jiān)測(cè)與其對(duì)應(yīng)的推動(dòng)元件11是否正常工作，若有異常，對(duì)晶圓固定裝置進(jìn)行檢驗(yàn)。監(jiān)測(cè)元件14將監(jiān)測(cè)得到的信息傳輸至信號(hào)控制分析器15，由信號(hào)控制分析器15作出信息有無(wú)異常的判斷。但是若未安裝監(jiān)測(cè)元件14的推動(dòng)元件11發(fā)生異常，或與其對(duì)應(yīng)的夾具13發(fā)生異常， 該監(jiān)測(cè)元件14并不能檢測(cè)出異常，因此可能發(fā)生的某個(gè)夾具13不能正常開合未被檢測(cè)出， 而最終導(dǎo)致由多個(gè)夾具13共同固定的晶圓，由于其中該夾具13的故障可能發(fā)生晶圓未固定好，晶圓容易發(fā)生傾斜，導(dǎo)致晶圓滑落，造成一定的經(jīng)濟(jì)損失。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供了一種晶圓固定裝置及其使用方法，以解決僅僅通過(guò)檢測(cè)晶圓固定裝置中一個(gè)推動(dòng)元件，無(wú)法避免其他推動(dòng)元件發(fā)生故障對(duì)晶圓造成損傷的問(wèn)題。為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的技術(shù)方案是本發(fā)明提供的晶圓固定裝置包括多個(gè)推動(dòng)元件及其分別控制的多個(gè)夾具，還包括在所述多個(gè)推動(dòng)元件上分別設(shè)置相互信號(hào)連接的監(jiān)測(cè)元件，每個(gè)所述監(jiān)測(cè)元件均與信號(hào)控制分析器連接。進(jìn)一步的，在所述晶圓固定裝置中，所述推動(dòng)元件為汽缸。進(jìn)一步的，在所述晶圓固定裝置中，相互信號(hào)連接的監(jiān)測(cè)元件的連接方式為串聯(lián)。進(jìn)一步的，在所述晶圓固定裝置中，所述推動(dòng)元件的數(shù)量為3個(gè)。進(jìn)一步的，在所述晶圓固定裝置中，所述夾具的數(shù)量為3個(gè)。進(jìn)一步的，在所述晶圓固定裝置中，所述信號(hào)控制分析器包括報(bào)警元件。進(jìn)一步的，在所述晶圓固定裝置中，還包括多個(gè)推盤，多個(gè)所述推動(dòng)元件分別與多個(gè)所述推盤連接，多個(gè)所述推盤與多個(gè)所述夾具連接。本發(fā)明還提供一種利用上述晶圓固定裝置的使用方法，包括多個(gè)監(jiān)測(cè)元件分別讀取推動(dòng)元件的位置移動(dòng)信息；將所述位置移動(dòng)信息傳送至信號(hào)控制分析器；所述信號(hào)控制分析器比較每個(gè)所述推動(dòng)元件的位置移動(dòng)信息是否正常；若位置移動(dòng)信息異常，對(duì)所述晶圓固定裝置進(jìn)行檢查。進(jìn)一步的，在所述晶圓固定裝置的使用方法中，所述位置移動(dòng)信息包括所述推動(dòng)元件上下移動(dòng)的位移。進(jìn)一步的，在所述晶圓固定裝置的使用方法中，所述位置移動(dòng)信息異常包括每個(gè)所述推動(dòng)元件上下移動(dòng)的位移不相等。進(jìn)一步的，在所述晶圓固定裝置的使用方法中，所述信號(hào)控制分析器包括報(bào)警元件，當(dāng)位置移動(dòng)信息異常時(shí)，所述報(bào)警元件發(fā)出報(bào)警信號(hào)。本發(fā)明提供的晶圓固定裝置，在每個(gè)推動(dòng)元件上均設(shè)置監(jiān)測(cè)元件，以保證能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)每個(gè)推動(dòng)元件以及每個(gè)推動(dòng)元件對(duì)應(yīng)的夾具是否正常工作，從而保證每個(gè)夾具均能正常夾住晶圓。本發(fā)明提供的晶圓固定裝置的使用方法，多個(gè)監(jiān)測(cè)元件分別讀取推動(dòng)元件的位置移動(dòng)信息后，將所述位置移動(dòng)信息傳送至信號(hào)控制分析器，監(jiān)測(cè)每個(gè)推動(dòng)元件以及每個(gè)推動(dòng)元件對(duì)應(yīng)的夾具是否正常工作，從而保證經(jīng)由夾具夾持的晶圓的作業(yè)安全性。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)中晶圓固定裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的晶圓固定裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的晶圓固定裝置的使用方法的步驟流程圖。
具體實(shí)施例方式以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明提出的一種晶圓固定裝置及其使用方法作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。根據(jù)下面說(shuō)明和權(quán)利要求書，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用于方便、明晰地輔助說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例的目的。本發(fā)明的核心思想在于，提供一種晶圓固定裝置，在每個(gè)推動(dòng)元件上均設(shè)置監(jiān)測(cè)元件，以保證能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)每個(gè)推動(dòng)元件以及每個(gè)推動(dòng)元件對(duì)應(yīng)的夾具是否正常工作，從而保證每個(gè)夾具均能正常夾住晶圓。本發(fā)明還提供了晶圓固定裝置的使用方法，多個(gè)監(jiān)測(cè)元件分別讀取推動(dòng)元件的位置移動(dòng)信息后，將所述位置移動(dòng)信息傳送至信號(hào)控制分析器， 監(jiān)測(cè)每個(gè)推動(dòng)元件以及每個(gè)推動(dòng)元件對(duì)應(yīng)的夾具是否正常工作，從而保證經(jīng)由夾具夾持的晶圓的作業(yè)安全性。圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的晶圓固定裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。參照?qǐng)D2，晶圓固定裝置包括多個(gè)推動(dòng)元件21及其分別控制的多個(gè)夾具23，還包括在所述多個(gè)推動(dòng)元件21 上分別設(shè)置相互信號(hào)連接的監(jiān)測(cè)元件對(duì)，每個(gè)所述監(jiān)測(cè)元件M均與信號(hào)控制分析器25連接。進(jìn)一步地，晶圓固定裝置還包括多個(gè)推盤22，多個(gè)所述推動(dòng)元件21分別與多個(gè)所述推盤22連接，多個(gè)所述推盤22與多個(gè)所述夾具23連接，多個(gè)推動(dòng)元件21固定在基板沈內(nèi)。在本實(shí)施例中，所述推動(dòng)元件21為氣缸，數(shù)量為3個(gè)，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)該理解， 所述推動(dòng)元件21不僅僅為氣缸，還可以是其它能夠帶動(dòng)所述推盤22的驅(qū)動(dòng)裝置。
具體地，每個(gè)氣缸推動(dòng)推盤22運(yùn)動(dòng)，進(jìn)一步使與推盤22連接的夾具23進(jìn)行開合動(dòng)作，在每個(gè)氣缸外壁分別設(shè)置有監(jiān)測(cè)元件對(duì)，三個(gè)監(jiān)測(cè)元件M串聯(lián)并均連接至信號(hào)控制分析器25，每個(gè)監(jiān)測(cè)元件M將監(jiān)測(cè)到的氣缸的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)以及夾具23的開合狀態(tài)在信號(hào)控制分析器25中進(jìn)行分析，并做出相應(yīng)的指令。優(yōu)選地，所述信號(hào)控制分析器25包括報(bào)警元件(圖中未示出)，若其中一個(gè)推動(dòng)元件21發(fā)生異常作業(yè)或者夾具23發(fā)生故障時(shí)，為了防止利用夾具23固定的晶圓發(fā)生損壞，信號(hào)控制分析器25中包括的報(bào)警元件發(fā)出報(bào)警信號(hào)， 提醒作業(yè)人員對(duì)晶圓固定裝置進(jìn)行檢查。在本實(shí)施例中，氣缸最終驅(qū)動(dòng)的夾具23的數(shù)量為3個(gè)，每個(gè)氣缸分別作用于一個(gè)夾具23，3個(gè)夾具23分別均勻分布與晶圓邊緣，用于固定晶圓。圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的晶圓固定裝置的使用方法的步驟流程圖。參照?qǐng)D3，晶圓固定裝置的使用方法，包括S31、多個(gè)監(jiān)測(cè)元件分別讀取推動(dòng)元件的位置移動(dòng)信息；S32、將所述位置移動(dòng)信息傳送至信號(hào)控制分析器；S33、所述信號(hào)控制分析器比較每個(gè)所述推動(dòng)元件的位置移動(dòng)信息是否正常；S34、若位置移動(dòng)信息異常，對(duì)所述晶圓固定裝置進(jìn)行檢查。具體地，所述位置移動(dòng)信息包括所述推動(dòng)元件21上下移動(dòng)的位移。在本實(shí)施例中，汽缸上下運(yùn)動(dòng)以帶動(dòng)推盤22，從而使推盤22驅(qū)使夾具23開合，以便取出和固定晶圓。 所述位置移動(dòng)信息異常包括每個(gè)所述推動(dòng)元件21上下移動(dòng)的位移不相等，若其中一個(gè)推動(dòng)元件21與其他的運(yùn)動(dòng)不一致，造成其對(duì)應(yīng)的夾具23開合異于其它的夾具23，造成對(duì)晶圓不能完全固定，因此，將這樣的位置移動(dòng)信息異常實(shí)時(shí)通過(guò)監(jiān)測(cè)元件M傳輸至信號(hào)控制分析器25，一旦位置移動(dòng)信息發(fā)生異常時(shí)，信號(hào)控制分析器25中的報(bào)警元件發(fā)出報(bào)警信號(hào)， 作業(yè)人員對(duì)晶圓固定裝置進(jìn)行檢查，以避免晶圓受到損傷。本發(fā)明實(shí)施例提供的晶圓固定裝置的使用方法能夠保證經(jīng)由夾具夾持的晶圓的作業(yè)安全性。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種晶圓固定裝置，包括多個(gè)推動(dòng)元件及其分別控制的多個(gè)夾具，其特征在于，包括在所述多個(gè)推動(dòng)元件上分別設(shè)置相互信號(hào)連接的監(jiān)測(cè)元件，每個(gè)所述監(jiān)測(cè)元件均與信號(hào)控制分析器連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓固定裝置，其特征在于，所述推動(dòng)元件為汽缸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓固定裝置，其特征在于，相互信號(hào)連接的監(jiān)測(cè)元件的連接方式為串聯(lián)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓固定裝置，其特征在于，所述推動(dòng)元件的數(shù)量為3個(gè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓固定裝置，其特征在于，所述夾具的數(shù)量為3個(gè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓固定裝置，其特征在于，所述信號(hào)控制分析器包括報(bào)警元件。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓固定裝置，其特征在于，還包括多個(gè)推盤，多個(gè)所述推動(dòng)元件分別與多個(gè)所述推盤連接，多個(gè)所述推盤與多個(gè)所述夾具連接。
8.一種利用如權(quán)利要求1所述的晶圓固定裝置的使用方法，其特征在于，包括多個(gè)監(jiān)測(cè)元件分別讀取推動(dòng)元件的位置移動(dòng)信息；將所述位置移動(dòng)信息傳送至信號(hào)控制分析器；所述信號(hào)控制分析器比較每個(gè)所述推動(dòng)元件的位置移動(dòng)信息是否正常；若位置移動(dòng)信息異常，對(duì)所述晶圓固定裝置進(jìn)行檢查。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的晶圓固定裝置的使用方法，其特征在于，所述位置移動(dòng)信息包括所述推動(dòng)元件上下移動(dòng)的位移。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的晶圓固定裝置的使用方法，其特征在于，所述位置移動(dòng)信息異常包括每個(gè)所述推動(dòng)元件上下移動(dòng)的位移不相等。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的晶圓固定裝置的使用方法，其特征在于，所述信號(hào)控制分析器包括報(bào)警元件，當(dāng)位置移動(dòng)信息異常時(shí)，所述報(bào)警元件發(fā)出報(bào)警信號(hào)。
全文摘要
本發(fā)明提供的晶圓固定裝置包括多個(gè)推動(dòng)元件及其分別控制的多個(gè)夾具，還包括在所述多個(gè)推動(dòng)元件上分別設(shè)置相互信號(hào)連接的監(jiān)測(cè)元件，每個(gè)所述監(jiān)測(cè)元件均與信號(hào)控制分析器連接。本發(fā)明還提供一種利用上述晶圓固定裝置的使用方法，包括多個(gè)監(jiān)測(cè)元件分別讀取推動(dòng)元件的位置移動(dòng)信息；將所述位置移動(dòng)信息傳送至信號(hào)控制分析器；所述信號(hào)控制分析器比較每個(gè)所述推動(dòng)元件的位置移動(dòng)信息是否正常；若位置移動(dòng)信息異常，對(duì)所述晶圓固定裝置進(jìn)行檢查。本發(fā)明提供的晶圓固定裝置，在每個(gè)推動(dòng)元件上均設(shè)置監(jiān)測(cè)元件，以保證能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)每個(gè)推動(dòng)元件以及每個(gè)推動(dòng)元件對(duì)應(yīng)的夾具是否正常工作，從而保證每個(gè)夾具均能正常夾住晶圓。
文檔編號(hào)H01L21/683GK102339781SQ201110301030
公開日2012年2月1日 申請(qǐng)日期2011年9月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月28日
發(fā)明者包中誠(chéng), 華俊杰, 陳超 申請(qǐng)人:上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司