專利名稱：納米多層膜、場(chǎng)效應(yīng)管、傳感器、隨機(jī)存儲(chǔ)器及制備方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于鐵電或多鐵性材料領(lǐng)域，具體地說，涉及一種由電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)的有可逆電致電阻效應(yīng)(Electroresistance effect, ER)的多層膜及其制備方法和用途。
背景技術(shù)：
電致電阻效應(yīng)是材料的電阻在外加電場(chǎng)下產(chǎn)生明顯的變化，表現(xiàn)為特有的電阻-電場(chǎng)曲線。利用這一效應(yīng)可以通過調(diào)節(jié)外加電場(chǎng)來對(duì)材料的電阻進(jìn)行調(diào)控。當(dāng)外加電場(chǎng)為正或負(fù)向時(shí)，材料的電阻表現(xiàn)為高或低阻態(tài)。電致電阻效應(yīng)的高、低電阻態(tài)正好對(duì)應(yīng)電子信息中的“0”和“ 1 ”兩個(gè)狀態(tài)。為此利用該種電致電阻效應(yīng)可以發(fā)展許多電子器件，如電場(chǎng)調(diào)制型場(chǎng)效應(yīng)管、開關(guān)型電場(chǎng)傳感器、電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)型隨機(jī)存儲(chǔ)器(Electric-field-switching Random Access Memory，ERAM)(簡(jiǎn)稱電隨機(jī)存儲(chǔ)器)等電子器件。(參考文獻(xiàn)S. Rizwan and X. F. Han*et al.，CPL Vol. 28,No. 1(^2011) 107504)。一般而言將這種效應(yīng)歸因于非完全屏蔽的電荷在界面處產(chǎn)生的非對(duì)稱的電勢(shì)分布影響了電子的電導(dǎo)或隧穿電導(dǎo)。因此，基于該種電致電阻效應(yīng)的電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)型隨機(jī)存儲(chǔ)器不同于基于相變理論的隨機(jī)存儲(chǔ)器(相變隨機(jī)存儲(chǔ)器，Phase-change Random Access Memory, PCRAM)；不同于基于以鐵電薄膜電容效應(yīng)為基礎(chǔ)的鐵電存儲(chǔ)器(Ferroelectric Random Access Memory,FeRAM)；也不同于基于各種金屬氧化物薄膜為存儲(chǔ)介質(zhì)單元及其導(dǎo)電通道(conductance filament channel)機(jī)制調(diào)控的電阻型隨機(jī)存儲(chǔ)器(Resistance Random Access Memory，RRAM)。目前鐵電材料由于可電場(chǎng)調(diào)控的自發(fā)電極化以及其它獨(dú)特的物理性質(zhì)，逐漸地成為非易失性隨機(jī)存儲(chǔ)材料的一個(gè)重要的研究方向。然而其中最重要的一個(gè)方面是在鐵電隧穿結(jié)中電極化反轉(zhuǎn)造成的電阻的翻轉(zhuǎn)。鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的鐵電材料由于特有的電極化特性在非易失性存儲(chǔ)器、焦熱電探測(cè)器、開關(guān)型傳感器等微電器件中的應(yīng)用，逐漸重新引起大家的關(guān)注。如何在室溫下獲得較大的電致電阻效應(yīng)是實(shí)現(xiàn)電致電阻效應(yīng)在實(shí)際自旋電子學(xué)器件應(yīng)用中重要關(guān)鍵技術(shù)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提出一種電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜、電場(chǎng)調(diào)制型場(chǎng)效應(yīng)管、開關(guān)型電場(chǎng)傳感器及電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)型隨機(jī)存儲(chǔ)器及其制備方法。該電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜具有顯著的可逆電致電阻效應(yīng)及其不同的電阻態(tài)。本發(fā)明的上述目的是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提出一種電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜，由下至上依次包括底層；基片襯底；緩沖層絕緣勢(shì)壘層導(dǎo)電層；
頂部覆蓋層；其中所述底層為導(dǎo)電材料，作為下電極用于在鐵電或多鐵性材料上施加電場(chǎng)；基片襯底為鐵電或多鐵性材料，可在電場(chǎng)的作用下改變和調(diào)控其電極化強(qiáng)度的大小及其方向；緩沖層作為上電極用于在鐵電或多鐵性材料上施加電場(chǎng)；中間的絕緣勢(shì)壘層為氧化物；頂部覆蓋層為保護(hù)層，防止中間導(dǎo)電層被氧化；通過在所述的底層和緩沖層(上下電極)之間施加電場(chǎng)，由于基片襯底(鐵電或多鐵性材料)的電極化強(qiáng)度大小及其方向的改變，影響和改變相鄰導(dǎo)電層的面內(nèi)電導(dǎo)，可獲得不同電場(chǎng)下不同的電阻態(tài)，導(dǎo)致可逆電致電阻效應(yīng)的產(chǎn)生。其中，所述納米多層膜中，所述的底層包括導(dǎo)電金屬材料。其中，所述納米多層膜中，所述的導(dǎo)電層包括非磁金屬層、磁性金屬層、反鐵磁性層、導(dǎo)電分子材料、拓?fù)浣^緣體材料、或摻雜導(dǎo)電半導(dǎo)體材料等。其中，所述納米多層膜中，所述的非磁金屬層由非磁金屬或其合金組成，厚度為 2-lOOnm;所述的磁性金屬層由磁性金屬或其合金制成，厚度為2-lOOnm或由稀磁半導(dǎo)體材料或半金屬材料制成，厚度為2-lOOnm ；所述的磁性金屬層包括直接或間接釘扎結(jié)構(gòu)，直接釘扎結(jié)構(gòu)包括反鐵磁性層/鐵磁性層；間接釘扎結(jié)構(gòu)包括反鐵磁性層/第一鐵磁性層/非
磁性金屬層/第二鐵磁性層。其中反鐵磁性層由反鐵磁性材料構(gòu)成，所述反鐵磁性材料包括具有反鐵磁性的合金或氧化物。其中，所述納米多層膜中，所述鐵磁性層、第一鐵磁性層和第二鐵磁性層由鐵磁性金屬或其合金制成，厚度為2 IOOnm ；或由稀磁半導(dǎo)體材料或半金屬材料制成，厚度為 2 lOOnm。其中，所述納米多層膜中，所述頂部覆蓋層包括由非易氧化金屬材料制成的單層或多層薄膜，厚度為2 200nm。而且，本發(fā)明提供一種電場(chǎng)調(diào)制型納米多層膜，由下至上依次包括基片襯底；底層；功能層；緩沖層；絕緣勢(shì)壘層；導(dǎo)電層；頂部覆蓋層；其中所述底層為導(dǎo)電材料，作為下電極用于在鐵電或多鐵性材料上施加電場(chǎng)；所述功能層為鐵電或多鐵性薄膜，可在電場(chǎng)的作用下改變和調(diào)控其電極化強(qiáng)度的大小及其方向；所述緩沖層作為上電極用于在鐵電或多鐵性薄膜材料上施加電場(chǎng)；所述中間的絕緣勢(shì)壘層為氧化物；所述頂部覆蓋層為保護(hù)層，防止中間導(dǎo)電層被氧化，通過在所述的底層和緩沖層(上下電極)之間施加電場(chǎng)，由于功能層(鐵電或多鐵性材料)的電極化強(qiáng)度大小及其方向的改變，影響和改變相鄰導(dǎo)電層的面內(nèi)電導(dǎo)，可獲得不同電場(chǎng)下不同的電阻態(tài)，導(dǎo)致可逆電致電阻效應(yīng)的產(chǎn)生。其中，所述納米多層膜中，所述的基片包括Si襯底、SiC、玻璃襯底或Si-SiO2襯底，MgO單晶襯底、Al2O3單晶襯底或者有機(jī)柔性襯底等。其中，所述納米多層膜中，所述的底層包括導(dǎo)電金屬材料。其中，所述納米多層膜中，所述的功能層包括鐵電或多鐵性納米薄膜，可根據(jù)實(shí)際需要預(yù)先沉積種子層，用于優(yōu)化與基片襯底的界面，改善鐵電或多鐵性納米薄膜的晶體結(jié)構(gòu)。其中，所述納米多層膜中，所述導(dǎo)電層生長(zhǎng)在所述絕緣勢(shì)壘層材料上面，其電導(dǎo)能夠通過電極化相互作用或者磁電耦合作用受到底部鐵電或多鐵性薄膜的電極化強(qiáng)度大小及方向的調(diào)控。其中，所述納米多層膜中，所述的導(dǎo)電層包括非磁金屬層、磁性金屬層、反鐵磁性層、導(dǎo)電分子材料、拓?fù)浣^緣體材料、或摻雜導(dǎo)電半導(dǎo)體材料等。其中，所述納米多層膜中，所述的非磁金屬層由非磁金屬或其合金組成，厚度為 2-lOOnm;所述的磁性金屬層由磁性金屬或其合金制成，厚度為2-lOOnm或由稀磁半導(dǎo)體材料或半金屬材料制成，厚度為2-lOOnm ；所述磁性金屬層包括直接或間接釘扎結(jié)構(gòu)，直接釘扎結(jié)構(gòu)包括反鐵磁性層/鐵磁性層；間接釘扎結(jié)構(gòu)包括反鐵磁性層/第一鐵磁性層/非磁
性金屬層/第二鐵磁性層。其中，所述納米多層膜中，所述反鐵磁性層由反鐵磁性材料構(gòu)成，所述反鐵磁性材料包括具有反鐵磁性的合金或氧化物。其中，所述納米多層膜中，所述鐵磁性層、第一鐵磁性層和第二鐵磁性層由鐵磁性金屬或其合金制成，厚度為2 IOOnm ；或由稀磁半導(dǎo)體材料或半金屬材料制成，厚度為 2 lOOnm。其中，所述納米多層膜中，所述頂部覆蓋層包括由非易氧化金屬材料制成的單層或多層薄膜，厚度為2 200nm。而且，本發(fā)明再提出一種電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜，由下至上依次包括底層；基片襯底；磁性層；頂部覆蓋層；其中所述底層為導(dǎo)電材料，作為下電極用于在鐵電或多鐵性材料上施加電場(chǎng)；基片襯底為鐵電或多鐵性材料，可在電場(chǎng)的作用下改變和調(diào)控其電極化強(qiáng)度的大小及其方向；頂部覆蓋層作為上電極和保護(hù)層，防止中間磁性層被氧化，通過在所述的底層和頂部覆蓋層(上下電極)之間施加電場(chǎng)，由于基片襯底(鐵電或多鐵性材料)的電極化強(qiáng)度大小及其方向的改變，影響和改變相鄰磁性層的面內(nèi)電導(dǎo)，可獲得不同電場(chǎng)下不同的電阻態(tài)，導(dǎo)致可逆電致電阻效應(yīng)的產(chǎn)生。其中，所述納米多層膜中，所述的基片包括鐵電或多鐵性材料襯底。其中，所述磁性層能夠完美地生長(zhǎng)在基片襯底材料上面，并能夠通過磁電耦合與基片襯底發(fā)生相互作用。其中，所述納米多層膜中，所述的磁性層由鐵磁金屬或其合金制成，厚度為2-lOOnm ；或由稀磁半導(dǎo)體材料或半金屬材料制成，厚度為2-lOOnm。其中，所述納米多層膜中，所述的磁性層包括直接或間接釘扎結(jié)構(gòu)，直接釘扎結(jié)構(gòu)包括反鐵磁性層)/鐵磁性層；間接釘扎結(jié)構(gòu)包括反鐵磁性層/第一鐵磁性層/非磁性金屬層/第二鐵磁性層。其中，所述納米多層膜中，所述反鐵磁性層由反鐵磁性材料構(gòu)成，所述反鐵磁性材料包括具有反鐵磁性的合金或氧化物。其中，所述納米多層膜中，所述鐵磁性層、第一鐵磁性層和第二鐵磁性層由鐵磁性金屬或其合金制成，厚度為2 IOOnm或由稀磁半導(dǎo)體材料或半金屬材料制成，厚度為2 IOOnm0其中，所述納米多層膜中，所述覆蓋層包括由非易氧化金屬材料制成的單層或多層薄膜，厚度為2 200nm。而且，本發(fā)明再提出一種電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜，由下至上依次包括基片襯底；底層；功能層磁性層；頂部覆蓋層；其中所述的基片襯底為非鐵電或多鐵性材料；所述底層為導(dǎo)電材料，作為下電極用于在功能層上施加電場(chǎng)；功能層為鐵電或多鐵性薄膜，可在電場(chǎng)的作用下改變和調(diào)控其電極化強(qiáng)度的大小及其方向；頂部覆蓋層作為上電極和保護(hù)層，防止中間磁性層被氧化； 通過在所述的底層和頂部覆蓋層(上下電極)之間施加電場(chǎng)，由于功能層(鐵電或多鐵性薄膜材料)的電極化強(qiáng)度大小及其方向的改變，影響和改變相鄰金屬和磁性層的面內(nèi)電導(dǎo)，可獲得不同電場(chǎng)下不同的電阻態(tài)，導(dǎo)致可逆電致電阻效應(yīng)的產(chǎn)生。其中，所述納米多層膜中，所述的底層包括導(dǎo)電金屬材料。其中，所述納米多層膜中，所述的基片包括Si襯底、SiC、玻璃襯底或Si-SiO2襯底，MgO單晶襯底、Al2O3單晶襯底或者有機(jī)柔性襯底等。其中，所述納米多層膜中，所述的功能層包括鐵電或多鐵性納米薄膜。其中，所述納米多層膜中，所述磁性層生長(zhǎng)在所述功能層的材料上面，并能夠通過磁電耦合與功能層發(fā)生相互作用。其中，所述納米多層膜中，所述的磁性層由鐵磁金屬或其合金制成，厚度為 2-100nm ；或由稀磁半導(dǎo)體材料或半金屬材料制成，厚度為2-lOOnm。其中，所述納米多層膜中，所述的磁性層包括直接或間接釘扎結(jié)構(gòu)，直接釘扎結(jié)構(gòu)包括反鐵磁性層/鐵磁性層；間接釘扎結(jié)構(gòu)包括反鐵磁性層/第一鐵磁性層/非磁性金屬
層/第二鐵磁性層。其中，所述納米多層膜中，所述反鐵磁性層由反鐵磁性材料構(gòu)成，所述反鐵磁性材料包括具有反鐵磁性的合金或氧化物。其中，所述納米多層膜中，所述鐵磁性層、第一鐵磁性層和第二鐵磁性層由鐵磁性金屬或其合金制成，厚度為2 IOOnm ；或由稀磁半導(dǎo)體材料或半金屬材料制成，厚度為 2 lOOnm。其中，所述納米多層膜中，所述覆蓋層包括由非易氧化金屬材料制成的單層或多層薄膜，厚度為2 200nm。而且，本發(fā)明提出一種基于電致電阻效應(yīng)的電場(chǎng)調(diào)制型場(chǎng)效應(yīng)管，包括上述的電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜。其中，通過在柵極施加不同的電壓，在頂部覆蓋層(或緩沖層)和底層之間形成一定的電場(chǎng)，另在源極和漏極之間施加一定的電壓，由于電致電阻效應(yīng)的產(chǎn)生，在不同的電場(chǎng)下，多層膜的電阻不同，造成從源極到漏極的電導(dǎo)不同，既可以通過柵極電壓來調(diào)控從源極到漏極的電導(dǎo)或電阻值的大小。而且，本發(fā)明還提出一種基于電致電阻效應(yīng)的開關(guān)型電場(chǎng)傳感器、包括上述電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜。而且，本發(fā)明還提出一種基于電致電阻效應(yīng)的、即以電場(chǎng)調(diào)控的納米器件為存儲(chǔ)單元的電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)型隨機(jī)存儲(chǔ)器(Electric-field-switching Random Access Memory, ERAM)(簡(jiǎn)稱電隨機(jī)存儲(chǔ)器)，包括上述電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜。而且，本發(fā)明還提出上述的電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜的制備方法，采用磁控濺射并結(jié)合激光輔助沉積(PLD)、分子束外延(MBE)、原子層沉積(ALD)或氣相化學(xué)反應(yīng)沉積 (MOCVD)等生長(zhǎng)方法依次在基片襯底上沉積底層、緩沖層、絕緣勢(shì)壘層、導(dǎo)電層及頂部覆蓋層；其中所述底層為導(dǎo)電材料，作為下電極用于在鐵電或多鐵性材料上施加電場(chǎng)；基片襯底為鐵電或多鐵性材料，可在電場(chǎng)的作用下改變和調(diào)控其電極化強(qiáng)度的大小及其方向；緩沖層作為上電極用于在鐵電或多鐵性材料上施加電場(chǎng)；中間的絕緣勢(shì)壘層為氧化物；頂部覆蓋層為保護(hù)層，防止中間導(dǎo)電層被氧化；通過在所述的底層和緩沖層(上下電極)之間施加電場(chǎng)，由于基片襯底(鐵電或多鐵性材料)的電極化強(qiáng)度大小及其方向的改變，影響和改變相鄰導(dǎo)電層的面內(nèi)電導(dǎo)，可獲得不同電場(chǎng)下不同的電阻態(tài)，導(dǎo)致可逆電致電阻效應(yīng)的產(chǎn)生。而且，本發(fā)明還提出上述另一種電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜的制備方法，采用磁控濺射并結(jié)合激光輔助沉積(PLD)、分子束外延(MBE)、原子層沉積(ALD)或氣相化學(xué)反應(yīng)沉積 (MOCVD)等生長(zhǎng)方法依次沉積底層、功能層、緩沖層、絕緣勢(shì)壘層、導(dǎo)電層及頂部覆蓋層；其中所述底層為導(dǎo)電材料，作為下電極用于在功能層上施加電場(chǎng)；所述功能層為鐵電或多鐵性薄膜，可在電場(chǎng)的作用下改變和調(diào)控其電極化強(qiáng)度的大小及其方向；所述緩沖層作為上電極用于在鐵電或多鐵性薄膜材料上施加電場(chǎng)；所述中間的絕緣勢(shì)壘層為氧化物；所述頂部覆蓋層為保護(hù)層，防止中間導(dǎo)電層被氧化。通過在所述的底層和緩沖層(上下電極)之間施加電場(chǎng)，由于功能層(鐵電或多鐵性材料)的電極化強(qiáng)度大小及其方向的改變，影響和改變相鄰導(dǎo)電層的面內(nèi)電導(dǎo)，可獲得不同電場(chǎng)下不同的電阻態(tài)，導(dǎo)致可逆電致電阻效應(yīng)的產(chǎn)生。而且，本發(fā)明再提出一種上述電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜的制備方法，采用磁控濺射并結(jié)合激光輔助沉積(PLD)、分子束外延(MBE)、原子層沉積(ALD)或氣相化學(xué)反應(yīng)沉積 (MOCVD)等生長(zhǎng)方法在基片襯底上依次沉積底層、磁性層及頂部覆蓋層；其中，所述底層為導(dǎo)電材料，作為下電極用于在基片襯底上施加電場(chǎng)，基片襯底為鐵電或多鐵性材料，可在電場(chǎng)的作用下改變和調(diào)控其電極化強(qiáng)度的大小及其方向；頂部覆蓋層作為上電極和保護(hù)層， 防止中間磁性層被氧化。通過在所述的底層和頂部覆蓋層(上下電極)之間施加電場(chǎng)，由于基片襯底(鐵電或多鐵性材料)的電極化強(qiáng)度大小及其方向的改變，影響和改變相鄰磁性層的面內(nèi)電導(dǎo)，可獲得不同電場(chǎng)下不同的電阻態(tài)，導(dǎo)致可逆電致電阻效應(yīng)的產(chǎn)生。而且，本發(fā)明又提出一種電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜的制備方法，采用磁控濺射并結(jié)合激光輔助沉積(PLD)、分子束外延(MBE)、原子層沉積(ALD)或氣相化學(xué)反應(yīng)沉積(MOCVD) 等生長(zhǎng)方法依次在基片襯底上沉積底層、功能層、磁性層及頂部覆蓋層；其中所述的基片襯底為非鐵電或多鐵性材料；所述底層為導(dǎo)電材料；作為下電極用于在功能層上施加電場(chǎng)； 所述功能層為鐵電或多鐵性薄膜，可在電場(chǎng)的作用下改變和調(diào)控其電極化強(qiáng)度的大小及其方向；頂部覆蓋層作為上電極和保護(hù)層，防止中間磁性層被氧化。通過在所述的底層和頂部覆蓋層(上下電極)之間施加電場(chǎng)，由于功能層(鐵電或多鐵性材料)的電極化強(qiáng)度大小及其方向的改變，影響和改變相鄰磁性層的面內(nèi)電導(dǎo)，可獲得不同電場(chǎng)下不同的電阻態(tài)，導(dǎo)致可逆電致電阻效應(yīng)的產(chǎn)生。本發(fā)明通過變化的電場(chǎng)對(duì)鐵電或多鐵性材料的電極化特性進(jìn)行調(diào)制，影響和改變導(dǎo)電層的電導(dǎo)，進(jìn)一步調(diào)控器件電阻的變化(即通過電場(chǎng)調(diào)控電阻的變化)，從而獲得不同的電場(chǎng)對(duì)應(yīng)不同的電阻態(tài)。


圖Ia為本發(fā)明的納米多層膜結(jié)構(gòu)示意圖；圖 Ib 為結(jié)構(gòu) A :B0L 1/SUB/B FL/IS0/NM(or FM, or AFM) /CAP ；圖 Ic 為結(jié)構(gòu) B :SUB/B0L 2/FCL/IS0/NM(or FM, or AFM) /CAP ；圖 Id 為結(jié)構(gòu) C :SUB/B0L 2/FCL/BFL/IS0/NM(or FM, or AFM) /CAP ；圖 Ie 為結(jié)構(gòu) D :SUB/B0L 2/FCL/FM1/匪/FM2/AFM/CAP ；圖 If 為結(jié)構(gòu) E :SUB/B0L 2/FCL/FM/AFM/CAP ；圖 Ig 為結(jié)構(gòu) F :SUB/B0L 2/FCL/FM1/匪/FM2/CAP ；圖 Ih 為結(jié)構(gòu) G :SUB/B0L 2/FCL/FM/CAP ；圖 Ii 結(jié)構(gòu) H :B0L 1/SUB/FM1/匪/FM2/AFM/CAP ；圖 Ij 為結(jié)構(gòu) I :B0L 1/SUB/FM/AFM/CAP ；圖 Ik 為結(jié)構(gòu) J :B0L 1/SUB/FM1/匪/FM2/CAP ；圖 11 為結(jié)構(gòu) K :B0L1/SUB/FM/CAP ；圖加為本發(fā)明實(shí)施例1的納米多層膜的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2b為器件電阻R隨外加電場(chǎng)E變化關(guān)系示意圖。圖3a本發(fā)明實(shí)施例2的納米多層膜的結(jié)構(gòu)示意圖；圖北為中間導(dǎo)電層為磁性金屬Co75Fh5的器件電阻R隨外加電場(chǎng)E變化關(guān)系示意圖；圖3c為中間導(dǎo)電層為Co75I^25，外加變化的電場(chǎng)E與納米多層膜電阻R的測(cè)量結(jié)果示意圖，并在測(cè)量的同時(shí)施加IkOe的磁場(chǎng)；圖3d為中間導(dǎo)電層為5nm的Al膜，外加變化的電場(chǎng)E與納米多層膜電阻R的測(cè)
量結(jié)果示意圖；圖!Be為中間導(dǎo)電層為5nm的IrMn反鐵磁合金薄膜，外加變化的電場(chǎng)E與納米多層膜電阻R的測(cè)量結(jié)果示意圖；圖如為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例3中以圖Ia中的納米多層膜結(jié)構(gòu)為基礎(chǔ)的電場(chǎng)調(diào)制型場(chǎng)效應(yīng)管原理圖；圖4b為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例4中以圖Ia中的納米多層膜結(jié)構(gòu)為基礎(chǔ)的電場(chǎng)調(diào)制型場(chǎng)效應(yīng)管原理圖。圖如為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例5中以圖Ia中的納米多層膜結(jié)構(gòu)為基礎(chǔ)的電場(chǎng)調(diào)制型場(chǎng)效應(yīng)管原理圖。圖4d為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例6中以圖Ia中的納米多層膜結(jié)構(gòu)為基礎(chǔ)的電場(chǎng)調(diào)制型場(chǎng)效應(yīng)管原理圖。圖如為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例7中以圖Ia中的納米多層膜結(jié)構(gòu)為基礎(chǔ)的電場(chǎng)調(diào)制型場(chǎng)效應(yīng)管原理圖。圖4f為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例8中以圖Ia中的納米多層膜結(jié)構(gòu)為基礎(chǔ)的電場(chǎng)調(diào)制型場(chǎng)效應(yīng)管原理圖。圖fe為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施示例3為設(shè)計(jì)原理以圖Ia中的納米器件為存儲(chǔ)單元的電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)型隨機(jī)存儲(chǔ)器(Electric-field-switching Random Access Memory, ERAM)原理示意圖；圖恥為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施示例4為設(shè)計(jì)原理以圖Ia中的納米器件為存儲(chǔ)單元的電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)型隨機(jī)存儲(chǔ)器(Electric-field-switching Random Access Memory, ERAM)原理示意圖；圖5c為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施示例5為設(shè)計(jì)原理以圖Ia中的納米器件為存儲(chǔ)單元的電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)型隨機(jī)存儲(chǔ)器(Electric-field-switching Random Access Memory, ERAM)原理示意圖；圖5d為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施示例6為設(shè)計(jì)原理以圖Ia中的納米器件為存儲(chǔ)單元的電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)型隨機(jī)存儲(chǔ)器(Electric-field-switching Random Access Memory, ERAM)原理示意圖；圖k為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施示例7為設(shè)計(jì)原理以圖Ia中的納米器件為存儲(chǔ)單元的電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)型隨機(jī)存儲(chǔ)器(Electri c-fi eld-switching Random Access Memory, ERAM)原理示意圖；圖5f為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施示例8為設(shè)計(jì)原理以圖Ia中的納米器件為存儲(chǔ)單元的電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)型隨機(jī)存儲(chǔ)器(Electric-field-switching Random Access Memory, ERAM)原理示意圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的目的在于提出一種電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜、電場(chǎng)調(diào)制型場(chǎng)效應(yīng)管、開關(guān)型電場(chǎng)傳感器及電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)型隨機(jī)存儲(chǔ)器，以用來在室溫下電場(chǎng)調(diào)控納米多層薄膜中獲得新型的可逆電致電阻效應(yīng)，并實(shí)現(xiàn)可逆電致電阻效應(yīng)在電子器件中的應(yīng)用。該納米多層膜由下至上依次包括底層、基片、底層、功能層、緩沖層、絕緣勢(shì)壘層、 中間導(dǎo)電層、覆蓋層，其中所述中間導(dǎo)電層為磁性金屬、磁性合金或者磁性金屬復(fù)合層時(shí)， 緩沖層和絕緣層可以根據(jù)實(shí)際需要選擇性的添加。所述的中間導(dǎo)電層包括金屬層、導(dǎo)電分子材料、拓?fù)浣^緣體材料、或摻雜導(dǎo)電半導(dǎo)體材料等。所述金屬層包括非磁金屬層、磁性金屬層、反鐵磁性層等。當(dāng)所述的中間導(dǎo)電層非磁金屬層或反鐵磁性層時(shí)，緩沖層和絕緣勢(shì)壘層必須添加，以便獲得較高的信噪比。本發(fā)明的第一個(gè)方面，提供一種電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜，由下至上依次包括底層；
基片襯底；緩沖層絕緣勢(shì)壘層導(dǎo)電層；頂部覆蓋層；其中所述底層為導(dǎo)電材料，作為下電極用于在基片襯底上施加電場(chǎng)；基片襯底為鐵電或多鐵性材料，可在電場(chǎng)的作用下改變和調(diào)控其電極化強(qiáng)度的大小及其方向；緩沖層為作為上電極用于在鐵電或多鐵性材料上施加電場(chǎng)；中間絕緣層為氧化物；頂部覆蓋層為保護(hù)層，防止中間導(dǎo)電層被氧化。通過在所述的底層和緩沖層(上下電極)之間施加電場(chǎng)， 由于基片襯底(鐵電或多鐵性材料)的電極化強(qiáng)度大小及其方向的改變，影響和改變相鄰導(dǎo)電層的面內(nèi)電導(dǎo)，可獲得不同電場(chǎng)下不同的電阻態(tài)，導(dǎo)致可逆電致電阻效應(yīng)的產(chǎn)生。在上述納米多層膜中，所述的底層包括導(dǎo)電金屬材料；在上述納米多層膜中，所述的基片包括鐵電或多鐵性材料襯底；在上述納米多層膜中，所述的緩沖層能夠改善基片襯底與多層膜的界面，可作為上電極用于在鐵電或多鐵性薄膜材料上施加電場(chǎng)；在上述納米多層膜中，所述導(dǎo)電層能夠完美地生長(zhǎng)在絕緣勢(shì)壘層上面，其電導(dǎo)能夠通過電極化相互作用或者磁電耦合作用受到底部鐵電或多鐵性薄膜的電極化強(qiáng)度大小及方向的調(diào)控。在上述納米多層膜中，所述的導(dǎo)電層包括非磁金屬層、磁性金屬層、反鐵磁性層、 導(dǎo)電分子材料、拓?fù)浣^緣體材料、或摻雜導(dǎo)電半導(dǎo)體材料等；在上述納米多層膜中，所述的非磁金屬層由非磁金屬或其合金組成，厚度為 2-100nm ；在上述納米多層膜中，所述的中間導(dǎo)電層是為導(dǎo)電分子材料、拓?fù)浣^緣體材料、或摻雜導(dǎo)電半導(dǎo)體材料組成。在上述納米多層膜中，所述的磁性金屬層由磁性金屬或其合金制成，厚度為 2-100nm ；或由稀磁半導(dǎo)體材料或半金屬材料制成，厚度為2-lOOnm。在上述納米多層膜中，所述的磁性金屬層包括直接或間接釘扎結(jié)構(gòu)，直接釘扎結(jié)構(gòu)包括反鐵磁性層(AFM)/鐵磁性層(FM)；間接釘扎結(jié)構(gòu)包括反鐵磁性層(AFM)/第一鐵磁性層(FMl)/非磁性金屬層(NM)/第二鐵磁性層(FM2)。在上述納米多層膜中，所述反鐵磁性材料包括具有反鐵磁性的合金或氧化物。在上述納米多層膜中，所述鐵磁性層(FM)、第一鐵磁性層(FMl)和第二鐵磁性層 (FM2)由鐵磁性金屬或其合金制成，厚度為2 IOOnm ；或由稀磁半導(dǎo)體材料或半金屬材料制成，厚度為2 IOOnm0在上述納米多層膜中，所述覆蓋層包括由非易氧化金屬材料制成的單層或多層薄膜，厚度為2 200nm。本發(fā)明的第二個(gè)方面，提供一種電場(chǎng)調(diào)制型納米多層膜，由下至上依次包括基片襯底；底層；功能層
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緩沖層絕緣勢(shì)壘層導(dǎo)電層；頂部覆蓋層；其中所述底層為導(dǎo)電材料，作為下電極用于在功能層上施加電場(chǎng)；功能層為鐵電或多鐵性薄膜，可在電場(chǎng)的作用下改變和調(diào)控其電極化強(qiáng)度的大小及其方向；緩沖層作為上電極用于在鐵電或多鐵性薄膜材料上施加電場(chǎng)；中間絕緣層為氧化物；頂部覆蓋層為保護(hù)層，防止中間導(dǎo)電層被氧化。通過在所述的底層和緩沖層(上下電極)之間施加電場(chǎng)。由于功能層(鐵電或多鐵性材料)的電極化強(qiáng)度大小及其方向的改變，影響和改變相鄰導(dǎo)電層的面內(nèi)電導(dǎo)，可獲得不同電場(chǎng)下不同的電阻態(tài)，導(dǎo)致可逆電致電阻效應(yīng)的產(chǎn)生。在上述納米多層膜中，所述的基片包括Si襯底、SiC、玻璃襯底或Si-SW2襯底， MgO單晶襯底、Al2O3單晶襯底或者有機(jī)柔性襯底等。在上述納米多層膜中，所述的底層包括導(dǎo)電金屬材料。在上述納米多層膜中，所述的功能層包括鐵電或多鐵性納米薄膜，可根據(jù)實(shí)際需要預(yù)先沉積種子層，用于優(yōu)化與基片襯底的界面，改善鐵電或多鐵性納米薄膜的晶體結(jié)構(gòu)。在上述納米多層膜中，所述的緩沖層能夠改善絕緣勢(shì)壘層和功能層的界面，可作為上電極用于在鐵電或多鐵性薄膜材料上施加電場(chǎng)。在上述納米多層膜中，所述導(dǎo)電層能夠完美地生長(zhǎng)在絕緣勢(shì)壘層上面，其電導(dǎo) (電阻)夠通過電極化相互作用或者磁電耦合作用受到底部鐵電或多鐵性薄膜的電極化強(qiáng)度大小及方向的調(diào)控。在上述納米多層膜中，所述的導(dǎo)電層包括非磁金屬層、磁性金屬層、反鐵磁性層、 導(dǎo)電分子材料、拓?fù)浣^緣體材料、或摻雜導(dǎo)電半導(dǎo)體材料等。在上述納米多層膜中，所述的非磁金屬層由非磁金屬或其合金組成，厚度為 2-100nm。在上述納米多層膜中，所述的中間導(dǎo)電層是為導(dǎo)電分子材料、拓?fù)浣^緣體材料、或摻雜導(dǎo)電半導(dǎo)體材料組成。在上述納米多層膜中，所述的磁性金屬層由磁性金屬或其合金制成，厚度為 2-100nm ；或由稀磁半導(dǎo)體材料或半金屬材料制成，厚度為2-lOOnm。在上述納米多層膜中，所述的磁性金屬層包括直接或間接釘扎結(jié)構(gòu)，直接釘扎結(jié)構(gòu)包括反鐵磁性層(AFM)/鐵磁性層(FM)；間接釘扎結(jié)構(gòu)包括反鐵磁性層(AFM)/第一鐵磁性層(FMl)/非磁性金屬層(NM)/第二鐵磁性層(FM2)。在上述納米多層膜中，所述反鐵磁性材料包括具有反鐵磁性的合金或氧化物。在上述納米多層膜中，所述鐵磁性層(FM)、第一鐵磁性層(FMl)和第二鐵磁性層 (FM2)由鐵磁性金屬或其合金制成，厚度為2 IOOnm ；或由稀磁半導(dǎo)體材料或半金屬材料制成，厚度為2 IOOnm0在上述納米多層膜中，所述覆蓋層包括由非易氧化金屬材料制成的單層或多層薄膜，厚度為2 200nm。根據(jù)本發(fā)明的第三個(gè)方面，提供一種電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜，由下至上依次包括
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底層基片襯底；磁性層；頂部覆蓋層；其中所述底層為導(dǎo)電材料，作為下電極用于在鐵電或多鐵性材料上施加電場(chǎng)；基片襯底為鐵電或多鐵性材料，可在電場(chǎng)的作用下改變和調(diào)控其電極化強(qiáng)度的大小及其方向；頂部覆蓋層作為上電極和保護(hù)層，防止中間磁性層被氧化。通過在所述的底層和頂部覆蓋層(上下電極)之間施加電場(chǎng)，由于基片襯底(鐵電或多鐵性材料)的電極化強(qiáng)度大小及其方向的改變，影響和改變相鄰磁性層的面內(nèi)電導(dǎo)，可獲得不同電場(chǎng)下不同的電阻態(tài)，導(dǎo)致可逆電致電阻的產(chǎn)生。在上述納米多層膜中，所述的基片包括鐵電或多鐵性材料襯底。在上述納米多層膜中，所述磁性層能夠完美地生長(zhǎng)在基片襯底材料上面，其電導(dǎo)能夠通過電極化相互作用或者磁電耦合作用受到底部鐵電或多鐵性薄膜的電極化強(qiáng)度大小及方向的調(diào)控。在上述納米多層膜中，所述的磁性層由鐵磁金屬或其合金制成，厚度為2-lOOnm; 或由稀磁半導(dǎo)體材料或半金屬材料制成，厚度為2-lOOnm。在上述納米多層膜中，所述的磁性層包括直接或間接釘扎結(jié)構(gòu)，直接釘扎結(jié)構(gòu)包括反鐵磁性層(AFM)/鐵磁性層(FM)；間接釘扎結(jié)構(gòu)包括反鐵磁性層(AFM)/第一鐵磁性層 (FMl)/非磁性金屬層(NM)/第二鐵磁性層(FM2)。在上述納米多層膜中，所述反鐵磁性層由反鐵磁性材料制成，所述反鐵磁性材料包括具有反鐵磁性的合金或氧化物。在上述納米多層膜中，所述鐵磁性層(FM)、第一鐵磁性層(FMl)和第二鐵磁性層 (FM2)由鐵磁性金屬或其合金制成，厚度為2 IOOnm ；或由稀磁半導(dǎo)體材料或半金屬材料制成，厚度為2 IOOnm0在上述納米多層膜中，所述覆蓋層包括由非易氧化金屬材料制成的單層或多層薄膜，厚度為2 200nm。本發(fā)明的第四個(gè)方面，提供一種電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜，由下至上依次包括基片襯底；底層；功能層磁性層；頂部覆蓋層；其中所述的基片襯底為非鐵電或多鐵性材料；所述底層為導(dǎo)電材料；作為下電極用于在功能層上施加電場(chǎng)；功能層為鐵電或多鐵性薄膜，可在電場(chǎng)的作用下改變和調(diào)控其電極化強(qiáng)度的大小及其方向；頂部覆蓋層作為上電極和保護(hù)層，防止中間磁性層被氧化。通過在所述的底層和頂部覆蓋層(上下電極)之間施加電場(chǎng)，由于功能層(鐵電或多鐵性薄膜材料)的電極化強(qiáng)度大小及其方向的改變，影響和改變相鄰金屬和磁性層的面內(nèi)電導(dǎo)， 可獲得不同電場(chǎng)下不同的電阻態(tài)，導(dǎo)致可逆電致電阻效應(yīng)的產(chǎn)生。在上述納米多層膜中，所述的底層包括導(dǎo)電金屬材料。
在上述納米多層膜中，所述的基片包括Si襯底、SiC、玻璃襯底或Si-SiA襯底， MgO單晶襯底、Al2O3單晶襯底或者有機(jī)柔性襯底等。在上述納米多層膜中，所述的功能層包括鐵電或多鐵性納米薄膜。在上述納米多層膜中，所述磁性層能夠完美地生長(zhǎng)在功能層的材料上面，其電導(dǎo)能夠通過電極化相互作用或者磁電耦合作用受到底部鐵電或多鐵性薄膜的電極化強(qiáng)度大小及方向的調(diào)控。在上述納米多層膜中，所述的磁性層由鐵磁金屬或其合金制成，厚度為2-lOOnm; 或由稀磁半導(dǎo)體材料或半金屬材料制成，厚度為2-lOOnm。在上述納米多層膜中，所述的磁性層包括直接或間接釘扎結(jié)構(gòu)，直接釘扎結(jié)構(gòu)包括反鐵磁性層(AFM)/鐵磁性層(FM)；間接釘扎結(jié)構(gòu)包括反鐵磁性層(AFM)/第一鐵磁性層 (FMl)/非磁性金屬層(NM)/第二鐵磁性層(FM2)。在上述納米多層膜中，所述反鐵磁性材料包括具有反鐵磁性的合金或氧化物。在上述納米多層膜中，所述鐵磁性層(FM)、第一鐵磁性層(FMl)和第二鐵磁性層 (FM2)由鐵磁性金屬或其合金制成，厚度為2 IOOnm ；或由稀磁半導(dǎo)體材料或半金屬材料制成，厚度為2 IOOnm0在上述納米多層膜中，所述覆蓋層包括由非易氧化金屬材料制成的單層或多層薄膜，厚度為2 200nm。本發(fā)明的第五個(gè)方面，提供一種基于電致電阻效應(yīng)的電場(chǎng)調(diào)制型場(chǎng)效應(yīng)管。根據(jù)本發(fā)明第一、二、三、四方面所述的電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜，通過在柵極施加不同的電壓，在頂部覆蓋層和底層之間形成一定的電場(chǎng)。另在源極和漏極之間施加一定的電壓，由于電致電阻效應(yīng)的產(chǎn)生，在不同的電場(chǎng)下，多層膜的電阻不同，造成從源極到漏極的電導(dǎo)不同。因此，可以通過柵極電壓來調(diào)控從源極到漏極的電導(dǎo)或電阻值的大小。本發(fā)明的第六個(gè)方面，提供一種基于電致電阻效應(yīng)的開關(guān)型電場(chǎng)傳感器。根據(jù)本發(fā)明的第一、二、三、四方面所述的電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜，使得當(dāng)在外電場(chǎng)作用下，納米多層膜的電致電阻會(huì)發(fā)生變化，從而對(duì)應(yīng)的獲得高低電阻輸出特性。本發(fā)明的第七個(gè)方面，提供一種基于電致電阻效應(yīng)的、即以電場(chǎng)調(diào)控的納米器件為存儲(chǔ)單元的電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)型隨機(jī)存儲(chǔ)器(Electric-field-switching Random Access Memory, ERAM)(簡(jiǎn)稱電隨機(jī)存儲(chǔ)器)。本發(fā)明的第八方面提出一種電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜的制備方法，采用磁控濺射并結(jié)合激光輔助沉積、分子束外延、原子層沉積或氣相化學(xué)反應(yīng)沉積生長(zhǎng)方法依次沉積底層、 緩沖層、絕緣勢(shì)壘層、導(dǎo)電層及頂部覆蓋層；其中所述底層為導(dǎo)電材料，作為下電極用于在鐵電或多鐵性材料上施加電場(chǎng)；基片襯底為鐵電或多鐵性材料，可在電場(chǎng)的作用下改變和調(diào)控其電極化強(qiáng)度的大小及其方向；緩沖層作為上電極用于在鐵電或多鐵性材料上施加電場(chǎng)；中間的絕緣勢(shì)壘層為氧化物；頂部覆蓋層為保護(hù)層，防止中間導(dǎo)電層被氧化；通過在所述的底層和緩沖層之間施加電場(chǎng)，由于基片襯底的電極化強(qiáng)度大小及其方向的改變，影響和改變相鄰導(dǎo)電層的面內(nèi)電導(dǎo)，可獲得不同電場(chǎng)下不同的電阻態(tài)，導(dǎo)致可逆電致電阻效應(yīng)的產(chǎn)生。本發(fā)明的第九方面提出另一種一種電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜的制備方法，采用磁控濺射并結(jié)合激光輔助沉積、分子束外延、原子層沉積或氣相化學(xué)反應(yīng)沉積生長(zhǎng)方法在基片襯底上依次沉積底層、功能層、緩沖層、絕緣勢(shì)壘層、導(dǎo)電層及頂部覆蓋層；其中所述底層為導(dǎo)電材料，作為下電極用于在功能層上施加電場(chǎng)；所述功能層為鐵電或多鐵性薄膜，可在電場(chǎng)的作用下改變和調(diào)控其電極化強(qiáng)度的大小及其方向；所述緩沖層作為上電極用于在鐵電或多鐵性薄膜材料上施加電場(chǎng)；所述中間的絕緣勢(shì)壘層為氧化物；所述頂部覆蓋層為保護(hù)層，防止中間導(dǎo)電層被氧化，通過在所述的底層和緩沖層之間施加電場(chǎng)，由于功能層的電極化強(qiáng)度大小及其方向的改變，影響和改變相鄰導(dǎo)電層的面內(nèi)電導(dǎo)，可獲得不同電場(chǎng)下不同的電阻態(tài)，導(dǎo)致可逆電致電阻效應(yīng)的產(chǎn)生。本發(fā)明的第十方面提出又一種電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜的制備方法，采用磁控濺射并結(jié)合激光輔助沉積、分子束外延、原子層沉積或氣相化學(xué)反應(yīng)沉積生長(zhǎng)方法在基片襯底上依次沉積底層、磁性層及頂部覆蓋層；其中所述底層為導(dǎo)電材料，作為下電極用于在鐵電或多鐵性材料上施加電場(chǎng)；基片襯底為鐵電或多鐵性材料，可在電場(chǎng)的作用下改變和調(diào)控其電極化強(qiáng)度的大小及其方向；頂部覆蓋層作為上電極和保護(hù)層，防止中間磁性層被氧化， 通過在所述的底層和頂部覆蓋層之間施加電場(chǎng)，由于基片襯底的電極化強(qiáng)度大小及其方向的改變，影響和改變相鄰金屬層(磁性層)的面內(nèi)電導(dǎo)，可獲得不同電場(chǎng)下不同的電阻態(tài)， 導(dǎo)致可逆電致電阻效應(yīng)的產(chǎn)生。本發(fā)明的第十一方面提出再一種電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜的制備方法，采用磁控濺射并結(jié)合激光輔助沉積、分子束外延、原子層沉積或氣相化學(xué)反應(yīng)沉積生長(zhǎng)方法在基片襯底上依次沉積底層、功能層、磁性層及頂部覆蓋層；其中所述的基片襯底為非鐵電或多鐵性材料；所述底層為導(dǎo)電材料，作為下電極用于在功能層上施加電場(chǎng)；功能層為鐵電或多鐵性薄膜，可在電場(chǎng)的作用下改變和調(diào)控其電極化強(qiáng)度的大小及其方向；頂部覆蓋層作為上電極和保護(hù)層，防止中間磁性層被氧化；通過在所述的底層和頂部覆蓋層之間施加電場(chǎng)，由于功能層的電極化強(qiáng)度大小及其方向的改變，影響和改變相鄰金屬層(磁性層)的面內(nèi)電導(dǎo)，可獲得不同電場(chǎng)下不同的電阻態(tài)，導(dǎo)致可逆電致電阻效應(yīng)的產(chǎn)生。圖Ia示出根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的納米多層膜，其由下至上依次包括底層102(簡(jiǎn)稱為BOL 1)、基片101(簡(jiǎn)稱為SUB)、底層103(簡(jiǎn)稱為BOL 2)、功能層104 (簡(jiǎn)稱為FCL)、 緩沖層105(簡(jiǎn)稱為BFL)、絕緣層106(簡(jiǎn)稱為ISO)、中間導(dǎo)電層107(簡(jiǎn)稱為IML)、覆蓋層 108(簡(jiǎn)稱為CAP)。以下對(duì)各個(gè)層進(jìn)行詳細(xì)說明。基片101為鐵電或多鐵性襯底，或一般性襯底包括Si襯底、SiC、玻璃襯底或 Si-SiO2襯底，MgO單晶襯底、Al2O3單晶襯底或者有機(jī)柔性襯底等。在上述的基片襯底中，基片101為鐵電或多鐵性襯底，包括I^b(Mgv3Nlv3) O3-PbTiO3 (PMN-PT)、BiFeO3 (BFO)、BaTi03、Pb (Zn1/3Nb2/3) O3-PbTiO3 (PZN-PT)、PbTiO3 (PTO)、 SrTiO3(STO)、BiMnO3等鐵電或多鐵性襯底，厚度為0. 1 1mm。在上述納米多層膜中，所述的基片為一般性襯底，包括Si襯底、SiC、玻璃襯底或 Si-SiO2襯底，MgO單晶襯底、Al2O3單晶襯底或者有機(jī)柔性襯底等，厚度為0. 1 1mm。在上述納米多層膜中，底層102為導(dǎo)電金屬層。該導(dǎo)電金屬層一般采用Cu、Cr、V、 Nb、Mo、Ru、Pd、Ta、W、Pt、Ag、Au 或其合金制作，厚度為 2. 0 IOOnm0在納米多層膜中，底層103為導(dǎo)電金屬層。該導(dǎo)電金屬層一般采用Cu、Cr、V、Nb、 Mo、Ru、Pd、Ta、W、Pt、Ag、Au 或其合金制作，厚度為 2. 0 IOOnm功能層為104為鐵電或多鐵性薄膜。該鐵電或多鐵性薄膜一般包括1 (Mgl73Nb273)O3-PbTiO3 (PMN-PT)、BiFeO3 (BFO)、BaTiO3 (BTO)、PbTiO3 (PTO)、SrTiO3 (STO)、BiMnO3 等，厚度為5-500nm ；為了保證功能層比較好且和基片襯底結(jié)合較緊密，可以預(yù)先沉積SrRu03、TiO2 等種子層。緩沖層105—般采用導(dǎo)電性比較好且和襯底結(jié)合較緊密的非磁性金屬層(包括單層或者多層)，其材料優(yōu)選Ta、Ru、Cr、Au、Ag、Pt、Pd、Cu、CuN等，也可以是金屬合金或金屬復(fù)合層，厚度可為2. 0 lOOnm。絕緣層106 —般為 AlOpMgCKifehZnxCKAlNJaAJgAlOpaiCKMgSiOpSiOyHf^、 TiO2, Alq3、LB 有機(jī)復(fù)合薄膜、GaAs, AlGaAs, InAs 等材料制作，優(yōu)選 MgO、AlOx, MgZnO, AlN 和Alq3、LB有機(jī)復(fù)合薄膜，厚度一般在為0. 5 10nm。中間導(dǎo)電層107是為鐵磁性金屬，或直接釘扎結(jié)構(gòu)或間接釘扎結(jié)構(gòu)。“直接釘扎” 是指反鐵磁材料層AFM直接和鐵磁性層FM接觸(簡(jiǎn)寫為AFM/FM)，“間接釘扎”是指在二者之間插入復(fù)合層NM/FM(簡(jiǎn)寫為FM1/NM/FM2/AFM)。在上述磁性層107中，鐵磁金屬包括自旋極化率比較高的鐵磁性金屬，優(yōu)選Co、 Fe、Ni ；或者這些鐵磁性金屬的合金薄膜，優(yōu)選Co-Fe、Co-Fe-B、NiFeCr或Ni-Fe (如 Ni81Fe19, Co75Fe25)等鐵磁性合金，厚度為2. O IOOnm ；或者是諸如GaMnAs、Ga-Mn-N等稀磁半導(dǎo)體材料，或諸如 Co-Mn-Si、Co-i^e-Al、Co-i^e-Si、Co-Mn-Al、Co-i^e-Al-Si、Co-Mn-Ge、 Co-Mn-Ga、Co-Mn-Ge-^uLEihSrxMnOy LiVxCiixMnO3 (其中 O < X < 1)等半金屬材料，厚度為 2. O lOOnm。在上述磁性層107中，反鐵磁性層AFM包括具有反鐵磁性的合金材料，優(yōu)選Pt-Mn、 Ir-Mn, Fe-Mn和Ni_Mn，厚度為5 50nm ；或具有反鐵磁性的氧化物，優(yōu)選Co0、NiO,厚度為5 50nm。鐵磁性層FM采用自旋極化率比較高的鐵磁性金屬，優(yōu)選Co、Fe、Ni ；或者這些鐵磁性金屬的合金薄膜，優(yōu)選Co-Fe、Co-Fe-B、NiFeCr或Ni-Fe (如Ni8fe19、Co75Fe25) 等鐵磁性合金，厚度為2. O IOOnm ；或者是諸如GaMnAs、Ga-Mn-N等稀磁半導(dǎo)體材料， 或諸如 Co-Mn-Si、Co-Fe-Al、Co-Fe-Si, Co-Mn-Al, Co-Fe-Al-Si, Co-Mn-Ge, Co-Mn-Ga, Co-Mn-Ge-Ga、La1^xSrxMnO3> LahCaxMnO3(其中 O < X < 1)等半金屬材料，厚度為 2. O lOOnm。插在鐵磁性層FM和反鐵磁性層AFM之間的超薄非磁性金屬層匪一般采用Cu、Cr、 V、Nb、Mo、Ru、Pd、Ta、W、Pt、Ag、Au 或其合金制作，厚度為 0. 1 5nm。在上述中間導(dǎo)電層是為導(dǎo)電性比較好的非磁性金屬層(包括單層或者多層復(fù)合金屬薄膜)。其材料優(yōu)選 ^、αι、 、Κιι、Αιι、Αβ、Ρ 、Α1、0、ν、Ι、^ 等，厚度為 2. O IOOnm0在上述中間導(dǎo)電層是為反鐵磁性金屬層。其材料優(yōu)選IrMn、FeMn, PtMn、NiMn，厚度為5 50nm。或具有反鐵磁性的氧化物，優(yōu)選Co0、NiO等，厚度為5 50nm。在上述中間導(dǎo)電層是為導(dǎo)電分子材料、拓?fù)浣^緣體材料、或摻雜導(dǎo)電半導(dǎo)體材料等。其材料優(yōu)選Graphene、摻雜聚乙炔、Sb、Bi-Te、Bi-Se、Sb_Te等導(dǎo)電材料。覆蓋層108為不易被氧化且導(dǎo)電性比較好的的金屬層(包括單層或者多層復(fù)合金屬薄膜)，其材料優(yōu)選Ta、Cu、Ti、Ru、Au、Ag、Pt等，厚度為2. O 200nm，用于保護(hù)核心結(jié)構(gòu)不被氧化和腐蝕。因此，本發(fā)明的磁性納米多層膜結(jié)構(gòu)包括但不限于結(jié)構(gòu)A :B0L 1/SUB/B FL/IS0/NM(or FM, or AFM) /CAP (圖 lb)；結(jié)構(gòu)B :SUB/B0L 2/FCL/IS0/NM(or FM, or AFM) /CAP (圖 lc)；
結(jié)構(gòu)C :SUB/B0L 2/FCL/BFL/IS0/NM(or FM, or AFM) /CAP (圖 Id)；結(jié)構(gòu)D :SUB/B0L 2/FCL/FM1/匪/FM2/AFM/CAP (圖 le)；結(jié)構(gòu)E :SUB/B0L 2/FCL/FM/AFM/CAP (圖 If)；結(jié)構(gòu)F :SUB/B0L 2/FCL/FM1/匪/FM2/CAP (圖 Ig)；結(jié)構(gòu)G :SUB/B0L 2/FCL/FM/CAP (圖 Ih)；結(jié)構(gòu)H :B0L 1/SUB/FM1/匪/FM2/AFM/CAP(圖 li)；結(jié)構(gòu)I :B0L 1/SUB/FM/AFM/CAP (圖 Ij)；結(jié)構(gòu)J :B0L 1/SUB/FM1/匪/FM2/CAP(圖 Ik)；結(jié)構(gòu)K :B0L1/SUB/FM/CAP(圖 11)；示例1 在磁控濺射設(shè)備上以真空優(yōu)于2 X 10_6Pa，沉積速率為0. 06nm/s，氬氣壓為0. 07Pa 的條件，直接在(OOl)-PMN-PT鐵電氧化物襯底上生長(zhǎng)5nm Co75FeM作為磁性層。接著在 5nm Co75FeM磁性層上直接沉積6nm Ta作為頂部覆蓋層，防止Co75F^磁性層的氧化。然后將得到的納米多層膜放入磁控濺射設(shè)備，真空優(yōu)于2X10_5Pa，沉積速率為lOnm/min，氬氣壓為0. lPa，在6nm Ta覆蓋層的頂部沉積IOOnm的Au膜，以備制備頂部電極。最后在 (OOl)-PMN-PT鐵電氧化物襯底基片的背部直接沉積IOnm Cr、IOOnmAu膜作為背部底層電極，以便施加電場(chǎng)。在接觸電極和(OOl)-PMN-PT鐵電氧化物襯底基片下表面的Au膜之間施加(_8kV/ cm)至8kV/cm的電場(chǎng)，如圖加所示；圖2b為在接觸電極和(001)-PMN-PT鐵電氧化物襯底基片下表面的Au膜之間施加外加變化的電場(chǎng)E與納米多層膜的電阻的測(cè)量結(jié)果示意圖。示例2:在磁控濺射設(shè)備上以真空優(yōu)于IX 10_6Pa，沉積速率為0. lnm/s，沉積時(shí)氬氣壓為 0.07 的條件，在(OOl)-PMN-PT鐵電氧化物襯底基片上沉積Ta(5nm)緩沖層(BFL)。然后在磁控濺射設(shè)備上以真空優(yōu)于2X 10_6Pa，沉積速率為0. 07nm/s，氬氣壓為0. 07Pa的條件， 直接在緩沖層iTa上沉積厚度為1. Onm的AlOx作為絕緣勢(shì)壘層。接著在真空優(yōu)于1 X 10_6Pa， 沉積速率為0. lnm/s，沉積氬氣壓為0. 07Pa的條件下，在1. Onm AlOx的絕緣勢(shì)壘層上直接沉積5nm的磁性金屬Co75I^25 (或直接沉積5nm的非磁性金屬Al，或沉積5nm的反鐵磁性層 IrMn)作為中間導(dǎo)電層。在(00D-PMN-PT鐵電氧化物襯底下表面濺射IOnm CrUOOnm左右的Au，便于施加電場(chǎng)。在接觸電極和(OOl)-PMN-PT鐵電氧化物襯底基片下表面的Au膜之間施加(_8kV/ cm)至8kV/cm的電場(chǎng)。如圖3a所示；圖北為中間導(dǎo)電層為Co75Fe25，外加變化的電場(chǎng)E與納米多層膜電阻R的測(cè)量結(jié)果示意圖；圖3c為中間導(dǎo)電層為Co75Fe25，外加變化的電場(chǎng)E與納米多層膜電阻R的測(cè)量結(jié)果示意圖，并在測(cè)量的同時(shí)施加IkOe的磁場(chǎng)，以便測(cè)量分析納米多層膜的電阻與外加變化的電場(chǎng)，以及外加固定磁場(chǎng)之間的關(guān)系。從圖中可以看出仍然存在 260%的電阻變化關(guān)系。另外從測(cè)量結(jié)果可以分析出，所加的外磁場(chǎng)并沒有對(duì)納米多層膜的R-E曲線造成影響。說明該效應(yīng)并非起源于磁相互作用。圖3d為中間導(dǎo)電層為 5nm的Al膜，外加變化的電場(chǎng)E與納米多層膜電阻R的測(cè)量結(jié)果示意圖。從圖中可以看出仍然存在 100%的電阻變化。也從側(cè)立面說明了該效應(yīng)的并非來源于磁電相互作用。圖 3e為中間導(dǎo)電層為5nm的IrMn薄膜，外加變化的電場(chǎng)E與納米多層膜電阻R的測(cè)量結(jié)果示意圖。從圖中可以看出仍然存在 44%的電阻變化。示例3 按照示例1和2的方法，利用磁控濺射設(shè)備，在(OOl)-PMN-PT鐵電基片襯底上依次沉積緩沖層Ta 5nm、絕緣層AlOxImiK中間導(dǎo)電層Co75Fe25Snm和頂部覆蓋層Ta 5nm。最后在(001)-PMN-PT鐵電氧化物襯底基片的背面沉積底層Au lOOnm。制作電極首先在制備的納米多層膜的上面旋涂1 μ m厚的ma-N440紫外光刻膠，利用預(yù)先制備的光刻板和紫外曝光機(jī)進(jìn)行曝光處理；對(duì)紫外曝光后的光刻膠進(jìn)行顯影、定影；使用等離子干法刻蝕法進(jìn)行刻蝕沒有光刻膠覆蓋的區(qū)域，刻蝕深度截止在緩沖層Ta ；然后再次利用磁控濺射設(shè)備沉積絕緣層SiO2,絕緣層S^2的厚度基本能夠?qū)⒖涛g區(qū)域填平；然后將制備的器件放入丙酮進(jìn)行光刻膠的剝離；再一次重復(fù)以上光刻步驟，在制備的納米多層膜的上面旋涂Iym 厚的ma-N440紫外光刻膠，利用預(yù)先制備的光刻板和紫外曝光機(jī)進(jìn)行曝光處理；對(duì)紫外曝光后的光刻膠進(jìn)行顯影、定影；使用等離子干法刻蝕法進(jìn)行刻蝕沒有光刻膠覆蓋的區(qū)域，刻蝕深度截止在導(dǎo)電層Co75I^m ；然后再次利用磁控濺射設(shè)備沉積絕緣層SiO2,絕緣層S^2的厚度基本能夠?qū)⒖涛g區(qū)域填平；然后將制備的器件放入丙酮進(jìn)行光刻膠的剝離；再一次重復(fù)以上光刻步驟，在制備的納米多層膜的上面旋涂1 μ m厚的ma-N440紫外光刻膠，利用預(yù)先制備的光刻板和紫外曝光機(jī)進(jìn)行曝光處理；對(duì)紫外曝光后的光刻膠進(jìn)行顯影、定影；使用等離子干法刻蝕法進(jìn)行刻蝕沒有光刻膠覆蓋的區(qū)域，刻蝕深度截止在緩沖層Ta ；然后再次利用磁控濺射設(shè)備沉積Cr 5nm、Au lOnm，二者的厚度基本能夠?qū)⒖涛g區(qū)域填平；然后將制備的器件放入丙酮進(jìn)行光刻膠的剝離；再一次利用磁控濺射設(shè)備，在剝離SiO2后的器件上面沉積Cr lOnm, AulOOnm ；再一次重復(fù)以上光刻步驟，在整個(gè)器件表面均勻旋涂1 μ m厚的S1813紫外光刻膠，利用預(yù)先制備的光刻板和紫外曝光機(jī)進(jìn)行曝光處理；對(duì)紫外曝光后的光刻膠進(jìn)行顯影、定影；使用等離子干法刻蝕法進(jìn)行刻蝕沒有光刻膠覆蓋的區(qū)域，最后將器件放入丙酮去除光刻膠，得到源極s、柵極g和漏極d。如圖如所示，場(chǎng)效應(yīng)管的結(jié)構(gòu)原理結(jié)構(gòu)示意圖。按照示例1和2中的測(cè)試方法，在柵極g上施加變化的電壓Ve，在源極和漏極之間施加Vds，通過不同的電壓對(duì)源極和漏極之間的電阻進(jìn)行調(diào)制，從而獲得不同的漏極電流，即獲得輸出特性曲線。示例4 按照示例1和2的方法，利用脈沖激光沉積(PLD)、原子層沉積(ALD)、分子束外延或磁控濺射設(shè)備，在Si/SiA襯底上沉積底層金屬Cu 50nm,然后利用脈沖激光沉積(PLD)、原子層沉積(ALD)、分子束外延或磁控濺射設(shè)備沉積功能層(001)-PMN-PT鐵電氧化物(可根據(jù)技術(shù)要求預(yù)先生長(zhǎng)種子層)，接著在PMN-PT鐵電氧化物薄膜上依次沉積緩沖層Ta 5nm、絕緣層AlOxImiK中間導(dǎo)電層Co75i^255nm和頂部覆蓋層Ta 5nm。制作電極首先在制備的納米多層膜的上面旋涂1 μ m厚的ma-N440紫外光刻膠，利用預(yù)先制備的光刻板和紫外曝光機(jī)進(jìn)行曝光處理；對(duì)紫外曝光后的光刻膠進(jìn)行顯影、定影；使用等離子干法刻蝕法進(jìn)行刻蝕沒有光刻膠覆蓋的區(qū)域，刻蝕深度截止在緩沖層Ta ；然后再次利用磁控濺射設(shè)備沉積絕緣層SiO2,絕緣層S^2的厚度基本能夠?qū)⒖涛g區(qū)域填平；然后將制備的器件放入丙酮進(jìn)行光刻膠的剝離；再一次重復(fù)以上光刻步驟，在制備的納米多層膜的上面旋涂Iym 厚的ma-N440紫外光刻膠，利用預(yù)先制備的光刻板和紫外曝光機(jī)進(jìn)行曝光處理；對(duì)紫外曝光后的光刻膠進(jìn)行顯影、定影；使用等離子干法刻蝕法進(jìn)行刻蝕沒有光刻膠覆蓋的區(qū)域，刻蝕深度截止在導(dǎo)電層Co75I^m ；然后再次利用磁控濺射設(shè)備沉積絕緣層SiO2,絕緣層S^2的厚度基本能夠?qū)⒖涛g區(qū)域填平；然后將制備的器件放入丙酮進(jìn)行光刻膠的剝離；再一次重復(fù)以上光刻步驟，在制備的納米多層膜的上面旋涂Iym厚的ma-N440紫外光刻膠，利用預(yù)先制備的光刻板和紫外曝光機(jī)進(jìn)行曝光處理；對(duì)紫外曝光后的光刻膠進(jìn)行顯影、定影；使用等離子干法刻蝕法進(jìn)行刻蝕沒有光刻膠覆蓋的區(qū)域，刻蝕深度截止在緩沖層Ta ；然后再次利用磁控濺射設(shè)備沉積Cr 5nm、Au lOnm，二者的厚度基本能夠?qū)⒖涛g區(qū)域填平；然后將制備的器件放入丙酮進(jìn)行光刻膠的剝離；再一次利用磁控濺射設(shè)備，在剝離SiO2后的器件上面沉積Cr 10nm.Au IOOnm ；再一次重復(fù)以上光刻步驟，在整個(gè)器件表面均勻旋涂1 μ m厚的S1813紫外光刻膠，利用預(yù)先制備的光刻板和紫外曝光機(jī)進(jìn)行曝光處理；對(duì)紫外曝光后的光刻膠進(jìn)行顯影、定影；使用等離子干法刻蝕法進(jìn)行刻蝕沒有光刻膠覆蓋的區(qū)域，最后將器件放入丙酮去除光刻膠，得到源極s、柵極g和漏極d。如圖4b所示，場(chǎng)效應(yīng)管的結(jié)構(gòu)原理結(jié)構(gòu)示意圖。按照示例1和2中的測(cè)試方法，在柵極g上施加變化的電壓Ve，在源極和漏極之間施加Vds，通過不同的電壓對(duì)源極和漏極之間的電阻進(jìn)行調(diào)制，從而獲得不同的漏極電流，即獲得輸出特性曲線。示例5 按照示例1和2的方法，利用磁控濺射設(shè)備，在(001) -PMN-PT鐵電氧化物襯底基片上依次沉積緩沖層iTa 5nm、絕緣層AlOxInnu中間導(dǎo)電層Co75Fh5Snm和頂部覆蓋層 Ta 5nm。最后在(OOl)-PMN-PT鐵電氧化物襯底基片的背面沉積底層Au IOOnm0制作電極 首先在制備的納米多層膜的上面旋涂1 μ m厚的ma-N440紫外光刻膠，利用預(yù)先制備的光刻板和紫外曝光機(jī)進(jìn)行曝光處理；對(duì)紫外曝光后的光刻膠進(jìn)行顯影、定影；使用等離子干法刻蝕法進(jìn)行刻蝕沒有光刻膠覆蓋的區(qū)域，刻蝕深度截止在緩沖層Ta ；然后再次利用磁控濺射設(shè)備沉積絕緣層SiO2,絕緣層S^2的厚度基本能夠?qū)⒖涛g區(qū)域填平；然后將制備的器件放入丙酮進(jìn)行光刻膠的剝離；再一次利用磁控濺射設(shè)備，在剝離SiO2后的器件上面沉積Au IOOnm ；再一次重復(fù)以上光刻步驟，在整個(gè)器件表面均勻旋涂1 μ m厚的S1813紫外光刻膠， 利用預(yù)先制備的光刻板和紫外曝光機(jī)進(jìn)行曝光處理；對(duì)紫外曝光后的光刻膠進(jìn)行顯影、定影；使用等離子干法刻蝕法進(jìn)行刻蝕沒有光刻膠覆蓋的區(qū)域，最后將器件放入丙酮去除光刻膠，得到源極S、柵極g和漏極d。如圖如所示，場(chǎng)效應(yīng)管的結(jié)構(gòu)原理結(jié)構(gòu)示意圖。按照示例1和2中的測(cè)試方法，在柵極g上施加變化的電壓Ve，在源極和漏極之間施加Vds，通過不同的電壓對(duì)源極和漏極之間的電阻進(jìn)行調(diào)制，從而獲得不同的漏極電流，即獲得輸出特性曲線。示例6 按照示例3方法，利用磁控濺射設(shè)備，在(OOl)-PMN-PT鐵電氧化物襯底基片上依次沉積緩沖層Ta 5nm、絕緣層AlOxImiK中間導(dǎo)電層Co75Fe25Snm和頂部覆蓋層Ta 5nm。最后在(001)-PMN-PT鐵電氧化物襯底基片的背面沉積底層Au lOOnm。制作電極首先在制備的納米多層膜的上面旋涂 1 μ m厚的ma-N440紫外光刻負(fù)膠，利用預(yù)先制備的光刻板和紫外曝光機(jī)進(jìn)行曝光處理；對(duì)紫外曝光后的光刻膠進(jìn)行顯影、定影；使用等離子干法刻蝕法進(jìn)行刻蝕沒有光刻膠覆蓋的區(qū)域，刻蝕深度截止在緩沖層Ta ；然后再次利用磁控濺射設(shè)備沉積絕緣層SiO2,絕緣層S^2的厚度基本能夠?qū)⒖涛g區(qū)域填平；然后將制備的器件放入丙酮進(jìn)行光刻膠的剝離；再一次重復(fù)以上光刻步驟，在整個(gè)器件表面均勻旋涂 Iym 厚的ma-N440紫外光刻膠，利用預(yù)先制備的光刻板和紫外曝光機(jī)進(jìn)行曝光處理；對(duì)紫外曝光后的光刻膠進(jìn)行顯影、定影；使用使用等離子刻蝕法進(jìn)行刻蝕沒有光刻膠覆蓋的區(qū)域，即在絕緣層SiO2進(jìn)行打孔，刻蝕深度至緩沖層Ta。然后將器件放入丙酮中去除光刻膠；再一次利用磁控濺射設(shè)備，在器件上面沉積Au IOOnm ；再一次重復(fù)以上光刻步驟，在整個(gè)器件表面均勻旋涂1 μ m厚的S1813紫外光刻膠，利用預(yù)先制備的光刻板和紫外曝光機(jī)進(jìn)行曝光處理；對(duì)紫外曝光后的光刻膠進(jìn)行顯影、定影；使用等離子刻蝕法進(jìn)行刻蝕沒有光刻膠覆蓋的區(qū)域，最后將器件放入丙酮去除光刻膠，得到源極S、柵極g和漏極d。如圖4d所示，場(chǎng)效應(yīng)管的結(jié)構(gòu)原理結(jié)構(gòu)示意圖。按照示例1和2中的測(cè)試方法，在柵極g上施加變化的電壓Ve，在源極和漏極之間施加Vds，通過不同的電壓對(duì)源極和漏極之間的電阻進(jìn)行調(diào)制，從而獲得不同的漏極電流，即獲得輸出特性曲線。示例7 按照示例1和2的方法，利用脈沖激光沉積(PLD)、原子層沉積(ALD)、分子束外延或磁控濺射設(shè)備，在Si/SiA襯底上沉積底層金屬Cu 50nm,然后利用脈沖激光沉積(PLD)、原子層沉積(ALD)、分子束外延或磁控濺射設(shè)備沉積功能層(OOl)-PMN-PT鐵電氧化物(可根據(jù)技術(shù)要求預(yù)先生長(zhǎng)種子層)，接著在PMN-PT鐵電氧化物薄膜上依次沉積緩沖層I1a 5nm、絕緣層AlOxImiK中間導(dǎo)電層Co75i^255nm和頂部覆蓋層Ta 5nm。制作電極首先在制備的納米多層膜的上面旋涂1 μ m厚的ma-N440紫外光刻膠，利用預(yù)先制備的光刻板和紫外曝光機(jī)進(jìn)行曝光處理；對(duì)紫外曝光后的光刻膠進(jìn)行顯影、定影；使用等離子干法刻蝕法進(jìn)行刻蝕沒有光刻膠覆蓋的區(qū)域，刻蝕深度截止在緩沖層Ta ；然后再次利用磁控濺射設(shè)備沉積絕緣層SiO2,絕緣層S^2的厚度基本能夠?qū)⒖涛g區(qū)域填平；然后將制備的器件放入丙酮進(jìn)行光刻膠的剝離；再一次利用磁控濺射設(shè)備，在剝離SiO2后的器件上面沉積Au IOOnm ；再一次重復(fù)以上光刻步驟，在整個(gè)器件表面均勻旋涂1 μ m厚的S1813紫外光刻膠， 利用預(yù)先制備的光刻板和紫外曝光機(jī)進(jìn)行曝光處理；對(duì)紫外曝光后的光刻膠進(jìn)行顯影、定影；使用等離子干法刻蝕法進(jìn)行刻蝕沒有光刻膠覆蓋的區(qū)域，最后將器件放入丙酮去除光刻膠，得到源極S、柵極g和漏極d。如圖如所示，場(chǎng)效應(yīng)管的結(jié)構(gòu)原理結(jié)構(gòu)示意圖。按照示例1和2中的測(cè)試方法，在柵極g上施加變化的電壓Ve，在源極和漏極之間施加Vds，通過不同的電壓對(duì)源極和漏極之間的電阻進(jìn)行調(diào)制，從而獲得不同的漏極電流，即獲得輸出特性曲線。示例8 按照示例1和2的方法，利用脈沖激光沉積(PLD)、原子層沉積(ALD)、分子束外延或磁控濺射設(shè)備，在Si/SiA襯底上沉積底層金屬Cu 50nm,然后利用脈沖激光沉積 (PLD)、原子層沉積(ALD)、分子束外延或磁控濺射設(shè)備沉積功能層(OOl)-PMN-PT鐵電氧化物(可根據(jù)技術(shù)要求預(yù)先生長(zhǎng)種子層)，接著在PMN-PT鐵電氧化物薄膜上依次沉積緩沖層 Ta 5nm、絕緣層AlOxInnu中間導(dǎo)電層Co7fe255nm和頂部覆蓋層Ta 5nm。制作電極首先在制備的納米多層膜的上面旋涂 1 μ m厚的ma-N440紫外光刻負(fù)膠，利用預(yù)先制備的光刻板和紫外曝光機(jī)進(jìn)行曝光處理；對(duì)紫外曝光后的光刻膠進(jìn)行顯影、定影；使用等離子干法刻蝕法進(jìn)行刻蝕沒有光刻膠覆蓋的區(qū)域，刻蝕深度截止在緩沖層Ta ；然后再次利用磁控濺射設(shè)備沉積絕緣層SiO2,絕緣層S^2的厚度基本能夠?qū)⒖涛g區(qū)域填平；然后將制備的器件放入丙酮進(jìn)行光刻膠的剝離；再一次重復(fù)以上光刻步驟，在整個(gè)器件表面均勻旋涂 Iym厚的ma-N440紫外光刻膠，利用預(yù)先制備的光刻板和紫外曝光機(jī)進(jìn)行曝光處理；對(duì)紫外曝光后的光刻膠進(jìn)行顯影、定影；使用使用等離子刻蝕法進(jìn)行刻蝕沒有光刻膠覆蓋的區(qū)域，即在絕緣層SiO2進(jìn)行打孔，刻蝕深度至緩沖層Ta。然后將器件放入丙酮中去除光刻膠；再一次利用磁控濺射設(shè)備，在器件上面沉積Au IOOnm ；再一次重復(fù)以上光刻步驟，在整個(gè)器件表面均勻旋涂1 μ m厚的S1813紫外光刻膠，利用預(yù)先制備的光刻板和紫外曝光機(jī)進(jìn)行曝光處理；對(duì)紫外曝光后的光刻膠進(jìn)行顯影、定影；使用等離子刻蝕法進(jìn)行刻蝕沒有光刻膠覆蓋
23的區(qū)域，最后將器件放入丙酮去除光刻膠，得到源極S、柵極g和漏極d。如圖4f所示，場(chǎng)效應(yīng)管的結(jié)構(gòu)原理結(jié)構(gòu)示意圖。按照示例1和2中的測(cè)試方法，在柵極g上施加變化的電壓 Vg,在源極和漏極之間施加Vds，通過不同的電壓對(duì)源極和漏極之間的電阻進(jìn)行調(diào)制，從而獲得不同的漏極電流，即獲得輸出特性曲線。示例9 按照示例3方法，利用磁控濺射設(shè)備，在(001) -PMN-PT鐵電氧化物襯底基片上依次沉積緩沖層Ta 5nm、絕緣層AlOxImiK中間導(dǎo)電層Al 5nm和頂部覆蓋層Ta 5nm。最后在(OOl)-PMN-PT鐵電氧化物襯底基片的背面沉積底層IOnm Cr、Au lOOnm。利用示例3 中的微加工方法，制備場(chǎng)效應(yīng)管的源極s、柵極g和漏極d。按照示例1和2中的測(cè)試方法， 在柵極g上施加變化的電壓Ve，在源極和漏極之間施加Vds，通過不同的電壓對(duì)源極和漏極之間的電阻進(jìn)行調(diào)制，從而獲得不同的漏極電流，即獲得輸出特性曲線。示例10 按照示例3方法，利用磁控濺射設(shè)備，在(001) -PMN-PT鐵電氧化物襯底基片上依次沉積緩沖層Ta 5nm、絕緣層AlOxImiK中間導(dǎo)電層Al 5nm和頂部覆蓋層Ta 5nm。 最后在(OOl)-PMN-PT鐵電氧化物襯底基片的背面沉積底層IOnm Cr.Au lOOnm。利用示例 4中的微加工方法，制備場(chǎng)效應(yīng)管的源極S、柵極g和漏極d。按照示例1和2中的測(cè)試方法，在柵極g上施加變化的電壓Ve，在源極和漏極之間施加Vds，通過不同的電壓對(duì)源極和漏極之間的電阻進(jìn)行調(diào)制，從而獲得不同的漏極電流，即獲得輸出特性曲線。示例11 按照示例3方法，利用磁控濺射設(shè)備，在(001) -PMN-PT鐵電氧化物襯底基片上依次沉積緩沖層Ta 5nm、絕緣層AlOxInnu中間導(dǎo)電層IrMn 5nm和頂部覆蓋層Ta 5nm。最后在(OOl)-PMN-PT鐵電氧化物襯底基片的背面沉積底層IOnm Cr、Au lOOnm。利用示例3中的微加工方法，制備場(chǎng)效應(yīng)管的源極S、柵極g和漏極d。按照示例1和2中的測(cè)試方法，在柵極g上施加變化的電壓Ve，在源極和漏極之間施加Vds，通過不同的電壓對(duì)源極和漏極之間的電阻進(jìn)行調(diào)制，從而獲得不同的漏極電流，即獲得輸出特性曲線。示例12 按照示例3方法，利用磁控濺射設(shè)備，在(001) -PMN-PT鐵電氧化物襯底基片上依次沉積緩沖層Ta 5nm、絕緣層AlOxInnu中間導(dǎo)電層IrMn 5nm和頂部覆蓋層Ta 5nm。最后在(OOl)-PMN-PT鐵電氧化物襯底基片的背面沉積底層IOnm Cr、Au lOOnm。利用示例4中的微加工方法，制備場(chǎng)效應(yīng)管的源極S、柵極g和漏極d。按照示例1和2中的測(cè)試方法，在柵極g上施加變化的電壓Ve，在源極和漏極之間施加Vds，通過不同的電壓對(duì)源極和漏極之間的電阻進(jìn)行調(diào)制，從而獲得不同的漏極電流，即獲得輸出特性曲線。示例 13 圖如是本發(fā)明實(shí)施例13基于可逆電致電阻效應(yīng)的電阻隨機(jī)存儲(chǔ)器單元的原理示意圖。從圖中可以看出，該存儲(chǔ)單元包括電致電阻納米器件、字線(word line)、讀位線(bit line)、寫位線(digit line)、地線(ground line)和 1 個(gè)晶體管。在ERAM的尋址讀出操作中，首先由被選擇的字線word line給出一個(gè)適當(dāng)?shù)碾娖绞咕w管工作于導(dǎo)通狀態(tài)，然后由被選擇的讀位線bit line相應(yīng)地導(dǎo)出一個(gè)讀出電流，該讀出電流 1mA，經(jīng)由納米存儲(chǔ)單元的漏極、源極、晶體管到達(dá)地線ground line，從而獲得當(dāng)前納米存儲(chǔ)單元電阻大小，同預(yù)先標(biāo)準(zhǔn)值進(jìn)行比較，得到ERAM單元中存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)信息。在ERAM的尋址寫入操作中，首先由被選擇的字線word line給出一個(gè)適當(dāng)?shù)碾娖绞咕w管工作于導(dǎo)通狀態(tài)，然后由被選擇的寫位線digit line施加一個(gè)較大的電壓(該電壓大于電阻的臨界翻轉(zhuǎn)電壓Vtl),這樣就在柵極和底層之間形成電場(chǎng)，由于電致電阻效應(yīng)，就可以實(shí)現(xiàn)納米存儲(chǔ)單元的高低阻態(tài)的變化，這樣就完成了對(duì)ERAM存儲(chǔ)單元數(shù)據(jù)的寫入。以上ERAM存儲(chǔ)單元是根據(jù)示例3設(shè)計(jì)原理為基礎(chǔ)進(jìn)行設(shè)計(jì)，那么同樣可以根據(jù)示例4、5、6、7、8的設(shè)計(jì)原理進(jìn)行設(shè)計(jì)ERAM存儲(chǔ)單元，如圖5b、5c、5dje、5f。根據(jù)示例4、5、 6、7、8的設(shè)計(jì)原理為基礎(chǔ)設(shè)計(jì)的ERAM存儲(chǔ)單元，工作原理同圖fe中存儲(chǔ)單元類似。其中圖 ^、5e、5f中的最底層空白區(qū)域?qū)?yīng)為基片襯底，是非鐵電或多鐵性材料。字線、寫位線、讀位線、地線等外圍電路都應(yīng)基于基片襯底為基礎(chǔ)進(jìn)行設(shè)計(jì)制備。以上ERAM存儲(chǔ)單元的結(jié)構(gòu)示意圖僅標(biāo)示出核心結(jié)構(gòu)層，其它附屬結(jié)構(gòu)層可根據(jù)實(shí)際情況添加，但仍處于本專利的保護(hù)范圍之內(nèi)。本發(fā)明提供一種提出一種電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜、電場(chǎng)調(diào)制型場(chǎng)效應(yīng)管、開關(guān)型電場(chǎng)傳感器及電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)型隨機(jī)存儲(chǔ)器及制備方法，以用來獲得室溫下電場(chǎng)調(diào)制納米多層薄膜中的電致電阻效應(yīng)。本發(fā)明通過變化的電場(chǎng)對(duì)鐵電或多鐵性材料的電極化特性的調(diào)制， 影響和改變導(dǎo)電層的電導(dǎo)，調(diào)控器件電阻的變化，從而獲得不同的電場(chǎng)對(duì)應(yīng)不同的電阻態(tài)。當(dāng)然，本發(fā)明還可有其它多種實(shí)施例，在不背離本發(fā)明精神及其實(shí)質(zhì)的情況下，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員可根據(jù)本發(fā)明作出各種相應(yīng)的改變和變形，但這些相應(yīng)的改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
2權(quán)利要求
1.一種電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜，其特征在于，由下至上依次包括 底層；基片襯底； 緩沖層絕緣勢(shì)壘層導(dǎo)電層； 頂部覆蓋層；其中所述底層為導(dǎo)電材料，作為下電極用于在基片襯底上施加電場(chǎng)；基片襯底為鐵電或多鐵性材料，可在電場(chǎng)的作用下改變和調(diào)控其電極化強(qiáng)度的大小及其方向；緩沖層作為上電極用于在鐵電或多鐵性材料上施加電場(chǎng)；中間的絕緣勢(shì)壘層為氧化物；頂部覆蓋層為保護(hù)層，防止中間導(dǎo)電層被氧化；通過在所述的底層和緩沖層之間施加電場(chǎng)，由于基片襯底的電極化強(qiáng)度大小及其方向的改變，影響和改變相鄰導(dǎo)電層的面內(nèi)電導(dǎo)，可獲得不同電場(chǎng)下不同的電阻態(tài)，導(dǎo)致可逆電致電阻效應(yīng)的產(chǎn)生。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜，其特征在于，所述納米多層膜中，所述的底層包括導(dǎo)電金屬材料。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜，其特征在于，所述納米多層膜中，所述的導(dǎo)電層包括非磁金屬層、磁性金屬層、反鐵磁性層、導(dǎo)電分子材料、拓?fù)浣^緣體材料、或摻雜導(dǎo)電半導(dǎo)體材料等。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜，其特征在于，所述納米多層膜中， 所述的非磁金屬層由非磁金屬或其合金組成，厚度為2-lOOnm;所述的磁性金屬層由磁性金屬或其合金制成，厚度為2-lOOnm或由稀磁半導(dǎo)體材料或半金屬材料制成，厚度為 2-100nm。所述的磁性金屬層包括直接或間接釘扎結(jié)構(gòu)，直接釘扎結(jié)構(gòu)包括反鐵磁性層/鐵磁性層；間接釘扎結(jié)構(gòu)包括反鐵磁性層/第一鐵磁性層/非磁性金屬層/第二鐵磁性層。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜，其特征在于，所述納米多層膜中， 所述反鐵磁性層由反鐵磁性材料構(gòu)成，所述反鐵磁性材料包括具有反鐵磁性的合金或氧化物。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜，其特征在于，所述納米多層膜中， 所述鐵磁性層、第一鐵磁性層和第二鐵磁性層由鐵磁性金屬或其合金制成，厚度為2 IOOnm ；或由稀磁半導(dǎo)體材料或半金屬材料制成，厚度為2 lOOnm。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜，其特征在于，所述納米多層膜中，所述頂部覆蓋層包括由非易氧化金屬材料制成的單層或多層薄膜，厚度為2 200nm。
8.一種電場(chǎng)調(diào)制型納米多層膜，其特征在于，由下至上依次包括 基片襯底；底層； 功能層緩沖層絕緣勢(shì)壘層導(dǎo)電層；頂部覆蓋層；其中所述底層為導(dǎo)電材料，作為下電極用于在功能層上施加電場(chǎng)；所述功能層為鐵電或多鐵性薄膜，可在電場(chǎng)的作用下改變和調(diào)控其電極化強(qiáng)度的大小及其方向；所述緩沖層作為上電極用于在鐵電或多鐵性薄膜材料上施加電場(chǎng)；所述中間的絕緣勢(shì)壘層為氧化物； 所述頂部覆蓋層為保護(hù)層，防止中間導(dǎo)電層被氧化，通過在所述的底層和緩沖層之間施加電場(chǎng)，由于功能層的電極化強(qiáng)度大小及其方向的改變，影響和改變相鄰導(dǎo)電層的面內(nèi)電導(dǎo)， 可獲得不同電場(chǎng)下不同的電阻態(tài)，導(dǎo)致可逆電致電阻效應(yīng)的產(chǎn)生。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電場(chǎng)調(diào)制型納米多層膜，其特征在于，所述納米多層膜中，所述的基片襯底包括Si襯底、SiC、玻璃襯底或Si-SW2襯底，MgO單晶襯底、Al2O3單晶襯底或者有機(jī)柔性襯底。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電場(chǎng)調(diào)制型納米多層膜，其特征在于，所述納米多層膜中， 所述的底層包括導(dǎo)電金屬材料。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電場(chǎng)調(diào)制型納米多層膜，其特征在于，所述納米多層膜中， 所述的功能層包括鐵電或多鐵性納米薄膜，可根據(jù)實(shí)際需要預(yù)先沉積種子層。
12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電場(chǎng)調(diào)制型納米多層膜，其特征在于，所述納米多層膜中， 所述導(dǎo)電層生長(zhǎng)在所述絕緣勢(shì)壘層上面，其電導(dǎo)能夠通過電極化相互作用或者磁電耦合作用受到底部鐵電或多鐵性薄膜的電極化強(qiáng)度大小及方向的調(diào)控。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的電場(chǎng)調(diào)制型納米多層膜，其特征在于，所述納米多層膜中， 所述的導(dǎo)電層包括非磁金屬層、磁性金屬層、反鐵磁性層、導(dǎo)電分子材料、拓?fù)浣^緣體材料、 或摻雜導(dǎo)電半導(dǎo)體材料等。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的電場(chǎng)調(diào)制型納米多層膜，其特征在于，所述納米多層膜中， 所述的非磁金屬層由非磁金屬或其合金組成，厚度為2-lOOnm。所述的磁性金屬層由磁性金屬或其合金制成，厚度為2-lOOnm或由稀磁半導(dǎo)體材料或半金屬材料制成，厚度為2-lOOnm。所述的磁性金屬層包括直接或間接釘扎結(jié)構(gòu)，直接釘扎結(jié)構(gòu)包括反鐵磁性層/鐵磁性層；間接釘扎結(jié)構(gòu)包括反鐵磁性層/第一鐵磁性層/非磁性金屬層/第二鐵磁性層。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的電場(chǎng)調(diào)制型納米多層膜，其特征在于，所述納米多層膜中， 所述反鐵磁性層由反鐵磁性材料構(gòu)成，所述反鐵磁性材料包括具有反鐵磁性的合金或氧化物。
16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的電場(chǎng)調(diào)制型納米多層膜，其特征在于，所述納米多層膜中，所述鐵磁性層、第一鐵磁性層和第二鐵磁性層由鐵磁性金屬或其合金制成，厚度為2 IOOnm ；或由稀磁半導(dǎo)體材料或半金屬材料制成，厚度為2 lOOnm。
17.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電場(chǎng)調(diào)制型納米多層膜，其特征在于，所述納米多層膜中， 所述頂部覆蓋層包括由非易氧化金屬材料制成的單層或多層薄膜，厚度為2 200nm。
18.—種電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜，其特征在于，由下至上依次包括底層基片襯底；磁性層；頂部覆蓋層；其中所述底層為導(dǎo)電材料，作為下電極用于在基片襯底上施加電場(chǎng)；基片襯底為鐵電或多鐵性材料，可在電場(chǎng)的作用下改變和調(diào)控其電極化強(qiáng)度的大小及其方向；頂部覆蓋層作為上電極和保護(hù)層，防止中間磁性層被氧化，通過在所述的底層和頂部覆蓋層之間施加電場(chǎng)，由于基片襯底的電極化強(qiáng)度大小及其方向的改變，影響和改變相鄰磁性層的面內(nèi)電導(dǎo)，可獲得不同電場(chǎng)下不同的電阻態(tài)，導(dǎo)致可逆電致電阻效應(yīng)的產(chǎn)生。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜，其特征在于，所述磁性層能夠完美地生長(zhǎng)在基片襯底材料上面，并能夠通過磁電耦合與基片襯底發(fā)生相互作用。
20.根據(jù)權(quán)利要求18所述的電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜，其特征在于，所述納米多層膜中， 所述的磁性層由鐵磁金屬或其合金制成，厚度為2-lOOnm;或由稀磁半導(dǎo)體材料或半金屬材料制成，厚度為2-lOOnm。
21.根據(jù)權(quán)利要求18所述的電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜，其特征在于，所述納米多層膜中， 所述的磁性層包括直接或間接釘扎結(jié)構(gòu)，直接釘扎結(jié)構(gòu)包括反鐵磁性層)/鐵磁性層；間接釘扎結(jié)構(gòu)包括反鐵磁性層/第一鐵磁性層/非磁性金屬層/第二鐵磁性層。
22.根據(jù)權(quán)利要求18所述的電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜，其特征在于，所述納米多層膜中， 所述反鐵磁性層由反鐵磁性材料構(gòu)成，所述反鐵磁性材料包括具有反鐵磁性的合金或氧化物。
23.根據(jù)權(quán)利要求18所述的電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜，其特征在于，所述納米多層膜中，所述鐵磁性層、第一鐵磁性層和第二鐵磁性層由鐵磁性金屬或其合金制成，厚度為2 IOOnm或由稀磁半導(dǎo)體材料或半金屬材料制成，厚度為2 lOOnm。
24.根據(jù)權(quán)利要求18所述的電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜，其特征在于，所述納米多層膜中， 所述覆蓋層包括由非易氧化金屬材料制成的單層或多層薄膜，厚度為2 200nm。
25.一種電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜，其特征在于，由下至上依次包括基片襯底；底層；功能層磁性層；頂部覆蓋層；其中所述的基片襯底為非鐵電或多鐵性材料；所述底層為導(dǎo)電材料；作為下電極用于在功能層上施加電場(chǎng)；功能層為鐵電或多鐵性薄膜，可在電場(chǎng)的作用下改變和調(diào)控其電極化強(qiáng)度的大小及其方向；頂部覆蓋層作為上電極和保護(hù)層，防止中間磁性層被氧化；通過在所述的底層和頂部覆蓋層之間施加電場(chǎng)，由于功能層的電極化強(qiáng)度大小及其方向的改變，影響和改變相鄰金屬和磁性層的面內(nèi)電導(dǎo)，可獲得不同電場(chǎng)下不同的電阻態(tài)，導(dǎo)致可逆電致電阻效應(yīng)的產(chǎn)生。
26.根據(jù)權(quán)利要求25所述的電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜，其特征在于，所述納米多層膜中， 所述的底層包括導(dǎo)電金屬材料。
27.根據(jù)權(quán)利要求25所述的電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜，其特征在于，所述納米多層膜中， 所述的基片襯底包括Si襯底、SiC、玻璃襯底或Si-SiO2襯底，MgO單晶襯底、Al2O3單晶襯底或者有機(jī)柔性襯底。
28.根據(jù)權(quán)利要求25所述的電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜，其特征在于，所述納米多層膜中，所述的功能層包括鐵電或多鐵性納米薄膜。
29.根據(jù)權(quán)利要求25所述的電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜，其特征在于，所述納米多層膜中， 所述磁性層生長(zhǎng)在所述功能層的材料上面，其電導(dǎo)能夠通過電極化相互作用或者磁電耦合作用受到底部鐵電或多鐵性薄膜的電極化強(qiáng)度大小及方向的調(diào)控。
30.根據(jù)權(quán)利要求25所述的電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜，其特征在于，所述納米多層膜中， 所述的磁性層由鐵磁金屬或其合金制成，厚度為2-lOOnm;或由稀磁半導(dǎo)體材料或半金屬材料制成，厚度為2-lOOnm。
31.根據(jù)權(quán)利要求25所述的電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜，其特征在于，所述納米多層膜中， 所述的磁性層包括直接或間接釘扎結(jié)構(gòu)，直接釘扎結(jié)構(gòu)包括反鐵磁性層/鐵磁性層；間接釘扎結(jié)構(gòu)包括反鐵磁性層/第一鐵磁性層/非磁性金屬層/第二鐵磁性層。
32.根據(jù)權(quán)利要求31所述的電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜，其特征在于，所述納米多層膜中， 所述反鐵磁性層有反鐵磁性材料構(gòu)成，所述反鐵磁性材料包括具有反鐵磁性的合金或氧化物。
33.根據(jù)權(quán)利要求31所述的電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜，其特征在于，所述納米多層膜中，所述鐵磁性層、第一鐵磁性層和第二鐵磁性層由鐵磁性金屬或其合金制成，厚度為2 IOOnm ；或由稀磁半導(dǎo)體材料或半金屬材料制成，厚度為2 lOOnm。
34.根據(jù)權(quán)利要求31所述的電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜，其特征在于，所述納米多層膜中， 所述覆蓋層包括由非易氧化金屬材料制成的單層或多層薄膜，厚度為2 200nm。
35.一種基于電致電阻效應(yīng)的電場(chǎng)調(diào)制型場(chǎng)效應(yīng)管，其特征在于，包括權(quán)利要求1-34 中任意一項(xiàng)所述的電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜。
36.根據(jù)權(quán)利要求35所述的基于電致電阻效應(yīng)的電場(chǎng)調(diào)制型場(chǎng)效應(yīng)管，其特征在于， 通過在柵極施加不同的電壓，在頂部覆蓋層和底層之間形成一定的電場(chǎng)，另在源極和漏極之間施加一定的電壓，由于電致電阻效應(yīng)的產(chǎn)生，在不同的電場(chǎng)下，多層膜的電阻不同，造成從源極到漏極的電導(dǎo)不同，即可以通過柵極電壓來調(diào)控從源極到漏極的電導(dǎo)或電阻值的大小。
37.一種基于電致電阻效應(yīng)的開關(guān)型電場(chǎng)傳感器、其特征在于，包括權(quán)利要求1-34中任意一項(xiàng)所述的電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜。
38.一種基于電致電阻效應(yīng)的、即以電場(chǎng)調(diào)控的納米器件為存儲(chǔ)單元的電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)型隨機(jī)存儲(chǔ)器，其特征在于，包括權(quán)利要求1-34中任意一項(xiàng)所述的電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜。
39.權(quán)利要求1所述的電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜的制備方法，其特征在于，采用磁控濺射并結(jié)合激光輔助沉積、分子束外延、原子層沉積或氣相化學(xué)反應(yīng)沉積生長(zhǎng)方法沉積底層、 緩沖層、絕緣勢(shì)壘層、導(dǎo)電層及頂部覆蓋層；其中所述底層為導(dǎo)電材料，作為下電極用于在鐵電或多鐵性材料上施加電場(chǎng)；基片襯底為鐵電或多鐵性材料，可在電場(chǎng)的作用下改變和調(diào)控其電極化強(qiáng)度的大小及其方向；緩沖層作為上電極用于在鐵電或多鐵性材料上施加電場(chǎng)；中間的絕緣勢(shì)壘層為氧化物；頂部覆蓋層為保護(hù)層，防止中間導(dǎo)電層被氧化；通過在所述的底層和緩沖層之間施加電場(chǎng)，由于基片襯底的電極化強(qiáng)度大小及其方向的改變，影響和改變相鄰導(dǎo)電層的面內(nèi)電導(dǎo)，可獲得不同電場(chǎng)下不同的電阻態(tài)，導(dǎo)致可逆電致電阻效應(yīng)的產(chǎn)生。
40.權(quán)利要求8所述的電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜的制備方法，其特征在于，采用磁控濺射并結(jié)合激光輔助沉積、分子束外延、原子層沉積或氣相化學(xué)反應(yīng)沉積生長(zhǎng)方法在基片襯底上依次沉積底層、功能層、緩沖層、絕緣勢(shì)壘層、導(dǎo)電層及頂部覆蓋層；其中所述底層為導(dǎo)電材料，作為下電極用于在功能層上施加電場(chǎng)；所述功能層為鐵電或多鐵性薄膜，可在電場(chǎng)的作用下改變和調(diào)控其電極化強(qiáng)度的大小及其方向；所述緩沖層作為上電極用于在鐵電或多鐵性薄膜材料上施加電場(chǎng)；所述中間的絕緣勢(shì)壘層為氧化物； 所述頂部覆蓋層為保護(hù)層，防止中間導(dǎo)電層被氧化，通過在所述的底層和緩沖層之間施加電場(chǎng)，由于功能層的電極化強(qiáng)度大小及其方向的改變，影響和改變相鄰導(dǎo)電層的面內(nèi)電導(dǎo)， 可獲得不同電場(chǎng)下不同的電阻態(tài)，導(dǎo)致可逆電致電阻效應(yīng)的產(chǎn)生。
41.權(quán)利要求18所述的電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜的制備方法，其特征在于，采用磁控濺射并結(jié)合激光輔助沉積、分子束外延、原子層沉積或氣相化學(xué)反應(yīng)沉積生長(zhǎng)方法在基片襯底上依次沉積底層、磁性層及頂部覆蓋層；其中所述底層為導(dǎo)電材料，作為下電極用于在鐵電或多鐵性材料上施加電場(chǎng)；基片襯底為鐵電或多鐵性材料，可在電場(chǎng)的作用下改變和調(diào)控其電極化強(qiáng)度的大小及其方向；頂部覆蓋層作為上電極和保護(hù)層，防止中間磁性層被氧化，通過在所述的底層和頂部覆蓋層之間施加電場(chǎng)，由于基片襯底的電極化強(qiáng)度大小及其方向的改變，影響和改變相鄰導(dǎo)電層的面內(nèi)電導(dǎo)，可獲得不同電場(chǎng)下不同的電阻態(tài)，導(dǎo)致可逆電致電阻效應(yīng)的產(chǎn)生。
42.權(quán)利要求25所述的電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜的制備方法，其特征在于，采用磁控濺射并結(jié)合激光輔助沉積、分子束外延、原子層沉積或氣相化學(xué)反應(yīng)沉積生長(zhǎng)方法在基片襯底上依次沉積底層、功能層、磁性層及頂部覆蓋層；其中所述的基片襯底為非鐵電或多鐵性材料；所述底層為導(dǎo)電材料，作為下電極用于在功能層上施加電場(chǎng)；功能層為鐵電或多鐵性薄膜，可在電場(chǎng)的作用下改變和調(diào)控其電極化強(qiáng)度的大小及其方向；頂部覆蓋層作為上電極和保護(hù)層，防止中間磁性層被氧化；通過在所述的底層和頂部覆蓋層之間施加電場(chǎng)，由于功能層的電極化強(qiáng)度大小及其方向的改變，影響和改變相鄰導(dǎo)電層的面內(nèi)電導(dǎo)，可獲得不同電場(chǎng)下不同的電阻態(tài)，導(dǎo)致可逆電致電阻效應(yīng)的產(chǎn)生。
全文摘要
一種電場(chǎng)調(diào)控型納米多層膜、電場(chǎng)調(diào)制型場(chǎng)效應(yīng)管、開關(guān)型電場(chǎng)傳感器及電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)型隨機(jī)存儲(chǔ)器及制備方法，以用來獲得室溫下電場(chǎng)調(diào)制多層薄膜中的電致電阻效應(yīng)。該納米多層膜由下至上依次包括底層1、基片、底層2、功能層、緩沖層、絕緣層、中間導(dǎo)電層、覆蓋層，中間導(dǎo)電層為磁性金屬、磁性合金或者磁性金屬復(fù)合層時(shí)，緩沖層和絕緣層可以根據(jù)實(shí)際需要選擇性的添加。當(dāng)中間導(dǎo)電層為非磁性金屬層或反鐵磁性金屬層時(shí)，緩沖層和絕緣層必須添加，以便獲得較高的信噪比。本發(fā)明通過變化的電場(chǎng)對(duì)鐵電或多鐵性材料的電極化特性進(jìn)行調(diào)制，從而達(dá)到影響和改變金屬層的電導(dǎo)的作用，調(diào)控器件電阻的變化，獲得不同的電場(chǎng)下對(duì)應(yīng)不同的電阻態(tài)，實(shí)現(xiàn)電致電阻效應(yīng)。
文檔編號(hào)H01L27/24GK102487124SQ20111029006
公開日2012年6月6日 申請(qǐng)日期2011年9月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月19日
發(fā)明者劉厚方, 瑞之萬, 韓秀峰 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院物理研究所