專利名稱：蝕刻及電漿表面處理制作高效能太陽能電池金屬背電極的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是一種可大大增加入射光到達(dá)背電極后反射光散射之方向性，提升光在吸收層的行進(jìn)距離，提高太陽能效率，其主要目的采用酸堿水溶液蝕刻機(jī)制原理及電漿表面處哩，在其薄膜表面侵蝕后形成平滑的凹凸形絨狀結(jié)構(gòu)，增加入射光到達(dá)背電極后反射光散射之方向性，提升光在吸收層的行進(jìn)距離，以增加太陽能電池發(fā)電效率。
背景技術(shù)：
在第一道制程為鍍制背電極結(jié)構(gòu)的太陽能電池，因?yàn)椴⒉幌裣儒冎魄半姌O的太陽能電池有透明導(dǎo)電玻璃有texture(絨狀)表面，所以缺乏光在組件內(nèi)部散射、增加光行進(jìn)距離的結(jié)構(gòu)，若要提高散射率，需在電池入光前加裝散射裝置，成本相當(dāng)高。如能改善此缺點(diǎn)，便能有效提升整體效率。 發(fā)明說明
本發(fā)明主要是采用酸堿水溶液蝕刻及電漿轟擊機(jī)制原理，使其表面形成平滑凹凸形絨狀結(jié)構(gòu)，增加入射光到達(dá)背電極后反射光散射之方向性，提升光在吸收層的行進(jìn)距離，以增加太陽能電池發(fā)電效率。先取得一個基板，利用濺鍍方法鍍制金屬背電極膜。鍍制完金屬背電極后，將其金屬背電極基板進(jìn)行蝕刻處理，使其表面形成凹凸形的島狀結(jié)構(gòu)，其目的在于增加金屬背電極的表面積，提升光反射后行進(jìn)角度分布，增加光在太陽能組件內(nèi)行徑距離；接下來再進(jìn)行電將轟擊薄膜表面，減少光損失，大大提升太陽能電池有效光源。具體實(shí)施方法
吾將本發(fā)明搭配附圖，詳細(xì)說明如下圖1為本本發(fā)明平滑凹凸形絨狀結(jié)構(gòu)背電極鍍制之示意圖，由圖中可得知，一開始取得一基板(I)，將其放入濺鍍真空腔體內(nèi)，首先鍍制上高導(dǎo)電薄膜金屬背電極(2)，之后將其金屬背電極基板置入蝕刻槽中進(jìn)行侵蝕薄膜表面
(3)，此行為，使其玻膜表面形成凹凸形的島狀結(jié)構(gòu)，產(chǎn)生了許多額外的表面積；接著將試片送入真空腔體內(nèi)，使用氣體電漿轟擊，進(jìn)行表面電漿處理，使其金屬背電極表面平滑(4)，減少光在表面反射時(shí)，因薄膜表面粗糙而造成光損失。圖2為本發(fā)明平滑凹凸形絨狀結(jié)構(gòu)背電極之光行進(jìn)路線圖，當(dāng)光遇到背電極反射時(shí)(2)，未經(jīng)過平滑凹凸形絨狀結(jié)構(gòu)(5)時(shí)，行進(jìn)間散射角度分布較窄；相對于光經(jīng)由膜層之平滑凹凸形絨狀結(jié)構(gòu)(6)時(shí)，由于增加光接觸表面積，大大提升光散射角度分布，能提高光在于組件內(nèi)行進(jìn)距離，且有較低的光損失，有效增加入射光之利用率，提升太陽能產(chǎn)業(yè)進(jìn)爭能力。以上說明，對本發(fā)明而言只是說明性的，非限制性的，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員理解，在不脫離權(quán)利要求所限定的精神和范圍的情況下，可作出許多修正、變化或等效，但都將落入本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。


下面為結(jié)合附圖對本發(fā)明進(jìn)一步說明，圖1為本發(fā)明平滑凹凸形絨狀結(jié)構(gòu)背電極鍍制之示意圖。圖2為本發(fā)明平滑凹凸形絨狀結(jié)構(gòu)背電極之光行進(jìn)路線之示意圖。圖標(biāo)主要符號說明1…基板2…金屬反射層3…凹凸形絨狀結(jié)構(gòu)4…平滑凹凸形絨狀結(jié)構(gòu)背電極層5…光行走非平滑凹凸形絨狀結(jié)構(gòu)背電極層之行進(jìn)路線6 …光行走本發(fā)明平滑凹凸形絨狀結(jié)構(gòu)背電極層之行進(jìn)路線。
權(quán)利要求
1.本發(fā)明主要是采用酸堿水溶液蝕刻及電漿轟擊機(jī)制原理，使其表面形成平滑凹凸形絨狀結(jié)構(gòu)，增加入射光到達(dá)背電極后反射光散射之方向性，提升光在吸收層的行進(jìn)距離，以增加太陽能電池發(fā)電效率，先取得一個基板，利用濺鍍方法鍍制金屬背電極膜，鍍制完金屬背電極后，將其金屬背電極基板進(jìn)行蝕刻處理，使其表面形成凹凸形的島狀結(jié)構(gòu)，其目的在于增加金屬背電極的表面積，提升光反射后行進(jìn)角度分布，增加光在太陽能組件內(nèi)行徑距離；接下來再進(jìn)行電將轟擊薄膜表面，減少光損失，大大提升太陽能電池有效光源。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種蝕刻及電漿表面處理制作高效能太陽能電池金屬背電極之方法，在鍍制過程中，只需將金屬薄膜層鍍上，調(diào)制所需之厚度及電性即可。
3.據(jù)權(quán)利要求1所述的一種蝕刻及電漿表面處理制作高效能太陽能電池金屬背電極之方法，鍍制完金屬薄膜背電擊后，之后將其金屬背電極基板置入蝕刻槽中進(jìn)行侵蝕薄膜表面，依你所采用之背電極材質(zhì)，而選用不同的酸堿溶液作蝕刻制程，皆屬于本發(fā)明之權(quán)利要求。
4.據(jù)權(quán)利要求1所述的一種蝕刻及電漿表面處理制作高效能太陽能電池金屬背電極之方法，使氣體電漿轟擊表面，依你金屬材質(zhì)及轟擊程度不同，而選用不同氣體制成，皆屬于本發(fā)明之權(quán)利要求。
全文摘要
本發(fā)明為蝕刻及電漿表面處理制作高效能太陽能電池金屬背電極，主要是采用酸堿水溶液蝕刻及電漿轟擊機(jī)制原理，使其表面形成平滑凹凸形絨狀結(jié)構(gòu)，增加入射光到達(dá)背電極后反射光散射之方向性，提升光在吸收層的行進(jìn)距離，以增加太陽能電池發(fā)電效率。先取得一個基板，利用濺鍍方法鍍制金屬背電極膜。鍍制完金屬背電極后，將其金屬背電極基板進(jìn)行蝕刻處理，使其表面形成凹凸形的島狀結(jié)構(gòu)，其目的在于增加金屬背電極的表面積，提升光反射后行進(jìn)角度分布，增加光在太陽能組件內(nèi)行徑距離；接下來再進(jìn)行電將轟擊薄膜表面，減少光損失，大大提升太陽能電池有效光源。
文檔編號H01L31/18GK103022222SQ20111028234
公開日2013年4月3日 申請日期2011年9月22日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月22日
發(fā)明者簡唯倫, 劉幼海, 劉吉人 申請人:吉富新能源科技(上海)有限公司