專(zhuān)利名稱(chēng):激光二極管驅(qū)動(dòng)電源的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種激光二極管驅(qū)動(dòng)電源,特別是一種激光二極管驅(qū)動(dòng)電源。該電源適合多種半導(dǎo)體端泵激光二極管和側(cè)泵激光二極管,可應(yīng)用于連續(xù)泵和脈沖泵激光器上。 該電源特別具有閾值電流和動(dòng)態(tài)電流脈沖寬度調(diào)整,使激光器功率或能量更穩(wěn)定。
背景技術(shù):
目前激光二極管驅(qū)動(dòng)電源基本上以大功率場(chǎng)效應(yīng)管或IGBT在功率管放大區(qū)內(nèi)通過(guò)電流反饋調(diào)整電流,達(dá)到恒流的目的,這類(lèi)電源效率低,熱損耗大,尤其是驅(qū)動(dòng)2V/60A等低電壓的激光二極管時(shí),電流很難做大,效率最多做到60%,需要加龐大的散熱器才可以工作,對(duì)使用環(huán)境也有要求,否則會(huì)因過(guò)熱而損壞功率管,導(dǎo)致激光二極管的損壞。在激勵(lì)模式方面,目前分兩大類(lèi),一類(lèi)是連續(xù)激光二極管驅(qū)動(dòng)電源,一類(lèi)是脈沖激光二極管驅(qū)動(dòng)電源,對(duì)于傳統(tǒng)的脈沖電源,在低電壓大電流時(shí)脈沖上升沿很大。這對(duì)于激光二極管在大電流躍進(jìn)時(shí)對(duì)激光管壽命有很大的影響。傳統(tǒng)模擬激光二極管驅(qū)動(dòng)電源存在抗干擾性差,自身的空間電磁輻射大,電流紋波系數(shù)大,電流控制精度不夠等缺點(diǎn),在和其它設(shè)備系統(tǒng)連接時(shí),主要還是靠模擬電壓調(diào)整電流,通過(guò)TTL進(jìn)行使能及故障報(bào)警,這樣就很容易受外界因素干擾特別是應(yīng)用在具有高壓開(kāi)關(guān)的電光Q激光器上,尤為明顯。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺陷,提供一種激光二極管驅(qū)動(dòng)電源。 以提高電源的抗干擾性和電流控制精度,降低電流紋波系數(shù)。本發(fā)明的技術(shù)解決方案如下
一種激光二極管驅(qū)動(dòng)電源,其特點(diǎn)在于由嵌入式控制器、三個(gè)場(chǎng)效應(yīng)管驅(qū)動(dòng)芯片、P溝道場(chǎng)效應(yīng)管、兩個(gè)N溝道場(chǎng)效應(yīng)管、電流傳感器、放大器、扼流線圈和肖特基二極管構(gòu)成,所述的該嵌入式控制器的第一脈寬調(diào)制端口接第一場(chǎng)效應(yīng)管驅(qū)動(dòng)芯片的輸入管腳,該第一場(chǎng)效應(yīng)管驅(qū)動(dòng)芯片的輸出管腳接P溝道場(chǎng)效應(yīng)管的G管腳,該P(yáng)溝道場(chǎng)效應(yīng)管的S管腳接供電電源的正極;
所述的嵌入式控制器的第二脈寬調(diào)制端口接第二場(chǎng)效應(yīng)管驅(qū)動(dòng)芯片的輸入管腳,第二場(chǎng)效應(yīng)管驅(qū)動(dòng)芯片的輸出管腳連接第一 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管的G管腳,該第一 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管的S管腳接地;
所述的P溝道場(chǎng)效應(yīng)管的D管腳和所述的第一 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管的D管腳以及扼流線圈的一端形成節(jié)點(diǎn),該扼流線圈的另一端與肖特基二極管的A管腳、激光二極管的輸入端、第二 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管的D管腳形成節(jié)點(diǎn),所述的肖特基二極管的K管腳接供電電源VDD的正極;
在所述的P溝道場(chǎng)效應(yīng)管的D管腳和所述的第一 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管的D管腳與所述的流線圈之間的電路上設(shè)有電流傳感器,該電流傳感器的輸出端經(jīng)放大器與所述的嵌入式控制器信號(hào)輸入端相連;
所述的嵌入式控制器的IO端口經(jīng)第三場(chǎng)效應(yīng)管驅(qū)動(dòng)芯片與所述的第二 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管的G管腳相連,該第二 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管的S管腳接地。所述的嵌入式控制器還與隔離型CAN通訊模塊相連。所述的嵌入式控制器通過(guò)第一脈寬調(diào)制端口通過(guò)第一場(chǎng)效應(yīng)管驅(qū)動(dòng)芯片和P溝道場(chǎng)效應(yīng)管對(duì)扼流線圈進(jìn)行充電;所述的嵌入式控制器通過(guò)第二脈寬調(diào)制端口經(jīng)第二場(chǎng)效應(yīng)管驅(qū)動(dòng)芯片和第一 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管對(duì)扼流線圈進(jìn)行放電;一充一放,在所述的P溝道場(chǎng)效應(yīng)管、第一 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管和扼流線圈之間形成震蕩。所述的電流傳感器負(fù)責(zé)感應(yīng)通過(guò)銅線的信號(hào)電流采集電流信號(hào),該電流信號(hào)經(jīng)放大器放大后送所述的嵌入式控制器,經(jīng)模數(shù)轉(zhuǎn)換后與嵌入式控制器內(nèi)設(shè)定的電流進(jìn)行比較運(yùn)算,所述的嵌入式控制器通過(guò)改變的PWMO 和PWMl的占空比,形成一個(gè)閉合負(fù)反饋環(huán)路,使流過(guò)扼流線圈的電流恒定,達(dá)到激光二極管所需要的恒定電流(預(yù)設(shè)電流)。所述的肖特基二極管是反接的,即肖特基二極管的A管腳接扼流線圈的輸出端, 肖特基二極管的K管腳接供電電源的正極,主要是為了吸收所述的扼流線圈產(chǎn)生的反向電動(dòng)勢(shì),保護(hù)所述的激光二極管。本發(fā)明的技術(shù)效果如下
1、本發(fā)明具有大功率脈沖和連續(xù)工作模式兼容,并集成實(shí)時(shí)通訊功能,全數(shù)字參數(shù)調(diào)整及控制的特點(diǎn)。支持多種激光二極管的激勵(lì)方式,可動(dòng)態(tài)調(diào)整激光二極管激勵(lì)電流或脈寬,保證激光二極管泵浦激光器輸出的單脈沖能量或功率更穩(wěn)定、光束質(zhì)量更好。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了在大功率激光二極管驅(qū)動(dòng)電源上的脈沖工作模式和連續(xù)工作模式的兼容,電流最大可達(dá)120A ;電流調(diào)節(jié)精度0. 01A,穩(wěn)定度士0. 5%,脈沖模式下調(diào)制頻率最高100kHz,上升沿為1-lOus。經(jīng)實(shí)驗(yàn)表明本發(fā)明激光二極管驅(qū)動(dòng)電源應(yīng)用在連續(xù)激光器和脈沖激光器上,激光穩(wěn)定度有很大的提高,特別是在脈沖激光器上,通過(guò)施加激流和動(dòng)態(tài)脈寬調(diào)整,使激光器的單脈沖能量的一致性能達(dá)到士 1%。
圖1是本發(fā)明激光二極管驅(qū)動(dòng)電源結(jié)構(gòu)原理圖。圖中1-隔離型CAN通訊模塊,2-嵌入式控制器,3-第一場(chǎng)效應(yīng)管驅(qū)動(dòng)芯片,4-P 溝道場(chǎng)效應(yīng)管,5-第二場(chǎng)效應(yīng)管驅(qū)動(dòng)芯片,6-第一 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管,7-電流傳感器,8-放大器,9-扼流線圈,10-第三場(chǎng)效應(yīng)管驅(qū)動(dòng)芯片,11-第二 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管,12-肖特基二極管, 13-激光二極管,14-供電電源VDD。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合實(shí)施例和附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明,但不應(yīng)以此限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。先請(qǐng)參閱圖1,圖1是本發(fā)明激光二極管驅(qū)動(dòng)電源結(jié)構(gòu)原理圖。由圖可見(jiàn),本發(fā)明激光二極管驅(qū)動(dòng)電源,其構(gòu)成包括嵌入式控制器2,該嵌入式控制器2的第一脈寬調(diào)制端口 0接第一場(chǎng)效應(yīng)管驅(qū)動(dòng) 芯片3的輸入管腳,該第一場(chǎng)效應(yīng)管驅(qū)動(dòng)芯片3的輸出管腳接P溝道場(chǎng)效應(yīng)管4的G管腳,該P(yáng)溝道場(chǎng)效應(yīng)管4的S管腳接供電電源VDD14的正極;
所述的嵌入式控制 器2的第二脈寬調(diào)制端口接第二場(chǎng)效應(yīng)管驅(qū)動(dòng)芯片5的輸入管腳, 第二場(chǎng)效應(yīng)管驅(qū)動(dòng)芯片5的輸出管腳連接第一 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管6的G管腳,該第一 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管6的S管腳接地;
所述的P溝道場(chǎng)效應(yīng)管4的D管腳和所述的第一 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管6的D管腳以及扼流線圈9的一端形成節(jié)點(diǎn),該扼流線圈9的另一端與肖特基二極管12的A管腳、激光二極管 13的輸入端、第二 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管11的D管腳形成節(jié)點(diǎn),所述的肖特基二極管12的K管腳接供電電源VDD14的正極;
在所述的P溝道場(chǎng)效應(yīng)管4的D管腳和所述的第一 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管6的D管腳與所述的流線圈9之間的電路上設(shè)有電流傳感器7,該電流傳感器7的輸出端經(jīng)放大器8與所述的嵌入式控制器2信號(hào)輸入端相連;
所述的嵌入式控制器2的IO端口經(jīng)第三場(chǎng)效應(yīng)管驅(qū)動(dòng)芯片10與所述的第二 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管11的G管腳相連,該第二 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管11的S管腳接地。嵌入式控制器2通過(guò)脈寬調(diào)制端口 0 (PWMO)輸入到通過(guò)第一場(chǎng)效應(yīng)管驅(qū)動(dòng)芯片 3的管腳IN,第一場(chǎng)效應(yīng)管驅(qū)動(dòng)芯片3的輸出管腳連接到P溝道場(chǎng)效應(yīng)管4的G管腳,對(duì)扼流線圈9進(jìn)行充電;圖1中嵌入式控制器2通過(guò)脈寬調(diào)制端口 1 (PWMO)輸入到通過(guò)第二場(chǎng)效應(yīng)管驅(qū)動(dòng)芯片5的輸入管腳IN,第二場(chǎng)效應(yīng)管驅(qū)動(dòng)芯片5的輸出管腳連接到第一 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管6的G管腳,對(duì)扼流線圈9進(jìn)行放電;P溝道場(chǎng)效應(yīng)管4的S管腳接供電電源VDD 14,第一 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管6的S腳接地,P溝道場(chǎng)效應(yīng)管4的D管腳和第一 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管 6的D管腳以及扼流線圈9的一端形成一個(gè)節(jié)點(diǎn);一充一放,在P溝道場(chǎng)效應(yīng)管4、第一 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管6和扼流線圈9之間形成震蕩。電流傳感器7負(fù)責(zé)感應(yīng)通過(guò)其的銅線的電流, 經(jīng)放大器8放大后供嵌入式控制器2進(jìn)行模數(shù)轉(zhuǎn)換(ADC)進(jìn)行采樣,與預(yù)設(shè)定電流進(jìn)行比較運(yùn)算,通過(guò)改變嵌入式控制器2的PWMO和PWMl的占空比,形成一個(gè)閉合負(fù)反饋環(huán)路,使流過(guò)扼流線圈9的電流恒定,達(dá)到激光二極管所需要的恒定電流(預(yù)設(shè)電流)。肖特基二極管12為反接的肖特基二極管,即肖特基二極管12的A管腳接扼流線圈9的輸出端,肖特基二極管12的K接供電電源VDD 14,主要是為了吸收扼流線圈9產(chǎn)生的反向電動(dòng)勢(shì),保護(hù)激光二極管13。對(duì)于脈沖泵浦的激光器,使用本發(fā)明工作在脈沖模式下,圖1中嵌入式控制器2的 IO端口輸出到第三場(chǎng)效應(yīng)管驅(qū)動(dòng)芯片10的輸入管腳,第三場(chǎng)效應(yīng)管驅(qū)動(dòng)芯片10的輸出管腳連接到第二 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管11的G管腳,第二 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管11的D管腳連接到扼流線圈9的輸出,第二 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管11的S管腳接地。當(dāng)嵌入式控制器2的IO輸出端口輸出高電平時(shí),第二 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管11的“D”和“S”導(dǎo)通,恒定的電流經(jīng)第二 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管11回流,此時(shí)激光二極管13上將不再有電流流過(guò),當(dāng)嵌入式控制器2的IO輸出端口輸出低電平時(shí),第二 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管11 “D”和“S”截止,電流通過(guò)13回流,驅(qū)動(dòng)激光二極管13。特別為了消除脈沖激光器的熱效應(yīng)的影響,在不需要出光時(shí),可以由嵌入式控制器2 產(chǎn)生一定寬度的脈沖,經(jīng)嵌入式控制器2的IO端口通過(guò)10控制第二 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管11,給激光二極管施加一個(gè)脈沖基流。脈沖激光器為了適應(yīng)不同輸入控制頻率,本發(fā)明裝置的嵌入式控制器2通過(guò)查“輸入信號(hào)頻率_激勵(lì)脈沖寬度”表格,對(duì)由嵌入式控制器2改變激光二極管單個(gè)電流脈沖的寬度,經(jīng)嵌入式控制器2的IO端口通過(guò)第三場(chǎng)效應(yīng)管驅(qū)動(dòng)芯片10控制第二 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管11,改變通過(guò)激光二極管13的電流時(shí)間,從而改變了單個(gè)脈沖的泵浦功率,以保證脈沖激光器單個(gè)脈沖能量的一致性,這就是本發(fā)明特有的動(dòng)態(tài)脈寬調(diào)制方法。對(duì)于連續(xù)泵浦的激光器,本發(fā)明工作在連續(xù)模式下,圖1中經(jīng)嵌入式控制器2的IO 端口通過(guò)第三場(chǎng)效應(yīng)管驅(qū)動(dòng)芯片10控制第二 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管11,當(dāng)?shù)诙?N溝道場(chǎng)效應(yīng)管 11的“D”和“S”截止,電流全部通過(guò)激光二極管13回流,在激光二極管13上形成連續(xù)的恒
流。 本發(fā)明為智能化的數(shù)字式電源,電源中的參數(shù)預(yù)設(shè)電流,實(shí)際電流,“輸入信號(hào)頻率-激勵(lì)脈沖寬度”表格等參數(shù)必須通過(guò)數(shù)字通訊口和其它設(shè)備交換數(shù)據(jù),因此本發(fā)明加入了控制器局部網(wǎng)(CAN)總線,在圖1中嵌入式控制器2的“CANTX”發(fā)送端口和隔離型CAN通訊模塊1的“CANRX”接收端口相連,嵌入式控制器2的“CANRX”接收端口和隔離型CAN通訊模塊1的“CANTX”發(fā)送端口相連,隔離型CAN通訊模塊1是一個(gè)與外部設(shè)備隔離的收發(fā)
ο在上電時(shí),通過(guò)隔離型CAN通訊模塊1檢查外部設(shè)備,等待激光二極管的溫度,激光頭溫度等條件滿足時(shí),本激光二極管驅(qū)動(dòng)電源才正常工作,有效地保護(hù)了激光二極管等設(shè)備。在溫度允許的情況下才開(kāi)機(jī)。在開(kāi)機(jī),待機(jī)和關(guān)機(jī)的情況下,圖1中第二 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管11的“D”和“S”處于導(dǎo)通狀態(tài),能有效地保護(hù)激光二極管13。下面是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例,該實(shí)施例是最大電壓為20V,最大電流為120A的脈沖和連續(xù)兼容的激光二極管驅(qū)動(dòng)電源。其中
嵌入式處理器2采用TI的LM3S2965,該控制器包含1個(gè)單指令周期的硬件乘法器和一個(gè)除法器,并具有豐富的接口,包括12位ADC,CAN總線,工作頻率為50Mhz,內(nèi)含6個(gè)16位 PWM脈寬調(diào)制發(fā)生器。利用LM3S2965的PWMO和PWMl形成一個(gè)帶死區(qū)的一組脈寬調(diào)制信號(hào), 通過(guò)17,16腳分別連接到由2片TI公司的UCC37322驅(qū)動(dòng)芯片3、5,這兩片驅(qū)動(dòng)芯片連接到大功率場(chǎng)效應(yīng)管2只SUP75P05-08和3只FDP047AN08A0組成充放電路,對(duì)2個(gè)180uH/60A 的扼流線圈9充放電,LM3S2965的PWM受控于由LEM公司的LA100-P電流傳感器7檢測(cè)扼流線圈9的電流值,通過(guò)TI公司的TLE2804放大器8放大后,送入LM3S2965的數(shù)模轉(zhuǎn)換口 ADCO (管腳1)進(jìn)行采樣,該嵌入式處理器2和預(yù)設(shè)電流值進(jìn)行比較,比較后的值與PWM關(guān)聯(lián),形成一個(gè)閉環(huán)負(fù)反饋電路,使扼流線圈環(huán)路始終保持預(yù)設(shè)的電流值。利用LM3S2965的輸入輸出口 PBO (腳66)作為輸入,當(dāng)外部脈沖信號(hào)上升沿到來(lái)后,利用LM3S2965的內(nèi)部定時(shí)器TIMER2,測(cè)得和上一次脈沖信號(hào)到來(lái)的差值,計(jì)算出當(dāng)前外部脈沖信號(hào)的頻率,通過(guò)查“脈沖頻率-輸出脈寬”得到當(dāng)前激光二極管需要出光的時(shí)間,通過(guò)LM3S2965的PBl (67腳)控制TI公司的UCC37322驅(qū)動(dòng)芯片驅(qū)動(dòng)3只大功率場(chǎng)效應(yīng)管FDP047AN08A0,使FDP047AN08A0截止,讓電流通過(guò)激光二極管而發(fā)光,發(fā)光時(shí)間就是我們前面查“脈沖頻率-輸出脈寬”得到的時(shí)間。采用周立功的隔離CAN總線模塊CTM8250T,和LM3S2965的CANOTX(腳11)禾口 CANORX(腳10)相連,本實(shí)施例的預(yù)設(shè)電流,當(dāng)前實(shí)際電流等數(shù)據(jù)均通過(guò)CTM8250T輸入和輸出,也可以通過(guò)該接口來(lái)改變本產(chǎn)品的工作模式,在發(fā)生故障時(shí),本實(shí)施例可以作為主機(jī)通過(guò)CTM8250T立即發(fā)送出去,供激光器中的其他部件響應(yīng)。本實(shí)施例的脈沖模式能夠使用在0-100%的占空比,并且施加閾值電流,激光二極管的工作電壓從1. 3V 20V,電流最達(dá)120A。脈沖頻率最高達(dá)100kHz,上升沿為2. 5us-10us
可調(diào)。
該電源經(jīng)實(shí)踐證明,電流控制精度在0. OlA (Max. 120A),穩(wěn)定度在士0. 5% (Max. 120A);應(yīng)用在連續(xù)激光器和脈沖激光器上,激光穩(wěn)定度有很大的提高,特別是在脈沖激光器上,通過(guò)施加激流和動(dòng)態(tài)脈寬調(diào)整,使激光器的單脈沖能量的一致性能達(dá)到士 1%。
權(quán)利要求
1.一種激光二極管驅(qū)動(dòng)電源,其特征在于由嵌入式控制器(2)、三個(gè)場(chǎng)效應(yīng)管驅(qū)動(dòng)芯片、P溝道場(chǎng)效應(yīng)管、兩個(gè)N溝道場(chǎng)效應(yīng)管、電流傳感器(7)、放大器(8)、扼流線圈(9)和肖特基二極管(12)構(gòu)成,所述的嵌入式控制器(2)的第一脈寬調(diào)制端口(0)接第一場(chǎng)效應(yīng)管驅(qū)動(dòng)芯片(3)的輸入管腳,該第一場(chǎng)效應(yīng)管驅(qū)動(dòng)芯片(3)的輸出管腳接P溝道場(chǎng)效應(yīng)管(4) 的G管腳,該P(yáng)溝道場(chǎng)效應(yīng)管(4)的S管腳接供電電源VDD (14)的正極;所述的嵌入式控制器(2)的第二脈寬調(diào)制端口(1)接第二場(chǎng)效應(yīng)管驅(qū)動(dòng)芯片(5)的輸入管腳,第二場(chǎng)效應(yīng)管驅(qū)動(dòng)芯片(5)的輸出管腳連接第一 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管(6)的G管腳,該第一 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管(6)的S管腳接地;所述的P溝道場(chǎng)效應(yīng)管(4)的D管腳和所述的第一 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管(6)的D的管腳以及扼流線圈(9)的一端形成節(jié)點(diǎn),該扼流線圈(9)的另一端與肖特基二極管(12)的A管腳、 激光二極管(13)的輸入端、第二 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管(11)的D管腳形成節(jié)點(diǎn),所述的肖特基二極管(12)的K管腳接供電電源VDD (14)的正極;在所述的P溝道場(chǎng)效應(yīng)管(4)的D管腳和所述的第一 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管(6)的S的管腳與所述的流線圈(9)之間的電路上設(shè)有電流傳感器(7),該電流傳感器(7)的輸出端經(jīng)放大器(8)與所述的嵌入式控制器(2)信號(hào)輸入端相連;所述的嵌入式控制器(2)的IO端口經(jīng)第三場(chǎng)效應(yīng)管驅(qū)動(dòng)芯片(10)與所述的第二 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管(11)的G管腳相連,該第二 N溝道場(chǎng)效應(yīng)管(11)的S的管腳接地。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光二極管驅(qū)動(dòng)電源,其特征在于所述的嵌入式控制器(2) 還與隔離型CAN通訊模塊(1)相連。
全文摘要
一種激光二極管驅(qū)動(dòng)電源,由-隔離型CAN通訊模塊、嵌入式控制器、三個(gè)場(chǎng)效應(yīng)管驅(qū)動(dòng)芯片、P溝道場(chǎng)效應(yīng)管、兩個(gè)N溝道場(chǎng)效應(yīng)管、電流傳感器、放大器、扼流線圈和肖特基二極管構(gòu)成。本發(fā)明大功率脈沖和連續(xù)工作模式兼容,并集成實(shí)時(shí)通訊功能,全數(shù)字參數(shù)調(diào)整及控制。支持多種激光二極管的激勵(lì)方式,可動(dòng)態(tài)調(diào)整激光二極管激勵(lì)電流或脈寬,保證激光二極管泵浦激光器輸出的單脈沖能量或功率更穩(wěn)定、光束質(zhì)量更好。本發(fā)明的電流最大可達(dá)120A;電流調(diào)節(jié)精度0.01A,穩(wěn)定度±0.5%,脈沖模式下調(diào)制頻率最高100kHz,上升沿為1-10us。
文檔編號(hào)H01S5/042GK102306902SQ201110235568
公開(kāi)日2012年1月4日 申請(qǐng)日期2011年8月17日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月17日
發(fā)明者施偉, 田懷勇, 金英杰 申請(qǐng)人:上海致凱捷激光科技有限公司