專(zhuān)利名稱(chēng)：用于除去聚酰亞胺的清洗劑組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于除去聚酰亞胺的清洗劑組合物，更具體地，涉及一種能夠在半導(dǎo)體裝置或者液晶顯示器裝置的制造工藝中有效地從基板上除去聚酰亞胺膜的清洗劑組合物。
背景技術(shù)：
通常，由于與中性清洗劑相比，堿性清洗劑具有除去有機(jī)物質(zhì)、無(wú)機(jī)物質(zhì)，粒子和類(lèi)似物的優(yōu)異能力，已經(jīng)被廣泛應(yīng)用于電子部件、金屬部件、陶瓷部件和類(lèi)似部件的生產(chǎn)中。但是，由于堿性清洗劑容易腐蝕諸如鋁和類(lèi)似物之類(lèi)的有色金屬，所以實(shí)際上不能被用來(lái)清洗含鋁的電子部件。比如，目前，電子部件，特別是，液晶板的聚酰亞胺取向膜已經(jīng)是水平取向的聚酰亞胺膜了。但是，由于對(duì)具有寬視角的液晶板的需求已增加，垂直取向的聚酰亞胺膜正越來(lái)越多地被使用。在玻璃基板被水平取向的聚酰亞胺膜涂布的情況下，如果水平取向的聚酰亞胺膜具有半可塑性(通過(guò)在80°C除去溶劑獲得的半硬化膜)，在其被完全塑化(塑化溫度約180°C )之前，能夠通過(guò)使用N-甲基吡咯烷酮作為溶劑從玻璃基板上將差的水平取向聚酰亞胺膜分離，而不腐蝕鋁薄膜(布線)。但是，在玻璃基板被垂直取向的聚酰亞胺膜涂布的情況下，即使垂直取向的聚酰亞胺膜(具有半可塑性)具有半可塑性，也不能通過(guò)使用溶劑將其從玻璃基板上分離，因此這種聚酰亞胺取向膜的分離是使用堿性清洗劑進(jìn)行的 (參見(jiàn) JP-H06-306661)。但是，當(dāng)使用堿性清洗劑時(shí)，由于玻璃基板的鋁薄膜(布線)會(huì)被腐蝕，通過(guò)使用蠟保護(hù)鋁薄膜，清洗，然后用烴類(lèi)溶劑除去蠟，或者通過(guò)完全分離和融化鋁薄膜和聚酰亞胺取向膜使玻璃基板恢復(fù)原狀，由此導(dǎo)致原材料的浪費(fèi)和生產(chǎn)效率的下降。同時(shí)，KR-A-2005-0094409公開(kāi)了包括強(qiáng)堿，氧化劑和極性溶劑的清洗劑組合物， 其能夠有效地除去光致抗蝕劑殘余物而不損壞ILD材料。但是，這種清洗劑組合物是有問(wèn)題的，其在室溫下不能除去聚酰亞胺，不能充分阻止鋁薄膜(布線)被腐蝕，和當(dāng)這種清洗劑組合物被長(zhǎng)期使用時(shí)，過(guò)碳酸鹽，過(guò)硫酸鹽或類(lèi)似物會(huì)沉淀。

發(fā)明內(nèi)容
因此，為了解決上述提及的問(wèn)題想出了本發(fā)明，本發(fā)明的目的是提供一種除去聚酰亞胺的清洗劑組合物，其即使在室溫下，也能夠輕易地除去聚酰亞胺，其能夠有效地防止鋁線和鋁合金線被腐蝕，和即使當(dāng)該清洗劑組合物被長(zhǎng)期使用時(shí)，其也不引起沉淀的問(wèn)題。本發(fā)明的一個(gè)方面提供一種用于除去聚酰亞胺的清洗劑組合物，包括，基于所述組合物的總量，0. 1 10wt%的由下列分子式1表示的氫氧化季銨；50 90wt%的乙二醇醚化合物；7 30wt%的丙三醇；和剩余的水[N- (R) 4]+ · or ——分子式 1其中R是碳原子為1至5的烷基。
本發(fā)明的另一個(gè)方面提供了一種制造用于液晶顯示器的陣列基板的方法，包括使用清洗劑組合物清洗基板的工藝。


由結(jié)合附圖的以下的詳細(xì)說(shuō)明將更清楚地理解本發(fā)明的以上和其他的目的，特征和優(yōu)點(diǎn)，其中圖1是顯示了使用本發(fā)明的實(shí)例1的清洗劑組合物除去聚酰亞胺的結(jié)果的照片。
具體實(shí)施例方式在下文中，根據(jù)附圖對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)地說(shuō)明。本發(fā)明提供了一種用于除去聚酰亞胺的清洗劑組合物，包括基于組合物的總量， (A)O. 1 IOwt %的由下列分子式1表示的氫氧化季銨；(B) 50 90wt%的乙二醇醚化合物；(C) 7 30襯％的丙三醇；和⑶剩余的水；[N- (R) 4]+ · or ——分子式 1其中R是碳原子為1至5的烷基。在下文中，將詳細(xì)說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的用于除去聚酰亞胺的清洗劑組合物的成分。(A)氫氧化季銨本發(fā)明中使用的氫氧化季銨可以是由下列分子式1表示的化合物[N- (R) J + · OH-——分子式 1其中R是碳原子為1至5的烷基。在分子式1中，烷基可以是直鏈烷基，支鏈烷基或者環(huán)烷基，優(yōu)選直鏈烷基。由以上分子式1表示的氫氧化季銨的具體實(shí)例可以包括氫氧化四甲銨，氫氧化四乙銨，氫氧化四丙銨，氫氧化四丁銨，和類(lèi)似物。在這些實(shí)例中，氫氧化四甲銨(在下文中， 稱(chēng)之為“TMAH”)是優(yōu)選的。在本發(fā)明的清洗劑組合物中，氫氧化季銨可以單獨(dú)，或者兩種或以上結(jié)合使用。在本發(fā)明的清洗劑組合物中，基于組合物總量，包含的氫氧化季銨的量?jī)?yōu)選 0. 1 10w%，更優(yōu)選1 2wt%。當(dāng)氫氧化季銨的量少于0. Iwt %時(shí)，聚酰亞胺的脫落速度變低。另外，當(dāng)它的量超過(guò)10wt%時(shí)，不可能防止布線材料被腐蝕。(B)乙二醇醚化合物本發(fā)明中使用的乙二醇醚可以是由下列分子式2表示的化合物R-O- (CH2CH2O) nH--------分子式 2其中R是碳原子為1至5的烷基，并且η是1至5中的整數(shù)。在分子式2中，烷基可以是直鏈烷基，支鏈烷基或者環(huán)烷基，優(yōu)選直鏈烷基。由以上分子式2表示的乙二醇醚化合物的具體實(shí)例可以包括乙二醇單甲醚，乙二醇單乙醚，二乙二醇單甲醚，二乙二醇單乙醚，二乙二醇單丁醚，三乙二醇單甲醚，和類(lèi)似物。在這些實(shí)例中，二乙二醇單甲醚(在下文中，稱(chēng)之為“MDG”)是優(yōu)選的。在本發(fā)明的清洗劑組合物中，乙二醇醚化合物可以單獨(dú)或者兩種或以上結(jié)合使用。在本發(fā)明的清洗劑組合物中，基于組合物的總重，包含的乙二醇醚的量?jī)?yōu)選50 90wt%，和更優(yōu)選60 80wt%。當(dāng)乙二醇醚化合物的量少于50襯％時(shí)，布線材料的腐蝕變快。另外，當(dāng)它的量超過(guò)90wt %時(shí)，其他組分的量就變得不足。(C)丙三醇在本發(fā)明的清洗劑組合物中，基于組合物的總重，包含的丙三醇的量?jī)?yōu)選7 30wt%，和更優(yōu)選10 20wt%。當(dāng)丙三醇的量少于7wt%時(shí)，布線材料的腐蝕變快。另外， 如果它的量超過(guò)30wt%時(shí)，除去聚酰亞胺膜的能力變低。(D)水本發(fā)明中使用的水可以是具有比電阻為18ΜΩ/cm或更高的去離子水，例如用于半導(dǎo)體工藝的水，但是沒(méi)有特別限定。由于水作為剩余部分包含在清洗劑組合物中而使清洗劑組合物的總量為100wt%，因此水的量可以根據(jù)其他組分的量進(jìn)行調(diào)整。本發(fā)明的清洗劑組合物還可以進(jìn)一步包含添加劑，諸如表面活性劑或者類(lèi)似物， 其在相關(guān)領(lǐng)域中被普遍使用。本發(fā)明的清洗劑組合物優(yōu)選不包含防腐蝕劑，諸如吡咯，糖醇，或者類(lèi)似物。當(dāng)清洗劑組合物中包含諸如吡咯，糖醇，或者類(lèi)似物的防腐蝕劑時(shí)，發(fā)生沖洗能力惡化，布線的吸附和類(lèi)似問(wèn)題，這會(huì)導(dǎo)致在隨后的工藝中的其他問(wèn)題。本發(fā)明的清洗劑組合物優(yōu)選不包含含氟化合物。當(dāng)清洗劑組合物中包含含氟化合物時(shí)，由于其容易被電離，基板可能被氟離子腐蝕。另外，本發(fā)明提供一種制造用于液晶顯示器的陣列基板的方法，包括使用這種清洗劑組合物清洗基板的工藝。作為使用本發(fā)明的清洗劑組合物除去聚酰亞胺膜的方法，通常采用浸漬法，但是也使用其他方法，比如噴霧法。在使用本發(fā)明的清洗劑組合物之后，隨后的清洗工藝僅使用水就可以充分實(shí)施，不需要使用諸如醇之類(lèi)的有機(jī)溶劑。根據(jù)本發(fā)明的用于除去聚酰亞胺的清洗劑組合物能夠被有效地使用以從半導(dǎo)體產(chǎn)品或者電子產(chǎn)品，和特別是液晶板上除去聚酰亞胺。在下文中，根據(jù)下述實(shí)例更詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明。但是，下述實(shí)例是用來(lái)解釋本發(fā)明的，且本發(fā)明的范圍不受其限制。下述實(shí)例可以在本發(fā)明的范圍內(nèi)由本領(lǐng)域技術(shù)人員更改和修改。實(shí)例1至6和對(duì)比實(shí)例1至6 用于除去聚酰亞胺的清洗劑組合物的制備實(shí)例1至6和對(duì)比實(shí)例1至6的用于除去聚酰亞胺的清洗劑組合物是通過(guò)以相應(yīng)的組成比混合下表1中給出的組分來(lái)制備的。表1
權(quán)利要求
1.一種用于除去聚酰亞胺的清洗劑組合物，包含基于所述組合物的總量，0. 1 10wt%的氫氧化季銨，所述氫氧化季銨由下列分子式1表示；50 90wt%的乙二醇醚化合物；7 丙三醇；禾口剩余的水；[N-(R)4I+ · or ——分子式 1其中R是碳原子為1至5中的烷基。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的用于除去聚酰亞胺的清洗劑組合物，其中所述氫氧化季銨選自由氫氧化四甲銨、氫氧化四乙銨、氫氧化四丙銨、和氫氧化四丁銨所組成的組中的至少一種。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的用于除去聚酰亞胺的清洗劑組合物，其中所述乙二醇醚化合物由下列分子式2表示R-O- (CH2CH2O) nH ------分子式 2其中R是碳原子為1至5的烷基，并且η是1至5中的整數(shù)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3的用于除去聚酰亞胺的清洗劑組合物，其中所述的由上述分子式2 表示的乙二醇醚化合物選自由乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單丁醚、和三乙二醇單甲醚所組成的組。
5.根據(jù)權(quán)利要求1的用于除去聚酰亞胺的清洗劑組合物，其中所述組合物不包含防腐蝕劑。
6.根據(jù)權(quán)利要求1的用于除去聚酰亞胺的清洗劑組合物，其中所述組合物不包含含氟化合物。
7.一種制造用于液晶顯示器的陣列基板的方法，包含使用權(quán)利要求1至6中的任意一種所述清洗劑組合物清洗基板的工藝。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種用于除去聚酰亞胺的清洗劑組合物，包含基于組合物的總量，0.1～10％wt％的由下列分子式1表示的氫氧化季銨；50～90wt％的乙二醇醚化合物；7～30wt％的丙三醇；和剩余的水。[N-(R)4]+·OH- -分子式1其中R是碳原子為1至5的烷基。
文檔編號(hào)H01L21/00GK102314101SQ20111020242
公開(kāi)日2012年1月11日 申請(qǐng)日期2011年7月8日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月8日
發(fā)明者尹嚆重, 房淳洪, 李承傭, 洪憲杓 申請(qǐng)人:東友Fine-Chem股份有限公司