專利名稱：外延片生產(chǎn)用支撐裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種外延片生產(chǎn)用支撐裝置。
背景技術(shù)：
外延片的生產(chǎn)方法，是在襯底上生長單晶硅薄膜。生產(chǎn)時，襯底放置在承載盤上， 并且襯底隨承載盤一起旋轉(zhuǎn)。承載盤采用支撐架支撐，支撐架一般為圓形。承載盤上設(shè)置 與圓形的支撐架相配合的圓孔，圓孔套設(shè)在支撐架端部。通過轉(zhuǎn)動支撐架可帶動承載盤旋 轉(zhuǎn)。但由于支撐架端部為圓形，承載盤上的凹槽也是圓形，因此，在轉(zhuǎn)動過程中，支撐架和承 載盤容易產(chǎn)生相對運動，也就是打滑，造成承載盤無法按照預(yù)定的方向和速度旋轉(zhuǎn)，影響外 延片的質(zhì)量。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種可確保承載盤按照預(yù) 定速度和方向旋轉(zhuǎn)的外延片生產(chǎn)用支撐裝置。為實現(xiàn)以上目的，本實用新型通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)外延片生產(chǎn)用支撐裝置，包括承載盤，其特征在于，還包括支撐架，所述支撐架端 部安裝有襯套，所述襯套為多邊形，所述承載盤設(shè)置有與襯套相配合的第一凹槽，所述襯套 卡設(shè)在第一凹槽內(nèi)。優(yōu)選地是，所述的襯套上設(shè)置有第一臺階，所述第一凹槽內(nèi)設(shè)置有與第一臺階相 配合的第一肩部，所述第一臺階卡設(shè)在第一肩部處。優(yōu)選地是，所述的襯套為正多邊形。優(yōu)選地是，所述的襯套為正六邊形。優(yōu)選地是，所述的襯套為正方形。優(yōu)選地是，所述襯套設(shè)置有多邊形的第二凹槽，支撐架端部形狀與第二凹槽形狀 相配合，襯套卡設(shè)在支撐架端部。優(yōu)選地是，所述第二凹槽內(nèi)設(shè)置有第二肩部，支撐架端部設(shè)置有與第二肩部相配 合的第二臺階優(yōu)選地是，所述第二凹槽為正多邊形。優(yōu)選地是，所述第二凹槽為正六邊形。優(yōu)選地是，所述第二凹槽為正方形。本實用新型中的外延片生產(chǎn)用支撐裝置，由于采用多邊形的襯套，襯套與通過支 撐架驅(qū)動承載盤轉(zhuǎn)動的過程中，支撐架與承載盤之間不會產(chǎn)生相對運動?？纱_保承載盤按 照預(yù)定的方向和速度轉(zhuǎn)動，運轉(zhuǎn)穩(wěn)定。進而可以提高外延片的生產(chǎn)質(zhì)量。

圖1為本實用新型的縱向剖視圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型進行詳細的描述如圖1所示，圖1是以沿支撐架軸向剖切形成的剖視圖。外延片生產(chǎn)用支撐裝置， 包括承載盤1，承載盤1上設(shè)置有第一凹槽11，第一凹槽11為正六邊形。還包括支撐架3，支撐架3端部安裝有襯套2。襯套2為正六邊形，襯套2與第一 凹槽11形狀及大小相配合。襯套2沿外壁設(shè)置一圈第一臺階21，第一凹槽11內(nèi)沿內(nèi)壁設(shè) 置有一圈第一肩部12。襯套2嵌入第一凹槽11內(nèi)，第一臺階21與第一肩部12相配合，將 襯套2卡設(shè)在第一凹槽11內(nèi)。襯套2設(shè)置有正六邊形的第二凹槽22，第二凹槽22內(nèi)沿內(nèi)壁設(shè)置有一圈第二肩部 23。支撐架3主體為圓柱形，端部形狀與第二凹槽22形狀相同，支撐架端部外壁設(shè)置 有一圈第二臺階31。支撐架3端部嵌入第二凹槽22內(nèi)，第二臺階31與第二肩部23相配 合，將襯套2卡設(shè)在支撐架3的端部。本實用新型中的第一凹槽11、第二凹槽22還可以設(shè)置為其它的正多邊形如正方 形代替正六邊形形狀。本實用新型中的實施例僅用于對本實用新型進行說明，并不構(gòu)成對權(quán)利要求范圍 的限制，本領(lǐng)域內(nèi)技術(shù)人員可以想到的其他實質(zhì)上等同的替代，均在本實用新型保護范圍 內(nèi)。
權(quán)利要求外延片生產(chǎn)用支撐裝置，包括承載盤，其特征在于，還包括支撐架，所述支撐架端部安裝有襯套，所述襯套為多邊形，所述承載盤設(shè)置有與襯套相配合的第一凹槽，所述襯套卡設(shè)在第一凹槽內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外延片生產(chǎn)用支撐裝置，其特征在于，所述的襯套上設(shè)置有 第一臺階，所述第一凹槽內(nèi)設(shè)置有與第一臺階相配合的第一肩部，所述第一臺階卡設(shè)在第 一肩部處。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外延片生產(chǎn)用支撐裝置，其特征在于，所述的襯套為正多邊形。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的外延片生產(chǎn)用支撐裝置，其特征在于，所述的襯套為正六邊形。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的外延片生產(chǎn)用支撐裝置，其特征在于，所述的襯套為正方形。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外延片生產(chǎn)用支撐裝置，其特征在于，所述襯套設(shè)置有多邊 形的第二凹槽，支撐架端部形狀與第二凹槽形狀相配合，襯套卡設(shè)在支撐架端部。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的外延片生產(chǎn)用支撐裝置，其特征在于，所述第二凹槽內(nèi)設(shè)置 有第二肩部，支撐架端部設(shè)置有與第二肩部相配合的第二臺階。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的外延片生產(chǎn)用支撐裝置，其特征在于，所述第二凹槽為正多 邊形。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的外延片生產(chǎn)用支撐裝置，其特征在于，所述第二凹槽為正六 邊形。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的外延片生產(chǎn)用支撐裝置，其特征在于，所述第二凹槽為正方形。
專利摘要本實用新型公開了一種外延片生產(chǎn)用支撐裝置，包括承載盤，其特征在于，還包括支撐架，所述支撐架端部安裝有襯套，所述襯套為多邊形，所述承載盤設(shè)置有與襯套相配合的第一凹槽，所述襯套卡設(shè)在第一凹槽內(nèi)。本實用新型中的外延片生產(chǎn)用支撐裝置，由于采用多邊形的襯套，襯套與通過支撐架驅(qū)動承載盤轉(zhuǎn)動的過程中，支撐架與承載盤之間不會產(chǎn)生相對運動?？纱_保承載盤按照預(yù)定的方向和速度轉(zhuǎn)動，運轉(zhuǎn)穩(wěn)定。進而可以提高外延片的生產(chǎn)質(zhì)量。
文檔編號H01L21/683GK201754401SQ201020246539
公開日2011年3月2日 申請日期2010年7月1日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月1日
發(fā)明者樓琦江 申請人:上海晶盟硅材料有限公司