專利名稱：帶有閥蓋的活板輸送閥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種根據(jù)權(quán)利要求1的前序部分的活板輸送閥(flap transfer valve)，該活板輸送閥用于將半導(dǎo)體元件或基板輸送到能以氣密方式被隔離的半導(dǎo)體或基 板工藝處理室中。
背景技術(shù)：
由EP 0554522已知一種這樣的活板輸送閥。各種真空閥特別地用在集成電路和半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中，集成電路和半導(dǎo)體制造必 須盡可能地在沒有污染顆粒的受保護(hù)環(huán)境中進(jìn)行。例如，在制造半導(dǎo)體晶片或液晶基板的 制造設(shè)備中，高度敏感的半導(dǎo)體元件或液晶元件依次穿過多個處理室，其中位于處理室內(nèi) 的半導(dǎo)體元件各自通過處理裝置來處理。在處理室內(nèi)的加工處理期間以及從一個處理室至 另一個處理室的輸送期間，高度敏感的半導(dǎo)體元件必須總是處于受保護(hù)環(huán)境中，特別是處 于沒有空氣和微粒的環(huán)境中，或者處于阻氣環(huán)境中。作為實施例，處理室經(jīng)由輸送管道相互連接。這些處理室可借由真空輸送閥開啟， 以便將零件從一個處理室輸送至下一個處理室，并能以氣密方式關(guān)閉，以便執(zhí)行相應(yīng)的制 造工序。此外，使用移動的輸送室，其與處理室對接并可在處理室之間在阻氣環(huán)境下輸送半 導(dǎo)體元件。從現(xiàn)有技術(shù)例如US 5，275，303,WO 00/45422,US 5，076，205 或 US 5，292，393，已
知用于制造半導(dǎo)體元件尤其是半導(dǎo)體晶片的多室系統(tǒng)，其中多個處理室繞中心輸送室設(shè)置 成星形形式。中心輸送室經(jīng)由管道連接至第二輸送室，更多處理室繞第二輸送室設(shè)置為星 形形式，使得可借由多個這種處理島來產(chǎn)生結(jié)合在一起的大型半導(dǎo)體制造系統(tǒng)。半導(dǎo)體元 件借由設(shè)置在輸送室內(nèi)的操縱系統(tǒng)從一個處理室經(jīng)由輸送室進(jìn)入下一個處理室。此外，由現(xiàn)有技術(shù)已知真空室系統(tǒng)，其處理室成行設(shè)置并具有能以真空密閉方式 關(guān)閉并面向相同方向的開口?？膳c處理室線平行地線性移動的輸送室能夠與各個處理室對 接，并用于將部件從一個處理室輸送至下一個處理室。為此，抽空的輸送室以真空密閉方式 借由其輸送室開口與處理室開口對接。在例如US-2007-0186851-A1 (Geiser)中以概述形 式描述了這種系統(tǒng)。此外，可將處理室順序設(shè)置在處理室聯(lián)合系統(tǒng)中，這種系統(tǒng)在相鄰的處理室之間 具有連接開口，該連接開口可借由輸送閥以氣密方式關(guān)閉。在此情況下，每個處理室具有至 少兩個開口，每一個處理室的出口均為處理室鏈中的下一個處理室的入口。在每兩個處理 室之間以及處理室鏈的開端和末端均定位有輸送閥，這些輸送閥均具有兩個閥開口，這些 閥開口可以在其閥殼體內(nèi)以氣密方式相互分離。所述真空室系統(tǒng)用于半導(dǎo)體和基板制造的不同領(lǐng)域，并已用于小型至中型半導(dǎo)體 部件和基板部件的制造和處理。但是，新技術(shù)領(lǐng)域需要更大的集成半導(dǎo)體部件和基板，從而 迫使購買新的制造系統(tǒng)。這種背景下的例子是太陽能板或熒屏面板，特別是等離子和IXD 面板，其寬度超過一米。要求使用具有相應(yīng)大尺寸的處理室和輸送閥來加工這種大型的半導(dǎo)體部件、液晶基板或其它基板。通常并且就材料科學(xué)而言，基板是指待處理的材料，特別是對基板的表面進(jìn)行細(xì) 化或涂敷。這可以是半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域的晶片、印刷電路板的基材或一些其它材料，特別是 板形或帶形材料，這些材料借由必須在真空或處理氣體環(huán)境中進(jìn)行的涂敷、細(xì)化或處理工 藝而適當(dāng)?shù)靥幚怼Ｐg(shù)語“基板”也表示待涂敷的玻璃板，例如厚度從小于0. 5毫米至大于5 毫米的平板熒屏或太陽能板，或厚度從小于0. 05毫米至大于0. 2毫米的不銹鋼箔或不銹鋼帶。例如用于開啟和關(guān)閉處理室的這種輸送閥因此根據(jù)不同的工藝以超大尺寸、長的 密封長度和某些情況下具有寬度超過1000毫米的超大開口橫截面為特色。特別地，開口 橫截面是細(xì)長的并且是狹縫形的，開口的寬度大大超過其高度。由于所述應(yīng)用領(lǐng)域以及與 此相關(guān)的尺寸，這些閥被稱為輸送閥，且由于它們的矩形的開口橫截面，它們還被稱為矩形 閥，而根據(jù)它們的操作方法，還被稱為滑動閥、矩形滑動閥、輸送滑動閥、活板閥、活板輸送 閥或旋轉(zhuǎn)閘。在US 6，416，037 (Geiser)或 US 6，056，266 (Blecha)中描述了具有小尺寸并且為 真空滑動閥或滑動閥形式的輸送閥(還被稱為閥滑片或矩形滑片)。在現(xiàn)有技術(shù)中，關(guān)閉和 開啟通常分兩個步驟進(jìn)行。在第一步驟中，閥關(guān)閉裝置(特別是關(guān)閉板)在開口上大致平 行于閥座線性移動，在該過程期間閥關(guān)閉裝置和閥殼體的閥座之間不發(fā)生任何接觸。在第 二步驟中，閥關(guān)閉裝置的關(guān)閉面壓靠在閥殼體的閥座上，因此以氣密方式關(guān)閉開口。例如可 借由設(shè)置在閥關(guān)閉裝置的關(guān)閉面上并被壓靠在包圍開口的閥座上的密封環(huán)來實現(xiàn)密封，或 借由位于閥座上的密封環(huán)來實現(xiàn)密封，該密封環(huán)壓靠閥關(guān)閉裝置的關(guān)閉面。此外，已知相對較小的滑動閥，其中關(guān)閉和密封過程經(jīng)由單個線性運動進(jìn)行。 這種閥例如是來自瑞士 Haag的VAT Vakuumventile AG公司的輸送閥，其產(chǎn)品名為 "M0N0VAT系列02和03”，并且為矩形插入閥的形式。這種閥的設(shè)計和操作方法在例如US 4, 809, 950 (Geiser)和 US 4, 881, 717 (Geiser)中進(jìn)行了描述。這種驅(qū)動機(jī)構(gòu)技術(shù)已被現(xiàn)有技術(shù)公開，但其僅適于限定范圍，用于超大開口橫截 面，特別是細(xì)長的狹縫形的開口橫截面。由于大開口橫截面所導(dǎo)致的長的密封長度，對于密封件、閥關(guān)閉裝置的引導(dǎo)以及 驅(qū)動裝置的要求是極嚴(yán)苛的?，F(xiàn)有技術(shù)已知多種密封裝置，例如來自US 6，629，682B2 (Duelli)。一種用于密封 環(huán)的合適材料例如是已知商標(biāo)名為Viton 的彈性密封材料。這種長的密封長度以及開口橫截面的一種特定要求是即使當(dāng)壓力差特別高時也 會確保整個密封長度上的密封。所使用的密封件的密封性能通常被限制在很窄的范圍內(nèi)。 如果閥關(guān)閉裝置和閥座之間的距離超過特定的閾值，密封件作用在閥座上的接觸力太小， 則不再能確保密封。相反地，如果閥關(guān)閉裝置和閥座之間的距離太小，密封件作用在閥座上 的接觸力因而太大，則密封件受到極大的磨損，并且在某些環(huán)境下將破損。為此，即使當(dāng)壓 力差高時，在閥處于關(guān)閉狀態(tài)下也必須在密封件和閥座之間的整個密封長度上始終維持一 定的接觸壓力。該一定的接觸壓力被限制在相對窄的范圍內(nèi)。特別是在具有大尺寸的閥的情形下，特別是具有明顯不對稱的橫截面，例如細(xì)長 的狹縫形的開口，當(dāng)壓力差相對高時保持恒定的接觸壓力是有困難的。為了保持恒定的接觸壓力，某些輸送閥具有閥關(guān)閉裝置、其驅(qū)動機(jī)構(gòu)以及其支承的特別堅固的結(jié)構(gòu)，使得即使 在施加由閥關(guān)閉裝置上的壓力差所導(dǎo)致的高作用力時，閥關(guān)閉裝置也會保持其正常位置， 且不會無意地改變其位置。無彈性并盡可能地堅固的閥關(guān)閉裝置以及其驅(qū)動機(jī)構(gòu)和支承部 件的設(shè)最初是顯然的。但是，進(jìn)一步的問題不僅在于閥關(guān)閉裝置及其外圍的可能的彈性性 能。在大尺寸處理室的情況下，室內(nèi)部和周圍區(qū)域之間或兩室之間的壓力差導(dǎo)致整個室壁 變形。設(shè)置并結(jié)合在室壁上的輸送閥同樣地要經(jīng)受這種室壁的變形。由于結(jié)合至室壁的閥 座對應(yīng)于室壁的曲率而變形，尚未變形的閥關(guān)閉裝置無法確保沿著密封長度上的密封件接 觸壓力恒定。EP 0554522A2公開了一種旋轉(zhuǎn)閘，其用于將基板導(dǎo)入處理室和/或從一個處理室 移動到相鄰的處理室或者從大氣區(qū)域移入低壓室中，特別是公開了一種狹縫形的閘，其用 于連續(xù)流真空涂敷裝置，帶有被保持在固定位置的支承中的活板狀閥板，以及可操作地連 接至閥板的兩個關(guān)閉電機(jī)。閥板鉸接在插設(shè)有兩個彈簧條的閥梁上，并且其自身具有兩個 相互徑向?qū)χ玫闹С休S頸，所述支承軸頸與電機(jī)的軸聯(lián)接從而一起旋轉(zhuǎn)，電機(jī)的軸以抗壓 方式穿過室壁。這種設(shè)置旨在確保可以在閥板的整個長度上產(chǎn)生均勻的關(guān)閉力和接觸力。 在進(jìn)行維護(hù)和維修時，應(yīng)該能更換壓力級和驅(qū)動單元而不出現(xiàn)問題，其中相當(dāng)笨重的閥單 元保持完全組裝在接納部中。所述旋轉(zhuǎn)間的一個缺點是，如果室壁變形，裝置的彈性不足以 確保恒定的接觸力。更換笨重的閥單元非常費勁。US 5，275，303公開了一種用于半導(dǎo)體裝置的關(guān)閉機(jī)構(gòu)。此關(guān)閉機(jī)構(gòu)是活板閥形 式，閥板直接安裝，使得其可在沿待關(guān)閉的開口延伸的壁部分上樞轉(zhuǎn)。換言之，閥板因此設(shè) 置成使得其可在形成有待關(guān)閉的開口的壁上樞轉(zhuǎn)。樞轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)位于支承座上，該支承座不直 接與壁結(jié)合。樞轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和閥板的維護(hù)或更換非常費勁，因為不同部分上的設(shè)置不同。此外， 因為關(guān)閉板安裝在壁上，壁的變形也導(dǎo)致關(guān)閉板運動，從而導(dǎo)致關(guān)閉板和支承座之間的相 對運動。這加長了樞轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)并改變了關(guān)閉板作用在閥座上的接觸力。因此存在泄漏或破壞 密封的危險。WO 00/4M22公開了一種可線性移動的輸送閥，其具有窄開口和可線性移動的關(guān) 閉板，為了進(jìn)行維修，關(guān)閉板可從半導(dǎo)體制造裝置的室中線性抽出。借由這種設(shè)計成用于具 有窄開口寬度的開口橫截面的閥，無法確保在沿著細(xì)長的寬開口的閥開口周圍的閥座上作 用恒定的垂直接觸力。即使在閥座和閥關(guān)閉裝置不可避免地彈性變形的情況下，例如特別地發(fā)生在細(xì)長 的特別是狹縫形的開口橫截面情形下，沿著輸送閥的密封件的密封長度的接觸力需要盡可 能恒定，這成為現(xiàn)有技術(shù)尚未恰當(dāng)解決的問題。在閥操作期間以及再次氣密地關(guān)閉和開啟期間，所使用的密封件要經(jīng)受動態(tài)負(fù)載 并因此必須經(jīng)受一定量的機(jī)械磨損。因此需要定期更換密封件或整個密封支撐件，特別是 閥關(guān)閉裝置，特別是當(dāng)對于閥的密封和無顆粒有嚴(yán)格要求時。一些在處理室內(nèi)的處理在腐蝕性處理氣體環(huán)境中進(jìn)行。一些情況下，特定的處理 導(dǎo)致處理室內(nèi)部嚴(yán)重污染。這些腐蝕性氣體在某些情況下也侵蝕輸送閥的閥關(guān)閉裝置及其 密封件。某些情況下，為了確保氣密性和處理環(huán)境的純度，定期維護(hù)真空輸送閥特別是更換 密封件或整個關(guān)閉裝置是不可避免的。在多數(shù)應(yīng)用中，輸送閥設(shè)置在兩個處理室之間的狹窄居間空間內(nèi)。為了維護(hù)輸送閥，特別是為了更換密封件或關(guān)閉板，現(xiàn)有技術(shù)已知的具有細(xì)長的特別是狹縫形的開口橫 截面的輸送閥，需要整個閥從處理室脫離。為此，處理室之間的距離必須臨時增加，以便允 許接近閥。當(dāng)裝有閥時簡單地更換閥關(guān)閉裝置是不可能的。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明基于的目的是，設(shè)計具有細(xì)長的特別是狹縫形的開口的輸送閥，使得 其易于維修，容易維護(hù)，并且當(dāng)對閥關(guān)閉裝置進(jìn)行維護(hù)和維修時可將其更換，而無需將輸送 閥從處理室移除。另一目的是該輸送閥能夠在整個閥關(guān)閉裝置的整體長度上產(chǎn)生均勻的接 觸力和密封力。這些目的是通過獨立權(quán)利要求的全部特征來實現(xiàn)的。以替代或優(yōu)選方式改進(jìn)本發(fā) 明的特征記載在從屬權(quán)利要求中。本發(fā)明涉及一種易于維修的活板輸送閥，該活板輸送閥用于將半導(dǎo)體元件或基板 輸送到能以氣密方式隔離的半導(dǎo)體或基板工藝處理室。換言之，本發(fā)明涉及一種輸送閥，該 輸送閥具有活板驅(qū)動機(jī)構(gòu)以開啟并氣密地關(guān)閉半導(dǎo)體或基板工藝處理室的輸送開口，該輸 送開口設(shè)計成用于輸送半導(dǎo)體元件或基板。所述活板輸送閥具有細(xì)長的特別是狹縫形的第一開口，該第一開口沿著第一縱向 軸線延伸并且被第一密封表面以框架的形式包圍。細(xì)長形和狹縫形意味著特別是矩形的 第一開口的沿著其第一縱向軸線的寬度是與第一縱向軸線成直角的第一開口的高度的至 少三倍，并且特別是四倍、五倍、六倍、八倍、十倍或十二倍。作為例子，第一開口的寬度大于 500毫米，特別是大于800毫米，特定情況下大于1000毫米。第一縱向軸線沿著開口的寬度 延伸并與開口軸線成直角，該開口軸線垂直于開口橫截面。為了允許第一開口以氣密方式關(guān)閉，設(shè)置細(xì)長的閥關(guān)閉梁。該細(xì)長的閥關(guān)閉梁優(yōu) 選地具有矩形橫截面，該矩形橫截面與第一開口的優(yōu)選矩形橫截面相對應(yīng)并在第一開口周 圍重疊，使得閥關(guān)閉梁可完全蓋住第一開口。第一開口的所述寬度和高度的比因此也適用 于閥關(guān)閉梁。該閥關(guān)閉梁沿著大致平行于第一縱向軸線的第二縱向軸線延伸。換言之，第 二縱向軸線沿著閥關(guān)閉梁的寬度延伸，并且平行于第一縱向軸線。通常，閥關(guān)閉梁意味著細(xì) 長的閥關(guān)閉裝置，特別是寬的閥板。閥關(guān)閉梁具有正面和背面。第一開口可借由正面關(guān)閉。 為此，在正面上設(shè)置有用于封閉第一開口的關(guān)閉表面，以及與第一密封表面對應(yīng)并可與之 氣密接觸的第二密封表面。換言之，與繞第一開口的第一密封表面的氣密接觸，可通過大致 以直角壓在閥關(guān)閉梁的第二密封表面上來實現(xiàn)。在一個可能的實施方式中，第一密封表面為繞第一開口的閥座，該閥座尤其是平 坦的。第二密封表面由密封件形成，該密封件例如是彈性的，并設(shè)置在閥關(guān)閉梁的正面上的 關(guān)閉表面上。但是，密封件也可由第一密封表面形成。閥關(guān)閉梁可借由樞轉(zhuǎn)支承件而繞樞轉(zhuǎn)軸線在關(guān)閉位置和開啟位置之間進(jìn)行樞轉(zhuǎn)， 該樞轉(zhuǎn)軸線大致平行于閥關(guān)閉梁的第二縱向軸線并因此也大致平行于第一開口的第一縱 向軸線。在關(guān)閉位置處，閥關(guān)閉梁的關(guān)閉表面覆蓋第一開口，并以氣密方式關(guān)閉第一開口， 第一密封表面和第二密封表面氣密地相互接觸。換言之，閥關(guān)閉梁在關(guān)閉位置樞轉(zhuǎn)到第一 開口上，并將第一開口關(guān)閉。在開啟位置中，閥關(guān)閉梁樞轉(zhuǎn)離開第一開口。閥關(guān)閉梁因此釋放了第一開口。在開啟位置中，閥關(guān)閉梁優(yōu)選地完全樞轉(zhuǎn)出開口橫截面的投影，從而允許基板和半導(dǎo)體元件 不受阻礙地被輸送穿過第一開口。閥關(guān)閉梁在開啟位置和關(guān)閉位置之間的樞轉(zhuǎn)角優(yōu)選地約 為90度，特別是介于60度與105度之間。通常，樞轉(zhuǎn)支承件在功能上意味著允許閥關(guān)閉梁繞樞轉(zhuǎn)軸線樞轉(zhuǎn)的支承件。本發(fā) 明的進(jìn)一步擴(kuò)展到方面涵蓋這樣的樞轉(zhuǎn)支承件可借以實現(xiàn)的結(jié)構(gòu)特征。此外，活板輸送閥具有軸桿，該軸桿安裝成可繞沿軸桿在中心延伸的軸桿軸線進(jìn) 行旋轉(zhuǎn)。軸桿軸線大致平行于閥關(guān)閉梁上的第二縱向軸線，并因此也大致平行于第一開口 的第一縱向軸線。該軸桿操作連接至閥關(guān)閉梁，使得軸桿繞軸桿軸線的旋轉(zhuǎn)引起閥關(guān)閉梁 繞樞轉(zhuǎn)軸線進(jìn)行樞轉(zhuǎn)。這種操作連接的本質(zhì)同樣地由本發(fā)明的更寬泛的方面所涵蓋，并且 將在下文中更詳細(xì)描述。至少一個驅(qū)動機(jī)構(gòu)聯(lián)接到軸桿以便驅(qū)動軸桿繞軸桿軸線進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。由于軸桿操作 連接至閥關(guān)閉梁，閥關(guān)閉梁通過軸桿的旋轉(zhuǎn)而在開啟位置和關(guān)閉位置之間運動。作為實施 例，驅(qū)動機(jī)構(gòu)可為旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)，該旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)運動直接或間接引起軸桿的 旋轉(zhuǎn)運動，驅(qū)動機(jī)構(gòu)也可為線性驅(qū)動機(jī)構(gòu)，特別是借由直接或間接設(shè)置在軸桿上的桿件，該 線性驅(qū)動機(jī)構(gòu)的軸向運動轉(zhuǎn)化為軸桿的旋轉(zhuǎn)運動。根據(jù)本發(fā)明，活板輸送閥具有氣密的閥殼體。如上已詳述的第一開口形成在閥殼 體中的第一開口表面上。在一個可能的實施方式中，第一開口與閥殼體中的第二開口相對。這些開口均使 閥殼體內(nèi)部與閥殼體外部連接，在這種情況下至少第一開口可借由閥關(guān)閉梁的關(guān)閉來關(guān) 閉，從而可阻斷閥內(nèi)部和閥外部之間與此相關(guān)的連接。當(dāng)組裝閥時，優(yōu)選地以氣密方式關(guān)閉 除了兩開口之外的閥殼體，第一個開口可以氣密方式關(guān)閉，而第二個開口可以開啟或者可 另選地同樣被關(guān)閉。閥殼體的與外側(cè)的第一開口表面相對的外側(cè)面被稱為閥殼體的第二開 口表面。在本文中，相對并非必須意味著幾何學(xué)上的精確相對，而是通常地意味著第一開口 表面和第二開口表面朝向不同的方向。但是，閥殼體也可不具有這種第二開口。在一個可能的變型中，第一開口表面和第二開口表面相互平行，特別是兩個開口 的兩個開口軸線平行，特別是相互共線。閥關(guān)閉梁、樞轉(zhuǎn)支承件和軸桿設(shè)置在氣密的閥殼體中。在一個細(xì)長的側(cè)壁上，閥殼 體具有閥蓋，該閥蓋以氣密方式結(jié)合至閥殼體的其余部分并能沿平行于第一開口表面的橫 向方向被移除。換言之，閥殼體具有修理開口，該修理開口優(yōu)選地在與第一開口表面成直角的表 面上，并特別是與第二開口表面成直角的表面上。所述修理開口在閥殼體的細(xì)長的表面上 延伸，也就是說大致平行于第一縱向軸線和第二縱向軸線，并大致平行于軸桿軸線。修理開 口因此設(shè)置在當(dāng)閥殼體已被裝配至處理室時可接近的表面上。即使閥殼體設(shè)置在兩個處理 室之間的中間空間中，其中兩個開口表面均與處理室相鄰且所述兩個開口通向處理室，閥 殼體的細(xì)長的側(cè)壁仍是可接近的。修理開口借由所述閥蓋以氣密方式關(guān)閉。作為實施例， 閥蓋借由螺釘設(shè)置在閥殼體上以氣密地關(guān)閉修理開口，并且可沿著修理開口所面向的上述 橫向方向移除。軸桿操作連接至閥關(guān)閉梁，使得軸桿繞軸桿軸線的旋轉(zhuǎn)引起閥關(guān)閉梁繞樞轉(zhuǎn)軸線 進(jìn)行樞轉(zhuǎn)，軸桿在閥蓋上安裝成可以旋轉(zhuǎn)。樞轉(zhuǎn)支承件、軸桿和閥關(guān)閉梁設(shè)置在閥蓋上，使得也可通過沿橫向方向分離和移除閥蓋而從閥殼體分離軸桿、樞轉(zhuǎn)支承件和閥關(guān)閉梁。換 言之，閥關(guān)閉梁在閥蓋上安裝成可樞轉(zhuǎn)，在此情況下，閥關(guān)閉梁借以繞樞轉(zhuǎn)軸線樞轉(zhuǎn)的樞轉(zhuǎn) 支承件和允許閥關(guān)閉梁樞轉(zhuǎn)的軸桿均結(jié)合至閥蓋。因此也通過從閥殼體移除閥蓋而將閥關(guān)閉梁從活板輸送閥的其余部分分離。通過 移除閥蓋，因此可以維修閥關(guān)閉梁，特別是更換其密封件或以新的閥關(guān)閉梁來更換整個閥 關(guān)閉梁。作為閥蓋的部件，對污染特別敏感的樞轉(zhuǎn)支承件也可不費力地在遠(yuǎn)離處理室的地 點進(jìn)行維修。這種設(shè)置的一個主要優(yōu)點不僅在于實際上活板輸送閥的所有要經(jīng)受更多磨損 和污染的部件均可通過移除閥蓋而被送到遠(yuǎn)離敏感處理的修理點，還在于通過將分離的修 理蓋更換為具有新部件的新的修理蓋可容易地更換所有這些部件。在本發(fā)明的一個實施方式中，驅(qū)動機(jī)構(gòu)設(shè)置在閥殼體的與閥蓋分離的部分上。為 了使未安裝在閥蓋上的驅(qū)動機(jī)構(gòu)從安裝在閥蓋上的軸桿分離，可在軸桿和驅(qū)動機(jī)構(gòu)之間設(shè) 置可沿橫向方向拆卸的聯(lián)軸器。這種聯(lián)軸器被設(shè)計成使得軸桿可從驅(qū)動機(jī)構(gòu)分離以便于移 除閥蓋。換言之，聯(lián)軸器形成可沿移除閥蓋所沿的橫向方向斷開的連接。作為實施例，聯(lián)軸器由軸桿的第一部分和驅(qū)動機(jī)構(gòu)的驅(qū)動軸桿的第二部分形成， 該第二部分以互鎖方式結(jié)合至該第一部分。可通過沿橫向方向移除閥蓋來解除這種互鎖， 因此允許軸桿從驅(qū)動機(jī)構(gòu)分離。作為實施例，這兩部分可由嚙合的齒輪形成。在一個具體 實施方式中，軸桿軸線和驅(qū)動軸桿的驅(qū)動軸桿軸線相互平行或共線，也就是說它們相互重 合。作為實施例，軸桿的第一部分由軸桿的一個端部形成，其中該軸桿的該端部具有第一成 型部，當(dāng)軸桿處于基本位置時，該第一成型部至少部分地與軸桿軸線成直角并沿橫向方向 延伸。驅(qū)動軸桿的第二部分由驅(qū)動軸桿的一個端部形成，其中驅(qū)動軸桿的該端部具有第二 成型部，當(dāng)軸桿處于基本位置時，該第二成型部至少部分地與驅(qū)動軸桿軸線成直角并沿橫 向方向延伸。第二成型部與第一成型部相對應(yīng)，以便形成互鎖。作為實施例，軸桿的基本位 置是閥關(guān)閉梁處于開啟位置時軸桿的位置。特別地，第二成型部呈在驅(qū)動軸桿的所述端部 處的槽的形式，而第一成型部呈在軸桿的所述端部處的舌狀部的形式?？商娲?，第一成型 部呈在軸桿的所述端部處的槽的形式，而第二成型部呈在驅(qū)動軸桿的所述端部處的舌狀部 的形式。當(dāng)閥蓋裝配時，舌狀部和槽以互鎖的方式相互接合，因此允許扭矩從驅(qū)動機(jī)構(gòu)傳到 軸桿，并且當(dāng)軸桿處于基本位置時，兩者均沿橫向方向延伸，也就是說沿與修理開口的平面 成直角的方向延伸。在本發(fā)明的一個實施方式中，驅(qū)動軸桿以氣密方式穿出閥殼體，驅(qū)動機(jī) 構(gòu)設(shè)置在閥殼體的外側(cè)并且設(shè)置在閥殼體的未結(jié)合至閥蓋的部分上?？商娲?，根據(jù)本發(fā)明，驅(qū)動機(jī)構(gòu)也可結(jié)合至閥蓋，從而其可與閥蓋一起從閥殼體 分離。換言之，驅(qū)動機(jī)構(gòu)直接地或間接地安裝在閥蓋上，并且特別地直接驅(qū)動軸桿。這種設(shè) 置的一個優(yōu)點在于也可通過移除閥蓋而從閥殼體分離驅(qū)動機(jī)構(gòu)，因此如果需要的話允許對 驅(qū)動機(jī)構(gòu)進(jìn)行簡單的維修和更換。但是，這種設(shè)置的一個缺點在于在多數(shù)應(yīng)用中閥蓋是相 對笨重的部件，該閥蓋要經(jīng)受特別是比具有密封件的閥關(guān)閉梁少得多的磨損。但是，本實施 方式特別有利的是設(shè)置成在執(zhí)行定期維護(hù)并且合適時定期更換驅(qū)動機(jī)構(gòu)。根據(jù)本發(fā)明，有多種可能的方式設(shè)計樞轉(zhuǎn)支承件以及軸桿與閥關(guān)閉梁之間的操作 連接的形式。在一個可能的簡單的實施方式中，閥關(guān)閉梁直接設(shè)置在軸桿上并通過軸桿進(jìn) 行樞轉(zhuǎn)。例如，閥關(guān)閉梁至少設(shè)置在至少一個臂上，所述至少一個臂連接到軸桿以便與軸桿 一起轉(zhuǎn)動。樞轉(zhuǎn)軸線和軸桿軸線由此共線并形成公共軸線。閥關(guān)閉梁的功能性樞轉(zhuǎn)支承件由旋轉(zhuǎn)的軸桿以及特別是所述至少一個臂形成。例如從EP 0554522中已知這種傳統(tǒng)的樞 轉(zhuǎn)支承件。本發(fā)明的一個實施方式包括閥關(guān)閉梁的有利的樞轉(zhuǎn)支承件。根據(jù)發(fā)明的該實施方 式，樞轉(zhuǎn)支承件由至少三個，特別是至少五個，尤其是至少八個支承元件形成。這些支承元 件在閥殼體內(nèi)沿著軸桿軸線和樞轉(zhuǎn)軸線彼此相距一定距離地分布。這些支承元件優(yōu)選地均 勻分布，并大致等距離相互隔開。閥關(guān)閉梁在支承元件上安裝成可繞公共樞轉(zhuǎn)軸線樞轉(zhuǎn)，其中該樞轉(zhuǎn)軸線位于第一 開口側(cè)，特別是靠近第一密封表面的平面，并且尤其是大致位于第一密封表面的平面上。換 言之，閥關(guān)閉梁連接至支承元件，從而可樞轉(zhuǎn)，在支承元件上的樞轉(zhuǎn)支承允許閥關(guān)閉梁繞樞 轉(zhuǎn)軸線運動。樞轉(zhuǎn)軸線位于第一開口表面?zhèn)?，在一個具體實施方式
中靠近第一和第二密封 表面的平面的交叉線或位于該交叉線上。軸桿安裝在所述支承元件中的至少一些支承元件中。所有支承元件優(yōu)選地具有供 安裝軸桿的徑向支承，特別是軸桿穿過支承元件。軸桿軸線在與第一密封表面的平面成直 角的方向上與樞轉(zhuǎn)軸線相距一定距離。換言之，樞轉(zhuǎn)軸線和軸桿軸線沒有重合，而是在第一 開口的開口軸線方向上分離，也就是說，在垂直于第一密封表面的平面的方向上分離。特別 地，樞轉(zhuǎn)軸線位于閥殼體的設(shè)置有第一開口的一側(cè)上，而軸桿軸線位于閥殼體的特別是設(shè) 置有第二開口的相反側(cè)上。每個支承元件均與至少一個第一臂相關(guān)聯(lián)，所述至少一個第一臂在軸桿上設(shè)置成 與軸桿一起旋轉(zhuǎn)。特別地，第一臂相互平行地延伸并與軸桿軸線成直角。在它們的自由端 處，每個第一臂均直接地或間接地與閥關(guān)閉梁的背面相接合，使得通過軸桿的旋轉(zhuǎn)并因此 通過第一臂繞軸桿軸線的樞轉(zhuǎn)，可向閥關(guān)閉梁的背面施加力，以便使閥關(guān)閉梁繞樞轉(zhuǎn)軸線 在開啟位置與關(guān)閉位置之間進(jìn)行樞轉(zhuǎn)。換言之，軸桿經(jīng)由第一臂操作連接至閥關(guān)閉梁，以便 使閥關(guān)閉梁繞樞轉(zhuǎn)軸線樞轉(zhuǎn)，其中借由第一臂在閥關(guān)閉梁的背面上施加關(guān)閉力。這種設(shè)置提供了在閥關(guān)閉梁的樞轉(zhuǎn)軸線和軸桿軸線之間的分離以及閥關(guān)閉梁和 軸桿二者所用的支承，這在閥的負(fù)載能力和密封方面與現(xiàn)有技術(shù)相比具有很大的優(yōu)勢。由 于關(guān)閉力作用在閥關(guān)閉梁的背面而臂被支撐在與樞轉(zhuǎn)軸線相距一定距離的軸桿上，因此與 現(xiàn)有技術(shù)的情況相比可沿著閥關(guān)閉梁導(dǎo)入顯著增大的關(guān)閉力。在支承元件相互分離的情況 下，由于軸桿和閥關(guān)閉梁均支撐在沿縱向軸線分布的分離的支承元件上，閥關(guān)閉梁的接觸 力沿著第一縱向軸線分散地分布。例如，如果由于閥關(guān)閉梁的彎曲而使得與兩側(cè)的支承元 件相比在設(shè)置在中央的支承元件上施加更大的力，則中央的支承元件可能響應(yīng)于該壓力而 彈性彎曲，而兩側(cè)的支承元件不受此影響。因而，由于閥關(guān)閉梁的背面上的第一臂的杠桿效 應(yīng)，軸桿不經(jīng)受任何顯著的扭矩，而僅僅具有輕微的彎曲量，該彎曲量取決于第一臂相對于 支承元件中的支撐點的位置，軸桿在負(fù)載時幾乎不使支承元件相互結(jié)合。在本發(fā)明的一個實施方式中，每個第一臂均與第二臂相關(guān)聯(lián)，該第二臂在閥關(guān)閉 梁的背面上安裝成能繞平行于樞轉(zhuǎn)軸線的第二臂軸線樞轉(zhuǎn)。第一臂和第二臂在它們的自由 端處相互連接從而繞與第二臂軸線大致平行的第一臂軸線進(jìn)行鉸接。軸桿、第一臂和第二 臂因此形成桿驅(qū)動機(jī)構(gòu)，特別是肘節(jié)桿或應(yīng)力桿機(jī)構(gòu)。優(yōu)選地，第一臂的長度和第二臂的長 度以及公共軸桿軸線、公共第一臂軸線和公共第二臂軸線之間的距離使得在關(guān)閉位置中軸 桿軸線、第一臂軸線以及第二臂軸線大致位于公共平面上，并且第一臂和第二臂在死點處大致對齊。該死點對齊意味著當(dāng)在閥關(guān)閉梁上有壓力差時在關(guān)閉位置中不施加扭矩，因此 在軸桿上沒有扭矩。如果第一臂被設(shè)置成靠近支承元件，也就是說，在軸桿上在支承元件的 區(qū)域內(nèi)，也可大大避免軸桿彎曲，因此即使在存在超高壓力差時，根據(jù)本發(fā)明的活板輸送閥 仍會保持其需要的密封性。但是，可替代地，例如為了故意允許由該軸桿彎曲導(dǎo)致的一定量 的撓曲，也可將每個第一臂在軸桿上設(shè)置在兩個支承元件的中央。本發(fā)明一個實施方式規(guī)定閥關(guān)閉梁、樞轉(zhuǎn)支承件以及軸桿設(shè)置在閥殼體中。第一 開口設(shè)置在閥殼體的第一開口表面上。與第一開口相對的第二開口設(shè)置在閥殼體的與第一 開口表面相對的第二開口表面上。支承元件在閥殼體的大致成直角在兩個開口表面之間延 伸的細(xì)長側(cè)壁上延伸。支承元件被安裝在可移除的閥蓋上，特別是安裝在如上所述的可移 除的閥蓋上。在本發(fā)明的進(jìn)一步的實施方式中，每個支承元件均在閥殼體內(nèi)在第一開口表面和 第二開口表面之間延伸。特別地，支承元件均相互平行地對齊。支承元件可分成兩個半部 分，具體地說分成面向第一開口表面的半部分，以及背向第一開口表面的半部分，也即面向 第二開口表面的半部分。支承元件在面向第一開口表面的那半部分上固定至閥殼體，而相 反地，在面向第二開口表面的半部分上至少部分地不固定，并可與側(cè)壁成直角地沿著離開 側(cè)壁的方向移動。換言之，支承元件僅僅通過它們的面向第一開口表面的那半部分在垂直 方向上固定至閥殼體，準(zhǔn)確地說優(yōu)選固定在側(cè)壁的面向第一開口表面的那半部分上和/或 固定在閥殼體的第一開口表面上。相反地，支承元件的背向第一開口的半部分不固定，且可 沿著遠(yuǎn)離側(cè)壁的方向至少部分地運動。樞轉(zhuǎn)軸線穿過支承元件的面向第一開口表面的半部 分。軸桿軸線穿過支承元件的面向第二開口表面的半部分。支承元件的面向第一開口表面 的半部分優(yōu)選地靠在側(cè)壁上并且在垂直方向上固定到側(cè)壁，而相反地，支承元件的面向第 二開口表面的半部分靠在側(cè)壁上并在遠(yuǎn)離側(cè)壁的垂直方向上不固定。這種設(shè)置使得支承元件結(jié)合至閥殼體的與第一開口和第一開口表面相鄰的部分， 活板輸送閥通過閥殼體的該部分而設(shè)置在處理室中。如果大壓力差引起閥殼體的位于第一 開口表面上的整個壁沿著閥內(nèi)部方向彎曲，則閥關(guān)閉梁通過利用臂、軸桿和支承元件使其 第一密封表面圍繞第一開口而沿該閥關(guān)閉梁的整個寬度支撐該整個壁。這種情況下，主要 地經(jīng)由支承元件的面向第二開口表面的半部分沿著與供支承元件的面向第二開口表面的 半部分靠置的側(cè)壁成直角的方向來提供支撐。在存在相反的壓力差從而閥殼體的靠在第一開口表面上的整個壁沿著閥外部方 向彎曲的情況下，當(dāng)閥關(guān)閉梁靜止不動時這會導(dǎo)致第一密封表面抬離第二密封表面。但是， 根據(jù)本發(fā)明，由于支承元件結(jié)合至閥殼體的經(jīng)受彎曲的部分，具體地結(jié)合至側(cè)壁的面向第 一開口表面的半部分和/或結(jié)合至閥殼體的第一開口表面，但是不與閥殼體的另一半部分 結(jié)合，所以繞第一開口的壁的變形也作用在支承元件上。由于支承元件在背向第一開口的 那一面上未固定，所以支承元件可響應(yīng)于殼體的彎曲而彎曲，并可沿著第一開口的方向翹 起。支承元件因此響應(yīng)于殼體變形而撓曲，使得閥關(guān)閉梁的第二密封面與圍繞第一開口的 第一密封面之間沿第一縱向軸線的距離保持恒定。因此這防止了密封表面抬離。由于各個 支承元件相互分離，因此可均勻地補償壁沿著第一開口的第一縱向軸線的的不均勻彎曲。 因此即使是在超大開口橫截面和大縱向長度的情況下，根據(jù)本發(fā)明的活板輸送閥也能以所 需密封經(jīng)受住高壓力差。


在下文中將僅以實施例的方式參照具體實施方式
來詳細(xì)描述根據(jù)本發(fā)明的活板 輸送閥，在附圖中示意性地示出了這些具體實施方式
，詳細(xì)地說其中圖1示出了在帶有分離閥蓋的情況下根據(jù)本發(fā)明的活板輸送閥的斜視圖；圖2示出了分離閥蓋的斜視圖；圖3示出了在閥關(guān)閉梁的中間位置中，帶有裝配的閥蓋的活板輸送閥的部分斜視 圖；圖4示出了在閥關(guān)閉梁的開啟位置中，帶有裝配的閥蓋的活板輸送閥的側(cè)剖視 圖；圖5示出了分離閥蓋的側(cè)視圖；圖6示出了在軸桿的端部處以舌狀部的形式作為聯(lián)軸器的元件的第一成型部的 詳細(xì)斜視圖；圖7示出了在驅(qū)動軸桿的端部處以槽的形式作為聯(lián)軸器的元件的第二成型部的 詳細(xì)斜視圖；圖8a示出了在閥關(guān)閉梁的中間位置中，帶有裝配的閥蓋的活板輸送閥的側(cè)剖視 圖；圖8b示出了在閥關(guān)閉梁的關(guān)閉位置中，帶有裝配的閥蓋的活板輸送閥的側(cè)剖視 圖；以及圖8c示出了在閥關(guān)閉梁的關(guān)閉位置中，穿過帶有裝配的閥蓋的活板輸送閥的支 承元件的側(cè)剖視圖。
具體實施例方式圖1至8c以不同狀態(tài)、不同視角以及不同的詳細(xì)程度示出了根據(jù)本發(fā)明的活板輸 送閥的同一示意性實施方式。因此將一并描述這些附圖，并且在一些情況下在前面的附圖 中已經(jīng)說明的附圖標(biāo)記和特征將不再贅述。用于將半導(dǎo)體元件或基板輸送到能以氣密方式隔離的半導(dǎo)體或基板工藝處理室 的活板輸送閥具有氣密閥殼體14，氣密閥殼體14的形狀基本為長方體，該長方體包括四個 細(xì)長的矩形和兩個實際上方形的小矩形。兩個相對的細(xì)長側(cè)表面形成閥殼體14的第一開 口表面15和第二開口表面16。在圖中下細(xì)長表面標(biāo)注為側(cè)壁18，如圖4所示。細(xì)長的、狹 縫形的第一開口 1形成在閥殼體14的第一開口表面15上并具有矩形橫截面，如在圖3和4 中可見。第二開口 17與第一開口 1相對并且位于閥殼體14的第二開口表面16上。兩個 開口 1和17具有大致相同的細(xì)長的、狹縫形的橫截面并在投影圖中對齊。換言之，兩個開 口 1和17具有公共開口軸線36。第一開口 1沿著第一縱向軸線2延伸并且被框架形式的 第一密封表面3圍繞，如圖4所示。第一密封表面3在平面觀上延伸，并且形成平坦的閥 座，且面向閥的內(nèi)部。細(xì)長的閥關(guān)閉梁4設(shè)置在閥殼體中，并且沿著大致平行于第一縱向軸線2的第二 縱向軸線5延伸，和其它部件一起如圖1和4所示。閥關(guān)閉梁4具有與開口 1和17的橫截 面大致相對應(yīng)的橫截面，但是閥關(guān)閉梁4的橫截面稍大一些，因此它能夠蓋住第一開口 1。
在所示的示意性實施方式中，兩個開口 1和17的寬度和閥關(guān)閉梁4的寬度比各自 的高度大六倍。因此橫截面大致在寬度上(也就是說在長度上)比在高度上延伸更多，因 為這個原因，橫截面被稱為是細(xì)長的。用于關(guān)閉第一開口 1的關(guān)閉表面8位于閥關(guān)閉梁4的正面6上。另外，第二密封 表面9以0型圈的形式設(shè)置在關(guān)閉表面8上。該0型圈9對應(yīng)于第一密封表面3，也就是說 它能與第一密封表面3進(jìn)行氣密接觸，如圖8a所示。閥殼體14的細(xì)長的側(cè)壁18由閥蓋20形成，該閥蓋20以氣密方式關(guān)閉修理開口 37。閥蓋20以氣密方式與閥殼體14的其余部分結(jié)合，并且能沿橫向方向19被移除，該橫 向方向19平行于第一開口表面15并且與開口軸線36成直角。以實施例的方式，閥蓋20 通過未示出的螺釘連接至閥殼體14的其余部分，通過同樣未示出的0型圈密封件來確保修 理開口 37在閥蓋20與閥殼體14的其余部分之間以氣密方式被關(guān)閉。三個支承元件27相互等距地設(shè)置在閥蓋20上，并且因此設(shè)置在側(cè)壁18上。支承 元件27相互平行地對齊，并且每個支承元件在閥殼體14中的第一開口表面15與第二開口 表面16之間大致以直角延伸。支承元件邏輯上由兩半部分構(gòu)成，具體地為面向第一開口表 面15的半部分34以及面向第二開口表面16的半部分35，如圖4和8c所示。兩個半部分 34和35靠在閥蓋20上。支承元件27以面向第一開口表面15的半部分34固定在閥蓋20 上。為此，每個支承元件27的面向第一開口表面15的半部分34上的兩個螺釘38各自穿 過支承元件27，并且與閥蓋20中的螺紋孔39接合。這些螺紋孔39形成在閥蓋20的面向 第一開口表面15的半部分上。如此，每個支承元件27沿著垂直方向和橫向方向19固定在 閥蓋20上，并且不能向上移動。相反地，在面向第二開口表面16的半部分35上，支承元件 27在相對于閥蓋20的垂直方向上和遠(yuǎn)離閥蓋20的方向上也即向上方向上并未固定，并且 因此當(dāng)閥蓋20和/或閥殼體的壁彎曲時，支承元件27能在第一開口表面15上移動，如圖 8c所示。軸桿11徑向地安裝，并使得它可在支承元件27中旋轉(zhuǎn)，并可繞軸桿軸線12旋轉(zhuǎn)， 該軸桿軸線12大致平行于閥關(guān)閉梁4的第二縱向軸線5，特別地如圖1所示。因此軸桿11 在閥蓋20上安裝成可旋轉(zhuǎn)。閥關(guān)閉梁4在支承元件27上安裝成可繞公共樞轉(zhuǎn)軸線10樞轉(zhuǎn)，特別地如圖4、圖 5和圖8a至8c所示。樞轉(zhuǎn)軸線10在第一開口 1側(cè)延伸，具體地大致位于第一密封表面3 的平面觀上，如圖4所示。閥關(guān)閉梁4繞大致平行于第二縱向軸線5的樞轉(zhuǎn)軸線10的樞轉(zhuǎn)支承在功能上形 成了樞轉(zhuǎn)支承件，通過該樞轉(zhuǎn)支承件，閥關(guān)閉梁4可繞樞轉(zhuǎn)軸線10樞轉(zhuǎn)過約90。的樞轉(zhuǎn)角， 即在圖8b和圖8c所示的關(guān)閉位置C與圖4所示的開啟位置0之間進(jìn)行樞轉(zhuǎn)。在圖8b和 圖8c的關(guān)閉位置C中，閥關(guān)閉梁4的關(guān)閉表面8蓋住第一開口 1并將其關(guān)閉。在此關(guān)閉位 置C中，第一密封表面3和第二密封表面9相互氣密接觸。在開啟位置0中，閥關(guān)閉梁4樞 轉(zhuǎn)離開第一開口 1，而釋放第一開口 1。軸桿軸線12在與第一密封表面3的平面觀成直角的方向距樞轉(zhuǎn)軸線10 —定距 離。樞轉(zhuǎn)軸線10穿過支承元件27的面向第一開口表面15的半部分34，而相反地，軸桿軸 線12穿過支承元件27的面向第二開口表面16的半部分35，如圖4所示。第一臂四均在支承元件27的區(qū)域內(nèi)設(shè)置在軸桿11上，從而與軸桿11 一起旋轉(zhuǎn)。三個第一臂四都相互平行并且與軸桿軸線12成直角地延伸。第一臂四可通過軸桿11的 旋轉(zhuǎn)而繞軸桿軸線12樞轉(zhuǎn)。每個第一臂四均具有相關(guān)聯(lián)的第二臂30。第二臂30被安裝成使得可在閥關(guān)閉梁 4的背面7上繞平行于樞轉(zhuǎn)軸線10延伸的第二臂軸線32樞轉(zhuǎn)。相應(yīng)的第一臂四和第二臂 30在其自由端處以繞第一臂軸線31鉸接的方式相互連接，該第一臂軸線31大致平行于第 二臂軸線32。軸桿11、第一臂四和第二臂30因此形成桿驅(qū)動機(jī)構(gòu)。相應(yīng)的第一臂四因 此經(jīng)由第二臂30與閥關(guān)閉梁4的背面7接合，使得通過軸桿11的旋轉(zhuǎn)并因此通過第一臂 29繞軸桿軸線12的樞轉(zhuǎn)，可向閥關(guān)閉梁4的背面7施加力，以便使閥關(guān)閉梁4繞樞轉(zhuǎn)軸線 10在開啟位置0與關(guān)閉位置C之間進(jìn)行樞轉(zhuǎn)。第一臂四和第二臂30的長度，以及公共軸桿軸線12、公共第一臂軸線31和公共 第二臂軸線32之間的距離，使得軸桿軸線12、第一臂軸線31和第二臂軸線32在關(guān)閉位置 C中大致位于公共平面33上，如圖8b所示，且第一臂四和第二臂30在死點處大致對齊?？衫@軸桿軸線12旋轉(zhuǎn)的軸桿11經(jīng)由臂四和30操作連接至閥關(guān)閉梁4，使得軸桿 11繞軸桿軸線12的旋轉(zhuǎn)引起閥關(guān)閉梁4繞樞轉(zhuǎn)軸線10樞轉(zhuǎn)。閥關(guān)閉梁4、支承元件形式的樞轉(zhuǎn)支承件、臂四和30以及軸桿11設(shè)置成在閥殼體 14中位于閥蓋20上的單元的形式，使得軸桿11、支承元件27、臂四和30以及閥關(guān)閉梁4 可通過沿橫向方向19分離和移除閥蓋20而作為公共單元與閥殼體14分離。這些元件因 此形成了位于閥蓋20上的可與閥殼體14的其余部分分離的公共單元，如圖1、圖2和圖5 所示。因此能夠維修這些元件或替換整個單元，如圖2和圖5所示。為了使軸桿11旋轉(zhuǎn)并使閥關(guān)閉梁4在開啟位置0和關(guān)閉位置C之間運動，在閥殼 體14與閥蓋20分離的那一部分上設(shè)置呈電動機(jī)形式的驅(qū)動機(jī)構(gòu)13。聯(lián)軸器21位于軸桿 11和驅(qū)動機(jī)構(gòu)13之間，聯(lián)軸器21可沿橫向方向19拆除并設(shè)計成使得軸桿11可與驅(qū)動機(jī) 構(gòu)13分離以便移除閥蓋20。在圖6和7中示出了該聯(lián)軸器21。聯(lián)軸器21由軸桿11的第一部分22和驅(qū)動機(jī) 構(gòu)13的驅(qū)動軸桿M的第二部分23構(gòu)成，其中第二部分23以互鎖方式結(jié)合至第一部分22。驅(qū)動軸桿M以氣密方式穿出閥殼體14并且由驅(qū)動機(jī)構(gòu)13來驅(qū)動，驅(qū)動機(jī)構(gòu)13 安裝在閥殼體14的外部，如圖7所示。當(dāng)閥蓋20安裝在閥殼體14上時，軸桿軸線12和驅(qū) 動軸桿M的驅(qū)動軸桿軸線25相互共線，并因此形成公共軸線。軸桿11的第一部分由軸桿11的一個端部形成，其中軸桿11的該端部具有第一成 型部22，當(dāng)軸桿11處于基本位置時，第一成型部22至少部分地與軸桿軸線12成直角并沿 橫向方向19延伸。該第一成型部呈在軸桿11的所述端部處的舌狀部22的形式，如圖6所 示。驅(qū)動軸桿M的端部提供驅(qū)動軸桿M的第二部分23。驅(qū)動軸桿M的該端部具有第二 成型部23，當(dāng)軸桿11處于基本位置時，該第二成型部至少部分地與驅(qū)動軸桿軸線25成直角 并沿橫向方向19延伸。第二成型部23對應(yīng)于第一成型部22，以便產(chǎn)塵互鎖，因為第二成型 部為槽23的形式，當(dāng)閥蓋20安裝在閥殼體14上時，舌狀部22以互鎖方式接合到槽23中， 以便將扭矩從驅(qū)動機(jī)構(gòu)13傳遞至軸桿11。此互鎖可通過沿橫向方向19移除閥蓋20而釋 放。為此，當(dāng)軸桿11處于基本位置時，舌狀部22和槽23與軸桿軸線12成直角并沿橫向方 向19延伸，如圖4至7所示。軸桿11的基本位置是閥關(guān)閉梁處于開啟位置0時的位置，如 圖4至7所示。
然而，另選地，驅(qū)動機(jī)構(gòu)13也可結(jié)合至閥蓋20，使得它可與閥蓋20 —起與閥殼體 14分離。在此情況下，驅(qū)動機(jī)構(gòu)13也是圖2和5中所示的單元中的部件，并因此可與閥蓋 20 一起與閥殼體14的其余部分分離。在此情況下，不需要聯(lián)軸器21，軸桿11和驅(qū)動軸桿 M可牢固地相互連接，或者可成一體的。圖1至8c中所示出和說明的具體實施方式
旨在僅基于示意性的說明作為本發(fā)明 的示例性說明。本發(fā)明當(dāng)然不限于這些示例性實施方式以及其特征的組合。
權(quán)利要求
1.一種活板輸送閥，該活板輸送閥用于將半導(dǎo)體元件或基板輸送到能以氣密方式被隔 離的半導(dǎo)體或基板工藝處理室中，該活板輸送閥具有細(xì)長的特別是狹縫形的第一開口(1)，該第一開口沿第一縱向軸線(2)延伸并且被第 一密封表面(3)以框架的形式包圍；細(xì)長的閥關(guān)閉梁G)，該閥關(guān)閉梁沿著大致平行于所述第一縱向軸線O)的第二縱向 軸線(5)延伸，并且所述閥關(guān)閉梁在正面(6)上具有用于關(guān)閉所述第一開口(1)的關(guān)閉表 面(8)以及對應(yīng)于所述第一密封表面( 并且能與所述第一密封表面( 氣密地接觸的第 二密封表面(9)；樞轉(zhuǎn)支承件，所述閥關(guān)閉梁(4)能借由該樞轉(zhuǎn)支承件繞大致平行于所述第二縱向軸線 (5)的樞轉(zhuǎn)軸線(10)在關(guān)閉位置(C)和開啟位置(0)之間特別是以60°至105°的樞轉(zhuǎn)角 進(jìn)行樞轉(zhuǎn)；在所述關(guān)閉位置(C)中，所述閥關(guān)閉梁(4)的所述關(guān)閉表面( 覆蓋并關(guān)閉所述 第一開口(1)，并且所述第一密封表面C3)與所述第二密封表面(9)形成氣密接觸；而在所述開啟位置(0)中，所述閥關(guān)閉梁(4)樞轉(zhuǎn)離開所述第一開口(1)從而釋放所述第一開口 ⑴；軸桿(11)，該軸桿能繞大致平行于所述第二縱向軸線(5)的軸桿軸線(12)旋轉(zhuǎn)，并且 所述軸桿(11)操作連接至所述閥關(guān)閉梁G)，使得所述軸桿(11)繞所述軸桿軸線(12)的 旋轉(zhuǎn)致使所述閥關(guān)閉梁(4)繞所述樞轉(zhuǎn)軸線(10)樞轉(zhuǎn)；以及至少一個驅(qū)動機(jī)構(gòu)(13)，所述至少一個驅(qū)動機(jī)構(gòu)結(jié)合至所述軸桿(11)以便使所述軸 桿(11)旋轉(zhuǎn)，從而使所述閥關(guān)閉梁⑷在所述開啟位置(0)與所述關(guān)閉位置(C)之間運 動；所述活板輸送閥包括氣密的閥殼體(14)，該閥殼體具有位于所述閥殼體(14)的第一開口表面(15)上的所述第一開口(1)；以及 與所述第一開口(1)相對的第二開口(17)，該第二開口位于所述閥殼體(14)的與所述 第一開口表面(15)相對的第二開口表面(16)上； 其中所述閥關(guān)閉梁G)、所述樞轉(zhuǎn)支承件和所述軸桿(11)設(shè)置在所述閥殼體(14)中； 在細(xì)長的側(cè)壁(18)上，所述閥殼體(14)具有閥蓋(20)，該閥蓋以氣密方式結(jié)合至所 述閥殼體(14)的其余部分并且能沿與所述第一開口表面(1 平行的橫向方向(19)被移 除；所述軸桿(11)在所述閥蓋(20)上安裝成能旋轉(zhuǎn)；并且所述樞轉(zhuǎn)支承件、所述軸桿(11)和所述閥關(guān)閉梁(4)在所述閥蓋(20)上布置成通過 沿所述橫向方向(19)分離并移除所述閥蓋(20)而使所述軸桿(11)、所述樞轉(zhuǎn)支承件和所 述閥關(guān)閉梁⑷能從所述閥殼體(14)分離。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的活板輸送閥，其中所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)(13)設(shè)置在所述閥殼體(14)的與所述閥蓋00)分離的部分上；并且 能沿所述橫向方向(19)拆除的聯(lián)軸器設(shè)置在所述軸桿(11)與所述驅(qū)動機(jī)構(gòu) (13)之間，并且所述聯(lián)軸器設(shè)計成使得所述軸桿(11)能從所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)(13)分離以便將 所述閥蓋(20)移除。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的活板輸送閥，其中所述聯(lián)軸器由所述軸桿(11)的第一部分0 和所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)(1 的驅(qū)動軸桿 (24)的第二部分形成，該第二部分以互鎖方式與所述第一部分0 結(jié)合，其中 通過沿所述橫向方向(19)移除所述閥蓋OO)能解除這種互鎖。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的活板輸送閥，其中所述軸桿軸線(1 和所述驅(qū)動軸桿04)的驅(qū)動軸桿軸線0 相互平行或共線； 所述軸桿(11)的所述第一部分由所述軸桿(11)的一個端部形成，其中所述軸桿(11) 的該端部具有第一成型部0 ，當(dāng)所述軸桿(11)處于基本位置時，所述第一成型部02)至 少部分地與所述軸桿軸線(12)成直角并沿所述橫向方向(19)延伸；并且所述驅(qū)動軸桿04)的所述第二部分由所述驅(qū)動軸桿04)的一個端部形成，其中所述 驅(qū)動軸桿04)的該端部具有第二成型部，當(dāng)所述軸桿(11)處于所述基本位置時，所述 第二成型部03)至少部分地與所述驅(qū)動軸桿軸線05)成直角并沿所述橫向方向(19)延 伸，并且所述第二成型部與所述第一成型部0 相對應(yīng)以便產(chǎn)生所述互鎖。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的活板輸送閥，其中所述第一成型部0 和所述第二成型部 (23)呈在所述軸桿(11)的所述端部處和所述驅(qū)動軸桿04)的所述端部處的槽和舌狀部的 形式。
6.根據(jù)權(quán)利要求3至5中任一項所述的活板輸送閥，其中所述驅(qū)動軸桿04)以氣密方 式穿出所述閥殼體(14)，并且所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)(1 設(shè)置在所述閥殼體(14)的外部。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的活板輸送閥，其中所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)(13)結(jié)合至所述閥蓋(20)， 使得所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)(1 能與所述閥蓋00) —起從所述閥殼體(14)分離。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項所述的活板輸送閥，其中所述閥關(guān)閉梁(4)設(shè)置在至少一個臂上，所述至少一個臂連接至所述軸桿(11)從而與 所述軸桿一起轉(zhuǎn)動；所述樞轉(zhuǎn)軸線(10)和所述軸桿軸線(12)是共線的；并且所述閥關(guān)閉梁的所述樞轉(zhuǎn)支承件由能旋轉(zhuǎn)的所述軸桿(11)和所述至少一個臂形成。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項所述的活板輸送閥，其中所述樞轉(zhuǎn)支承件由至少三個特別是至少五個支承元件(XT)形成，所述支承元件(XT) 在所述閥殼體(14)中沿著所述軸桿軸線(1 和所述樞轉(zhuǎn)軸線(10)彼此相距一定距離地 分布；所述閥關(guān)閉梁(4)在所述支承元件07)上安裝成能繞公共的所述樞轉(zhuǎn)軸線(10)樞 轉(zhuǎn)，其中所述樞轉(zhuǎn)軸線(10)位于所述第一開口(1)側(cè)，特別是靠近所述第一密封表面(3) 的平面(觀)，特別是大致位于所述第一密封表面(3)的所述平面08)上； 所述軸桿(11)安裝在所述支承元件(XT)中的至少一些支承元件上； 所述軸桿軸線(1 在與所述第一密封表面(3)的所述平面08)成直角的方向上與所 述樞轉(zhuǎn)軸線(10)相距一定距離；所述支承元件(XT)均具有至少一個相關(guān)聯(lián)的第一臂( )，所述第一臂09)在所述軸 桿(11)上設(shè)置成和所述軸桿(11) 一起旋轉(zhuǎn)；并且各個所述第一臂09)在其自由端處直接地或間接地與所述閥關(guān)閉梁的背面(7)接合，從而通過所述軸桿(11)的旋轉(zhuǎn)并因此通過所述第一臂09)繞所述軸桿軸線(12)的 樞轉(zhuǎn)，能向所述閥關(guān)閉梁(4)的所述背面(7)施加力，以便使所述閥關(guān)閉梁(4)繞所述樞轉(zhuǎn) 軸線(10)在所述開啟位置(0)與所述關(guān)閉位置(C)之間樞轉(zhuǎn)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的活板輸送閥，其中所述第一臂09)均與第二臂(30)相關(guān)聯(lián)，該第二臂(30)在所述閥關(guān)閉梁(4)的所述 背面(7)上安裝成能繞與所述樞轉(zhuǎn)軸線(10)平行的第二臂軸線(32)樞轉(zhuǎn)；所述第一臂09)和所述第二臂(30)均在它們的自由端處相互連接，使得所述第一臂 (29)和所述第二臂(30)繞大致平行于所述第二臂軸線(32)的第一臂軸線(31)鉸接；并 且所述軸桿(11)、所述第一臂09)和所述第二臂(30)形成桿驅(qū)動機(jī)構(gòu)。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的活板輸送閥，其中所述第一臂09)的長度和所述第二臂(30)的長度以及公共的所述軸桿軸線(12)、公 共的所述第一臂軸線(31)和公共的所述第二臂軸線(32)之間的距離，使得在所述關(guān)閉位 置(C)中所述軸桿軸線(12)、所述第一臂軸線(31)和所述第二臂軸線(32)大致位于公共 平面(33)上，并且所述第一臂09)和所述第二臂(30)在死點處大致對齊。
12.根據(jù)權(quán)利要求9至11中任一項所述的活板輸送閥，其中所述第一臂09)均在所述軸桿(11)上設(shè)置在所述支承元件(XT)的區(qū)域中。
13.根據(jù)權(quán)利要求9至12中任一項所述的活板輸送閥，其中所述閥關(guān)閉梁G)、所述樞轉(zhuǎn)支承件和所述軸桿(11)設(shè)置在閥殼體(14)中；所述第一開口(1)設(shè)置在所述閥殼體(14)的第一開口表面(15)上，并且與所述第一 開口(1)相對的第二開口(17)設(shè)置在所述閥殼體(14)的與所述第一開口表面(15)相對 的第二開口表面(16)上；所述支承元件(XT)安裝在所述閥殼體(14)的細(xì)長的側(cè)壁(18)上，特別是安裝在可移 除的閥蓋OO)上，所述側(cè)壁(18)大致成直角地在所述開口表面(15，16)之間延伸。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的活板輸送閥，其中所述支承元件(XT)均在所述第一開口表面(15)與所述第二開口表面(16)之間延伸；所述支承元件(XT)在面向所述第一開口表面(1 的半部分(34)上固定至所述閥殼 體(14)，特別是固定在所述側(cè)壁(18)的面向所述第一開口表面(1 的半部分上和/或固 定在所述閥殼體(14)的所述第一開口表面(1 上，并且所述支承元件(XT)在面向所述第 二開口表面(16)的半部分(3 上，特別是在所述側(cè)壁(18)的面向所述第二開口表面(16) 的半部分上至少部分地沒有固定并且能與所述側(cè)壁(18)成直角地在離開所述側(cè)壁(18)的 方向上運動；其中，所述樞轉(zhuǎn)軸線(10)穿過所述支承元件(XT)的面向所述第一開口表面(1 的所 述半部分(34)，并且所述軸桿軸線(1 穿過所述支承元件(Xi)的面向所述第二開口表面 (16)的所述半部分(35)。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的活板輸送閥，其中所述支承元件(XT)的面向所述第一開口表面(1 的所述半部分(34)靠在所述側(cè)壁 (18)上并且在垂直方向上固定至所述側(cè)壁(18)；并且所述支承元件以力的面向所述第二開口表面(16)的所述半部分(3 靠在所述側(cè)壁(18)上并且在遠(yuǎn)離所述側(cè)壁(18)的垂直方向上沒有固定。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種帶有閥蓋的活板輸送閥。細(xì)長的第一開口可借由細(xì)長的閥關(guān)閉梁來關(guān)閉，閥關(guān)閉梁可經(jīng)由樞轉(zhuǎn)支承件繞樞轉(zhuǎn)軸線在關(guān)閉位置和開啟位置之間樞轉(zhuǎn)。軸桿可借由驅(qū)動機(jī)構(gòu)繞軸桿軸線旋轉(zhuǎn)并操作連接至閥關(guān)閉梁，使得軸桿的旋轉(zhuǎn)引起閥關(guān)閉梁樞轉(zhuǎn)。閥關(guān)閉梁、樞轉(zhuǎn)支承件和軸桿在氣密的閥殼體中設(shè)置在閥蓋上，其中軸桿、樞轉(zhuǎn)支承件和閥關(guān)閉梁可通過分離和移除閥蓋而從閥殼體分離。本發(fā)明的一個方面公開了樞轉(zhuǎn)支承件至少由三個支承元件形成，這些支承元件在閥殼體內(nèi)沿著軸桿軸線彼此相距一定距離地分布，閥關(guān)閉梁和軸桿安裝在閥殼體上。軸桿軸線與樞轉(zhuǎn)軸線相距一定距離。第一臂設(shè)置在軸桿上，借由第一臂可向閥關(guān)閉梁的背面施加力，以便樞轉(zhuǎn)閥關(guān)閉梁。
文檔編號H01L21/683GK102147017SQ20101060940
公開日2011年8月10日 申請日期2010年10月22日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月22日
發(fā)明者弗里德里克·蓋澤 申請人:Vat控股公司