專利名稱：晶圓代工機臺超純水回收方法及系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種超純水回收方法及系統(tǒng)，尤其是一種應(yīng)用于半導(dǎo)體制程 flfetbench/CMP機臺的超純水回收方法及系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
一般而言，CMP(Chemical Mechanical Planarization，化學(xué)機械平坦化)所使用的研磨液都是水溶液、二氧化硅或氧化鐵(或其它物質(zhì))形成的懸浮液，在氧化物的拋光機制中，水扮演了很重要的角色，濕式工藝中常采用的APM溶液一般是氫氧化銨、過氧化氫和水的混合物，用于制程過程中的清洗。目前在生產(chǎn)過程中，濕法機臺使用過后的水均排入 FAB廠廢水處理系統(tǒng)，但在實際的生產(chǎn)過程中，濕法機臺各個處理槽所排水的氨氮或氟含量并不是相同的，存在著相當(dāng)大的差異，如Wet bench機臺APM槽超聲波清洗(Mega sonic) 排水中的氨氮含量很低，經(jīng)取樣后證實幾乎為零，但該排水在機臺內(nèi)部固化為排放至氨氮處理系統(tǒng)；QDR槽(Quick Dump Rinse Tank快速清洗排水槽)排水中氨氮含量在晶片剛進入時最高，在出槽時最低，目前只是粗略依據(jù)清洗時間決定排入氨氮處理系統(tǒng)還是超純水回水系統(tǒng)，以上種種，一方面造成氨氮處理系統(tǒng)負(fù)荷和運行成本增加，另一方面使制程水回收率降低，并造成可回收純水的浪費。

發(fā)明內(nèi)容
針對以上缺陷，本發(fā)明的目的是提供一種晶圓代工機臺超純水回收方法及系統(tǒng)， 可有效解決以上存在的問題。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)一種晶圓代工機臺超純水回收方法，對晶圓代工機臺外輸廢水采用傳感器檢測其水質(zhì)，經(jīng)控制系統(tǒng)判斷后控制閥門使相應(yīng)管路導(dǎo)通，使符合超純水回收標(biāo)準(zhǔn)的進入超純水回收系統(tǒng)；否則進行入廢水處理系統(tǒng)。根據(jù)對回收超純水所需參數(shù)的要求不同，傳感器可采用電導(dǎo)率計或PH計。所述控制系統(tǒng)在現(xiàn)場采用PLC作為控制器，數(shù)據(jù)可上傳至中控室SCADA系統(tǒng)。同時提供一種采用上述方法的晶圓代工機臺超純水回收系統(tǒng)，包括檢測水質(zhì)的傳感器、控制系統(tǒng)、控制閥門和分別與超純水回收系統(tǒng)和廢水處理系統(tǒng)相連的并聯(lián)管路，控制系統(tǒng)根據(jù)傳感器測得的數(shù)據(jù)控制閥門，使晶圓代工機臺外輸廢水進入相應(yīng)的管路；所述傳感器采用電導(dǎo)率計或PH計；所述控制系統(tǒng)在現(xiàn)場采用PLC作為控制器；所述控制閥門為氣動閥或電動閥；所述廢水為氨氮廢水、含氟廢水或一般酸廢水；所述晶圓代工機臺為Wet bench、CMP 或 Diff 的 tuber washer、parts clean 機臺。本發(fā)明所述的晶圓代工機臺超純水回收方法及系統(tǒng)，由控制系統(tǒng)根據(jù)傳感器測得的數(shù)據(jù)控制閥門，使晶圓代工機臺外輸廢水進入相應(yīng)的管路，從而實現(xiàn)了符合回收標(biāo)準(zhǔn)的超純水得以進入超純水回收系統(tǒng)，處理后重新使用，能夠使?jié)駲C臺廢水合理分流，降低了廢水處理系統(tǒng)處理負(fù)荷和運行成本，同步提高制程純水回收率，節(jié)約了用水。


下面根據(jù)實施例與附圖對本發(fā)明作進一步詳細(xì)說明。圖1是本發(fā)明所述晶圓代工機臺超純水回收系統(tǒng)的一個具體實施例。圖中1、QDR槽；2、APM槽；3、濕法機臺；4、電導(dǎo)率計；5、管路；6、PLC控制器；7、SCADA系
統(tǒng)；8、氣動閥。
具體實施例方式如圖1所示，給出了本發(fā)明所述濕法機臺超純水回收系統(tǒng)的一個具體實施例。其所采用的方法為對濕法機臺外輸廢水采用傳感器檢測其水質(zhì)，經(jīng)控制系統(tǒng)判斷后控制閥門使相應(yīng)管路導(dǎo)通，使符合超純水回收標(biāo)準(zhǔn)的進入超純水回收系統(tǒng)；否則進入氨氮處理系統(tǒng)。具體如下濕機臺3內(nèi)的QDR槽1和APM槽2的廢水均引入管路5，管路5上安裝有在線檢測水質(zhì)情況的電導(dǎo)率計4，對管路中的廢水水質(zhì)的電導(dǎo)率數(shù)值實時進行檢測，并輸入現(xiàn)場安裝的PLC控制器6，并且可進一步上傳至中控室SCADA系統(tǒng)7進行監(jiān)控；分別與超純水回收系統(tǒng)和氨氮處理系統(tǒng)相連的并聯(lián)管路均同管路5連接，并各自串接有氣動閥8，氣動閥8在 PLC控制器6的作用下進行啟閉，當(dāng)電電導(dǎo)率計4測得廢水電導(dǎo)率值達(dá)到可回收超純水指標(biāo)時，與超純水回收系統(tǒng)相連的氣動閥8開啟，廢水流入超純水回收系統(tǒng)進行再處理；否則氨氮處理系統(tǒng)相連的氣動閥8開啟，廢水流入氨氮處理系統(tǒng)進行處理。上述實施例中所采用的電導(dǎo)率計，根據(jù)對回收超純水所需參數(shù)的要求不同，傳感器可選用電導(dǎo)率計或PH計，并以相應(yīng)測得的數(shù)值作為氣動閥8控制廢水排放去向的依據(jù)， 將廢水合理分流，從而可降低氨氮廢水處理系統(tǒng)的處理負(fù)荷和運行成本，提高制程水回收率、節(jié)約用水。以上顯示和描述了本發(fā)明的主要特征以及所具有的優(yōu)點，本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本發(fā)明不受上述實施例的限制，所述方法可應(yīng)用于^fet bench、CMP或Diff的tuber washer.parts clean機臺，在不脫離本發(fā)明主旨和范圍的前提下本發(fā)明還會有一些變化與改進，如改變控制器的類型，采用電動閥代替氣動閥等，這些變化和改進都落入本發(fā)明要求保護的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種晶圓代工機臺超純水回收方法，其特征在于對晶圓代工機臺外輸廢水采用傳感器檢測其水質(zhì)，經(jīng)控制系統(tǒng)判斷后控制閥門使相應(yīng)管路導(dǎo)通，使符合超純水回收標(biāo)準(zhǔn)的進入超純水回收系統(tǒng)；否則進入廢水處理系統(tǒng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓代工機臺超純水回收方法，其特征在于所述傳感器采用電導(dǎo)率計或PH計。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓代工機臺超純水回收方法，其特征在于所述控制系統(tǒng)在現(xiàn)場采用PLC作為控制器，數(shù)據(jù)可上傳至中控室SCADA系統(tǒng)。
4.一種采用權(quán)利要求1所述方法的晶圓代工機臺超純水回收系統(tǒng)，其特征在于包括檢測水質(zhì)的傳感器、控制系統(tǒng)、控制閥門和分別與超純水回收系統(tǒng)和廢水處理系統(tǒng)相連的并聯(lián)管路，控制系統(tǒng)根據(jù)傳感器測得的數(shù)據(jù)控制閥門，使晶圓代工機臺外輸廢水進入相應(yīng)的管路；所述傳感器采用電導(dǎo)率計或PH計；所述控制系統(tǒng)在現(xiàn)場采用PLC作為控制器；所述控制閥門為氣動閥或電動閥；所述廢水為氨氮廢水、含氟廢水或一般酸廢水。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓代工機臺超純水回收系統(tǒng)，其特征在于所述晶圓代工機臺為 Wet bench、CMP 或 Diff 的 tuber washer、parts clean 機臺。
全文摘要
本發(fā)明公開一種晶圓代工機臺超純水回收方法及系統(tǒng)，對晶圓代工機臺外輸廢水采用傳感器檢測其水質(zhì)，經(jīng)控制系統(tǒng)判斷后控制閥門使相應(yīng)管路導(dǎo)通，使符合超純水回收標(biāo)準(zhǔn)的進入超純水回收系統(tǒng)；否則進入廢水處理系統(tǒng)。由控制系統(tǒng)根據(jù)傳感器測得的數(shù)據(jù)控制閥門，使晶圓代工機臺外輸廢水進入相應(yīng)的管路，從而實現(xiàn)了符合回收標(biāo)準(zhǔn)的超純水得以進入超純水回收系統(tǒng)，處理后重新使用，能夠使晶圓代工機臺廢水合理分流，降低了廢水處理系統(tǒng)處理負(fù)荷和運行成本，同步提高制程純水回收率，節(jié)約了用水。
文檔編號H01L21/02GK102184841SQ20101059341
公開日2011年9月14日 申請日期2010年12月17日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月17日
發(fā)明者吳海岑 申請人:無錫華潤上華半導(dǎo)體有限公司, 無錫華潤上華科技有限公司