專利名稱：一種太陽能電池片的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于太陽能電池片制作技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種太陽能電池片的制作方法。
背景技術(shù)：
在晶體硅太陽能電池生產(chǎn)領(lǐng)域，硅片經(jīng)過制絨、清洗、擴(kuò)散、邊緣絕緣、去磷硅玻璃 等步驟之后，進(jìn)入PECVD裝置，鍍減反射膜，等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)是目前主 流的鍍減反射膜的方法。PECVD設(shè)備主要有兩種，即板式PECVD與管式PECVD。管式PECVD 使用石墨舟作為硅片載體，在石墨周片間通入高頻的射頻電源，硅片作為電極的一部分，石 墨舟片之間的間距均勻一致，故其中的電場強(qiáng)度均勻一致，通過此方法得到的減反射膜的 厚度相同，顏色主要以藍(lán)黑色為主。隨著光伏行業(yè)的不斷進(jìn)步及光伏與建筑一體化的發(fā)展， 市場對光伏產(chǎn)品提出了更高的要求，不但要保證效率的不斷提升，對電池片的外觀，尤其 是顏色提出了更苛刻的要求。目前現(xiàn)有制作彩色電池片的工藝，可以實現(xiàn)整片顯示某種顏 色，如紅、黃、綠等，但無法實現(xiàn)片內(nèi)的彩色化。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的就是針對上述存在的缺陷而提供一種太陽能電池片的制作方法，本 制作方法為在鍍減反射膜時，等離子體電離并沉積的過程中，通過石墨舟板間電場強(qiáng)度產(chǎn) 生改變，從而電池片表面的減反射膜的厚度發(fā)生變化，而呈現(xiàn)出不同的顏色，形成單片不同 顏色的彩色太陽能電池片，本發(fā)明的可控性及可重復(fù)性好，靈活性高，可以實現(xiàn)小面積內(nèi)彩 色化。本發(fā)明的一種太陽能電池片的制作方法技術(shù)方案為，包括制絨、清洗、擴(kuò)散、邊緣 絕緣、去磷硅玻璃、鍍減反射膜、絲網(wǎng)印刷、燒結(jié)等步驟，在鍍減反射膜的過程中，采用管式 PECVD鍍膜的方法，以石墨舟作為硅片載體，其特征在于，所述石墨舟放置硅片的板面為平 面，內(nèi)部相對的石墨舟板面設(shè)有凸起。所述的石墨舟板面上的凸起高度為Imm-lOmm，單片硅片范圍內(nèi)的石墨舟板面上的 凸起有高度差。所述的石墨舟板面上的凸起組成有規(guī)則的圖形、圖案或者是組成無規(guī)則的 圖形或圖案。本發(fā)明的有益效果為本發(fā)明的一種太陽能電池片的制作方法，是在鍍減反射膜 過程中，通過裝載硅片的石墨舟上的凸起，使石墨舟板間電場強(qiáng)度產(chǎn)生改變，在PECVD裝置 中，電場強(qiáng)度高的地方電離較為充分，沉積到電池片表面的膜層就較厚，單片電池片表面的 減反射膜的厚度發(fā)生變化，呈現(xiàn)出不同的顏色，再經(jīng)過絲網(wǎng)印刷、燒結(jié)等步驟，得到單片不 同顏色的彩色太陽能電池片。本發(fā)明的可控性及可重復(fù)性好，靈活性高，可以實現(xiàn)小面積內(nèi) 彩色化，滿足了光伏與建筑一體化發(fā)展過程中對光伏產(chǎn)品的外觀要求。


圖1所示為本發(fā)明實施例1的石墨舟基本結(jié)構(gòu)示意圖；圖2所示為本發(fā)明實施例2的石墨舟基本結(jié)構(gòu)示意圖 圖3所示為本發(fā)明實施例3的石墨舟基本結(jié)構(gòu)示意圖。圖中，1.石墨舟，2.硅片。
具體實施例方式
為了更好地理解本發(fā)明，下面用結(jié)合附圖來詳細(xì)說明本發(fā)明的技術(shù)方案，但是本發(fā)明 并不局限于此。實施例1
硅片2經(jīng)過制絨、清洗、擴(kuò)散、邊緣絕緣、去磷硅玻璃等步驟之后，準(zhǔn)備放入石墨舟1，進(jìn) 入PECVD裝置，鍍減反射膜。如附圖1所示，石墨舟1放置硅片2的板面為平面，內(nèi)部相對的板面設(shè)有凸起。板 面上的凸起為間隔的階梯狀，階梯間隔距離為lcm-3cm，階梯高度為Imm-IOmm不等。鍍減反射膜完成之后，將硅片2取出進(jìn)行絲網(wǎng)印刷、燒結(jié)及檢測分選。形成單片片 內(nèi)顏色不同的彩色太陽能電池片。實施例2
硅片2經(jīng)過制絨、清洗、擴(kuò)散、邊緣絕緣、去磷硅玻璃等步驟之后，準(zhǔn)備放入石墨舟1，進(jìn) 入PECVD裝置，鍍減反射膜。如附圖2所示，石墨舟1放置硅片2的板面為平面，內(nèi)部相對的板面設(shè)有凸起。板 面上的凸起為鋸齒狀，鋸齒底部寬度為lcm-15cm，鋸齒頂端高度為5mm。鍍減反射膜完成之后，將硅片2取出進(jìn)行絲網(wǎng)印刷、燒結(jié)及檢測分選。形成單片片 內(nèi)顏色不同的彩色太陽能電池片。實施例3
硅片2經(jīng)過制絨、清洗、擴(kuò)散、邊緣絕緣、去磷硅玻璃等步驟之后，準(zhǔn)備放入石墨舟1，進(jìn) 入PECVD裝置，鍍減反射膜。如附圖3所示，石墨舟1放置硅片2的板面為平面，內(nèi)部相對的板面設(shè)有凸起。板 面上的凸起為連續(xù)的階梯狀，每層寬度為lcm-5cm，階梯高度為Imm-IOmm不等。鍍減反射膜完成之后，將硅片2取出進(jìn)行絲網(wǎng)印刷、燒結(jié)及檢測分選。形成單片片 內(nèi)顏色不同的彩色太陽能電池片。
權(quán)利要求
一種太陽能電池片的制作方法，包括制絨、清洗、擴(kuò)散、邊緣絕緣、去磷硅玻璃、鍍減反射膜、絲網(wǎng)印刷、燒結(jié)等步驟，在鍍減反射膜的過程中，采用管式PECVD鍍膜的方法，以石墨舟作為硅片載體，其特征在于，所述石墨舟放置硅片的板面為平面，內(nèi)部相對的石墨舟板面設(shè)有凸起。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽能電池片的制作方法，其特征在于，所述的石墨舟 板面上的凸起高度為Imm-lOmm。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種太陽能電池片的制作方法，其特征在于，單片硅片范圍 內(nèi)的石墨舟板面上的凸起有高度差。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種太陽能電池片的制作方法，其特征在于，所述的石墨舟 板面上的凸起組成有規(guī)則的圖形或者圖案。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種太陽能電池片的制作方法，其特征在于，所述的石墨舟 板面上的凸起組成無規(guī)則的圖形或者圖案。
全文摘要
本發(fā)明屬于太陽能電池片制作技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種太陽能電池片的制作方法，包括制絨、清洗、擴(kuò)散、邊緣絕緣、去磷硅玻璃、鍍減反射膜、絲網(wǎng)印刷、燒結(jié)等步驟，在鍍減反射膜的過程中，采用管式PECVD鍍膜的方法，以石墨舟作為硅片載體，本制作方法為在鍍減反射膜時，等離子體電離并沉積的過程中，通過石墨舟板間電場強(qiáng)度產(chǎn)生改變，從而電池片表面的減反射膜的厚度發(fā)生變化，而呈現(xiàn)出不同的顏色，形成單片不同顏色的彩色太陽能電池片，本發(fā)明的可控性及可重復(fù)性好，靈活性高，可以實現(xiàn)小面積內(nèi)彩色化。
文檔編號H01L31/18GK101982889SQ20101050214
公開日2011年3月2日 申請日期2010年10月11日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月11日
發(fā)明者劉斌賢, 吳志強(qiáng), 張世杰, 李秉霖, 李虎, 武明 申請人:山東力諾太陽能電力股份有限公司