專利名稱：開啟機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種開啟機(jī)構(gòu)，尤其涉及一種適用于真空設(shè)備中腔體門或腔體蓋
的開啟機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
0LED(0rganic Light-Emitting Diode)，由于其自發(fā)光的特性，不像TFT-LCD需 要背光，因此可視度大、亮度高，且電壓需求低，加上反應(yīng)快、重量輕、厚度薄、構(gòu)造簡(jiǎn)單等優(yōu) 點(diǎn)，被視為21世紀(jì)最具前途的產(chǎn)品之一 ；由于0LED的眾多優(yōu)點(diǎn)，使OLED是唯一在應(yīng)用上能 和TFT-LCD相提并論的技術(shù)，0LED是目前所有顯示技術(shù)中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高 分辨率軟屏的顯示技術(shù)，可以做成和紙張一樣的厚度。0LED的基本工藝包括基板制作、光 刻、基片處理、成膜、封裝、老化測(cè)試及IC連接等，在OLED的生產(chǎn)工藝中，為了保證較高的清 潔度，常常需要在真腔體設(shè)備中完成各種工藝，因此真空腔體設(shè)備貫穿整個(gè)生產(chǎn)制程，也是 最普遍、最重要的設(shè)備之一。 在實(shí)際生產(chǎn)中，腔體內(nèi)部的零部件常常需要更換、改造、調(diào)試，腔體內(nèi)部也常常需 要清理，因此需要將腔蓋打開進(jìn)行維護(hù)，在維護(hù)的過程中既要確保調(diào)試人員的安全和腔蓋 的穩(wěn)定，又要保證調(diào)試的方便性，在調(diào)試完成后為了保證真空腔體的密封性，又需要對(duì)下降 過程中的腔蓋進(jìn)行控制和定位。但隨OLED技術(shù)的發(fā)展，制造OLED的基片也趨向大面積發(fā) 展，所以相應(yīng)的真空腔體設(shè)備也趨于大型化發(fā)展，腔蓋的尺寸和重量亦隨著增大。由于現(xiàn)在 很多真空腔體設(shè)備中的腔蓋是由很厚的鋼板做成，靠人力一般都難以完成，況且此種操作 也存在著較大的人身安全隱患，所以需要借助機(jī)械裝置進(jìn)行操作，因此一種對(duì)腔蓋進(jìn)行開 啟和閉合的啟閉機(jī)構(gòu)就應(yīng)運(yùn)而生，而開啟機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)是否合理直接影響真空效果，生產(chǎn)效率、 維護(hù)的便利性、安全性等問題。 現(xiàn)有技術(shù)一種汽缸式開啟機(jī)構(gòu)，蓋板在氣缸的作用下實(shí)現(xiàn)啟閉，此種機(jī)構(gòu)一般只
能將蓋板開啟到一定的角度，在一定程度上影響操作者對(duì)腔體內(nèi)的操作，且當(dāng)需要將蓋板
升的較高時(shí)，又會(huì)使汽缸臂導(dǎo)軌非常長(zhǎng)，占用較大的空間并影響外觀；另一種開啟機(jī)構(gòu)是借
助導(dǎo)軌將蓋板直接升降，即在鉛垂方向進(jìn)行提升下降，達(dá)到啟閉的目的，在此技術(shù)中會(huì)涉及
到以下問題一是當(dāng)蓋板升高到一定位置時(shí)，由于蓋板自身的重量，蓋板將不可避免的產(chǎn)生
塑性變形，在腔蓋閉合時(shí)將導(dǎo)致密封不嚴(yán)，從而難以達(dá)到較高的真空度；二是當(dāng)需要將腔體
內(nèi)的零部件取出時(shí)就會(huì)產(chǎn)生操作不變問題，因?yàn)榧词箤⑸w板升到最高位置，也會(huì)造成零部
件取出困難，尤其是需取出的零部件很重，而人力無法完成時(shí)，需借用提升機(jī)構(gòu)，此設(shè)計(jì)會(huì)
影響到提升機(jī)構(gòu)的操作，進(jìn)一步加大了維修的難度，同時(shí)影響生產(chǎn)效率；再一種開啟機(jī)構(gòu)
是將蓋板鉛垂方向升高到一定位置，再將蓋板水平移動(dòng)，這種設(shè)計(jì)存在著蓋板的垂直和水
平運(yùn)動(dòng)，無形中增大了開啟機(jī)構(gòu)的復(fù)雜程度，同時(shí)，此種設(shè)計(jì)也會(huì)使蓋板產(chǎn)生較大的塑性變
形，蓋板的水平移動(dòng)還會(huì)對(duì)腔體設(shè)備周圍其它設(shè)備造成干擾，特別是蓋板的尺寸很大時(shí)。 因此，急需一種方便、省力、安全、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，不易使腔蓋變形，保證腔蓋密封性好、
真空度高，且操作精度高的開啟機(jī)構(gòu)。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種方便、省力、安全、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，不易使腔蓋變形，保 證腔蓋密封性好、真空度高，且操作精度高的開啟機(jī)構(gòu)。 為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案為提供一種開啟機(jī)構(gòu)，包括控制單元、 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)及具有腔蓋的設(shè)備腔，所述兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)固定連接于所述腔 蓋上且相互平行，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)固定連接于所述腔體的一側(cè)壁且位于所述兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)之 間，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的一端與所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)連接，另一端與所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，所述控制單元 控制所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)同步的帶動(dòng)兩所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)，實(shí) 現(xiàn)所述腔蓋的開啟，其中，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括傳動(dòng)軸、減速器、蝸桿、蝸輪、連接軸及呈中空 結(jié)構(gòu)的支撐體，所述支撐體與所述腔體的一側(cè)壁固定連接且位于所述兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)之間，所 述連接軸貫穿所述支撐體且平行于所述腔蓋，所述連接軸的兩端分別與所述兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)連 接，所述蝸輪固定于所述連接軸上且位于所述支撐體內(nèi)，所述蝸桿設(shè)置于所述支撐體內(nèi)且 與所述蝸輪垂直嚙合，所述蝸桿一端與所述減速器的輸出軸連接，所述減速器的輸入軸與 所述傳動(dòng)軸的一端連接，所述傳動(dòng)軸的另一端與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接。 較佳地，所述支撐體還包括一底板，所述底板位于所述支撐體的底部且與所述連 接軸平行，所述蝸輪及蝸桿位于所述支撐體內(nèi)，所述減速器固定于所述底板的下方且與所 述蝸桿連接；更具體地，所述支撐體還包括一支撐板，所述支撐板位于所述底板上方且平行 于所述底板，所述減速器固定于所述底板的下方且所述減速器的輸出軸貫穿所述底板，所 述蝸輪及蝸桿位于所述支撐板的上方，所述蝸桿通過軸承豎直安裝于所述支撐板上且貫穿 所述支撐板，所述蝸桿與所述減速器在所述底板與所述支撐板之間通過聯(lián)軸器連接。減速 器將傳動(dòng)軸的扭矩旋轉(zhuǎn)輸出，在通過蝸桿、蝸輪帶動(dòng)連接軸運(yùn)動(dòng)，連接軸的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)腔蓋繞 連接軸運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)腔蓋的開啟和關(guān)閉，利用減速器配合蝸桿、蝸輪傳輸動(dòng)力，更省力，同時(shí)安 全、穩(wěn)定的實(shí)現(xiàn)較大速比的傳動(dòng)。 較佳地，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括至少兩托架，所述托架安裝于所述支撐體的兩側(cè)其 垂直于所述腔體的側(cè)壁，所述連接軸貫穿所述托架，所述托架用于支撐所述連接軸，使所述 連接軸更穩(wěn)固。 較佳地，所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)包括支柱及把手，所述把手設(shè)置于所述腔蓋上，所述把手通 過銷軸與所述支柱的一端固定連接，所述支柱的另一端與所述連接軸連接，所述支柱位于 所述腔蓋上方且不與所述腔蓋接觸，避免了腔蓋在開啟的過程中碰到腔體；把手設(shè)置于腔 蓋上，用于開啟的過程中人工輔助完成腔蓋的啟閉。 較佳地，所述開啟機(jī)構(gòu)還包括傳感器及限位開關(guān)，所述傳感器用于對(duì)所述腔蓋的 位置進(jìn)行檢測(cè)，所述限位開關(guān)用于對(duì)所述腔蓋的最高位置及最低位置進(jìn)行檢測(cè)，所述傳感 器及限位開關(guān)將采集到的腔蓋位置信號(hào)發(fā)送到控制單元，控制單元將信號(hào)處理后發(fā)送到驅(qū) 動(dòng)機(jī)構(gòu)，控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過傳動(dòng)機(jī)構(gòu)控制腔蓋旋轉(zhuǎn)的角速度和角度，實(shí)現(xiàn) 腔蓋的準(zhǔn)確運(yùn)動(dòng)，使腔蓋準(zhǔn)確的停留在預(yù)設(shè)位置，保證了腔蓋在開啟和關(guān)閉過程中的高精 度、高安全性，同時(shí)可檢測(cè)腔蓋開啟的最大位置及關(guān)閉的最低位置，保證腔蓋關(guān)閉后的氣密 性，保證整體腔體啟閉機(jī)構(gòu)的高真空度。 較佳地，所述開啟機(jī)構(gòu)還包括氣彈簧，所述氣彈簧一端設(shè)置于所述腔蓋上，另一端設(shè)置于所述腔體上，腔蓋開啟和關(guān)閉的過程中停留在某一位置時(shí)，氣彈簧輔助支撐腔蓋，進(jìn) 一步保證腔蓋運(yùn)動(dòng)過程中的穩(wěn)定性和安全性。 較佳地，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為手輪或伺服電機(jī)。選用手輪驅(qū)動(dòng)，可進(jìn)一步簡(jiǎn)化整個(gè)開啟 機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)和控制方法，使得操作簡(jiǎn)單；選擇電機(jī)驅(qū)動(dòng)時(shí)，可實(shí)現(xiàn)腔蓋啟閉整體的自動(dòng)化要 求，達(dá)到閉環(huán)控制的目的；根據(jù)開啟機(jī)構(gòu)自動(dòng)化要求的高低，自由的選擇手輪或是電機(jī)作為 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，使該設(shè)備適應(yīng)程度更高。 較佳地，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括電磁制動(dòng)器。當(dāng)腔蓋較重時(shí)，要維持開啟機(jī)構(gòu)的靜止
就需要提供較大的輸出轉(zhuǎn)矩，且靜止的時(shí)間有時(shí)會(huì)較長(zhǎng)，應(yīng)用伺服電機(jī)的自鎖功能會(huì)造成
電機(jī)過熱或放大器過載，選擇電磁制動(dòng)器提高開啟機(jī)構(gòu)的精確性和安全性。 與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于本實(shí)用新型開啟機(jī)構(gòu)的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)具有傳動(dòng)軸、減速器、蝸
桿、蝸輪、連接軸及呈中空結(jié)構(gòu)的支撐體，所述支撐體與所述腔體的一側(cè)壁固定連接且位于
所述兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)之間，所述連接軸貫穿所述支撐體且平行于所述腔蓋，所述連接軸的兩端
分別與所述兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)連接，所述蝸輪固定于所述連接軸上且位于所述支撐體內(nèi)，所述蝸
桿設(shè)置于所述支撐體內(nèi)且與所述蝸輪垂直嚙合，所述蝸桿一端與所述減速器的輸出軸連
接，所述減速器的輸入軸與所述傳動(dòng)軸的一端連接，所述傳動(dòng)軸的另一端與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接；
所述傳動(dòng)軸接收驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的傳輸扭矩，并經(jīng)過減速器的輸出軸旋轉(zhuǎn)輸出后傳輸給蝸桿，蝸
桿運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)與之相垂直嚙合的蝸輪轉(zhuǎn)動(dòng)，蝸輪帶動(dòng)連接軸轉(zhuǎn)動(dòng)，連接軸的轉(zhuǎn)動(dòng)同步帶動(dòng)兩
執(zhí)行機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)，最后帶動(dòng)腔蓋繞連接軸運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)腔蓋的開啟或關(guān)閉；由于利用減速器配合
蝸桿、蝸輪來傳輸動(dòng)力，使傳動(dòng)過稱更省力，實(shí)現(xiàn)較大速比傳動(dòng)，且安全性、穩(wěn)定性更強(qiáng)；也
使腔蓋在開啟或關(guān)閉的操作中具有較高的操作精度；由于腔蓋在較大程度開啟后不需要升
高或水平移動(dòng)，避免了腔蓋的塑性變形，使腔蓋在開啟操作后仍具有較高的密封性，保證整
個(gè)腔蓋開啟機(jī)構(gòu)的真空度；同時(shí)，該開啟機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便。
圖1是本實(shí)用新型開啟機(jī)構(gòu)第一實(shí)施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖。 圖2是本實(shí)用新型開啟機(jī)構(gòu)的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的截面結(jié)構(gòu)示意圖。 圖3是圖2中A部分的放大示意圖。 圖4是本實(shí)用新型開啟機(jī)構(gòu)的原理框圖。 圖5是本實(shí)用新型開啟機(jī)構(gòu)第二實(shí)施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖。 圖6是本實(shí)用新型開啟機(jī)構(gòu)第三實(shí)施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式現(xiàn)在參考附圖描述本實(shí)用新型的實(shí)施例，附圖中類似的元件標(biāo)號(hào)代表類似的元 件。 如圖1、圖2所示，本實(shí)用新型開啟機(jī)構(gòu)包括控制單元(圖未示)、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200 、傳 動(dòng)機(jī)構(gòu)300、兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)400及設(shè)備腔100，設(shè)備腔100包括腔蓋101和腔體102，腔蓋101 設(shè)置于腔體102之上，兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)400相互平行且固定連接于腔蓋101上，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)300固 定連接于腔體102的一側(cè)壁且位于兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)400之間，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)300的一端與執(zhí)行機(jī)構(gòu) 400連接，另一端與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200連接，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200通過傳動(dòng)機(jī)構(gòu)300帶動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)400運(yùn)動(dòng)，執(zhí)行機(jī)構(gòu)400帶動(dòng)腔蓋101運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)腔蓋101的開啟和關(guān)閉；本實(shí)用新型開啟機(jī)構(gòu) 的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)300包括傳動(dòng)軸301、減速器302、蝸桿303、蝸輪304、連接軸305及呈中空結(jié)構(gòu) 的支撐體306，支撐體306包括一底板308及一支撐板307，底板308位于支撐體306的底部 且平行于腔蓋101，支撐板307位于底板308上方且平行于底板308，減速器302固定連接 于底板308下方，減速器302的輸入軸通過傳動(dòng)軸301與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200連接，減速器302的 輸出軸貫穿所述底板308，蝸桿303兩端通過軸承豎直安裝于支撐板307與支撐體306內(nèi)壁 之間，且蝸桿303安裝于支撐板307的一端貫穿所述支撐板307，支撐板307對(duì)蝸桿303起 支撐作用，蝸桿303貫穿支撐板307 —端與減速器302的輸出端通過聯(lián)軸器310相連接，聯(lián) 軸器310位于支撐板307與底板308之間；連接軸305貫穿支撐體306且平行地設(shè)置于支 撐板307的上方，蝸輪304固定于連接軸305上且位于支撐體306內(nèi)，蝸輪304與蝸桿303 垂直嚙合，連接軸305的兩端分別與兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)400的兩支柱401連接；執(zhí)行機(jī)構(gòu)400還包 括把手402，把手402設(shè)置于腔蓋101上，把手402通過銷軸與支柱401的一端固定連接，支 柱401的另一端與連接軸305連接，支柱401位于腔蓋101上方且不與腔蓋101接觸；驅(qū)動(dòng) 機(jī)構(gòu)200運(yùn)動(dòng)，傳動(dòng)軸301將驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200的扭矩傳輸?shù)綔p速器302的輸入軸，經(jīng)過減速器 302的輸出軸旋轉(zhuǎn)輸出后傳輸?shù)轿仐U303，蝸桿303的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)蝸輪304轉(zhuǎn)動(dòng)，蝸輪304帶 動(dòng)連接軸305運(yùn)動(dòng)，連接軸305通過兩支柱401及兩把手402帶動(dòng)腔蓋101繞連接軸305 運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)腔蓋101的開啟和關(guān)閉。 如圖1、圖4所示，本實(shí)用新型開啟機(jī)構(gòu)還包括兩托架500及兩氣彈簧600，托架 500安裝于支撐體306的兩側(cè)并垂直于腔體102的側(cè)壁，連接軸305兩端貫穿兩托架500， 托架500用于支撐連接軸305 ;氣彈簧600設(shè)置于腔蓋101與腔體102之間，氣彈簧600 — 端設(shè)置于腔蓋101上，另一端設(shè)置于腔體102的與支撐體306所在側(cè)壁相互垂直的兩側(cè)壁 上，用于在腔蓋101開啟和關(guān)閉的過程中，輔助支撐腔蓋101 ;氣彈簧600可以是自由氣彈 簧、隨意停氣彈簧、自鎖型氣彈簧等，優(yōu)選的為自鎖型氣彈簧，自鎖型氣彈簧具有自鎖能力， 能較好的保持腔蓋IOI的穩(wěn)定性。本實(shí)用新型開啟機(jī)構(gòu)還包括傳感器和限位開關(guān)，傳感器 包括用于發(fā)送信號(hào)的發(fā)射器701和用于接收發(fā)射器701信號(hào)的接收器702，發(fā)射器701設(shè) 置于腔蓋101上，相應(yīng)的接收器702設(shè)置于腔體102上；發(fā)射器701也可以設(shè)置于腔體102 上，其相應(yīng)的接收器702設(shè)置于腔蓋101上；發(fā)射器701可為紅外線發(fā)射器或發(fā)光二極管， 發(fā)射器701為紅外線發(fā)射器時(shí)相應(yīng)的接收器702為紅外線接收器，發(fā)射器701為發(fā)光二極 管時(shí)相應(yīng)的接收器702為光電耦合器；發(fā)射器701和接收器702用于采集腔蓋101的運(yùn)動(dòng) 狀態(tài)信息，采集的信息發(fā)送到控制單元后，控制單元將狀態(tài)信息識(shí)別處理后發(fā)送到驅(qū)動(dòng)機(jī) 構(gòu)200，控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200的運(yùn)動(dòng)，從而控制腔蓋101的運(yùn)動(dòng)；限位開關(guān)為兩壓力開關(guān)703、 704，壓力開關(guān)704設(shè)置于腔體102上，用于檢測(cè)腔蓋IOI最低位置狀態(tài)信息；壓力開關(guān)703 設(shè)置于支撐體306上，用于檢測(cè)腔蓋101最高位置狀態(tài)信息。本實(shí)用新型開啟機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng) 機(jī)構(gòu)200為手輪或電機(jī)，電機(jī)可配備制動(dòng)器，電機(jī)優(yōu)選的為伺服電機(jī)，相應(yīng)的制動(dòng)器優(yōu)選的 為電磁制動(dòng)器，因?yàn)樵谇簧w101較重時(shí)，維持腔蓋101機(jī)構(gòu)的靜止需電機(jī)提供較大的輸出扭 矩，且靜止的時(shí)間有時(shí)會(huì)較長(zhǎng)，選擇成本較低的電磁制動(dòng)器，可避免使用伺服電機(jī)的自鎖功 能造成的電機(jī)過熱或放大器過載。 下面結(jié)構(gòu)附圖詳細(xì)說明本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)及工作原理。 如圖1、圖2、圖3、圖4所示，在本實(shí)用新型開啟機(jī)構(gòu)的第一施例中，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200為手輪，手輪200與減速器302之間通過軸承311連接，減速器302輸入軸一端設(shè)置有軸承 座312，軸承311安裝于軸承座312內(nèi)且其一端與軸承座312相抵觸，另一端通過軸承蓋313 固定，傳動(dòng)軸301套設(shè)于軸承311內(nèi)并與手輪200及減速器302連接，在本實(shí)施例中，傳動(dòng) 軸301為減速器302的輸入軸，即減速器302的輸入軸套設(shè)于軸承311內(nèi)并與手輪200連 接，通過手輪200帶動(dòng)減速器302的輸入軸轉(zhuǎn)動(dòng)，減速器302的輸出軸帶動(dòng)蝸桿303轉(zhuǎn)動(dòng)， 進(jìn)而帶動(dòng)蝸輪304及連接軸305轉(zhuǎn)動(dòng)，連接軸305通過連接于其上的支柱401和把手402 帶動(dòng)腔蓋101運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而使腔蓋101開啟或關(guān)閉，通過控制手輪200的旋轉(zhuǎn)速度從而調(diào)整腔 蓋101的開啟和關(guān)閉速度及幅度；減速器302可為行星齒輪或蝸輪蝸桿；蝸桿303為單頭 蝸桿，蝸輪304為扇形蝸輪且扇形角度大于80。，更優(yōu)選的為90。。在本實(shí)施例中，除應(yīng)用 傳感器及限位開關(guān)來精確判斷腔蓋101開啟或關(guān)閉的位置外，還設(shè)置有蜂鳴器，用于對(duì)外 界作出提示。如果需要將腔蓋101開啟或關(guān)閉到任意位置時(shí)，預(yù)先輸入腔蓋101需開啟或 關(guān)閉的角度位置，在腔蓋101開啟或關(guān)閉的過程中，腔蓋101上的發(fā)射器701發(fā)送信號(hào)到腔 體102上的接收器702，控制單元根據(jù)接收器702接受到的信號(hào)判斷腔蓋101開啟或關(guān)閉 的角度和速度，如果判斷達(dá)到預(yù)先輸入的角度時(shí)，控制單元將處理后的信號(hào)輸出到蜂鳴器， 蜂鳴器報(bào)警，停止手輪200的轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而使腔蓋101停止在預(yù)先設(shè)定的位置，腔蓋101停止 后，自鎖型氣彈簧600對(duì)腔蓋101具有輔助支撐作用，保證腔蓋101的穩(wěn)定性，由于可對(duì)腔 蓋101開啟或關(guān)閉的位置精確定位，且有氣彈簧600的支撐作用，提高整體設(shè)備的精度和操 作效率，同時(shí)加強(qiáng)其安全性；如果腔蓋101需開啟到最大位置，則當(dāng)腔蓋101升高到最高位 置時(shí)，腔蓋101會(huì)觸碰到支撐體306上的壓力開關(guān)703，當(dāng)接觸到的壓力達(dá)到預(yù)設(shè)要求時(shí)，壓 力開關(guān)703向控制單元發(fā)出信號(hào)，控制單元將此信號(hào)處理后發(fā)送到蜂鳴器，蜂鳴器報(bào)警，停 止手輪200的轉(zhuǎn)動(dòng)；在腔蓋101關(guān)閉時(shí)，腔蓋101下落接觸到腔體102上的壓力開關(guān)704， 當(dāng)接觸到的壓力達(dá)到預(yù)設(shè)要求時(shí)，壓力開關(guān)704向控制單元發(fā)出信號(hào)，控制單元將此信號(hào) 處理后發(fā)送到蜂鳴器，蜂鳴器報(bào)警，停止手輪200的轉(zhuǎn)動(dòng)，保證腔蓋101關(guān)閉后具有較好的 密封性，保證設(shè)備工作的高真空度。 如圖4、圖5所示，本實(shí)用新型開啟機(jī)構(gòu)的第二施例用于自動(dòng)化要求較高的情況 下，該實(shí)施例與第一實(shí)施例相比，只在于驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200的不同，本實(shí)施例中使用電機(jī)作為驅(qū) 動(dòng)機(jī)構(gòu)200，因此可實(shí)現(xiàn)開啟機(jī)構(gòu)整體的自動(dòng)化，達(dá)到閉環(huán)控制的目的。電機(jī)200通過聯(lián)軸 器與傳動(dòng)軸301 —端連接，傳動(dòng)軸301另一端通過聯(lián)軸器與減速器302的輸入軸連接，通過 電機(jī)200帶動(dòng)減速器302的輸入軸轉(zhuǎn)動(dòng)，減速器302的輸出軸帶動(dòng)蝸桿303、蝸輪304及連 接軸305分級(jí)運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而通過支柱401及把手402運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)腔蓋101運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)腔蓋101的 開啟和關(guān)閉。如果需要將腔蓋101開啟或關(guān)閉到任意位置時(shí)，預(yù)先輸入腔蓋101需開啟或關(guān) 閉的角度，在腔蓋101開啟或關(guān)閉的過程中，腔蓋101上的發(fā)射器701發(fā)送信號(hào)到腔體102 上的接收器702，控制單元根據(jù)接收器702接受到的信號(hào)判斷腔蓋101開啟的角度和速度， 經(jīng)判斷達(dá)到預(yù)先輸入的角度時(shí)，控制單元將處理后的信號(hào)輸出到電機(jī)200，使電機(jī)200停止 轉(zhuǎn)動(dòng)，使腔蓋101停在預(yù)設(shè)位置，同時(shí)將該信號(hào)輸出到蜂鳴器，蜂鳴器報(bào)警；腔蓋101停止 后，自鎖型氣彈簧600對(duì)腔蓋101具有輔助支撐作用；如果腔蓋101需開啟到最大位置，則 當(dāng)腔蓋101升高到最高位置時(shí)，腔蓋101會(huì)觸碰到支撐體306上的壓力開關(guān)703，當(dāng)接觸到 的壓力達(dá)到預(yù)設(shè)要求時(shí)，壓力開關(guān)703向控制單元發(fā)出信號(hào)，控制單元將此信號(hào)處理后發(fā) 送到電機(jī)200，電機(jī)200停止運(yùn)動(dòng)，同時(shí)將該信號(hào)輸出到蜂鳴器，蜂鳴器報(bào)警；在腔蓋101關(guān)閉的時(shí)，腔蓋101下落接觸到腔體102上的壓力開關(guān)704，當(dāng)接觸到的壓力達(dá)到預(yù)設(shè)要求時(shí)， 壓力開關(guān)704向控制單元發(fā)出信號(hào)，控制單元將此信號(hào)處理后發(fā)送到電機(jī)200，電機(jī)200停 止轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)將該信號(hào)輸出到蜂鳴器，蜂鳴器報(bào)警。 如圖6所示，本實(shí)用新型開啟機(jī)構(gòu)第三實(shí)施例適用于不需要經(jīng)常開啟的設(shè)備腔 100或?qū)φw設(shè)備的自動(dòng)化要求不高時(shí)，本實(shí)施例的開啟機(jī)構(gòu)與第一實(shí)施例中的開啟機(jī)構(gòu) 相比，沒有傳感器及限位開關(guān)，但都使用手輪作為驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200且其他結(jié)構(gòu)相同，在本實(shí)施 例中，可設(shè)置限位裝置對(duì)腔蓋101開啟的最高位置進(jìn)行限位，如在支撐體306上設(shè)置一限 位塊，或在支撐體306上設(shè)置銷進(jìn)行限位；該實(shí)施例中，通過手輪200帶動(dòng)減速器302、蝸桿 303、蝸輪304連接軸305分級(jí)運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而通過連接軸305上的支柱401及把手402帶動(dòng)腔 蓋101運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)腔蓋101的開啟和關(guān)閉，進(jìn)一步簡(jiǎn)化開啟機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)及控制方法。 由于本實(shí)用新型開啟機(jī)構(gòu)的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)300具有傳動(dòng)軸301、減速器302、蝸桿303、 蝸輪304、連接軸305及呈中空結(jié)構(gòu)的支撐體306，所述支撐體306與所述腔體102的一側(cè) 壁固定連接，所述連接軸305貫穿所述支撐體306且平行于所述腔蓋IOI，所述連接軸305 的兩端分別與所述兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)400連接，所述蝸輪304固定于所述連接軸305上且位于所 述支撐體306內(nèi)，所述蝸桿303設(shè)置于所述支撐體306內(nèi)且與所述蝸輪304垂直嚙合，所述 蝸桿303 —端與所述減速器302的輸出軸連接，所述減速器302的輸入軸與所述傳動(dòng)軸301 的一端連接，所述傳動(dòng)軸301的另一端與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200連接；所述傳動(dòng)軸301接收驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) 200的傳輸扭矩，并經(jīng)過減速器302的輸出軸旋轉(zhuǎn)輸出后傳輸給蝸桿303，蝸桿303運(yùn)動(dòng)帶 動(dòng)與之相垂直嚙合的蝸輪304轉(zhuǎn)動(dòng)，蝸輪304帶動(dòng)連接軸305轉(zhuǎn)動(dòng)，連接軸305的轉(zhuǎn)動(dòng)同步 帶動(dòng)兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)400運(yùn)動(dòng)，最后帶動(dòng)腔蓋101繞連接軸305運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)腔蓋101的開啟或關(guān) 閉；由于利用減速器302配合蝸桿303、蝸輪304來傳輸動(dòng)力，使傳動(dòng)過程更省力，實(shí)現(xiàn)較大 速比傳動(dòng)，且安全性、穩(wěn)定性更高；也使腔蓋101在開啟或關(guān)閉的操作中具有較高的操作精 度；由于腔蓋101在較大程度開啟后不需要升高或水平移動(dòng)，避免了腔蓋101的塑性變形， 使腔蓋101在開啟操作后仍具有較高的密封性，保證整個(gè)開啟機(jī)構(gòu)的真空度；同時(shí)，該開啟 機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便。 本實(shí)用新型開啟機(jī)構(gòu)的腔蓋101位置并不限于上部，也可以是腔體102的側(cè)部等 位置；本實(shí)用新型開啟機(jī)構(gòu)的控制單元及原理等均為本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所熟知，在此不 再做詳細(xì)的說明。 以上所揭露的僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，當(dāng)然不能以此來限定本實(shí)用新 型之權(quán)利范圍，因此依本實(shí)用新型申請(qǐng)專利范圍所作的等同變化，仍屬本實(shí)用新型所涵蓋 的范圍。
權(quán)利要求一種開啟機(jī)構(gòu)，包括控制單元、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)及具有腔蓋的設(shè)備腔，所述兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)固定連接于所述腔蓋上且相互平行，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)固定連接于所述腔體的一側(cè)壁且位于所述兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)之間，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的一端與所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)連接，另一端與所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，所述控制單元控制所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)同步的帶動(dòng)兩所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)所述腔蓋的開啟，其特征在于所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括傳動(dòng)軸、減速器、蝸桿、蝸輪、連接軸及呈中空結(jié)構(gòu)的支撐體，所述支撐體與所述腔體的一側(cè)壁固定連接且位于所述兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)之間，所述連接軸貫穿所述支撐體且平行于所述腔蓋，所述連接軸的兩端分別與所述兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)連接，所述蝸輪固定于所述連接軸上且位于所述支撐體內(nèi)，所述蝸桿設(shè)置于所述支撐體內(nèi)且與所述蝸輪垂直嚙合，所述蝸桿一端與所述減速器的輸出軸連接，所述減速器的輸入軸與所述傳動(dòng)軸的一端連接，所述傳動(dòng)軸的另一端與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接。
2. 如權(quán)利要求1所述的開啟機(jī)構(gòu)，其特征在于所述支撐體還包括一底板，所述底板位 于所述支撐體的底部且與所述連接軸平行，所述蝸輪及蝸桿位于所述支撐體內(nèi)，所述減速 器固定于所述底板的下方且與所述蝸桿連接。
3. 如權(quán)利要求2所述的開啟機(jī)構(gòu)，其特征在于所述支撐體還包括一支撐板，所述支撐 板位于所述底板上方且平行于所述底板，所述減速器固定于所述底板的下方且所述減速器 的輸出軸貫穿所述底板，所述蝸輪及蝸桿位于所述支撐板的上方，所述蝸桿通過軸承豎直 安裝于所述支撐板上且貫穿所述支撐板，所述蝸桿與所述減速器在所述底板與所述支撐板 之間通過聯(lián)軸器連接。
4. 如權(quán)利要求2所述的開啟機(jī)構(gòu)，其特征在于所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括至少兩托架，所述 托架安裝于所述支撐體的兩側(cè)其垂直于所述腔體的側(cè)壁，所述連接軸貫穿所述托架。
5. 如權(quán)利要求l所述的開啟機(jī)構(gòu)，其特征在于所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)包括支柱及把手，所述把 手設(shè)置于所述腔蓋上，所述把手通過銷軸與所述支柱的一端固定連接，所述支柱的另一端 與所述連接軸連接，所述支柱位于所述腔蓋上方且不與所述腔蓋接觸。
6. 如權(quán)利要求1所述的開啟機(jī)構(gòu)，其特征在于所述開啟機(jī)構(gòu)還包括傳感器及限位開 關(guān)，所述傳感器用于對(duì)所述腔蓋的位置進(jìn)行檢測(cè)，所述限位開關(guān)用于對(duì)所述腔蓋的最高位 置及最低位置進(jìn)行檢測(cè)。
7. 如權(quán)利要求l所述的開啟機(jī)構(gòu)，其特征在于所述開啟機(jī)構(gòu)還包括氣彈簧，所述氣彈 簧一端設(shè)置于所述腔蓋上，另一端設(shè)置于所述腔體上。
8. 如權(quán)利要求1所述的開啟機(jī)構(gòu)，其特征在于所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為手輪或伺服電機(jī)。
9. 如權(quán)利要求8所述的開啟機(jī)構(gòu)，其特征在于所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括電磁制動(dòng)器。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種開啟機(jī)構(gòu)，包括控制單元、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)及具有腔蓋的設(shè)備腔，其傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括傳動(dòng)軸、減速器、蝸桿、蝸輪、連接軸及呈中空結(jié)構(gòu)的支撐體，支撐體與腔體的一側(cè)壁固定連接，連接軸貫穿支撐體且平行于腔蓋，連接軸的兩端分別與兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)連接，蝸輪固定于連接軸上且位于支撐體內(nèi)，蝸桿設(shè)置于支撐體內(nèi)且與蝸輪垂直嚙合，減速器的輸出軸與蝸桿一端與連接，輸入軸與傳動(dòng)軸的一端連接，傳動(dòng)軸的另一端與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，在控制單元控制下，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過傳動(dòng)機(jī)構(gòu)同步的帶動(dòng)兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)腔蓋的開啟，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便、安全省力、精度高、不易使腔蓋變形，保證OLED生產(chǎn)中真空設(shè)備的高真空度。
文檔編號(hào)H01L51/56GK201508831SQ20092019401
公開日2010年6月16日 申請(qǐng)日期2009年9月3日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月3日
發(fā)明者劉惠森, 楊明生, 王偉, 王勇, 王曼媛, 范繼良, 郭遠(yuǎn)倫 申請(qǐng)人:東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司