專利名稱：一種適用于太陽能電池層壓機的加熱板的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種太陽能電池組件生產工藝中的設備，尤其涉及一種適用于太
陽能電池層壓機的加熱板。
背景技術：
伴隨著經濟的快速發(fā)展和科技的不斷進步，社會生活對于能源的消耗和需求也急 劇增加。目前人類廣泛使用的能源大部分仍為以煤、石油為代表的化石類能源?；惸?源發(fā)展至今，其開采使用技術雖已非常成熟，但隨之伴生的問題也同樣不容忽視。首先，化 石類能源為不可再生資源，其儲存總量必然是一個不斷減少的不可逆過程；其次，化石類能 源在使用中會產生大量的污染，煤炭石油燃燒過程中產生的二氧化碳、二氧化硫和氮基化 合物會造成溫室效應和嚴重的污染。因此，近些年來人們對新能源的需求和開發(fā)得來的相 當?shù)闹匾暫桶l(fā)展。 在目前具有實用價值的新能源研究中，太陽能的采集和利用屬于相對比較成熟和 具有實用價值的技術。其基本原理是太陽光照在半導體p-n結上，形成新的空穴-電子對， 在p-n結電場的作用下，空穴由n區(qū)流向p區(qū)，電子由p區(qū)流向n區(qū)，接通電路后就形成電 流，將太陽輻射能直接轉換成電能，光-電轉換的基本裝置就是太陽能電池。太陽能電池是 一種由于光生伏特效應而將太陽光能直接轉化為電能的器件，是一個半導體光電二極管， 當太陽光照到光電二極管上時，光電二極管就會把太陽的光能變成電能，產生電流。當許多 個電池串聯(lián)或并聯(lián)起來就可以成為有比較大的輸出功率的太陽能電池方陣了。太陽能電池 具有長期性、清潔性和靈活性三大優(yōu)點.太陽能電池壽命長，只要太陽存在，太陽能電池就 可以一次投資而長期使用；與火力發(fā)電、核能發(fā)電相比，太陽能電池不會引起環(huán)境污染；太 陽能電池可以大中小并舉，大到百萬千瓦的中型電站，小到只供一戶用的太陽能電池組，組 合方式靈活，這是其它電源無法比擬的。 在太陽能電池組件的生產中，目前采用的基本工藝主要由電池檢測、正面焊接、背 面串接、敷設、層壓、去毛邊、裝邊框、焊接接線盒和后續(xù)測試等幾道工序組成。這其中，層壓 工序的作用，是將敷設好的電池放入層壓機內，通過抽真空將組件內的空氣抽出，然后加熱 使EVA熔化將電池、玻璃和背板粘接在一起；最后冷卻取出組件，良好的層壓工藝不僅可以 使太陽能電池的壽命得到保證，而且還增強了電池的抗擊強度。由此可見，層壓工序對于最 終的太陽能電池的成品質量具有關鍵性的意義，沒有良好的層壓工藝，太陽能電池組件的 光利用率、光電轉換效率和使用壽命也就無從談起。 目前所采用層壓機，其加熱板一般均采用油加熱的方式，油加熱，即通過熱源加熱 熱載體油(導熱油)的方式，來實現(xiàn)對受熱體的升溫。采用油加熱具有加熱均勻，可以做到 大面積的溫度均勻性，調溫控制溫準確，在邊緣100毫米內能確保將溫差控制在正負2攝氏 度內，能在常壓下產生較高溫度，傳熱效果好和操作方便等優(yōu)點，但是，通過導熱油進行加 熱存在著一個較為明顯的缺陷，即在事故原因引起系統(tǒng)泄漏的情況下，導熱油與明火相遇 時有可能發(fā)生燃燒或爆燃，造成較大的安全隱患；而采用電加熱的方式對受熱體進行加熱，雖然安全性能好，但是相較于油加熱的方法而言，傳統(tǒng)的電加熱方式難以做到大面積范圍 內的溫度均勻性，溫度控制精度不佳，在對太陽能電池組件進行層壓時，經常由于組件整體 受熱不均造成平整度、層接性難以盡如人意，由此可見，太陽能電池層壓機的加熱板對加工 出太陽能電池組件的質量和性能具有重要的影響。
發(fā)明內容 本實用新型的發(fā)明目的，在于提供一種通過電加熱的方式，實現(xiàn)熱板均勻加熱的 適用于太陽能電池層壓機的加熱板，采用該加熱板的層壓機，不僅解決了現(xiàn)有的油加熱的 層壓機容易發(fā)生安全隱患的缺陷，同時解決了傳統(tǒng)的電加熱方式產生的溫度均勻性差，難 以做到大面積范圍內溫度的趨同性的問題，且本實用新型設計合理，溫度檢測精確，溫度調 控性好，適用于在太陽能電池層壓機內使用。 為實現(xiàn)上述發(fā)明目的，本實用新型采用的技術方案是 —種適用于太陽能電池層壓機的加熱板，設于太陽能電池層壓機內，所述太陽能 層壓機包括有上蓋，所述上蓋由上箱室、硅膠板、上室密封圈依序組合構成，所述加熱板設 于所述上蓋的下面，敷設好的電池組件置于層壓機的加熱板上，所述上蓋下壓使位于其上 的下室密封圈與所述加熱板的邊緣處相緊密結合并使所述上蓋與加熱板之間構成真空室， 所述上箱室設于加熱板上部，并與加熱板之間構成真空室，所述上室密封圈設于所述硅膠 板的周邊，所述下室密封圈設于所述加熱板的周邊并于所述上室密封圈相配合以密封真空 室，所述加熱板內還布設有電熱裝置和溫控裝置，所述加熱板為矩形，依其水平矩形板面分 為主加熱區(qū)和輔助加熱區(qū)，所述輔助加熱區(qū)環(huán)繞主加熱區(qū)設置。 根據(jù)熱效應原理，線性熱體、平面熱體及三維熱體其散熱均依據(jù)尖端(邊緣、表 面)熱損耗大于中部的原則，因此，較大尺度的加熱板如采用均一加熱的方式，會造成由于 熱損耗原理引起的邊緣溫度與中心溫度溫差較大的問題，進而使得位于加熱臺上的太陽能 電池板組件加熱時受熱不一致，引發(fā)組件層壓加熱的質量缺陷，因此在主加熱區(qū)的外部環(huán) 繞設置有輔助加熱區(qū)，通過輔助加熱區(qū)的加熱對邊緣散熱現(xiàn)象進行補償，從而確保了整個 加熱臺的矩形板面上的溫差分布符合溫差控制的要求，保證了在其中受熱加壓的太陽能電 池板組件的質量。 進一步的，所述環(huán)繞主加熱區(qū)設置的輔助加熱區(qū)為矩形環(huán)狀，所述矩形環(huán)狀的輔 助加熱區(qū)，其寬度小于或等于100mm，所述矩形環(huán)狀的輔助加熱區(qū)中分為寬邊輔助加熱區(qū)、 長邊輔助加熱區(qū)和疊合輔助加熱區(qū)。 進一步的，所述輔助加熱區(qū)內設有3個輔助溫控點，所述輔助溫控點分別設置于 所述寬邊輔助加熱區(qū)、長邊輔助加熱區(qū)和疊合輔助加熱區(qū)內。 由于加熱板的板面整體呈矩形，不難想見，在環(huán)狀的輔助加熱區(qū)內，構成矩形板面 的寬邊部分的寬邊輔助加熱區(qū)、構成矩形板面的長邊部分的長邊輔助加熱區(qū)，以及寬邊輔 助加熱區(qū)和長邊輔助加熱區(qū)所重疊的疊合輔助加熱區(qū)三者間的邊緣散熱現(xiàn)象是不一致的， 因此將三個溫控點設于三個輔助加熱區(qū)內，即可對兩個寬邊輔助加熱區(qū)、兩個長邊輔助加 熱區(qū)和四個疊合輔助加熱區(qū)內的溫度進行精確的測量和控制。 進一步的，所述矩形的主加熱區(qū)中，其寬邊分為N等分，其長邊分為M等分，所述矩 形的主加熱區(qū)分為P個主加熱分區(qū)，所述P = M * N，所述P個主加熱分區(qū)的面積均等。
5述主加熱區(qū)的長邊分為3等分，所述主加熱區(qū)的寬邊分為3等分，
所述主加熱區(qū)依其長寬劃分為9個面積均等的主加熱分區(qū)。 更進一步的，所述任意一個主加熱分區(qū)內均設有主溫控點。 如前所述，由于加熱板的板面整體呈矩形，同樣的，在矩形的主加熱區(qū)內，位于中 部的主加熱分區(qū)和位于長邊的主加熱分區(qū)以及位于寬邊的主加熱分區(qū)三者間的邊緣散熱 現(xiàn)象是不一致的，舉例來說，以9個主加熱分區(qū)的加熱板為例，位于中部的1個主加熱分區(qū) 和位于四角的4個主加熱分區(qū)以及位于矩形的邊的中部的4個主加熱分區(qū)間的散熱現(xiàn)象是 各不相同的，因此在各個主加熱分區(qū)內分別設置溫控點，可以對主加熱分區(qū)內的溫度進行 精確的測量和控制。 進一步的，所述設于加熱板內的電熱裝置，由若干個氧化鋁陶瓷塊和電熱絲組合 構成，所述電熱絲通過可變電阻接通電源，所述氧化鋁陶瓷塊內設有通孔，所述電熱裝置由 所述電熱絲穿過若干個氧化鋁將其連接構成條狀。 進一步的，所述溫控裝置由設于所述加熱板的溫控點和溫度顯示裝置組合構成。 位于加熱板上的各個溫控點將采集到的熱信號傳遞到溫度顯示裝置上，操作人員 可以根據(jù)各個溫控點采集的溫度調整加熱臺的加熱功率，以確保加熱臺的整體溫度和臺內 的溫差符合要求。 進一步的，所述加熱板，其板面的上表面四邊設有連通的環(huán)狀銑槽，所述環(huán)狀銑槽 設于所述下密封圈內，所述環(huán)狀銑槽的深度小于所述加熱板的臺板厚度，所述加熱板的下 表面設有若干個通孔，所述通孔均勻設置于所述板面的下表面的邊緣，所述通孔貫穿于所 述銑槽的槽底。 更進一步的，所述若干個通孔內均連接到一抽氣總管上，所述抽氣總管通過一真
空閥門與真空泵連接，所述上蓋與所述加熱板壓合密封后，通過真空泵抽氣在所述上蓋與
所述加熱板之間構成真空室。 本實用新型的有益效果是 1、本實用新型將加熱板劃分為輔助加熱區(qū)和主加熱區(qū)，在輔助加熱區(qū)和主加熱區(qū) 內分別設置有溫控點，并根據(jù)溫控點的反饋調節(jié)加熱溫度以進行溫度補償，解決了以往的 加熱層壓機中，由于邊緣散熱現(xiàn)象造成的加熱溫度不符合要求或者溫差較大的造成的太陽 能電池組件質量不佳的技術缺陷； 2、本實用新型的電熱裝置采用電熱絲穿過氧化鋁陶瓷塊的方式整體構成，于根據(jù) 不同加熱區(qū)域需要的不同加熱溫度或者補償溫度進行設置，滿足和加熱裝置的調節(jié)要求； 同時連接方便，便于更換維修； 3、本實用新型的真空室采用邊緣均勻穿孔，抽氣總管連接抽真空的方式進行工 作，真空效果均勻，抽真空度高。
圖1是本實用新型的結構示意圖； 圖2是本實用新型的加熱區(qū)劃分示意圖； 圖3是本實用新型的環(huán)狀銑槽的示意圖； 圖4是本實用新型的電熱裝置部分的結構示意圖；[0030] 圖5是本圖4中A部分的結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型進行進一步說明 如圖1-5所示，一種適用于太陽能電池層壓機的加熱板，包括加熱板1和上蓋2， 所述上蓋2由上箱室3、硅膠板4、上室密封圈5依序組合構成，所述加熱板1邊緣外環(huán)設有 下室密封圈6，敷設好的電池組件置于層壓機的加熱板1的臺面上，所述上蓋2下壓使位于 其上的上室密封圈5與所述加熱板1的邊緣處的下室密封圈6相緊密結合并使所述上蓋2 與加熱板1之間構成真空室7，所述上箱室3設于加熱板1上部，并與加熱板1之間構成真 空室，所述上室密封圈5設于所述硅膠板4的周邊，所述下室密封圈6設于所述加熱臺1的 周邊并于所述上室密封圈5相配合以密封真空室，所述加熱板1內還布設有電熱裝置和溫 控裝置，所述加熱板1為矩形，依其水平矩形臺面分為主加熱區(qū)14和輔助加熱區(qū)，所述輔助 加熱區(qū)環(huán)繞主加熱區(qū)14設置。根據(jù)熱效應原理，線性熱體、平面熱體及三維熱體其散熱均 依據(jù)尖端(邊緣、表面)熱損耗大于中部的原則，因此，較大尺度的加熱板如采用均一加熱 的方式，會造成由于熱損耗原理引起的邊緣溫度與中心溫度溫差較大的問題，進而使得位 于加熱臺上的太陽能電池板組件加熱時受熱不一致，引發(fā)組件層壓加熱的質量缺陷，因此 在主加熱區(qū)的外部環(huán)繞設置有輔助加熱區(qū)，通過輔助加熱區(qū)的加熱對邊緣散熱現(xiàn)象進行補 償，從而確保了整個加熱臺的矩形臺面上的溫差分布符合溫差控制的要求，保證了在其中 受熱加壓的太陽能電池板組件的質量。 在本實用新型中，所述環(huán)繞主加熱區(qū)14設置的輔助加熱區(qū)為矩形環(huán)狀，所述矩形 環(huán)狀的輔助加熱區(qū)，其寬度小于或等于100mm，所述矩形環(huán)狀的輔助加熱區(qū)中分為寬邊輔助 加熱區(qū)11、長邊輔助加熱區(qū)12和疊合輔助加熱區(qū)13。 作為具體實施方式
給出的一個技術方案，所述輔助加熱區(qū)內設有3個輔助溫控點 15，所述輔助溫控點15分別設置于所述寬邊輔助加熱區(qū)11、長邊輔助加熱區(qū)12和疊合輔助 加熱區(qū)13內。由于加熱板1的臺面整體呈矩形，不難想見，在環(huán)狀的輔助加熱區(qū)內，構成矩 形臺面的寬邊部分的寬邊輔助加熱區(qū)11、構成矩形臺面的長邊部分的長邊輔助加熱區(qū)12， 以及寬邊輔助加熱區(qū)11和長邊輔助加熱區(qū)12所重疊的疊合輔助加熱區(qū)13三者間的邊緣 散熱現(xiàn)象的程度是不一致的，因此將三個輔助溫控點15設于三個輔助加熱區(qū)內，即可對兩 個寬邊輔助加熱區(qū)11、兩個長邊輔助加熱區(qū)12和四個疊合輔助加熱區(qū)13內的溫度進行精 確的測量和控制。 在本實用新型中，所述矩形的主加熱區(qū)14中，其寬邊分為N等分，其長邊分為M等 分，所述矩形的主加熱區(qū)14分為P個主加熱分區(qū)，所述P = M * N，所述P個主加熱分區(qū)的 面積均等。舉例來說，所述主加熱區(qū)14的長邊分為3等分，所述主加熱區(qū)14的寬邊分為3 等分，那么所述主加熱區(qū)14依其長寬劃分為9個面積均等的主加熱分區(qū)，所述任意一個主 加熱分區(qū)內均設有主溫控點16。如前所述，由于加熱板1的臺面整體呈矩形，同樣的，在矩 形的主加熱區(qū)14內，位于中部的主加熱分區(qū)和位于長邊的主加熱分區(qū)以及位于寬邊的主 加熱分區(qū)三者間的邊緣散熱現(xiàn)象是不一致的，舉例來說，以9個主加熱分區(qū)的加熱板為例， 位于中部的1個主加熱分區(qū)和位于四角的4個主加熱分區(qū)以及位于矩形的邊的中部的4個 主加熱分區(qū)間的散熱現(xiàn)象是各不相同的，因此在各個主加熱分區(qū)內分別設置主溫控點141，可以對主加熱分區(qū)內的溫度進行精確的測量和控制。 作為優(yōu)選的技術方案，所述設于加熱板內的電熱裝置，由若干個氧化鋁陶瓷塊17和電熱絲18組合構成，所述電熱絲18通過可變電阻接通電源，所述氧化鋁陶瓷塊17內設有通孔，所述電熱裝置由所述電熱絲18穿過若干個氧化鋁陶瓷塊17將其連接構成條狀。所述溫控裝置由設于所述加熱板1的若干個溫控點和溫度顯示裝置組合構成。位于加熱板1上的各個溫控點將采集到的熱信號傳遞到溫度顯示裝置上，操作人員可以根據(jù)各個溫控點采集的溫度調整加熱臺1的加熱功率，以確保加熱臺的整體溫度和臺內的溫差符合要求。[0037] 所述加熱板l，其臺面的上表面四邊設有連通的環(huán)狀銑槽19，所述環(huán)狀銑槽19設于所述下密封圈內，所述環(huán)狀銑槽19的深度小于所述加熱板1的臺板厚度，所述加熱板1的下表面設有若干個通孔8，所述通孔8均勻設置于所述臺面的下表面的邊緣，所述通孔8貫穿于所述銑槽19的槽底。在加工時，距離加熱板l表面邊緣60m m的中心線上，圍繞著加熱板，在其下表面的四邊鉆有直徑20mm的盲孔，盲孔間間隔300mm，盲孔距離上表面6mm，在用龍門銑床直徑6mm的銑刀，在上表面與各個盲孔連接的對應位置，沿著所述加熱板的四邊54. 5mm和65. 5mm處的平行線上，銑出深度到達盲孔，寬度為6mm的兩條直線槽，以貫通所有盲孔，使得若干個盲孔與真空室相通構成通孔8，所述若干個通孔8均連接到一抽氣總管9上，所述抽氣總管9通過一真空閥門與真空泵連接，所述上蓋2與所述加熱板1壓合密封后，通過真空泵抽氣在所述上蓋與所述加熱板之間構成真空室7。 由于國內難以采購到適于加工加熱板板面的寬幅鋁合金板，且寬幅鋁合金板材價格高昂，故在本實用新型中，加熱板的板體采用低碳鋼制作，采購較為方便，成本也相對低
廉 本實用新型采用上述的技術方案，將加熱板劃分為輔助加熱區(qū)和主加熱區(qū)，在輔助加熱區(qū)和主加熱區(qū)內分別設置有溫控點，并根據(jù)溫控點的反饋調節(jié)加熱溫度以進行溫度補償，解決了以往的加熱層壓機中，由于邊緣散熱現(xiàn)象造成的加熱溫度不符合要求或者溫差較大的造成的太陽能電池組件質量不佳的技術缺陷；與此同時，本實用新型的電熱裝置采用電熱絲穿過氧化鋁陶瓷塊的方式整體構成，于根據(jù)不同加熱區(qū)域需要的不同加熱溫度或者補償溫度進行設置，滿足和加熱裝置的調節(jié)要求；同時連接方便，便于更換維修；另外，本實用新型的真空室采用邊緣均勻穿孔，抽氣總管連接抽真空的方式進行工作，真空效果均勻，抽真空度高。 以上內容是結合具體的優(yōu)選實施方式對本實用新型所作的進一步詳細說明，不能認定本實用新型的具體實施只局限于這些說明。對于本實用新型所屬技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型構思的前提下，還可以做出若干簡單推演或替換，都應當視為屬于本實用新型的保護范圍。
權利要求一種適用于太陽能電池層壓機的加熱板，設于太陽能電池層壓機內，所述太陽能層壓機包括有上蓋(2)，所述上蓋(2)由上箱室(3)、硅膠板(4)、上室密封圈(5)依序組合構成，所述加熱板(1)設于所述上蓋(2)的下方，其邊緣外環(huán)繞設置有下室密封圈(6)，敷設好的電池組件置于層壓機的加熱板(1)的臺面上，所述上蓋(2)下壓使位于其上的上室密封圈(5)與環(huán)繞所述加熱板(1)的邊緣處的下室密封圈(6)相緊密結合并使所述上蓋(2)與加熱板(1)之間構成真空室(7)，所述上箱室(3)設于加熱板(1)的上部，并與加熱板(1)之間構成真空室(7)，所述上室密封圈(5)設于所述硅膠板(4)的周邊，所述下室密封圈(6)設于所述加熱板(1)的周邊并與所述上室密封圈(5)相配合以密封真空室(7)，所述加熱板(1)內還布設有電熱裝置和溫控裝置，其特征在于所述加熱板(1)為矩形，依其水平矩形臺面分為主加熱區(qū)(14)和輔助加熱區(qū)，所述輔助加熱區(qū)環(huán)繞主加熱區(qū)(14)設置。
2. 根據(jù)權利要求1所述的一種適用于太陽能電池層壓機的加熱板，其特征在于所述 環(huán)繞主加熱區(qū)(14)設置的輔助加熱區(qū)為矩形環(huán)狀，所述矩形環(huán)狀的輔助加熱區(qū)，其寬度小 于或等于100mm，所述矩形環(huán)狀的輔助加熱區(qū)分為寬邊輔助加熱區(qū)(11)、長邊輔助加熱區(qū) (12)和疊合輔助加熱區(qū)(13)。
3. 根據(jù)權利要求2所述的一種適用于太陽能電池層壓機的加熱板，其特征在于所述 輔助加熱區(qū)內設有3個輔助溫控點(15)，所述輔助溫控點(15)分別設置于所述寬邊輔助加 熱區(qū)(11)、長邊輔助加熱區(qū)(12)和疊合輔助加熱區(qū)(13)內。
4. 根據(jù)權利要求1或2所述的一種適用于太陽能電池層壓機的加熱板，其特征在于 所述矩形的主加熱區(qū)中，其寬邊分為N等分，其長邊分為M等分，所述矩形的主加熱區(qū)分為 P個主加熱分區(qū)，所述P = M * N，所述P個主加熱分區(qū)的面積均等。
5. 根據(jù)權利要求4所述的一種適用于太陽能電池層壓機的加熱板，其特征在于所述 主加熱區(qū)(14)的長邊分為3等分，所述主加熱區(qū)(14)的寬邊分為3等分，所述主加熱區(qū) (14)依其長邊與寬邊的等分劃分為9個形狀和面積均等的主加熱分區(qū)。
6. 根據(jù)權利要求4或5所述的一種適用于太陽能電池層壓機的加熱板，其特征在于 所述的任意一個主加熱分區(qū)內均設有一個主溫控點(16)。
7. 根據(jù)權利要求1所述的一種適用于太陽能電池層壓機的加熱板，其特征在于所述 設于加熱板內的電熱裝置，由若干個氧化鋁陶瓷塊(17)和電熱絲(18)組合構成，所述電熱 絲(18)通過可變電阻接通電源，所述氧化鋁陶瓷塊(17)內設有通孔，所述電熱裝置由所述 電熱絲(18)穿過若干個氧化鋁陶瓷塊(17)將其連接構成條狀。
8. 根據(jù)權利要求7所述的一種適用于太陽能電池層壓機的加熱板，其特征在于所述 溫控裝置由設于所述加熱板(1)的若干個溫控點和溫度顯示裝置組合構成。
9. 根據(jù)權利要求1所述的——種適用于太陽能電池層壓機的加熱板，其特征在于所 述加熱板(l)，其臺面的上表面四邊設有連通的環(huán)狀銑槽(19)，所述環(huán)狀銑槽(19)設于所 述下密封圈內，所述環(huán)狀銑槽(19)的深度小于所述加熱板(1)的臺板厚度，所述加熱板(1) 的下表面設有若干個通孔(8)，所述通孔(8)均勻間隔設置于所述臺面的下表面的邊緣，所 述通孔(8)貫穿于所述環(huán)狀銑槽(19)的槽底。
10. 根據(jù)權利要求9所述的一種適用于太陽能電池層壓機的加熱板，其特征在于所述 若干個通孔(8)均連接到一抽氣總管(9)上，所述抽氣總管(9)通過一真空閥門與真空泵 連接，所述上蓋(2)與所述加熱板(1)壓合密封后，通過真空泵抽氣在所述上蓋(2)與所述加熱板(1)之間構成真空室'
專利摘要本實用新型公開了一種適用于太陽能電池層壓機的加熱板，設于太陽能電池層壓機內，所述太陽能層壓機包括有上蓋，所述上蓋由上箱室、硅膠板、上室密封圈依序組合構成，所述加熱板設于上蓋下面，敷設好的電池組件置于層壓機的加熱板上，所述上蓋下壓使位于其上的下室密封圈與所述加熱板的邊緣處相緊密結合并使所述上蓋與加熱板之間構成真空室，所述上箱室設于加熱板上部，并與加熱板之間構成真空室，所述上室密封圈設于所述硅膠板的周邊，所述下室密封圈設于所述加熱板的周邊并于所述上室密封圈相配合以密封真空室，所述加熱板內還布設有電熱裝置和溫控裝置，所述加熱板為矩形，依其水平矩形板面分為主加熱區(qū)和輔助加熱區(qū)，所述輔助加熱區(qū)環(huán)繞主加熱區(qū)設置。
文檔編號H01L31/18GK201456513SQ20092011934
公開日2010年5月12日 申請日期2009年5月7日 優(yōu)先權日2009年5月7日
發(fā)明者傅家勤 申請人:安吉申科太陽能設備制造有限公司