專利名稱：一種熱壓頭及由其組成的熱壓裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于一種熱壓頭及熱壓裝置，特別涉及一種電子芯片封裝過程中使用的熱
壓頭及由其組成的多路控制熱壓裝置。
背景技術(shù)：
各向異性導(dǎo)電膠(ACA， Anisotropically conductive adhesive)是一禾中用于電
子芯片封裝的粘接材料，主要用于移動電子設(shè)備、消費電子產(chǎn)品以及射頻識別(RFID，Radio
Frequency Identification)智能卡制造。ACA主要由基體和導(dǎo)電顆粒組成，在ACA固化過
程中，固化的溫度、壓力和時間對芯片互連的機械性能和電氣性能都有重要影響。 射頻識別(RFID)標(biāo)簽制造是ACA的一種典型應(yīng)用，一般包括以下步驟一、點膠裝
置把適量的ACA膠滴點到RFID天線基板的焊盤上；二、拾取芯片放置于天線基板的焊盤上；
三、使用熱壓裝置使ACA受熱固化。 ACA固化時間較長，約為10s左右，為了使熱壓裝置與點膠、貼片裝置效率匹配，實現(xiàn)整機的高效率，需要一次熱壓多個標(biāo)簽。如果用一個熱壓板實現(xiàn)整體熱壓，由于加工精度及溫度的不均勻性，很難保證所有標(biāo)簽位的溫度和壓力精度。為了更有效地控制熱壓過程中所有標(biāo)簽的溫度和壓力，通常會在一個工位設(shè)置多個熱壓頭，與相應(yīng)標(biāo)簽一一對應(yīng)，每個熱壓頭的溫度和壓力可以單獨控制。這樣可以避免標(biāo)簽受熱和受壓不均勻的情況，有利于提高產(chǎn)品的整體質(zhì)量?！兑环N應(yīng)用于ACA固化的熱壓裝置設(shè)計》(《機械與電子》2006 (7) ， P26 P29)以及申請?zhí)?0071041831. O的中國專利申請所公開的一種類似的熱壓裝置，均藉由設(shè)置于熱壓頭中的彈簧來調(diào)節(jié)熱壓過程中的壓力；對于單個熱壓頭來說，問題不大，但是如果熱壓頭數(shù)量較多，則調(diào)整起來非常麻煩，需要在設(shè)備投入使用之前逐個調(diào)整每個熱壓頭中彈簧的初始壓縮量，以消除裝配誤差、彈簧長度誤差及摩擦力帶來的影響，保證所有熱壓頭在工作過程中能提供相等的壓力。這種結(jié)構(gòu)對調(diào)試和維護帶來了諸多不便，而且由于彈簧的彈性系數(shù)難以保證一致，也很難精確地自動調(diào)整壓力值。 為了適應(yīng)產(chǎn)品的多樣性，各熱壓頭之間的行距和列距需要能夠自由調(diào)整，保證熱壓頭中心與對應(yīng)標(biāo)簽上的芯片中心對齊。目前市面上的相關(guān)設(shè)備大部分采用逐個調(diào)節(jié)的辦法，非常耗時，且中間部分的熱壓頭難以對準(zhǔn)。還有一種方式是把熱壓頭按行距、列距置于可取下的壓板上，再把熱壓頭和壓板整體裝到設(shè)備上，通過調(diào)節(jié)壓板來實現(xiàn)熱壓頭的整體調(diào)節(jié)，要求在調(diào)節(jié)過后鎖緊壓板而不改變壓板的平行度，機構(gòu)較復(fù)雜，成本較高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種熱壓頭及由其組成的熱壓裝置，解決現(xiàn)有熱壓頭壓力調(diào)整繁瑣的問題，方便地調(diào)節(jié)熱壓壓力；同時解決現(xiàn)有熱壓裝置各熱壓頭熱壓壓力不夠均衡的問題。
本發(fā)明的一種熱壓頭，用于芯片封裝的熱壓裝置，包括加熱組件和安裝組件，所述加熱組件相對于安裝組件往復(fù)運動，其特征在于
所述加熱組件和安裝組件之間具有活塞缸，所述安裝組件裝設(shè)于活塞缸一端的缸體或活塞桿上，所述加熱組件裝設(shè)于活塞缸另一端的活塞桿或缸體上； 所述活塞缸為汽缸或者液壓缸；所述加熱組件用于加熱產(chǎn)品；所述安裝組件用于將熱壓頭連接到熱壓裝置上。 所述的熱壓頭，所述加熱組件可以通過軸承組件連接所述活塞缸另一端的活塞桿或缸體；所述軸承組件包括軸承座、直線軸承、滑桿及擋止件，所述軸承座裝設(shè)于所述活塞缸的缸體上，軸承座為截面呈T形的圓筒，直線軸承裝設(shè)于所述圓筒的內(nèi)孔，圓筒的內(nèi)孔側(cè)壁開設(shè)軸向的導(dǎo)向槽，所述滑桿穿過直線軸承，滑桿一端固定于活塞桿末端，滑桿另一端固定于所述加熱組件，擋止件固定于滑桿上并位于所述導(dǎo)向槽內(nèi)。 所述的熱壓頭，所述加熱組件可以包括壓頭和電熱元件，所述電熱元件緊靠在壓頭上或者設(shè)置在壓頭附近。 所述的熱壓頭，所述安裝組件可以為下述情況中的一種； A.所述安裝組件由磁鐵及容置體組成，所述容置體裝設(shè)于活塞缸一端的缸體或活塞桿上，所述磁鐵固定于容置體； B.所述安裝組件為安裝座，安裝座裝設(shè)于活塞缸一端的缸體或活塞桿上，和熱壓裝置通過螺栓連接； C.所述安裝組件為夾持機構(gòu)；夾持機構(gòu)裝設(shè)于活塞缸一端的缸體或活塞桿上，和熱壓裝置連接時夾持熱壓裝置相應(yīng)部位； D.所述安裝組件為安裝座，安裝座上具有配合孔或配合軸，安裝座裝設(shè)于活塞缸一端的缸體或活塞桿上，安裝座的配合孔或配合軸與熱壓裝置上對應(yīng)的配合軸或配合孔形成過盈配合。 本發(fā)明的一種熱壓裝置，包括機架和機架內(nèi)的第一壓板、第二壓板、第一往復(fù)機構(gòu)以及熱壓頭，第二壓板固定或者滑動連接在機架上，第一往復(fù)機構(gòu)固定在機架上，第一壓板與第一往復(fù)機構(gòu)連接并與第二壓板平行設(shè)置，所述第一往復(fù)機構(gòu)驅(qū)動第一壓板相對于第二壓板往復(fù)運動；多個熱壓頭分別通過它們的安裝組件固定安裝于第一壓板或者第二壓板上，按被加工產(chǎn)品的特點排列；其特征在于 所述熱壓頭為前述的熱壓頭；各熱壓頭的活塞缸并聯(lián)接入壓力控制系統(tǒng)，所述壓力控制系統(tǒng)提供同樣的氣壓或者液壓，控制活塞缸的活塞兩端壓力差。 所述的熱壓裝置，還可以具有裝設(shè)于所述機架的第二往復(fù)機構(gòu)，所述第二壓板與
第二往復(fù)機構(gòu)連接，所述第二往復(fù)機構(gòu)驅(qū)動第二壓板相對于第一壓板往復(fù)運動。 本發(fā)明的熱壓頭，可以通過調(diào)節(jié)活塞缸內(nèi)工作流體的壓力來控制熱壓頭的輸出壓
力，由于工作流體的壓力便于檢測和控制，而且即使是在熱壓頭工作過程中，工作流體的壓
力也可以實時調(diào)節(jié)，故熱壓頭的壓力調(diào)節(jié)過程非常簡單方便。本發(fā)明的熱壓裝置通過壓力
控制系統(tǒng)對熱壓頭進行多路控制，通過改變各個熱壓頭的活塞缸內(nèi)工作流體的壓力，可以
統(tǒng)一調(diào)節(jié)該熱壓裝置中熱壓頭的輸出壓力，避免了熱壓裝置在工作之前需要對熱壓頭進行
逐個調(diào)節(jié)帶來的不便；而且各個熱壓頭的輸出壓力統(tǒng)一由工作流體保證，相對于現(xiàn)有技術(shù)
中采用事先調(diào)試好彈簧長度的方法，更容易保證工作過程中各個熱壓頭的輸出壓力保持均衡。


圖1為本發(fā)明的熱壓頭實施例的立體分解圖； 圖2為圖1中的軸承座在A-A方向的剖視圖； 圖3為本發(fā)明加熱組件實施例的立體分解圖； 圖4為圖3中加熱組件另一視角的立體分解圖； 圖5為本發(fā)明熱壓頭的立體組合圖； 圖6為本發(fā)明的熱壓裝置實施例的立體分解圖； 圖7為圖6中第一壓板的立體分解圖； 圖8為圖7中第一壓板另一視角的立體分解圖； 圖9為本發(fā)明的熱壓裝置的組合圖； 圖10為本發(fā)明的熱壓裝置的壓力控制系統(tǒng)示意圖。
具體實施例方式
如圖1、圖2所示，本發(fā)明熱壓頭10的實施例包括安裝組件11、汽缸12、軸承組件、加熱組件16及若干理線夾17。 安裝組件11裝設(shè)于汽缸12 —端的缸體121上，加熱組件16通過軸承組件連接汽缸12另一端的活塞桿122 ; 汽缸12包括缸體121及活塞桿122，活塞桿122可相對于缸體121往復(fù)滑動，缸體121的上下兩端均設(shè)有安裝螺紋孔，活塞桿122的端部開設(shè)有螺紋孔； 軸承組件包括軸承座131、擋片132、直線軸承133、滑桿15及擋止件14，軸承座131裝設(shè)于汽缸12的缸體121上，軸承座131為截面呈T形的圓筒，直線軸承133裝設(shè)于所述圓筒的內(nèi)孔，圓筒的內(nèi)孔側(cè)壁開設(shè)軸向的導(dǎo)向槽1313，滑桿15穿過直線軸承133，滑桿15 —端固定于活塞桿122末端，滑桿15另一端固定于加熱組件16，擋止件14固定于滑桿上并位于所述導(dǎo)向槽1313內(nèi)。 軸承座131的底座1311上開設(shè)若干安裝孔。該底座1311向下延伸一圓筒，圓筒下部為裝設(shè)直線軸承133的容置孔1312，圓筒下端面開設(shè)若干螺紋孔，圓筒的上部側(cè)壁開設(shè)導(dǎo)向槽1313。 滑桿15頂部設(shè)有直徑較桿身小的螺桿，用于連接活塞桿122，底部開設(shè)有連接加熱組件16的螺紋孔。 擋止件14包括固定件141及擋止螺釘142，固定件141為圓環(huán)狀，側(cè)面開設(shè)螺紋孔。 安裝組件11包括磁鐵111及容置體112，容置體112由一體方形底座113和容置部114構(gòu)成，方形底座113開設(shè)有若干安裝孔，容置部114自方形底座113的中部向上延伸大致呈筒狀，容置部114的側(cè)壁開設(shè)兩個固定磁鐵111的螺紋孔。 如圖3、圖4所示，加熱組件16包括安裝件161，第一隔熱件162，彈性元件163、隔
熱片164、電熱元件165、壓頭166、第二隔熱件167、傳感器168及若干螺釘169。 安裝件161的底座向上延伸成圓柱，階梯孔1611貫穿底座和圓柱中部； 壓頭166為底面具有凸臺的矩形體，矩形體中部具有放置電熱元件165的容置槽
1662，凸臺側(cè)面開設(shè)傳感器安裝孔1661。
安裝件161，第一隔熱件162及壓頭166對應(yīng)開設(shè)若干安裝孔，壓頭166的安裝孔開設(shè)螺紋。第二隔熱件167為矩形框，一側(cè)開設(shè)有若干固定壓頭的安裝孔，第二隔熱件包裹住壓頭166后，壓頭166的凸臺部分從矩形框底部伸出。 在本實施例中，電熱元件165選用陶瓷發(fā)熱片，第一隔熱件162的材料選用隔熱陶瓷；彈性元件163為碟形彈簧；隔熱片164的材料選用云母；壓頭166的材料為銅；第二隔熱件167的材料選用聚四氟乙烯；為了達到更好的阻熱效果，螺釘169宜選用具有隔熱特性的材料，如聚苯硫醚(PPS)。 如圖1 圖5所示，組裝時，滑桿15頂部螺桿穿過擋止件14的固定件141，且旋入汽缸12的活塞桿122的端部螺紋孔中。安裝組件11的磁鐵111裝入容置體112的容置部114，螺釘穿過容置部114側(cè)壁的螺紋孔將該磁鐵111固定。螺釘穿過安裝組件11的容置體112的底座113以及軸承組件的軸承座131的底座1311，將它們分別裝設(shè)于汽缸12缸體121的上下兩端。直線軸承133套于滑桿15底部并容置于軸承座131的容置孔1312。擋片132藉由螺釘裝設(shè)于軸承座131的下端，將直線軸承133固定于軸承座131的容置孔1312內(nèi)。擋止件14的擋止螺釘142的一端穿過軸承座131的導(dǎo)向槽1313并旋入固定件141的螺紋孔中，擋止螺釘142的另一端容留于軸承座131的導(dǎo)向槽1313內(nèi)。理線夾17藉由若干螺釘裝設(shè)于安裝組件11、軸承組件及加熱組件16。 —螺釘自底部穿過安裝件161的階梯孔1611以及滑桿15底部螺紋孔，將加熱組件16的安裝件161固定于滑桿15。加熱組件16的電熱元件165容置于加熱組件16的壓頭166的容置槽1662。隔熱片164及彈性元件163疊放于該電熱元件165上端。若干螺釘按照如圖3所示的方向穿過安裝件161的底座及第一隔熱件162的安裝孔與壓頭166的螺紋孔螺紋連接，使彈性元件163將電熱元件165壓在壓頭166的容置槽1662之內(nèi)。傳感器168裝設(shè)于壓頭166的傳感器安裝孔1661之中。第二隔熱件167套入壓頭166使壓頭166的凸臺向下伸出第二隔熱件167少許，若干螺釘穿過第二隔熱件167的安裝孔將第二隔熱件167固定于壓頭166。 上述隔熱件以及隔熱片164的作用有兩個， 一個是防止加熱組件16產(chǎn)生的熱量對熱壓頭10的其他部件(如汽缸12)產(chǎn)生影響，其次是防止各個熱壓頭IO之間相互影B向。在對熱壓溫度的要求不是非常嚴(yán)格或者是工作溫度不太高的情況下，加熱組件16可以相應(yīng)地略去第二隔熱件167或者第一隔熱件162。 熱壓頭10工作過程中，藉由工作流體產(chǎn)生的壓力推動汽缸12的活塞桿122來控制加熱組件16施加給工件的壓力。軸承組件的作用在于防止該汽缸12的活塞桿122在少許側(cè)向力的作用下傾斜而影響壓力控制的精度。擋止件14的作用在于防止加熱組件16發(fā)生旋轉(zhuǎn)。如果對壓力控制的精度不高或者是選用帶導(dǎo)桿的汽缸則可以省去軸承組件及滑桿15，將加熱組件16直接裝設(shè)于汽缸12的活塞桿122末端；如果選用帶導(dǎo)桿的汽缸，由于這種汽缸本身可以防止活塞桿旋轉(zhuǎn)，故而亦可省去擋止件14。 如圖6所示，本發(fā)明之熱壓裝置的實施例包括機架30和機架內(nèi)的第一壓板50、第二壓板60、第一往復(fù)機構(gòu)40、第二往復(fù)機構(gòu)70以及IO個熱壓頭IO，第二壓板固定或者滑動連接在機架上，第一往復(fù)機構(gòu)40固定在機架30上，第一壓板50與第一往復(fù)機構(gòu)40連接并與第二壓板60平行設(shè)置，第一往復(fù)機構(gòu)40驅(qū)動第一壓板50相對于第二壓板60往復(fù)運動；第二壓板60與第二往復(fù)機構(gòu)70連接，第二往復(fù)機構(gòu)70驅(qū)動第二壓板60相對于第一壓板
750往復(fù)運動。 10個熱壓頭10分別通過它們的安裝組件固定安裝于第一壓板50，排列成兩行；各熱壓頭的活塞缸并聯(lián)接入壓力控制系統(tǒng)，壓力控制系統(tǒng)提供同樣的氣壓或者液壓，控制活塞缸的活塞兩端壓力差。 對應(yīng)于10個熱壓頭，在第二壓板60上安裝10個下壓頭20 ; 下壓頭20包括加熱組件及裝設(shè)于該加熱組件一端的安裝組件。下壓頭20的加熱
組件及安裝組件與熱壓頭10的加熱組件16及安裝組件11的結(jié)構(gòu)相同，設(shè)置下壓頭20是
為了增加有效加熱時間，提高生產(chǎn)效率，而并非本發(fā)明的必要技術(shù)特征。 機架30包括第一固定板31 、4個軸座32、4個直線軸承33、4個導(dǎo)向軸34及第二
固定板35。 第一往復(fù)機構(gòu)40是由伺服電機、同步帶以及滾珠絲桿組成的運動機構(gòu)，其包括連接件41?？刂扑欧姍C可驅(qū)動該連接件41作往復(fù)運動。第二往復(fù)機構(gòu)70是汽缸，其包括可往復(fù)滑動的活塞桿。 如圖6 圖8所示，第一壓板50包括2個連接組件51 、4條導(dǎo)軌52、呈口字形的第一安裝架53、基板54、第二安裝架55及定位組件56。連接組件51包括旋鈕511、大致呈L形的連接塊512、摩擦塊513及連接板514 ;連接塊512上具有可容置摩擦塊513的容置孔，容置孔的底部開設(shè)螺紋孔。導(dǎo)軌52包括軌道521及可沿軌道521滑動的滑塊522。基板54開設(shè)若干通孔541。定位組件56包括口字形的框架561 、5個X向定位架562及2個Y向定位架563， X向定位架562及Y向定位架563均包括若干旋鈕及螺母，且中部均開設(shè)通槽。 組裝第一壓板50時，將4條導(dǎo)軌52分為兩組，第一組2條導(dǎo)軌52的軌道521沿Y向裝設(shè)于基板54的一側(cè)。第一安裝架53裝設(shè)于2條Y向安裝的導(dǎo)軌52的滑塊522上。第二組2條導(dǎo)軌52的軌道521沿X向裝設(shè)于第一安裝架53。連接組件51的摩擦塊513容置于連接塊512的容置孔，旋鈕511旋入連接塊512的螺紋孔。連接組件51的連接塊512的一端分別固定于X向安裝的導(dǎo)軌52的滑塊522上。連接組件51的連接板514的一端固定于第二安裝架55，另一端分別固定于連接組件51的連接塊512的另一端。定位組件56的X向定位架562及Y向定位架563分別沿X向和Y向，藉由其旋鈕和螺母裝設(shè)于框架561 ;定位組件56的框架561固定于第二安裝架55。 松開定位組件56的X向定位架562或者Y向定位架563的旋鈕可使X向定位架562或者Y向定位架563沿框架561滑動。第一安裝架53可帶動第二安裝架55及定位組件56相對于基板54沿Y向滑動，連接組件51可帶動第二安裝架55及定位組件56相對于第一安裝架53和基板54沿X向滑動。旋緊連接組件51的旋鈕511，將該摩擦塊513壓緊在基板54上，使得第一安裝架53及第二安裝架55相對于基板54固定。
第二壓板60的結(jié)構(gòu)與該第一壓板50的結(jié)構(gòu)相同，僅第一壓板50的連接組件51沿Y向布置在第一壓板50上，而第二壓板60的連接組件沿X向布置。這樣，便于同時對第一壓板50和第二壓板60進行調(diào)整。 如圖5 圖9所示，組裝該熱壓裝置時，第一往復(fù)機構(gòu)40固定于機架30的第一固定板31。 4個導(dǎo)向軸34的一端分別固定于軸座32，軸座32固定于第一固定板31 ;第一壓板50的基板54四角的通孔541及第二壓板60基板四角的通孔分 固定裝設(shè)有直線軸承33。第一壓板50藉由安裝在其上的直線軸承33滑動裝設(shè)于機架30的4個導(dǎo)向軸34上， 且第一壓板50的第一安裝架53朝向機架30的第一固定板31 ;第一往復(fù)機構(gòu)40的連接件 41穿過第一壓板50的第一安裝架53中部，固定于第一壓板50。第二壓板60亦藉由安裝 在其上的直線軸承33滑動裝設(shè)于機架30的4個導(dǎo)向軸34上，且第二壓板60的定位組件 朝向第一壓板50的定位組件56。機架30的4個導(dǎo)向軸34的另一端固定于機架30的第二 固定板35。第二往復(fù)機構(gòu)70固定裝設(shè)于機架30的第二固定板35的中部，且第二往復(fù)機構(gòu) 70的活塞桿固定于第二壓板60。 IO個熱壓頭IO的安裝組件II同時穿過第一壓板50的定 位組件56的X向定位架562及Y向定位架563的通槽，10個熱壓頭10的安裝組件11的磁 鐵111吸附于第一壓板50的基板54 ;10個下壓頭20以同樣的方式裝設(shè)于第二壓板60。
調(diào)節(jié)第一壓板50的定位組件56的X向定位架562及Y向定位架563，可調(diào)整10 個熱壓頭10之間的間距；這些下壓頭20的間距也同樣可以被調(diào)整。沿X向或者Y向拉動 第一壓板50的連接組件51可調(diào)整這些熱壓頭10相對于第一壓板50的基板54的位置；下 壓頭20相對于第二壓板60的位置也同樣可以被調(diào)整。如上所述，調(diào)整這些熱壓頭10及下 壓頭20的位置和間距，直到每一個熱壓頭10和相對應(yīng)的下壓頭20沿機架30的導(dǎo)向軸34 的方向相互對齊。如圖IO所示，為了調(diào)整熱壓的壓力，該熱壓裝置還包括壓力控制系統(tǒng)，壓力控制 系統(tǒng)包括依次通過管路連接的氣源81、分水濾氣器82、減壓閥83及油霧器84;油霧器84的 一端通過氣管接減壓閥83的輸出端，油霧器另一端并聯(lián)連接熱壓頭10的汽缸12。
如圖5、9、10所示，該熱壓裝置工作時，先調(diào)節(jié)該壓力控制系統(tǒng)的減壓閥83的輸出 氣壓的壓力，使熱壓頭10的汽缸12的活塞桿122帶動熱壓頭10的加熱組件16伸出一段 距離。減壓閥83的輸出氣壓的壓力為定值，又由于熱壓頭10為并聯(lián)，多個熱壓頭10的汽 缸12的活塞兩端的氣體壓力差都相等。這樣，只需一次設(shè)定就可以將多個熱壓頭10的輸 出壓力調(diào)整到需要值。顯而易見，如果熱壓頭10使用的汽缸12精度較低，那么熱壓頭10 的輸出壓力會因為汽缸12的加工精度而有所不同，這時，如果要嚴(yán)格保證各熱壓頭10的輸 出壓力均勻，則可以分別在每個熱壓頭IO和壓力控制系統(tǒng)之間增加一個壓力控制器件(如 減壓閥或者節(jié)流閥等)。 工件(如已經(jīng)完成芯片放置的，載有天線基板的薄膜)被放置于這些熱壓頭IO及 下壓頭20之間。第一往復(fù)機構(gòu)40及第二往復(fù)機構(gòu)70分別驅(qū)動第一壓板50及第二壓板 60朝向?qū)Ψ竭\動，直至這些熱壓頭IO和下壓頭20壓住工件；這個過程中，熱壓頭10的加 熱組件16受壓，推動熱壓頭10的汽缸12的活塞桿122往回運動一端距離；由于壓力控制 系統(tǒng)的減壓閥83的輸出氣壓的壓力不變，這個過程中熱壓的壓力也保持不變。保壓一段時 間之后，第一往復(fù)機構(gòu)40及第二往復(fù)機構(gòu)70向回運動，一個熱壓周期結(jié)束。熱壓裝置的 第一往復(fù)機構(gòu)40及第二往復(fù)機構(gòu)70在工作過程中基本上同時接觸和離開工件，可以便于 自動化作業(yè)(如加工成巻的載有天線基板的薄膜，由于薄膜在進給過程中一般高度保持不 變，故需要完成熱壓之后兩塊壓板都需要反向運動一段距離，保證薄膜能夠繼續(xù)進給)。任 何能夠控制汽缸內(nèi)活塞兩端壓力差的壓力控制系統(tǒng)均可替換前述之壓力控制系統(tǒng)。由于液 壓系統(tǒng)與氣壓系統(tǒng)的相似性，將前述實施例中的所有氣動元器件使用相對應(yīng)的液壓元器件 替換，或者使用氣液混合控制的方式，同樣可以實現(xiàn)本發(fā)明之目的。
9
權(quán)利要求
一種熱壓頭，用于芯片封裝的熱壓裝置，包括加熱組件和安裝組件，所述加熱組件相對于安裝組件往復(fù)運動，其特征在于所述加熱組件和安裝組件之間具有活塞缸，所述安裝組件裝設(shè)于活塞缸一端的缸體或活塞桿上，所述加熱組件裝設(shè)于活塞缸另一端的活塞桿或缸體上；所述活塞缸為汽缸或者液壓缸；所述加熱組件用于加熱產(chǎn)品；所述安裝組件用于將熱壓頭連接到熱壓裝置上。
2. 如權(quán)利要求1所述的熱壓頭，其特征在于所述加熱組件通過軸承組件連接所述活塞缸另一端的活塞桿或缸體；所述軸承組件包括軸承座、直線軸承、滑桿及擋止件，所述軸承座裝設(shè)于所述活塞缸的缸體上，軸承座為截面呈T形的圓筒，直線軸承裝設(shè)于所述圓筒的內(nèi)孔，圓筒的內(nèi)孔側(cè)壁開設(shè)軸向的導(dǎo)向槽，所述滑桿穿過直線軸承，滑桿一端固定于活塞桿末端，滑桿另一端固定于所述加熱組件，擋止件固定于滑桿上并位于所述導(dǎo)向槽內(nèi)。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的熱壓頭，其特征在于所述加熱組件包括壓頭和電熱元件，所述電熱元件緊靠在所述壓頭上或者設(shè)置在所述壓頭附近。
4. 如權(quán)利要求1或2所述的熱壓頭，所述的熱壓頭，其特征在于所述安裝組件為下述情況中的一種；A. 所述安裝組件由磁鐵及容置體組成，所述容置體裝設(shè)于活塞缸一端的缸體或活塞桿上，所述磁鐵固定于容置體；B. 所述安裝組件為安裝座，安裝座裝設(shè)于活塞缸一端的缸體或活塞桿上，和熱壓裝置通過螺栓連接；C. 所述安裝組件為夾持機構(gòu)；夾持機構(gòu)裝設(shè)于活塞缸一端的缸體或活塞桿上，和熱壓裝置連接時夾持熱壓裝置相應(yīng)部位；D. 所述安裝組件為安裝座，安裝座上具有配合孔或配合軸，安裝座裝設(shè)于活塞缸一端的缸體或活塞桿上，安裝座的配合孔或配合軸與熱壓裝置上對應(yīng)的配合軸或配合孔形成過盈配合。
5. 如權(quán)利要求3所述的熱壓頭，所述的熱壓頭，其特征在于所述安裝組件為下述情況中的一種；A. 所述安裝組件由磁鐵及容置體組成，所述容置體裝設(shè)于活塞缸一端的缸體或活塞桿上，所述磁鐵固定于容置體；B. 所述安裝組件為安裝座，安裝座裝設(shè)于活塞缸一端的缸體或活塞桿上，和熱壓裝置通過螺栓連接；C. 所述安裝組件為夾持機構(gòu)；夾持機構(gòu)裝設(shè)于活塞缸一端的缸體或活塞桿上，和熱壓裝置連接時夾持熱壓裝置相應(yīng)部位；D. 所述安裝組件為安裝座，安裝座上具有配合孔或配合軸，安裝座裝設(shè)于活塞缸一端的缸體或活塞桿上，安裝座的配合孔或配合軸與熱壓裝置上對應(yīng)的配合軸或配合孔形成過盈配合。
6. —種由權(quán)利要求1所述熱壓頭構(gòu)成的熱壓裝置，包括機架和機架內(nèi)的第一壓板、第二壓板、第一往復(fù)機構(gòu)以及熱壓頭，第二壓板固定或者滑動連接在機架上，第一往復(fù)機構(gòu)固定在機架上，第一壓板與第一往復(fù)機構(gòu)連接并與第二壓板平行設(shè)置，所述第一往復(fù)機構(gòu)驅(qū)動第一壓板相對于第二壓板往復(fù)運動；多個熱壓頭分別通過它們的安裝組件固定安裝于第一壓板或者第二壓板上，按被加工產(chǎn)品的特點排列；其特征在于所述各熱壓頭的活塞缸并聯(lián)接入壓力控制系統(tǒng)，所述壓力控制系統(tǒng)提供同樣的氣壓或者液壓，控制活塞缸的活塞兩端壓力差。
7.如權(quán)利要求6所述的熱壓裝置，其特征在于還具有裝設(shè)于所述機架的第二往復(fù)機構(gòu)，所述第二壓板與第二往復(fù)機構(gòu)連接，所述第二往復(fù)機構(gòu)驅(qū)動第二壓板相對于第一壓板往復(fù)運動。
全文摘要
一種熱壓頭及由其組成的熱壓裝置，屬于熱壓頭及熱壓裝置，解決現(xiàn)有熱壓頭壓力調(diào)整繁瑣、現(xiàn)有熱壓裝置各熱壓頭壓力不夠均衡的問題。本發(fā)明的熱壓頭，加熱組件和安裝組件之間具有活塞缸，加熱組件通過活塞缸相對于安裝組件往復(fù)運動。所述熱壓頭構(gòu)成的熱壓裝置，包括機架、第一壓板、第二壓板、第一往復(fù)機構(gòu)以及熱壓頭，各熱壓頭的活塞缸并聯(lián)接入壓力控制系統(tǒng)，壓力控制系統(tǒng)控制活塞缸的活塞兩端壓力差。本發(fā)明通過調(diào)節(jié)活塞缸內(nèi)工作流體壓力控制熱壓頭的輸出壓力，壓力調(diào)節(jié)過程便于控制；通過壓力控制系統(tǒng)對熱壓裝置的熱壓頭進行多路控制，可以統(tǒng)一調(diào)節(jié)各熱壓頭的輸出壓力，避免了逐個調(diào)節(jié)的不便，適用電子芯片封裝過程中使用。
文檔編號H01L21/02GK101697345SQ200910272540
公開日2010年4月21日 申請日期2009年10月27日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月27日
發(fā)明者孫虎, 尹周平, 熊有倫, 王瑜輝, 陳顯才 申請人:華中科技大學(xué);