專利名稱：太陽能電池及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種太陽能電池及其制造方法。
背景技術(shù)：
將太陽光能量轉(zhuǎn)換成電能的太陽能電池通過利用被稱為P型半導(dǎo)體和N 型半導(dǎo)體的兩類半導(dǎo)體發(fā)電。太陽能電池可以主要被分為在大多數(shù)商品中使 用的晶體硅太陽能電池、可使用廉價基板的薄膜太陽能電池以及結(jié)合晶體硅 太陽能電池和薄膜太陽能電池的混合太陽能電池。
在本發(fā)明中，利用在薄玻璃或塑料基板上涂覆膜的方法形成薄膜太陽能 電池。通常，載流子的傳播(spread)距離在薄膜太陽能電池中比在晶體硅 太陽能電池中短，并且當薄膜僅由P-N結(jié)結(jié)構(gòu)制成時，由太陽光產(chǎn)生的電子 -空穴對的收集效率非常低。因此，運用利用PIN結(jié)構(gòu)的薄膜，在該PIN結(jié) 構(gòu)中具有高的光吸收效率的本征半導(dǎo)體材料的光吸收層插設(shè)在p型半導(dǎo)體
與N型半導(dǎo)體之間。
在薄膜太陽能電池的通常結(jié)構(gòu)中，前透明導(dǎo)電層、PIN層和后反射電極 層被順序沉積在基板上。在該結(jié)構(gòu)中，太陽光透過前透明導(dǎo)電層且在光吸收 層中被吸收，在光吸收層中未被吸收且因而透過光吸收層的光被后反射電極 層反射，然后在光吸收層中被吸收。
當太陽能電池的光吸收層由具有數(shù)微米或更小厚度的薄膜型形成時，較 少的太陽光被吸收且電流密度由于光透射而減小。因此，使用前透明導(dǎo)電層 和后反射電極層的光散射/捕獲(trapping)技術(shù)對于增加太陽能電池的效率 起重要的作用。
為了增加太陽能電池的效率，可紋理化透明導(dǎo)電層。而且，為了通過增 加光的路徑長度而改善光效率，被紋理化的透明導(dǎo)電層也可定位在后電極層 與N層之間。
然而，用于紋理化后電極層與光吸收層之間的透明導(dǎo)電層的制造工藝很 復(fù)雜，且光效率會被透明導(dǎo)電層降低，該透明導(dǎo)電層的導(dǎo)電率低于后電極層的金屬的導(dǎo)電率。而且，由于層之間的接觸界面增加，所以缺陷產(chǎn)生的可能 寸生i曾力口。
在該背景技術(shù)部分中公開的上述信息僅用于增強對于本發(fā)明背景技術(shù) 的理解，因此其可包括不構(gòu)成本國本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員已知的現(xiàn)有技術(shù)的
信息。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明通過增加后電極層的反射系數(shù)來最大化光吸收效率，而未 降低導(dǎo)電性，并且簡化了制造方法。
根據(jù)本發(fā)明示例性實施例的太陽能電池的制造方法包括在基板上沉積 透明導(dǎo)電層；圖案化透明導(dǎo)電層；形成半導(dǎo)體層，該半導(dǎo)體層沉積在圖案化 的透明導(dǎo)電層上；圖案化半導(dǎo)體層；用金屬粉涂覆圖案化的半導(dǎo)體層；在涂 覆有金屬粉的半導(dǎo)體層上形成后電極層；以及，圖案化后電極層和半導(dǎo)體層。 在圖案化的半導(dǎo)體層上涂覆金屬粉的步驟中，金屬粉可覆蓋圖案化的半 導(dǎo)體層的上表面和側(cè)表面。
金屬粉可以是銀(Ag)、鋁(Al)、鈦(Ti)及其合金之一。 金屬粉可由尺寸在50 nm至5 |im范圍內(nèi)的顆粒構(gòu)成。 金屬粉可分散在揮發(fā)性溶劑中并作為溶液、膏或墨被涂覆在半導(dǎo)體層上。
在圖案化的半導(dǎo)體層上涂覆金屬粉可通過使用以下至少之一完成旋 涂、狹縫涂覆、噴涂、絲網(wǎng)印刷、噴墨法、照相凹版印刷、膠印以及滴涂。
在圖案化的半導(dǎo)體層上涂覆金屬粉的步驟中，金屬粉可與兩親溶劑或表 面活性劑混合且被涂覆在半導(dǎo)體層上。
兩親溶劑或表面活性劑可以是乙醇、甲醇、丙酮、異丙醇、N-曱基吡咯 烷酮(NMP)、環(huán)戊酮和環(huán)己酮之一。
在圖案化的半導(dǎo)體層上涂覆金屬粉之前，半導(dǎo)體層可被等離子體照射以 在半導(dǎo)體層的表面上形成凸出和凹陷。
在圖案化的半導(dǎo)體層涂覆金屬粉之前，半導(dǎo)體層可^C熱處理。
在圖案化的半導(dǎo)體層涂覆金屬粉之前，半導(dǎo)體層可用附著劑涂覆。 在圖案化透明導(dǎo)電層之前，透明導(dǎo)電層的上表面被紋理化。根據(jù)本發(fā)明另 一示例性實施例的太陽能電池的制造方法包括在基板上 沉積透明導(dǎo)電層；圖案化透明導(dǎo)電層；形成半導(dǎo)體層，該半導(dǎo)體層沉積在圖 案化的透明導(dǎo)電層上，其中半導(dǎo)體層包括P層、I層和N層；用金屬粉涂覆 半導(dǎo)體層；圖案化半導(dǎo)體層；在圖案化的半導(dǎo)體層上形成后電極層；以及， 圖案化后電極層和半導(dǎo)體層。
在圖案化透明導(dǎo)電層之前，透明導(dǎo)電層的上表面可以被紋理化。 在半導(dǎo)體層上涂覆金屬粉的步驟中，金屬粉可與兩親溶劑或表面活性劑
混合，該半導(dǎo)體層可用金屬粉涂覆。
兩親溶劑或表面活性劑可以是乙醇、曱醇、丙酮、異丙醇、N-曱基吡咯 烷酮(NMP)、環(huán)戊酮和環(huán)己酮之一。
根據(jù)本發(fā)明另一示例性實施例的太陽能電池包括基板；沉積在基板上 的透明導(dǎo)電層；沉積在透明導(dǎo)電層上的半導(dǎo)體層；涂覆在半導(dǎo)體層上的金屬 粉；形成于半導(dǎo)體層中的接觸孔；以及填充于接觸孔中且覆蓋半導(dǎo)體層的后 電極層。
金屬粉可被涂覆在由接觸孔暴露的半導(dǎo)體層的側(cè)表面上。 金屬粉可以由4艮、鋁、鈦及其合金之一制成。 金屬粉可與兩親溶劑或表面活性劑混合且被涂覆在半導(dǎo)體層上。 半導(dǎo)體層包括P層、I層和N層。
根據(jù)本發(fā)明另一示例性實施例的太陽能電池包括基板；沉積在基板上 的反射電極層；涂覆在反射電極層上的金屬粉；沉積在涂覆有金屬粉的反射 電極層上的半導(dǎo)體層；以及沉積在半導(dǎo)體層上的后電極層。
可進一步包括形成于后電極層上的連接電極。
根據(jù)本發(fā)明，金屬粉被涂覆在光吸收層上，使得后反射電極的反射系數(shù) 增加且側(cè)部中被吸收的光的反射系數(shù)增加，從而最大化光吸收量。


圖1至圖7是依次示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的太陽能電池的制造 方法中的制造工藝的橫截面視圖8至圖11是依次示出根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實施例的在太陽能電 池的制造方法中的制造工藝的橫截面視圖12是示出根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實施例的太陽能電池的橫截面視
7圖。
具體實施例
以下將參照附圖更詳細地描述本發(fā)明的示例性實施例。正如本領(lǐng)域的技 術(shù)人員所理解的，可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的前提下對所描述的實 施例以各種方式進行修改。本發(fā)明的示例性實施例為本領(lǐng)域的技術(shù)人員提供 本發(fā)明的特征和范圍的完整公開。
在附圖中，為了清晰，夸大了層、膜、面板、區(qū)域等的厚度。在通篇說 明書中，相似的附圖標記表示相似的元件。應(yīng)該理解的是，當元件諸如層、 膜、區(qū)域或基板被稱為在另一元件"上，，時，其可以直接在另一元件上或者 也可以存在中間元件。
圖1至圖7是截面圖，依次示出根據(jù)本發(fā)明示例性實施例的太陽能電池 的制造方法中的制造工藝。
首先，如圖1所示，透明導(dǎo)電層110被沉積在基板100上，透明導(dǎo)電層 110的表面^皮紋理化處理。透明導(dǎo)電層110可由Sn02、 ZnO:Al、 ZnO:B、 ITO (銦錫氧化物)或IZO (銦鋅氧化物)制成。紋理化透明導(dǎo)電層110的表面，使 得透明導(dǎo)電層110的表面不平坦，通過減少在太陽光入射的表面處的光反射， 增加了太陽能電池對太陽光的有效吸收量。
接下來，如圖2所示，透明導(dǎo)電層110通過激光刻圖(laser scribing) 被圖案化。
接下來，如圖3所示，P層130、 I層140和N層150^皮依次沉積在圖 案化的透明導(dǎo)電層IIO上，以形成半導(dǎo)體層200。 P層130、 I層140和N層 150可通過等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)沉積。
接下來，如圖4所示，金屬粉160被涂覆在半導(dǎo)體層200上。 用于在半導(dǎo)體層200上涂覆金屬粉160的方法可以是以下之一旋涂、 狹縫涂覆(slit coating )、噴射(spraying )、絲網(wǎng)印刷(screen printing),噴 墨法(ink-jetting )、照相凹版印刷(gravure printing )、月交印(offset printing) 以及滴涂(dispensing )。為了通過使用這些方法在半導(dǎo)體層200上涂覆金屬 粉160，金屬粉160被分散在具有高揮發(fā)性的溶劑中，從而不影響金屬粉160 和不同的層，金屬粉160作為溶液、膏(paste)或墨(ink)涂覆在半導(dǎo)體 層200上。用于在半導(dǎo)體層200上涂覆金屬粉160的分散劑可以是兩親溶劑 (amphiphilic solvent)或表面活性劑。兩親;容劑或表面活性劑是同時為親水 性和疏水性的材料，使得該材料的特性根據(jù)環(huán)境而確定。兩親溶劑或表面活性劑可以是乙醇(ethanol)、曱醇(methanol),丙酮 (acetone )、異丙醇(isopropyl alcohol )、 N-曱基吡咯烷酮(NMP， N-methyl pyrrolidone )、 環(huán)戊酉同(cyclopentanone)或環(huán)己酉同(cyclohexanone)。 其中,優(yōu)選 是N-曱基吡咯烷酮(NMP)、環(huán)戊酮或環(huán)己酮。這里，兩親溶劑或表面活性劑可用作親水溶劑，因此金屬粉160與親水 溶劑混合，使得由親水溶劑圍繞金屬粉160的顆粒表面，從而金屬粉160可 易于被吸收到半導(dǎo)體層200的表面上，另外使得金屬粉160顆粒不凝結(jié)。為了改善金屬粉160與半導(dǎo)體層200之間的附著，可應(yīng)用以下方法。在用金屬粉160涂覆半導(dǎo)體層200之前，半導(dǎo)體層200用氫等離子體或 氬等離子體照射以在半導(dǎo)體層200的表面上形成凸出和凹陷。附著力可通過使用不與半導(dǎo)體層200和金屬粉160相互反應(yīng)的附著促進 劑(adhesion promoter)或添力口齊寸改善。另外，在涂覆金屬粉160之前，半導(dǎo)體層200可以在低溫下(例如，低 于200度)被短時間(例如，短于30分鐘)熱處理，以增加金屬粉160與 半導(dǎo)體層200之間的附著力。該方法可獲得穩(wěn)定半導(dǎo)體層200以及降低阻抗 的附加效應(yīng)而不改變層品質(zhì)。另外，具有粗糙顆粒表面的金屬粉160可用于改善附著，并且可與上述 方法一起用于最大化附著力。更具體地，金屬粉160可包括擁有優(yōu)良的導(dǎo)電 性和反射系數(shù)的銀(Ag)、鋁(Al)、鈦(Ti)及其合金之一。包括銀、鋁、 鈦及其合金的所述金屬粉160可由尺寸在50 nm至5 pm范圍內(nèi)的顆粒組成， 且金屬粉160的所述顆粒將均勻分布，從而均勻地反射寬波長范圍的光。接下來，如圖5所示，半導(dǎo)體層200通過激光刻圖被圖案化。依次沉積 以形成半導(dǎo)體層200的P層130、 I層140和N層150以及金屬粉160在該 工藝中被圖案化。在圖案化之前，透明導(dǎo)電層(未示出)可形成于半導(dǎo)體層 200和金屬粉160上，透明導(dǎo)電層的上表面可被紋理化以增加太陽能電池效 率。可省略形成透明導(dǎo)電層和紋理化透明導(dǎo)電層的上表面。接下來，如圖6所示，后電極層170被沉積在半導(dǎo)體層200和金屬粉160 上。這里，后電極層170的厚度可在2000A至4000A的范圍內(nèi)。接下來，如圖7所示，后電極層170、金屬粉160和半導(dǎo)體層200被激光刻案化。由上述方法制造的太陽能電池最大化后反射電極層的反射系數(shù)，而不需 要在半導(dǎo)體層200與后電極層170之間沉積和紋理化后透明導(dǎo)電層。漫反射 在金屬粉160所附著的部分中產(chǎn)生，使得被反射的光的路徑增加。圖8至圖11是依次示出根據(jù)本發(fā)明另一示例性實施例的太陽能電池的 制造方法中的制造工藝的截面圖。再次參照圖1至圖3，在根據(jù)本發(fā)明另一示例性實施例的太陽能電池的 制造方法中，透明導(dǎo)電層IIO被沉積在基板IOO上，且被紋理化，使得透明 導(dǎo)電層110的表面像織物(fabric)的表面一樣不平坦，從而增加太陽光的吸 收效率。接下來，通過激光刻案化透明導(dǎo)電層110。接下來，P層130、 I層140和N層150被依次沉積在圖案化的透明導(dǎo) 電層110上，以形成半導(dǎo)體層200。 P層130、 I層140和N層150可通過等 離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD )沉積。接下來，如圖8所示，半導(dǎo)體層200通過激光刻圖被圖案化。在圖案化 之前，透明導(dǎo)電層(未示出)可形成于半導(dǎo)體層200上，透明導(dǎo)電層的上表 面可^皮紋理化以增加太陽能電池效率?？墒÷孕纬赏该鲗?dǎo)電層以及紋理化透 明導(dǎo)電層的上表面。接下來，如圖9所示，金屬粉160被涂覆在圖案化的半導(dǎo)體層200上。 這里，金屬粉160覆蓋圖案化的半導(dǎo)體層200的上表面和側(cè)表面。用于用金屬粉160涂覆半導(dǎo)體層的方法可以是以下之一旋涂、狹縫涂 覆、噴涂、絲網(wǎng)印刷術(shù)、噴墨法、照相凹版印刷、膠印以及滴涂。為了通過 使用這些方法在半導(dǎo)體層200上涂覆金屬粉160，金屬粉160被分散在具有 高揮發(fā)性的溶劑中，從而不影響金屬粉160和不同的層，金屬粉160作為溶 液、膏或墨而涂覆在半導(dǎo)體層200上。用于在半導(dǎo)體層200上涂覆金屬粉160的分散劑可以是兩親溶劑或表面 活性劑。兩親溶劑或表面活性劑是同時是親水性和疏水性的材料，使得材料 的特性才艮據(jù)外圍環(huán)境而確定。兩親溶劑或表面活性劑可以是乙醇、曱醇、 酮、異丙醇、N-曱基 咯 烷酮(NMP)、環(huán)戊酮或環(huán)己酮。其中，優(yōu)選地是N-曱基吡咯烷酮(NMP)、環(huán)戊酮或環(huán)己酮。這里，兩親溶劑或表面活性劑可用作親水溶劑，因而金屬粉160與親水 溶劑混合，使得親水溶劑圍繞金屬粉160的顆粒表面，從而金屬粉160可易 于被吸收到半導(dǎo)體層200的表面上，而且使得金屬粉160顆粒不凝結(jié)。為了改善金屬粉160在半導(dǎo)體層200上的附著，可應(yīng)用以下方法。在涂覆金屬粉160之前，半導(dǎo)體層200用氫等離子體或氬等離子體照射， 從而在半導(dǎo)體層200的表面上形成凸出或凹陷。附著力可通過使用不與半導(dǎo)體層200和金屬粉160相互反應(yīng)的附著力促 進劑或添加劑改善。另外，在涂覆金屬粉160之前，半導(dǎo)體層200可以在低溫下(例如，低 于200度)被短時間(例如，短于30分鐘)熱處理以增加附著力。該方法 可在不改變層品質(zhì)的前提下獲得穩(wěn)定半導(dǎo)體層200以及降低阻抗(resistance ) 的附力o j文應(yīng)。另外，具有粗糙顆粒表面的金屬粉160可用于改善附著力，可與上述方 法一起用于最大化附著力。更具體地，金屬粉160可包括擁有優(yōu)良的導(dǎo)電性 和反射系數(shù)的銀(Ag)、鋁(Al)、鈦(Ti)及其合金之一。包括銀、鋁、鈦 及其合金的所述金屬粉160可由尺寸在50 nm至5 pm范圍內(nèi)的顆粒組成， 金屬粉160的所述顆粒將均勻分布，從而均勻地反射寬波長范圍的光。接下來，如圖IO所示，后電極層170被沉積在半導(dǎo)體層200和金屬粉 160上。這里，后電極層170的厚度可以在2000A至4000A的范圍內(nèi)。接下來，如圖11所示，后電極層170、金屬粉160和半導(dǎo)體層200被激 光刻案化。在由上述方法制造的太陽能電池中，金屬粉160被附著到半導(dǎo)體層200 的側(cè)表面作為光吸收層，使得從側(cè)部入射的光和在內(nèi)部分被反射的光以及沿 垂直方向入射的光被金屬粉160漫反射。因此，進入太陽能電池的光的路徑 被拉長，從而增加光吸收，因此而改善光吸收效率。另外，高效率的反射層 形成，而不需要沉積后透明導(dǎo)電層，這減少了所涉及的制造工藝的數(shù)量，并 因此減少了制造成本，并且由于后透明導(dǎo)電層相對于后電極層170的低導(dǎo)電 性而減少或消除了損失，并避免了由層之間的額外接觸界面而產(chǎn)生的接觸阻抗。再次參照圖7和圖ll，將描述才艮據(jù)本發(fā)明另一示例性實施例的太陽能電池。如圖7所示，透明導(dǎo)電層110被沉積在基板100上。透明導(dǎo)電層110的 上表面可以被紋理化。具有依次被沉積的P層、I層和N層的半導(dǎo)體層200 形成于透明導(dǎo)電層IIO上。金屬粉160被涂覆在半導(dǎo)體層200上。半導(dǎo)體層 200和金屬粉160被圖案化以形成接觸孔165。填充于接觸孔中的后電極層 170形成于半導(dǎo)體層200和金屬粉160上。參照圖11,與圖7不同，金屬粉160被涂覆于在形成接觸孔165之后暴 露的半導(dǎo)體層200的側(cè)表面上。因此，從側(cè)表面入射的光被反射，從而增加 光吸收效率。根據(jù)本發(fā)明示例性實施例的太陽能電池可以是主要使用不透明金屬板 的基板(substrate)型金屬/N-I-P/TCO/柵格結(jié)構(gòu)以及使用玻璃材料的上層 (superstrate)型TCO/P-I-N/金屬結(jié)構(gòu)。以下，參照圖12，將詳細描述根據(jù) 本發(fā)明實施例的應(yīng)用基板型的太陽能電池。參照圖12，根據(jù)本發(fā)明實施例的基板型太陽能電池包括沉積在基板300 上的反射電極310。透明導(dǎo)電層(未示出)可形成于反射電極310上。半導(dǎo)體層400設(shè)置于 反射電極310上。半導(dǎo)體層400包括依次沉積在反射電極310上的N層330、 I層340和P層350。金屬粉320被涂覆在反射電極310與半導(dǎo)體層400之間，從而增加反射 電極310的反射系數(shù)。透明導(dǎo)電層360設(shè)置在半導(dǎo)體層400上。被圖案化的連接電極370可進 一步設(shè)置在透明導(dǎo)電層360上?；?00可由不透明金屬薄片(foil)制成。雖然已經(jīng)結(jié)合目前被認為是實際的示例性實施例對本發(fā)明進行了描述， 但是應(yīng)該理解的是，本發(fā)明不限于被公開的實施例，相反，本發(fā)明旨在覆蓋 被包括在所附權(quán)利要求的精神和范圍內(nèi)的各種修改和等同方案。
權(quán)利要求
1.一種制造太陽能電池的方法，包括在基板上沉積透明導(dǎo)電層；圖案化所述透明導(dǎo)電層；形成半導(dǎo)體層，所述半導(dǎo)體層沉積在圖案化的所述透明導(dǎo)電層上；圖案化所述半導(dǎo)體層；在圖案化所述半導(dǎo)體層之后，用金屬粉涂覆圖案化的所述半導(dǎo)體層；在涂覆有所述金屬粉的所述半導(dǎo)體層上形成后電極層；以及圖案化所述后電極層和所述半導(dǎo)體層。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中在圖案化的所述半導(dǎo)體層上涂覆所述金屬粉的步驟中，所述金屬粉覆蓋 圖案化的所述半導(dǎo)體層的上表面和側(cè)表面。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中 所述金屬粉是銀、鋁、鈦及其合金之一。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其中 所述金屬粉由尺寸在50 nm至5 jxm范圍內(nèi)的顆粒制成。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中所述金屬粉分散在揮發(fā)性溶劑中并作為溶液、膏或墨而涂覆在所述半導(dǎo) 體層上。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中通過采用旋涂、狹縫涂覆、噴涂、絲網(wǎng)印刷、噴墨法、照相凹版印刷、 膠印和滴涂的至少之一來完成在圖案化的所述半導(dǎo)體層上涂覆所述金屬粉。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中在圖案化的所述半導(dǎo)體層上涂覆所述金屬粉的步驟中，所述金屬粉與兩 親溶劑或表面活性劑混合且被涂覆在所述半導(dǎo)體層上。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中所述兩親溶劑或表面活性劑是乙醇、曱醇、丙酮、異丙醇、N-曱基吡咯 烷酮、環(huán)戊酮和環(huán)己酮之一。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中在圖案化的所述半導(dǎo)體層上涂覆所述金屬粉之前，所述半導(dǎo)體層被等離子體照射從而在所述半導(dǎo)體層的表面上形成凸出和凹陷。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中在圖案化的所述半導(dǎo)體層上涂覆所述金屬粉之前，所述半導(dǎo)體層被熱處理。
11. 根據(jù)權(quán)利要求IO所述的方法，其中 所述熱處理在低于200度的溫度下進行小于30分鐘的時間。
12. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中在圖案化的所述半導(dǎo)體層上涂覆所述金屬粉之前，用附著劑涂覆所述半 導(dǎo)體層。
13. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中在圖案化所述透明導(dǎo)電層之前，所述透明導(dǎo)電層的上表面被紋理化。
14. 一種制造太陽能電池的方法，包括 在基板上沉積透明導(dǎo)電層； 圖案化所述透明導(dǎo)電層；形成半導(dǎo)體層，所述半導(dǎo)體層沉積在圖案化的所述透明導(dǎo)電層上； 用金屬粉涂覆所述半導(dǎo)體層；在用所述金屬粉涂覆所述半導(dǎo)體層之后，圖案化所述半導(dǎo)體層； 在圖案化的所述半導(dǎo)體層上形成后電極層；以及 圖案化所述后電極層和所述半導(dǎo)體層。
15. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其中在圖案化所述透明導(dǎo)電層之前，所述透明導(dǎo)電層的上表面被紋理化。
16. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其中在所述半導(dǎo)體層上涂覆所述金屬粉的步驟中，所述金屬粉與兩親溶劑或 表面活性劑混合，所述半導(dǎo)體層用所述金屬粉涂覆。
17. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其中所述兩親溶劑或表面活性劑是乙醇、曱醇、丙酮、異丙醇、N-曱基吡咯 烷酮、環(huán)戊酮和環(huán)己酮之一。
18. —種太陽能電池，包括 基板；沉積在所述基板上的透明導(dǎo)電層； 沉積在所述透明導(dǎo)電層上的半導(dǎo)體層；涂覆在所述半導(dǎo)體層上的金屬粉； 形成于所述半導(dǎo)體層中的接觸孔；以及 填充于所述接觸孔中且覆蓋所述半導(dǎo)體層的后電極層。
19. 根據(jù)權(quán)利要求18所迷的太陽能電池，其中 所述金屬粉被涂覆在所述半導(dǎo)體層的由所述接觸孔暴露的側(cè)表面上。
20. 根據(jù)權(quán)利要求19所述的太陽能電池，其中所述金屬粉由銀、鋁、鈦及其合金之一制成。
21. 根據(jù)權(quán)利要求20所述的太陽能電池，其中所述金屬粉與兩親溶劑或表面活性劑混合且被涂覆在所述半導(dǎo)體層上。
22. 根據(jù)權(quán)利要求18所迷的太陽能電池，其中所述半導(dǎo)體層包括P層、 I層和N層。
23. —種太陽能電池，包括 基板；沉積在所述基板上的反射電極層； 涂覆在所述反射電極層上的金屬粉；沉積在涂覆有所述金屬粉的所述反射電極層上的半導(dǎo)體層，其中所述半 導(dǎo)體層包括N層、I層和P層；以及 沉積在所述半導(dǎo)體層上的后電極層。
24. 根據(jù)權(quán)利要求23所迷的太陽能電池，其中 連接電極形成于所述后電極層上。
全文摘要
本發(fā)明提供一種太陽能電池及其制造方法。該制造方法包括在基板上沉積透明導(dǎo)電層；圖案化透明導(dǎo)電層；形成半導(dǎo)體層，該半導(dǎo)體層沉積在所圖案化的透明導(dǎo)電層上；圖案化半導(dǎo)體層；將金屬粉涂覆在圖案化的半導(dǎo)體層上；在涂覆有金屬粉的半導(dǎo)體層上形成后電極層；以及圖案化后電極層和半導(dǎo)體層。該方法可用于制造具有改良的光吸收效率的太陽能電池，
文檔編號H01L31/18GK101630704SQ20091015977
公開日2010年1月20日 申請日期2009年7月20日 優(yōu)先權(quán)日2008年7月18日
發(fā)明者南毓鉉, 吳旼錫, 徐晙榮, 敏 樸, 李昌昊, 李秉奎, 林美花, 申明勛, 鄭勝在 申請人:三星電子株式會社