專(zhuān)利名稱(chēng)：有源矩陣襯底、顯示裝置以及像素缺陷修正方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液晶顯示裝置、EL (電致發(fā)光)顯示裝置等的顯示裝 置中所使用的有源矩陣襯底。更詳細(xì)地說(shuō)，涉及適用于大型液晶電視 等具有大型的液晶顯示器畫(huà)面的液晶顯示裝置中所使用的有源矩陣村 底。
背景技術(shù)：
有源矩陣襯底被廣泛使用在液晶顯示裝置、EL (Electro Luminescence:電致發(fā)光)顯示裝置等的有源矩陣型顯示裝置中。在
現(xiàn)有的有源矩陣型液晶顯示裝置中所使用的有源矩陣襯底中，在襯底 上以交叉的方式配置的多條掃描信號(hào)線和多條數(shù)據(jù)信號(hào)線的各個(gè)交點(diǎn) 上設(shè)置TFT (Thin Film Transistor:薄膜晶體管)等開(kāi)關(guān)元件，根 據(jù)TFT等的開(kāi)關(guān)功能，能夠適當(dāng)?shù)叵蚺cTFT等連接的各像素(電極) 部傳送圖像信號(hào)。此外，為防止使TFT等截止的期間中的液晶層的自 放電或者TFT等的截止電流引起的圖像信號(hào)的惡化、或者使用于液晶 驅(qū)動(dòng)中的各種調(diào)制信號(hào)的施加路徑等，還存在在各像素部上設(shè)置有保 持電容元件的有源矩陣襯底。
作為現(xiàn)有的有源矩陣型液晶顯示裝置中所使用的有源矩陣襯底的 結(jié)構(gòu)，例如，公知有如下的結(jié)構(gòu)(例如，參照專(zhuān)利文獻(xiàn)l)。圖18是 表示現(xiàn)有技術(shù)的有源矩陣型液晶顯示裝置具有的有源矩陣襯底的一個(gè) 像素的平面示意圖。
如圖18所示，在現(xiàn)有的有源矩陣襯底200中，以矩陣狀設(shè)置多個(gè) 像素電極51，在該像素電極51的周?chē)糜诠┙o掃描信號(hào)的掃描信號(hào) 線52和用于供給數(shù)據(jù)信號(hào)的數(shù)據(jù)信號(hào)線53以彼此交叉的方式通過(guò)。此外，在這些掃描信號(hào)線52和數(shù)據(jù)信號(hào)線53的交叉部上設(shè)置TFT54， 作為與像素電極51連接的開(kāi)關(guān)元件。在TFT54的柵電極55上連接掃 描信號(hào)線52，通過(guò)輸入掃描信號(hào)對(duì)TFT54進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制。此外，在TFT54 的源電極66a上連接數(shù)據(jù)信號(hào)線53，輸入數(shù)據(jù)信號(hào)。并且，在TFT54 的漏電極66b上連接漏極布線56，在漏極布線56上連接保持電容元件 的一個(gè)電極(保持電容上電極)57，在保持電容上電極57上通過(guò)接觸 孔58連接像素電極51。并且，保持電容(共同)布線59起到保持電 容元件的另一電極(保持電容下電極)的作用。
近年來(lái)，在大型液晶TV等中使用的液晶顯示裝置中，以寬視角化 為目的，具有多重區(qū)域(multi-doinain)的垂直取向方式(VA; Vertical Alignment)、 所謂的MVA (Mul t i-domain Vertical Alignment)方 式廣泛普及(例如，參照專(zhuān)利文獻(xiàn)2)。
在這樣的MVA方式中，在有源矩陣襯底的像素電極以及對(duì)置襯底 的對(duì)置電極上設(shè)置切除圖形或者液晶分子的取向控制用突起，利用由 此形成的邊緣場(chǎng)(Fringe Field)使液晶分子的取向分散為多個(gè)方向， 由此實(shí)現(xiàn)寬視角。圖18示出的現(xiàn)有技術(shù)的有源矩陣村底中，通過(guò)在有 源矩陣襯底的像素電極以及對(duì)置村底的對(duì)置電極上設(shè)置切除圖形或者 液晶分子取向控制用突起，也能夠?qū)崿F(xiàn)寬視角化。此外，以防止漏光 或者改善施加電壓后的初始響應(yīng)速度為目的，公知的技術(shù)為奉與像素 電極或者對(duì)置電極的切除圖形(以下稱(chēng)為電極狹縫)對(duì)應(yīng)的位置上埋 設(shè)電極(例如，參照專(zhuān)利文獻(xiàn)3)。
在有源矩陣襯底的制造工藝中，由于異物或者膜殘留等，有時(shí)會(huì) 在TFT的源電極和漏電極之間產(chǎn)生短路(leak:泄漏)。這樣，對(duì)于 產(chǎn)生缺陷的像素來(lái)說(shuō)，不能對(duì)像素電極施加正常的電壓(漏極電壓)， 在液晶顯示裝置的顯示畫(huà)面上出現(xiàn)亮點(diǎn)或者黑點(diǎn)等的點(diǎn)缺陷，所以， 液晶顯示裝置的成品率降低。
關(guān)于這樣的像素缺陷的修復(fù)，提出了在各個(gè)像素與鄰接像素之間 預(yù)先設(shè)置修正連接布線的技術(shù)(例如，參照專(zhuān)利文獻(xiàn)4)。若這樣，在 產(chǎn)生像素缺陷的情況下，通過(guò)對(duì)修正用連接布線進(jìn)行激光照射等，使 產(chǎn)生像素缺陷的像素的像素電極與鄰接的像素的像素電極電導(dǎo)通，施 加與鄰接像素相同電位的電壓，由此，能夠模擬地對(duì)產(chǎn)生像素缺陷的 像素進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。但是，該方法在以下方面存在改善的余地。即，通常(正常工作 時(shí))，像素間絕緣，修正用連接布線需要以跨過(guò)像素間的方式設(shè)置，
所以，隨著修正用連接布線的面積的增加，開(kāi)口率降低。此外，在TFT 的源電極和漏電極之間有時(shí)產(chǎn)生短路(泄漏)，但是，盡可能在本像 素內(nèi)實(shí)施修正。因?yàn)?，?duì)泄漏處進(jìn)行切斷、分離，經(jīng)由修正用連接布 線以鄰接像素的TFT驅(qū)動(dòng)缺陷像素時(shí)，鄰接像素的TFT中驅(qū)動(dòng)的負(fù)栽 超額。與此相對(duì)，在所述的像素缺陷的修正方法中，只能進(jìn)行通過(guò)連 接鄰接像素間的修正，不能在本像素內(nèi)完成修正。因此，關(guān)于救濟(jì)TFT 不良的方法，提出了如下的液晶顯示裝置的結(jié)構(gòu)(例如，參照專(zhuān)利文 獻(xiàn)5):即具有對(duì)一個(gè)像素并聯(lián)連接多個(gè)TFT的冗余結(jié)構(gòu)。
專(zhuān)利文獻(xiàn)l:特開(kāi)平9-152625號(hào)公報(bào)(
公開(kāi)日1997年6月10
曰)
專(zhuān)利文獻(xiàn)2:特開(kāi)2001-83523號(hào)公報(bào)(
公開(kāi)日2001年3月30
曰)
專(zhuān)利文獻(xiàn)3:特開(kāi)2001-117083號(hào)公報(bào)(
公開(kāi)日2001年4月27
曰)
專(zhuān)利文獻(xiàn)4:特開(kāi)平2-135320號(hào)公報(bào)(
公開(kāi)日1990年5月24
曰)
專(zhuān)利文獻(xiàn)5:特開(kāi)平7-199221號(hào)公報(bào)(
公開(kāi)日1995年8月4日) 但是，專(zhuān)利文獻(xiàn)5記載的液晶顯示裝置的結(jié)構(gòu)并聯(lián)配置TFT (有源 元件)，并且，能夠?qū)εc信號(hào)線連接的電極進(jìn)行切斷，所以，存在因 該電極的走線引起的開(kāi)口率的降低和該電極的斷線概率變高的問(wèn)題。 從信號(hào)線供給的信號(hào)是將圖像顯示在顯示裝置上必須的結(jié)構(gòu)要素，與 信號(hào)線連接的電極的斷線對(duì)于顯示裝置來(lái)說(shuō)是致命的。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的是為解決如上所述的問(wèn)題而進(jìn)行的，其目的在于提供一 種在本像素內(nèi)完成修正時(shí)也不降低開(kāi)口率、與信號(hào)線連接的電極不容 易斷線的有源矩陣襯底。
為了解決所述問(wèn)題，本發(fā)明的有源矩陣襯底的特征在于有源元 件至少具有一個(gè)以上的源電極和兩個(gè)以上的漏電極并且具有兩個(gè)以上 的溝道，所述兩個(gè)以上的漏電極的至少一個(gè)通過(guò)布線部與像素電極電連接，所述布線部(漏極引出布線)具有第一導(dǎo)電圖形部，其包括與 像素電極連接的共同部(漏極引出布線共同部)以及從該共同部與所 述兩個(gè)以上的漏電極的每一個(gè)對(duì)應(yīng)地分支出的分支部(漏極引出布線 分支部)，有源矩陣襯底還設(shè)有第二導(dǎo)電圖形部(修正用連接電極)， 其具有隔著絕緣層與所述第一導(dǎo)電圖形部的分支部重疊的部分，并且 通過(guò)將所述絕緣層貫通來(lái)進(jìn)行導(dǎo)通而能夠與所述多個(gè)分支部電連接。
按照此結(jié)構(gòu)，不需要如專(zhuān)利文獻(xiàn)5的圖l那樣并聯(lián)配置有源元件。 因此，不需要與信號(hào)線連接的電極(本說(shuō)明書(shū)中相當(dāng)于源電極)的走 線，能夠抑制因該源電極的開(kāi)口率的降低，并且，能夠形成源電極斷 線概率較低的、能夠在本像素內(nèi)進(jìn)行修正的修正圖形。這樣的有源元 件的布線結(jié)構(gòu)能夠與在有源元件上連接2條以上的所述分支部(漏極 引出布線分支部)的方式很好地組合。
在這樣的結(jié)構(gòu)中，能夠防止因設(shè)置多個(gè)有源元件引起的開(kāi)口率的 降低，并且，能夠進(jìn)一步充分發(fā)揮本發(fā)明的作用效果。即，有源元件 具有2個(gè)以上的漏電極，這與有源元件具有與漏極相同數(shù)目以上的溝 道的情況相同。因此，按照本實(shí)施方式，即使在某個(gè)溝道中產(chǎn)生短路 等的缺陷，也能夠通過(guò)利用相同的有源元件內(nèi)的其它的正常溝道謀求 對(duì)缺陷像素的修正。
具體地說(shuō)，例如，在某個(gè)溝道中產(chǎn)生源電極與漏電極的泄漏(短 路)時(shí)，將與該溝道連接的分支部(漏極引出布線分支部)從漏電極 斷開(kāi)，并且，將斷開(kāi)的分支部(漏極引出布線分支部)通過(guò)修正用連 接電極連接(漏極/漏極連接)到與正常的溝道連接的分支部(漏極引 出布線分支部)上，由此，能夠?qū)λ械姆种Р?漏極引出布線分支 部)施加大致相同的漏極電位。并且，如上所述，能夠設(shè)置多個(gè)分支 部(漏極引出布線分支部)，所以，能夠使向像素電極供給電位的路 徑冗余。
此外，在本發(fā)明的有源矩陣村底中，優(yōu)選相對(duì)一個(gè)所述源電極具 有多個(gè)所述漏電極。即，有源元件對(duì)于一個(gè)源電極具有多個(gè)漏電極， 該多個(gè)漏電極中的至少一個(gè)通過(guò)布線部與像素電極電連接，所述布線 部(漏極引出布線)具有第一導(dǎo)電圖形部(笫一導(dǎo)電層)，其包括共 同部(漏極引出布線共同部)和分別對(duì)應(yīng)于所述多個(gè)漏電極從該共同 部分支出的分支部；設(shè)有第二導(dǎo)電圖形部(第二導(dǎo)電層、修正用連接電極)，其具有隔著絕緣層與所述第一導(dǎo)電圖形部的分支部重疊的部 分，通過(guò)將所述絕緣層貫通來(lái)進(jìn)行導(dǎo)通而能夠與多個(gè)所述分支部電連 接。
如專(zhuān)利文獻(xiàn)5的液晶顯示裝置所示，通過(guò)并聯(lián)配置多個(gè)TFT(有源 元件)而具有冗余性的結(jié)構(gòu)中，TFT的源電極與掃描信號(hào)線之間的寄生 電容增加。因此，如近年來(lái)，若信號(hào)寫(xiě)入頻率變高，與源電極連接的 數(shù)據(jù)信號(hào)線的電容負(fù)荷增加，則導(dǎo)致顯示質(zhì)量(特別是動(dòng)態(tài)顯示)降 低。并且，存在電力消耗增加的問(wèn)題。
與此相對(duì)，通過(guò)對(duì)于一個(gè)所述源電極具有多個(gè)漏電極的結(jié)構(gòu)，不 需要與信號(hào)線連接的電極的走線，能夠抑制因該源電極的開(kāi)口率的降
低，并且，能夠形成源電極斷線概率低并可在本像素內(nèi)修正的修正圖 形，除了這樣的效果外，還具有能夠?qū)崿F(xiàn)與高速顯示的對(duì)應(yīng)以及抑制 電力消耗的效果。
此外，在本發(fā)明的有源矩陣襯底中，也可以是與如上所述相反的 對(duì)于所述一個(gè)漏電極具有多個(gè)所述源電極的結(jié)構(gòu)。
按照該結(jié)構(gòu)，對(duì)于一個(gè)漏電極配置有多個(gè)源電極的結(jié)構(gòu)與對(duì)于一 個(gè)所述源電極配置多個(gè)漏電極的結(jié)構(gòu)相比，能夠減少溝道數(shù)目相同時(shí) 的漏電極的數(shù)目。因此，能夠抑制有源元件的源電極與漏電極之間的 寄生電容(Cgd)的像素電位的引入，所以能夠降低像素電極達(dá)到所希 望的有效電壓用的源極電壓，進(jìn)而能夠抑制電力消耗。
并且，從防止開(kāi)口率降低的觀點(diǎn)看，優(yōu)選對(duì)于一個(gè)驅(qū)動(dòng)區(qū)域設(shè)置 一個(gè)有源元件。并且，此處，驅(qū)動(dòng)區(qū)域相當(dāng)于像素或者副像素，以后 對(duì)副像素進(jìn)行說(shuō)明。
優(yōu)選有源矩陣襯底的特征在于，使所述有源元件的柵電極用導(dǎo)電 層至少?gòu)囊粋€(gè)導(dǎo)電層電分離，形成所述第二導(dǎo)電圖形部(修正用連接 電極)。
按照本結(jié)構(gòu)，第二導(dǎo)電圖形部(修正用連接電極)與薄膜晶體管 的柵電極能夠使用同一導(dǎo)電材料，所以，能夠簡(jiǎn)化、縮短步驟并且能 夠降低制造成本。
所述第二導(dǎo)電圖形部(修正用連接電極)優(yōu)選為以將保持電容布 線用導(dǎo)電層從至少一個(gè)導(dǎo)電層電隔離的方式形成。
按照本結(jié)構(gòu)，上述第二導(dǎo)電圖形部(修正用連接電極)與保持電容布線用導(dǎo)電層能夠使用同一導(dǎo)電材料，所以，能夠簡(jiǎn)化、縮短步驟 并且能夠降低制造成本。
在本發(fā)明的有源矩陣襯底中，也能夠作成為對(duì)于一個(gè)有源元件設(shè) 置多個(gè)所述第二導(dǎo)電圖形的結(jié)構(gòu)。
在只有一個(gè)第二導(dǎo)電圖形部(修正用連接電極)的結(jié)構(gòu)中，若分 支部(漏極引出布線分支部)或者第二導(dǎo)電圖形部本身斷線，不能進(jìn) 行缺陷像素的修正。但是，這樣通過(guò)對(duì)一個(gè)有源元件設(shè)置多個(gè)第二導(dǎo) 電圖形部，例如在分支部或者第二導(dǎo)電圖形部本身斷線時(shí)，也能夠?qū)?缺陷像素進(jìn)行修正。
此時(shí)，作為對(duì)一個(gè)有源元件設(shè)置3個(gè)以上的漏電極、并也設(shè)置3 個(gè)以上漏極布線分支部的結(jié)構(gòu)的優(yōu)選方式，作為多個(gè)第二導(dǎo)電圖形部， 具有包括設(shè)置為能夠與所有所述分支部電連接的第二導(dǎo)電圖形A部和 設(shè)置為能夠與2個(gè)以上的所述分支部電連接的第二導(dǎo)電圖形B部的結(jié) 構(gòu)。
這樣，在設(shè)置3個(gè)以上分支部的結(jié)構(gòu)中，包括設(shè)置成能夠與2個(gè) 以上的分支部電連接的第二導(dǎo)電圖形B部，由此，保持一定的冗余效 果，同時(shí)與將所設(shè)置的多個(gè)第二導(dǎo)電圖形部的全部作成能夠與所有分 支部電連接的第二導(dǎo)電圖形A部的結(jié)構(gòu)的情況相比，能夠提高開(kāi)口率。
此外，優(yōu)選為在設(shè)置第二導(dǎo)電圖形B部的情況下，具有與第一導(dǎo) 電圖形部的線長(zhǎng)最長(zhǎng)的分支部重疊的部分，該線長(zhǎng)最長(zhǎng)的分支部能夠 與其它的分支部電連接。
因?yàn)椴季€的線長(zhǎng)越長(zhǎng)越容易斷線，所以，第一導(dǎo)電圖形部中的2 個(gè)以上某個(gè)分支部中線長(zhǎng)最長(zhǎng)的分支部的斷線概率較高。這樣，以線 長(zhǎng)最長(zhǎng)的分支部能夠與其它分支部電連接的方式設(shè)置笫二導(dǎo)電圖形B 部，由此，能夠提高缺陷像素的修正概率。
所述有源矩陣襯底優(yōu)選為，像素由多個(gè)副像素構(gòu)成，對(duì)該多個(gè)副 像素的各個(gè)有源元件具有所述修正用連接電極。
"像素由多個(gè)副像素構(gòu)成"的意思是指具有像素被分割為2個(gè)以 上的副像素并且副像素電極被分別驅(qū)動(dòng)的所謂的多像素結(jié)構(gòu)。
由這樣的2個(gè)以上的副像素構(gòu)成像素的方式是在對(duì)缺陷像素進(jìn)行 修正的結(jié)構(gòu)中有利的方式。在大畫(huà)面、低分辨率的顯示裝置中，有源 元件的某個(gè)溝道泄漏成為像素缺陷的情況下，欲用其它正常的溝道對(duì)像素進(jìn)行正常驅(qū)動(dòng)，但是，因?yàn)橄袼剌^大，像素電容較大，若完全在 本像素內(nèi)對(duì)像素進(jìn)行修正，需要使有源元件較大，由于開(kāi)口率降低或 者有源元件的寄生電容增加而對(duì)顯示質(zhì)量產(chǎn)生影響。
按照本結(jié)構(gòu)，例如，在37英寸960 x 540位的顯示裝置的情況下， 1個(gè)像素尺寸為284,x 854Mm，但是，若由2個(gè)副像素構(gòu)成，1個(gè)像素 尺寸為其1/2，能夠抑制像素電容，所以，能夠在顯示質(zhì)量不會(huì)過(guò)于降 低的情況下進(jìn)行本像素內(nèi)修正。
此外，在應(yīng)用所述多像素結(jié)構(gòu)的情況下，優(yōu)選所述副像素中至少2 個(gè)的亮度彼此不同。按照該方式，1個(gè)像素內(nèi)存在較亮的副像素以及較 暗的副像素這二者，所以，能夠通過(guò)面積灰度(area gradation)表 現(xiàn)中間色調(diào)(middle tone)，適于改善液晶顯示器畫(huà)面的傾斜視角中 的白浮(brightness )。
并且，在應(yīng)用所述多像素結(jié)構(gòu)的情況下，本發(fā)明的有源矩陣襯底 設(shè)置2個(gè)以上施加有彼此為相反相位的信號(hào)電壓的保持電容下電極， 所述2個(gè)以上保持電容下電極優(yōu)選具有隔著絕緣層與分別對(duì)應(yīng)于不同 的副像素的保持電容上電極重疊的結(jié)構(gòu)。這樣的方式適用于形成較亮 的副像素以及較暗的副像素的情況。
并且，施加給2個(gè)以上的保持電容下電極的彼此相反相位的信號(hào) 電壓的意思是指在像素分割結(jié)構(gòu)的像素中為了操作面積灰度所使用的 Cs波形電壓，存在柵極信號(hào)截止后、進(jìn)行電容耦合時(shí)對(duì)于從源極供給 的漏極信號(hào)電壓(Vs)的上升有貢獻(xiàn)的Cs波形電壓(Cs極性為+ )和 對(duì)于Vs的下降有貢獻(xiàn)的Cs波形電壓(Cs極性為-)這兩種。
在這樣的像素分割法(面積灰度技術(shù))中，通過(guò)Cs波形電壓、Cs 電容以及液晶電容的電容耦合，按每個(gè)副像素來(lái)改變對(duì)像素的有效電 壓，形成明、暗的副像素，能夠?qū)@些實(shí)現(xiàn)多驅(qū)動(dòng)。在特開(kāi)2004-62146 號(hào)公報(bào)等中詳細(xì)地公開(kāi)了這樣的像素分割法(面積灰度技術(shù))。
并且，作為像素分割結(jié)構(gòu)，例如有較亮的副像素的面積與較暗的 副像素的面積相等的1: l像素分割結(jié)構(gòu)或者較亮的副像素的面積是較 暗的副像素的面積的1/3的1: 3像素分割結(jié)構(gòu)等。其中，1: 3像素分 割結(jié)構(gòu)應(yīng)對(duì)(改善視角)液晶顯示器畫(huà)面的傾斜視角中的白浮特別有 效。
通過(guò)這樣設(shè)置較亮的副像素和較暗的副像素，在較暗的副像素的有源元件中因溝道泄漏產(chǎn)生缺陷(副)像素時(shí)，與較亮的副像素相比 不容易作為缺陷，所以，只在較亮的像素中設(shè)置所述修正用連接電極 進(jìn)行缺陷像素修正，由此，能夠減少像素缺陷修正工序，并且能抑制 因所述修正用連接電極的開(kāi)口率的降低。
優(yōu)選所述第二導(dǎo)電圖形部(修正用連接電極)具有隔著絕緣層與 第一導(dǎo)電層的分支部(漏極引出布線分支部)重疊的部分的區(qū)域面積
為25nm2以上。
由此，在用釔鋁石榴石(YAG)激光器等對(duì)絕緣膜進(jìn)行熔融加工時(shí)， 能夠確保充分的激光照射區(qū)域，能夠提高所述第二導(dǎo)電圖形部(修正 用連接電極)與分支部(漏極引出布線分支部)的導(dǎo)通的可靠性。此 外，在考慮到光刻工序中的對(duì)準(zhǔn)偏差引起的重疊部分的區(qū)域面積的變 動(dòng)、照射激光時(shí)YAG激光器的照射光束直徑的寬度、照射激光后的第 二導(dǎo)電圖形部(膜)或者分支部的熔融處成為錐形的膜形狀的情況下， 優(yōu)選使所重疊的區(qū)域面積某種程度地增大，具體地說(shuō)，所重疊部分區(qū) 域的面積優(yōu)選為400^112以上
所述第二導(dǎo)電圖形部(修正用連接電極)優(yōu)選由包含Al、 Cr、 Ta、 Ti、 W、 Mo以及Cu中的至少一種的材料形成。由此，所述第二導(dǎo)電圖 形部以包括這些高熔點(diǎn)金屬的材料形成，所以，在以YAG激光器等進(jìn) 行熔融加工時(shí)，與ITO等透明導(dǎo)電膜相比較，能夠容易且可靠地對(duì)第 二導(dǎo)電圖形部和各種電極或者各種布線進(jìn)行導(dǎo)通。
所述第二導(dǎo)電圖形部(修正用連接電極)優(yōu)選具有與液晶分子的 取向控制用突起或者電極狹縫重疊的部分。形成在液晶顯示裝置的對(duì) 置電極或者有源矩陣襯底上的液晶分子的取向控制用突起或者電極狹 縫的形成區(qū)域通常是不作為透射區(qū)域(開(kāi)口部)起作用的區(qū)域，所以， 以與該區(qū)域重疊的方式配置所述第二導(dǎo)電圖形部，由此，能夠通過(guò)設(shè) 置第二導(dǎo)電圖形部來(lái)防止開(kāi)口率的降低。
因此，如上所述的"與液晶分子的取向控制用突起或者電極狹縫 重疊，，，可以是從襯底(液晶面板)面垂直方向觀察時(shí)與液晶分子的 取向控制用突起或者電極狹縫重復(fù)的結(jié)構(gòu)，除了液晶分子的取向控制 用突起或者電極狹縫設(shè)置在本發(fā)明的有源矩陣襯底上的情況外，也可 以是設(shè)置在與本發(fā)明的有源矩陣襯底相向的對(duì)置襯底上的情況。這樣 結(jié)構(gòu)的有源矩陣襯底能夠適用于MVA方式的液晶顯示裝置的液晶面板用襯底。
作為本發(fā)明的有源矩陣襯底的優(yōu)選方式，有在形成有取向控制用 突起或者電極狹縫的區(qū)域(非透射區(qū)域)內(nèi)配置所述修正用連接電極 的整體的方式。取向控制用突起例如由感光性樹(shù)脂等形成。作為取向 控制用突起以及電極狹縫的(從襯底面垂直方向觀察時(shí)的)平面形狀， 有以固定周期彎曲成鋸齒形的帶狀等形狀。
并且，在電極狹縫的下方從保持電容布線延伸而形成所述修正用 連接電極，由此，能夠提高電極狹縫引起的邊緣場(chǎng)效應(yīng)。
此外，在本發(fā)明的有源矩陣襯底中，優(yōu)選所述像素電極具有像素 電極材料被除去后的去除部，該去除部具有與所述分支部重疊的部分。
對(duì)缺陷像素進(jìn)行修正時(shí)，切斷分支部使其從漏電極上斷開(kāi)，或者 進(jìn)一步將所斷開(kāi)的分支部通過(guò)第二導(dǎo)電圖形部電連接到與正常溝道連 接的分支部上。但是，切斷分支部時(shí)或者使分支部與第二導(dǎo)電圖形部
導(dǎo)通時(shí)，位于分支部上層的像素電極和與源極/漏極之間產(chǎn)生泄漏(SD 泄漏)的溝道連接的分支部有時(shí)會(huì)泄漏。
與此相對(duì)，如上所述，在像素電極上設(shè)置所述分支部與除去了電 極材料后的去除部重疊的部分，在該部分，通過(guò)切斷分支部或者使分 支部與第二導(dǎo)電圖形部導(dǎo)通，能夠防止像素電極和與SD泄漏溝道連接
的分支部的泄漏的產(chǎn)生。
更具體地說(shuō)，通過(guò)與第二導(dǎo)電圖形部的配置位置對(duì)應(yīng)地設(shè)置像素 電極的去除部，能夠防止使分支部與第二導(dǎo)電圖形部導(dǎo)通時(shí)所產(chǎn)生的 像素電極和與SD泄漏溝道連接的分支部的泄漏的產(chǎn)生。
此外，通過(guò)對(duì)應(yīng)于切斷分支部時(shí)的切斷位置設(shè)置像素電極的去除 部，由此，能夠防止在切斷分支部時(shí)產(chǎn)生的像素電極和與所述源極/漏 極間產(chǎn)生泄漏的溝道連接的分支部的泄漏。
并且，作為進(jìn)一步優(yōu)選的方式，對(duì)應(yīng)于第二導(dǎo)電圖形部的配置位 置以及切斷分支部時(shí)的切斷位置設(shè)置去除部，由此，能夠進(jìn)一步有效 防止像素電極和與SD泄漏溝道連接的分支部的泄漏的產(chǎn)生。
此外，也能夠?qū)⑾袼仉姌O的去除部作為形成在像素電極上的液晶 分子的取向控制用電極狹縫的一部分。如上所述，在液晶顯示裝置中， 形成有取向控制用電極狹縫的區(qū)域是通常不作為透射區(qū)域(開(kāi)口部) 起作用的區(qū)域。因此，通過(guò)將這樣的取向控制用電極狹縫用作去除部，能夠通過(guò)設(shè)置去除部防止開(kāi)口率下降。
此外，在像素電極上設(shè)置這樣的去除部的結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選作成具有 對(duì)去除部進(jìn)行遮光的遮光膜的結(jié)構(gòu)。由此，能夠由去除部對(duì)液晶分子 的取向混亂的部分進(jìn)行遮光，能夠進(jìn)行良好的顯示。
并且，不限于有源矩陣襯底自身具有遮光膜的結(jié)構(gòu)，作為顯示裝 置，只要是從襯底(液晶面板)面垂直方向觀察時(shí)對(duì)去除部進(jìn)行遮光 即可，也可以是設(shè)置在與本發(fā)明的有源矩陣襯底對(duì)置的對(duì)置襯底上的 情況。
接著，對(duì)構(gòu)成本發(fā)明的有源矩陣襯底的各結(jié)構(gòu)部件進(jìn)行說(shuō)明。作 為上述襯底的材質(zhì)，可舉出玻璃、塑料等透明絕緣材料等。作為所述 信號(hào)線(掃描信號(hào)線、數(shù)據(jù)信號(hào)線)、柵電極、修正用連接電極以及
漏極引出布線的材質(zhì)，可舉出鈦(Ti )、鉻(Cr)、鋁(Al )、鉬(Mo)、 鉭(Ta)、鎢(W)、銅(Cu)等金屬膜、它們的合金膜、或者它們的 層疊膜等。作為信號(hào)線、柵電極、修正用連接電極以及漏極引出布線 的形成方法，可舉出以濺射法等對(duì)所述材料進(jìn)行成膜之后以光刻法等 形成圖形的方法等。
作為所述源電極以及漏電極的材質(zhì)，可舉出摻雜有磷等的n+非晶 硅等。作為形成源電極以及漏電極的方法，可舉出由等離子體CVD法 等對(duì)所述材料進(jìn)行成膜后通過(guò)干法刻蝕法等進(jìn)行源極、漏極分離來(lái)形 成的方法等。
并且，為了縮短制造工序以及降>(氐制造成本，優(yōu)選在同一工序分 別以同一材料形成掃描信號(hào)線和柵電極以及修正用連接電極、數(shù)據(jù)信 號(hào)線與漏極引出布線、以及源電極和漏電極。信號(hào)線、柵電極以及修 正用連接電極的厚度并不特別限定，但是，優(yōu)選下限大致為IOOOA、 上限大致為3000A，源電極以及漏電極的厚度優(yōu)選為500A左右。
作為所述像素電極的材質(zhì)，可舉出ITO、 IZO、氧化錫、氧化鋅等 透明的導(dǎo)電材料等。作為形成像素電極的方法，可舉出以賊射法等對(duì) 所述材料進(jìn)行成膜后以光刻法等形成圖形的方法等。作為像素電極的 形狀，可舉出矩形等。像素電極的厚度并不特別限定，但是，優(yōu)選下
限大致為ioooA、上限大致為2oooA。優(yōu)選像素電極和漏電極或者布
線部(漏極引出布線)通過(guò)形成在層間絕緣膜上的接觸孔等進(jìn)行連接。 作為本發(fā)明的有源矩陣襯底的優(yōu)選方式，例如可舉出從下層開(kāi)始以(1)襯底、(2)掃描信號(hào)線、柵電極、輔助電容布線以及第二導(dǎo) 電圖形部(修正用連接電極)、(3)(柵極)絕緣膜、(4)高電阻 半導(dǎo)體層、(5)源電極以及漏電極、(6)數(shù)據(jù)信號(hào)線以及布線部(漏 極引出布線)、(7)層間絕緣膜(包括接觸孔)、(8)像素電極的 順序進(jìn)行層疊的方式等。
此外，按照具有所述有源矩陣襯底而構(gòu)成的本發(fā)明的顯示裝置， 在產(chǎn)生像素缺陷時(shí)，能夠容易且可靠地進(jìn)行其修正，所以，能夠充分 降低像素缺陷而得到較高的顯示質(zhì)量，能夠以較高的成品率進(jìn)行制造。 這樣的本發(fā)明的顯示裝置能夠很好地適用于特別地要求抑制點(diǎn)缺陷的 產(chǎn)生的大型液晶TV等。
作為應(yīng)用本發(fā)明的液晶顯示裝置的優(yōu)選方式，可舉出液晶分子的 取向控制用突起或者電極狹縫設(shè)置在有源矩陣襯底以及/或者對(duì)置襯 底上的方式等。在這樣的方式中，能夠?qū)崿F(xiàn)寬視角化。
本發(fā)明是一種有源矩陣襯底的像素缺陷修正方法，在該有源矩陣 村底中，有源元件至少具有一個(gè)以上的源電極和兩個(gè)以上的漏電極并 且具有兩個(gè)以上的溝道，所述兩個(gè)以上的漏電極的至少一個(gè)通過(guò)布線 部與像素電極電連接，所述布線部具有第一導(dǎo)電圖形，其包括與像素 電極連接的共同部(漏極引出布線共同部)以及從該共同部與所述兩 個(gè)以上的漏電極的每一個(gè)對(duì)應(yīng)地分支出的分支部(漏極引出布線分支 部)，上述有源矩陣襯底還設(shè)有第二導(dǎo)電圖形部(修正用連接電極)， 其具有隔著絕緣層與所述第一導(dǎo)電圖形部的分支部重疊的部分，并且 通過(guò)將所述絕緣層貫通來(lái)進(jìn)行導(dǎo)通而能夠與所述多個(gè)分支部電連接， 其特征在于，對(duì)于存在像素缺陷的像素，在所述第二導(dǎo)電圖形部重疊 的部分和所述共同部之間切斷所述多個(gè)分支部中的至少一個(gè)。
按照該有源矩陣襯底的像素缺陷修正方法，例如，通過(guò)對(duì)與有源 元件的多個(gè)溝道中成為產(chǎn)生像素缺陷的原因的泄漏的溝道對(duì)應(yīng)的分支 部(漏極引出布線分支部)進(jìn)行切斷，能夠?qū)ο袼厝毕葸M(jìn)行修正。并 且，即使在分支部(漏極引出布線分支部)和數(shù)據(jù)信號(hào)線之間產(chǎn)生短 路(泄漏)等缺陷的情況下，通過(guò)切斷泄漏的分支部來(lái)電分離，由此 能夠?qū)ο袼厝毕葸M(jìn)行修正。
特別是，能夠適用于通過(guò)圖形外觀檢查等指定泄漏處的情況。
并且，本發(fā)明的像素缺陷修正方法的特征在于若通過(guò)切斷所述分支部(漏極引出布線分支部)未能對(duì)像素缺陷進(jìn)行修正，貫通所述 絕緣層使所述第二導(dǎo)電圖形部(修正用連接電極)導(dǎo)通來(lái)電連接所述 被切斷的分支部和其它的分支部，以使從所述被切斷的分支部的切斷 處電連接漏電極側(cè)和所述共同部，并且切斷所述被切斷的分支部以外 的其它分支部中的至少一個(gè)。
按照該有源矩陣襯底的像素缺陷修正方法，欲切斷與有源元件的 多個(gè)溝道中成為產(chǎn)生像素缺陷的原因的泄漏的溝道對(duì)應(yīng)的所述分支部 (漏極引出布線分支部)，但是，在不能夠通過(guò)圖形外觀檢查等指定 泄漏的溝道的情況下能有效地對(duì)像素缺陷進(jìn)行修正。例如，通過(guò)電檢 查等確認(rèn)是否通過(guò)切斷所述分支部(漏極引出布線分支部)來(lái)修正像 素缺陷，若沒(méi)有對(duì)像素缺陷進(jìn)行修正，則可通過(guò)所述修正方法對(duì)像素 缺陷進(jìn)行修正。
此外，所述像素缺陷修正方法優(yōu)選為，為了以貫通所述絕緣層來(lái) 使所述第二導(dǎo)電圖形部(修正用連接電極)導(dǎo)通，對(duì)所述第二導(dǎo)電圖 形部與所述分支部(漏極引出布線分支部)重疊的區(qū)域進(jìn)行激光照射， 使所述第二導(dǎo)電圖形部或者所述分支部的至少一個(gè)熔融。通過(guò)以這樣 的方法熔融，能夠容易且可靠地使所述第二導(dǎo)電圖形部與所述分支部 導(dǎo)通。
熔融中所使用的激光并不特別限定，但是，例如，可舉出YAG (Yttrium Aluminum Garnet:釔鋁石榴石)激光器的第二高次諧波(波 長(zhǎng)為532nm)等。
本發(fā)明是一種有源矩陣襯底的制造方法，在該有源矩陣襯底中， 有源元件至少具有一個(gè)以上的源電極和兩個(gè)以上的漏電極并且具有兩 個(gè)以上的溝道，所述兩個(gè)以上的漏電極的至少一個(gè)通過(guò)布線部與像素 電極電連接，所述布線部(漏極引出布線)具有第一導(dǎo)電圖形，其包 括與像素電極連接的共同部(漏極引出布線共同部)以及從該共同部 與所述兩個(gè)以上的漏電極的每一個(gè)對(duì)應(yīng)地分支出的分支部(漏極引出 布線分支部)，上述有源矩陣襯底還設(shè)有第二導(dǎo)電圖形部(修正用連 接電極)，其具有隔著絕緣層與所述第一導(dǎo)電圖形部的分支部重疊的 部分，并且通過(guò)將所述絕緣層貫通來(lái)進(jìn)行導(dǎo)通而能夠與所述多個(gè)分支 部電連接，其特征在于，對(duì)于存在像素缺陷的像素，在所述第二導(dǎo)電 圖形部重疊的部分和所述共同部之間切斷所述多個(gè)分支部中的至少一個(gè)，進(jìn)行像素缺陷的修正。
按照本發(fā)明的有源矩陣襯底的制造方法，可制造能夠充分抑制像 素缺陷的有源矩陣襯底。
優(yōu)選將保持電容布線用導(dǎo)電層從至少一個(gè)導(dǎo)電層上電分離，從而 形成所述第二導(dǎo)電圖形部(修正用連接電極)。
由此，所述第二導(dǎo)電圖形部(修正用連接電極)和保持電容布線 用導(dǎo)電層使用相同的導(dǎo)電材料，所以，能夠簡(jiǎn)化、縮短工序并且能夠 降低制造成本。
此外，在未產(chǎn)生像素缺陷的正常像素中，跟原來(lái)一樣，將保持電 容布線的延伸部作為保持電容元件的一部分，或者，實(shí)際應(yīng)用于邊緣 場(chǎng)效應(yīng)的提高。作為破壞分離保持電容布線的延伸部的一部分或者全
部的方法，優(yōu)選激光照射等，作為所使用的激光器，可舉出YAG激光 器等第四高次諧波(波長(zhǎng)為2"nm)等。
此外，按照使用所述像素缺陷修正方法的本發(fā)明的有源矩陣村底 的制造方法，能夠制造可充分抑制像素缺陷的有源矩陣襯底。
此外，按照使用所述像素缺陷修正方法或者有源矩陣襯底的制造 方法的本發(fā)明的顯示裝置的制造方法，能夠制造可充分抑制像素缺陷 的、具有較高顯示質(zhì)量的顯示裝置，能夠以較高的成品率進(jìn)行制造。
本發(fā)明的其它目的、特征以及優(yōu)點(diǎn)由以下所示的記載充分得知。 此外，本發(fā)明的優(yōu)勢(shì)能夠通過(guò)參照附圖的如下說(shuō)明可知。
圖1是表示實(shí)施方式1的有源矩陣襯底的一個(gè)像素的結(jié)構(gòu)的平面 示意圖。
圖2是表示實(shí)施方式1的有源矩陣襯底的一個(gè)像素的結(jié)構(gòu)的平面 示意圖。
圖3是表示實(shí)施方式1的有源矩陣村底的一個(gè)像素的結(jié)構(gòu)的平面 示意圖。
圖4是圖1所示的有源矩陣襯底的Al-A2橫剖面視圖。 圖5是圖1所示的有源矩陣襯底的B1-B2橫剖面視圖。 圖6是實(shí)施方式1的顯示裝置的結(jié)構(gòu)圖。 圖7是實(shí)施方式1的電視圖像接收機(jī)的結(jié)構(gòu)圖。圖8是表示實(shí)施方式2的有源矩陣襯底的一個(gè)像素的結(jié)構(gòu)的平面 示意圖。
圖9是表示實(shí)施方式2的有源矩陣襯底的一個(gè)像素的結(jié)構(gòu)的平面 示意圖。
圖IO是表示實(shí)施方式2的有源矩陣襯底的一個(gè)像素的結(jié)構(gòu)的平面 示意圖。
圖11是表示實(shí)施方式3的有源矩陣襯底的一個(gè)像素的結(jié)構(gòu)的平面 示意圖。
圖12是表示實(shí)施方式3的有源矩陣襯底的一個(gè)像素的結(jié)構(gòu)的平面 示意圖。
圖13是表示實(shí)施方式3的有源矩陣襯底的一個(gè)像素的結(jié)構(gòu)的平面 示意圖。
圖14是表示實(shí)施方式3的有源矩陣襯底的一個(gè)像素的結(jié)構(gòu)的平面 示意圖。
圖15是表示實(shí)施方式4的有源矩陣襯底的一個(gè)像素的結(jié)構(gòu)的平面 示意圖。
圖16是表示實(shí)施方式4的有源矩陣襯底的一個(gè)像素的結(jié)構(gòu)的平面 示意圖。
圖17是表示實(shí)施方式4的有源矩陣襯底的一個(gè)像素的結(jié)構(gòu)的平面 示意圖。
圖18是表示現(xiàn)有技術(shù)的有源矩陣襯底的一個(gè)像素的結(jié)構(gòu)的平面示 意圖。
圖19是表示實(shí)施方式5的有源矩陣襯底的一個(gè)像素的結(jié)構(gòu)的平面 示意圖。
圖20是表示實(shí)施方式5的另一有源矩陣襯底的一個(gè)像素的結(jié)構(gòu)的 平面示意圖。
圖21是表示圖19所示的有源矩陣襯底中的像素修正例的一個(gè)像 素的平面示意圖。
圖22是表示圖19所示的有源矩陣襯底的另一像素修正例的一個(gè) 像素的平面示意圖。
圖23是表示實(shí)施方式5的又另一有源矩陣襯底的一個(gè)像素的結(jié)構(gòu) 的平面示意圖。圖24是表示實(shí)施方式5的又另一有源矩陣襯底的一個(gè)像素的結(jié)構(gòu) 的平面示意圖。
圖25是表示實(shí)施方式6的有源矩陣村底的一個(gè)像素的結(jié)構(gòu)的平面 示意圖。
圖26是表示實(shí)施方式6的另一有源矩陣襯底的一個(gè)像素的結(jié)構(gòu)的 平面示意圖。
圖27是表示實(shí)施方式6的又另一有源矩陣襯底的一個(gè)像素的結(jié)構(gòu) 的平面示意圖。
圖28是表示實(shí)施方式6的又另一有源矩陣襯底的一個(gè)像素的結(jié)構(gòu) 的平面示意圖。
圖29是實(shí)施方式6的又另一有源矩陣襯底中，與所重疊的對(duì)置襯 底側(cè)的要部一起示出其一個(gè)像素的結(jié)構(gòu)的平面示意圖。
圖30是表示實(shí)施方式7的有源矩陣襯底的一個(gè)像素結(jié)構(gòu)的平面示 意圖。
具體實(shí)施例方式
以下，揭示具體實(shí)施方式
，并參照附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)"^兌明， 但本發(fā)明并不只限于這些實(shí)施方式。 實(shí)施方式1
以下，基于圖1至圖7對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式1進(jìn)行說(shuō)明。從圖1 至圖3是表示實(shí)施方式1的有源矩陣襯底100的一個(gè)像素的結(jié)構(gòu)的平 面示意圖。并且，圖l表示未實(shí)施像素缺陷修正的像素的結(jié)構(gòu)、圖2、 3表示對(duì)像素缺陷進(jìn)行修正后的像素的結(jié)構(gòu)。此外，圖4表示圖1的 A1-A2剖面結(jié)構(gòu)、圖5表示圖1的Bl-B2剖面結(jié)構(gòu)。圖6示出使用本實(shí) 施方式的有源矩陣襯底的顯示裝置的結(jié)構(gòu)、圖7示出使用圖6的顯示 裝置的電視圖像接收機(jī)的結(jié)構(gòu)。
如圖1至圖3所示，在有源矩陣襯底100上以矩陣形設(shè)置多個(gè)像 素電極l，通過(guò)這些像素電極1的周?chē)?，以相互交叉的方式設(shè)置供給掃 描信號(hào)用的各掃描信號(hào)線2、供給數(shù)據(jù)信號(hào)用的各數(shù)據(jù)信號(hào)線3。在這 些掃描信號(hào)線2與數(shù)據(jù)信號(hào)線3的交叉部分設(shè)置作為有源元件(開(kāi)關(guān) 元件)的TFT4。
作為有源元件的TFT4具有與掃描線2連接的柵電極5、與數(shù)據(jù)信號(hào)線3連接的源電極6、漏電極16a、 16b。并且，漏電極16a、 16b與 由構(gòu)成布線部的導(dǎo)電層構(gòu)成的作為第一導(dǎo)電圖形部的漏極引出布線 7a、 7b、 7d連接。該漏極引出布線具有作為共同部的漏極引出布線共 同部7d和分別對(duì)應(yīng)于漏電極16a、 16b分支出來(lái)的作為分支部的漏極 引出布線分支部7a、 7b。
漏極引出布線共同部7d通過(guò)接觸孔8與像素電極1連接。并且， 在本實(shí)施方式中，設(shè)置作為第二導(dǎo)電圖形部的修正用連接電極9，其分 別具有150,2的隔著絕緣層與漏極引出布線分支部7a、7b重疊的部分， 并由通過(guò)貫通絕緣層進(jìn)行導(dǎo)通、可與這些分支部7a、 7b的任意一個(gè)均 電連接的導(dǎo)電層構(gòu)成。
此處，圖1示出的是漏電極16a側(cè)以及漏電極16b側(cè)的任意一側(cè) 均不存在缺陷的像素，未實(shí)施像素缺陷修正。因此，在圖1所示的像 素中，修正用連接電極9不作為漏電極16a、 16b與像素電極l之間的 布線部起作用。
另外，TFT4由輸入到柵電極5中的掃描信號(hào)驅(qū)動(dòng)控制，對(duì)源電極 6輸入數(shù)字信號(hào)，由此，對(duì)像素電極1施加所希望的電壓。
接著，使用圖1、 4、 5對(duì)本實(shí)施方式的剖面結(jié)構(gòu)以及制造方法的 基礎(chǔ)部分進(jìn)行說(shuō)明。圖4是圖1所示的有源矩陣村底的Al-A2剖面示 意圖。圖5是圖1的Bl-B2剖面示意圖。如圖4、 5所示，在本實(shí)施方 式中，在玻璃、塑料等的透明絕緣襯底10上，設(shè)置與掃描信號(hào)線2連 接的柵電極5。以濺射法等方法以1000A~ 3000A的膜厚對(duì)鈦、鉻、鋁、 鉬、鉭、鴒、銅等金屬膜、它們的合金膜或者它們的層疊膜進(jìn)行成膜， 以光刻法等將其構(gòu)圖形成為所需形狀，由此形成掃描信號(hào)線2、柵電極 5。此外，在與形成掃描信號(hào)線2、柵電極5相同的工序中，形成修正 用連接電極9。這樣，通過(guò)在相同工序中形成，能夠縮短制造工序并降 低制造成本。修正用連接電極9以與后續(xù)工序中形成在上層的漏極引 出布線分支部7a、 7b重疊的方式形成。
并且，在本實(shí)施方式中，覆蓋掃描信號(hào)線2、柵電極5以及修正用 連接電極9的上方設(shè)置柵極絕緣膜11。柵極絕緣膜11由氮化硅或者氧 化硅等絕緣膜形成。在其上以與柵電極5重疊的方式設(shè)置由非晶硅或 者多晶硅等構(gòu)成的高電阻半導(dǎo)體層12，并且，設(shè)置作為源電極6以及 漏電極16a、 16b的、由摻雜有磷等雜質(zhì)的n+非晶硅等構(gòu)成的低電阻半導(dǎo)體層作為歐姆接觸層。這些氮化硅或者氧化硅等柵極絕緣膜11、非
晶硅等高電阻半導(dǎo)體層12、 iT非晶硅等低電阻半導(dǎo)體層6、 16a、 16b 分別通過(guò)等離子體CVD (化學(xué)氣相沉積)法等成膜，通過(guò)光刻法等進(jìn)行 構(gòu)圖形成。膜厚例如，作為柵極絕緣膜11的氮化硅膜為3000A~ 5000A 左右、作為高電阻半導(dǎo)體層l2的非晶硅膜為1000A~ 3000A左右、作 為低電阻半導(dǎo)體層6、 16a、 16b的n+非晶硅膜為400A 700A左右。
數(shù)據(jù)信號(hào)線3、漏極引出線布線分支部7a、 7b以及漏極引出布線 共同部7d由同一工序形成。以濺射法等方法以1000A~ 3000A的膜厚 對(duì)鈦、鉻、鋁、鉬、鉭、鎢、銅等金屬膜、它們的合金膜或者它們的 層疊膜進(jìn)行成膜，以光刻法等將其構(gòu)圖形成為所需形狀，由此形成數(shù) 據(jù)信號(hào)線3、漏極引出布線分支部7a、 7b以及漏極引出布線共同部7d。 以數(shù)據(jù)信號(hào)線3以及漏極引出布線分支部7a、 7b的圖形為掩模，通過(guò) 干法刻蝕對(duì)非晶硅膜等高電阻半導(dǎo)體層12、 n+非晶硅膜等低電阻半導(dǎo) 體層6、 16a、 16b進(jìn)行溝道刻蝕，由此形成TFT。
在本實(shí)施方式中，設(shè)置感光性丙稀樹(shù)脂等樹(shù)脂膜或者氮化硅、氧 化硅等無(wú)機(jī)絕緣膜或者它們的層疊膜等，作為層間絕緣膜13。作為層 疊膜，例如，能夠使用通過(guò)等離子體CVD法等成膜的2000A~ 5000A 左右膜厚的氮化硅膜和通過(guò)涂敷(die coating)法形成在該氮化硅膜 上的20000A- 40000A膜厚的感光性丙稀樹(shù)脂膜的層疊膜等。
在本實(shí)施方式中，貫通以覆蓋TFT、掃描信號(hào)線2、數(shù)據(jù)信號(hào)線3、 漏極引出布線分支部7a、 7b、漏極引出布線共同部7d的上部的方式形 成的層間絕緣膜13來(lái)形成接觸孔。例如，通過(guò)光刻法(曝光以及顯影) 對(duì)感光性丙稀樹(shù)脂進(jìn)行構(gòu)圖來(lái)形成接觸孔。
在本實(shí)施方式中，像素電極1形成在層間絕緣膜13的上層上，通 過(guò)濺射法等以IOOOA- 2000A左右的膜厚對(duì)例如ITO、 IZO、氧化鋅、 氧化錫等具有透明性的導(dǎo)電膜進(jìn)行成膜，以光刻法等將其構(gòu)圖形成為 所需形狀，從而形成像素電極l。
接著，對(duì)本實(shí)施方式中的像素缺陷修正進(jìn)行說(shuō)明。圖2所示的是 源電極6-漏電極16a之間的膜殘留缺陷99引起的泄漏等的漏電極16a 側(cè)存在缺陷的像素中實(shí)施像素缺陷修正的情況。作為該像素缺陷修正， 是在修正用連接電極9重疊的部分和漏極引出布線共同部7d之間的 97a處切斷漏極引出布線分支部7a。若在切斷分支部之前通過(guò)外觀檢查等判斷漏電極16a側(cè)或者漏電 極16b側(cè)的任意一側(cè)是否存在缺陷，就能夠進(jìn)行這樣的像素缺陷修正。 而且，通過(guò)電檢查等判斷為在漏電極16a側(cè)或者漏電極16b側(cè)的至少 任意一側(cè)存在缺陷的情況下，切斷一個(gè)分支部后再次進(jìn)行電檢查等， 若像素缺陷被消除，則成為如圖2所示的像素缺陷修正后的像素。并 且，詳細(xì)情況使用圖3進(jìn)行后述，但是，此處，在修正用連接電極9 重疊的部分和漏極引出布線共同部7d之間的97a處切斷漏極引出布線 分支部7a，所以在切斷分支部前未指定缺陷處，而漏電極16a側(cè)不存 在缺陷的情況下，能夠使用修正用連接電極9容易地使分支部7a與共 同部7d恢復(fù)導(dǎo)通。
如圖2所示，漏電極16a被電遮斷，漏電極16b通過(guò)漏極引出布 線分支部7b與漏極引出布線共同部7d電連接，并且，漏極引出布線 共同部7d通過(guò)接觸孔8與像素電極1連接。并且，在圖2所示的像素 中，修正用連接電極9不作為漏電極16b與像素電極1之間的布線部 起作用。
圖3示出的是由于源電極6-漏電極16b之間的膜殘留缺陷99引起 的泄漏等的漏電極16b側(cè)存在缺陷的像素中實(shí)施像素缺陷修正的情況。 在該像素缺陷修正中，在修正用連接電極9重疊的部分和漏極引出布 線共同部7d之間的97a處切斷漏極引出布線分支部7a,在修正用連接 電極9重疊的部分和漏電極16b之間的97b處切斷漏極引出布線分支 部7b，對(duì)于漏極引出布線分支部7a、 7b的任意一個(gè)，均在96a處貫通 介于中間的絕緣層使其導(dǎo)通并與修正用連接電極9電連接。
在以外觀檢查不能指定缺陷處，通過(guò)電檢查等判斷為漏電極16a 側(cè)或者漏電極16b側(cè)的至少任意一側(cè)存在缺陷時(shí)，切斷一個(gè)分支部后 再次進(jìn)行電檢查等之后的結(jié)果是未消除像素缺陷的情況下，實(shí)施這樣 的像素缺陷修正。在此情況下，因?yàn)橛锌赡茉谝亚袛嘁粋?cè)的漏電極側(cè) 不存在缺陷，所以對(duì)已切斷一側(cè)的分支部使用修正用連接電極恢復(fù)與 共同部的導(dǎo)通，切斷其它的分支部。
如圖3所示，漏電極16b被電遮斷，漏電極16a以經(jīng)由迂回路徑 95的方式通過(guò)漏極引出布線分支部7a、修正用連接電極9以及漏極引 出布線分支部7b與漏極引出布線共同部7d電連接。并且，漏極引出 布線共同部7d通過(guò)接觸孔8與像素電極1連接。在本實(shí)施方式中，為了進(jìn)行漏極引出布線分支部的分離，從襯底
的表面或者背面對(duì)切斷處97a、 97b通過(guò)照射激光來(lái)進(jìn)行破壞分離。作 為所使用的激光波長(zhǎng)，例如有YAG激光器的第四高次諧波(波長(zhǎng) 266nm)。另外，為了進(jìn)行漏極引出布線分支部與修正用連接電極的導(dǎo) 通，從襯底的表面或者背面對(duì)導(dǎo)通處96a照射激光。作為所使用的激 光波長(zhǎng)，例如有YAG激光器的第二高次諧波(波長(zhǎng)532nm)。
并且，在本實(shí)施方式中，如圖1~圖3所示，修正用連接電極9的 圖形形狀為四角形(四邊形)，但是，作為修正用連接電極9的圖形 形狀不限于此，也可以是三角形、半圓形、梯形等形狀。即，優(yōu)選為 修正用連接電極9的一部分隔著柵極絕緣膜以與漏極引出布線分支部 7a、 7b的圖形重疊的方式設(shè)置，并且，以至少確保激光照射用的區(qū)域 的方式來(lái)構(gòu)成，例如，可以構(gòu)成如圖3中以95表示的迂回路徑。另外， 修正用連接電極和漏極引出布線分支部的重疊部分的配置位置也并不 特別限定。
本實(shí)施方式的像素缺陷修正，至少是在形成像素電極之后進(jìn)行修 正，例如，在應(yīng)用于液晶顯示裝置中的情況下，為了可靠地電斷開(kāi)泄 漏的溝道、并形成迂回路徑，在形成能夠確認(rèn)面板點(diǎn)亮的液晶層之后 進(jìn)行修正為好。形成液晶層之后是指，貼合有源矩陣襯底和濾色片襯 底，注入、密封液晶，成為面板狀態(tài)。但是，并不限于此，在本實(shí)施 方式中，也可以在形成漏極引出布線7a、 7b、 "7d之后，在溝道刻蝕^ 進(jìn)行修正。
另外，圖6表示液晶顯示裝置的電路框圖。在圖6中，500是Y/C 分離電路、501是視頻色度電路、502是A/D轉(zhuǎn)換器、503是液晶控制 器、504是液晶面板、505是背光源驅(qū)動(dòng)電路、506是背光源、507是 微型計(jì)算機(jī)、508是灰度電路。液晶面板使用本實(shí)施方式的有源矩陣襯 底來(lái)構(gòu)成。
將電視信號(hào)的輸入圖像信號(hào)輸入到Y(jié)/C分離電路500中，分離為 亮度信號(hào)和色信號(hào)。亮度信號(hào)和色信號(hào)在視頻色度電路501中變換為 光的3原色R、 G、 B,并且，通過(guò)A/D轉(zhuǎn)換器502將該模擬RGB信號(hào)轉(zhuǎn) 換為數(shù)字RGB信號(hào)，并將其輸入到液晶控制器503中。
在液晶面板504中，以規(guī)定的定時(shí)輸入來(lái)自液晶控制器503的RGB 信號(hào)，并且，供給來(lái)自灰度電路508的RGB各自的灰度電壓，從而顯示圖像。包括這些處理，微型計(jì)算機(jī)507進(jìn)行整個(gè)系統(tǒng)的控制。
另外，能夠根據(jù)基于電視廣播的圖像信號(hào)、由照相機(jī)所拍攝的圖
像信號(hào)、通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)線路供給的圖像信號(hào)等各種圖像信號(hào)進(jìn)行顯示。 并且，在圖7所示的調(diào)諧器部600中接收電視廣播并輸出圖像信
號(hào)，在顯示裝置601中基于從調(diào)諧器部600輸出的圖像信號(hào)顯示影像 (圖像)。并且，作為顯示裝置，可應(yīng)用圖6所示的液晶顯示裝置，
但是，也可應(yīng)用有機(jī)EL顯示裝置等其它顯示裝置。此外，在本實(shí)施方
式中所示的顯示裝置以及電視圖像接收機(jī)也可應(yīng)用以下的實(shí)施方式2
到4中記載的有源矩陣襯底。 實(shí)施方式2
以下，基于圖8至圖IO對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式2進(jìn)行說(shuō)明。從圖8 至圖IO是表示實(shí)施方式2的有源矩陣襯底100的一個(gè)像素的結(jié)構(gòu)的平 面示意圖。并且，圖8表示未實(shí)施像素缺陷修正的像素的結(jié)構(gòu)、圖9、 10表示對(duì)像素缺陷進(jìn)行修正后的像素的結(jié)構(gòu)。
如圖8至圖IO所示，在有源矩陣襯底IOO上以矩陣形狀設(shè)置多個(gè) 像素電極l,通過(guò)這些像素電極1的周?chē)韵嗷ソ徊娴姆绞皆O(shè)置供給 掃描信號(hào)用的各掃描信號(hào)線2、供給數(shù)據(jù)信號(hào)用的各數(shù)據(jù)信號(hào)線3。在 這些掃描信號(hào)線2與數(shù)據(jù)信號(hào)線3的交叉部分設(shè)置作為有源元件(開(kāi) 關(guān)元件)的TFT4。
作為有源元件的TFT4具有與掃描線2連接的柵電極5、與數(shù)據(jù)信 號(hào)線3連接的源電極6、漏電極16a、 16b。并且，漏電極16a、 16b與 由構(gòu)成布線部的導(dǎo)電層構(gòu)成的作為第一導(dǎo)電圖形部的漏極引出布線 7a、 7b、 7d連接。該漏極引出布線具有漏極引出布線共同部7d和分別 對(duì)應(yīng)于漏電極16a、 16b分支出來(lái)的漏極引出布線分支部7a、 7b。
像素電極1通過(guò)保持電容元件的一個(gè)電極(保持電容上電極)21 以及接觸孔8與漏極引出布線共同部7d連接。保持電容布線22作為 該保持電容元件的另一個(gè)電極(保持電容下電極)起作用。并且，在 本實(shí)施方式中，設(shè)置修正用連接電極9，其分別具有150^1!112的隔著絕 緣層與漏極引出布線分支部7a、 7b重疊的部分，并由通過(guò)貫通絕緣層 進(jìn)行導(dǎo)通、可與這些分支部7a、 7b的任意一個(gè)均電連接的導(dǎo)電層構(gòu)成。
此處，圖8示出的是漏電極16a側(cè)以及漏電極16b側(cè)的任意一側(cè) 均不存在缺陷的像素，未實(shí)施像素缺陷修正。因此，在圖8所示的像素中，修正用連接電極9不作為漏電極16a、 16b與像素電極l之間的 布線部起作用。
另外，對(duì)于構(gòu)成本實(shí)施方式的有源矩陣襯底的剖面的部件，由于 與上述實(shí)施方式1的說(shuō)明重復(fù)，因此為了說(shuō)明上的方便而將其省略。
圖9所示的是由于源電極6-漏電極16a之間的膜殘留缺陷99引起 的泄漏等的漏電極16a側(cè)存在缺陷的像素中實(shí)施像素缺陷修正的情況。 在該像素缺陷修正中，在修正用連接電極9重疊的部分和漏極引出布 線共同部7d之間的97a處切斷漏極引出布線分支部7a。
若在切斷分支部之前通過(guò)外觀檢查等判斷漏電極16a側(cè)或者漏電 極16b側(cè)的任意一側(cè)是否存在缺陷，則可進(jìn)行這樣的像素缺陷修正。 并且，通過(guò)電檢查等判斷為漏電極16a側(cè)或者漏電極16b側(cè)的至少任 意一側(cè)存在缺陷時(shí)，切斷一個(gè)分支部后再次進(jìn)行電檢查等，若消除了 像素缺陷，成為如圖9所示的像素缺陷修正后的像素。并且，詳細(xì)情 況使用圖10進(jìn)行后述，但是，此處，在修正用連接電極9重疊的部分 和漏極引出布線共同部7d之間的97a處切斷漏極引出布線分支部7a, 所以在切斷分支部前未指定缺陷處，而漏電極16a側(cè)不存在缺陷的情 況下，能夠使用修正用連接電極9容易地使分支部7a與共同部7d恢 復(fù)導(dǎo)通。
如圖9所示，漏電極16a被電遮斷，漏電極16b通過(guò)漏極引出布 線分支部7b與漏極引出布線共同部7d電連接，并且，漏極引出布線 共同部7d通過(guò)接觸孔8與像素電極1連接。并且，在圖9所示的像素 中，修正用連接電極9不作為漏電極16b與像素電極1之間的布線部 起作用。
圖10示出的是由于源電極6-漏電極16b之間的膜殘留缺陷99引 起的泄漏等的漏電極16b側(cè)存在缺陷的像素中實(shí)施像素缺陷修正的情 況。在該像素缺陷修正中，在修正用連接電極9重疊的部分和漏極引 出布線共同部7d之間的97a處切斷漏極引出布線分支部7a,在修正用 連接電極9重疊的部分和漏電極16b之間的97b處切斷漏極引出布線 分支部7b，對(duì)于漏極引出布線分支部7a、 7b的任意一個(gè)，均在96a 處貫通介于中間的絕緣層使其導(dǎo)通并與修正用連接電極9電連接。
在以外觀檢查不能指定缺陷處、通過(guò)電檢查等判斷為漏電極16a 側(cè)或者漏電極16b側(cè)的至少任意一側(cè)存在缺陷時(shí)，切斷一個(gè)分支部后再次進(jìn)行電檢查等之后的結(jié)果是未消除像素缺陷的情況下，實(shí)施這樣 的像素缺陷修正。在此情況下，因?yàn)橛锌赡茉谝亚袛嘁粋?cè)的漏電極側(cè) 不存在缺陷，所以對(duì)已切斷一側(cè)的分支部使用修正用連接電極恢復(fù)與 共同部的導(dǎo)通，切斷其它的分支部。
如圖10所示，漏電極16b^皮電遮斷，漏電極16a以經(jīng)由迂回路徑 95的方式通過(guò)漏極引出布線分支部7a、修正用連接電極9以及漏極引 出布線分支部7b與漏極引出布線共同部7d電連接。并且，漏極引出 布線共同部7d通過(guò)保持電容元件的一個(gè)電極(保持電容上電極)21以 及接觸孔8與像素電極1連接。
在本實(shí)施方式中，為了進(jìn)行漏極引出布線分支部的分離，從襯底 的表面或者背面對(duì)切斷處97a、 97b通過(guò)照射激光來(lái)進(jìn)行破壞分離。作 為所使用的激光波長(zhǎng)，例如有YAG激光器的第四高次諧波(波長(zhǎng) 266mn)。另外，為了進(jìn)行漏極引出布線分支部與修正用連接電極的導(dǎo) 通，從村底的表面或者背面對(duì)導(dǎo)通處96a照射激光。作為所使用的激 光波長(zhǎng)，例如有YAG激光器的第二高次諧波(波長(zhǎng)532nm)。并且，在 本實(shí)施方式中，如圖8至圖10所示，修正用連接電極9的圖形形狀為 四角形(四邊形)，但是，作為修正用連接電極9的圖形形狀不限于 此，也可以是三角形、半圓形、梯形等形狀。即，優(yōu)選為修正用連接 電極9的一部分隔著柵極絕緣膜以與漏極引出布線分支部7a、 7b的圖 形重疊的方式設(shè)置，并且，以至少確保激光照射用的區(qū)域的方式來(lái)構(gòu) 成，例如，可以構(gòu)成如圖10中以95表，的迂回路徑。另外，4務(wù)正用 連接電極和漏極引出布線分支部的重疊部分的配置位置也并不特別限 定。
本實(shí)施方式的像素缺陷修正，至少是在形成像素電極之后進(jìn)行修 正，例如，在應(yīng)用于液晶顯示裝置中的情況下，為了可靠地電斷開(kāi)泄 漏的溝道、并形成迂回路徑，在形成能夠確認(rèn)面板點(diǎn)亮的液晶層之后 進(jìn)行修正為好。但是，并不限于此，在本實(shí)施方式中，也可以在形成 漏極引出布線7a、 7b、 7d之后，在溝道刻蝕后進(jìn)行修正。
實(shí)施方式3
以下，基于圖11至圖14對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式3進(jìn)行說(shuō)明。從圖 11至圖n是表示實(shí)施方式3的有源矩陣襯底100的一個(gè)像素的結(jié)構(gòu)的 平面示意圖。并且，圖ll表示未實(shí)施像素缺陷修正的像素的結(jié)構(gòu)、圖12、 13以及14表示對(duì)像素缺陷進(jìn)行修正后的像素的結(jié)構(gòu)。在圖ll至 圖14所示的結(jié)構(gòu)中，1個(gè)TFT具有兩個(gè)源電極6a、 6b以及三個(gè)漏電極 16a、 16b、 16c，兩個(gè)漏電極16a、 16b與源電極6a對(duì)應(yīng)、兩個(gè)漏電極 16b、 16c與源電極6b對(duì)應(yīng)。
如圖11至圖14所示，在有源矩陣襯底100上以矩陣形狀設(shè)置多 個(gè)像素電極l，通過(guò)這些像素電極l的周?chē)韵嗷ソ徊娴姆绞皆O(shè)置供 給掃描信號(hào)用的各掃描信號(hào)線2、供給數(shù)據(jù)信號(hào)用的各數(shù)據(jù)信號(hào)線3。 在這些掃描信號(hào)線2與數(shù)據(jù)信號(hào)線3的交叉部分設(shè)置作為有源元件(開(kāi) 關(guān)元件)的TFT4。
作為有源元件的TFT4具有與掃描線2連接的柵電極5、與數(shù)據(jù)信 號(hào)線3連接的源電極6a、 6b以及漏電極16a、 16b、 16c。并且，漏電 極16a、 16b、 16c與由構(gòu)成布線部的導(dǎo)電層構(gòu)成的作為第一導(dǎo)電圖形 部的漏極引出布線7a、 7b、 7c、 7d連接。該漏極引出布線具有漏極引 出布線共同部7d和分別對(duì)應(yīng)于漏電極16a、 16b、 16c分支出來(lái)的漏極 引出布線分支部7a、 7b、 7c。
像素電極1通過(guò)保持電容元件的一個(gè)電極(保持電容上電極)21 以及接觸孔8與漏極引出布線共同部7d連接。保持電容布線22作為 該保持電容元件的另一個(gè)電極(保持電容下電極)起作用。并且，在 本實(shí)施方式中，設(shè)置修正用連接電極9,其分別具有150^1112的隔著絕 緣層與漏極引出布線分支部7a、 7b、 7c重疊的部分，并由通過(guò)貫通絕 緣層進(jìn)行導(dǎo)通、可與這些分支部7a、 7b、 7c的任意一個(gè)均電連接的導(dǎo) 電層構(gòu)成。
圖11示出的是漏電極16a、 16b以及16c的任意一個(gè)均不存在缺 陷的像素，未實(shí)施像素缺陷修正。因此，在圖ll所示的像素中，修正 用連接電極9不作為漏電極16a、 16b、 16c與像素電極1之間的布線 部起作用。
另外，對(duì)于構(gòu)成本實(shí)施方式的有源矩陣襯底的剖面的部件，由于 與上述實(shí)施方式1的說(shuō)明重復(fù)，因此為了說(shuō)明上的方便而將其省略。
圖12所示的是由于源電極6a-漏電極16a之間的膜殘留缺陷99引 起的泄漏等的漏電極16a存在缺陷的像素中實(shí)施像素缺陷修正的情況。 在該像素缺陷修正中，在修正用連接電極9重疊的部分和漏極引出布 線共同部7d之間的97a處切斷漏極引出布線分支部7a。若在切斷分支部之前通過(guò)外觀檢查等判斷漏電極16a、漏電極16b、 漏電極16c的任意一個(gè)是否存在缺陷，則可進(jìn)行這樣的像素缺陷修正。 并且，通過(guò)電檢查等判斷為漏電極16a、 16b、 16c的至少任意一個(gè)上 存在缺陷時(shí)，切斷一個(gè)分支部后再次進(jìn)行電檢查等，若消除了像素缺 陷，成為如圖12所示的像素缺陷修正后的像素。并且，詳細(xì)情況使用 圖13以及圖14進(jìn)行后述，但是，此處，在修正用連接電極9重疊的 部分和漏極引出布線共同部7d之間的97a處切斷漏極引出布線分支部 7a，所以在切斷分支部前未指定缺陷處，而在漏電極16a不存在缺陷 的情況下，能夠使用修正用連接電極9容易地使分支部7a與共同部7d 恢復(fù)導(dǎo)通。
如圖12所示，漏電極16a被電遮斷，漏電極16b通過(guò)漏極引出布 線分支部7b與漏極引出布線共同部7d電連接，漏電極16c通過(guò)漏極 引出布線分支部7c與漏極引出布線共同部7d電連接，并且，像素電 極1通過(guò)保持電容元件的一個(gè)電極(保持電容上電極)21和接觸孔8 與漏極引出布線共同部7d連接。并且，在圖12所示的像素中，修正 用連接電極9不作為漏電極16b、 16c與像素電極1之間的布線部起作 用。
圖13示出的是由于源電極6b-漏電極16b之間的膜殘留缺陷99引 起的泄漏等的對(duì)于漏電極16b存在缺陷的像素中實(shí)施像素缺陷修正的 情況。在該像素缺陷修正中，在修正用連接電極9重疊的部分和漏極 引出布線共同部7d之間的97a處切斷漏極引出布線分支部7a,在修正 用連接電極9重疊的部分和漏極引出布線共同部7d之間的97b處切斷 漏極引出布線分支部7b，對(duì)于漏極引出布線分支部16a、 16c，在96a
處貫通介于中間的絕緣層使其導(dǎo)通并與修正用連接電極9電連接。
在以外觀檢查不能指定缺陷處，通過(guò)電檢查等判斷為對(duì)于漏電極 16a、 16b或者16c中的至少任意一個(gè)存在缺陷時(shí)，切斷一個(gè)分支部后 再次進(jìn)行電檢查等之后的結(jié)果是未消除像素缺陷的情況下，實(shí)施這樣 的像素缺陷修正。在此情況下，若對(duì)未切斷的兩個(gè)分支部中的一個(gè)進(jìn) 行切斷而能夠消除像素缺陷，則有可能對(duì)應(yīng)于先前已切斷的分支部的 漏電極不存在缺陷，所以對(duì)于先前已切斷的分支部使用修正用連接電 極恢復(fù)與共同部之間的導(dǎo)通。在圖13所示的例子中，即使首先在97a 處切斷分支部7a也未消除像素缺陷，所以進(jìn)一步在97b處切斷分支部7b時(shí)消除了像素缺陷，因此使用修正用連接電極9將分支部7a和分支 部7b電連接。
如圖13所示，漏電極16b凈皮電遮斷，漏電極16a以經(jīng)由迂回路徑 95的方式通過(guò)漏極引出布線分支部7a、修正用連接電極9以及漏極引 出布線分支部7c與漏極引出布線共同部7d電連接。并且，漏電極16c 通過(guò)漏極引出布線分支部7c與漏極引出布線共同部7d電連接。并且， 漏極引出布線共同部7d通過(guò)保持電容元件的一個(gè)電極(保持電容上電 極)21以及接觸孔8與像素電極1連接。
圖14示出的是由于源電極6b-漏電極16c之間的膜殘留缺陷99引 起的泄漏等的對(duì)于漏電極16c存在缺陷的像素中實(shí)施像素缺陷修正的 情況。在該像素缺陷修正中，在修正用連接電極9重疊的部分和漏極 引出布線共同部7d之間的97a處切斷漏極引出布線分支部7a，在修正 用連接電極9重疊的部分和漏極引出布線共同部7d之間的97b處切斷 漏極引出布線分支部7b，在修正用連接電極9重疊的部分和漏電極16c 之間的97c處切斷漏極引出布線分支部7c，對(duì)于漏極引出布線分支部 16a、 16b、 16c的任意一個(gè)，均在96a處貫通介于中間的絕緣層使其導(dǎo) 通并與修正用連接電極9電連接。
在以外觀檢查不能指定缺陷處，通過(guò)電檢查等判斷為漏電極16a、 16b或者16c中的至少任意一個(gè)存在缺陷時(shí)，切斷兩個(gè)分支部后再次進(jìn) 行電檢查等之后的結(jié)果是未消除像素缺陷的情況下，實(shí)施這樣的像素 缺陷修正。在此情況下，若對(duì)未切斷的兩個(gè)分支部中的一個(gè)進(jìn)行切斷 而未能消除像素缺陷，則有可能對(duì)應(yīng)于所切斷的分支部的兩個(gè)漏電極 不存在缺陷，所以對(duì)于所切斷的兩個(gè)分支部使用修正用連接電極恢復(fù) 與共同部的導(dǎo)通，并切斷剩余的一個(gè)分支部。在圖14所示的例子中， 即使首先在97a處切斷分支部7a也未消除像素缺陷，進(jìn)而在97b處切 斷分支部7b也未消除像素缺陷，因此，使用修正用連接電極9使分支 部7a、 7b與分支部7c電連接，在97c處切斷分支部7c。
如圖14所示，漏電極16c被電遮斷，漏電極16a以經(jīng)由迂回路徑 95的方式通過(guò)漏極引出布線分支部7a、修正用連接電極9以及漏極引 出布線分支部7c與漏極引出布線共同部7d電連接，漏電極16b通過(guò) 漏極引出布線分支部7b、修正用連接電極9以及漏極引出布線分支部 7c與漏極引出布線共同部7d電連接。并且，漏極引出布線共同部7d通過(guò)保持電容元件的一個(gè)電極(保持電容上電極)21以及接觸孔8與 像素電極1連接。
在本實(shí)施方式中，為了進(jìn)行漏極引出布線分支部的分離，從襯底 的表面或者背面對(duì)切斷處97a、 97b、 97c通過(guò)照射激光來(lái)進(jìn)行破壞分 離。作為所使用的激光波長(zhǎng)，例如有YAG激光器的第四高次諧波(波 長(zhǎng)266nm)。另外，為了進(jìn)行漏極引出布線分支部與修正用連接電極的 導(dǎo)通，從襯底的表面或者背面對(duì)導(dǎo)通處96a照射激光。作為所使用的 激光波長(zhǎng)，例如有YAG激光器的第二高次諧波(波長(zhǎng)532mn)。
并且，在本實(shí)施方式中，如圖11至圖14所示，修正用連接電極9 的圖形形狀為四角形(四邊形)，但是，作為修正用連接電極9的圖 形形狀不限于此，也可以是三角形、半圓形、梯形等形狀。即，優(yōu)選 為修正用連接電極9的一部分隔著柵極絕緣膜以與漏極引出布線分支 部7a、 7b、 7c的圖形重疊的方式設(shè)置，并且，以至少確保激光照射用 的區(qū)域的方式來(lái)構(gòu)成，例如，可以構(gòu)成如圖13、圖14中以95表示的 迂回路徑。另外，修正用連接電極和漏極引出布線分支部的重疊部分 的配置位置也并不特別限定。
本實(shí)施方式的像素缺陷修正，至少是在形成像素電極之后進(jìn)行修 正，例如，在應(yīng)用于液晶顯示裝置中的情況下，為了可靠地電斷開(kāi)泄 漏的溝道、并形成迂回路徑，在形成能夠確認(rèn)面板點(diǎn)亮的液晶層之后 進(jìn)行修正為好。但是，并不限于此，在本實(shí)施方式中，也可以在形成 漏極引出布線7a、 7b、 7c、 7d之后，在溝道刻蝕后進(jìn)朽"修正。在本實(shí) 施方式中，應(yīng)用于具有3個(gè)漏電極的TFT，但并不限于此，對(duì)于具有4 個(gè)以上的TFT也能夠以相同的方法進(jìn)行像素缺陷修正。
實(shí)施方式4
以下，基于圖15至圖17對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式4進(jìn)行說(shuō)明。圖15 是表示實(shí)施方式4的有源矩陣襯底100的一個(gè)像素的結(jié)構(gòu)的平面示意 圖。并且，圖15表示未實(shí)施像素缺陷修正的像素的結(jié)構(gòu)、圖16以及 圖17表示對(duì)像素缺陷進(jìn)行修正后的像素的結(jié)構(gòu)。
如圖15至圖17所示，本實(shí)施方式的有源矩陣襯底中，像素被分 割為多個(gè)副像素，副像素電極la、 lb分別與各個(gè)TFT4a、 4b連接，成 為所謂的多像素結(jié)構(gòu)。在有源矩陣襯底100上以矩陣形狀設(shè)置多個(gè)副 像素電極la、 lb，通過(guò)這些副像素電極la、 lb的周?chē)韵嗷ソ徊娴姆绞皆O(shè)置供給掃描信號(hào)用的各掃描信號(hào)線2和供給數(shù)據(jù)信號(hào)用的各數(shù) 據(jù)信號(hào)線3。在這些掃描信號(hào)線2與數(shù)據(jù)信號(hào)線3的交叉部分設(shè)置分別 與副像素電極la、 lb連接的作為開(kāi)關(guān)元件的TFT4a、 4b。該TFT4a、 4b為T(mén)FT on GATE (TFT on gate)結(jié)構(gòu)，掃描信號(hào)線2兼用做柵電極， 所以具有提高開(kāi)口率的效果。
作為有源元件的TFT4a、 4b具有柵電極、與數(shù)據(jù)信號(hào)線3連接的 源電極6、漏電極16a、 16b。并且，漏電極16a、 16b與由構(gòu)成布線部 的導(dǎo)電層構(gòu)成的作為第一導(dǎo)電圖形部的漏極引出布線7a、 7b、 7d連接。 該漏極引出布線具有漏極引出布線共同部7d和分別對(duì)應(yīng)于漏電極 16a、 16b分支出來(lái)的漏極引出布線分支部7a、 7b。副像素電極la、 lb 分別通過(guò)保持電容元件的一個(gè)電極(保持電容上電極)21以及接觸孔 8與漏極引出布線共同部7d連接。保持電容布線22起到該保持電容元 件的另一電極(保持電容下電極)的作用。并且，在本實(shí)施方式中， 設(shè)置電極9a，其具有150nm2的與漏極引出布線分支部7a、 7b重疊的 部分，并由通過(guò)貫通絕緣層進(jìn)行導(dǎo)通、可與這些分支部7a、 7b的任意 一個(gè)均電連接的導(dǎo)電層構(gòu)成。
另外，在本實(shí)施方式中，與保持電容布線22連接的電極9a以與 有源矩陣村底的(副)像素電極狹縫30重疊的方式配置。
有源矩陣村底的像素電極狹縫30是，在大型液晶TV等中所使用 的MVA方式的垂直取向型液晶顯示裝置中，形成在襯底上的液晶分割 取向控制用的電極圖形。
在本實(shí)施方式中，通過(guò)在像素電極狹縫30的下方設(shè)置與像素電極 不同電位的電極9a(是保持電容布線22的延伸部，也可成為修正用連 接電極)，可更有效地體現(xiàn)像素電極狹縫30的邊緣場(chǎng)效應(yīng)，提高液晶 取向控制力。并且，其詳細(xì)情況后述，但是，電極9a的一部分至少?gòu)?一個(gè)相同的導(dǎo)電層上與保持電容布線22電分離，能夠起到修正用連接 電極的作用。
另外，在對(duì)于開(kāi)口率沒(méi)有貢獻(xiàn)的像素電極狹縫30的下方形成電極 9a,由此不會(huì)重新降低開(kāi)口率。
另外，對(duì)于構(gòu)成本實(shí)施方式的有源矩陣襯底的剖面的部件，由于 與上述實(shí)施方式1的說(shuō)明重復(fù)，所以為說(shuō)明上的方便而省略其說(shuō)明。
此外，在本實(shí)施方式中，以與有源矩陣襯底的(副)像素電極狹縫30重疊的方式配置從保持電容布線22延伸的電極9a。
有源矩陣襯底的像素電極狹縫30是，在大型液晶TV等中所使用
的MVA方式的垂直取向型液晶顯示裝置中，形成在襯底上的液晶分割
取向控制用的電極圖形。
另外，電極9a的圖形形狀并不特別限定于圖15至圖17所示的形
狀，可以根據(jù)像素電極狹縫30的形狀或者保持電容布線22的圖形適
當(dāng)進(jìn)行調(diào)整。
而且，不需要將電極9a的全部圖形收納在像素電極狹縫30的區(qū) 域內(nèi)，例如，對(duì)分別配置在形成于像素內(nèi)的多個(gè)像素電極狹縫30下的 電極彼此進(jìn)行連接的布線等可以設(shè)置在像素電極狹縫30下方以外處。
此外，在本實(shí)施方式中，在MAV方式的垂直取向型液晶顯示裝置 中使形成在襯底上的液晶分割取向控制用的狹縫電極圖形與電極(保 持電容布線的延伸部)重疊，但是并不限于此，即使與形成在襯底上 的分割取向控制用突起重疊，也能起到抑制開(kāi)口率降低的效果。
另外，TFT4a、 4b由輸入到柵電極5的掃描信號(hào)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，通 過(guò)對(duì)TFT4a、 4b的源電極6輸入數(shù)據(jù)信號(hào)，對(duì)各個(gè)副像素電極la、 lb 施加所希望的電壓。并且，對(duì)起到各個(gè)副像素的保持電容下電極作用 的保持電容布線22施加相位相互不同的信號(hào)(像素分割法)。施加給 該保持電容下電極的信號(hào)通過(guò)使形成一個(gè)像素的各個(gè)副像素的亮度不 同，達(dá)到提高視角特性的效果(應(yīng)對(duì)傾斜視角中的白浮)。
圖15所示的是對(duì)于漏電極16a側(cè)以及漏電極16b側(cè)的任意一側(cè)均 不存在缺陷的像素中未實(shí)施像素缺陷修正的情況。因此，在圖15所示 的像素中，電極9a不作為漏電極16a、 16b與像素電極1之間的布線 部起作用。此外，因?yàn)椴恍枰鸬讲季€部的作用，所以電極9a的能夠 起到修正用連接電極作用的部分不從保持電容布線22上電分離。
圖16所示的是在與副像素lb連接的TFT4b中、由于源電極6-漏 電極16a之間的膜殘留缺陷99引起的泄漏等的漏電極16a側(cè)存在缺陷 的像素中實(shí)施像素缺陷修正的情況。在該像素缺陷修正中，在電極9a 重疊的部分和漏極引出布線共同部7d之間的97a處切斷漏極引出布線 分支部7a。
若在切斷分支部之前通過(guò)外觀檢查等判斷漏電極16a側(cè)或者漏電 極16b側(cè)的任意一側(cè)是否存在缺陷，則可進(jìn)行這樣的像素缺陷修正。并且，通過(guò)電檢查等判斷為漏電極16a側(cè)或者漏電極16b側(cè)的至少任 意一側(cè)存在缺陷時(shí)，切斷一個(gè)分支部后再次進(jìn)行電檢查等，若消除了 像素缺陷，成為如圖16所示的像素缺陷修正后的像素。并且，詳細(xì)情 況使用圖17進(jìn)行后述，但是，此處，在電極9a重疊的部分和漏極引 出布線共同部7d之間的97a處切斷漏極引出布線分支部7a，所以在切 斷分支部前未指定缺陷處，而漏電極16a側(cè)不存在缺陷的情況下，能 夠使用電極9a的一部分容易地使分支部7a與共同部7d恢復(fù)導(dǎo)通。
如圖16所示，在副像素lb中，漏電極16a被電遮斷，漏電極16b 通過(guò)漏極引出布線分支部7b與漏極引出布線共同部7d電連接，并且， 漏極引出布線共同部7d通過(guò)接觸孔8與副像素電極lb連接。并且， 在圖16所示的副像素lb中，電極9a不作為漏電極16b與副像素電極 lb之間的布線部起作用。此外，因?yàn)椴恍枰鸬讲季€部的作用，所以 電極9a的能夠起到修正用電極作用的部分不從保持電容布線22上電 分離。
圖17所示的是在與副像素lb連接的TFT4b中、由于源電極6-漏 電極16b之間的膜殘留缺陷99引起的泄漏等的漏電極16b側(cè)存在缺陷 的像素中實(shí)施像素缺陷修正的情況。在該像素缺陷修正中，在電極9a 重疊的部分和漏極引出布線共同部7d之間的97a處切斷漏極引出布線 分支部7a，在電極9a重疊的部分和漏電極16b之間的97b處切斷漏極 引出布線分支部7b，為使電極9a的一部分從保持電容布線22上電分 離而在120處進(jìn)行切斷，對(duì)于漏極引出布線分支部16a、 16b的任意一 個(gè)，均在96a處使介于中間的絕緣層貫通并進(jìn)行導(dǎo)通來(lái)與電極9a的電 分離部分電連接。
在以外觀檢查不能指定缺陷處，通過(guò)電檢查等判斷為漏電極16a 側(cè)或者漏電極16b側(cè)的至少任意一側(cè)存在缺陷時(shí)，切斷一個(gè)分支部后 再次進(jìn)行電檢查等之后的結(jié)果是未消除像素缺陷的情況下，實(shí)施這樣 的像素缺陷修正。在此情況下，因?yàn)橛锌赡茉谝亚袛嘁粋?cè)的漏電極側(cè) 不存在缺陷，所以對(duì)已切斷一側(cè)的分支部使用修正用電極恢復(fù)與共同 部的導(dǎo)通，切斷其它的分支部。
如圖17所示，在副像素lb中，漏電極16b被電遮斷，漏電極16a 以經(jīng)由迂回路徑95的方式通過(guò)漏極引出布線分支部7a、 4務(wù)正用電極 9a以及漏極引出布線分支部7b與漏極引出布線共同部電連接。并且，漏極引出布線共同部7d通過(guò)保持電容元件的一個(gè)電極(保持電容上電 極)21以及接觸孔8與副像素電極lb連接。
在本實(shí)施方式中，為了進(jìn)行漏極引出布線分支部的分離，從襯底 的表面或者背面對(duì)切斷處97a、 97b以及120通過(guò)照射激光來(lái)進(jìn)行破壞 分離。作為所使用的激光波長(zhǎng)，例如有YAG激光器的第四高次諧波(波 長(zhǎng)266mn)。另外，為了進(jìn)行漏極引出布線分支部與修正用連接電極的 導(dǎo)通，從襯底的表面或者背面對(duì)導(dǎo)通處96a照射激光。作為所使用的 激光波長(zhǎng)，例如有YAG激光器的第二高次諧波(波長(zhǎng)532nm)。
并且，能夠在本像素內(nèi)對(duì)缺陷進(jìn)行修正的本發(fā)明，能夠抑制作為 不同亮度的副像素的功能下降，所以，能夠抑制多像素驅(qū)動(dòng)的視角特 性提高效果的下降。
在本實(shí)施方式中，對(duì)于副像素lb為像素缺陷的場(chǎng)合進(jìn)行了應(yīng)用， 但是，對(duì)于副像素la為像素缺陷的場(chǎng)合也同樣能夠應(yīng)用。
此外，在本實(shí)施方式中采用了一個(gè)像素由兩個(gè)副像素構(gòu)成的多像 素結(jié)構(gòu)，但是，也可以是由三個(gè)以上副像素構(gòu)成的結(jié)構(gòu)。
本實(shí)施方式是多像素結(jié)構(gòu)且MVA結(jié)構(gòu)，但并不限于此，也可應(yīng)用 于不具有多像素結(jié)構(gòu)的MVA方式或者不是MVA方式的多像素驅(qū)動(dòng)中。
并且，本發(fā)明并不限定于液晶顯示裝置，例如，也可以是以如下 方式構(gòu)成的有機(jī)EL顯示裝置配置濾色片襯底并以與濾色片襯底對(duì)置 的方式配置本發(fā)明的有源矩陣襯底，在這些襯底與襯底之間配置有機(jī) EL層來(lái)作成有機(jī)EL面板，在面板的外部引出端子上連接驅(qū)動(dòng)器等。此 外，即使是液晶顯示裝置或者有機(jī)EL顯示裝置以外的裝置，只要是由 有源矩陣襯底構(gòu)成的顯示裝置，就可以應(yīng)用本發(fā)明。
實(shí)施方式5
以下，基于圖19至圖24對(duì)本發(fā)明的其它實(shí)施方式即實(shí)施方式5 進(jìn)行說(shuō)明。為說(shuō)明上的方便，對(duì)具有與所述實(shí)施方式1~4中使用的部 件相同功能的部件付以相同符號(hào)并省略其說(shuō)明。
本實(shí)施方式的有源矩陣襯底與在實(shí)施方式2、 3中所說(shuō)明的圖8、 圖11所示的有源矩陣襯底100不同點(diǎn)在于，對(duì)于一個(gè)作為有源元件的 TFT4所設(shè)置的修正用連接電極9的條數(shù)；在實(shí)施方式5中，對(duì)于一個(gè) TFT4設(shè)置多條修正用連接電極9。并且，不同點(diǎn)^5l在于此。
在圖19所示的有源矩陣襯底100的結(jié)構(gòu)中，具有實(shí)施方式2中的圖8所示的兩個(gè)漏電極16a、 16b，這些漏電極16a、 16b與漏極引出布 線分支部7a、 7b連接，漏極引出布線共同部7d通過(guò)接觸孔8與像素 電極1連接。并且，在圖8所示的有源矩陣襯底100中，作為第二導(dǎo) 電圖形部的修正用連接電極9以在接近漏極引出布線共同部7d的部分 只有一條并橫穿漏極引出布線分支部7a、 7b的方式來(lái)配置。與此相對(duì)， 在圖19所示的有源矩陣襯底100中，在接近漏極引出布線共同部7d 的部分和接近TFT4的部分，兩條修正用連接電極9a、 9b以橫穿漏極 引出布線分支部7a、 7b的方式來(lái)配置。
此外，在圖20所示的有源矩陣襯底100的結(jié)構(gòu)中，具有實(shí)施方式 3中的圖11所示的三個(gè)漏電極16a、 16b、 16c，這些漏電極16a、 16b、 16c與漏極引出布線分支部7a、 7b、 7c連接，漏極引出布線共同部7d 通過(guò)接觸孔8與像素電極1連接。并且，在圖11所示的有源矩陣襯底 100中，作為第二導(dǎo)電圖形部的修正用連接電極9以在接近漏極引出布 線共同部7d的部分只有一條并橫穿漏極引出布線分支部7a、 7b、 7c 的方式來(lái)配置。與此相對(duì)，在圖20所示的有源矩陣襯底100中，在接 近漏極引出布線共同部7d的部分和接近TFT4的部分，兩條修正用連 接電極9a、 9b以壽黃穿漏極引出布線分支部7a、 7b、 7c的方式來(lái)配置。
這樣，通過(guò)將對(duì)于一個(gè)TFT4設(shè)置的修正用連接電極9的條數(shù)設(shè)為 多條，能夠提高缺陷像素的修正概率。
也就是說(shuō)，若以圖8所示的有源矩陣襯底100為例進(jìn)行說(shuō)明，在 修正用連接電極9只有一條的結(jié)構(gòu)中，如圖21所示，如果漏極引出布 線分支部7a (或者7b)成為斷線80,或者，如圖22所示，修正用連 接電極9a本身成為斷線81，則不能進(jìn)行缺陷像素的修正。
但是，如圖19或者圖20所示的有源矩陣襯底100那樣，作為修 正用連接電極9a、 9b，對(duì)一個(gè)TFT4設(shè)置多個(gè)修正用連接電極，由此， 即使漏極引出布線分支部7a (或者7b)成為斷線80、或者修正用連接 電極9a成為斷線81，也能夠使用另外的修正用連接電極9b進(jìn)行缺陷 像素的修正。
此外，這樣在對(duì)一個(gè)TFT4設(shè)置多個(gè)修正用連接電極9a、 9b的結(jié) 構(gòu)中，修正用連接電極9a、 9b的間隔較寬為好，優(yōu)選為如圖19、 20 所示那樣，在接近漏極引出布線共同部7d的部分和接近TFT4的部分 分開(kāi)設(shè)置。這是因?yàn)?，?dāng)發(fā)生如圖21所示那樣的漏極引出布線分支部7a (或者7b)的斷線80時(shí)，在修正用連接電極9a、 9b這兩條都配置 在接近TFT4附近的部分的結(jié)構(gòu)中，就不能對(duì)缺陷像素進(jìn)行修正。
另外，對(duì)于一個(gè)TFT4設(shè)置的修正用連接電極9的條數(shù)越多，在產(chǎn) 生上述的斷線80、 81的情況下，可修正缺陷像素的可能性也越高，但 是，修正用連接電極9的條數(shù)越多，開(kāi)口率也下降。因此，可以考慮 開(kāi)口率和產(chǎn)生斷線80、 81的容易度來(lái)設(shè)定修正用連接電極9的條數(shù)。
接著，使用圖23、圖24就即使針對(duì)一個(gè)TFT4設(shè)置多條修正用連 接電極9也能夠抑制開(kāi)口率下降的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。
圖23、圖24中所示的有源矩陣襯底100，均與圖20的有源矩陣 襯底100相同，都是具有三個(gè)漏電極16a、 16b、 16c的類(lèi)型，其中， 設(shè)置了兩條修正用連接電極9。不同點(diǎn)在于，在圖20的有源矩陣襯底 100中，兩條修正用連接電極9a、 9b都以橫穿相當(dāng)于所設(shè)置的全部漏 極引出布線分支部的三條漏極引出布線分支部7a、 7b、 7c的方式設(shè)置。
與此相對(duì)，在圖23、圖24所示的有源矩陣村底100中，兩條中的 一條修正用連接電極9a以橫穿全部三條漏極引出布線分支部7a、 7b、 7c的方式設(shè)置(第二導(dǎo)電圖形A部)，但是，另一條修正用連接電極 9B以橫穿所設(shè)置的所有漏極引出布線分支部中的兩條以上的一部分漏 極引出布線的方式來(lái)設(shè)置(第二導(dǎo)電圖形B部)。
詳細(xì)地說(shuō)，在圖23所示的有源矩陣襯底100中，修正用連接電極 9B以橫穿漏極引出布線分支部7a、 7b的方式設(shè)置，在圖24所示的有 源矩陣襯底100中，修正用連接電極9B以橫穿漏極引出布線分支部7b、 7c的方式設(shè)置。
這樣，在設(shè)置三條以上漏極引出布線分支部的結(jié)構(gòu)中，通過(guò)包括 以能夠電連接多個(gè)漏極引出布線分支部中的一部分漏極引出布線分支 部之間所設(shè)置的修正用連接電極9B，能夠保持一定的冗余效果同時(shí)提
高開(kāi)口率。
此外，在設(shè)置以能夠電連接多個(gè)漏極引出布線分支部中的一部分 漏極引出布線分支部之間所設(shè)置的修正用連接電極9B的情況下，優(yōu)選 以具有與漏極引出布線分支部中的線長(zhǎng)最長(zhǎng)部分重疊的部分，以該線
長(zhǎng)最長(zhǎng)的漏極引出布線分支部能夠與其它的漏極引出布線分支部電連 接的方式設(shè)置。
這是因?yàn)?，布線其線長(zhǎng)越長(zhǎng)越容易斷線，在圖23、圖24的有源矩陣襯底100的結(jié)構(gòu)中，漏極引出布線分支部7c最容易斷線。即，以橫 穿線長(zhǎng)最長(zhǎng)的漏極引出布線分支部7c與漏極引出布線分支部7b的方 式設(shè)置修正用連接電極9B的圖24所示的有源矩陣襯底100比圖23所 示的有源矩陣襯底100的缺陷像素的修正概率高。 實(shí)施方式6
以下，基于圖25至圖29對(duì)本發(fā)明的其它實(shí)施方式即實(shí)施方式6 進(jìn)行說(shuō)明。為說(shuō)明上的方便，對(duì)具有與所述實(shí)施方式1 ~ 5中使用的部 件相同功能的部件付以相同符號(hào)并省略其說(shuō)明。
本實(shí)施方式的有源矩陣村底與在實(shí)施方式2中所說(shuō)明的圖8所示 的有源矩陣襯底100不同點(diǎn)在于，像素電極1具有除去了作為像素電 極材料的IT0后的去除部83，該去除部83具有與漏極引出布線分支部 7a、 7b重疊的部分。并且，不同點(diǎn)僅在于此。
對(duì)缺陷像素進(jìn)行修正時(shí)，切斷漏極引出布線分支部7a(或者7b), 從漏電極16a (或16b)上斷開(kāi)，并且，通過(guò)修正用連接電極9使所斷 開(kāi)的漏極引出布線分支部7a (或者7b)進(jìn)一步與連接到正常溝道上的 漏極引出布線分支部7b (或者7a)電連接，但是，此時(shí)位于上層的像 素電極1和與在源極/漏極間產(chǎn)生泄漏(SD泄漏)的溝道連接的漏極引 出布線分支部7a (或7b)可能產(chǎn)生泄漏。
與此相對(duì)，在圖25、圖27、圖28所示的有源矩陣襯底100中， 像素電極1具有除去了作為像素電極材料的ITO后的去除部83,該去 除部83具有與漏極引出布線分支部7a、 7b重疊的部分。
詳細(xì)地說(shuō)，在圖25的結(jié)構(gòu)中，對(duì)應(yīng)于修正用連接電極9的配置位 置設(shè)置去除部83。由此，使漏極引出布線分支部7a、 7b與修正用連接 電極9導(dǎo)通時(shí)，能夠防止像素電極1和與SD泄漏溝道連接的漏極引出 布線分支部7a (或者7b)的泄漏的產(chǎn)生。
此外，在圖26的結(jié)構(gòu)中，對(duì)應(yīng)于在切斷漏極引出布線分支部7a、 7b時(shí)的切斷位置設(shè)置去除部83。由此，在切斷漏極引出布線分支部7a、 7b時(shí)，能夠防止像素電極l和與SD泄漏溝道連接的漏極引出布線分支 部7a (或者7b)的泄漏的產(chǎn)生。
并且，在圖27的結(jié)構(gòu)中，由于對(duì)應(yīng)于修正用連接電極9的配置位 置以及漏極引出布線分支部7a、7b的各切斷位置設(shè)置去除部83，因此， 即使在使漏極引出布線分支部7a、 7b和修正用連接電極9導(dǎo)通時(shí)、在切斷漏極引出布線分支部7a、 7b時(shí)，都能防止像素電極l和與SD泄 漏溝道連接的漏極引出布線分支部7a (或者7b)產(chǎn)生泄漏。
此外，所述去除部83也可以作成形成在像素電極1上的所述液晶 分子的取向控制用電極狹縫30的一部分。如實(shí)施方式4中所說(shuō)明的那 樣，在液晶顯示裝置中，形成有取向控制用電極狹縫30的區(qū)域通常是 不作為透射區(qū)域(開(kāi)口部)起作用的區(qū)域。因此，通過(guò)將這樣的取向 控制用電極狹縫30用作去除部83，能夠防止因設(shè)置去除部83而開(kāi)口
率下降。
圖28表示將取向控制用電極狹縫30用作去除部83的有源矩陣襯 底的結(jié)構(gòu)。如圖28所示，由于將取向控制用電極狹縫30作為去除部 83利用，所以激光照射處97a、 97b沿狹縫形狀傾斜。
但是，由于去除部83使液晶分子的取向混亂，因此如圖29所示， 優(yōu)選設(shè)置對(duì)去除部83進(jìn)行遮光的遮光膜84。在圖29的結(jié)構(gòu)中，在作 為與有源矩陣襯底100對(duì)置配置的對(duì)置襯底的濾色片襯底上，由黑色 矩陣(black matrix)進(jìn)行遮光。遮光膜84可以設(shè)置在有源矩陣襯底 100側(cè)，要緊的是，作為顯示裝置，只要從襯底(液晶面板)面垂直方 向看時(shí)對(duì)去除部83進(jìn)行遮光即可。
實(shí)施方式7
以下，基于圖30對(duì)本發(fā)明的其它實(shí)施方式即實(shí)施方式7進(jìn)行說(shuō)明。 為說(shuō)明上的方便，對(duì)具有與所述實(shí)施方式1~6中使用的部件相同功能 的部件付以相同符號(hào)并省略其說(shuō)明。
本實(shí)施方式的有源矩陣襯底與在實(shí)施方式2中所說(shuō)明的圖8所示 的有源矩陣村底100的不同點(diǎn)在于源電極6的數(shù)目。在圖8的有源矩 陣襯底100中，對(duì)于一個(gè)源電極6設(shè)置2個(gè)(多個(gè))漏電極。圖8中 的有源矩陣襯底的溝道數(shù)為2。另一方面，如圖30所示，在本實(shí)施方 式的有源矩陣襯底100中，設(shè)置三個(gè)源電極6a、 6b、 6c，以源電極6a、 6b對(duì)應(yīng)漏電極16a、源電極6b、 6c對(duì)應(yīng)漏電極16b的方式i殳置多個(gè)。 圖30中的有源矩陣襯底100的溝道數(shù)是4。并且，不同點(diǎn)僅在于此。
如圖8所示的有源矩陣襯底100那樣，通過(guò)對(duì)一個(gè)源電極6具有 多個(gè)漏電極16a、 16b的結(jié)構(gòu)，具有能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)應(yīng)高速顯示以及抑制電 力消耗的效果。
另一方面，在圖30的有源矩陣襯底100中，不能期待這種效果，同的漏極引出布線分支部7a、 7b，并且溝道數(shù)與設(shè)有三條漏極引出布線分支部7a、 7b、 7c的圖11 所示的有源矩陣襯底100相同。
因此，在確保溝道數(shù)較多的情況下，能夠抑制TFT4的源電極與漏 電極之間的寄生電容(Cgd)引起的像素電位的下降，所以，能夠降低 像素電極1達(dá)到所希望的有效電壓用的源極電壓，進(jìn)而能夠抑制電力 消耗。
并且，所述實(shí)施方式1 ~ 7能夠適當(dāng)組合，例如，對(duì)于一個(gè)TFT設(shè) 置多個(gè)修正用連接電極的結(jié)構(gòu)和去除部的組合，對(duì)于一個(gè)TFT設(shè)置多 個(gè)修正用連接電極的結(jié)構(gòu)和對(duì)于漏電極配置多個(gè)源電極并增加溝道數(shù) 同時(shí)謀求抑制電力消耗的結(jié)構(gòu)的組合等。
并且，用于實(shí)施本發(fā)明的優(yōu)選方式中的具體實(shí)施方式
或者實(shí)施例 到底只是用于理解本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容，不應(yīng)該限定于這樣的具體例來(lái) 進(jìn)行狹義的解釋?zhuān)诒景l(fā)明的精神和所記載的權(quán)利要求書(shū)的范圍內(nèi)， 可以進(jìn)行各種變更來(lái)實(shí)施。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性
按照本發(fā)明，能夠提供一種即使在本像素內(nèi)完成修正時(shí)開(kāi)口率也 不會(huì)過(guò)于下降、與信號(hào)線連接的電極很難被斷線的有源矩陣襯底或顯 示裝置。
這種本發(fā)明的有源矩陣襯底在使用于顯示裝置的面板用襯底時(shí)， 能夠有助于顯示裝置的成品率提高，特別是能夠用作需要抑制產(chǎn)生點(diǎn) 缺陷的大型TV用面板的構(gòu)成部件。
并且，并不限于液晶顯示裝置，例如，也可以配置濾色片襯底和 以與濾色片襯底對(duì)置的方式配置本發(fā)明的有源矩陣襯底，在這些襯底 與襯底之間通過(guò)配置有機(jī)EL層來(lái)作成有機(jī)EL面板，通過(guò)在面板的外 部引出端子上連接驅(qū)動(dòng)器等，由此構(gòu)成有機(jī)EL顯示裝置。另外，即使 是液晶顯示裝置或有機(jī)EL顯示裝置以外的裝置，只要是由有源矩陣襯 底構(gòu)成的顯示裝置，就可以應(yīng)用本發(fā)明。
權(quán)利要求
1. 一種有源矩陣襯底，其特征在于，有源元件具有連接在掃描線上的源電極、連接在數(shù)據(jù)信號(hào)線上的源電極、和多個(gè)漏電極，所述多個(gè)漏電極連接在由導(dǎo)電層構(gòu)成的多個(gè)漏極引出布線上，所述多個(gè)漏極引出布線通過(guò)接觸孔與像素電極連接，并具有通過(guò)絕緣層與修正用連接電極重疊的部分，所述修正用連接電極是通過(guò)貫通絕緣層導(dǎo)通從而能夠與所述多個(gè)漏極引出布線電連接的導(dǎo)電層。
2. 如權(quán)利要求l記載的有源矩陣襯底，其特征在于 對(duì)于一個(gè)所述源電極，具有多個(gè)所述漏電極。
3. 如權(quán)利要求1記載的有源矩陣襯底，其特征在于 對(duì)于一個(gè)所述漏電極，具有多個(gè)所述源電極。
4. 如權(quán)利要求l記載的有源矩陣襯底，其特征在于 所述修正用連接電極是至少?gòu)囊粋€(gè)導(dǎo)電層使所述有源元件的柵電極用導(dǎo)電層電分離而形成的。
5. 如權(quán)利要求l記載的有源矩陣襯底，其特征在于 所述修正用連接電極是至少?gòu)囊粋€(gè)導(dǎo)電層能夠使保持電容布線用導(dǎo)電層電分離而形成的。
6. 如權(quán)利要求l記栽的有源矩陣襯底，其特征在于對(duì)于一個(gè)有源元件設(shè)置多個(gè)所述修正用連接電極。
7. 如權(quán)利要求6記載的有源矩陣襯底，其特征在于對(duì)于一個(gè)有源元件設(shè)置三個(gè)以上的所述漏電極，并且與各漏電極 對(duì)應(yīng)地設(shè)置三個(gè)以上的所述漏極引出布線，所述多個(gè)修正用連接電極包括設(shè)置為能夠與所有的所述漏極引 出布線電連接的修正用連接電極A部、和設(shè)置為能夠與兩個(gè)以上所述 漏極引出布線電連接的修正用連接電極B部。
8. 如權(quán)利要求1記栽的有源矩陣襯底，其特征在于像素由多個(gè)副像素構(gòu)成，對(duì)于該多個(gè)副像素的各個(gè)有源元件具有 所述修正用連接電極。
9. 如權(quán)利要求8記載的有源矩陣襯底，其特征在于 所述多個(gè)副像素中的至少兩個(gè)副像素的亮度彼此不同。
10. 如權(quán)利要求l記載的有源矩陣襯底，其特征在于 所述修正用連接電極隔著絕緣層與漏極引出布線重疊的部分區(qū)域的面積為25nW以上。
11. 如權(quán)利要求1記載的有源矩陣襯底，其特征在于 所述修正用連接電極由包含從Al、 Cr、 Ta、 Ti、 W、 Mo以及Cu所組成的組中選擇的至少一種的材料形成。
12. 如權(quán)利要求l記載的有源矩陣襯底，其特征在于 所述修正用連接電極具有與液晶分子的取向控制用突起或者電極狹縫重疊的部分。
13. 如權(quán)利要求1記載的有源矩陣襯底，其特征在于 所述像素電極具有除去了像素電極材料的去除部，該去除部具有與所述漏極引出布線重疊的部分。
14. 如權(quán)利要求13記載的有源矩陣襯底，其特征在于 所述去除部與所述修正用連接電極的配置位置對(duì)應(yīng)地設(shè)置。
15. 如權(quán)利要求13記載的有源矩陣襯底，其特征在于 所述去除部與切斷所述漏極引出布線時(shí)的切斷位置對(duì)應(yīng)地設(shè)置。
16. 如權(quán)利要求13記載的有源矩陣襯底，其特征在于 所述去除部與所述修正用連接電極的配置位置以及切斷所述分支部時(shí)的切斷位置對(duì)應(yīng)地i殳置。
17. 如權(quán)利要求13記載的有源矩陣襯底，其特征在于 所述去除部是形成在所述像素電極上的液晶分子的取向控制用電極狹縫的一部分。
18. 如權(quán)利要求13記載的有源矩陣襯底，其特征在于 具有對(duì)所述去除部進(jìn)行遮光的遮光膜。
19. 一種顯示裝置，其特征在于 具有權(quán)利要求1記栽的有源矩陣襯底。
20. —種顯示裝置，其特征在于具有權(quán)利要求13記載的有源矩陣襯底，并且，具有對(duì)該有源矩陣 襯底的所述去除部進(jìn)行遮光的遮光膜。
21. —種電視圖像接收機(jī)，其特征在于；具有權(quán)利要求19或者20記栽的顯示裝置和對(duì)電視廣播進(jìn)行接收 的調(diào)諧器部。
全文摘要
一種有源矩陣襯底，TFT(4)對(duì)于一個(gè)源電極(6)具有多個(gè)漏電極(16a、16b)，該多個(gè)漏電極中的至少一個(gè)通過(guò)漏極引出布線與像素電極(1)電連接，漏極引出布線具有第一導(dǎo)電圖形部，其包括漏極引出布線共同部(7d)和從該共同部與多個(gè)漏電極的每一個(gè)對(duì)應(yīng)地分支出的漏極引出布線分支部(7a、7b)，有源矩陣襯底具有修正用連接電極(9)，其具有隔著絕緣層與第一導(dǎo)電圖形部的分支部重疊的部分，并且通過(guò)將絕緣層貫通來(lái)進(jìn)行導(dǎo)通而能夠與多個(gè)分支部電連接，由此構(gòu)成有源矩陣襯底。因此，即使產(chǎn)生像素缺陷，也能在本像素內(nèi)進(jìn)行像素缺陷修正。
文檔編號(hào)H01L27/12GK101447493SQ20091000204
公開(kāi)日2009年6月3日 申請(qǐng)日期2006年5月19日 優(yōu)先權(quán)日2005年5月23日
發(fā)明者平形義朗, 武內(nèi)正典, 津幡俊英 申請(qǐng)人:夏普株式會(huì)社