專利名稱：光纖激光光源的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種獲得可自激振蕩的脈沖光纖激光的光纖激光光源。
背景技術(shù)：
目前，作為產(chǎn)生Iym帶的光的激光光源，Nd:YAG激光器、Nd:YV04激光器等固體 激光器已成為主流。利用這些固體激光器的激光加工機(jī)、或以這些固體激光器的光為基波 (fundamental wave)的可見光光源等得以實(shí)現(xiàn)。然而，在使用固體激光器時，輸出越大越需 要激光介質(zhì)的冷卻，存在裝置大型化的問題。因此，通過簡單的冷卻即可實(shí)現(xiàn)W級的高輸出 的光纖激光光源，作為用于焊接用途、或獲得波長轉(zhuǎn)換光源的基波的光源備受矚目。在此，對該光纖激光光源的基本的激光動作進(jìn)行說明。首先，來自泵浦激光光 源的泵浦光從光纖的一端入射。入射的泵浦光，被光纖中所含的激光活性物質(zhì)(laser activematerial)吸收，從而在光纖的內(nèi)部產(chǎn)生基波的種光(seed light)。該基波的種光， 在以形成于光纖中的光纖光柵(fiber grating)和其他的光纖的光纖光柵作為一對反射鏡 的諧振器(resonator)中多次反射而往返。與此同時，種光通過基于光纖中所含的激光活 性物質(zhì)的增益(gain)而被增幅，光強(qiáng)度增大，并經(jīng)波長選擇而達(dá)到激光振蕩。另外，光纖與 光纖之間由連接部連接，泵浦激光光源受到泵浦激光電流源的電流驅(qū)動。另外，輸出光的一部分被分束器(beam splitter)分離，由用于監(jiān)視輸出光的受光 元件接收后，轉(zhuǎn)換為電信號來加以利用。基于該轉(zhuǎn)換的信號的強(qiáng)度，輸出控制部用泵浦激光 電流源調(diào)整泵浦激光光源的驅(qū)動電流，以便達(dá)到可獲得所希望的輸出的強(qiáng)度。這樣，來自泵 浦激光光源的泵浦光的強(qiáng)度被調(diào)整，光纖激光器的基波的輸出強(qiáng)度得以調(diào)整。由此，波長轉(zhuǎn) 換裝置的輸出強(qiáng)度保持恒定的所謂自動功率控制(automatic power control)(以下簡稱 “APC”)得以運(yùn)作。作為激光光源，若為具有高峰值功率的脈沖光源，則開孔等激光加工、高效率波長 轉(zhuǎn)換等的用途得以擴(kuò)展。但是，作為具有高峰值功率的光源而處于實(shí)用階段的光源為連續(xù) 振蕩型，因此其用途被限定在激光焊接等。作為通過使用光纖的光源實(shí)現(xiàn)脈沖振蕩的結(jié)構(gòu)， 用光纖放大器(fiber amplifier)將調(diào)制后的種光源進(jìn)行增幅的結(jié)構(gòu)已成為主流。此外，即使在通過波長轉(zhuǎn)換裝置而從光纖激光器中產(chǎn)生的基波中產(chǎn)生諧波時，在 相同的平均輸出下，與對連續(xù)光進(jìn)行波長轉(zhuǎn)換相比，產(chǎn)生具有高峰值功率的脈沖狀基波光 可提高從基波向諧波的轉(zhuǎn)換效率。即，光纖激光器的脈沖振蕩，對提高波長轉(zhuǎn)換效率具有很 大貢獻(xiàn)。關(guān)于光纖激光器的脈沖化，在通信應(yīng)用等方面也被加以討論。具體而言，在日本專 利公報特許2577785號(以下稱作“專利文獻(xiàn)1”)中公開了一種方法，設(shè)置主諧振器和副 諧振器，在諧振器內(nèi)插入光調(diào)制器，通過光調(diào)制器讓主諧振器和副諧振器的拍頻相位(beat phase)匹配，產(chǎn)生脈沖。此外，還公開有以下的方法，即，向具有異常色散特性(anomalous dispersion characteristic)的光纖輸入高強(qiáng)度的脈沖光，通過頻移效應(yīng)(frequency shift effect)，產(chǎn)生窄帶域脈沖光的方法(日本專利公開公報特開平8-146474號(以下稱作“專利文獻(xiàn)2”))，以及使光纖激光諧振器的光纖光柵部具有過飽和吸收效應(yīng)的方法(日本專利公開公報特開2005-174993號(以下稱作“專利文獻(xiàn)3”))。然而，以往例的專利文獻(xiàn)1和2所示的方法，雖然可以產(chǎn)生超窄帶域的脈沖光，但 由于需在諧振器內(nèi)插入調(diào)制器、或泵浦效率低，所以存在作為光源的效率低下的問題。此 夕卜，即使像專利文獻(xiàn)3那樣在諧振器內(nèi)設(shè)過飽和吸收層時，也由于諧振器內(nèi)損耗大，成為效 率低下的主要原因。另外，在專利文獻(xiàn)1至3的任一情況下，除了產(chǎn)生連續(xù)光的光纖激光諧 振器的結(jié)構(gòu)之外，都還要添加新的部件，因此存在成本提高的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種無需追加新的部件即可實(shí)現(xiàn)脈沖振蕩的光纖激光光 源。本發(fā)明提供的一種光纖激光光源，包括含有激光活性物質(zhì)的光纖、向所述光纖 射入泵浦光的泵浦激光光源，以及具備在含有所述激光活性物質(zhì)的光纖的兩側(cè)與所述 光纖光學(xué)連接的一組光纖光柵的激光諧振器，其中，所述激光諧振器通過偏振保持光纖 (polarization maintaining fiber)和單一偏振化機(jī)構(gòu)而射出單一偏振光，激光射出側(cè)的 所述光纖光柵的反射中心波長被設(shè)定在使靠近所述泵浦激光光源的所述光纖光柵的反射 率為80%以上且98%以下的波長范圍內(nèi)。根據(jù)本發(fā)明，可通過讓光纖光柵的折射率變化，使各光纖光柵的反射帶域 (reflectionband)的重疊部發(fā)生變化，從而來實(shí)現(xiàn)激光器的自激振蕩。


圖1是本發(fā)明第一實(shí)施例所涉及的光纖激光光源的結(jié)構(gòu)圖。圖2是表示圖1所示的光纖光柵的反射帶域的繪制圖。圖3是表示本發(fā)明第二實(shí)施例所涉及的泵浦光的輸出波形和與其對應(yīng)的基波的 輸出波形的關(guān)系繪制圖。圖4是表示本發(fā)明第三實(shí)施例所涉及的光纖光柵的反射帶域的繪制圖。圖5是表示本發(fā)明第四實(shí)施例所涉及的諧振器延長光纖的結(jié)構(gòu)圖。圖6是表示通過采用圖5所示的諧振器延長光纖而使脈沖峰值增大的繪制圖。圖7是表示通過構(gòu)成本發(fā)明第五實(shí)施例所涉及的靠近泵浦激光光源的寬帶光纖 光柵的光纖的光的模場直徑較大的繪制圖。圖8是表示采用了作為本發(fā)明第五實(shí)施例的寬帶光纖光柵的取樣光纖光柵結(jié)構(gòu) 的示意圖。圖9是表示以光纖長度為參數(shù)的泵浦波長的吸收率的繪制圖。圖10是表示測量光纖激光器的溫度特性時的結(jié)構(gòu)的示意圖。圖11是表示泵浦光的波長為973nm時光纖激光器輸出的溫度特性的繪制圖。圖12是表示泵浦光的波長為977nm時光纖激光器輸出的溫度特性的繪制圖。圖13是表示本發(fā)明實(shí)施例所涉及的光纖激光器輸出的溫度特性的繪制圖。圖14是表示將本發(fā)明第一至第五實(shí)施例所涉及的光纖激光光源應(yīng)用于圖像顯示 裝置時的一個例子的示意圖。
具體實(shí)施例方式下面參照附圖對本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行說明。以下的實(shí)施例是將本發(fā)明具體化的一 個例子，并非是對本發(fā)明技術(shù)范圍的限定。另外，對圖中標(biāo)注了相同符號的有時會省略說 明。(第一實(shí)施例)圖1表示本實(shí)施例的一個例子。光纖激光光源100包括在芯部摻雜有稀土類的Yb 的雙包層偏振保持光纖(double clad polarization maintaining fiber) 103 (本實(shí)施例 中，光纖長為10m)，向光纖103射入泵浦光的泵浦用LD (pump LD) 101，以及具備在光纖103 的兩側(cè)與光纖103光學(xué)連接的一組光纖光柵(fiber grating) 102、104的激光諧振器。光纖激光光源100，通過泵浦用LDlOl激發(fā)光纖103，在具備一組光纖光柵102、104 的諧振器內(nèi)使激光(基波)振蕩。由于光纖103采用摻雜Yb的雙包層偏振保持光纖，因此 可通過操作光纖光柵的特性，使1050nm以上1170nm以下的光任意地振蕩，光纖激光光源 100可應(yīng)用于加工用途或波長轉(zhuǎn)換光源等。因此，選擇了 Yb作為光纖103的激光活性物質(zhì)。在本實(shí)施例中，作為泵浦用LD101，使用振蕩波長為975nm的單發(fā)射激光二級管 (single emitter laser diode)(最大輸出為8W的有三個)。光纖光柵102被形成在通過 摻雜鍺(germanium)而提高了對紫外線的靈敏度的雙包層偏振保持光纖106的芯部，具有 中心波長為 1064nm、反射波譜(reflectance spectrum)的半值寬度(full widthat half maximum)為lnm、反射率為98%的特性。此外，光纖光柵104被形成在一般的單模偏振保 持光纖107 (芯徑6 μ m、包層外徑125 μ m)的摻雜有鍺的芯部，具有中心波長為1064nm、反 射波譜半值寬度為0. 05nm、反射率為10%以上15%以下的特性。關(guān)于反射波譜半值寬度， 在作為波長轉(zhuǎn)換光源的基波使用時，若考慮在波長轉(zhuǎn)換模塊內(nèi)基波向可見光轉(zhuǎn)換的轉(zhuǎn)換效 率，較為理想的是在0. Inm以下，具體而言是在O.Olnm以上0. 06nm以下的范圍內(nèi)，而在本 研究中證實(shí)了光纖光柵104的反射帶域在0. 05nm以下時，更穩(wěn)定地進(jìn)行自激振蕩。尤其證 實(shí)了光纖光柵102的反射帶域在Inm以上，且光纖光柵104的反射帶域在0. 05nm以下時， 可更加穩(wěn)定地進(jìn)行激光的自激振蕩。此外，也證實(shí)了在摻雜稀土類的雙包層光纖的振蕩激光的模場直徑(mode fielddiameter)為8μπι以上13μπι以下時，可以更穩(wěn)定地進(jìn)行激光的自激振蕩。作為其理 由，例如，即使作為激光活性物質(zhì)的稀土類離子的密度為相同，激光活性物質(zhì)的添加量也要 增加模場直徑增加的部分。另外，在使用光纖激光光源100作為波長轉(zhuǎn)換光源的基波時，最好將光纖激光光 源100的偏振方向調(diào)整為單一偏振(single polarization)(直線偏振)。調(diào)整為直線偏 振的理由在于，SHG模塊(SHG module)內(nèi)的波長轉(zhuǎn)換晶體只對一方的偏振成分進(jìn)行波長轉(zhuǎn) 換。然后，通過讓振蕩的1064nm附近的基波光傳輸?shù)墓馄癖３止饫w，將基波光導(dǎo)入SHG 模塊，通過第二諧波發(fā)生(second harmonic generation)而產(chǎn)生532nm的光。在本實(shí)施例中，通過向輸出側(cè)的光纖光柵104射入高強(qiáng)度的光(例如，向芯徑5 μ m 以上10 μ m以下的光纖射入IW的光)，使反射中心波長根據(jù)光纖光柵104的折射率的變化 而向短波長一側(cè)或長波長一側(cè)變化。圖2表示本實(shí)施例的一組光纖光柵的反射中心波長的變化。圖2表示光纖光柵102的反射波譜203和光纖光柵104的反射波譜201。例如，反射波譜201，隨著所述高強(qiáng)度光的入射會如箭頭Yl所示向短波長一側(cè)的反射波譜202移動(shift)。這樣，通過反射波譜201的反射中心波長向反射波譜202的反射中心波長的變化， 可以減小光纖光柵104的反射帶域和泵浦側(cè)的光纖光柵102的反射帶域的重疊積分(重疊 部分)。例如，如圖2所示，通過進(jìn)行設(shè)定以使光纖光柵104變化前的反射波譜201與光纖 光柵102的反射波譜在短波長一側(cè)重疊，然后使反射波譜201從該狀態(tài)起向箭頭Yl所示的 短波長一側(cè)變化而成為反射波譜202，從而可以減小光纖光柵102的反射帶域和光纖光柵 104的反射帶域的重疊積分。所述重疊積分一旦減小，在光纖激光諧振器內(nèi)的封閉能量減少，從而基波的峰值 輸出下降。當(dāng)所述封閉能量減小，由于光纖光柵104的反射中心波長(反射波譜202)如箭 頭Y2所示返回變化前的狀態(tài)(反射波譜201)，因此基波的峰值輸出再度增大。如此，通過 反射中心波長的反復(fù)變化，實(shí)現(xiàn)自激脈沖振蕩。脈沖振蕩的周期取決于諧振器長、即從泵浦 側(cè)的光纖光柵102的中央位置到射出側(cè)的光纖光柵104的中央位置的光纖長(即激光諧振 器的諧振器長)。在本實(shí)施例中，由于光纖長約為10m，所以脈沖振蕩的周期約為100ns。為了獲得上述的反射中心波長隨光強(qiáng)度而變化的特性(光折射率變化的特性)， 需要在構(gòu)成光纖光柵104的光纖的芯部摻雜鉛(Pb)、錫(Sn)、銻(Sb)、鉍(Bi)、鍺(Ge)等 元素。另外，為了增大在光纖激光諧振器內(nèi)的封閉能量的變化量，需要在寬帶域側(cè)的光 纖光柵102的反射率為80%以上且98%以下的反射波譜的反射帶域端，重疊窄帶域側(cè)的光 纖光柵104的反射波譜。S卩，需要設(shè)定成使光纖光柵104的反射中心波長在使光纖光柵102的反射率為 80%以上且98%以下的波長范圍El內(nèi)。更為理想的是，可以被調(diào)整成使光纖光柵104的反射中心波長處于圖2所示波形 的向右上方向的傾斜線中反射率為80%以上且98%以下的波長范圍E2內(nèi)，或圖2所示波 形的向右下方向的傾斜線中反射率為80%以上且98%以下的波長范圍E3內(nèi)。如果這樣，只要反射波譜201的反射中心波長稍加變化(折射率變化)，反射波譜 201的反射中心波長就會偏離光纖光柵104的反射率較大的范圍，故所述封閉能量的變化 容易發(fā)生。具體而言，當(dāng)光纖光柵102的反射中心波長處于波長范圍E2內(nèi)時，可通過讓反 射中心波長如箭頭Yl所示向短波長一側(cè)變化，使所述封閉能量發(fā)生變化。另一方面，當(dāng)光 纖光柵102的反射中心波長處于波長范圍E3內(nèi)時，可通過讓反射中心波長如箭頭Y2所示 向長波長一側(cè)變化，使所述封閉能量發(fā)生變化。反射波譜201是向短波長一側(cè)移動還是向 長波長一側(cè)移動，可根據(jù)各種條件來設(shè)定。另外，在上述的說明中，將波長范圍El至E3規(guī)定為反射率為80%以上98%以下 的范圍，但這些波長范圍El至E3的上限值，是根據(jù)光纖光柵102所具有的反射率的上限來 決定的。換言之，作為光纖光柵102而采用反射率為99%的光纖光柵時，上述的波長范圍 El至E3可被規(guī)定為反射率80%以上99%以下的范圍。(第二實(shí)施例)在第一實(shí)施例所述的結(jié)構(gòu)中，光輸出波形可能會含有直流成分。本實(shí)施例，對通過 配合基波的脈沖振蕩周期來調(diào)制泵浦光來降低直流成分的方法進(jìn)行說明。圖3是比較泵浦光的光輸出和振蕩的基波光的輸出波形的繪制圖。圖3(A)表示連續(xù)振蕩的泵浦光的輸出， 和基于該泵浦光的輸出僅通過輸出側(cè)的光纖光柵104的反射中心波長變化(折射率變化) 進(jìn)行自激振蕩時的基波的輸出的關(guān)系。如圖3(A)所示，在使泵浦光連續(xù)振蕩時，因光纖光柵104的折射率變化而產(chǎn)生周 期為Pl (例如，100ns)的基波的脈沖振蕩。此時，基波的光輸出中含有直流成分(圖3(A) 的波峰以外(基底值)的值)。如圖3(B)所示，通過使基于泵浦用LDlOl的泵浦光的輸出 為按初期周期Pl以IOMHz經(jīng)過調(diào)制的輸出，可使上述基波的周期Pl和泵浦光的周期P2相 一致。如果像這樣使基波的自激振蕩周期Pl和泵浦光的周期P2相一致，則如圖3(B)所 示，與圖3(A)相比，可以減少基波輸出中的直流成分。另外，圖3(B)中基波的周期P3，與圖 3(A)中基波的周期Pl相同。此外，如圖3(C)所示，通過使 光纖激光器的振蕩閾值以下的光量的泵浦光以上述 周期P2振蕩，并且以上述周期P2的整數(shù)倍的周期P4產(chǎn)生具有超出所述振蕩閾值的光量的 脈沖狀泵浦光的方法，也可降低基波的輸出中的直流成分。具體而言，例如，可使光纖激光 器的振蕩閾值以下的光量的泵浦光以IOOns的周期P2振蕩，并以300ns的周期P4產(chǎn)生具 有超出所述振蕩閾值的光量的泵浦光。如此，可使基波產(chǎn)生這樣的脈沖振蕩，即以IOOns的 周期P3出現(xiàn)小波峰，并以與周期P4相同的周期P5出現(xiàn)最大峰值的脈沖振蕩。然而，在將采用這種光纖激光光源的波長轉(zhuǎn)換光源用作顯示器用光源，使用 DMD(digital micro-mirror device，數(shù)字調(diào)制微鏡器件)和一個調(diào)制元件作為空間調(diào)制元 件進(jìn)行全色彩(full color)圖像的顯示時，若以60Hz的周期依次發(fā)出紅、綠、藍(lán)色的光，則 會發(fā)生人眼可以分辨出不同顏色的現(xiàn)象(色彩斷裂(color breaking))，導(dǎo)致畫質(zhì)下降。因 此，通常以倍速驅(qū)動較為普遍。一般，數(shù)據(jù)顯示用投影儀(projector)以6倍速(360Hz)到 12 倍速(720Hz)驅(qū)動，背投式顯示器(rear projection display)以 36 (2160Hz)到 48 倍 速(2880Hz)驅(qū)動。作為在顯示器中的應(yīng)用，若考慮為了配合上述倍速驅(qū)動來改善對比度而 追加光控制(light control)功能的情況，為了使亮度以8等級(8比特(bits))變化，需 要進(jìn)一步能以8倍的速度、即6倍速時約3kHz，48倍速時約25kHz以上的速度發(fā)光。由于 若增大該比特(bit)數(shù)，可實(shí)現(xiàn)更為細(xì)致的光量控制，因此較為理想的是確保8比特以上的 分辨率?？紤]到以上各點(diǎn)，在將本發(fā)明的光纖激光器應(yīng)用于顯示器時，以脈沖周期在20kHz 以上IOMHz以下為宜。(第三實(shí)施例)在第三實(shí)施例中，對通過使光纖光柵的反射帶域具有波動(ripple)，即使光纖光 柵部稍微發(fā)生折射率變化也可產(chǎn)生脈沖振蕩的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。本實(shí)施例所涉及的結(jié)構(gòu)基本 上與圖1相同。即，光纖激光光源100，包括在芯部摻雜有稀土類的Yb的雙包層偏振保持光 纖103 (本實(shí)施例中，光纖長20m)，向光纖103射入泵浦光的泵浦用LD101，以及具有在光纖 103的兩側(cè)與光纖103光學(xué)連接的一組光纖光柵102、104的激光諧振器。光纖激光光源100，通過泵浦用LD101激發(fā)光纖103，在具備一組光纖光柵102、104 的諧振器內(nèi)使激光(基波)振蕩。泵浦用LD，使用振蕩波長為975nm的單發(fā)射激光二級管 (有一個最大輸出為20W)。此外，作為光纖103，采用摻雜Yb的雙包層偏振保持光纖。通過 決定光纖光柵102、104的反射波長，實(shí)現(xiàn)lOeOnm的激光振蕩。光纖光柵102形成在摻雜了 鍺的雙包層偏振保持光纖的芯部。光纖光柵102具有中心波長為1064nm、反射波譜半值寬度為1. 5nm、峰值反射率為98%的特性。圖4表示本發(fā)明第三實(shí)施例所涉及的光纖光柵的反射帶域。圖4中，用401表示 光纖光柵102的反射譜，用402表示光纖光柵104的反射譜。光纖光柵102的波動深度為 15%，波動的間隔約為0. 04nm。此外，光纖光柵104形成在摻雜了鍺的一般的單模偏振保持 光纖(芯徑6 μ m、包層外徑125 μ m)的芯部，具有中心波長為1064nm、反射波譜半值寬度為 0. 04nm、反射率為15%的特性。本第三實(shí)施例與第一實(shí)施例不同，通過向光纖光柵102中射入高強(qiáng)度的光，光纖 光柵102的反射中心波長發(fā)生變化。通過光纖光柵102反射中心波長的變化，與射出側(cè)的 光纖光柵104的反射帶域的重疊積分減小。即，在光纖激光諧振器內(nèi)的封閉能量減少，從而 基波的峰值輸出下降。當(dāng)所述封閉能量減小后，由于光纖光柵102的反射中心波長返回變 化前的狀態(tài)，因此基波的峰值輸出再度增大。如此通過反射中心波長的反復(fù)變化，實(shí)現(xiàn)自激 脈沖振蕩。脈沖振蕩的周期取決于諧振器長、即從泵浦側(cè)的光纖光柵102的中央位置到射 出側(cè)的光纖光柵104的中央位置的光纖長。在本實(shí)施例中，由于光纖長約為20m，故脈沖振 蕩的周期約為200ns。通過采用以上的結(jié)構(gòu)，可獲得能得到10倍于CW(連續(xù)振蕩)時的基 波的波峰輸出的自激振蕩脈沖光纖激光器。另外，本實(shí)施例中，使光纖光柵102的波動為15%，但并不局限于此。例如，也可以 使光纖光柵102的波動為20%，從而獲得15倍于CW時的基波的波峰輸出。像本實(shí)施例這樣，通過使泵浦側(cè)的光纖光柵102具有波動，則不需要使其波長與 射出側(cè)的光纖光柵104的波長嚴(yán)格地吻合，很簡便，工業(yè)上的實(shí)用價值高。(第四實(shí)施例)在第四實(shí)施例中，對通過延長諧振器可獲得更大的峰值輸出的脈沖的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說 明。本實(shí)施例所涉及的結(jié)構(gòu)大致與圖1相同。在第一實(shí)施例所述的結(jié)構(gòu)(參照圖5(A))中， 脈沖振蕩的周期取決于諧振器長。即，可通過延長從構(gòu)成諧振器的泵浦側(cè)的光纖光柵102 的中央位置到射出側(cè)的光纖光柵104的中央位置的光纖103的長度(諧振器長)，增長脈沖 振蕩的周期。當(dāng)脈沖振蕩的周期增長，在光纖激光諧振器內(nèi)的封閉能量增大，從而射出的脈 沖的峰值輸出增大。因此，在本實(shí)施例中，如圖5(B)所示，在光纖光柵102、104之間，除了上述光纖 103以外還插入諧振器延長光纖501。由此，與沒有諧振器延長光纖501的圖6(A)的比較 例相比，如圖6(B)所示，脈沖的周期增長，脈沖的峰值輸出增大。在本實(shí)施例中，作為泵浦 用LD101，使用振蕩波長為915nm的單發(fā)射激光二級管(有三個最大輸出為6. 5W)。光纖光 柵102，形成在雙包層偏振保持光纖的芯部，具有中心波長為1064nm、反射波譜半值寬度為 0. 5nm、反射率為99%的特性。光纖光柵104形成在一般的單模偏振保持光纖(芯徑10 μ m、 光纖外徑125 μ m)的芯部，具有中心波長為1064nm、反射波譜半值寬度為0. 05nm、反射率為 10%的特性。芯部摻雜有作為稀土類的Yb的雙包層偏振保持光纖103的芯徑為6 μ m(例 如，NUFERN PM-YDF130/5)。在泵浦用LDlOl以泵浦功率為19W進(jìn)行激發(fā)的條件下，為使CW 運(yùn)作時的平均輸出達(dá)到最大，光纖103的光纖長度為20m。在上述條件下的輸出為9. 5W。在 脈沖運(yùn)作時，峰值輸出達(dá)到相當(dāng)于CW運(yùn)作時平均輸出的約10倍的94W。進(jìn)而，當(dāng)插入20m 諧振器延長光纖501時，峰值輸出達(dá)到相當(dāng)于CW運(yùn)作時平均輸出的約20倍的190W，成功地 實(shí)現(xiàn)了脈沖的高峰值化。作為諧振器延長光纖501，不含激光活性物質(zhì)的偏振保持光纖較為王困相(第五實(shí)施例)在第五實(shí)施例中，對可抑制作為光纖激光諧振器的構(gòu)成部件的光纖光柵因光的功率而被破壞的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。本實(shí)施例所涉及的結(jié)構(gòu)與圖1相同。本實(shí)施例的光纖激光光 源100因脈沖運(yùn)作，與CW運(yùn)作的情況相比，在時間和空間上光的功率密度都增高。尤其是 泵浦側(cè)的光纖光柵102，因具有接近100%的反射率，入射光和反射光重疊，光的功率密度 容易增高。因此，以高輸出運(yùn)作時，作為光纖激光諧振器的構(gòu)成部件的光纖光柵可能因光的 功率而被破壞。因此，在本實(shí)施例，為了抑制上述的破壞，采用圖7所示的模場直徑703較大的光 纖作為構(gòu)成光纖光柵的光纖。具體而言，通過將模場直徑703設(shè)為8μπι(圖7(A))以上 13μπι(圖7(B))以下，可以使空間上的光功率密度降低約四分之一。在含有激光活性物質(zhì) 的光纖的模場直徑在8 μ m以上13 μ m時，若考慮到熔接損失(fusion loss)，則構(gòu)成光纖光 柵的光纖的模場直徑在9μπι以上15 μ m以下最合適。另外，作為泵浦側(cè)的光纖光柵102， 可采用圖8所示的包括多個光纖光柵801的取樣光纖光柵(sampledfiber grating)結(jié)構(gòu)。 由此，可通過在多處發(fā)生反射，降低每個光纖光柵的光功率密度。另外，從第一到第四實(shí)施例中，作為光纖激光器的泵浦激光光源(pump laser lightsource)，雖采用波長為915nm和波長976nm的激光，但為了更有效地激發(fā)光纖激光， 采用波長為976nm的激光較為理想。然而可知，由于摻雜Yb的光纖對波長976nm的吸收波 譜的帶域窄，且半導(dǎo)體激光器的振蕩波長隨著環(huán)境溫度或供應(yīng)電流而變化，因此存在溫度 特性惡化的問題。為了避免上述問題，較為理想的是，本實(shí)施例所涉及的光纖激光光源，包 括含有激光活性物質(zhì)的光纖、向光纖射入泵浦光的泵浦激光光源，以及具備在所述光纖的 兩側(cè)與所述光纖光學(xué)連接的一組光纖光柵的激光諧振器，以隨著溫度的上升，其振蕩中心 波長向長波長一側(cè)移動，同時輸出下降為特征，含有所述激光活性物質(zhì)的光纖的長度，為吸 收95%以上含有所述激光活性物質(zhì)的光纖的吸收峰(absorptionpeak)波長的光的光纖長 度的1.5倍以上2倍以下。圖9表示以光纖長度為參數(shù)的吸收率與泵浦光波長的關(guān)系繪制圖。圖9表示光纖 采用模場直徑為6μπι的摻雜Yb的雙包層偏振保持光纖(例如，NUFERN PM-YDF130/5)時 的情況。在以下的說明中，對各光纖長度，比較吸收率達(dá)到峰值的90%的波長幅度(以下， 定義為泵浦光波長允許幅度)。由該圖可知，在將泵浦光波長固定在976nm，且環(huán)境溫度為 250C的情況下，當(dāng)采用作為吸收Yb光纖的吸收峰波長的光95%以上的Yb光纖的最佳長度 (以下，定義為最佳長度)的9m的Yb摻雜光纖時，泵浦光波長允許幅度約為6nm，而Yb光纖 長度為約1. 5倍的15m時的泵浦光波長允許幅度，為相當(dāng)于9m的Yb光纖的2倍的12nm左 右。另外，Yb光纖的長度為兩倍的18m時的泵浦光波長允許幅度，與Yb光纖的長度為1.5 倍時的情況相比變化不大，約為14nm。由該結(jié)果可知，泵浦光波長允許幅度，較為理想的是 在最佳長度的1. 5倍以上且2倍以下。對Yb摻雜光纖的光纖長度為最佳長度或最佳長度的1. 5倍時的光纖激光諧振器， 分別測定環(huán)境溫度發(fā)生了變化時的溫度特性。圖10是表示測定光纖激光器的溫度特性時的結(jié)構(gòu)的示意圖。泵浦用LD101被 固定在散熱器(heat sink)1001上，通過冷卻風(fēng)扇(cooling fan) 1002而被強(qiáng)制空冷(aircooled) 0光纖激光諧振器，如上述那樣包括光纖光柵102、104和摻雜Yb光纖。將它 們?nèi)颗渲迷诤銣夭蹆?nèi)，在可以自由地改變環(huán)境溫度的狀態(tài)下，進(jìn)行了溫度特性的測定。圖11和圖12表示，光纖激光器的長度為最佳長度，在不同的環(huán)境溫度條件下測定 的相對于泵浦用LD的供應(yīng)電流值的光纖激光器的輸出。圖11表示，光纖激光器的長度為 最佳長度，泵浦激光(泵浦用LD)的振蕩波長為973nm(環(huán)境溫度25°C供應(yīng)電流9A 7W輸 出時)時相對于泵浦用LD的供應(yīng)電流值的光纖激光器輸出的值。相對于Yb摻雜光纖的吸 收峰值的976nm，在使用短波長一側(cè)的振蕩波長973nm的激光進(jìn)行激發(fā)時，由于泵浦激光的 振蕩波長隨環(huán)境溫度的上升而變長，所以光纖激光器輸出的值有上升的傾向。環(huán)境溫度為 25°C時最高輸出可得3. 2W，而在環(huán)境溫度為35°C時可得3. 6W的輸出。即，可知最大輸出值 隨環(huán)境溫度而變動。反之，在長波長一側(cè)的977nm(環(huán)境溫度25°C供應(yīng)電流9A 7W輸出時) 時，相對于泵浦用LD的供應(yīng)電流值的光纖激光器輸出的值如圖12所示。如圖12所示，環(huán) 境溫度為25°C時可得到3. 8W的輸出，而環(huán)境溫度為35°C時反而下降至3W，可知沒有發(fā)現(xiàn)溫 度特性的改善。即可以說，對于最佳長度的Yb光纖，如果泵浦用LD的振蕩波長在任何情況 下都不是976nm，則不能獲得溫度特性的改善。另一方面，圖13表示Yb光纖的長度為最佳長度的1. 5倍即15m時相對于泵浦用 LD的供應(yīng)電流值的光纖激光器輸出的值。圖13表示泵浦激光的振蕩波長為977nm時的情 況。如圖13所示，環(huán)境溫度為25°C時輸出3. 8W，環(huán)境溫度為35°C時輸出3. 75W，溫度變化 引起的輸出變動降低2%以下。上述討論雖使用振蕩波長在970nm以上980nm以下的半導(dǎo) 體激光器進(jìn)行激發(fā)，但已證實(shí)在任何情況下，都能使輸出變動在5%以下，可獲得溫度特性 的改善效果。另外，尤其是泵浦用的半導(dǎo)體激光光源的振蕩波長在970以上976nm以下時， 對激光二級管的供應(yīng)電流值為恒定時因環(huán)境溫度引起的輸出下降，可通過Yb光纖中的泵 浦光吸收率的改善加以補(bǔ)償，故可進(jìn)一步減小溫度引起的輸出變動。通過采用上述的結(jié)構(gòu)，無需在使用976nm波帶半導(dǎo)體激光時所必須的珀?duì)栙N (Peltier)元件等冷卻機(jī)構(gòu)，僅靠散熱器和冷卻風(fēng)扇的強(qiáng)制空冷，即可實(shí)現(xiàn)能夠在室溫(例 如，20°C或25°C )至40°C或50°C左右的環(huán)境下加以使用的脈沖光源。另外，在第一至第五實(shí)施例中，光纖103使用摻雜有稀土類元素的Yb的光纖，但也 可以使用選自其它稀土類元素、例如Nd、Er、Dy、Pr、Tb、Eu等的至少一種稀土類元素。此 夕卜，根據(jù)振蕩波長或輸出，還可以改變稀土類元素的摻雜量，或摻雜多種稀土類元素等。此外，圖14表示本發(fā)明提出的使用光纖激光光源的投影系統(tǒng)的光學(xué)引擎的示意 圖。本實(shí)施例所涉及的二維圖像顯示裝置1400，是將上述的光纖激光光源應(yīng)用于液 晶3板式投影儀的光學(xué)引擎的一個例子。具體而言，二維圖像顯示裝置1400包括圖像 處理部1402，激光輸出控制器(控制器)1403，LD電源1404，紅色、綠色、藍(lán)色激光光源 1405R、1405G、1405B，射束形成棒透鏡(rod lens) 1406R、1406G、1406B，中繼透鏡(relay lens) 1407R、1407G、1407B，折回鏡(bending mirror) 1408G、1408B，用于顯示圖像的二維調(diào) 制元件 1409R、1409G、1409B，偏振器(polarizer) 1410R、1410G、1410B，合波棱鏡 1411 及投 影透鏡1412。綠色激光光源1405G，由控制綠色光源輸出的控制器1403和LD電源1404控制。 具體而言，綠色激光光源1405G，包括上述的脈沖光纖激光光源100(參照圖1)和用于將從脈沖光纖激光光源100射出的基波轉(zhuǎn)換為諧波的波長轉(zhuǎn)換元件(未圖示)。各光源1405R、1405G、1405B發(fā)出的激光，由棒透鏡1406R、1406G、1406B整形為矩 形，通過中繼透鏡1407R、1407G、1407B分別被導(dǎo)入二維調(diào)制元件1409R、1409G、1409B。各 色的二維調(diào)制元件1409R、1409G、1409B，由從中繼透鏡1407R、1408G、1408B引導(dǎo)的激光照 明。通過二維調(diào)制元件1409R、1409G、1409B而被調(diào)制為二維的各色圖像，由合波棱鏡1411 合成，再由投影透鏡1412投影在屏幕上。由此，在屏幕上顯示影像。此外，綠色激光光源1405G，由于激光諧振器封閉在光纖內(nèi)，因此可以抑制諧振 器的光損失因外部灰塵入侵或反射面的未對齊(out of alignment of a reflection surface)等而增加。因此，可以抑制輸出隨時間下降及/或輸出變動。另一方面，圖像處理部1402的功能是，生成根據(jù)輸入的影像信號1413的輝度信息 使激光輸出變動的光量(optical power)控制信號，并傳送給激光輸出控制器1403。通過 根據(jù)輝度信息來控制光量，可以改善對比度。此時，還可采取通過脈沖驅(qū)動激光使激光的發(fā)光時間的占空比(發(fā)光時間/ (發(fā)光 時間+不發(fā)光時間)的值)發(fā)生變化來改變平均光量的控制方法(PWM控制)。此外，也可以是該投影系統(tǒng)所使用的綠色光源射出波長為510nm到550nm的綠色 激光的結(jié)構(gòu)。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，可以獲得視覺感度高(high luminosity)的綠色激光輸出光，作 為色彩再現(xiàn)性好的顯示器，可實(shí)現(xiàn)更接近原色的色彩表現(xiàn)。此外，為達(dá)成上述目的，本發(fā)明的二維圖像顯示裝置包括屏幕、多個激光光源和掃 描激光光源的掃描部，激光光源具有使用至少分別射出紅色、綠色和藍(lán)色的光源的結(jié)構(gòu)，激 光光源中，至少綠色光源為使用上述的任一種波長轉(zhuǎn)換裝置的結(jié)構(gòu)。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于可以獲得發(fā)光率高的綠色激光輸出光，因此可用于色彩再現(xiàn)性 好的顯示器等中，實(shí)現(xiàn)更接近原色的色彩表現(xiàn)。如上所述，在本發(fā)明中，作為使激光脈沖振蕩的一種手段，采用的方法是，通過使 構(gòu)成諧振器的反射鏡(光纖光柵)的反射特性發(fā)生變化，取代由光強(qiáng)度引起的諧振器內(nèi)損 失的變化，來控制諧振器內(nèi)的Q值。具體而言，通過讓光折射率發(fā)生變化而使反射中心頻率移動，來改變光纖光柵的 反射特性。另外，也可采用配合自激振蕩的頻率注入泵浦光以降低光輸出波形中的直流成分 的控制方法。此外，為了防止作為光纖激光諧振器的構(gòu)成部件的光纖光柵的損壞，可通過增大 光纖的模場直徑或使光纖光柵為取樣光纖光柵結(jié)構(gòu)，來降低光的功率密度。 此外，由于在上述的光纖激光光源中，無需追加新的部件即可實(shí)現(xiàn)脈沖振蕩，因此 可實(shí)現(xiàn)高效的激光加工機(jī)或波長轉(zhuǎn)換光源等。另外，還可防止脈沖振蕩光纖激光光源的實(shí)現(xiàn)過程中成為問題的構(gòu)成部件的破 壞，可實(shí)現(xiàn)可靠性更高的光纖激光光源。上述的具體實(shí)施例中，主要包含有具有以下結(jié)構(gòu)的發(fā)明。本發(fā)明所提供的一種光纖激光光源，包括包含激光活性物質(zhì)的光纖，向所述光纖 射入泵浦光的泵浦激光光源，以及具有在含有所述激光活性物質(zhì)的光纖的兩側(cè)與所述光纖 光學(xué)連接的一組光纖光柵的激光諧振器，上述激光諧振器，通過偏振保持光纖和單一偏振化機(jī)構(gòu)而射出單一偏振光，激光射出側(cè)的所述光纖光柵的反射中心波長被設(shè)定在使靠近所述泵浦激光光源的所述光纖光柵的反射率為80%以上且98%以下的波長范圍內(nèi)。根據(jù)本發(fā)明，可通過改變光纖光柵的折射率，使各光纖光柵的反射帶域的重疊積 分發(fā)生變化，來實(shí)現(xiàn)激光器的自激振蕩。其理由如下所述。通過向光纖光柵射入高強(qiáng)度的光，使該光纖光柵的折射率變化，光纖光柵的反射 中心波長隨該折射率的變化而變化。這樣，通過反射中心波長變化，兩光纖光柵的反射帶域 的重疊部分減小，激光諧振器內(nèi)的封閉能量會減少，激光的峰值輸出下降。然后，由于當(dāng)所 述封閉能量減小，光纖光柵的反射中心波長返回變化前的狀態(tài)，故激光的峰值輸出再度增 大。如此通過反射中心波長的反復(fù)變化，實(shí)現(xiàn)自激脈沖振蕩。在所述光纖激光光源中，較為理想的是，靠近所述泵浦激光光源的光纖光柵的帶 域在Inm以上，所述激光射出側(cè)的光纖光柵的帶域在0. 05nm以下，所述激光諧振器使激光 脈沖振蕩。在所述光纖激光光源中，較為理想的是，由所述激光諧振器產(chǎn)生的光通過包含所 述激光活性物質(zhì)的光纖時的模場直徑在8 μ m以上且13 μ m以下。根據(jù)上述這些結(jié)構(gòu)，可以進(jìn)行更加穩(wěn)定的激光的自激振蕩。在所述光纖激光光源中，較為理想的是，在構(gòu)成所述激光射出側(cè)的光纖光柵的光 纖中，摻雜有選自鉛、錫、銻、鉍、鍺中的一種以上的金屬或金屬化合物。通過采用這樣的光纖作為構(gòu)成光纖光柵的光纖，可得到具有反射中心波長隨光強(qiáng) 度而變化的特性(折射率變化的特性)的光纖光柵。在所述光纖激光光源中，較為理想的是，由所述激光諧振器的諧振器長決定的自 激振蕩周期，與所述泵浦激光光源的發(fā)光周期一致。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，可以降低激光諧振器射出的激光的直流成分。在所述光纖激光光源中，較為理想的是，靠近所述泵浦激光光源的寬帶光纖光柵 的反射帶域的波動在15%以上。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于即使光纖光柵的折射率變化微小時，也可使兩光纖光柵的反射 帶域的重疊部分發(fā)生變化，因此容易產(chǎn)生脈沖振蕩。此外，由于可利用與多個波動的關(guān)系使 反射帶域的重疊部分發(fā)生變化，故可容易地進(jìn)行兩光纖光柵的反射帶域的初始設(shè)定。在所述光纖激光光源中，較為理想的是，還包括插入所述激光諧振器內(nèi)的諧振器 延長光纖。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，可以增長脈沖振蕩周期，并且增大脈沖的峰值輸出。在所述光纖激光光源中，較為理想的是，構(gòu)成靠近所述泵浦激光光源的寬帶光纖 光柵的光纖在光柵的反射波長的模場直徑在9 μ m以上15 μ m以下。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，可通過降低構(gòu)成光纖光柵的光纖內(nèi)的光功率密度，抑制光纖的惡化。 尤其是，在使用模場直徑在8μπι以上13 μ m以下的光纖作為激光諧振器間的光纖時，即使 考慮與該光纖之間的熔接連接損失，也可確保充分的模場直徑。在所述光纖激光光源中，較為理想的是，靠近所述泵浦激光光源的寬帶光纖光柵， 具有取樣光纖光柵的結(jié)構(gòu)。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于采用包括多個光纖光柵的取樣光纖光柵結(jié)構(gòu)，因此可在多處發(fā) 生反射，從而降低每個光纖光柵的光功率密度。
在所述光纖激光光源中，較為理想的是，所述泵浦激光光源，隨著溫度的上升，其 振蕩中心波長向長波長一側(cè)移動，并且輸出下降，含有所述激光活性物質(zhì)的光纖的長度，在 吸收95%以上含有所述激光活性物質(zhì)的光纖的吸收峰波長的光的光纖長度的1. 5倍以上2 倍以下。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，可通過使含有激光活性物質(zhì)的光纖的長度在吸收95%以上吸收峰波 長的光的光纖長度的1. 5倍以上2倍以下，擴(kuò)大泵浦光的波長范圍，該波長范圍作為含有激 光活性物質(zhì)的光纖以指定的吸收率以上吸收泵浦光的條件。因此，根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，即使從泵 浦激光光源射出的泵浦光的波長隨環(huán)境溫度的變化而變化時，也可抑制光纖的泵浦光的吸 收率的下降。在所述光纖激光光源中，較為理想的是，環(huán)境溫度為25°C時的所述泵浦激光光源 的振蕩波長在970nm以上980nm以下。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，可以改善激光輸出。尤其是，在利用長度為吸收95%以上含有激光活 性物質(zhì)的光纖的吸收峰波長的光的光纖長度的1. 5倍的光纖時，可以有效地抑制溫度變化 引起的輸出變動。在所述光纖激光光源中，較為理想的是，還包括用于冷卻所述泵浦激光光源的散 熱器和冷卻風(fēng)扇。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，僅靠散熱器和冷卻風(fēng)扇的強(qiáng)制空冷，即可實(shí)現(xiàn)能在室溫(例如，20°C 或25°C )至40°C或50°C左右的環(huán)境下使用的光纖激光光源。產(chǎn)業(yè)上的利用可能性采用本發(fā)明所涉及的光纖激光光源，可以獲得高效且高峰值功率的脈沖光源，故 通過將光纖激光光源應(yīng)用于加工用途或用作波長轉(zhuǎn)換光源的基波，可以改善激光應(yīng)用裝置 本身的效率。此外，由于光纖激光光源的溫度特性也能一起獲得改善，因此，即使在外氣溫等變 化的情況下，光纖激光光源也能穩(wěn)定地作為高效率的脈沖光源加以使用。尤其是，泵浦用LD 的冷卻無需使用珀?duì)栙N元件等冷卻機(jī)構(gòu)，僅靠散熱器和冷卻風(fēng)扇的強(qiáng)制空冷，即可實(shí)現(xiàn)能 在室溫(例如，20°C或25°C)至40°C或50°C左右的環(huán)境下使用的脈沖光源，故可改善總的 從投入電力到光輸出的轉(zhuǎn)換效率。
權(quán)利要求
一種光纖激光光源，其特征在于包括光纖，包含激光活性物質(zhì)；泵浦激光光源，向所述光纖射入泵浦光；以及激光諧振器，具有在含有所述激光活性物質(zhì)的光纖的兩側(cè)與所述光纖光學(xué)連接的一組光纖光柵；其中，所述激光諧振器，通過偏振保持光纖和單一偏振化機(jī)構(gòu)而射出單一偏振光，激光射出側(cè)的所述光纖光柵的反射中心波長，被設(shè)定在使靠近所述泵浦激光光源的所述光纖光柵的反射率為80％以上且98％以下的波長范圍內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖激光光源，其特征在于靠近所述泵浦激光光源的光纖光柵的帶域在Inm以上；所述激光射出側(cè)的光纖光柵的帶域在0. 05nm以下；所述激光諧振器使激光脈沖振蕩。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光纖激光光源，其特征在于所述激光諧振器產(chǎn)生的光 通過包含所述激光活性物質(zhì)的光纖時的模場直徑在8 μ m以上且13 μ m以下。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的光纖激光光源，其特征在于在形成所述激光 射出側(cè)的光纖光柵的光纖中，摻雜有選自鉛、錫、銻、鉍、鍺中的一種以上的金屬或金屬化合 物。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的光纖激光光源，其特征在于由所述激光諧振 器的諧振器長決定的自激振蕩周期，與所述泵浦激光光源的發(fā)光周期相一致。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的光纖激光光源，其特征在于靠近所述泵浦激 光光源的寬帶光纖光柵的反射帶域的波動在15%以上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的光纖激光光源，其特征在于還包括插入在所 述激光諧振器內(nèi)的諧振器延長光纖。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的光纖激光光源，其特征在于構(gòu)成靠近所述泵 浦激光光源的寬帶光纖光柵的光纖在光柵的反射波長的模場直徑在9 μ m以上15 μ m以下。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的光纖激光光源，其特征在于靠近所述泵浦激 光光源的寬帶光纖光柵具有取樣光纖光柵的結(jié)構(gòu)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的光纖激光光源，其特征在于所述泵浦激光光源，隨著溫度的上升其振蕩中心波長向長波長一側(cè)移動，并且輸出下降；包含所述激光活性物質(zhì)的光纖的長度，在吸收95%以上包含所述激光活性物質(zhì)的光纖 的吸收峰波長的光的光纖長度的1. 5倍以上2倍以下。
11.根據(jù)權(quán)利要求1至10中任一項(xiàng)所述的光纖激光光源，其特征在于環(huán)境溫度為 25°C時的所述泵浦激光光源的振蕩波長在970nm以上980nm以下。
12.根據(jù)權(quán)利要求1至11中任一項(xiàng)所述的光纖激光光源，其特征在于還包括用于冷 卻所述泵浦激光光源的散熱器和冷卻風(fēng)扇。
全文摘要
本發(fā)明提供一種光纖激光器光源，包括具有在光纖的兩側(cè)與所述光纖光學(xué)連接的一組光纖光柵的激光諧振器，激光射出側(cè)的光纖光柵的反射中心波長在使靠近泵浦激光光源的光纖光柵的反射率為80％以上98％以下的波長范圍內(nèi)。
文檔編號H01S3/094GK101842946SQ200880114398
公開日2010年9月22日 申請日期2008年10月30日 優(yōu)先權(quán)日2007年10月31日
發(fā)明者古屋博之, 山本和久, 島研介, 柏木正浩, 門脅慎一 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社;株式會社藤倉