專利名稱：晶圓盒的頂撐構(gòu)造的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型是涉及一種晶圓盒的頂撐構(gòu)造，特別是涉及一種可用以防止錯 誤組裝的晶圓盒頂撐構(gòu)造。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)今的半導(dǎo)體晶圓制造廠中，每當(dāng)晶圓表面形成微電子電路之后，數(shù)片 晶圓將會暫時儲存于一晶圓盒內(nèi)，以便保護(hù)所述晶圓及平穩(wěn)的將所述晶圓運(yùn)送 至下一加工機(jī)臺位置或其它廠區(qū)。
請參照圖1所示，其概示一種現(xiàn)有的晶圓盒1，所述晶圓盒1包含一蓋體
11、 一座體12及二頂撐件13。所述蓋體ll通常是選自透明材質(zhì)制成的盒蓋， 其用以蓋設(shè)于所述座體12上，以密封所述座體12的上表面。所述蓋體11內(nèi) 部的上表面設(shè)有一第一結(jié)合座111及一第二結(jié)合座112，所述第一及第二結(jié)合 座111、 112之間具有一高度差，所述第二結(jié)合座112相對較凸出。所述座體 12的上表面則卡接組裝一定位框架121，以供插置多個晶圓。所述定位框架121 的上表面則區(qū)分成一第一頂面121a及一第二頂面121b。所述第一及第二頂面 '121a、 121b之間具有一高度差，所述第二頂面121b相對較低。所述二頂撐件 13分別結(jié)合于所述蓋體11的第一及第二結(jié)合座lll、 112，并分別對應(yīng)于所述 定位框架121的第一及第二頂面121a、 121b。
請參照圖2所示，所述頂撐件13包含一結(jié)合部131、 二支撐臂132、 二彎 折部133、 二彈性臂134、 一抵接部135及一通孔136。所述結(jié)合部131用以結(jié) 合于所述蓋體11的第一或第二結(jié)合座111、 112。所述支撐臂132的一端連接所述結(jié)合部131，及其另一端連接所述彎折部133。所述彈性臂134的一端連 接所述彎折部133，及其另一端連接所述抵接部135。所述通孔136開設(shè)于所 述抵接部135上，以減少接觸面積。
請參照圖3A所示，當(dāng)所述定位框架121正確的組裝于所述座體12上并使 所述蓋體11蓋設(shè)于所述座體12上時，所述二頂撐件13的抵接部135恰可分 別輕微抵接于所述第一及第二頂面121a、 121b上，以便防止所述蓋體ll及座 體12之間的相對晃動。此時，所述頂撐件13的彈性臂134及支撐臂132可相 對所述彎折部133彈性壓縮變形，但其壓縮變形量是控制在一預(yù)定范圍內(nèi)。
然而，請參照圖3B所示，當(dāng)所述定位框架121未正確的組裝于所述座體 12上時，將造成所述定位框架121相對所述座體12形成些微傾斜。此時，若 將所述蓋體11蓋設(shè)于所述座體12上時，設(shè)于所述第一結(jié)合座111上的頂撐件 13的抵接部135可能過度緊密的抵接于所述第一頂面121a上，同時設(shè)于所述 第二結(jié)合座112上的頂撐件13的抵接部135卻可能僅是輕微抵接所述第二頂 面121b。此時，所述第一結(jié)合座111上的頂撐件13已具有超過預(yù)定范圍的壓 縮變形量，可能導(dǎo)致所述頂撐件13由所述抵接部135或彎折部133的位置處 斷裂，從而降低所述頂撐件13的使用壽命。再者，由于所述第二結(jié)合座112 上的頂撐件13并未完全發(fā)揮頂撐作用，因此可能造成所述蓋體11及座體12 之間的相對晃動，而無法平穩(wěn)運(yùn)送晶圓。最重要的是，由于所述蓋體11仍可 完全蓋設(shè)于所述座體12上，因此自動化機(jī)臺可能無法實時判斷發(fā)現(xiàn)因為所述 定位框架121未正確的組裝于所述座體12上而導(dǎo)致所述蓋體11錯誤蓋設(shè)于所 述座體12上，這樣可能造成后續(xù)自動化機(jī)臺或作業(yè)人員對晶圓位置的誤判， 影響制程的連貫性與效率，甚至毀壞晶圓。
因此，有必要提供一種晶圓盒的頂撐構(gòu)造，以解決現(xiàn)有技術(shù)所存在的問題。
實用新型內(nèi)容
本實用新型的主要目的在于提供一種晶圓盒的頂撐構(gòu)造，其是利用限位板 限制彈性臂及支撐臂的壓縮變形量，此一防呆設(shè)計能在頂撐件過度壓縮變形前 使自動化機(jī)臺能實時判斷是否蓋體的蓋設(shè)動作因定位框架未正確組裝而發(fā)生 錯誤，從而有利于降低錯誤組裝機(jī)率及增加使用便利性。
本實用新型的另一目的在于提供一種晶圓盒的頂撐構(gòu)造，其是利用限位板 防止頂撐件因過度壓縮變形而發(fā)生斷裂的問題，從而有利于延長頂撐件的使用 壽命。
本實用新型的又一 目的在于提供一種晶圓盒的頂撐構(gòu)造，其中抵接部省略 設(shè)置通孔，以便強(qiáng)化抵接部的結(jié)構(gòu)避免斷裂，從而有利于增加結(jié)構(gòu)強(qiáng)度及延長 使用壽命。
為達(dá)上述的目的，本實用新型提供一種晶圓盒的頂撐構(gòu)造，其是在一蓋體 內(nèi)部的上表面的一第一結(jié)合座及一第二結(jié)合座上分別安裝一頂撐件，以分別抵 接一座體的一定位框架的一第一頂面及一第二頂面。所述頂撐件包含 一結(jié)合 部、二支撐臂、二彎折部、二彈性臂、 一抵接部及一限位板。所述結(jié)合部用以 結(jié)合于所述蓋體的第一或第二結(jié)合座。所述支撐臂的一端連接所述結(jié)合部。所 述彎折部的一端連接所述支撐臂的另一端。所述彈性臂的一端連接所述彎折 部。所述抵接部連接所述二彈性臂的另一端。所述限位板形成在所述結(jié)合部、 支撐臂、彎折部、彈性臂及抵接部共同菌繞形成的一空間內(nèi)。所述限位板具有 至少一基部及一限位部，所述基部結(jié)合在所述支撐臂與結(jié)合部的結(jié)合位置上， 所述限位部用以適時抵接所述抵接部的內(nèi)表面，以限制所述彈性臂及支撐臂的 壓縮變形量。
相較于現(xiàn)有技術(shù)，本實用新型通過在一蓋體內(nèi)部的上表面的二結(jié)合座上分 別安裝一頂撐件，以分別抵接一座體的一定位框架的二不同頂面，本實用新型 確實可以防止錯誤組裝，并有利于增加結(jié)構(gòu)強(qiáng)度及延長使用壽命。

圖l:現(xiàn)有晶圓盒及其頂撐構(gòu)造的立體圖。
圖2:現(xiàn)有晶圓盒的頂撐構(gòu)造的使用示意圖。
圖3A:現(xiàn)有晶圓盒在正常組裝狀態(tài)下的組合剖視圖。
圖3B:現(xiàn)有晶圓盒在錯誤組裝狀態(tài)下的組合剖視圖。
圖4:本實用新型較佳實施例的晶圓盒的頂撐構(gòu)造的立體圖。
圖5:本實用新型較佳實施例的晶圓盒在正常組裝狀態(tài)下的組合剖視圖。
圖5A:本實用新型圖5沿5A-5A線的剖視圖。
圖6:本實用新型較佳實施例的晶圓盒在錯誤組裝狀態(tài)下的組合剖視圖。 圖6A:本實用新型圖6沿6A-6A線的剖視圖。
具體實施方式
為讓本實用新型上述目的、特征及優(yōu)點(diǎn)更明顯易懂，下文特舉本實用新型 較佳實施例，并配合附圖，作詳細(xì)說明如下
請參照圖4及圖5所示，本實用新型較佳實施例的晶圓盒的頂撐構(gòu)造是在 一蓋體11內(nèi)部的上表面的一第一結(jié)合座111及一第二結(jié)合座112安裝二頂撐 件2，以分別抵接一座體12的一定位框架121的一第一頂面121a及一第二頂 面121b。所述蓋體11及座體12構(gòu)成一晶圓盒1，其構(gòu)造與功能可參照圖1所 示的現(xiàn)有晶圓盒l(wèi)，所以于此不再予詳細(xì)贅述。本實用新型的特征在于所述頂 撐件2，所述頂撐件2除了可應(yīng)用于本實用新型揭示的晶圓盒1之外，亦可能 應(yīng)用于其它不同規(guī)格的晶圓盒或半導(dǎo)體組件收納盒，于此合先敘明。
請參照圖4、圖5及圖5A所示，本實用新型較佳實施例的頂撐件2是由可撓性材質(zhì)制成，例如塑料。所述頂撐件2包含一結(jié)合部21、 二支撐臂22、 二彎折部23、 二彈性臂24、 一抵接部25及一限位板26。所述結(jié)合部21優(yōu)選 是一柱體，其剖面形狀可選自方形、矩形、十字形或其它多邊形，且所述結(jié)合 部21的表面可選擇形成至少一卡掣部211，所述卡掣部211可選自凸緣或凹槽。 如圖5A所示，所述結(jié)合部21是用以結(jié)合于所述蓋體11的第一結(jié)合座lll(或 第二結(jié)合座112)，所述卡掣部211則用以增加所述結(jié)合部21與所述第一結(jié)合 座lll(或第二結(jié)合座112)的結(jié)合強(qiáng)度。
請再參照圖4、圖5及圖5A所示，本實用新型較佳實施例的二支撐臂22 是呈板片狀。所述支撐臂22的一端連接所述結(jié)合部21，及其另一端連接所述 彎折部23。所述支撐臂22可相對于所述彎折部23或結(jié)合部21進(jìn)行輕微的樞 轉(zhuǎn)動作。再者，所述彎折部23位于所述支撐臂22及彈性臂24之間，所述彎 折部23的內(nèi)表面形成凹陷狀，使所述彎折部23的厚度小于所述支撐臂22及 彈性臂24，因而所述彎折部23相對于所述支撐臂22及彈性臂24具有較大的 彈性彎折裕度。
請再參照圖4、圖5及圖5A所示，本實用新型較佳實施例的二彈性臂24 是呈板片狀。所述彈性臂24的一端連接所述彎折部23，及其另一端連接所述 抵接部25。所述彈性臂24可相對于所述彎折部23或抵接部25進(jìn)行輕微的樞 轉(zhuǎn)動作。再者，所述抵接部25連接所述二彈性臂24的另一端。當(dāng)所述抵接部 25抵接所述第一頂面121a(或第二頂面121b)時，所述彈性臂24及支撐臂22 可進(jìn)行輕微的樞轉(zhuǎn)動作，使所述頂撐件2產(chǎn)生一壓縮變形量。
請再參照圖4、圖5及圖5A所示，本實用新型較佳實施例的限位板26是 概呈U型，其可選自空心板片或?qū)嵭陌鍓K的構(gòu)造。所述限位板26形成在所述 結(jié)合部21、支撐臂22、彎折部23、彈性臂24及抵接部25共同圍繞形成的一空間內(nèi)。所述限位板26具有至少一基部261及一限位部262。在本實施例中， 所述限位板26選自空心板片，所以所述基部261的數(shù)量優(yōu)選為2個。在其它 實施例中，若所述限位板26選自實心板塊，則所述基部261的數(shù)量為1個。 所述至少一基部261是結(jié)合在所述支撐臂22與結(jié)合部21的結(jié)合位置上，而所 述限位部262則形成在所述限位板26的底端。再者，所述至少一基部261的 跨距優(yōu)選大于所述限位部262的跨距，使所述限位板26形成上寬下窄狀，這 樣所述限位板26將具有較大的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度。在本實施例中，所述限位板26是選 擇設(shè)計成不具彈性變形裕度；但在其它實施例中，所述限位板26亦可選擇設(shè) 計成具有極小的彈性變形裕度。另外，本實用新型的頂撐件2可依實際需求選 擇以一體成型或分開制造的方式設(shè)置所述限位板26。
請參照圖5及圖5A所示，當(dāng)本實用新型較佳實施例的頂撐件2應(yīng)用于一 晶圓盒1時，可將二個頂撐件2分別結(jié)合于所述蓋體11的第一及第二結(jié)合座
111、 112上，其中所述第一及第二結(jié)合座111、 112之間具有一高度差，所述 第二結(jié)合座112相對較凸出；同時，所述第一頂面121a及第二頂面121b之間 具有一高度差，所述第二頂面121b相對較低。此時，所述頂撐件2的結(jié)合部 21可利用所述卡掣部211或黏著劑等穩(wěn)固結(jié)合于所述第一及第二結(jié)合座111、
112。 如圖5及圖5A所示，當(dāng)所述定位框架121正確的組裝于所述座體12上 并使所述蓋體11蓋設(shè)于所述座體12上時，所述二頂撐件2的抵接部25恰可 分別輕微抵接于所述第一及第二頂面121a、 121b上，以便防止所述蓋體11及 座體12之間的相對晃動。此時，所述頂撐件2的彈性臂24及支撐臂22可相 對所述彎折部23彈性壓縮變形，但其壓縮變形量是控制在一預(yù)定范圍內(nèi)。在 上述正常使用狀態(tài)下，所述限位板26尚不致接觸所述抵接部25的內(nèi)表面。
請參照圖6及圖6A所示，當(dāng)所述定位框架121未正確的組裝于所述座體12上時，將造成所述定位框架121相對所述座體12形成些微傾斜。此時，若 將所述蓋體11蓋設(shè)于所述座體12上時，設(shè)于所述第一結(jié)合座111上的頂撐件 2的抵接部25將過度緊密的抵接于所述第一頂面121a上，同時設(shè)于所述第二 結(jié)合座112上的頂撐件2的抵接部25僅輕微抵接或未抵接所述第二頂面121b。 此時，就所述第一結(jié)合座111上的頂撐件2而言，所述限位板26將與所述抵 接部25的內(nèi)表面接觸，以限制所述彈性臂24及支撐臂22發(fā)生超過預(yù)定范圍 的壓縮變形量，從而避免所述頂撐件2由所述抵接部25或彎折部23的位置處 斷裂。再者，當(dāng)錯誤組裝所述定位框架121而導(dǎo)致所述蓋體11的蓋設(shè)動作錯 誤時，本實用新型的限位板26亦會阻擋所述蓋體1完全蓋設(shè)于所述座體12上 (如圖6下方所示)，以提供一防呆設(shè)計使自動化機(jī)臺能即使判斷所述蓋體11 的蓋設(shè)動作是否錯誤。藉此，使得作業(yè)人員可輕易的實時發(fā)現(xiàn)所述定位框架121 組裝錯誤，以降低錯誤組裝機(jī)率及增加使用便利性。在重新正確的組裝所述定 位框架121及座體12并重新將所述蓋體11蓋設(shè)于所述座體12上之后，所述 蓋體11及座體12將可用以平穩(wěn)的運(yùn)送晶圓，并使所述頂撐件2盡可能于正常 作用狀態(tài)，以確保其使用壽命。同時，相較于現(xiàn)有構(gòu)造，由于所述抵接部25 省略設(shè)置通孔，所以亦可強(qiáng)化所述抵接部25的結(jié)構(gòu)避免斷裂，亦有利于增加 結(jié)構(gòu)強(qiáng)度及延長使用壽命。
值得注意的是，在上述實施例中，本實用新型是通過所述第一及第二結(jié)合 座lll、 112的高度差，以使二個相同尺寸的頂撐件2的高度能匹配于所述第 一頂面121a及第二頂面121b的高度差。然而，在其它實施例中，本實用新型 亦可使所述第一及第二結(jié)合座111、 112形成相同高度，但提供二個不同尺寸 的頂撐件2，通過所述二頂撐件2本身提供一高度差，并使所述第二結(jié)合座112 上的頂撐件2相對較凸出，藉此所述二頂撐件2同樣能匹配于所述第一頂面121a及第二頂面121b的高度差。再者，在其它實施例中，本實用新型亦可利 用不限數(shù)量的頂撐件2，以結(jié)合所述晶圓盒1蓋體11及座體12。
綜上所述，相較于現(xiàn)有晶圓盒1的頂撐件13無法阻止所述蓋體11及座體 12發(fā)生組裝錯誤，而易導(dǎo)致所述頂撐件13斷裂、晶圓晃動或影響后續(xù)操作等 缺點(diǎn)，圖4的本實用新型通過在所述頂撐件2增設(shè)所述限位板26，其確實可提 供防呆設(shè)計，使自動化機(jī)臺能實時判斷是否所述蓋體11的蓋設(shè)動作因所述定 位框架121未正確組裝而發(fā)生錯誤，以有效降低錯誤組裝機(jī)率、增加使用便利 性及延長所述頂撐件25的使用壽命。
權(quán)利要求1、一種晶圓盒的頂撐構(gòu)造，其是在一蓋體內(nèi)部的上表面的一第一結(jié)合座及一第二結(jié)合座上分別安裝一頂撐件，以分別抵接一座體的一定位框架的一第一頂面及一第二頂面，其特征在于每一所述頂撐件包含一結(jié)合部，其結(jié)合于所述蓋體的第一或第二結(jié)合座；二支撐臂，每一所述支撐臂的一端連接所述結(jié)合部；二彎折部，每一所述彎折部的一端連接所述支撐臂的另一端；二彈性臂，每一所述彈性臂的一端連接所述彎折部；一抵接部，其連接所述二彈性臂的另一端；及一限位板，其具有至少一基部及一限位部，所述基部結(jié)合在所述支撐臂與結(jié)合部的結(jié)合位置上，所述限位部用以適時抵接所述抵接部的內(nèi)表面，以限制所述彈性臂及支撐臂的壓縮變形量。
2、 如權(quán)利要求1所述的晶圓盒的頂撐構(gòu)造，其特征在于所述座體的第一 及第二頂面之間具有一高度差，所述第二頂面相對較低。
3、 如權(quán)利要求2所述的晶圓盒的頂撐構(gòu)造，其特征在于所述蓋體的第一 及第二結(jié)合座之間具有一高度差，所述第二結(jié)合座相對較凸出。
4、 如權(quán)利要求3所述的晶圓盒的頂撐構(gòu)造，其特征在于所述二頂撐件的 尺寸相同。
5、 如權(quán)利要求2所述的晶圓盒的頂撐構(gòu)造，其特征在于所述二頂撐件的 尺寸不同，所述二頂撐件之間具有一高度差，所述第二結(jié)合座上的頂撐 件相對較凸出。
6、 如權(quán)利要求5所述的晶圓盒的頂撐構(gòu)造，其特征在于所述蓋體的第一 及第二結(jié)合座具有相同高度。
7、 如權(quán)利要求1所述的晶圓盒的頂撐構(gòu)造，其特征在于所述至少一基部 的跨距大于所述限位部的跨距，使所述限位板形成上寬下窄狀。
8、 一種晶圓盒的頂撐構(gòu)造，其是在一蓋體內(nèi)部的上表面的一結(jié)合座上安裝 一頂撐件，以抵接一座體的一定位框架的一頂面，其特征在于所述頂 撐件包含一結(jié)合部，其結(jié)合于所述蓋體的結(jié)合座； 二支撐臂，每一所述支撐臂的一端連接所述結(jié)合部； 二彎折部，每一所述彎折部的一端連接所述支撐臂的另一端； 二彈性臂，每一所述彈性臂的一端連接所述彎折部； 一抵接部，其連接所述二彈性臂的另一端；及一限位板，其具有至少一基部及一限位部，所述基部結(jié)合在所述支撐 臂與結(jié)合部的結(jié)合位置上，所述限位部用以適時抵接所述抵接部的內(nèi) 表面，以限制所述彈性臂及支撐臂的壓縮變形量。
9、 如權(quán)利要求8所述的晶圓盒的頂撐構(gòu)造，其特征在于所述至少一基部 的跨距大于所述限位部的跨距，使所述限位板形成上寬下窄狀。
專利摘要本實用新型公開一種晶圓盒的頂撐構(gòu)造，其是在一蓋體內(nèi)部的上表面的二結(jié)合座上分別安裝一頂撐件，以分別抵接一座體的一定位框架的二不同頂面。所述頂撐件包含一結(jié)合部、二支撐臂、二彎折部、二彈性臂、一抵接部及一限位板。所述結(jié)合部用以結(jié)合于所述蓋體的結(jié)合座。所述限位板形成在所述結(jié)合部、支撐臂、彎折部、彈性臂及抵接部共同圍繞形成的一空間內(nèi)。所述限位板用以適時抵接所述抵接部的內(nèi)表面，以限制所述彈性臂及支撐臂的壓縮變形量。
文檔編號H01L21/67GK201327823SQ20082017884
公開日2009年10月14日 申請日期2008年11月12日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月12日
發(fā)明者張耀中, 翁連波 申請人:臺灣積體電路制造股份有限公司