專利名稱：半導(dǎo)體激光器模塊的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體激光器模塊，特別是，用于通信的插座式光發(fā)射子模組(簡稱為TOSA)。
技術(shù)背景大多數(shù)光通信器件通過利用光收發(fā)器模塊實(shí)現(xiàn)在電信號(hào)和光信號(hào) 之間的轉(zhuǎn)換，和實(shí)現(xiàn)到作為傳輸媒介的光纖的連接。在操作通信器件 時(shí)，選擇與環(huán)境媒介(例如通信速率、通信距離和傳送媒介)相適應(yīng) 的光收發(fā)器并提供給通信器件。光收發(fā)器的發(fā)射側(cè)包括驅(qū)動(dòng)電路，主要用于把傳送的電信號(hào)轉(zhuǎn) 換為激光驅(qū)動(dòng)電信號(hào)；激光組件，用于把電信號(hào)轉(zhuǎn)換到光信號(hào)；連接 器，用于連接到外部光纖軟線(optical fiber cord)等。在光通信工業(yè)中，裝備有半導(dǎo)體激光器并在發(fā)射側(cè)具有一些光連 接器功能的半導(dǎo)體激光器模塊被稱作光發(fā)射子模組(簡稱TOSA)。光 纖軟線可拆卸地附接于光連接器。光連接器由主要用于與光纖軟線的 光連接的插座單元和主要用于保持機(jī)械強(qiáng)度的殼體單元構(gòu)成。TOSA代表裝備有光連接器功能中的插座單元功能的半導(dǎo)體激光器模塊。TOSA包括用于電一光轉(zhuǎn)換的半導(dǎo)體激光器；子安裝件，用于 在其上固定半導(dǎo)體激光器；透鏡，用于將半導(dǎo)體激光器發(fā)射的激光束 聚焦在光纖插芯(stub)上，所述光纖插芯構(gòu)成插座用作光連接器的一 部分；光電探測器，用于監(jiān)視半導(dǎo)體激光器的光輸出強(qiáng)度；管座(stem)， 用于封裝上述組成部分;氣密密封帽等。通常情況下，光纖插芯等的 光束入射面相對于該光纖插芯的光軸被切割成傾斜狀態(tài)，而且，激光束以預(yù)設(shè)角度進(jìn)入，以便抑制任何近端反射。在有些情況下，為了確保高頻特性，對半導(dǎo)體激光器施加大量電流，所以，為了將理想的光輸出輸入到與TOSA連接的光纖軟線中， 需要調(diào)整TOSA的輸出衰減。在日本特開專利JP-P2004-13886A中，公開了用于半導(dǎo)體激光器 模塊光輸出衰減調(diào)整方法的例子。該文獻(xiàn)中公開的一個(gè)例子是一種方 法，該方法用于沿光軸方向調(diào)整光纖插芯的坐標(biāo)軸，散焦聚焦于光纖 插芯的光束入射表面的激光束，并且降低要與光纖插芯耦合的激光束 的耦合效率，這樣調(diào)整光輸出衰減。該文獻(xiàn)公開的另一個(gè)例子是一種 方法，該方法用于將激光束聚焦于光纖插芯的光束入射表面上，旋轉(zhuǎn) 隔離器，并減少激光束的傳送，這樣調(diào)整光輸出衰減。在日本特開專利申請JP-A-Heisei， 09-218326中公開了如下技術(shù)， 該技術(shù)在透鏡上施以中性密度(neutral density簡稱為ND)濾光膜，以便 減少光束的透射率(transmittance)。另外，相關(guān)技術(shù)也公開于日本特開 專利申請JP-P2006-163351A及JP-P2006-19078A中。發(fā)明內(nèi)容一種光纖軟線連接到TOSA的插座開口中。光纖插芯與光纖軟線 以配合的方式彼此光耦合。此時(shí)，理想情況是，光纖插芯的中心軸與 光纖軟線的中心軸是相同的。而實(shí)際上，因?yàn)橹圃旃に嚥煌ǔ９饫w 有某個(gè)確定的偏心距，所以，纖芯的量及取向是隨每個(gè)個(gè)體光纖而變 化。這樣的偏心距導(dǎo)致了耦合效率的起伏，該耦合效率的起伏是當(dāng)光 纖軟線安裝到插座開口中的狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)時(shí)發(fā)生的，即，起伏取決于光 纖軟線的安裝狀況。這種起伏被稱為旋轉(zhuǎn)起伏。從光輸出水平圖的配 置的角度來看，旋轉(zhuǎn)起伏需要很小。通過散焦激光束能調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)起伏。然而，這種調(diào)整方法引起以下問題通過散焦導(dǎo)致入射到光纖插芯的激光束的光斑大小比光纖插芯 的纖芯直徑大得多，由此產(chǎn)生漏到包層的光束，并且產(chǎn)生包層模式傳播。眾所周知，包層模式是在包層中曲折(meandering)的同時(shí)在包層 內(nèi)傳播，所以，沒有任何衰減地到達(dá)例如光纖插芯的短光纖內(nèi)的發(fā)射 端。結(jié)果，在光纖插芯發(fā)射面處的光強(qiáng)度分布相對于光纖插芯的光軸 不對稱，因此，除了光纖偏心距還不利地增加了耦合起伏。與此同時(shí)，在聚焦激光束的同時(shí)，也能通過旋轉(zhuǎn)隔離器調(diào)整旋轉(zhuǎn) 起伏。用該調(diào)整辦法可以抑制包層模式。然而，引起下列問題為了 避免任何近端反射，隔離器入射面通常也必須相對于激光束的光軸以 預(yù)設(shè)角傾斜設(shè)置。然而，很難在保持預(yù)設(shè)傾斜的同時(shí)調(diào)整旋轉(zhuǎn)角度。在本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例中，半導(dǎo)體激光器模塊，包括半導(dǎo)體激光 器；透鏡；光纖插芯，具有傾斜的切割面，從半導(dǎo)體激光器發(fā)出并穿 過所述透鏡的發(fā)射光入射到該傾斜的切割面，并且將該切割面布置在 沿光纖插芯的光軸方向偏離透鏡焦點(diǎn)的位置處；及固定的光衰減器， 布置在半導(dǎo)體激光器的發(fā)射光的路徑上，并且具有相對于半導(dǎo)體激光 器的光軸傾斜的入射面。根據(jù)本發(fā)明，能提供這樣的插座式半導(dǎo)體激光器模塊(簡稱 TOSA)，其中由要與光纖插芯連接的光纖軟線的偏心距所導(dǎo)致的耦合 起伏小并且近端反射被抑制。


結(jié)合附圖，本發(fā)明的上述和其它目的、優(yōu)點(diǎn)和特征將根據(jù)下面某 些優(yōu)選實(shí)施例的描述而變得更清晰，其中圖1是示出根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例插座式半導(dǎo)體激光器模塊的橫 截面?zhèn)纫晥D；圖2示出第一實(shí)施例半導(dǎo)體激光器模塊中半導(dǎo)體激光器、透鏡、 光纖套管的布置的橫截面?zhèn)纫晥D和頂視圖；圖3是示出了偏振器的透射率與一相對角之間關(guān)系的圖，該相對角是偏振器與傳輸光的偏振取向之間的相對角；圖4A示出用于解釋激光束在光纖插芯內(nèi)部傳播的橫截面圖和頂視圖；圖4B示出用于解釋激光束在光纖插芯內(nèi)部傳播的橫截面圖和頂視圖；圖5是示出第一實(shí)施例中與半導(dǎo)體激光器模塊連接的光纖軟線的視圖；圖6示出了旋轉(zhuǎn)起伏的測量結(jié)果； 圖7示出了最大旋轉(zhuǎn)起伏與偏離距離之間關(guān)系的圖； 圖8A示出用于解釋在光纖插芯的輸出端處的光強(qiáng)度分布的圖； 圖8B示出用于解釋在光纖插芯的輸出端處的光強(qiáng)度分布的圖； 圖9是示出根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的插座式半導(dǎo)體激光器模塊的 橫截面圖；圖10是示出根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的插座式半導(dǎo)體激光器模塊 的橫截面圖；圖11是示出根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施例的插座式半導(dǎo)體激光器模塊 的橫截面圖；以及圖12是示出根據(jù)本發(fā)明第五實(shí)施例的插座式半導(dǎo)體激光器模塊 的橫截面圖。
具體實(shí)施方式
此后，將參考附圖來描述根據(jù)本發(fā)明的各實(shí)施例的半導(dǎo)體激光器 模塊，(第一實(shí)施例)圖1是示出根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的插座式半導(dǎo)體激光器模塊 CTOSA)IOO的橫截面?zhèn)纫晥D。半導(dǎo)體激光器1安裝在子安裝件2上， 及在此狀態(tài)下，封裝在頭部3里。半導(dǎo)體激光器l是以10Gb/s的分布 反饋式半導(dǎo)體激光器為例說明。使用AuSn焊料、Ag粘貼等來封裝半導(dǎo)體激光器1。半導(dǎo)體激光器1經(jīng)由金線4與引線5a電氣聯(lián)接。管座6 是由引線5a，5b，5c和頭部3構(gòu)成的構(gòu)件。盡管圖1中引線的數(shù)量被設(shè)定 為3個(gè)，但是必要時(shí)，數(shù)量可以適當(dāng)增減。盡管圖1未示出，但是用 于監(jiān)視光輸出的光電二極管適當(dāng)?shù)夭贾迷诎雽?dǎo)體激光器1的后面。在半導(dǎo)體激光器1輸出側(cè)的前面設(shè)置了透鏡8形成光學(xué)系統(tǒng)，該 透鏡8固定于帽7。例如球形透鏡用作透鏡8。出于氣密密封和支撐的 目的，包括透鏡8和帽7的透鏡帽9固定在管座5上。在透鏡帽9的 前面設(shè)置了具有傾斜切割面的光纖插芯14，由第一偏振器10、第二偏 振器11和法拉第旋轉(zhuǎn)器12構(gòu)成的隔離器13附著在該傾斜切割面上。 光纖插芯14包括光纖17及用于保護(hù)光纖17的套管18，所述光纖17 由纖芯15及包層16組成。光纖17以具有10Mm的纖芯直徑的單模光 纖為例。套管18由例如鋯制成。盡管圖l未示出，但是，用于給法拉 第旋轉(zhuǎn)器12施加磁場的磁鐵設(shè)置在隔離器13的側(cè)面。光纖插芯14經(jīng)由套筒(sleeve) 20固定在金屬圓柱體19內(nèi)，由 此固定到金屬圓柱體19和另一金屬圓柱體21。這樣一個(gè)部分被稱為插 座22。使用例如YAG焊接，將滑動(dòng)架23、金屬圓柱體21和固定了的 透鏡帽9彼此固定。圖2示出了在第一實(shí)施例中，半導(dǎo)體激光器模塊100中的半導(dǎo)體 激光器l、透鏡8和光纖套管14的排布。圖2 (a)是橫截面?zhèn)纫晥D， 圖2 (b)是橫截面頂視圖。如圖2 (a)所示，光纖插芯14的光束入射 面24被切割成相對于垂直于光纖17的光軸的表面具有傾斜度的傾斜 狀。本實(shí)施例中的傾斜度大約是8°。附著于光束入射面24的隔離器 13具有與光束入射面24平行的光束入射面25。而且，這樣設(shè)置半導(dǎo) 體激光器1，以便從半導(dǎo)體激光器1發(fā)出的光束26的光軸以相對于與 光纖17的中心軸平行線大約3。的傾斜度進(jìn)入。半導(dǎo)體激光器1的光發(fā) 射面相對于光纖17的光軸偏離大約25um。同時(shí)，如圖2(b)所示當(dāng) 從上方看時(shí)，半導(dǎo)體激光器l、透鏡8和光纖插芯14被布置成從半導(dǎo)體激光器1發(fā)出的光束26與光纖17的光軸一致。這種位置關(guān)系能有 效抑制在光束入射面25處由隔離器13的近端反射所引起的光束返回 到半導(dǎo)體激光器1，這樣實(shí)現(xiàn)了半導(dǎo)體激光器1的穩(wěn)定操作。半導(dǎo)體激光器1中的發(fā)射光26入射到第一偏振器10中，所述第 一偏振器IO被設(shè)置成相對于半導(dǎo)體激光器1中發(fā)射光26的偏振面以 45°傾斜。圖3是示例偏振器的透射率與傳輸光束的偏振面相對于該偏 振器的傾斜度(即，所述偏振器和傳輸光的偏振取向之間的相對角度) 兩者之間關(guān)系的圖。本實(shí)施例透射率為50%，因此賦予了3dB衰減。 從半導(dǎo)體激光器1發(fā)射出透過第一偏振器10的光束26的偏振面被法 拉第旋轉(zhuǎn)器12旋轉(zhuǎn)45°角。第二偏振器11被設(shè)置成相對第一偏振器 10旋轉(zhuǎn)45。角，以便隔離器13用作3dB的固定的光衰減器，該光衰減 器設(shè)置在半導(dǎo)體激光器1中發(fā)射光束6的光路上?？梢杂脗鹘y(tǒng)隔離器 作為反向設(shè)置的隔離器13。在此，第一偏振器10的旋轉(zhuǎn)角度不限于 45°角?；趫D3所示的關(guān)系，根據(jù)需要，通過準(zhǔn)備特殊的隔離器，可 以適當(dāng)設(shè)定所述衰減。接著，將解釋本實(shí)施例中半導(dǎo)體激光器模塊100的光輸出調(diào)整。 為了獲得半導(dǎo)體激光器1以10Gb/s操作所要求的高弛豫振蕩頻率，要 求+ 25mA的振蕩閎值電流的平均驅(qū)動(dòng)電流。在這個(gè)條件下，半導(dǎo)體激 光器1的發(fā)射光束的強(qiáng)度達(dá)到大約10mW。同時(shí)，由IEEE 802.3ae所 限定的光收發(fā)器的光輸出需要例如0.6mW。在這種情況下，有必要可 調(diào)整地衰減發(fā)射光束強(qiáng)度大約12dB。由于根據(jù)某一標(biāo)準(zhǔn)，已經(jīng)預(yù)先限定了收發(fā)器的整體長度，因此 TOSA的整體長度也是有限制的。為了清除所述限制，本實(shí)施例使用例 如具有0.8mm的4>和高達(dá)1.77折射率的透鏡用作透鏡8。在透鏡的聚焦位置設(shè)定在被傾斜地切割的光纖插芯14的光束入 射面24的情況下，透鏡系統(tǒng)的耦合效率變成7dB,從而通過將其與在隔離器13處的3dB衰減相加而獲得了 10dB。剩余的2dB通過以下方式 來調(diào)整，沿光纖插芯14光軸的方向，將透鏡8的聚焦位置從光纖插芯 14的光束入射面24偏離預(yù)定的距離，在本實(shí)施例中該預(yù)定的距離大約 是150 ix m。在單模光纖軟線55 (具有包括纖芯51和包層52的光纖 53及套管54)設(shè)置在插座22中的情況下，半導(dǎo)體激光器1操作，縱 向調(diào)整要固定的滑動(dòng)架23，以便當(dāng)監(jiān)視經(jīng)由單模光纖軟線55的光輸出 時(shí)，光輸出變?yōu)?.6mW。本實(shí)施例大約按100um來調(diào)整該距離。接著，將解釋根據(jù)本實(shí)施例的效果。圖4A和圖4B示出用于解釋 光纖插芯內(nèi)激光束傳播的視圖。圖4A示出了幾乎與光纖插芯的光束入 射面一致的透鏡聚焦位置；相反，圖4B示出了偏離光纖插芯的光束入 射面的透鏡聚焦位置。在圖4A示出的狀態(tài)中，光束只在纖芯內(nèi)部傳播。 相反，在圖4B所示的狀態(tài)中， 一部分光束漏到包層，于是，產(chǎn)生了在 包層中傳播的包層模式41。隨著偏離聚焦位置越大，包層模式41的比 率越高。根據(jù)本發(fā)明，為了賦予2dB衰減，偏離距離大約是lOOnm。 相反，在無固有光束衰減提供的相關(guān)技術(shù)中需要5dB衰減，由此，偏 離距離需要300 ti m。圖5是示出本實(shí)施例中與半導(dǎo)體激光器模塊100連接的光纖軟線 55的視圖。圖6示出在這個(gè)狀態(tài)下，當(dāng)光纖軟線55旋轉(zhuǎn)時(shí)，光纖插芯 和光纖軟線旋轉(zhuǎn)起伏的測量結(jié)果。光纖軟線55偏心距是1.2um。圖6 (a)示出根據(jù)本實(shí)施例的測量結(jié)果；及圖6 (b)示出用于比較的相關(guān) 技術(shù)中的測量結(jié)果。圖7是示出在本實(shí)施例與相關(guān)技術(shù)相比較的光纖 軟線偏心距為1.2um與0.5 um的情況下，最大旋轉(zhuǎn)起伏與偏離距離 之間關(guān)系的曲線圖。在所述偏心距在1.2um情況下，觀察到1.5dB的 改善，進(jìn)一步，甚至在0.5um的小偏心距的情況下，也觀察到了大約 0.8dB的改善。根據(jù)本實(shí)施例，因?yàn)槟軠p少偏離距離，所以能減少包層 模式41的比率，這樣也減小耦合效率的起伏。盡管本實(shí)施例以光纖軟 線偏心距為例說明，但是所述偏心距可以用加工公差引起的模塊構(gòu)件 或光纖纖芯之間的位置偏離來代替。而且，由于根據(jù)本實(shí)施例衰減器是固定的并且光輸出調(diào)整方法只 針對偏離距離的調(diào)整，因此，與相關(guān)技術(shù)相比，調(diào)整過程即不增加也 不困難。在光輸出調(diào)整過程中，光纖插芯14不旋轉(zhuǎn)，由此可以理解， 能保持對返回光束的抑制。而且，本實(shí)施例取得了另一效果。根據(jù)合并了光收發(fā)器的系統(tǒng)， 適當(dāng)選擇連接到半導(dǎo)體激光器模塊100的光纖軟線。半導(dǎo)體激光器模塊100連接到，例如，具有10um纖芯直徑的單模光纖、模式控制跳 線(mode conditioning patch cord)或有62.5 u m纖芯直徑的多模光纖。根 據(jù)所要連接的光纖軟線的類型，TOSA要求在光輸出的耦合光束比率方 面有小的差別。圖8A和圖8B示出了用于解釋在半導(dǎo)體激光器模塊100中的光纖 插芯14的輸出端27處的光強(qiáng)度分布的示意圖。圖8A和圖8B每個(gè)中 的兩個(gè)圓分別對應(yīng)于單模光纖的纖芯直徑81和多模光纖的纖芯直徑 82。圖8A示例在透鏡的聚焦位置幾乎與光纖插芯的光束入射面一致的 狀態(tài)。在這種狀態(tài)下，光束在單模光纖的纖芯直徑81內(nèi)分布。相反， 圖8B示例在透鏡的聚焦位置偏離光纖插芯的光束入射面的狀態(tài)。在這 種狀態(tài)下，產(chǎn)生了包層模式83，因而，盡管光束分布在多模光纖的纖 芯直徑82內(nèi)，但是光束落在單模光纖的纖芯直徑81夕卜。包層模式不 與單模光纖耦合，因而，在單模光纖內(nèi)的耦合效率不利地降低。如上所述，根據(jù)本實(shí)施例，減少包層模式83，以便根據(jù)所要連接 的光纖軟線類型，能減少光功率在耦合光束比率方面的差別。本實(shí)施 例與相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域比較，觀察到大約3dB的改善。(第二實(shí)施例)圖9是示出了根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例中的插座式半導(dǎo)體激光器模 塊200 (即，TOSA)的橫截面?zhèn)纫晥D。該模塊的配置基本上同第一實(shí)施例。取代第一實(shí)施例的隔離器13，用作固定的光衰減器的偏振器91附著于光纖插芯14的光束入射面24。偏振器91以賦予3dB衰減的方 式固定到光纖插芯14。盡管偏振器91能從模塊外部減少3dB返回光束， 但它不能像隔離器13—樣表現(xiàn)出極好的抑制性能。結(jié)果，半導(dǎo)體激光 器1理想的是對于返回光束具有相對抵抗力的法布里一珀羅 (Fabry-Perot)型。本實(shí)施例產(chǎn)生的效果與第一實(shí)施例產(chǎn)生結(jié)果相同。 如所要求的那樣，在本實(shí)施例中也與第一實(shí)施例相似，基于圖3所示 的關(guān)系，可以適當(dāng)設(shè)置衰減量。(第三實(shí)施例)圖10示出了根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的插座式半導(dǎo)體激光器模塊 300 (即TOSA)的橫截面?zhèn)纫晥D。在該模塊的配置中，替代第二實(shí)施 例中使用的偏振器91，將用作固定的光衰減器的中性密度(neutral density簡稱"ND")濾光器101附著于光纖插芯14的光束入射面24。 通過對玻璃板覆予金屬來調(diào)整ND濾光器101的透射率。在本實(shí)施例中， 使用具有50%透射率的ND濾光器101，這樣，賦予了3dB衰減。盡 管ND濾光器101具有50%的反射率，但是返回到半導(dǎo)體激光器1的 返回光束不會(huì)增加，即使附著在光束入射面24的ND濾光器101反射 從以如下方式設(shè)置的半導(dǎo)體激光器1發(fā)出的光束26，在這種設(shè)置方式 中能抑制在光纖插芯14的光束入射面24上反射的光束。像偏振器91 一樣，ND濾光器101能將來自模塊外面的返回光束減少3dB，但是， 所述ND濾光器101不能像隔離器13那樣表現(xiàn)出極好的抑制性能。結(jié) 果，半導(dǎo)體激光器1理想的應(yīng)該是對于返回光束具有相對抵抗力的法布里一珀羅型。本實(shí)施例產(chǎn)生的效果與第一實(shí)施例產(chǎn)生的效果相同。 如所要求的那樣，在本實(shí)施例中，通過適當(dāng)設(shè)定ND濾光器101的透 射率，可以適當(dāng)?shù)卦O(shè)置想要的衰減量。(第四實(shí)施例)圖11示出了根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施例的插座式半導(dǎo)體激光器模塊 400 (即TOSA)的橫截面?zhèn)纫晥D。在該模塊的配置中，替代第二實(shí)施例中使用的偏振器91，將用作固定的光衰減器的介電膜111覆于光纖插芯14的光束入射面24上。使用具有50%透射率的介電膜111，這 樣，賦予了3dB衰減。與第三實(shí)施例一樣的原因，盡管介電膜lll具 有50%的反射率，但是返回到半導(dǎo)體激光器1的返回光束不會(huì)增加。 像偏振器91 一樣，介電膜111能將來自模塊外面的返回光束減少3dB， 但是，它不能像隔離器13那樣表現(xiàn)出極好的抑制性能。結(jié)果，半導(dǎo)體 激光器1理想的應(yīng)該是對于返回光束具有相對抵抗力的法布里一珀羅 型。本實(shí)施例產(chǎn)生的效果與第一實(shí)施例產(chǎn)生的效果相同。如所要求的 那樣，在本實(shí)施例中，通過適當(dāng)設(shè)定介電膜111的透射率，可以適當(dāng) 地設(shè)置想要的衰減量。(第五實(shí)施例)圖12示出了根據(jù)本發(fā)明第五實(shí)施例的插座式半導(dǎo)體激光器模塊 500 (即TOSA)的橫截面?zhèn)纫晥D。在該模塊的配置中，用作為固定的 光衰減器的介電膜121覆于透鏡8而取代偏振器91。可以用ND濾光 膜來代替介電膜121。使用具有50%的透射率的介電膜121，這樣，賦 予了3dB衰減。盡管透鏡8具有50%的反射率，但因?yàn)橥哥R8形成為 球狀，因此即使從半導(dǎo)體激光器1發(fā)出的光束26被反射，也不會(huì)產(chǎn)生 返回到半導(dǎo)體激光器1的返回光束。像偏振器91一樣，介電膜lll能 將來自模塊外面的返回光束減少3dB，但是，它不能像隔離器13那樣表現(xiàn)出極好的抑制性能。結(jié)果，半導(dǎo)體激光器1理想的應(yīng)該是對于返 回光束具有相對抵抗力的法布里一珀羅型。本實(shí)施例產(chǎn)生的效果與第一實(shí)施例產(chǎn)生結(jié)果相同。如所要求的那樣，本實(shí)施例也同第四實(shí)施例 相似，通過適當(dāng)設(shè)定介電膜121的透射率，可以適當(dāng)?shù)卦O(shè)置想要的衰 減量。作為本發(fā)明實(shí)施例的另一實(shí)例，可以以光收發(fā)器模塊為例。盡管已經(jīng)結(jié)合上面幾個(gè)示例性的實(shí)施例描述了本發(fā)明，但對于本 技術(shù)領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)清楚，這些示例性實(shí)施例只是用于示例本發(fā)明， 而不應(yīng)該局限于所附權(quán)利要求書在有限含義上的字面解釋。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體激光器模塊，包括半導(dǎo)體激光器；透鏡；光纖插芯，具有傾斜的切割面，從所述半導(dǎo)體激光器發(fā)射并穿過所述透鏡的發(fā)射光入射到所述傾斜的切割面，并且將所述切割面布置在沿著所述光纖插芯的光軸方向偏離透鏡焦點(diǎn)的位置處；以及固定的光衰減器，布置在所述半導(dǎo)體激光器的發(fā)射光的路徑上，并且具有相對于所述半導(dǎo)體激光器的光軸傾斜的入射面。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的半導(dǎo)體激光器模塊，其中所述固定的光 衰減器布置在所述傾斜的切割面上。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體激光器模塊，其中所述固定的光 衰減器是隔離器，所述隔離器包括在其入射側(cè)上的偏振器，所述入射 側(cè)是從所述半導(dǎo)體激光器發(fā)出的發(fā)射光入射到的那一側(cè)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體激光器模塊，其中所述偏振器的 偏振方向與從所述半導(dǎo)體激光器發(fā)出的發(fā)射光的偏振方向之間的夾角為45。。
5. 根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的半導(dǎo)體激光器模塊，其中所述半導(dǎo) 體激光器是分布反饋式。
6. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體激光器模塊，其中所述固定的光 衰減器是偏振器。
7. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體激光器模塊，其中所述固定的光 衰減器是中性密度濾光器。
8. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體激光器模塊，其中所述固定的光衰減器是介電膜。
9. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的半導(dǎo)體激光器模塊，其中所述固定的光 衰減器是形成在所述透鏡上的介電膜。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體激光器模塊，其中所述固定的 光衰減器是形成在所述透鏡上的中性密度濾光器。
11. 根據(jù)權(quán)利要求6到IO中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體激光器模塊，其 中所述半導(dǎo)體激光器是法布里一珀羅型。
全文摘要
一種插座式半導(dǎo)體激光器模塊(TOSA)包括半導(dǎo)體激光器、透鏡和光纖插芯。該光纖插芯具有傾斜的切割面，從半導(dǎo)體激光器發(fā)出并穿過透鏡的發(fā)射光入射到該傾斜的切割面。該切割面布置在沿著光纖插芯的光軸方向偏離透鏡焦點(diǎn)的位置處。半導(dǎo)體激光器還包括固定的光衰減器，其布置在半導(dǎo)體激光器發(fā)射光的路徑上，并且具有相對半導(dǎo)體激光器的光軸傾斜的入射面。通過這樣的配置，能抑制近端反射和由與光纖插芯連接的光纖軟線的偏心距所導(dǎo)致的耦合起伏。
文檔編號(hào)H01S5/00GK101222115SQ200810003029
公開日2008年7月16日 申請日期2008年1月10日 優(yōu)先權(quán)日2007年1月10日
發(fā)明者伊藤彰浩, 山田英行, 栗原佑介, 清水淳一 申請人:恩益禧電子股份有限公司