專利名稱：服務(wù)器裝置及程序的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及例如具備對(duì)被處理基板進(jìn)行規(guī)定處理的 一個(gè)以上制造裝 置、和與該一個(gè)以上制造裝置連接的服務(wù)器裝置的群管理系統(tǒng)的服務(wù)器裝 置等。
背景技術(shù)：
目前為止，已知有可以對(duì)從測(cè)定器送來的數(shù)據(jù)自動(dòng)并且正確地進(jìn)行加 工的半導(dǎo)體制造裝置的群管理系統(tǒng)的測(cè)定數(shù)據(jù)加工方法(例如參照專利文
獻(xiàn)l)。本測(cè)定數(shù)據(jù)加工方法中，在群管理系統(tǒng)的群管理部的測(cè)定器通信部 中，接收測(cè)定器所送來的各種測(cè)定數(shù)據(jù)。此外，預(yù)先登記有加工所述測(cè)定 數(shù)據(jù)的計(jì)算式，在接收到所述測(cè)定數(shù)據(jù)時(shí)，將所述測(cè)定數(shù)據(jù)保存到測(cè)定數(shù)
據(jù)接收緩沖器中，并且基于所述測(cè)定數(shù)據(jù)所具有的配方(recipe)名稱， 從所登記的所述計(jì)算式中選擇適于加工所述測(cè)定數(shù)據(jù)的至少一個(gè)具有相 同配方名稱的計(jì)算式并保存到計(jì)算式保存緩沖器中，將所保存的所述測(cè)定 數(shù)據(jù)應(yīng)用于所選擇的所述計(jì)算式中來進(jìn)行計(jì)算，將計(jì)算結(jié)果儲(chǔ)存于加工完 畢數(shù)據(jù)保存緩沖器中。
另外，以往的半導(dǎo)體制造裝置的群管理系統(tǒng)具有顯示由半導(dǎo)體制造裝 置測(cè)定的時(shí)間序列的信息(以下記作圖表)的功能。
另外，作為構(gòu)成群管理系統(tǒng)的制造裝置，有所謂的批處理式縱型熱處 理裝置(參照專利文獻(xiàn)2、專利文獻(xiàn)3)。
通常來說，在半導(dǎo)體制造裝置中，依照被稱作配方的包含制造參數(shù)等 的處理過程和表示處理務(wù)降的信息，來執(zhí)行制造工藝。構(gòu)成配方的序列的 各過程被稱作配方步驟，或者簡(jiǎn)稱為步驟。半導(dǎo)體制造裝置的異常等可以 根據(jù)在變更了步驟之時(shí)，是否進(jìn)行與該步驟的M對(duì)應(yīng)的控制來判斷。由 此，通過在步驟被執(zhí)行的期間內(nèi)，取得并監(jiān)視利用測(cè)定器取得的全部測(cè)定 數(shù)據(jù)，可以知道半導(dǎo)體制造裝置的異常等。
此種半導(dǎo)體制造裝置中，經(jīng)常使用表示與配方具備相同的多個(gè)步驟的 處理過程的信息來作為構(gòu)成上述配方的一個(gè)以上的步驟，該信息被稱作子配方。即，通過使用子配方，配方成為在配方內(nèi)包含配方的嵌套結(jié)構(gòu)。通 過在構(gòu)成配方的兩個(gè)以上的步驟中使用此種子配方，可以在一個(gè)配方內(nèi)反 復(fù)執(zhí)行由子配方內(nèi)的多個(gè)步驟構(gòu)成的處理。通過使用此種子配方，可以改 變子配方的^等，從而具有該子配方的步驟的^被完全改變，使得配 方的設(shè)定等變得容易。
專利文獻(xiàn)l:日本特開平11-354395號(hào)公報(bào)(第一頁、第一圖等)
專利文獻(xiàn)2:日本專利3543996號(hào)公報(bào)(第一頁、第一圖等)
專利文獻(xiàn)3:日本特開2002-25997號(hào)公報(bào)(第一頁、第一圖等)
但是，在以往的服務(wù)器裝置中，有無法適當(dāng)?shù)厝〉檬怪圃煅b置執(zhí)行 子配方之時(shí)所測(cè)定的測(cè)定值的問題。
即，在以往的服務(wù)器裝置中，在配方包含多個(gè)相同的子配方的情況 下，當(dāng)想要取得并輸出含有該子配方的測(cè)定值的信息時(shí)，只能取得最先 執(zhí)行子配方之時(shí)所得到的測(cè)定值。由此，無法取得執(zhí)行相同的子配方所 得到的測(cè)定值當(dāng)中的、例如針對(duì)第二次的子配方的測(cè)定值。其結(jié)果是， 無法自由地取得期望子配方的測(cè)定值，從而無法適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行使用了測(cè)定 值的制造裝置的監(jiān)視等。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的服務(wù)器裝置是構(gòu)成具有進(jìn)行異常檢測(cè)的功能的群管理系統(tǒng) 的所述服務(wù)器裝置，該群管理系統(tǒng)具備對(duì)被處理基板進(jìn)行規(guī)定處理的一 個(gè)以上制造裝置、和與該一個(gè)以上制造裝置連接的服務(wù)器裝置，該服務(wù) 器裝置具備測(cè)定信息M部，其可保存多個(gè)測(cè)定信息，該測(cè)定信息是由 所述一個(gè)以上制造裝置測(cè)定的信息的時(shí)間序列的信息，是具有由所述制造 裝置執(zhí)行了規(guī)定配方時(shí)的測(cè)定值和表示時(shí)刻的時(shí)刻信息的信息；指示接收 部，其接收所述測(cè)定信息的輸出指示；測(cè)定信息取得部，其從所述測(cè)定信 息M部中取得由所述輸出指示指定的測(cè)定信息；輸出信息構(gòu)成部，其構(gòu) 成使用了所取得的所述測(cè)定信息的輸出信息；以及輸出部，其輸出所述輸 出信息構(gòu)成部所構(gòu)成的輸出信息；所述配方包含一個(gè)以上的子配方，所述 指示接收部所接收的輸出指示具有以下指示，該指示指定所述配方中祐:執(zhí) 行多次的子配方當(dāng)中、在l個(gè)以上的期望次中執(zhí)行的子配方，所述測(cè)定信 息取一浮部取得與由所述輸出指示指定的子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息。
7利用該構(gòu)成，可以通過指定子配方和該子配方的處理次(執(zhí)行次數(shù))， 而有選擇地輸出與期望子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息。這樣，例如可以有選擇 地輸出在監(jiān)視等中所需的信息，可以限定監(jiān)視區(qū)間，可以有效地進(jìn)行監(jiān) 視等。具體來說，在某個(gè)配方中有被循環(huán)執(zhí)行的子配方的情況下，可以 將要監(jiān)視的對(duì)象限定為例如利用第一次執(zhí)行的子配方所得到的測(cè)定值 等。另外，通過限定進(jìn)行異常檢測(cè)的區(qū)間，可以不進(jìn)行不必要的區(qū)間的 異常檢測(cè)，從而可以適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行異常檢測(cè)。
另外，本發(fā)明的服務(wù)器裝置是如下的服務(wù)器裝置，即，在所述服務(wù) 器裝置中，對(duì)于保存于所述測(cè)定信息保存部中的測(cè)定信息，所述測(cè)定信 息取得部對(duì)由所述輸出指示指定的與所述被執(zhí)行多次的子配方對(duì)應(yīng)的 測(cè)定信息群新出現(xiàn)的次數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)，取得其計(jì)數(shù)值與由所述輸出指示指 定的期望次一致的次的測(cè)定信息群中所包含的一個(gè)以上的測(cè)定信息。
利用該構(gòu)成，可以有選擇地輸出與期望子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息。
另外，本發(fā)明的服務(wù)器裝置是如下的服務(wù)器裝置，即，在所述服務(wù) 器裝置中，所述子配方包含兩個(gè)以上步驟，所述測(cè)定信息取得部在與構(gòu) 成子配方的兩個(gè)以上步驟對(duì)應(yīng)的兩個(gè)以上的測(cè)定信息反復(fù)出現(xiàn)之時(shí)，將 該反復(fù)出現(xiàn)的一個(gè)以上的測(cè)定信息作為與所述被執(zhí)行多次的子配方對(duì) 應(yīng)的測(cè)定信息群。
利用該構(gòu)成，可以對(duì)子配方的處理次適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行計(jì)數(shù)，而從與被反 復(fù)執(zhí)行的子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息中，有選擇地輸出在期望處理次中取得 的測(cè)定信息。
另外，本發(fā)明的服務(wù)器裝置是如下的服務(wù)器裝置，即，在所述服務(wù) 器裝置中，所述測(cè)定信息具有作為識(shí)別該測(cè)定信息所對(duì)應(yīng)的子配方的信 息的子配方標(biāo)識(shí)符，與所述被執(zhí)行多次的子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息具有相 同的子配方標(biāo)識(shí)符，對(duì)于保存于所述測(cè)定信息保存部中的測(cè)定信息，所 述測(cè)定信息取得部對(duì)由所述輸出指示指定的被執(zhí)行多次的子配方的子 配方標(biāo)識(shí)符被新檢出的次數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)，取得一個(gè)以上的測(cè)定信息，該一 個(gè)以上的測(cè)定信息具有其計(jì)數(shù)值與由所述輸出指示指定的期望次一致 的次的子配方標(biāo)識(shí)符。
利用該構(gòu)成，可以有選擇地輸出與期望子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息。另外，本發(fā)明的服務(wù)器裝置是如下的服務(wù)器裝置，即，在所述服務(wù) 器裝置中，所述子配方包含兩個(gè)以上步驟，與所述子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信 息包含用于識(shí)別步驟的步驟標(biāo)識(shí)符，每當(dāng)在具有相同子配方標(biāo)識(shí)符的連 續(xù)的測(cè)定信息中反復(fù)出現(xiàn)兩個(gè)以上步驟標(biāo)識(shí)符時(shí)，所述測(cè)定信息取得部
就進(jìn)行累加(count up )。
利用該構(gòu)成，可以對(duì)子配方的處理次進(jìn)行適當(dāng)計(jì)數(shù)，而從與被反復(fù) 執(zhí)行的子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息中，有選擇地輸出在期望處理次中取得的 測(cè)定信息。
另外，本發(fā)明的服務(wù)器裝置是如下的服務(wù)器裝置，即，在所述服務(wù) 器裝置中，所述指示接收部接收指定以下子配方的所述輸出指示，該子 配方是所述配方中被執(zhí)行多次的子配方當(dāng)中、在2以上的期望次中被執(zhí) 行的子配方，所述測(cè)定信息取得部取得與2以上的不同次的子配方對(duì)應(yīng) 的測(cè)定信息，所述輸出信息構(gòu)成部對(duì)以下測(cè)定信息進(jìn)行規(guī)定運(yùn)算，構(gòu)成 與其運(yùn)算結(jié)果對(duì)應(yīng)的輸出信息，該測(cè)定信息是所述測(cè)定信息取得部所取 得的與2以上的不同次的子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息當(dāng)中、從各子配方內(nèi)的 規(guī)定起點(diǎn)起的經(jīng)過時(shí)間 一致的測(cè)定信息。
利用該構(gòu)成，可以根據(jù)目的來處理并輸出子配方的不同處理次的測(cè) 定信息，從而容易進(jìn)行監(jiān)視等，并且可以將測(cè)定信息靈活地用于各種各 樣的目的。
另外，本發(fā)明的服務(wù)器裝置是如下的服務(wù)器裝置，即，在所述服務(wù) 器裝置中，所述輸出信息構(gòu)成部構(gòu)成SPC圖表，該SPC圖表是依照所 取得的所述測(cè)定信息具有的時(shí)刻信息所表示的時(shí)刻的順序來描繪該測(cè) 定信息而得到的圖表，所述輸出部輸出所述輸出信息構(gòu)成部所構(gòu)成的 SPC圖表。
利用該構(gòu)成，可以容易地進(jìn)行制造裝置的經(jīng)時(shí)變化和波動(dòng)監(jiān)視。
另外，本發(fā)明的服務(wù)器裝置是如下的服務(wù)器裝置，即，在所述服務(wù) 器裝置中，所述輸出信息構(gòu)成部利用所取得的所述測(cè)定信息來構(gòu)成作為表 示兩種測(cè)定信息的相關(guān)的圖表的相關(guān)圖表，所述輸出部輸出所述輸出信息 構(gòu)成部所構(gòu)成的相關(guān)圖表。
利用該構(gòu)成，可以監(jiān)視兩個(gè)變量的相關(guān)關(guān)系，可以有效地進(jìn)行異常檢
9測(cè)。
另外，本發(fā)明的服務(wù)器裝置是如下的服務(wù)器裝置，即，在所述服務(wù)器 裝置中，所述輸出信息構(gòu)成部利用所取得的所述測(cè)定信息來構(gòu)成作為表示
三種以上的測(cè)定信息的相關(guān)的圖表的MD (Mahalanobis距離)圖表，所 述輸出部輸出所述輸出信息構(gòu)成部所構(gòu)成的MD圖表。
利用該構(gòu)成，可以監(jiān)視多個(gè)變量的相關(guān)關(guān)系，可以更為有效地進(jìn)行異 常檢測(cè)。
根據(jù)本發(fā)明的服務(wù)器裝置等，可以有選擇地輸出與期望子配方對(duì)應(yīng)的 測(cè)定信息。


圖l是實(shí)施方式的群管理系統(tǒng)的概念圖。
圖2是表示該群管理系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造裝置的例子的圖。
圖3是該群管理系統(tǒng)的框圖。
圖4是對(duì)該群管理系統(tǒng)的制造裝置的動(dòng)作進(jìn)行說明的流程圖。
圖5是對(duì)該群管理系統(tǒng)的服務(wù)器裝置的動(dòng)作進(jìn)行說明的流程圖。
圖6是對(duì)該群管理系統(tǒng)的服務(wù)器裝置取得測(cè)定信息的處理進(jìn)行說明 的流程圖。
圖7是表示該群管理系統(tǒng)的配方管理表的圖。 圖8是表示該群管理系統(tǒng)的子配方管理表的圖。 圖9是表示該群管理系統(tǒng)的初始信息的例子的圖。 圖IO是表示該群管理系統(tǒng)的初始信息管理表的圖。 圖11是表示該群管理系統(tǒng)的測(cè)定信息管理表的圖。 圖12是表示該群管理系統(tǒng)的客戶裝置的顯示例的圖。 圖13是表示該群管理系統(tǒng)的取得信息管理表的圖。圖14是表示該群管理系統(tǒng)的客戶裝置的顯示例的圖。 圖15是表示該群管理系統(tǒng)的客戶裝置的顯示例的圖。 圖16是表示該群管理系統(tǒng)的客戶裝置的顯示例的圖。 圖17是表示該群管理系統(tǒng)的客戶裝置的顯示例的圖。 圖18是表示該群管理系統(tǒng)的客戶裝置的顯示例的圖。 圖19是表示該群管理系統(tǒng)的客戶裝置的顯示例的圖。
具體實(shí)施例方式
下面，參照附圖對(duì)服務(wù)器裝置等的實(shí)施方式進(jìn)行說明。由于在實(shí)施方 式中使用了相同符號(hào)的構(gòu)成要素進(jìn)行相同的動(dòng)作，因此有時(shí)省W次的說 明。
(實(shí)施方式)
圖l是本實(shí)施方式的群管理系統(tǒng)的概念圖。群管理系統(tǒng)是例如控制半 導(dǎo)體制造裝置、液晶面板制造裝置等制造裝置的系統(tǒng)。另外，群管理系統(tǒng) 具有一個(gè)以上的制造裝置11 (從制造裝置lla到制造裝置lln (其中n表 示任意數(shù)))、服務(wù)器裝置12 M戶裝置13。
制造裝置11是對(duì)被處理M、例如半導(dǎo)體晶片等進(jìn)行規(guī)定處理的裝置。 制造裝置11例如進(jìn)行成膜處理、蝕刻處理、熱氧化處理等針對(duì)被處理^41 的各種處理。制造裝置11例如為上述的專利文獻(xiàn)2或?qū)＠墨I(xiàn)3等中的批 處理式縱型熱處理裝置。將本制造裝置11的例子表示于圖2中。本制造裝 置11是作為裝載室被制成了如下的所謂裝載互鎖室(load-lock)結(jié)構(gòu)的裝 置，即，可以相對(duì)于其他的室密閉，能夠進(jìn)行作為惰性氣氛的N2氣的供給、 抽真空。制it^置11由如下部分構(gòu)成主要部分作為處理室的處理管a， 其對(duì)作為被處理體的晶片W實(shí)施規(guī)定處理；作為裝載室的裝載互鎖室h， 其具備移送機(jī)構(gòu)g，該移送機(jī)構(gòu)g相對(duì)于該處理管a插入和取出收納了多 片、例如IOO片晶片W的作為保持體的晶片舟f; ^v搬出室ab，其相對(duì) 于該裝載互鎖室h ^A搬出晶片W;形成于該^A搬出室ab上的料盒收 容容器用口 ac;取Ajl^J ae,其將放置于該口 ac中的料盒收容容器ad取 入^A搬出室ab內(nèi)；容器保管載臺(tái)af,其臨時(shí)保管所取入的料盒收容容 器ad;料盒取出載臺(tái)ag,其將收容于料盒收容容器ad內(nèi)的料盒C取出；容器轉(zhuǎn)裝機(jī)構(gòu)ah,其在^搬出室ab內(nèi)進(jìn)行料盒收容容器ad的轉(zhuǎn)交；保 持體收容室ai，其配置于裝載互鎖室h與^搬出室ab之間，收容晶片 舟f。另外，對(duì)于圖2的制造裝置11的例子中的其他部位及動(dòng)作，由于是 公知技術(shù)(參照專利文獻(xiàn)2)，因此省略詳細(xì)的說明。另外，作為構(gòu)成制造 裝置11的腔室(chamber),優(yōu)選專利文獻(xiàn)3的圖1中的腔室。
另外，制造裝置11例如保存了作為與針對(duì)晶片的規(guī)定處理相關(guān)的信息 的配方，4吏用該配方進(jìn)4亍控制。
另夕卜，服務(wù)器裝置12是構(gòu)成所謂的群管理系統(tǒng)的服務(wù)器裝置，可以保 存一個(gè)以上的制造裝置11的各種測(cè)定信息，具有對(duì)該測(cè)定信息進(jìn)行異常檢 測(cè)的功能。
另外，客戶裝置13對(duì)服務(wù)器裝置12輸出各種請(qǐng)求，接^艮務(wù)器裝置 12的處理結(jié)果。
圖3是本實(shí)施方式的群管理系統(tǒng)的框圖。
制造裝置11具備輸入接收部1101、配方保存部1102、制造裝置標(biāo) 識(shí)符保存部1103、計(jì)時(shí)部1104、處理部1105、測(cè)定部1106、初始信息存 儲(chǔ)部1107、初始信息發(fā)送部1108。
服務(wù)器裝置12具備測(cè)定信息保存部1201、初始信息接收部1202、 測(cè)定信息取得部1203、測(cè)定信息存儲(chǔ)部1204、指示接收部1205、輸出信 息構(gòu)成部1206、輸出部1207、輸出指示存儲(chǔ)部1208、M信息M部1209、 異常檢測(cè)部1210。
客戶裝置13具備指示輸入部1301、指示發(fā)送部1302、接收部1303、 顯示部1304。
輸入接收部1101從制造裝置11的用戶處接收各種輸入。所謂各種輸 入例如是配方、識(shí)別配方的配方標(biāo)識(shí)符、針對(duì)晶片的加工處理等處理的執(zhí) 行指示等。由用戶進(jìn)行各種輸入的輸入機(jī)構(gòu)可以是數(shù)字鍵、鍵盤、鼠標(biāo)也 可以是菜單畫面等，哪一種都可以。輸入接收部1101可以利用數(shù)字鍵、鍵 盤等輸入機(jī)構(gòu)的設(shè)備驅(qū)動(dòng)器、菜單畫面的控制軟件等來實(shí)現(xiàn)。
配方保存部1102保存有為了控制制造裝置11而使用的配方。所謂配 方是指與制造裝置11所執(zhí)行的規(guī)定處理相關(guān)的信息，例如為指定包含制造 參數(shù)等的處理?xiàng)l件的信息。配方通常來說包含構(gòu)成處理的一個(gè)或多個(gè)過 程、設(shè)定該過程中的處理參數(shù)等的信息等。構(gòu)成處理的各過程通常來說被稱作步驟或配方步驟。在步驟中，通常來說包含處理的一部分過程、設(shè)定 該過程中的處理^等的信息。這里，作為構(gòu)成配方的一個(gè)以上的步驟經(jīng) 常使用具備與配方同樣的一個(gè)以上、通常來說為兩個(gè)以上的步驟的信息， 該信息被稱作子配方。即，通過使用子配方，配方成為在配方內(nèi)包含配方
的嵌套結(jié)構(gòu)(nest結(jié)構(gòu))。處理^的信息例如包括類別名、項(xiàng)目名、>#^t 名、值。所謂類別名是指表示處理M的種類的名稱，例如為"溫度"、" 氣體流量"、"舟升降機(jī)的iUL"等。項(xiàng)目名A^示處理參數(shù)的屬性的名稱， 例如為"上下速度"、"旋轉(zhuǎn)速度"等。^!t名是處理M的名稱，例如為 "C"、 "A"等。值是對(duì)處理^之類的變量賦予的值。通常來說，配方與 識(shí)別配方的配方標(biāo)識(shí)符(例如配方名)成對(duì)地M。另外，配方與作為構(gòu) 成該配方的步驟的標(biāo)識(shí)符的步驟標(biāo)識(shí)符、用于識(shí)別子配方的子配方標(biāo)識(shí)符 一起保存于配方保存部1102中。步驟標(biāo)識(shí)符例如為步驟的名稱、識(shí)別編號(hào) 等。構(gòu)成子配方的步驟與構(gòu)成配方的步驟是同樣的，也可以具有與構(gòu)成配 方的步翻目同的步驟標(biāo)識(shí)符，然而，在這里為了說明上的方便，將構(gòu)成子 配方的步驟稱作子配方步驟，將其標(biāo)識(shí)符稱作子配方步驟標(biāo)識(shí)符。配方保 存部1102優(yōu)選非易失性的記錄^/h質(zhì)，然而也可以利用易失性的記錄^h質(zhì)來 實(shí)現(xiàn)。
制造裝置標(biāo)識(shí)符^M!"部1103 *有識(shí)別制造裝置11的制造裝置標(biāo)識(shí) 符。制造裝置標(biāo)識(shí)符只要是可以識(shí)別各制造裝置11的信息即可，例如也可 以是裝置名、型號(hào)、制造編號(hào)、各制造裝置ll中所設(shè)定的識(shí)別編號(hào)和名稱 等。該制造裝置標(biāo)識(shí)符既可以是輸入接收部1101所接收的信息，也可以是 制造裝置出售時(shí)預(yù)先*的信息。制造裝置標(biāo)識(shí)符*部1103無論是硬 盤、ROM等非易失性的記錄介質(zhì)，還是RAM等易失性的記錄介質(zhì)都可 以。
計(jì)時(shí)部1104計(jì)測(cè)時(shí)間。計(jì)時(shí)部1104將表示計(jì)測(cè)時(shí)間而得到的時(shí)刻的 信息向測(cè)定部1106輸出。這里所說的表示時(shí)刻的信息可以包含年月日等信 息。計(jì)時(shí)部1104所計(jì)測(cè)的時(shí)間既可以是絕對(duì)時(shí)間，也可以是相對(duì)時(shí)間。計(jì) 時(shí)部1104例如利用鐘表等實(shí)現(xiàn)。
處理部1105讀出配方^!"部1102的配方，依照該配方對(duì)被處理^！ 進(jìn)行規(guī)定處理。處理部1105通常來說可以利用MPU和存儲(chǔ)器等來實(shí)現(xiàn)。 處理部1105的處理過程通常來說由軟件來實(shí)現(xiàn)，該軟件被記錄于ROM等 記錄介質(zhì)中。但是，也可以利用硬件(專用電路)來實(shí)現(xiàn)。
13測(cè)定部1106測(cè)定制造裝置11內(nèi)的溫度、氣體流量、壓力、制造裝置 ll的功率等，取得初始信息，該初始信息是成為測(cè)定信息的基礎(chǔ)的信息， 該測(cè)定信息是進(jìn)行圖表化等的對(duì)象。初始信息是所測(cè)定的溫度等信息。測(cè) 定部1106例如定期地或者以不定期的規(guī)定時(shí)間間隔進(jìn)行測(cè)定。初始信息具 有作為通過測(cè)定而得到的值的測(cè)定值，另外，通常來說，初始信息具有表 示所測(cè)定的時(shí)刻的時(shí)刻信息。該時(shí)刻信息例如從計(jì)時(shí)部1104中取得。初始 信息優(yōu)選具有識(shí)別在測(cè)定部1106測(cè)定溫度等的值之時(shí)所執(zhí)行的步驟的步 驟標(biāo)識(shí)符、作為所測(cè)定的值的測(cè)定值、表示所測(cè)定的時(shí)刻的時(shí)刻信息。另 外，在測(cè)定之際，作為執(zhí)行中的步驟執(zhí)行了子配方的情況下，具有識(shí)別執(zhí) 行中的子配方的子配方標(biāo)識(shí)符。另外，優(yōu)選具有識(shí)別執(zhí)行中的子配方當(dāng)中 的執(zhí)行中的子配方步驟的子配方步驟標(biāo)識(shí)符。而且，配方標(biāo)識(shí)符、步驟標(biāo) 識(shí)符、子配方標(biāo)識(shí)符、子配方步驟標(biāo)識(shí)符等例如可以從配方保存部1102 中取得。初始信息也可以具有所執(zhí)行的配方的配方標(biāo)識(shí)符。另外，初始信 息也可以具有執(zhí)行了配方的制造裝置11的制造裝置標(biāo)識(shí)符。該制造裝置標(biāo) 識(shí)符例如可以從制造裝置標(biāo)識(shí)符保存部1103中取得。另夕卜，初始信息也可 以具有用于識(shí)別測(cè)定部1106所測(cè)定的測(cè)定對(duì)象、例如溫度和氣體壓力等， 以及測(cè)定部位、例如處理管內(nèi)等的信息，例如測(cè)定對(duì)象的名稱、測(cè)定部位 的名稱或者與它們對(duì)應(yīng)的識(shí)別信息等。測(cè)定部1106當(dāng)然也可以測(cè)定多個(gè)部 位的多個(gè)溫度、或溫度與氣體流量等的多個(gè)值。也就是說，初始信息也可 以具有兩種以上的被測(cè)定的值。測(cè)定部1106可以利用一個(gè)以上的溫度傳感 器或一個(gè)以上的流量傳感器等傳感器等來實(shí)現(xiàn)。
初始信息存儲(chǔ)部1107將測(cè)定部1106所取得的初始信息存儲(chǔ)于未圖示 的記錄介質(zhì)中。初始信息存儲(chǔ)部1107通常來說可以利用MPU和存儲(chǔ)器等 來實(shí)現(xiàn)。初始信息存儲(chǔ)部1107的處理過程通常來說由軟件來實(shí)現(xiàn)，該軟件 被記錄于ROM等記錄介質(zhì)中。但是，也可以利用硬件(專用電路)來實(shí) 現(xiàn)。另外，上述的未圖示的記錄介質(zhì)雖然優(yōu)選非易失性的記錄^h質(zhì)，但是 也可以利用易失性的記錄^h質(zhì)來實(shí)現(xiàn)。
初始信息發(fā)送部1108將初始信息存儲(chǔ)部1107所存儲(chǔ)的初始信息向服 務(wù)器裝置12發(fā)送。不管發(fā)送初始信息的觸發(fā)為何均可。另夕卜，初始信息發(fā) 送部1108所發(fā)送的初始信息具有所測(cè)定的一種以上(例如溫度和氣體流 量)的值，也就是測(cè)定值，以及時(shí)刻信息。另外，在初始信息發(fā)送部1108 所發(fā)送的初始信息含有在執(zhí)行子配方中測(cè)定的測(cè)定值的情況下，具有進(jìn)行 該測(cè)定時(shí)所執(zhí)行的子配方的子配方標(biāo)識(shí)符。另外，該情況下，初始信息發(fā)送部1108所發(fā)送的初始信息優(yōu)選具有子配方步驟標(biāo)識(shí)符。另夕卜，初始信息 發(fā)送部1108所發(fā)送的初始信息優(yōu)選具有步驟標(biāo)識(shí)符。除此以外，初始信息 發(fā)送部1108所發(fā)送的初始信息還優(yōu)選具有識(shí)別制造裝置11的制造裝置標(biāo) 識(shí)符、識(shí)別配方的配方標(biāo)識(shí)符。另外，也可以具有用于識(shí)別測(cè)定部1106 所測(cè)定的測(cè)定對(duì)象、例如"溫度"、"氣體壓力，，等，以及測(cè)定部位、例如 "處理管內(nèi)，，等的信息。而且，初始信息存儲(chǔ)部1107所存儲(chǔ)的初始信息和 初始信息發(fā)送部1108所發(fā)送的初始信息的結(jié)構(gòu)和構(gòu)成也可以不同。另夕卜， 初始信息也可以是如下的構(gòu)成，即，對(duì)于多個(gè)被測(cè)定的值，具有一個(gè)制造 裝置標(biāo)識(shí)符、 一個(gè)配方標(biāo)識(shí)符、和一個(gè)步驟標(biāo)識(shí)符的至少一個(gè)。初始信息 發(fā)送部1108可以利用無線或有線的通信機(jī)構(gòu)等來實(shí)現(xiàn)。另外，初始信息發(fā) 送部1108也可以在將初始信息向服務(wù)器裝置12發(fā)送之前，從配方保存部 1102和制造裝置標(biāo)識(shí)符保存部1103中分別讀出子配方標(biāo)識(shí)符、子配方步 驟標(biāo)識(shí)符、步驟標(biāo)識(shí)符、配方標(biāo)識(shí)符、制造裝置標(biāo)識(shí)符，并附加在初始信 息中。另外，初始信息發(fā)送部1108既可以在每次測(cè)定值(例如氣體流量) 時(shí)發(fā)送初始信息，也可以對(duì)匯總了規(guī)定數(shù)目的所測(cè)定的值的初始信息(例 如匯總了 10個(gè)后的初始信息)進(jìn)行一次性發(fā)送。不管初始信息發(fā)送部1108 所發(fā)送的數(shù)據(jù)的單位、數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)等為何均可。另外，構(gòu)成要發(fā)送的初始信 息的處理也可以不是由初始信息發(fā)送部1108進(jìn)行，而是由初始信息存儲(chǔ)部 1107來進(jìn)行。不管發(fā)送所測(cè)定的初始信息、制造裝置標(biāo)識(shí)符、配方標(biāo)識(shí)符、 配方步驟標(biāo)識(shí)符的時(shí)機(jī)等為何均可。
測(cè)定信息保存部1201可以M多個(gè)測(cè)定信息。多個(gè)測(cè)定信息是如下的 信息，即，是由多個(gè)制造裝置11測(cè)定的一種以上的信息(例如溫度、壓力) 的時(shí)間序列的信息，是具有由制造裝置執(zhí)行規(guī)定處理時(shí)的測(cè)定值和表示時(shí) 刻的時(shí)刻信息的信息。另外，在測(cè)定信息包含在執(zhí)行子配方中所測(cè)定的測(cè) 定值的情況下，則具有子配方標(biāo)識(shí)符。另外，該情況下，初始信息發(fā)送部 1108所發(fā)送的初始信息優(yōu)選具有子配方步驟標(biāo)識(shí)符。另外，多個(gè)測(cè)定信息 也可以具有識(shí)別制造裝置11的制造裝置標(biāo)識(shí)符、配方標(biāo)識(shí)符、步驟標(biāo)識(shí)符 等。測(cè)定信息既可以是測(cè)定信息取得部1203對(duì)初始信息接收部1202所接 收的多個(gè)初始信息進(jìn)行規(guī)定運(yùn)算而取得的信息，也可以是與初始信息相同 的信息。測(cè)定信息M部1201雖然優(yōu)選非易失性的記錄介質(zhì)，但是也可以 利用易失性的記錄介質(zhì)來實(shí)現(xiàn)。測(cè)定信息保存部1201的測(cè)定信息既可以是 測(cè)定信息存儲(chǔ)部1204所存儲(chǔ)的信息，也可以是從制造裝置11直捲接收的 信息，還可以;l從未圖示的記錄介質(zhì)中讀出的信息。初始信息接收部1202從多個(gè)制造裝置11接收初始信息，該初始信息 是成為多個(gè)測(cè)定信息的基礎(chǔ)的信息。初始信息接收部1202可以利用無線或 有線的通信機(jī)構(gòu)等來實(shí)現(xiàn)。
測(cè)定信息存儲(chǔ)部1204將使用了初始信息接收部1202所接收的多個(gè)初 始信息的測(cè)定信息存儲(chǔ)于測(cè)定信息*部1201中。該測(cè)定信息既可以是測(cè) 定信息取得部1203對(duì)初始信息接收部1202所接收的多個(gè)初始信息進(jìn)行規(guī) 定運(yùn)算而取得的信息，也可以是與初始信息相同的信息。所謂規(guī)定運(yùn)算例 如是每隔規(guī)定的時(shí)間間隔，算出多個(gè)初始信息所具有的多個(gè)值的平均值、 取得最大值、取得最小值、將值標(biāo)準(zhǔn)化、算出標(biāo)準(zhǔn)差、取得中值的運(yùn)算。 而且，在將測(cè)定信息取得部1203所取得的多個(gè)測(cè)定信息配置于測(cè)定信息保 存部1201中的情況下，測(cè)定信息存儲(chǔ)部1204所進(jìn)行的存儲(chǔ)處理與NOP (No Operation)是相同意義。測(cè)定信息存儲(chǔ)部1204通常來說可以利用 MPU和存儲(chǔ)器等來實(shí)現(xiàn)。測(cè)定信息存儲(chǔ)部1204的處理過程通常來說利用 軟件來實(shí)現(xiàn)，該軟件被記錄于ROM等記錄介質(zhì)中。但是，也可以利用硬 件(專用電路)來實(shí)現(xiàn)。
指示接收部1205接收指示。該指示通常來說是^戶裝置13處接收， 然而也可以從與服務(wù)器裝置12連接的鍵盤、鼠標(biāo)等處接收。指示接收部 1205所接收的指示例如為M于測(cè)定信息^Mf部1201中的測(cè)定信息的輸 出指示。該輸出指示例如為構(gòu)成配方的步驟當(dāng)中的與期望步驟對(duì)應(yīng)的測(cè)定 信息的輸出指示。另外，例如該輸出指示具有如下的指示，即，指定配方 中被執(zhí)行多次的子配方當(dāng)中、在l個(gè)以上的期望次中執(zhí)行的子配方。所謂 "1個(gè)以上的期望次"既可以是特定的一次，例如第一次，也可以是特定 的多次，例如第二次與第五次這兩者，還可以是所有的次。該指定子配方 的指示也可以是具有與所指定的子配方對(duì)應(yīng)的子配方標(biāo)識(shí)符的指示。輸出 指示例如為了輸出包含在執(zhí)行期望配方中所測(cè)定的值的測(cè)定信息，也可以 包含指定配方的信息，例如配方標(biāo)識(shí)符等。在輸出指示中，為了輸出針對(duì) 多個(gè)制造裝置11當(dāng)中的特定制造裝置的測(cè)定信息，也可以包含指定多個(gè)制 造裝置11當(dāng)中的至少任意一個(gè)的信息，例如包含制造裝置標(biāo)識(shí)符等。另夕卜， 在輸出指示中，也可以包含指定如何輸出測(cè)定信息的信息。例如既可以是 將測(cè)定信息輸出為期望形式的數(shù)據(jù)的指示、將測(cè)定信息圖表化而輸出的指 示，也可以是輸出使用測(cè)定信息進(jìn)行規(guī)定分析、處理，例如多變量解析、 統(tǒng)計(jì)處理等而得到的結(jié)果的指示。另外，也可以是使用測(cè)定信息進(jìn)行異常 檢測(cè)、異常分析等的指示。另外，輸出指示也可以包含所輸出的圖表的種類，例如SPC圖表、相關(guān)圖表或MD圖表等信息。另外，輸出指示也可 以包含指定進(jìn)行圖表輸出的測(cè)定信息的數(shù)據(jù)類型，例如溫度、氣體流量、 壓力等的信息。另夕卜，輸出指示也可以包含構(gòu)成圖表的點(diǎn)、線的屬性信息。 所謂屬性信息是指點(diǎn)的顏色、點(diǎn)的種類(形狀)、線的顏色、線種類等。 指示接收部1205例如由無線或有線的接收機(jī)構(gòu)構(gòu)成。指示的輸入機(jī)構(gòu)可以 是數(shù)字鍵、鍵盤、鼠標(biāo)也可以是菜單畫面等，哪一種都可以。指示接收部 1205可以利用數(shù)字鍵、鍵盤等輸入機(jī)構(gòu)的設(shè)備驅(qū)動(dòng)器、茱單畫面的控制軟 件等來實(shí)現(xiàn)。
測(cè)定信息取得部1203從測(cè)定信息保存部1201中取得指示接收部1205 所接收的由測(cè)定信息的輸出指示指定的測(cè)定信息。特別是，在輸出指示具 有指定^L執(zhí)行多次的子配方當(dāng)中、在1個(gè)以上的期望次中被執(zhí)行的子配方 的指示的情況下，取得與該被指定的次的子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息，例如取 得在執(zhí)行該子配方時(shí)所測(cè)定的測(cè)定信息、對(duì)該測(cè)定信息進(jìn)行了規(guī)定運(yùn)算等 處理而得到的測(cè)定信息。測(cè)定信息取得部1203取得1個(gè)以上的被指定的次 (例如僅第一次、僅第五次或第一次與第四次這兩者等)的測(cè)定信息。具 體來說，測(cè)定信息取得部1203從測(cè)定信息保存部1201中取得與以下標(biāo)識(shí) 符建立了關(guān)聯(lián)的測(cè)定信息，該標(biāo)識(shí)符與輸出指示中所包含的步驟標(biāo)識(shí)符、 子配方標(biāo)識(shí)符一致。另外，在輸出指示中還包含裝置標(biāo)識(shí)符、配方標(biāo)識(shí)符 等的情況下，則取得與該裝置標(biāo)識(shí)符、配方標(biāo)識(shí)符也一致的測(cè)定信息。測(cè) 定信息取得部1203對(duì)與由輸出指示指定的被執(zhí)行多次的子配方對(duì)應(yīng)的測(cè) 定信息的群新出現(xiàn)的次數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)，也就是對(duì)使用將該子配方執(zhí)行一次之 時(shí)所測(cè)定的一個(gè)以上測(cè)定值而得到的一個(gè)以上測(cè)定信息的集合新出現(xiàn)的 次數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)。此外，在該計(jì)數(shù)值與由輸出指示指定的期望次相同之時(shí)， 則取得該出現(xiàn)了的測(cè)定信息的群中所包含的一個(gè)以上的測(cè)定信息。具體來 說，假定與被執(zhí)行多次的子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息具有相同的子配方標(biāo)識(shí)符 時(shí)，則在接收到指定:R執(zhí)行多次的子配方的子配方標(biāo)識(shí)符、和該l個(gè)以上 的被執(zhí)行的次的輸出指示時(shí)，對(duì)于保存于測(cè)定信息保存部1201中的測(cè)定信 息，測(cè)定信息取得部1203對(duì)由輸出指示指定的被執(zhí)行多次的子配方的子配 方標(biāo)識(shí)符被新檢出的次數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)，在該次數(shù)與輸出指示中所包含的次一 致的情況下，取得該一致的次的測(cè)定信息。更具體來說，對(duì)于*于測(cè)定 信息保存部1201中的測(cè)定信息，測(cè)定信息取得部1203對(duì)輸出指示中所包 含的子配方標(biāo)識(shí)符一致的測(cè)定信息被新檢出的次數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)，在該次數(shù)與 輸出指示中所包含的次一致的情況下，取得該一致的次的具有由輸出指示指定的子配方標(biāo)識(shí)符的測(cè)定信息。另外，在時(shí)間軸上，具有相同子配方標(biāo) 識(shí)符的測(cè)定信息連續(xù)地出現(xiàn)或被檢出的情況下，除去相同子配方M復(fù)執(zhí) 行的情況以外，不被看作是測(cè)定信息的新出現(xiàn)、被新檢出，它們被看作是 一個(gè)測(cè)定信息的群。另外，這里的檢出新出現(xiàn)的處理以將使用表示時(shí)刻的 信息對(duì)測(cè)定信息進(jìn)行了排序時(shí)的處理為前提。所謂對(duì)新出現(xiàn)的次數(shù)或被新 檢出的次數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)，只要是結(jié)果可以對(duì)新出現(xiàn)的次數(shù)或被新檢出的次數(shù) 進(jìn)行計(jì)數(shù)的處理即可。例如，在檢索到具有與輸出指示中所包含的子配方 標(biāo)識(shí)符一致的子配方標(biāo)識(shí)符的測(cè)定信息的情況下，也就是時(shí)間軸上緊接在 該測(cè)定信息之前的測(cè)定信息所具有的子配方標(biāo)識(shí)符并非是輸出指示中所 包含的子配方標(biāo)識(shí)符的情況下，則該處理為進(jìn)行累加的處理。另外，在考 慮子配方包含兩個(gè)以上的子配方步驟，且該子配方被連續(xù)地反復(fù)執(zhí)行的情 況下，如果只是單純地對(duì)子配方標(biāo)識(shí)符新出現(xiàn)的次數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)，則由于與 M復(fù)執(zhí)行的多個(gè)子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息在時(shí)間軸上是連續(xù)的，且具有相 同的子配方標(biāo)識(shí)符，因此利用上述的方法，有可能判斷為是由一個(gè)子配方 得到的測(cè)定信息。因此，在此種情況下，在與構(gòu)成子配方的兩個(gè)以上的子
配方步驟對(duì)應(yīng)的兩個(gè)以上的測(cè)定信息反復(fù)出現(xiàn)之時(shí)，測(cè)定信息取得部1203 將該反復(fù)出現(xiàn)的一個(gè)以上的測(cè)定信息判斷為是與被多次執(zhí)行的子配方對(duì) 應(yīng)的測(cè)定信息的群中的一個(gè)，而進(jìn)行累加。具體來說，測(cè)定信息取得部1203 每當(dāng)在具有相同子配方標(biāo)識(shí)符的連續(xù)多個(gè)測(cè)定信息中反復(fù)出現(xiàn)兩個(gè)以上 的子配方步驟標(biāo)識(shí)符，具體來說，反復(fù)出現(xiàn)構(gòu)成子配方的兩個(gè)以上的子配 方步驟的子配方步驟標(biāo)識(shí)符時(shí)，都進(jìn)行累加。由此，在反復(fù)執(zhí)行了子配方 的情況下，也可以正確地對(duì)子配方的次數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)。此種子配方的反復(fù)執(zhí) 行例如可以利用是否保持了檢出子配方步驟標(biāo)識(shí)符之時(shí)的規(guī)律性來判斷， 不管進(jìn)行此種判斷之時(shí)所利用的規(guī)律性如何均可。測(cè)定信息取得部1203 通常來說可以利用MPU和存儲(chǔ)器等來實(shí)現(xiàn)。測(cè)定信息取得部1203的處理 過程通常來說可以利用軟件來實(shí)現(xiàn)，該軟件被記錄于ROM等記錄介質(zhì)中。 但是，也可以利用硬件(專用電路)來實(shí)現(xiàn)。
輸出信息構(gòu)成部1206構(gòu)成使用了測(cè)定信息取得部1203所取得的測(cè)定 信息的輸出信息。另夕卜，在指示接收部1205接收到指定配方中被執(zhí)行多次 的子配方當(dāng)中的在2以上的期望次(例如第一次和第五次這兩者等)中被 執(zhí)行的子配方的輸出指示，測(cè)定信息取得部1203根據(jù)該輸出指示取得與2 以上的不同次的子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息的情況下，輸出信息構(gòu)成部1206 也可以對(duì)測(cè)定信息取得部1203所取^彈的與2以上的不同次的子配方對(duì)應(yīng)的
18測(cè)定信息當(dāng)中、從各子配方內(nèi)的規(guī)^點(diǎn)起的經(jīng)過時(shí)間一致的測(cè)定信息， 進(jìn)行規(guī)定運(yùn)算，構(gòu)成與該運(yùn)算結(jié)果對(duì)應(yīng)的輸出信息。所謂規(guī)定運(yùn)算具體來 說是平均值的算出、最大值或最小值的算出、標(biāo)準(zhǔn)差的算出、最大值與最
小值的差的算出等。由此，例如可以輸出執(zhí)行2以上的不同次的子配方時(shí) 所得到的測(cè)定值的平均值等運(yùn)算結(jié)果的圖表等。輸出信息構(gòu)成部1206例如 構(gòu)成預(yù)先設(shè)定了的形式或指示接收部1205接收到的指示所指定的形式，具 體來說，構(gòu)成文本形式、XML形式、數(shù)據(jù)庫形式等的輸出信息。另外， 使用測(cè)定信息取得部1203所取得的測(cè)定信息來構(gòu)成作為輸出信息的圖表。 此時(shí)，輸出信息構(gòu)成部1206最好以使不同種類的測(cè)定信息、不同制造裝置 的測(cè)定信息在視覺上區(qū)別開的方式來構(gòu)成輸出信息。輸出信息構(gòu)成部1206 例如構(gòu)成并輸出與存儲(chǔ)于輸出指示存儲(chǔ)部1208中的輸出指示對(duì)應(yīng)的輸出 信息。另外，也可以使用所取得的測(cè)定信息進(jìn)行規(guī)定運(yùn)算，構(gòu)成與該運(yùn)算 結(jié)果對(duì)應(yīng)的輸出信息。所謂規(guī)定運(yùn)算例如是每隔規(guī)定的時(shí)間間隔，算出多 個(gè)測(cè)定信息所具有的多個(gè)值的平均值、或?qū)⒍鄠€(gè)測(cè)定信息沿著時(shí)間軸累 計(jì)、或取得最大值、或取得最小值、或?qū)⒅禈?biāo)準(zhǔn)化、或算出標(biāo)準(zhǔn)差、或取 得中值的運(yùn)算。而且，也可以在測(cè)定信息存儲(chǔ)部1204存儲(chǔ)初始信息接收部 1202接收到的多個(gè)初始信息之時(shí)，對(duì)多個(gè)初始信息進(jìn)行此種規(guī)定運(yùn)算。另 外，輸出信息構(gòu)成部1206也可以構(gòu)成與后述的異常檢測(cè)部1210的判斷結(jié) 果對(duì)應(yīng)的輸出信息。例如，輸出信息構(gòu)成部1206利用測(cè)定信息取得部1203 所取得的多個(gè)測(cè)定信息來構(gòu)成圖表，此時(shí)，輸出信息構(gòu)成部1206以使異常 的測(cè)定信息與正常的測(cè)定信息在視覺上區(qū)別開的方式來構(gòu)成輸出信息。這 里所說的輸出信息例如也可以是與屬于異常的測(cè)定信息相關(guān)的測(cè)定部名 和時(shí)刻的列表信息。該測(cè)定部名例如是根據(jù)識(shí)別測(cè)定信息中包含的測(cè)定部 1106所測(cè)定的測(cè)定部位的信息而取得的。另外，所謂輸出信息例如也可以 是利用該列表信息和測(cè)定信息構(gòu)成的圖表的信息。所謂輸出信息例如表示 屬于正常、表示屬于異常。所謂輸出信息例如是表示是正常和異常的哪一 方的聲音信息(蜂鳴等)。另外，輸出信息構(gòu)成部1206為了檢測(cè)異常，也 可以進(jìn)行構(gòu)成表示了異常值、正常值的范圍的圖表的處理。該情況下，異 常檢測(cè)部1210讀入符合輸出指示的測(cè)定信息，而不管是否進(jìn)行異常檢測(cè)的 處理。在輸出指示中包含兩個(gè)以上的制il^置標(biāo)識(shí)符的情況下，最好輸出 信息構(gòu)成部1206構(gòu)成在視覺上能夠區(qū)別與每個(gè)制it^置標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的測(cè) 定信息的樣式的圖表。另外，在輸出指示中包含兩個(gè)以上配方標(biāo)識(shí)符的情 況下，輸出信息構(gòu)成部1206最好構(gòu)成在視覺上能夠區(qū)別與每個(gè)配方標(biāo)識(shí)符
19對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息的樣式的圖表。這里，所謂在視覺上能夠區(qū)別與每個(gè)制造 裝置標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息的樣式的圖表，在輸出指示包含兩個(gè)以上的制 造裝置標(biāo)識(shí)符的情況下，是指將與每個(gè)制造裝置標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息用 不同的點(diǎn)種類(四邊形和圓圏的形狀、顏色、大小)輸出的圖表，或?qū)⑴c 每個(gè)制造裝置標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息用不同的線顏色連結(jié)的圖表等。另 外，所謂在視覺上能夠區(qū)別與每個(gè)制造裝置標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息的樣式 的圖表，在輸出指示僅包含一個(gè)制造裝置標(biāo)識(shí)符的情況下，是指由該一個(gè) 制造裝置標(biāo)識(shí)符的多個(gè)測(cè)定信息構(gòu)成的圖表。另外，所謂在視覺上能夠區(qū) 別與每個(gè)配方標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息的樣式的圖表，在輸出指示包含兩個(gè) 以上的配方標(biāo)識(shí)符的情況下，；l指將與每個(gè)配方標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息用 不同的點(diǎn)種類(四邊形和圓團(tuán)的形狀、顏色、大小)輸出的圖表，或?qū)⑴c 每個(gè)配方標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息用不同的線種類(實(shí)線和虛線等)連結(jié)的 圖表等。另外，所謂在視覺上能夠區(qū)別與每個(gè)配方標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息 的樣式的圖表，在輸出指示僅包含一個(gè)配方標(biāo)識(shí)符的情況下，是指由該一 個(gè)配方標(biāo)識(shí)符的多個(gè)測(cè)定信息構(gòu)成的圖表。另外，輸出信息構(gòu)成部1206 也可以利用所讀出的多個(gè)測(cè)定信息構(gòu)成如下的SPC圖表(統(tǒng)計(jì)過程管理圖 表)，該SPC圖表是在視覺上能夠區(qū)別與每個(gè)制造裝置標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的測(cè)定 信息的樣式的圖表，是依照一種測(cè)定信息具有的時(shí)刻信息所表示的時(shí)刻的 順序，描繪所讀出的多個(gè)測(cè)定信息而得到的圖表。SPC圖表是統(tǒng)計(jì)過程管 理中所用的圖表，是用于監(jiān)視單變量而進(jìn)行異常檢測(cè)的圖表。SPC圖表中， 最好事先設(shè)定好監(jiān)視對(duì)象的上下限值(管理值)，在成為管理值外的值的 情況下，異常檢測(cè)部1210檢測(cè)出異常，在視覺上表示所檢測(cè)到的異常。此 種上限值例如預(yù)先保存在后述的條件信息保存部1209中。另外，輸出信息 構(gòu)成部1206在輸出指示包含一個(gè)以上制造裝置標(biāo)識(shí)符的情況下，也可以利 用具有該一個(gè)以上制造裝置標(biāo)識(shí)符中的任意一個(gè)的多個(gè)測(cè)定信息來構(gòu)成 如下的相關(guān)圖表，該相關(guān)圖表是在視覺上能夠區(qū)別與每個(gè)制造裝置標(biāo)識(shí)符 對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息的樣式的圖表，是表示兩種測(cè)定信息的相關(guān)的圖表。相關(guān) 圖表; 視2個(gè)變量的相關(guān)關(guān)系的圖表，是可以從2個(gè)變量中檢測(cè)異常的 圖表。另外，輸出信息構(gòu)成部1206在輸出指示包含一個(gè)以上配方標(biāo)識(shí)符的 情況下，也可以由具有該一個(gè)以上配方標(biāo)識(shí)符中的任意一個(gè)的多個(gè)測(cè)定信 息來構(gòu)成如下的MD (Mahalanobis距離)圖表，該MD圖表是在視覺上 能夠區(qū)別每個(gè)配方標(biāo)識(shí)符的測(cè)定信息的樣式的圖表，是表示三種以上的測(cè) 定信息的相關(guān)的圖表。圖表的構(gòu)成例如是依照時(shí)間軸將多個(gè)測(cè)定信息用線連結(jié)而得到圖表的處理。在被賦予多個(gè)具有值和時(shí)刻信息的測(cè)定信息的情 況下，由于構(gòu)成圖表的處理是>^技術(shù)，因此省略詳細(xì)的說明。另外，在
被賦予多個(gè)具有值和時(shí)刻信息的測(cè)定信息的情況下，由于構(gòu)成SPC圖表、 相關(guān)圖表、MD圖表的處理是公知技術(shù)，因此省略詳細(xì)的說明。另外，所 謂兩種測(cè)定信息也包括在一個(gè)測(cè)定信息中包含兩種被測(cè)定的值(例如溫度 和氣體流量)的信息。另外，所謂三種以上的測(cè)定信息也包括在一個(gè)測(cè)定 信息中包含三種以上被測(cè)定的值(例如溫度、氣體流量和壓力)的信息。 輸出信息構(gòu)成部1206通常來^L可以利用MPU和存儲(chǔ)器等來實(shí)現(xiàn)。輸出信 息構(gòu)成部1206的處理過程通常來說可以用軟件實(shí)現(xiàn)，該軟件被記錄于 ROM等記錄介質(zhì)中。但是，也可以利用硬件(專用電路)來實(shí)現(xiàn)。
輸出部1207輸出輸出信息構(gòu)成部1206所構(gòu)成的圖表。這里，所謂輸 出通常來說是向客戶裝置13的發(fā)送。但是，輸出部1207也可以在與服務(wù) 器裝置12連接的顯示器上顯示圖表，或向打印機(jī)打印，或向外部的裝置發(fā) 送。輸出部1207可以利用無線或有線的通信^l來實(shí)現(xiàn)。但是，輸出部 1207也可以利用輸出設(shè)備的驅(qū)動(dòng)軟件或用輸出設(shè)備的驅(qū)動(dòng)軟件和輸出設(shè) 備等來實(shí)現(xiàn)。
輸出指示存儲(chǔ)部1208存儲(chǔ)輸出指示，該輸出指示是點(diǎn)及線等的屬性信 息和制造裝置標(biāo)識(shí)符的指示，或者是點(diǎn)及線等的屬性信息和配方標(biāo)識(shí)符等 的指示。輸出指示存儲(chǔ)部1208例如也可以在指示接收部1205接收到作為 存儲(chǔ)圖表的設(shè)定(包括顏色信息)的指示的存儲(chǔ)指示的情況下，存儲(chǔ)具有 點(diǎn)及線等的屬性信息和裝置標(biāo)識(shí)符、或具有點(diǎn)及線的屬性信息和配方標(biāo)識(shí) 符的輸出指示。另外，輸出指示存儲(chǔ)部1208通常來說可以利用MPU和存 儲(chǔ)器等來實(shí)現(xiàn)。輸出指示存儲(chǔ)部1208的處理過程通常來說可以利用軟件來 實(shí)現(xiàn)，該軟件被記錄于ROM等記錄介質(zhì)中。但是，也可以用硬件(專用 電路)來實(shí)現(xiàn)。
條件信息保存部1209保存有作為與異常檢測(cè)的條件相關(guān)的信息的條 件信息。條件信息例如是表示測(cè)定值的正常范圍的上限值和下P艮值。M 信息例如也可以僅為正常值與異常值之間的邊界值。這些值通常被稱為管 理值。此外，條件信息隨著測(cè)定對(duì)象的值(溫度、壓力、氣體流量、功率 量等)的不同而不同。另外，不管條件信息的結(jié)構(gòu)如何均可。條件信息保 存部1209優(yōu)選為非易失性的記錄^^質(zhì)，然而也可以利用易失性的記錄^h質(zhì) 來實(shí)現(xiàn)。異常檢測(cè)部1210判斷作為測(cè)定信息取得部1203取得的測(cè)定信息所具 有的值的測(cè)定值是異常還是正常。異常檢測(cè)部1210使用條件信息保存部 1209的條件信息，判斷測(cè)定信息所具有的測(cè)定值是異常還是正常。具體來 說，異常檢測(cè)部1210在測(cè)定信息取得部1203取得了測(cè)定信息的情況下， 判斷該測(cè)定信息是否分別符合條件信息。異常檢測(cè)部1210通常來說可以利 用MPU和存儲(chǔ)器等來實(shí)現(xiàn)。異常檢測(cè)部1210的處理過程通?？梢杂密浖?來實(shí)現(xiàn)，該軟件被記錄于ROM等記錄介質(zhì)中。但是，也可以用硬件(專 用電路)來實(shí)現(xiàn)。而且，異常檢測(cè)部1210的異常檢測(cè)處理也可以是公知的 異常檢測(cè)的處理。
指示輸入部1301輸入各種指示。所謂各種指示例如為如上所述的服務(wù) 器裝置12中所存儲(chǔ)的測(cè)定信息的輸出指示。另夕卜，A^動(dòng)的指示、圖表的 輸出指示、圖表的屬性值(線種類、線的顏色、點(diǎn)的種類或點(diǎn)的顏色等) 的變更的指示等。指示的輸入機(jī)構(gòu)可以是數(shù)字鍵、鍵盤、鼠標(biāo)也可以是菜 單畫面等，哪一種都可以。指示輸入部1301可以利用數(shù)字鍵、鍵盤等輸入 機(jī)構(gòu)、其硬盤驅(qū)動(dòng)器、菜單畫面的控制軟件等來實(shí)現(xiàn)。
指示發(fā)送部1302將由指示輸入部1301輸入的指示向服務(wù)器裝置12發(fā) 送。這里所說的發(fā)送通常來說是使用了通信機(jī)構(gòu)的發(fā)送。指示發(fā)送部1302 可以利用無線或有線的通信機(jī)構(gòu)等來實(shí)現(xiàn)。
接收部1303從服務(wù)器裝置12接收?qǐng)D表等輸出信息。這里所說的接收 信機(jī)構(gòu)等來實(shí)現(xiàn)。
顯示部1304在顯示器上顯示接收部1303所接收到的圖表等輸出信息。 在接收部1303 Wl務(wù)器裝置12接收文本形式、XML形式、數(shù)據(jù)庫形式 等的輸出信息的情況下，顯示部1304也可以具備用于利用這些輸出信息來 構(gòu)成顯示數(shù)據(jù)的MPU和存儲(chǔ)器等，使得顯示部1304與輸出信息構(gòu)成部 1206同樣地構(gòu)成圖表等顯示用的輸出信息，并將該輸出信息顯示在顯示器 上。顯示部1304既可以包含顯示器，也可以看作不包含顯示器。顯示部 1304可以利用顯示器的驅(qū)動(dòng)軟件或利用顯示器的驅(qū)動(dòng)軟件和顯示器等來 實(shí)現(xiàn)。
下面，對(duì)群管理系統(tǒng)的動(dòng)作進(jìn)行說明。首先，使用圖4的流程圖對(duì)制 造裝置ll的動(dòng)作進(jìn)行說明。而且，在這里，對(duì)初始信息包含與測(cè)定時(shí)執(zhí)行 的配方步驟對(duì)應(yīng)的配方步驟標(biāo)識(shí)符的情況進(jìn)行說明，另外，在該步驟為執(zhí)
22行子配方的步驟的情況下，對(duì)包含與該子配方對(duì)應(yīng)的子配方標(biāo)識(shí)符、和與 構(gòu)成該子配方的子配方步驟當(dāng)中的進(jìn)行測(cè)定時(shí)執(zhí)行的子配方步驟對(duì)應(yīng)的 子配方步驟標(biāo)識(shí)符的情況進(jìn)行說明。
(步驟S401)處理部1105讀出配方^"部1102的配方。 (步驟S402 )處理部1105向計(jì)數(shù)器i中代入1。
(步驟S403 )處理部1105判斷在步驟S401中讀入的配方中，是否存 在第i個(gè)步驟。如果存在第i個(gè)步驟，則前進(jìn)到步驟S404，如果不存在第 i個(gè)步驟，則前進(jìn)到步驟S420。
(步驟S404)處理部1105判斷第i個(gè)步驟是否是執(zhí)行子配方的步驟。 在是執(zhí)行子配方的步驟的情況下，前進(jìn)到步驟S405,在不是執(zhí)行子配方的 步驟的情況下，前進(jìn)到步驟S413。
(步驟S405)處理部1105向計(jì)數(shù)器h中代入1。
(步驟S406)處理部1105判斷在步驟S404中判斷為被執(zhí)行的子配方 的子配方步驟中是否存在第h個(gè)子配方步驟。如果存在第h個(gè)子配方步驟， 則前進(jìn)到步驟S407，如果不存在第i個(gè)步驟，則前進(jìn)到步驟S418。
(步驟S407)處理部1105執(zhí)行第h個(gè)子配方步驟的處理。
(步驟S408)測(cè)定部1106進(jìn)行預(yù)先決定的一種以上的測(cè)定(例如溫 度和壓力)，取得測(cè)定值(這里的測(cè)定值通常來說僅具有一種以上的值)。
(步驟S409 )測(cè)定部1106從計(jì)時(shí)部1104中取得時(shí)刻信息，另外，從 配方保存部1102中取得現(xiàn)在執(zhí)行中的子配方步驟的子配方步驟標(biāo)識(shí)符、與 包含該子配方步驟的步驟及子配方對(duì)應(yīng)的步驟標(biāo)識(shí)符及子配方標(biāo)識(shí)符，對(duì) 所測(cè)定的信息賦予時(shí)刻信息和步驟標(biāo)識(shí)符、子配方標(biāo)識(shí)符及子配方步驟標(biāo) 識(shí)符，構(gòu)成初始信息。
(步驟S410)初始信息存儲(chǔ)部1107將在步驟S409中構(gòu)成的初始信息 暫時(shí)存儲(chǔ)在未圖示的存儲(chǔ)器中。
(步驟S411)處理部1105判斷第h個(gè)子配方步驟的處理是否結(jié)束。 例如，在第h個(gè)子配方步驟的處理時(shí)間被預(yù)先決定的情況下，判斷是否經(jīng) 過了該處理時(shí)間。另外，在第h個(gè)子配方步驟的處理的結(jié)束^ff被決定了 的情況下，例如，在預(yù)先決定了當(dāng)溫度達(dá)到了規(guī)定溫度時(shí)結(jié)束處理的情況 下，判斷是否滿足處理?xiàng)l件，在滿足的情況下，決定結(jié)束處理。在結(jié)束處理的情況下，前進(jìn)到步驟S412，在不結(jié)束處理的情況下，回到步驟S408。
(步驟S412 )處理部1105將計(jì)數(shù)器h加1 ，回到步驟S406。
(步驟S413 )處理部1105執(zhí)行第i個(gè)步驟的處理。
(步驟S414)測(cè)定部1106進(jìn)行預(yù)先決定的一種以上的測(cè)定(例如溫度和壓力)，取得測(cè)定值(這里的測(cè)定值通常來說僅具有一種以上的值)。
(步驟S415)測(cè)定部1106從計(jì)時(shí)部1104中取得時(shí)刻信息，另外，從配方保存部1102中取得執(zhí)行中的步驟的步驟標(biāo)識(shí)符，對(duì)所測(cè)定的信息賦予時(shí)刻信息和步驟標(biāo)識(shí)符，構(gòu)成初始信息。
(步驟S416)初始信息存儲(chǔ)部1107將在步驟S406中構(gòu)成的初始信息暫時(shí)存儲(chǔ)在未圖示的存儲(chǔ)器中。
(步驟S417 )處理部1105判斷第i個(gè)配方步驟的處理是否結(jié)束。例如，在第i個(gè)配方步驟的處理時(shí)間被預(yù)先決定的情況下，判斷是否經(jīng)過了該處理時(shí)間。另外，在第i個(gè)配方步驟的處理的結(jié)束條件被決定了的情況下，例如，在預(yù)先決定了當(dāng)溫度達(dá)到了規(guī)定溫度時(shí)結(jié)束處理的情況下，判斷是否滿足處理*，在滿足的情況下，決定結(jié)束處理。在結(jié)束處理的情況下，前進(jìn)到步驟S418,在不結(jié)束處理的情況下，回到步驟S414。
(步驟S418)初始信息發(fā)送部1108將在步驟S410或步驟S416中暫時(shí)存儲(chǔ)的初始信息(這里是一種以上的測(cè)定值、時(shí)刻信息和步驟標(biāo)識(shí)符的組、或一種以上的測(cè)定值、時(shí)刻信息、步驟標(biāo)識(shí)符、子配方標(biāo)識(shí)符和子配方步驟標(biāo)識(shí)符的組)向服務(wù)器裝置12發(fā)送。另外，假定初始信息發(fā)送部1108保持有用于與服務(wù)器裝置12通信的信息(例如服務(wù)器裝置12的IP地址等)。
(步驟S419)處理部1105將計(jì)數(shù)器i加1，回到步驟S403。
(步驟S420)初始信息發(fā)送部1108從配方保存部1102中讀出配方標(biāo)識(shí)符。該配方標(biāo)識(shí)符是在步驟S401中讀入的配方的配方標(biāo)識(shí)符。
(步驟S421)初始信息發(fā)送部1108從制造裝置標(biāo)識(shí)符保存部1103中讀出制造裝置標(biāo)識(shí)符。
(步驟S422 )初始信息發(fā)送部1108將從步驟S410到步驟S411中讀出的配方標(biāo)識(shí)符及制造裝置標(biāo)識(shí)符向服務(wù)器裝置12發(fā)送。另夕卜，假定初始信息發(fā)送部1108保持有用于與服務(wù)器裝置12通信的信息(例如服務(wù)器裝置12的IP地址等)。此后，結(jié)束處理。
此外，圖4的^^圖的步驟S410、步驟S416中，初始信息存儲(chǔ)部1107也可以不是將步驟S409、步驟S415中構(gòu)成的初始信息暫時(shí)存儲(chǔ)在未圖示的存儲(chǔ)器中，而是逐個(gè)地與步驟S418同樣地向服務(wù)器裝置12發(fā)送。由此，可以實(shí)時(shí)地向服務(wù)器裝置發(fā)送數(shù)據(jù)。另外，既可以將制造裝置標(biāo)識(shí)符、配方標(biāo)識(shí)符在測(cè)定開始時(shí)發(fā)送，也可以包含于各測(cè)定信息中。
另外，在步驟S409、步驟S415中，在初始信息中不含有配方步驟標(biāo)識(shí)符的情況下，也可以在步驟S418的處理之前，進(jìn)行從配方保存部1102中讀出配方步驟標(biāo)識(shí)符，并將其在步驟S418中與初始信息一起向服務(wù)器裝置12發(fā)送的處理。
下面，使用圖5的流程圖對(duì)服務(wù)器裝置12的動(dòng)作進(jìn)行說明。而且，這里以指示接收部1205接收到的輸出指示為圖表的輸出指示的情況為例進(jìn)行說明。
(步驟S501)指示接收部1205判斷是否接收到指示。如果接收到指示，則前進(jìn)到步驟S502，如果沒有接收到指示，則前進(jìn)到步驟S512。
(步驟S502)測(cè)定信息取得部1203判斷在步驟S501中接收到的指示是否是圖表的輸出信息的輸出指示。如果是圖表的輸出指示，則前進(jìn)到步驟S503，如果不是圖表的輸出指示，則回到步驟S501。
(步驟S503 )測(cè)定信息取得部1203判斷在步驟S501中接收到的圖表的輸出指示中是否含有指定子配方的指示，具體來說，判斷是否含有子配方標(biāo)識(shí)符。在含有的情況下，前進(jìn)到步驟S504，在不含有的情況下，回到步驟S501。在回到步驟S501之前，也可以進(jìn)行以下處理依照輸出指示中所包含的指示，例如依照輸出具有期望步驟標(biāo)識(shí)符的測(cè)定信息的指示，取得并輸出具有期望步驟標(biāo)識(shí)符的測(cè)定信息。
(步驟S504)測(cè)定信息取得部1203向計(jì)數(shù)器m中代入1。
(步驟S505)測(cè)定信息取得部1203判斷在輸出指示中是否有指定以下子配方的指示，該子配方是被執(zhí)行多次的子配方當(dāng)中的在第m個(gè)期望次中被執(zhí)行的子配方。所謂"第m個(gè)期望次"，例如在將期望子配方執(zhí)行5次的情況下，假設(shè)將期望次設(shè)定為第二次、第三次、第五次共計(jì)三次，則第m-l個(gè)期望次為第二次，第111=2個(gè)期望次為第三次，第m-3個(gè)期望次為第五次。但是，在m值增加的情況下，沒必要一定從其值由小到大的順
25序選擇多個(gè)期望次。例如，在輸出指示包含指定子配方在第二次和第三次
中被執(zhí)行之時(shí)所得到的測(cè)定信息的指示的情況下，在m為"1"及"2"時(shí)，測(cè)定信息取得部1203判斷為在輸出指示中有指定在第m個(gè)期望次中被執(zhí)行的子配方的指示。另外，例如在執(zhí)行配方時(shí)，將期望子配方執(zhí)行了 10次的情況下，在輸出指示包含指定在子配方被執(zhí)行的所有次中得到的測(cè)定信息的指示的情況下，會(huì)有針對(duì)全部10次的子配方的指定，因此在m為"1"到"10"的各個(gè)值時(shí)，測(cè)定信息取得部1203也可以判斷為在輸出指示中有指定在第m個(gè)期望次中^L執(zhí)行的子配方的指示。在輸出指示中未指定以下值，該值是指定成為輸出對(duì)象的子配方被處理的次的值的情況下，優(yōu)選將指定期望次的值預(yù)先設(shè)定為默iMi,例如設(shè)定為"1"等。在有指定在第m個(gè)期望次中被執(zhí)行的子配方的指示的情況下，前進(jìn)到步驟S506，在沒有的情況下，前進(jìn)到步驟S509。
(步驟S506)測(cè)定信息取得部1203從保存于測(cè)定信息保存部1201中的測(cè)定信息當(dāng)中的、輸出指示中所包含的制造裝置標(biāo)識(shí)符及配方標(biāo)識(shí)符一致的測(cè)定信息內(nèi)，取得執(zhí)行與輸出指示中所包含的子配方標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的子配方的第m個(gè)處理次之時(shí)取得的測(cè)定信息。例如，在執(zhí)行配方時(shí)，將期望子配方執(zhí)行了 10次的情況下，在輸出指示包含指定子配方在第二次和第五次中被執(zhí)行之時(shí)得到的測(cè)定信息的指示時(shí)，在111=1的情況下，取得使用了在子配方被第二次執(zhí)行之時(shí)測(cè)定的測(cè)定值的測(cè)定信息。另外，在111=2的情況下，取得使用了在子配方被第五次執(zhí)行之時(shí)測(cè)定的測(cè)定值的測(cè)定信息。對(duì)于該處理的詳細(xì)情況將在后面敘述。
(步驟S507)測(cè)定信息取得部1203將在步驟S506中取得的測(cè)定信息暫時(shí)儲(chǔ)存在未圖示的存儲(chǔ)器等中。而且，在步驟S506中，在存儲(chǔ)器等中已經(jīng)存儲(chǔ)有測(cè)定信息的情況下，也可以不進(jìn)行該處理。
(步驟S508)測(cè)定信息取得部1203將計(jì)數(shù)器m加1。此后，回到步驟S506,
(步驟S509)異常檢測(cè)部1210判斷在步驟S506中取得的一個(gè)以上的測(cè)定信息所具有的各測(cè)定值是異常還是正常。具體來說，異常檢測(cè)部1210使用條件信息來判斷各測(cè)定值是異常還是正常。
(步驟S510)輸出信息構(gòu)成部1206使用在步驟S503中取得的測(cè)定信息，來構(gòu)成遵循了所接收到的輸出指示的圖表等輸出信息。此時(shí)，也可以對(duì)測(cè)定信息進(jìn)行規(guī)定運(yùn)算。特別是利用測(cè)定信息取得部1203取得了與在被執(zhí)行多次的子配方當(dāng)中的不同的2以上的次對(duì)應(yīng)地測(cè)定的測(cè)定信息的情況下，輸出信息構(gòu)成部1206也可以對(duì)測(cè)定信息取得部1203所取得的與2以上的不同的次的子配方對(duì)應(yīng)地得到的測(cè)定信息當(dāng)中的、從各子配方內(nèi)的規(guī)定起點(diǎn)起的經(jīng)過時(shí)間一致的測(cè)定信息，進(jìn)行規(guī)定運(yùn)算，構(gòu)成與該運(yùn)算結(jié)果對(duì)應(yīng)的輸出信息。另外，對(duì)于將2個(gè)以上的測(cè)定信息的時(shí)間軸合并，對(duì)各個(gè)測(cè)定信息的值算出平均、最大值、最小值等來構(gòu)成新的測(cè)定信息的處理，由于是公知技術(shù)，因此這里省略詳細(xì)的說明。此外，在輸出信息為圖表的情況下，圖表的線的屬性值(線的顏色、線種類、點(diǎn)的顏色、點(diǎn)的種類等)是所指示的屬性值、默認(rèn)的屬性值等，輸出信息構(gòu)成部1206使用該屬性值來構(gòu)成圖表。所構(gòu)成的圖表是在視覺上能夠區(qū)別與每個(gè)制造裝置標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息的樣式的圖表、或在視覺上能夠區(qū)別與每個(gè)配方標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息的樣式的圖表、或者在視覺上能夠區(qū)別這兩者的樣式的圖表。另外，所構(gòu)成的圖表是遵循了輸出指示所具有的圖表的種類信息(SPC圖表、相關(guān)圖表、MD圖表等)的圖表。另外，輸出信息構(gòu)成部1206構(gòu)成與步驟S505中的異常檢測(cè)處理的結(jié)果對(duì)應(yīng)的輸出信息。所謂"與異常檢測(cè)處理的結(jié)果對(duì)應(yīng)的輸出信息"既可以是明示了是異常的測(cè)定信息還是正常的測(cè)定信息的樣式的輸出信息，也可以是明示了異常與正常的閾值的圖表等'
(步驟S511)輸出部1207輸出步驟S510中構(gòu)成的輸出信息。這里所說的輸出是向客戶裝置13的發(fā)送。此后，回到步驟S501。
(步驟S512)初始信息接收部1202判斷是否從制造裝置11接收到了一個(gè)以上的初始信息。如果接收到初始信息，則暫時(shí)存儲(chǔ)在未圖示的存儲(chǔ)器等中并前進(jìn)到步驟S508，如果沒有接收到初始信息，則回到步驟S501。
(步驟S513 )測(cè)定信息存儲(chǔ)部1204對(duì)初始信息接收部1202接收到的初始信息進(jìn)行規(guī)定運(yùn)算，取得一個(gè)以上的測(cè)定信息。所謂對(duì)多個(gè)初始信息進(jìn)行規(guī)定運(yùn)算是指，對(duì)多個(gè)初始信息具有的多個(gè)組所具有的一種以上的值分別進(jìn)行規(guī)定運(yùn)算(算出平均值、算出標(biāo)準(zhǔn)差、取得最大值等)。但是，也可以不進(jìn)行規(guī)定運(yùn)算。另外，所謂成為規(guī)定運(yùn)算的對(duì)象的多個(gè)初始信息是分別間隔規(guī)定時(shí)間間隔(例如10分鐘)的多個(gè)初始信息，是分別間隔規(guī)定步驟數(shù)的多個(gè)初始信息。另外，測(cè)定信息存儲(chǔ)部1204也可以在初始信息接收部1202接收到的初始信息或測(cè)定信息上,適當(dāng)?shù)馗郊映跏夹畔⒔邮詹?202接收到的制造裝置標(biāo)識(shí)符、配方標(biāo)識(shí)符等。(步驟S514)測(cè)定信息存儲(chǔ)部1204將在步驟S513中取得的一個(gè)以上的測(cè)定信息存儲(chǔ)在測(cè)定信息保存部1201中?；氐讲襟ES501。
在圖5的流程圖中，通過電源切斷、處理結(jié)束的中斷來結(jié)束處理。
另外，在圖5的流程圖中，假定在接收?qǐng)D表的輸出指示之前，存儲(chǔ)了測(cè)定信息。
另外，在圖5的流程圖中，也可以取代測(cè)定信息而存儲(chǔ)初始信息，在進(jìn)行圖表等輸出信息的輸出之時(shí)，對(duì)多個(gè)初始信息進(jìn)行規(guī)定運(yùn)算，取得一個(gè)以上的測(cè)定信息，使用該一個(gè)以上的測(cè)定信息來構(gòu)成輸出信息并輸出。也就是說，不管構(gòu)成測(cè)定信息的時(shí)機(jī)為何均可。
以下，使用圖6的流程圖對(duì)圖5的流程圖中步驟S506中所示的取得子配方的第m個(gè)處理次的測(cè)定信息的處理進(jìn)^i兌明。這里，假定在輸出指示中包含與取得成為輸出對(duì)象的測(cè)定信息之時(shí)執(zhí)行的子配方步驟對(duì)應(yīng)的子配方標(biāo)識(shí)符；及表示子配方的第m個(gè)處理次的信息。第m個(gè)處理次的值在這里設(shè)為s (s為正的整數(shù))。例如在由輸出指示指定的多個(gè)處理次當(dāng)中的第m個(gè)處理次為第五次時(shí)，則8=5。另外，這里為了簡(jiǎn)化說明，假定在輸出指示中包含制造裝置標(biāo)識(shí)符及配方標(biāo)識(shí)符，從保存于測(cè)定信息保存部1201中的測(cè)定信息當(dāng)中的、輸出指示中所包含的制造裝置標(biāo)識(shí)符及配方標(biāo)識(shí)符一致的測(cè)定信息內(nèi)，檢索測(cè)定信息。
(步驟S601)測(cè)定信息取得部1203向計(jì)數(shù)器n中代入1。
(步驟S602 )測(cè)定信息取得部1203向計(jì)數(shù)器k中代入0。
(步驟S603)測(cè)定信息取得部1203判斷在與時(shí)刻信息對(duì)應(yīng)地進(jìn)行了排序的、輸出指示中所包含的制造裝置標(biāo)識(shí)符及配方標(biāo)識(shí)符一致的測(cè)定信息當(dāng)中，是否有第n個(gè)測(cè)定信息。在有的情況下，前進(jìn)到步驟S604,在沒有的情況下，返回上級(jí)函數(shù)。另外，在沒有的情況下，也可以在進(jìn)行了表示沒有對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息等的出錯(cuò)輸出后，返回上級(jí)函數(shù)。
(步驟S604)測(cè)定信息取得部1203判斷第n個(gè)測(cè)定信息是否具有與輸出指示中所包含的子配方標(biāo)識(shí)符一致的子配方標(biāo)識(shí)符。這里所說的一致既可以是完全一致，也可以是部分一致。在有的情況下，前進(jìn)到步驟S605，在沒有的情況下，前進(jìn)到步驟S614。
(步驟S605)測(cè)定信息取得部1203將計(jì)數(shù)器k加1。
(步驟S606)測(cè)定信息取得部1203判斷計(jì)數(shù)器k的值是否為s。如果為s，則前進(jìn)到步驟S607，如果不是s，則前進(jìn)到步驟S615。
(步驟S607)測(cè)定信息取得部1203取得第n個(gè)測(cè)定信息。這里所說的測(cè)定信息的取得也可以是僅取得測(cè)定信息內(nèi)的測(cè)定值。
(步驟S608)測(cè)定信息取得部1203將步驟S607中取得的測(cè)定信息追加存儲(chǔ)在未圖示的存儲(chǔ)器等中。另外，在存儲(chǔ)到存儲(chǔ)器等中之時(shí)，也可以在測(cè)定信息中附加第m個(gè)處理次的值s。由此，可以輸出該s的值，來判別是第幾次執(zhí)行了期望子配方而得到的測(cè)定信息。最終，存儲(chǔ)在該存儲(chǔ)器等中的測(cè)定信息成為測(cè)定信息取得部1203所取得的、被執(zhí)行了多次的期望子配方的在第m個(gè)處理次中取得的測(cè)定信息。
(步驟S609)測(cè)定信息取得部1203將計(jì)數(shù)器n加1。
(步驟S610 )測(cè)定信息取得部1203與步驟S603同樣地判斷是否有第n個(gè)測(cè)定信息。在有的情況下，前進(jìn)到步驟S611，在沒有的情況下，返回上級(jí)函數(shù)。另外，在沒有的情況下，也可以在進(jìn)行了表示沒有對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息等的出錯(cuò)輸出后，返回上級(jí)函數(shù)。
(步驟S611)測(cè)定信息取得部1203與步驟S604同樣地判斷第n個(gè)測(cè)定信息是否具有與輸出指示中所包含的子配方標(biāo)識(shí)符一致的子配方標(biāo)識(shí)符。在有的情況下，前進(jìn)到步驟S612，在沒有的情況下，返回上級(jí)函數(shù)。
(步驟S612)測(cè)定信息取得部1203判斷以下兩個(gè)值是否一致與第n個(gè)測(cè)定信息對(duì)應(yīng)的子配方步驟標(biāo)識(shí)符的值，以及輸出指示中所包含的制造裝置標(biāo)識(shí)符及配方標(biāo)識(shí)符一致并且具有緊接于第n個(gè)測(cè)定信息的時(shí)刻信息之前的值的時(shí)刻信息的、與第n-l個(gè)測(cè)定信息對(duì)應(yīng)的子配方步驟標(biāo)識(shí)符的值。在一致的情況下，前進(jìn)到步驟S607，在不一致的情況下，前進(jìn)到步驟S613。這里，假定子配方步驟標(biāo)識(shí)符,皮依照子配方步驟的處理順序設(shè)定為包含值逐一增加的數(shù)值的值。
(步驟S613 )測(cè)定信息取得部1203判斷與第n個(gè)測(cè)定信息對(duì)應(yīng)的子配方步驟標(biāo)識(shí)符的值是否和將與第n-l個(gè)測(cè)定信息對(duì)應(yīng)的子配方步驟標(biāo)識(shí)符的值加一后的值一致。在一致的情況下，回到步驟S607,在不一致的情況下，返回上級(jí)函數(shù)。另外，不一致的情況是指測(cè)定信息不符合構(gòu)成子配方的子配方步驟的排列的規(guī)律性。利用該處理可以判斷構(gòu)成子配方的多個(gè)子配方步驟是否M復(fù)進(jìn)行，這樣，可以判斷出子配方M復(fù)進(jìn)行的情況。在子配方M復(fù)執(zhí)行的情況下，由于在該時(shí)間點(diǎn)，子配方的處理次被變更，
29因此結(jié)束取得測(cè)定值的處理。
(步驟S614 )測(cè)定信息取得部1203將計(jì)數(shù)器n加1。此后，回到步驟 S603。
(步驟S615 )測(cè)定信息取得部1203將計(jì)數(shù)器n加1。
(步驟S616)測(cè)定信息取得部1203與步驟S603同樣地判斷是否有第 n個(gè)測(cè)定信息。在有的情況下，前進(jìn)到步驟S617,在沒有的情況下，返回 上級(jí)函數(shù)。而且，在沒有的情況下，也可以在進(jìn)行了表示沒有對(duì)應(yīng)的測(cè)定 信息等的出錯(cuò)輸出后，返回上級(jí)函數(shù)。
(步驟S617)測(cè)定信息取得部1203與步驟S604同樣地判斷第n個(gè)測(cè) 定信息是否具有與輸出指示中所包含的子配方標(biāo)識(shí)符一致的子配方標(biāo)識(shí) 符。在有的情況下，前進(jìn)到步驟S618,在沒有的情況下，前進(jìn)到步驟S620。
(步驟S618 )測(cè)定信息取得部1203與步驟S612同樣地判斷與第n個(gè) 測(cè)定信息對(duì)應(yīng)的子配方步驟標(biāo)識(shí)符的值是否和與第n-l個(gè)測(cè)定信息對(duì)應(yīng)的 子配方步驟標(biāo)識(shí)符的值一致。在一致的情況下，回到步驟S615，在不一致 的情況下，前進(jìn)到步驟S619。
(步驟S619)測(cè)定信息取得部1203與步驟S613同樣地判斷與第n個(gè) 測(cè)定信息對(duì)應(yīng)的子配方步驟標(biāo)識(shí)符的值是否和將與第n-l個(gè)測(cè)定信息對(duì)應(yīng) 的子配方步驟標(biāo)識(shí)符的值加1后的值一致。在一致的情況下，回到步驟 S615,在不一致的情況下，回到步驟S605。
在圖6的流程圖中，通過電源切斷、處理結(jié)束的中斷來結(jié)束處理。
此外，在圖6的流程圖中，在預(yù)先已知子配方未被連續(xù)地反復(fù)執(zhí)行的 情況下，由于不需要判斷子配方是否被反復(fù)進(jìn)行的處理，因此也可以省略 步驟S612及步驟S613的處理、步驟S618及步驟S619的處理。該情況下， 在利用步驟S612的處理，判斷為子配方步驟標(biāo)識(shí)符的值一致的情況下， 則回到步驟S607，在利用步驟S617的處理，判斷為子配方步驟標(biāo)識(shí)符的 值一致的情況下，則回到步驟S615。
另外，在圖5及圖6的流程圖中，最好通過用戶輸入輸出信息的輸出 指示，來實(shí)時(shí)地開始異常檢測(cè)，在每次接收初始信息時(shí)， 一邊更新輸出信 息(圖表等) 一邊進(jìn)行異常檢測(cè)處理，如果發(fā)生異常，則立即通知用戶。 也就是說，在圖5及圖6的流程圖中，更優(yōu)選進(jìn)行以下的處理。例如，初 始信息接收部1202在利用制造裝置11進(jìn)行制造等時(shí)，實(shí)時(shí)地接^制造裝置11 一個(gè)接一個(gè)地送來的初始信息，測(cè)定信息存儲(chǔ)部1204將測(cè)定信息 至少暫時(shí)地依次存儲(chǔ)在測(cè)定信息M部1201中。此后，測(cè)定信息取得部 1203只要在每次存儲(chǔ)測(cè)定信息時(shí)，對(duì)該測(cè)定信息實(shí)施從步驟S503到步驟 S619的處理即可。此時(shí)，在圖6的流程圖中，只要將上述的依次存儲(chǔ)的測(cè) 定信息作為第n個(gè)測(cè)定信息來進(jìn)行適當(dāng)處理，在將n的值加1時(shí)，對(duì)其后 存儲(chǔ)的測(cè)定信息進(jìn)行適當(dāng)處理即可。利用該處理，可以實(shí)時(shí)地確認(rèn)制造裝 置ll的狀態(tài)，并且可以實(shí)時(shí)地進(jìn)行異常檢測(cè)，用戶可以立即i人識(shí)到異常的 產(chǎn)生。
另外，在接收到在每個(gè)處理次中取得期望子配方的所有處理次的測(cè)定 值的指示的情況下，在圖5所示的流程圖中，省略步驟S505的處理，并 且將第m個(gè)處理次的值設(shè)定為m，即設(shè)定為m=s， 一邊將m的值加1, 一邊反復(fù)進(jìn)行步驟S506的處理，即圖6的流程圖的處理，取籜爭(zhēng)個(gè)處理 次的測(cè)定值，并且在步驟S506的處理中，即在圖6的流程圖的處理中， 在因輸出出錯(cuò)等而未取得測(cè)定值的情況下，前進(jìn)到步驟S509即可。
或者，也可以對(duì)每個(gè)不同的步驟標(biāo)識(shí)符取得具有期望子配方標(biāo)識(shí)符的 測(cè)定信息，在每個(gè)處理次中取得期望子配方的所有處理次的測(cè)定值。
下面，對(duì)客戶裝置13的動(dòng)作進(jìn)^i兌明。在客戶裝置13的指示輸入部 1301從用戶處接收到圖表的輸出指示時(shí)，指示發(fā)送部1302將該輸出指示 向服務(wù)器裝置12發(fā)送，接收部1303接收作為服務(wù)器裝置12中的處理結(jié)果 的圖表的信息，由顯示部1304顯示圖表。
下面，對(duì)本實(shí)施方式的群管理系統(tǒng)的具體動(dòng)作進(jìn)行說明。群管理系統(tǒng) 的概念圖為圖1。
圖7是管理M于一個(gè)以上的制造裝置11的配方M部1102中的配 方的配方管理表。配方管理表具有"配方標(biāo)識(shí)符"、"步驟標(biāo)識(shí)符"、"處理 條件"之類的屬性。"配方標(biāo)識(shí)符"是配方標(biāo)識(shí)符，"步驟標(biāo)識(shí)符"是構(gòu)成 配方的步驟的步驟標(biāo)識(shí)符，"處理?xiàng)l件"是各步驟的處理?xiàng)l件，例如處理 時(shí)間、處理溫度等的設(shè)定。而且，在"步驟標(biāo)識(shí)符"的屬性值為子配方標(biāo) 識(shí)符的情況下，表示該子配方的處理在該步驟中被執(zhí)行。
圖8是管理保存于一個(gè)以上的制造裝置11的配方保存部1102中的子 配方的子配方管理表。子配方管理表具有"子配方標(biāo)識(shí)符"、"子配方步驟 標(biāo)識(shí)符"、"處理?xiàng)l件"之類的屬性。"子配方標(biāo)識(shí)符"是子配方標(biāo)識(shí)符，" 步驟標(biāo)識(shí)符，，是構(gòu)成子配方的子配方步驟的子配方步驟標(biāo)識(shí)符，"處理?xiàng)l件"是各子配方步驟的處理?xiàng)l件，例如處理時(shí)間、處理溫度等的設(shè)定。另 外，由于子配方及子配方步驟基本上與配方及步斜目同，因此也可以取代 子配方而^f吏用配方。
本具體例中，當(dāng)一個(gè)以上的制造裝置11的輸入接收部1101接收到來 自用戶的對(duì)晶片的加工處理的開始指示時(shí)，處理部1105讀出配方M部 1102的配方，在每個(gè)步驟中執(zhí)行所讀出的配方，推進(jìn)晶片的加工處理。此 外，測(cè)定部1106在晶片的加工處理中，例如每隔l秒就測(cè)定預(yù)先決定的爐 內(nèi)的氣體流量，構(gòu)成將所取得的氣體流量、從計(jì)時(shí)部1104中取得的時(shí)刻信 息、從配方保存部1102中取得的步驟標(biāo)識(shí)符配成對(duì)的初始信息。此時(shí)，在 所執(zhí)行的步驟為執(zhí)行子配方的步驟的情況下，依次執(zhí)行構(gòu)成該子配方的子 配方步驟。此外，除了所取得的氣體流量等的測(cè)定值、從計(jì)時(shí)部1104中取 得的時(shí)刻信息、從配方保存部1102中取得的步驟標(biāo)識(shí)符以夕卜，還構(gòu)成將執(zhí) 行中的子配方標(biāo)識(shí)符和執(zhí)行中的子配方步驟標(biāo)識(shí)符配成對(duì)的初始信息。所 構(gòu)成的初始信息由初始信息存儲(chǔ)部1107暫時(shí)地存儲(chǔ)。所存儲(chǔ)的初始信息的 例子為圖9。這里，為了使說明簡(jiǎn)單，對(duì)測(cè)定值為氣體流量的測(cè)定值的情 況進(jìn)行說明，對(duì)于以下的情況也一樣。對(duì)于沒有子配方標(biāo)識(shí)符和子配方步 驟標(biāo)識(shí)符的初始信息，省略這些標(biāo)識(shí)符，或者在保存這些標(biāo)識(shí)符的位置保 存表示沒有這些標(biāo)識(shí)符的信息。初始信息具有步驟標(biāo)識(shí)符、子配方標(biāo)識(shí)符、 子配方步驟標(biāo)識(shí)符、氣體流量、時(shí)刻信息。另外，時(shí)刻信息是表示時(shí)刻的 信息，既可以是確定到時(shí)、分、秒的信息，也可以是僅為日期及小時(shí)的信 息。此外，該初始信息也可以包含數(shù)據(jù)類型(是測(cè)定信息的數(shù)據(jù)種類，例
如有氣體流量、溫度、壓力等)的信息，在這里包含表示是氣體流量的信 會(huì)、
制造裝置11的初始信息發(fā)送部1108在構(gòu)成配方的所有步驟的執(zhí)行結(jié) 束的階段，將由初始信息存儲(chǔ)部1107存儲(chǔ)的初始信息向服務(wù)器裝置12發(fā) 送。另外，制造裝置11的初始信息發(fā)送部1108讀出制造裝置標(biāo)識(shí)符^M!" 部1103的制造裝置標(biāo)識(shí)符及配方保存部1102的配方標(biāo)識(shí)符(在對(duì)被處理 M進(jìn)行規(guī)定處理之時(shí)執(zhí)行的配方的標(biāo)識(shí)符)，向服務(wù)器裝置12發(fā)送。雖 然這里是在所有的步驟結(jié)束之時(shí)，將初始信息向服務(wù)器裝置12發(fā)送，然而 例如也可以在每取得一個(gè)初始信息時(shí)就實(shí)時(shí)地向服務(wù)器裝置12發(fā)送。
然后，服務(wù)器裝置12的初始信息接收部1202接收由步驟標(biāo)識(shí)符、氣 體流量和時(shí)刻信息的組構(gòu)成的初始信息。另外，接收制造裝置標(biāo)識(shí)符及配 方標(biāo)識(shí)符。此外，測(cè)定信息存儲(chǔ)部1204將具有步驟標(biāo)識(shí)符、氣體流量和時(shí)刻信息的多個(gè)組、配方標(biāo)識(shí)符及制造裝置標(biāo)識(shí)符的初始信息存儲(chǔ)于未圖示
存儲(chǔ)器等中。將該初始信息的例子表示于圖10中。圖IO是初始信息管理
表。初始信息管理表具有"制造裝置標(biāo)識(shí)符"、"配方標(biāo)識(shí)符"、"步驟標(biāo)識(shí) 符"、"步驟標(biāo)識(shí)符"、"子配方標(biāo)識(shí)符"、"值(氣體流量)"、"時(shí)刻信息"。
圖10的初始信息管理表具有值(這里為一種)、步驟標(biāo)識(shí)符和時(shí)刻信息的
多個(gè)組與一個(gè)制造裝置標(biāo)識(shí)符及配方標(biāo)識(shí)符相對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)。另外，圖
10中，假定管理有對(duì)應(yīng)于執(zhí)行一個(gè)以上的制造裝置11及多個(gè)配方的初始 信息。而且，圖IO的初始信息等的值是為了說明而準(zhǔn)備的信息，并非實(shí)測(cè)值。
然后，測(cè)定信息存儲(chǔ)部1204對(duì)圖10所示的多個(gè)初始信息進(jìn)行規(guī)定運(yùn) 算，取得多個(gè)測(cè)定信息。這里，假定運(yùn)算是平均值的算出，測(cè)定信息存儲(chǔ) 部1204每隔10秒就算出平均值。測(cè)定信息存儲(chǔ)部1204將這些測(cè)定信息存 儲(chǔ)在測(cè)定信息保存部1201中。圖11是用于管理存儲(chǔ)于測(cè)定信息存儲(chǔ)部 1204中的測(cè)定信息的測(cè)定信息管理表。測(cè)定信息管理表具有"制it^置標(biāo) 、"配方標(biāo)識(shí)符"、"步驟標(biāo)識(shí)符"、"子配方標(biāo)識(shí)符"、"子配方步驟標(biāo) 、"平均值(氣體流量)"、"時(shí)刻信息"。"制造裝置標(biāo)識(shí)符"、"配方 P、"步驟標(biāo)識(shí)符"、"子配方標(biāo)識(shí)符"、"子配方步驟標(biāo)識(shí)符"、"時(shí)刻 與圖10相同。另外，平均值是測(cè)定信息存儲(chǔ)部1204所算出的平均
另夕卜，在M信息保存部1209中，M了判斷爐內(nèi)的氣體流量是正常 還是異常的條件信息"260 <氣體流量< 280"。
假i殳在該狀況下，用戶M戶裝置13向圖12所示的畫面輸入了必要 的信息，并按下了 "圖表輸出"^&L。圖12是用于輸入圖表的輸出指示并 輸出圖表的畫面。這里，所謂必要的信息是指用于指定想要輸出的子配方 的信息，具體來說是指定子配方標(biāo)識(shí)符、該子配方的1個(gè)以上的處理次的 信息，這里，是指定第一次、第三次的信息，如圖12所示，向區(qū)域101 中輸入了子配方標(biāo)識(shí)符，另外，向區(qū)域102中輸入指定成為輸出對(duì)象的處 理次的值。當(dāng)選中指定"全部"的復(fù)選框103時(shí)，則會(huì)將全部的處理次指 定為輸出對(duì)象。除了該信息以外，還適當(dāng)?shù)刂付〝?shù)據(jù)類型(是測(cè)定信息的 數(shù)據(jù)種類，例如有氣體流量、溫度、壓力等)、制造裝置標(biāo)識(shí)符、配方標(biāo) 識(shí)符中的一個(gè)以上的信息等信息。圖12中，輸入子配方標(biāo)識(shí)符"SR01" 及處理次"1， 3"、數(shù)據(jù)類型"氣體流量"、制造裝置標(biāo)識(shí)符"E1"、配方 標(biāo)識(shí)符"R1"。所以，在該狀況下，如果用戶按下"圖表輸出，，按鈕，則
符符識(shí)息 。
識(shí)識(shí)橋信值指示輸入部1301就會(huì)接收輸出"氣體流量"的測(cè)定信息(例如圖11所示 的信息)當(dāng)中的符合"子配方標(biāo)識(shí)符-SR01"且"處理次=1， 2， 3"且" 制造裝置標(biāo)識(shí)符-El"且"配方標(biāo)識(shí)符-Rl"的條件的測(cè)定信息的輸出指 示。該輸出指示的例子例如為"圖表輸出子配方標(biāo)識(shí)符- "SR01"，處理 次="1， 3"，數(shù)據(jù)類型="氣體流量"，制造裝置標(biāo)識(shí)符- "E1"，配方標(biāo)識(shí) 符="R1""。
然后,指示發(fā)送部1302將輸出指示"圖表輸出子配方標(biāo)識(shí)符^SR01'， 處理次- '1， 3，，數(shù)據(jù)類型='氣體流量，，制造裝置標(biāo)識(shí)符='E1，，配方 標(biāo)識(shí)符='R1，"向服務(wù)器裝置12發(fā)送。
此后，服務(wù)器裝置12的指示接收部1205接收輸出指示"圖表輸出子 配方標(biāo)識(shí)符='SR01'，處理次='1, 3，，數(shù)據(jù)類型='氣體流量，，制造裝 置標(biāo)識(shí)符- 'E1'，配方標(biāo)識(shí)符='R1，"。
然后，服務(wù)器裝置12的測(cè)定信息取得部1203從M于測(cè)定信息^ 部1201中的測(cè)定信息中，檢索并取得符合輸出指示"圖表輸出子配方標(biāo) 識(shí)符='SROl，，處理次='1, 3，，數(shù)據(jù)類型='氣體流量，，制造裝置標(biāo)識(shí) 符='E1'，配方標(biāo)識(shí)符- 'R1，"的測(cè)定信息。
首先，測(cè)定信息取」得部1203取得針對(duì)在作為第一個(gè)處理次的第一次中 被執(zhí)行的子配方的測(cè)定信息。測(cè)定信息取得部1203基于圖11所示的測(cè)定 信息管理表，將處理次s的值設(shè)定為"1"。此后，測(cè)定信息取得部1203 將計(jì)數(shù)器n的值設(shè)定為1， 一邊將該計(jì)數(shù)器n的值逐一增加， 一邊針對(duì)制 造裝置標(biāo)識(shí)符為"E1"、配方標(biāo)識(shí)符為"R1"的測(cè)定信息當(dāng)中的沿著時(shí)間 軸的第n個(gè)測(cè)定信息，依次判斷子配方標(biāo)識(shí)符是否與作為輸出指示中所包 含的子配方標(biāo)識(shí)符的SR01 —致。這里，由于步驟標(biāo)識(shí)符為"S1"的測(cè)定 信息全都不具有子配方標(biāo)識(shí)符，因此判斷為步驟標(biāo)識(shí)符為"S2"的測(cè)定信 息當(dāng)中的最初的測(cè)定信息，也就是"時(shí)刻信息"為"2005/12/02 16: 20: 00"的測(cè)定信息的子配方標(biāo)識(shí)符與"SR01" —致。此后，將計(jì)數(shù)器k的值
設(shè)定為"r。由于該計(jì)數(shù)器k的值與作為處理次s的值的"r 一致，因此
測(cè)定信息取得部1203取得該測(cè)定信息，存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器等中。此時(shí)也可以僅 取得并存儲(chǔ)"值(氣體流量)"的屬性值。該做法在測(cè)定信息取得部1203 取得其他測(cè)定信息之時(shí)也是一樣的。
然后，測(cè)定信息取得部1203將計(jì)數(shù)器n加1并判斷第n個(gè)測(cè)定信息的 子配方標(biāo)識(shí)符是否與作為輸出指示中所包含的子配方標(biāo)識(shí)符的SR01 —
34致。這里，"時(shí)刻信息"為"2005/12/0216: 20: 10"的測(cè)定信息的"子配 方標(biāo)識(shí)符"與輸出指示的"SR0r —致。
然后，判斷第n個(gè)測(cè)定信息的子配方步驟標(biāo)識(shí)符是否與第n-l個(gè)測(cè)定 信息的子配方步驟標(biāo)識(shí)符、或?qū)⒃撟优浞讲襟E標(biāo)識(shí)符的數(shù)值部分加1后的 值一致。這里，由于與第n-l個(gè)測(cè)定信息的子配方步驟標(biāo)識(shí)符一致，因此 取得并存儲(chǔ)該測(cè)定信息。
此后，反復(fù)進(jìn)行相同的處理。這里，在從"時(shí)刻信息"為"2005/12/02 16: 20: 00"到"2005/12/02 16: 24: 50"之間，不進(jìn)行子配方的反復(fù)執(zhí) 行。假定子配方步驟標(biāo)識(shí)符SRS004的子配方步驟與子配方步驟標(biāo)識(shí)符 SRS005的子配方步驟分別是每個(gè)步驟只執(zhí)行一次，這些測(cè)定信息的子配 方步驟標(biāo)識(shí)符的數(shù)值部分從SRS004到SRS005沿著時(shí)間軸單調(diào)地增加。 此后，在第n個(gè)測(cè)定信息變?yōu)?時(shí)刻信息"為"2005/12/02 16: 25: 00" 的測(cè)定信息的時(shí)間點(diǎn)，該測(cè)定信息的子配方標(biāo)識(shí)符并非是"SR02"，因此 取得在第 一次執(zhí)行子配方時(shí)得到的測(cè)定信息的處理結(jié)束。這樣就利用測(cè)定 信息讀取部1203取得從"時(shí)刻信息"為"2005/12/02 16: 20: 00"到" 2005/12/02 16: 24: 50"為止的測(cè)定信息。這里，假定在處理結(jié)束時(shí)，將 處理次s的值附加在測(cè)定信息上并存儲(chǔ)。
然后，測(cè)定信息取得部1203取得針對(duì)在作為第二個(gè)處理次的第三次中 執(zhí)行的子配方的測(cè)定信息。測(cè)定信息取得部1203基于圖ll所示的測(cè)定信 息管理表，將處理次s的值設(shè)定為"3"。此后，測(cè)定信息取得部1203將計(jì) 數(shù)器n的值設(shè)定為l， 一邊將該計(jì)數(shù)器n的值逐一增加， 一邊對(duì)制造裝置 標(biāo)識(shí)符為"E1"、配方標(biāo)識(shí)符為"R1"的測(cè)定信息當(dāng)中的沿著時(shí)間軸的第 n個(gè)測(cè)定信息，依次判斷子配方標(biāo)識(shí)符是否與作為輸出指示中所包含的子 配方標(biāo)識(shí)符的SR01 —致。這里，步驟標(biāo)識(shí)符為"S1"的測(cè)定信息由于全 都不具有子配方標(biāo)識(shí)符，因此步驟標(biāo)識(shí)符為"S2"的測(cè)定信息當(dāng)中的最初 的測(cè)定信息，即"時(shí)刻信息"為"2005/12/02 16: 20: 00"的測(cè)定信息的 子配方標(biāo)識(shí)符被判斷為與"SR01" —致。此后，將計(jì)數(shù)器k的值從作為初
始值的"o",設(shè)定為將值加i后的"r。該計(jì)數(shù)器k的值由于與作為處理
次s的值的"3"不一致，因此測(cè)定信息取得部1203不取得該測(cè)定信息。
然后，測(cè)定信息取得部1203將計(jì)數(shù)器n加1并判斷第n個(gè)測(cè)定信息的 子配方標(biāo)識(shí)符是否與作為輸出指示中所包含的子配方標(biāo)識(shí)符的SR01 — 致。在這里由于是一致的，因此判斷第n個(gè)測(cè)定信息的子配方步驟標(biāo)識(shí)符
35是否與第n-l個(gè)測(cè)定信息的子配方步驟標(biāo)識(shí)符、或者與將該子配方步驟標(biāo) 識(shí)符的數(shù)值部分加l后的值一致。在這里由于是一致的，因此再次將n的 值逐一增加，再次反復(fù)進(jìn)行第n個(gè)測(cè)定信息的子配方標(biāo)識(shí)符是否與作為輸 出指示中所包含的子配方標(biāo)識(shí)符的SR01 —致的判斷處理；和第n個(gè)測(cè)定 信息的子配方步驟標(biāo)識(shí)符是否與第n-l個(gè)測(cè)定信息的子配方步驟標(biāo)識(shí)符、 或者與將該子配方步驟標(biāo)識(shí)符的數(shù)值部分加1后的值一致的判斷處理。
此后，在第n個(gè)測(cè)定信息成為"時(shí)刻信息"為"2005/12/02 16: 25: 00"的測(cè)定信息的時(shí)間點(diǎn)，由于該測(cè)定信息的子配方標(biāo)識(shí)符并非是"SR02 "，因此取得與在第一次中執(zhí)行的子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息的處理結(jié)束。
此后，測(cè)定信息取得部1203再次一邊將計(jì)數(shù)器n的值加l， 一邊針對(duì) 制造裝置標(biāo)識(shí)符為"E1"、配方標(biāo)識(shí)符為"R1"的測(cè)定信息當(dāng)中的沿著時(shí) 間軸的第n個(gè)測(cè)定信息，依次判斷子配方標(biāo)識(shí)符是否與作為輸出指示中所 包含的子配方標(biāo)識(shí)符的SR01—致。這里，"時(shí)刻信息"為"2005/12/02 16: 55: 00"的測(cè)定信息的"子配方標(biāo)識(shí)符"與輸出指示的"SR01" —致。此 后，將計(jì)數(shù)器k的值加1而設(shè)定為"2"。由于該計(jì)數(shù)器k的值與作為處理 次s的值的"1"不一致，因此測(cè)定信息取得部1203不取得該測(cè)定信息。
然后，測(cè)定信息取得部1203將計(jì)數(shù)器n加1并判斷第n個(gè)測(cè)定信 息的子配方標(biāo)識(shí)符是否與作為輸出指示中所包含的子配方標(biāo)識(shí)符的 SR01—致。在這里由于是一致的，因此判斷第n個(gè)測(cè)定信息的子配方步 驟標(biāo)識(shí)符是否與第n-l個(gè)測(cè)定信息的子配方步驟標(biāo)識(shí)符、或者與將該子配 方步驟標(biāo)識(shí)符的數(shù)值部分加1后的值一致。在這里由于是一致的，因此再 次將n的值逐一增加，再次反復(fù)進(jìn)行第n個(gè)測(cè)定信息的子配方標(biāo)識(shí)符是否 與作為輸出指示中所包含的子配方標(biāo)識(shí)符的SR01 —致的判斷處理；和第 n個(gè)測(cè)定信息的子配方步驟標(biāo)識(shí)符是否與第n-l個(gè)測(cè)定信息的子配方步驟 標(biāo)識(shí)符、或者與將該子配方步驟標(biāo)識(shí)符的數(shù)值部分加1后的值一致的判斷 處理。
這里，在第n個(gè)測(cè)定信息成為"時(shí)刻信息"為"2005/12/02 17: 00: 00"的測(cè)定信息的情況下，其子配方步驟標(biāo)識(shí)符"SR004"的數(shù)值部分" 004"與作為第n-l個(gè)測(cè)定信息的"時(shí)刻信息"為"2005/12/02 16: 59: 50 "的測(cè)定信息的子配方步驟標(biāo)識(shí)符"SR005"的數(shù)值部分"004"相比，值 變小。由此，判斷為第n個(gè)測(cè)定信息的子配方步驟標(biāo)識(shí)符與第n-l個(gè)測(cè)定信息的子配方步驟標(biāo)識(shí)符、或?qū)⒃撟优浞讲襟E標(biāo)識(shí)符的lt值部分加1后的
值不一致。此后，計(jì)數(shù)器k的值被加l，計(jì)數(shù)器k的值被設(shè)定為"3"。這 樣，由于計(jì)數(shù)器k的值成為與處理次s的值相同的"3"，因此取得該笫n 個(gè)測(cè)定信息。
然后，測(cè)定信息取得部1203將計(jì)數(shù)器n加1并判斷第n個(gè)測(cè)定信息的 子配方標(biāo)識(shí)符是否與作為輸出指示中所包含的子配方標(biāo)識(shí)符的SR01 — 致。這里，作為"時(shí)刻信息，，為"2005/12/02 17: 00: 10"的測(cè)定信息的 "子配方標(biāo)識(shí)符"與輸出指示"SR01" —致。
然后，判斷第n個(gè)測(cè)定信息的子配方步驟標(biāo)識(shí)符是否與第n-l個(gè)測(cè)定 信息的子配方步驟標(biāo)識(shí)符、或?qū)⒃撟优浞讲襟E標(biāo)識(shí)符的數(shù)值部分加1后的 值一致。這里，由于與第n-l個(gè)測(cè)定信息的子配方步驟標(biāo)識(shí)符一致，因此
:^得并存儲(chǔ)該測(cè)定信息。
此后，反復(fù)進(jìn)行相同的處理。這里，假定在從"時(shí)刻信息"為"2005/12/02 17: 00: 00"到"2005/12/02 17: 04: 50"之間，不進(jìn)行子配方的反復(fù)執(zhí) 行，僅將子配方步驟標(biāo)識(shí)符SRS004的子配方步驟與子配方步驟標(biāo)識(shí)符 SRS005的子配方步驟分別各進(jìn)行一次，這些測(cè)定信息的子配方步驟標(biāo)識(shí) 符的數(shù)值部分從SRS004到SRS005沿著時(shí)間軸單調(diào)地增加。此后，在第n 個(gè)測(cè)定信息成為"時(shí)刻信息"為"2005/12/02 17: 05: 00"的測(cè)定信息的 時(shí)間點(diǎn)，由于該測(cè)定信息的子配方標(biāo)識(shí)符并非是"SR02"，因此取得在第 三次執(zhí)行子配方中得到的測(cè)定信息的處理結(jié)束。這樣就由測(cè)定信息讀取部 1203取得了從"時(shí)刻信息"為"2005/12/02 17: 00: 00"到"2005/12/02 17: 04: 50"的測(cè)定信息。
圖13是用于管理測(cè)定信息取得部1203所取得的測(cè)定信息的取得信息 管理表。取得信息管理表具有"制造裝置標(biāo)識(shí)符"、"配方標(biāo)識(shí)符"、"步驟 標(biāo)識(shí)符"、"子配方標(biāo)識(shí)符"、"子配方步驟標(biāo)識(shí)符"、"平均值(氣體流量) "、"時(shí)刻信息"。"制造裝置標(biāo)識(shí)符"、"配方標(biāo)識(shí)符"、"步驟標(biāo)識(shí)符"、"子 配方標(biāo)識(shí)符"、"子配方步驟標(biāo)識(shí)符"、"平均值(氣體流量)"、"時(shí)刻信息 "與圖IO相同。
這里，例如在作為上述的處理次不是指定第一次和第三次，而是接收
到取得在第二次中處理子配方之時(shí)的測(cè)定信息的輸出指示的情況下，取得 從計(jì)數(shù)器k的值變?yōu)閟=2的時(shí)間點(diǎn)的測(cè)定信息到計(jì)數(shù)器k的值將要變?yōu)閟=3之前的測(cè)定信息，即，取得從"時(shí)刻信息"為"2005/12/02 17: 00: 00" 的測(cè)定信息到"時(shí)刻信息"為"2005/12/02 16: 59: 50"為止的測(cè)定信息。
然后，異常檢測(cè)部1210從測(cè)定信息取得部1203中取得如圖13所示 的測(cè)定信息，并且從條件信息保存部1209中讀出條件信息"26(K氣體流 量<280"，使用該條件信息，對(duì)在子配方的各個(gè)處理次中所得到的測(cè)定信 息檢測(cè)異常。例如由于圖13的測(cè)定信息的所有"平均值，，都小于260，因 此全都被判斷為異常值。
然后，輸出信息構(gòu)成部1206使用測(cè)定信息取得部1203所取得的圖13 的信息、異常檢測(cè)部1210的判斷結(jié)果，構(gòu)成作為輸出信息的圖表。本圖表 是橫軸為時(shí)刻信息所表示的時(shí)刻、縱軸為值(氣體流量的平均值)的折線 圖。而且，時(shí)刻是以將子配方的執(zhí)行開始時(shí)刻設(shè)為O分O秒的相對(duì)時(shí)刻來 表示。另外，對(duì)于每個(gè)處理次構(gòu)成不同的曲線。
然后，輸出部1207將輸出信息構(gòu)成部1206所構(gòu)成的折線圖向客戶裝 置13發(fā)送。
客戶裝置13的接收部1303接收該折線圖，顯示部1304如圖14所示 那樣將折線圖顯示于顯示器上。圖14中，用斜線來表示正常范圍。另外， 使用測(cè)定信息中所包含的"處理次"，輸出由輸出信息構(gòu)成部1206構(gòu)成的 凡例。
另外，在這里，輸出信息構(gòu)成部1206也可以如圖15所示，算出處理 次不同的測(cè)定信息當(dāng)中的、從子配方的開始時(shí)刻起經(jīng)過了相同時(shí)刻之時(shí)所 得到的測(cè)定信息之間的平均值，制成該平均值的曲線，與圖14的曲線重合 地輸出。
另外，上述具體例中，在接收到在每個(gè)處理次中取得期望子配方的所 有處理次的測(cè)定值的指示的情況下，例如只要與上述具體例同樣地取得與 計(jì)數(shù)器k的值被加l后的每個(gè)子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息即可。該情況下，只 要在成為處理對(duì)象的測(cè)定信息、例如上述具體例中的第n個(gè)測(cè)定信息消失 的時(shí)間點(diǎn)結(jié)束處理即可。
而且，上述具體例中，作為相同子配方內(nèi)的子配方步驟的子配方步驟 標(biāo)識(shí)符，依照子配方步驟被執(zhí)行的順序，使用值或其數(shù)值部分的值逐一增 加的標(biāo)識(shí)符，在測(cè)定信息的子配方步驟標(biāo)識(shí)符的值或數(shù)值部分的值與緊接 于其前的測(cè)定信息的子配方步驟標(biāo)識(shí)符不相同且不是加1后的值的情況下，將子配方的處理次累加。但是，本實(shí)施方式中，相同子配方內(nèi)的子配 方步驟的子配方步驟標(biāo)識(shí)符具有可以確定子配方步驟的排列順序等的規(guī)
定規(guī)律性，例如具有各子配方步驟標(biāo)識(shí)符各帶有一個(gè)以a、 b、 c這樣的字 母順序排列的字符等的規(guī)律性，或各子配方步驟標(biāo)識(shí)符具有依照處理順序 減一后的值等的規(guī)律性，因而也可以在判別為測(cè)定信息的子配方步驟標(biāo)識(shí) 符不滿足該規(guī)律性的情況下，將子配方的處理次累加。
以上，根據(jù)本實(shí)施方式，可以對(duì)在M復(fù)執(zhí)行的子配方中取得的、存 儲(chǔ)在服務(wù)器裝置12中的測(cè)定信息，指定該子配方的處理次，選擇性地輸出 在該處理次中得到的測(cè)定信息。這樣就可以瞬間地僅提示必要的信息，可 以有效地進(jìn)行包括制造裝置等的異常檢測(cè)的監(jiān)視。
另外，可以容易地將在相同子配方的不同處理次中得到的測(cè)定信息彼 此顯示在一個(gè)圖表中而比較兩者，或者進(jìn)行規(guī)定運(yùn)算而研究由處理次的差 別造成的測(cè)定信息的偏差，或者取得理想的測(cè)定值，可以提高由子配方得 到的測(cè)定信息的利用^Ki 。
另外，上述實(shí)施方式中，通過在服務(wù)器裝置12中，對(duì)與期望子配方對(duì) 應(yīng)地得到的測(cè)定信息群的出現(xiàn)次數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)，來檢出并取得與子配方的處 理次對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息群。但是，本發(fā)明中，也可以如下所示地檢出并取得 與子配方的處理次對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息。即，在制造裝置ll中，每當(dāng)相同子配 方、例如具有相同子配方標(biāo)識(shí)符的子配方被執(zhí)行一次時(shí)，都用計(jì)數(shù)器等對(duì) 該子配方被執(zhí)行的次數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)，對(duì)在該子配方中得到的所有初始信息或 最初的初始信息或最后的初始信息等，賦予表示該次數(shù)的計(jì)數(shù)結(jié)果的信 息,從而使存儲(chǔ)于服務(wù)器裝置12中的測(cè)定信息包含表示子配方被執(zhí)行的次 數(shù)的計(jì)數(shù)結(jié)果的信息。此后，也可以在服務(wù)器裝置12中，從該測(cè)定信息所 具有的表示子配方被執(zhí)行的次數(shù)的計(jì)數(shù)結(jié)果的信息中，檢出并取得與由輸 出指示指定的期望處理次對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息。
另外，本實(shí)施方式中，所輸出的圖表也可以如圖16所示，是如下的 SPC圖表，即，是從測(cè)定信息*部1201中讀出符合作為輸出SPC圖表 的指示的輸出指示的多個(gè)測(cè)定信息，并利用該所讀出的測(cè)定信息構(gòu)成的， 是在視覺上能夠區(qū)別與每個(gè)制造裝置標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息、或與每個(gè)配 方標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息、或這兩者的樣式的圖表，是依照一種測(cè)定信息 具有的時(shí)刻信息所表示的時(shí)刻的順序，描繪所讀出的多個(gè)測(cè)定信息而得到 的圖表。圖16所示的SPC圖表例如是由一個(gè)制造裝置標(biāo)識(shí)符的測(cè)定信息表中，輸出有管理值(上限) 及管理值(下限)。在成為該管理值之外的值的情況下，表明屬于異常。 管理值(上限)及管理值(下限)被預(yù)先保持在條件信息保存部1209中。 另外，圖16中所用的測(cè)定信息等是為了說明而準(zhǔn)備的測(cè)定信息，與本實(shí)施 方式中所說明的測(cè)定信息不同。
另外，本實(shí)施方式中，所輸出的圖表也可以如圖17所示，是如下的相 關(guān)圖表，即，是從測(cè)定信息M部1201中讀出符*為輸出相關(guān)圖表的指 示的輸出指示的多個(gè)測(cè)定信息，并利用該所讀出的測(cè)定信息構(gòu)成的，是在 視覺上能夠區(qū)別與每個(gè)制造裝置標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息、或與每個(gè)配方標(biāo) 識(shí)符對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息、或這兩者的樣式的圖表，是表示兩種測(cè)定信息(例 如溫度和壓力等)的相關(guān)的圖表。圖17所示的相關(guān)圖表例如是由一個(gè)制造 裝置標(biāo)識(shí)符的兩種測(cè)定信息構(gòu)成的相關(guān)圖表。另外，圖17所示的相關(guān)圖表 中，輸出有兩個(gè)管理值。在成為這兩個(gè)管理值的范圍之外的值的情況下， 表明屬于異常。另夕卜，圖17中所用的測(cè)定信息等是為了說明而準(zhǔn)備的測(cè)定 信息，與本實(shí)施方式中所說明的測(cè)定信息不同。
另外，本實(shí)施方式中，所輸出的圖表也可以如圖18所示，是如下的 MD圖表，即，是從測(cè)定信息保存部1201中讀出具有作為輸出MD (Mahalanobis距離)圖表的指示的輸出指示所包含的一個(gè)以上制造裝置 標(biāo)識(shí)符的任意一個(gè)、或一個(gè)以上配方標(biāo)識(shí)符的任意一個(gè)、或者一個(gè)以上制 造裝置標(biāo)識(shí)符的任意一個(gè)及一個(gè)以上配方標(biāo)識(shí)符的任意一個(gè)的多個(gè)測(cè)定 信息，并利用該所讀出的測(cè)定信息構(gòu)成的，是在視覺上能夠區(qū)別與每個(gè)制 造裝置標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息、或與每個(gè)配方標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息、及 這兩者的測(cè)定信息的樣式的圖表，是表示三種以上的測(cè)定信息(例如2個(gè) 部位的溫度、氣體流量和壓力)的相關(guān)的圖表。圖18所示的相關(guān)圖表例如 是由一個(gè)制造裝置標(biāo)識(shí)符的測(cè)定信息構(gòu)成的MD圖表。另外，圖18所示 的MD圖表是使用Mahalanobis的距離例如進(jìn)行異常判斷的圖表。更具體 來說，圖18所示的MD圖表是將正常時(shí)的數(shù)據(jù)進(jìn)行模型化，使用 Mahalanobis的距離將異常時(shí)的程度用數(shù)值表示的圖表。另外，圖18所示 的MD圖表中，輸出有兩個(gè)管理值。在成為這兩個(gè)管理值的范圍之外的值 的情況下，表明屬于異常。另外，圖18中所用的測(cè)定信息等是為了說明而 準(zhǔn)備的測(cè)定信息，與本實(shí)施方式中所i兌明的測(cè)定信息不同。
另外，本實(shí)施方式的具體例中，所輸出的圖表是顯示了一個(gè)制造裝置 標(biāo)識(shí)符或一個(gè)配方的測(cè)定信息的圖表，是依照一種測(cè)定信息具有的時(shí)刻信息所表示的時(shí)刻的順序，連結(jié)所讀出的多個(gè)測(cè)定信息而得到的一個(gè)折線
圖。但是，所輸出的圖表也可以如圖19所示，是從測(cè)定信息保存部1201 中讀出具有輸出指示所包含的三個(gè)制造裝置標(biāo)識(shí)符的多個(gè)測(cè)定信息，并利 用該所讀出的測(cè)定信息構(gòu)成的，是在視覺上能夠區(qū)別與每個(gè)制造裝置標(biāo)識(shí) 符對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息的樣式的圖表，是依照一種測(cè)定信息具有的時(shí)刻信息所 表示的時(shí)刻的順序，描繪所讀出的多個(gè)測(cè)定信息而成的三個(gè)圖表。該情況 下，輸出指示例如包括"裝置A"、"裝置B"、"裝置C"三個(gè)制造裝置標(biāo) 識(shí)符。此后，測(cè)定信息取得部1203將"裝置A"、"裝置B"、"裝置C"分 別作為關(guān)鍵值，3次檢索測(cè)定信息象萍部1201， 3次取得測(cè)定信息，針對(duì) 各個(gè)關(guān)鍵值，輸出信息構(gòu)成部1206分別構(gòu)成不同的點(diǎn)和線的屬性值的圖 表，得到3個(gè)圖表。這樣就輸出3個(gè)圖表。另外，圖19中所用的測(cè)定信息 等是為了說明而準(zhǔn)備的測(cè)定信息，與本實(shí)施方式中所說明的測(cè)定信息不 同。
本實(shí)施方式中，由于可以如上所述那樣自由選擇3個(gè)以上的圖表(SPC 圖表、相關(guān)圖表、MD圖表等)的顯示形態(tài)，因此能夠從各種角度出發(fā)來 進(jìn)行監(jiān)視，以及進(jìn)行監(jiān)視結(jié)果的分析。
另外，本實(shí)施方式的具體例中，初始信息、測(cè)定信息也可以預(yù)先由服 務(wù)器裝置12保持。該情況下，初始信息或測(cè)定信息利用未圖示的;^從制 造裝置11中取得，經(jīng)由記錄介質(zhì)等轉(zhuǎn)交給服務(wù)器裝置12。
另外，本實(shí)施方式中，最好用戶輸入對(duì)所關(guān)注的圖表的一部分進(jìn)行放 大的指示，改變?cè)搱D表的一部分的比例尺(改變測(cè)定信息的時(shí)間間隔、步 驟的間隔)來進(jìn)行圖表輸出。
另外，本實(shí)施方式中，初始信息與測(cè)定信息也可以是相同構(gòu)成。該情 況下不需要測(cè)定信息存儲(chǔ)部。
另外，本實(shí)施方式中，不是必須在制造裝置與服務(wù)器裝置之間收發(fā)初 始信息。初始信息例如也可以是經(jīng)由記錄介質(zhì)從制造裝置提供給服務(wù)器裝 置。
另外，本實(shí)施方式中，群管理系統(tǒng)也可以不具有客戶裝置13。該情況 下，用戶向服務(wù)器裝置12輸入輸出指示等指示。
另外，本實(shí)施方式的具體例中，雖然是指定制造裝置標(biāo)識(shí)符或配方標(biāo) 識(shí)符來輸出圖表，然而也可以指定一個(gè)以上的制造裝置標(biāo)識(shí)符及一個(gè)以上的配方標(biāo)識(shí)符來輸出圖表。在用戶輸入了包括一個(gè)以上制造裝置標(biāo)識(shí)符及
一個(gè)以上配方標(biāo)識(shí)符的輸出指定的情況下，異常檢測(cè)部1210將所指定的一 個(gè)以上的各制造裝置標(biāo)識(shí)符及一個(gè)以上的各配方標(biāo)識(shí)符分別作為關(guān)鍵值 來檢索測(cè)定信息(或初始信息)，檢測(cè)異常，并由輸出信息構(gòu)成部1206構(gòu) 成圖表。
另外，本實(shí)施方式中，在制造裝置是每當(dāng)取得初始信息時(shí)就逐個(gè)地向 服務(wù)器裝置12發(fā)送的結(jié)構(gòu)的情況下，最好是，將服務(wù)器裝置的指示接收部 接收到輸出指示作為觸發(fā)，實(shí)時(shí)地進(jìn)行測(cè)定信息的取得、異常檢測(cè)處理， 每當(dāng)接收到初始信息時(shí)就更新輸出信息(圖表等)。這是因?yàn)?，用戶可?立即地知道異常的產(chǎn)生。該實(shí)時(shí)的異常檢測(cè)是以下的處理。也就是說，異 常檢測(cè)部對(duì)測(cè)定信息取得部 一個(gè)接一個(gè)地取得的測(cè)定信息立即判斷是否 符合條件信息，輸出信息構(gòu)成部一個(gè)接一個(gè)地構(gòu)成使用了異常檢測(cè)部的判 斷結(jié)果的輸出信息，輸出部邊更新邊輸出輸出信息構(gòu)成部所構(gòu)成的輸出信 息。
在上述各實(shí)施方式中，各處理(各功能)既可以利用單一的裝置(系 統(tǒng))進(jìn)行集中處理來實(shí)現(xiàn)，也可以利用多個(gè)裝置進(jìn)行^L處理來實(shí)現(xiàn)。
另外，上述各實(shí)施方式中，各構(gòu)成要素也可以由專用的硬件來構(gòu)成， 或者，對(duì)于能夠利用軟件實(shí)現(xiàn)的構(gòu)成要素，也可以通過執(zhí)行程序來實(shí)現(xiàn)。 例如，可以通過由CPU等程序執(zhí)行部讀出并執(zhí)行記錄在硬盤或半導(dǎo)體存 儲(chǔ)器等記錄介質(zhì)中的軟件、程序，來實(shí)現(xiàn)各構(gòu)成要素。實(shí)現(xiàn)上述各實(shí)施方 式的服務(wù)器裝置的軟件是如下所示的程序。即、該程序是用于使計(jì)算機(jī)執(zhí) 行如下步驟的程序，即，指示接收步驟，接收測(cè)定信息的輸出指示，該測(cè) 定信息在測(cè)定信息保存部中被保存了多個(gè)，是由對(duì)被處理141進(jìn)行規(guī)定處 理的一個(gè)以上制造裝置測(cè)定的信息的時(shí)間序列的信息，是具有由所述制造 裝置執(zhí)行規(guī)定處理時(shí)的測(cè)定值和表示時(shí)刻的時(shí)刻信息的信息；測(cè)定信息取 得步驟，從所述測(cè)定信息保存部中取得由所述輸出指示指定的測(cè)定信息； 輸出信息構(gòu)成步驟，構(gòu)成使用了所取得的所述測(cè)定信息的輸出信息；以及 輸出步驟，輸出在所述輸出信息構(gòu)成步驟中構(gòu)成的輸出信息；該程序中， 所述配方包含一個(gè)以上的子配方，在所述指示接收步驟中接收的輸出指示
具有指定在所述配方中被執(zhí)行多次的子配方當(dāng)中的在l個(gè)以上的期望次中 執(zhí)行的子配方的指示，所述測(cè)定信息取得步驟取得與由所述輸出指示指定 的子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息。另外，是如下的程序，即，在所述程序中，在所述測(cè)定信息取得步驟 中，對(duì)于保存于所述測(cè)定信息保存部中的測(cè)定信息，對(duì)由所述輸出指示指 定的與所述被執(zhí)行多次的子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息群新出現(xiàn)的次數(shù)進(jìn)行計(jì) 數(shù)，取得該計(jì)數(shù)值與由所述輸出指示指定的期望次一致的次的測(cè)定信息群 中所包含的 一個(gè)以上的測(cè)定信息。
另外，是如下的程序，即，在所述程序中，所述子配方包含兩個(gè)以上 的步驟，在所述測(cè)定信息取一得步驟中，在與構(gòu)成子配方的兩個(gè)以上的步驟 對(duì)應(yīng)的兩個(gè)以上的測(cè)定信息反復(fù)出現(xiàn)之時(shí)，將該反復(fù)出現(xiàn)的一個(gè)以上的測(cè) 定信息作為與所述被執(zhí)行多次的子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息群。
另外，是如下的程序，即，在所述程序中，所述測(cè)定信息具有作為識(shí) 別該測(cè)定信息所對(duì)應(yīng)的子配方的信息的子配方標(biāo)識(shí)符，與所述被執(zhí)行多次 的子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息具有相同的子配方標(biāo)識(shí)符，在所述測(cè)定信息取得 步驟中，對(duì)于保存于所述測(cè)定信息保存部中的測(cè)定信息，對(duì)由所述輸出指
示指定的被執(zhí)行多次的子配方的子配方標(biāo)識(shí)符被新檢出的次數(shù)ii行計(jì)數(shù)， 取得具有該計(jì)數(shù)值與由所述輸出指示指定的期望次一致的次的子配方標(biāo) 識(shí)符的一個(gè)以上的測(cè)定信息。
另外，是如下的程序，即，在所述程序中，所述子配方包含兩個(gè)以上 的步驟，與所述子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息包含用于識(shí)別步驟的步驟標(biāo)識(shí)符， 在所述測(cè)定信息取得步驟中，在具有相同子配方標(biāo)識(shí)符的連續(xù)的測(cè)定信息 中每當(dāng)反復(fù)出現(xiàn)兩個(gè)以上的步驟標(biāo)識(shí)符時(shí)，都進(jìn)行累加。
另外，是如下的程序，即，在所述程序中，在所述指示接收步驟中接 收指定在所述配方中被執(zhí)行多次的子配方當(dāng)中的在2以上的期望次中被執(zhí) 行的子配方的所述輸出指示，在所述測(cè)定信息取得步驟中，取得與2以上 的不同次的子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息，在所述輸出信息構(gòu)成步驟中對(duì)在所述 測(cè)定信息取得步驟中取得的與2以上的不同次的子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息當(dāng) 中的、從各子配方內(nèi)的規(guī)^點(diǎn)起的經(jīng)過時(shí)間一致的測(cè)定信息，進(jìn)行規(guī)定 運(yùn)算，構(gòu)成與該運(yùn)算結(jié)果對(duì)應(yīng)的輸出信息。
另外，在上述程序中，在發(fā)送信息的發(fā)送步驟、接收信息的接收步驟 等中，不包括利用硬件進(jìn)行的處理，例如發(fā)送步驟中的利用調(diào)制解調(diào)器、 接口卡等進(jìn)行的處理(只能利用硬件進(jìn)行的處理)。
另外，該程序既可以通過從服務(wù)器等中下栽來執(zhí)行，也可以通過讀出 記錄在規(guī)定記錄介質(zhì)(例如CD-ROM等光盤、磁盤、半導(dǎo)體存儲(chǔ)器等)中的程序來執(zhí)行。
另外，執(zhí)行該程序的計(jì)算機(jī)既可以是單個(gè)，也可以是多個(gè)。即，既可 以進(jìn)行集中處理，也可以進(jìn)行M處理。
另外，上述各實(shí)施方式中，存在于一個(gè)裝置中的兩個(gè)以上的通信機(jī)構(gòu) (信息發(fā)送部等)當(dāng)然也可以在物理上利用 一個(gè)介質(zhì)來實(shí)現(xiàn)。
本發(fā)明并不限定于以上的實(shí)施方式，可以進(jìn)行各種變更，它們當(dāng)然也 包含于本發(fā)明的范圍內(nèi)。
另外，上述各實(shí)施方式中，雖然對(duì)服務(wù)器裝置是獨(dú)立的情況進(jìn)行了說 明，然而服務(wù)器裝置既可以是獨(dú)立的裝置，也可以AJi艮務(wù)器-客戶系統(tǒng)的服 務(wù)器裝置。在后者的情況下，輸出部和接收部經(jīng)由通信線#收輸入或輸 出畫面。
產(chǎn)業(yè)可利用性
如上所述，本發(fā)明的服務(wù)器裝置等適于用作具備對(duì)被處理^1進(jìn)行規(guī) 定處理的一個(gè)以上制it^置、與該一個(gè)以上制造裝置連接的服務(wù)器裝置的 群管理系統(tǒng)的服務(wù)器裝置等，特別;lL作為可以有選擇地輸出在子配方等中 取得的測(cè)定信息的服務(wù)器裝置來說是有用的。
權(quán)利要求
1. 一種服務(wù)器裝置，是構(gòu)成具有進(jìn)行異常檢測(cè)的功能的群管理系統(tǒng)的服務(wù)器裝置，該群管理系統(tǒng)具備對(duì)被處理基板進(jìn)行規(guī)定處理的一個(gè)以上制造裝置、和與該一個(gè)以上制造裝置連接的所述服務(wù)器裝置，該服務(wù)器裝置具備測(cè)定信息保存部，可保存多個(gè)測(cè)定信息，該測(cè)定信息是由所述一個(gè)以上制造裝置測(cè)定的信息的時(shí)間序列的信息，是具有由所述制造裝置執(zhí)行了規(guī)定配方時(shí)的測(cè)定值和表示時(shí)刻的時(shí)刻信息的信息；指示接收部，接收所述測(cè)定信息的輸出指示；測(cè)定信息取得部，從所述測(cè)定信息保存部中取得由所述輸出指示指定的測(cè)定信息；輸出信息構(gòu)成部，構(gòu)成使用了所取得的所述測(cè)定信息的輸出信息；以及輸出部，輸出所述輸出信息構(gòu)成部所構(gòu)成的輸出信息；所述配方包含一個(gè)以上子配方，所述指示接收部所接收的輸出指示具有以下指示，該指示指定在所述配方中被執(zhí)行多次的子配方當(dāng)中的在1個(gè)以上的期望次中被執(zhí)行的子配方，所述測(cè)定信息取得部取得與由所述輸出指示指定的子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的服務(wù)器裝置，其特征在于，對(duì)于保存于所述測(cè)定信息保存部中的測(cè)定信息，所述測(cè)定信息取得部對(duì)由所述輸出指示指定的與所述被執(zhí)行多次的子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息群新出現(xiàn)的次數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)，取得其計(jì)數(shù)值與由所述輸出指示指定的期望次一致的次的測(cè)定信息群中所包含的 一個(gè)以上的測(cè)定信息。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的服務(wù)器裝置，其特征在于，所述子配方包含兩個(gè)以上步驟，所述測(cè)定信息取得部在與構(gòu)成子配方的兩個(gè)以上步驟對(duì)應(yīng)的兩個(gè)以上測(cè)定信息反復(fù)出現(xiàn)之時(shí)，將該反復(fù)出現(xiàn)的 一個(gè)以上的測(cè)定信息作為與所述被執(zhí)行多次的子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息群。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的服務(wù)器裝置，其特征在于，所述測(cè)定信息具有子配方標(biāo)識(shí)符，該子配方標(biāo)識(shí)符是識(shí)別該測(cè)定信息所對(duì)應(yīng)的子配方的信息，與所述被執(zhí)行多次的子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息具有相同的子配方標(biāo)識(shí)符，對(duì)于保存于所述測(cè)定信息保存部中的測(cè)定信息，所述測(cè)定信息取得部對(duì)由所述輸出指示指定的被執(zhí)行多次的子配方的子配方標(biāo)識(shí)符被新檢出的次數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)，取得具有其計(jì)數(shù)值與由所述輸出指示指定的期望次一致的次的子配方標(biāo)識(shí)符的一個(gè)以上的測(cè)定信息。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的服務(wù)器裝置，其特征在于，所述子配方包含兩個(gè)以上步驟，與所述子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息包含用于識(shí)別步驟的步驟標(biāo)識(shí)符，每當(dāng)在具有相同子配方標(biāo)識(shí)符的連續(xù)的測(cè)定信息中，反復(fù)出現(xiàn)兩個(gè)以上步驟標(biāo)識(shí)符時(shí)，所述測(cè)定信息取得部都進(jìn)行累加。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的服務(wù)器裝置，其特征在于，所述指示接收部接收指定以下子配方的所述輸出指示，該子配方是在所述配方中被執(zhí)行多次的子配方當(dāng)中的在2以上的期望次中被執(zhí)行的子配方，所述測(cè)定信息取得部取得與2以上的不同次的子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息，所述輸出信息構(gòu)成部對(duì)以下測(cè)定信息進(jìn)行規(guī)定運(yùn)算，構(gòu)成與其運(yùn)算結(jié)果對(duì)應(yīng)的輸出信息，該測(cè)定信息是所述測(cè)定信息取得部所取得的與2以上的不同次的子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息當(dāng)中、從各子配方內(nèi)的規(guī)定起點(diǎn)起的經(jīng)過時(shí)間 一 致的測(cè)定信息。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的服務(wù)器裝置，其特征在于，所述輸出信息構(gòu)成部構(gòu)成SPC圖表，該SPC圖表是依照所取得的所述測(cè)定信息具有的時(shí)刻信息所表示的時(shí)刻的順序來描繪該測(cè)定信息而得到的圖表，所述輸出部輸出所述輸出信息構(gòu)成部所構(gòu)成的SPC圖表。
8. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的服務(wù)器裝置，其特征在于，所述輸出信息 構(gòu)成部利用所取得的所述測(cè)定信息來構(gòu)成相關(guān)圖表，該相關(guān)圖表是表示兩 種測(cè)定信息的相關(guān)的圖表，所述輸出部輸出所述輸出信息構(gòu)成部所構(gòu)成的相關(guān)圖表。
9. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的服務(wù)器裝置，其特征在于，所述輸出信息 構(gòu)成部利用所取得的所述測(cè)定信息來構(gòu)成MD (Mahalanobis距離)圖表， 該MD圖表是表示三種以上的測(cè)定信息的相關(guān)的圖表，所述輸出部輸出所述輸出信息構(gòu)成部所構(gòu)成的MD圖表。
10. —種程序，用于使計(jì)算機(jī)執(zhí)行以下步驟指示接收步驟，接收測(cè)定信息的輸出指示，該測(cè)定信息在測(cè)定信息保 存部中被保存了多個(gè)，是由對(duì)被處理^L進(jìn)行規(guī)定處理的一個(gè)以上制造裝 置測(cè)定的信息的時(shí)間序列的信息，是具有由所述制造裝置執(zhí)行了規(guī)定配方 時(shí)的測(cè)定值和表示時(shí)刻的時(shí)刻信息的信息；測(cè)定信息取得步驟，從所述測(cè)定信息保存部中取得由所述輸出指示指 定的測(cè)定信息；輸出信息構(gòu)成步驟，構(gòu)成使用了所取得的所述測(cè)定信息的輸出信息；以及輸出步驟，輸出在所述輸出信息構(gòu)成步驟中構(gòu)成的輸出信息； 在該程序中，所述配方包含一個(gè)以上的子配方，在所述指示接收步驟中接收的輸出指示具有以下指示，該指示指定在 所述配方中被執(zhí)行多次的子配方當(dāng)中、在1個(gè)以上的期望次中被執(zhí)行的子 配方，在所述測(cè)定信息取得步驟中，取得與由所述輸出指示指定的子配方對(duì) 應(yīng)的測(cè)定信息。
11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的程序，其特征在于，在所述測(cè)定信息取得步驟中，對(duì)于保存于所述測(cè)定信息保存部中的測(cè)定信息，對(duì)由所述輸出指 示指定的與所述被執(zhí)行多次的子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息群新出現(xiàn)的次數(shù)進(jìn) 行計(jì)數(shù)，取得其計(jì)數(shù)值與由所述輸出指示指定的期望次一致的次的測(cè)定信 息群中所包含的一個(gè)以上的測(cè)定信息。
12. 根據(jù)權(quán)利要求ll所述的程序，其特征在于，所述子配方包含兩個(gè) 以上步驟，在所述測(cè)定信息取得步驟中，在與構(gòu)成子配方的兩個(gè)以上的步^Mt應(yīng)的兩個(gè)以上的測(cè)定信息反復(fù)出現(xiàn)之時(shí)，將該反復(fù)出現(xiàn)的一個(gè)以上的測(cè)定信 息作為與所述被執(zhí)行多次的子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息群。
13. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的程序，其特征在于，所述測(cè)定信息具有子 配方標(biāo)識(shí)符，該子配方標(biāo)識(shí)符是識(shí)別該測(cè)定信息所對(duì)應(yīng)的子配方的信息，與所述被執(zhí)行多次的子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息具有相同的子配方標(biāo)識(shí)符，在所述測(cè)定信息取得步驟中，對(duì)于保存于所述測(cè)定信息保存部中的測(cè) 定信息，對(duì)由所述輸出指示指定的被執(zhí)行多次的子配方的子配方標(biāo)識(shí)符被 新檢出的次數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)，取得具有其計(jì)數(shù)值與由所述輸出指示指定的期望 次一致的次的子配方標(biāo)識(shí)符的一個(gè)以上的測(cè)定信息。
14. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的程序，其特征在于，所述子配方包含兩個(gè) 以上步驟，與所述子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息包含用于識(shí)別步驟的步驟標(biāo)識(shí)符，在所述測(cè)定信息取得步驟中，每當(dāng)在具有相同子配方標(biāo)識(shí)符的連續(xù)的 測(cè)定信息中反復(fù)出現(xiàn)兩個(gè)以上的步驟標(biāo)識(shí)符時(shí)，都進(jìn)行累加。
15. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的程序，其特征在于，在所述指示接收步驟 中，接收指定以下子配方的所述輸出指示，該子配方《_在所述配方中祐^執(zhí) 行多次的子配方當(dāng)中、在2以上的期望次中^L執(zhí)行的子配方；在所述測(cè)定 信息取得步驟中取得與2以上的不同次的子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息，在所述輸出信息構(gòu)成步驟中，對(duì)以下測(cè)定信息進(jìn)行規(guī)定運(yùn)算，構(gòu)成與 其運(yùn)算結(jié)果對(duì)應(yīng)的輸出信息，該測(cè)定信息是在所述測(cè)定信息取得步驟中取 得的與2以上的不同次的子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息當(dāng)中、從各子配方內(nèi)的規(guī) 定起點(diǎn)起的經(jīng)過時(shí)間 一致的測(cè)定信息。
全文摘要
以往的服務(wù)器裝置存在無法有選擇地輸出與子配方對(duì)應(yīng)的選擇信息的問題。本發(fā)明提供一種服務(wù)器裝置，具備測(cè)定信息保存部(1201)，其可保存多個(gè)測(cè)定信息，該測(cè)定信息是具有由制造裝置(11)執(zhí)行規(guī)定配方時(shí)的測(cè)定值和表示時(shí)刻的時(shí)刻信息的信息；指示接收部(1205)，其接收測(cè)定信息的輸出指示；測(cè)定信息取得部，其從測(cè)定信息保存部中取得由輸出指示指定的測(cè)定信息；輸出信息構(gòu)成部(1206)，其構(gòu)成使用了所取得的測(cè)定信息的輸出信息；以及輸出部，其輸出輸出信息構(gòu)成部(1206)所構(gòu)成的輸出信息；輸出指示具有指定在配方中被執(zhí)行多次的子配方當(dāng)中、在1個(gè)以上的期望次中被執(zhí)行的子配方的指示，測(cè)定信息取得部(1203)取得與由輸出指示指定的子配方對(duì)應(yīng)的測(cè)定信息。
文檔編號(hào)H01L21/02GK101501658SQ20078002821
公開日2009年8月5日 申請(qǐng)日期2007年7月9日 優(yōu)先權(quán)日2006年8月1日
發(fā)明者小山典昭, 小幡穣, 高橋禮 申請(qǐng)人:東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社