專利名稱：移載裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型有關(guān)一種移載物品的裝置，特別是一種可調(diào)整為批次運(yùn)送二板狀 物或三板狀物的移載裝置。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體基板或液晶基板等制造是由多個(gè)的處理工序或檢査工序所組成，在各 工序中為了工藝的便利， 一般會(huì)將多片基板收藏于卡匣中，以便將卡匣依次運(yùn)送至 處理裝置或檢査裝置，并借助基板運(yùn)送機(jī)器人的承載臂自卡匣內(nèi)逐片取出基板進(jìn)行 所需的工序處理或檢查處理。隨著基板尺寸的改變，基板在卡匣內(nèi)的配置可為兩列或三列配置，因此基板 運(yùn)送機(jī)器人需對(duì)應(yīng)基板配置而具有二個(gè)承載臂或三個(gè)承載臂以可分別批次取出兩 片基板或三片基板；然而在已知的基板運(yùn)送機(jī)器人中，由于承載臂是固定于基板運(yùn) 送機(jī)器人上而不可任意更換，因此需配備有多臺(tái)各自具有二個(gè)承載臂及三個(gè)承載臂 的基板運(yùn)送機(jī)器人，以隨時(shí)依據(jù)不同的卡匣做更換，因此在工序上具有更換繁瑣且 成本高的缺失。因此若能提出一種在同一架基板運(yùn)送機(jī)器人中，可隨時(shí)調(diào)整承載臂的設(shè)計(jì)以 運(yùn)送二板狀物或三板狀物的移載裝置，即為本實(shí)用新型極需努力的目標(biāo)。實(shí)用新型內(nèi)容為了解決上述問題，本實(shí)用新型目的是提出一種移載裝置，可通過自由調(diào)整 承載臂的位置以實(shí)現(xiàn)對(duì)二板狀物或三板狀物的批次運(yùn)送。為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的移載裝置，用以移載至少一板狀物，其特 點(diǎn)是該移載裝置包含 一本體，其內(nèi)部設(shè)置一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)；二個(gè)第一承載臂，它們平 行且間隔設(shè)置于本體前端二側(cè)，二個(gè)第一承載臂與傳動(dòng)機(jī)構(gòu)連接；以及二個(gè)第二承 載臂，它們平行設(shè)置于本體前端，且位于二個(gè)第一承載臂之間，第二承載臂與傳動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，以受傳動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)進(jìn)行一第一動(dòng)作及一第二動(dòng)作其中之一，其中第一動(dòng) 作是使二個(gè)第二承載臂彼此位移靠近且并排結(jié)合，第二動(dòng)作是使二個(gè)第二承載臂分 別往二側(cè)位移，以各自與一個(gè)第一承載臂靠近且并排結(jié)合。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是可借助一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)對(duì)一對(duì)第一承載臂及一對(duì)第二承載臂 的位置的調(diào)整，使第一、第二承載臂可自由變化為批次運(yùn)送二板狀物或三板狀物， 從而簡(jiǎn)化工序且降低成本。


圖1所示為本實(shí)用新型一實(shí)施例移載裝置的分解示意圖。圖2所示為本實(shí)用新型一實(shí)施例移載裝置的一動(dòng)作狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖3所示為本實(shí)用新型一實(shí)施例移載裝置的另一動(dòng)作狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖4所示為本實(shí)用新型一實(shí)施例移載裝置應(yīng)用于面板運(yùn)送機(jī)器人的示意圖。 圖5所示為本實(shí)用新型一實(shí)施例移載裝置運(yùn)送面板的應(yīng)用示意圖。 圖6所示為本實(shí)用新型一實(shí)施例移載裝置運(yùn)送面板的另一應(yīng)用示意圖。
具體實(shí)施方式
圖1及圖2所示分別為本實(shí)用新型一實(shí)施例移載裝置的分解示意圖及結(jié)構(gòu)示 意圖。于本實(shí)施例中， 一移載裝置10包括一本體12,其內(nèi)部設(shè)置一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)14， 本體12前端設(shè)有一開槽121; 二個(gè)第一承載臂16、 16'平行且間隔設(shè)置位于本體 12前端二側(cè)，且穿設(shè)開槽121與傳動(dòng)機(jī)構(gòu)14連接，使二第一承載臂16、 16'受傳 動(dòng)機(jī)構(gòu)14的驅(qū)動(dòng)左右位移以彼此靠近或彼此遠(yuǎn)離；二個(gè)第二承載臂18、 18'，其 長(zhǎng)度是與第一承載臂16、 16'相同，且每個(gè)第二承載臂18、 18'的寬度是第一承 載臂寬度16、 16'的一半，二個(gè)第二承載臂18、 18'平行設(shè)置于本體12前端且位 于二個(gè)第一承載臂16、 16，之間，又二個(gè)第二承載臂18、 18'也穿設(shè)開槽121與 傳動(dòng)機(jī)構(gòu)14連接，以受傳動(dòng)機(jī)構(gòu)14驅(qū)動(dòng)進(jìn)行一第一動(dòng)作及一第二動(dòng)作其中之一。接續(xù)上述說明，當(dāng)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)14驅(qū)動(dòng)二個(gè)第二承載臂18、 18'進(jìn)行第一動(dòng)作時(shí)， 請(qǐng)繼續(xù)參閱圖2，是使二第二承載臂18、 18'彼此位移靠近且并排結(jié)合形成一中央 承載臂20，此中央承載臂20的整體寬度與單個(gè)第一承載臂16、 16'的寬度相同， 且中央承載臂20是位于二第一承載臂16、 16'的間隔的中央位置，而與二個(gè)第一承載臂16、 16'呈三列并排的狀態(tài)；另一方面，當(dāng)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)14驅(qū)動(dòng)二個(gè)第二承載 臂18、 18'進(jìn)行第二動(dòng)作時(shí)，請(qǐng)參閱圖3，是使二個(gè)第二承載臂18、 18'分別往 二側(cè)位移，以分別靠近二側(cè)的第一承載臂16、 16'，使每個(gè)第二承載臂18、 18' 分別與一第一承載臂16、 16'并排結(jié)合成一側(cè)承載臂22、 22'，此二個(gè)側(cè)承載臂 22、 22'是位于本體12前端二側(cè)而呈一兩列并排的狀態(tài)。請(qǐng)參閱圖2及圖3，其中第一承載臂16、 16，及第二承載臂18、 18，是細(xì)長(zhǎng) 板形的板構(gòu)件，其材質(zhì)為采用碳纖維，且每個(gè)第一、第二承載臂16、 16' 、 18、 18'上分別設(shè)置有多個(gè)吸盤24,借以吸附板狀物，如液晶面板、太陽能板或其他 小尺寸且輕材質(zhì)的板狀物；又上述的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)可采用一伺服傳動(dòng)機(jī)構(gòu)或一氣壓傳動(dòng) 機(jī)構(gòu)。如圖4所示，當(dāng)本實(shí)用新型移載裝置10運(yùn)用至一面板運(yùn)送機(jī)器人30，以輔助將卡匣(圖中未示)內(nèi)的面板取出且運(yùn)送至一暫存工作臺(tái)時(shí)(圖中未示)時(shí)，移載裝 置10的第一、第二承載臂16、 16' 、 18、 18'的動(dòng)作方式將依據(jù)卡匣內(nèi)面板配 置的列數(shù)選擇進(jìn)行第一動(dòng)作或第二動(dòng)作。當(dāng)卡匣內(nèi)的面板是呈三列狀態(tài)配置時(shí)，傳 動(dòng)機(jī)構(gòu)是驅(qū)動(dòng)第一、第二承載臂16、 16' 、 18、 18，呈三列并排的狀態(tài)，如圖5 所示，以便利用結(jié)合后的中央承載臂20與二個(gè)承載臂1S、18'各自承載一面板32， 且運(yùn)送至?xí)捍婀ぷ髋_(tái)，其中較佳者每個(gè)面板32的尺寸為305毫米至584毫米(即 12英寸至23英寸)；當(dāng)卡匣內(nèi)的面板是呈兩列狀態(tài)配置時(shí)，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)是驅(qū)動(dòng)第一、 第二承載臂16、 16， 、 18、 18'呈兩列并排的狀態(tài)，如圖6所示，以便利用結(jié)合 后的兩個(gè)側(cè)承載臂22、 22'各自承載一塊面板32，且運(yùn)送至?xí)捍婀ぷ髋_(tái)，其中較 佳者每個(gè)面板32的尺寸為305毫米至813毫米(23英寸至32英寸)。綜合上述，本實(shí)用新型移載裝置借助第一、第二承載臂的位移調(diào)整，可自由 變化為批次運(yùn)送二面板或三面板，以便在不需更換運(yùn)送機(jī)器人的前提下，可隨時(shí)對(duì) 應(yīng)卡匣內(nèi)的面板的兩列或三列配置設(shè)計(jì)；將可克服現(xiàn)有技術(shù)中當(dāng)卡匣內(nèi)的面板的配 置不同時(shí)，需整個(gè)更換運(yùn)送機(jī)器人所造成的更換麻煩且高成本的缺失；即本實(shí)用新 型具備有簡(jiǎn)化工序且降低成本的優(yōu)點(diǎn)。以上所述的實(shí)施例僅是為了說明本實(shí)用新型的技術(shù)思想及特點(diǎn)，其目的在使 熟悉本技術(shù)的人士能夠了解本實(shí)用新型的內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，當(dāng)不能以其限定本實(shí)用 新型的專利范圍，即凡是根據(jù)本實(shí)用新型所揭示的精祌所作的均等變化或修飾，仍應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的專利范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種移載裝置，用以移載至少一板狀物，其特征在于該移載裝置包含一本體，其內(nèi)部設(shè)置一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)；二個(gè)第一承載臂，它們平行且間隔設(shè)置于該本體前端二側(cè)，該二個(gè)第一承載臂與該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)連接；以及二個(gè)第二承載臂，它們平行設(shè)置于該本體前端，且位于該二個(gè)第一承載臂之間，該第二承載臂與該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，以受該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)進(jìn)行一第一動(dòng)作及一第二動(dòng)作其中之一，其中該第一動(dòng)作是使該二個(gè)第二承載臂彼此位移靠近且并排結(jié)合，該第二動(dòng)作是使該二個(gè)第二承載臂分別往二側(cè)位移，以各自與一個(gè)該第一承載臂靠近且并排結(jié)合。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的移載裝置，其特征在于二個(gè)該第二承載臂并排結(jié)合 的位置是位于二個(gè)該第一承載臂的間隔的中央位置。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的移載裝置，其特征在于，該第一承載臂及該第二承載臂是細(xì)長(zhǎng)板形的板構(gòu)件。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的移載裝置，其特征在于，該第二承載臂的寬度是小 于該第一承載臂的寬度。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的移載裝置，其特征在于，二個(gè)該第二承載臂彼此并 排結(jié)合后的寬度是等于單個(gè)該第一承載臂的寬度。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的移載裝置，其特征在于，每個(gè)該第一承載臂及每個(gè) 該第二承載臂上分別設(shè)置有多個(gè)吸盤。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的移載裝置，其特征在于，該第一、第二承載臂的材 質(zhì)是碳纖維。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的移載裝置，其特征在于，該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)是一伺服傳動(dòng) 機(jī)構(gòu)或一氣壓傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的移載裝置，其特征在于，該板狀物是液晶面板或太 陽能板。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的移載裝置，其特征在于，該板狀物的尺寸是305毫 米至813毫米。
專利摘要一種移載裝置，包括一本體，其內(nèi)部設(shè)置有一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)；二個(gè)第一承載臂及二個(gè)第二承載臂，它們?cè)O(shè)置于本體前端且連接傳動(dòng)機(jī)構(gòu)；其中二個(gè)第二承載臂位于二個(gè)第一承載臂之間，并受傳動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)使二個(gè)第二承載臂彼此靠近且并排結(jié)合，或使二個(gè)第二承載臂分別往二側(cè)位移，以各自與一個(gè)第一承載臂靠近且并排結(jié)合。所述移載裝置的承載臂可調(diào)整為兩列或三列并排，以克服更換運(yùn)送機(jī)器人所造成的更換麻煩且高成本的缺失。
文檔編號(hào)H01L21/677GK201084720SQ20072012842
公開日2008年7月9日 申請(qǐng)日期2007年9月5日 優(yōu)先權(quán)日2007年9月5日
發(fā)明者梁敬文 申請(qǐng)人:盟立自動(dòng)化股份有限公司