專利名稱：：Rf輸出超時保護器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本實用新型涉及一種半導(dǎo)體制造設(shè)備，尤其涉及一種晶圓蝕刻機臺內(nèi)的保護裝置。
背景技術(shù)：
：一般在集成電路的制程中，常常通過光刻掩膜板將所要求制造的電路圖案微化顯影到涂有光刻膠的氧化硅片上，再利用蝕刻機臺產(chǎn)生的電漿將硅片上不必要的氧化膜氣化，并由真空泵抽離，從而達到芯片布圖的目的。但在蝕刻的過程中，蝕刻機臺的控制計算機軟體會有陷入死循環(huán)的情況發(fā)生，如此則晶圓(wafer)會長時間暴露在電漿之中，發(fā)生過度蝕刻。對于集成度越來越高的IC制程而言，這樣的過度蝕刻足以導(dǎo)致整片氧化硅片的報廢，使得單晶硅棒拉制、切片、研磨、氧化等工藝前功盡棄，無論從材料成本還是能耗上衡量，都將是巨大的浪費。如圖2所示的是現(xiàn)有技術(shù)的蝕刻機臺的基本架構(gòu)示意圖。由圖可見，當(dāng)蝕刻工藝開始時，控制計算機1的軟體啟動運行并向低電平有效的射頻功率發(fā)生器2輸出使能信號；于是該射頻功率發(fā)生器2便在低電平信號的作用下，向蝕刻腔體3輸出功率(RF)，以提供其產(chǎn)生電漿的射頻能量。與此同時，射頻功率發(fā)生器2向控制計算機1反饋一個射頻啟動信號，該信號為高電平有效。當(dāng)控制計算機1的軟體運行至結(jié)束蝕刻時，會向射頻功率發(fā)生器2發(fā)出一高電平的止能信號，從而終止射頻能量的輸出。但當(dāng)控制計算機1的軟體陷入死循環(huán)時，則上述高電平的止能信號將不會被輸出，由此射頻功率發(fā)生器2將在持續(xù)的低電平使能信號作用下繼續(xù)輸出功率而過蝕刻晶圓。
實用新型內(nèi)容針對上述現(xiàn)有技術(shù)所存在的風(fēng)險，本實用新型提供一種RF輸出超時保護器，其目的旨在解決機臺控制計算機軟體進入死循環(huán)后射頻輸出無法得到及時控制的弊端。本實用新型的目的通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)一種RF輸出超時保護器，包括計時系統(tǒng)、數(shù)字信號處理器和若干1/0端口，其特征在于所述的RF輸出超時保護器裝設(shè)于控制計算機朝向射頻功率發(fā)生器的信號傳輸路徑中，并且與射頻功率發(fā)生器的反饋信號輸出端相連接，具體連接方式為所述保護器的一個I/0端口44a與控制計算機的信號輸出端相連接；所述保護器的另一個I/0端口44b與射頻功率發(fā)生器的反饋信號輸出端相連接；所述保護器的又一個I/0端口44c與射頻功率發(fā)生器的使能信號接收端相連接。進一步地，所述的計時系統(tǒng)嵌設(shè)于I/0端口44b與數(shù)字信號處理器之間。更進一步地，所述的計時系統(tǒng)為高電平計時、低電平清零。再進一步地，所述的RF輸出超時保護器還包含一聲光報警裝置。本實用新型提出的RF輸出超時保護器，通過計時監(jiān)控機臺輸出的射頻使能信號，對于超出規(guī)定時間的運作情況，能夠及時阻斷射頻功率發(fā)生器的功率輸出并發(fā)出聲光報警，具有有效保護晶圓的優(yōu)點。以下結(jié)合附圖，對本實用新型的優(yōu)選實施例進行詳細描述，以加深對本案創(chuàng)新實質(zhì)的理解。圖1是本實用新型RF輸出超時保護器的內(nèi)部架構(gòu)示意圖；圖2是現(xiàn)有技術(shù)的蝕刻機臺的基本架構(gòu)示意圖；圖3是本實用新型實施例蝕刻機臺的基本架構(gòu)示意圖。以上各附圖標(biāo)記的含義如下<table>tableseeoriginaldocumentpage5</column></row><table>具體實施方式如圖1所示的保護器內(nèi)部架構(gòu)示意圖可見，RF輸出超時保護器4，包括計時系統(tǒng)41、聲光報警裝置42、數(shù)字信號處理器43和若干1/0端口；其中，計時系統(tǒng)41嵌設(shè)于1/0端口44b與數(shù)字信號處理器43之間，為高電平計時、低電平清零。如圖3所示，是本實用新型實施例蝕刻機臺的基本架構(gòu)示意圖。對照圖2不難發(fā)現(xiàn)，該實施例在控制計算機1朝向射頻功率發(fā)生器2的信號傳輸路徑上增設(shè)了一RF輸出超時保護器4。該RF輸出超時保護器4的一個1/0端口44a與控制計算機1的信號輸出端相連接，另一個I/O端口44b與射頻功率發(fā)生器2的反饋信號輸出端相連接，而其唯一的輸出端口44c則與射頻功率發(fā)生器2的使能信號接收端相連接。增設(shè)RF輸出超時保護器4后的實施例機臺的蝕刻保護過程同樣可以從圖3中揭示出來，首先給RF輸出超時保護器4的計時系統(tǒng)41設(shè)置計時時間。然后當(dāng)一個程序運行并且機臺開始有射頻能量輸出后，射頻功率發(fā)生器2的反饋信號將由低電平跳變?yōu)楦唠娖降纳漕l啟動信號，并通過IA)端口44b傳入保護器4中，從而觸發(fā)計時系統(tǒng)41開始計時。在晶圓的蝕刻過程中，若在規(guī)定時間內(nèi)射頻功率發(fā)生器2停止了射頻能量的輸出，則反饋信號會重新跳變?yōu)榈碗娖降纳漕l終止信號，這個跳變將會觸發(fā)電能控制器4的重置(計時器歸零)；但若射頻功率發(fā)生器2未在規(guī)定的時間內(nèi)停止射頻能量的輸出，而且運作時間超過保護器4計時系統(tǒng)41所設(shè)置的計時時間，則保護器4將通過數(shù)字信號處理器43自動把輸向射頻功率發(fā)生器2的使能信號置為高電平，從而終止射頻能量的輸出。與此同時，計時系統(tǒng)41通過數(shù)字信號處理器43觸發(fā)聲光報警裝置42，提醒工作人員調(diào)整、處理。綜上所述，本實用新型RF輸出超時保護器在實施應(yīng)用中，能夠真正實現(xiàn)保護晶圓的目的，應(yīng)當(dāng)予以授權(quán)保護和應(yīng)用推廣。以上僅是本實用新型的一個具體范例，對本案保護范圍不構(gòu)成任何限制。凡采用等同變換或者等效替換而形成的技術(shù)方案，均落在本實用新型實施和權(quán)利保護范圍之內(nèi)。權(quán)利要求1.RF輸出超時保護器，包括計時系統(tǒng)、數(shù)字信號處理器和若干I/O端口，其特征在于所述的RF輸出超時保護器裝設(shè)于控制計算機朝向射頻功率發(fā)生器的信號傳輸路徑中，并且與射頻功率發(fā)生器的反饋信號輸出端相連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的RF輸出超時保護器，其特征在于所述保護器裝設(shè)的具體連接方式為所述保護器的一個I/0端口(44a)與控制計算機的信號輸出端相連接；所述保護器的另一個I/0端口(44b)與射頻功率發(fā)生器的反饋信號輸出端相連接；所述保護器的又一個I/0端口(44c)與射頻功率發(fā)生器的使能信號接收端相連接。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的RF輸出超時保護器，其特征在于所述的計時系統(tǒng)嵌設(shè)于I/0端口(44b)與數(shù)字信號處理器之間。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的RF輸出超時保護器，其特征在于所述的計時系統(tǒng)為高電平計時、低電平清零。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的RF輸出超時保護器，其特征在于該保護器還包含一聲光報警裝置。專利摘要本實用新型針對蝕刻過程中，由于控制計算機軟體陷入死循環(huán)而導(dǎo)致晶圓長時間暴露于電漿中報廢的風(fēng)險，提供了一種RF輸出超時保護器。該RF輸出超時保護器，包括計時系統(tǒng)、數(shù)字信號處理器和若干I/O端口，其特征在于所述的RF輸出超時保護器裝設(shè)于控制計算機朝向射頻功率發(fā)生器的信號傳輸路徑中，并且與射頻功率發(fā)生器的反饋信號輸出端相連接。通過該RF輸出超時保護器的計時功能，監(jiān)視射頻功率發(fā)生器的工作狀態(tài)，對于異常的超時情況及時予以終止控制；再輔以聲光報警提醒工作人員進行調(diào)整、處理，從而達到保護晶圓的目的。文檔編號H01L21/306GK201117638SQ20072004408公開日2008年9月17日申請日期2007年10月24日優(yōu)先權(quán)日2007年10月24日發(fā)明者劉加琪,單玉才,周世峰,查永強,蔣民峰申請人:和艦科技(蘇州)有限公司