專利名稱：容器輸送系統(tǒng)和測量容器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種容器輸送系統(tǒng)和測量容器，用以利用一種氣體氣 氛取代用于凈化室的容器的內(nèi)部以及輸送該容器。
背景技術(shù)：
例如，在其內(nèi)部氣氛被凈化的凈化室中制造半導(dǎo)體元件。當(dāng)在不 同過程之間輸送用于形成元件的半導(dǎo)體基片時，其中儲存半導(dǎo)體基片 的盒子被存儲于可被輸送的密封容器中以防止灰塵粘附到半導(dǎo)體基 片。密封容器的內(nèi)部氣氛利用一種惰性氣體例如氮?dú)鈦砣〈鷱亩乐?由于半導(dǎo)體基片的自然氧化引起的氧化膜的生長。
如上所述，盒子被置于充有氮?dú)獾拿芊馊萜髦?，并且密封容器?輸送和存儲。然而，在等待輸送期間和在存儲期間，在密封容器中的 氮?dú)鉂舛扔袝r變得等于或者小于預(yù)定數(shù)值。在此情形中，具有降低的 氮?dú)鉂舛鹊拿芊馊萜鞅惠斔偷皆O(shè)于凈化室中的氣體供應(yīng)裝置中從而被 再次凈化。然后，密封容器返回到原位置處。
在專利文獻(xiàn)-1中，作為這種類型的氣體供應(yīng)系統(tǒng)，提出一種包括 用于存儲半導(dǎo)體晶片的可輸送密封容器和用于供應(yīng)/排放氣體的氣體供 應(yīng)裝置的系統(tǒng)。在可輸送密封容器中形成用于將內(nèi)部和外部相互連通 的兩個氣體流通管道。該氣體供應(yīng)裝置包括與一個氣體流通管道氣密 性連通的氣體供應(yīng)通道和與另一個氣體流通管道氣密性連通的氣體排 放通道。氣體供應(yīng)通道與用于供應(yīng)氣體的氣體供應(yīng)源連通。氣體排放 通道與用于排放氣體的處理裝置連通。在該氣體供應(yīng)系統(tǒng)中，氣體從 氣體供應(yīng)源經(jīng)由氣體供應(yīng)通道和氣體流通管道被供應(yīng)到可輸送密封容 器。此外，當(dāng)用氮?dú)馓畛涿芊馊萜鞑⑶颐芊馊萜髦械膲毫ψ兊玫扔诨?br> 者大于預(yù)定壓力時，氣體經(jīng)由氣體排放管道和氣體排放通道被排放到 處理裝置。
近來， 一般設(shè)置多個這種類型的氣體供應(yīng)裝置并且在該多個氣體 供應(yīng)裝置的每一個中對從氣體供應(yīng)源供應(yīng)的氣體流量進(jìn)行控制。
專利文獻(xiàn)-l:日本專利申請公開No.8-203993 (圖l)。
在氣體供應(yīng)裝置中，由于在該裝置中的控制電路故障和氣體供應(yīng) 管道的堵塞，有時不能供給所需的氣體流量。因此，提出通過在每一 個氣體供應(yīng)裝置的氣體供應(yīng)通道中布置流量計(jì)對氣體流量進(jìn)行測量以 確認(rèn)氣體流量是否被適當(dāng)?shù)毓?yīng)。
然而，如果在氣體供應(yīng)裝置的每一個氣體供應(yīng)通道中布置流量計(jì)， 則需要多個流量計(jì)。因此，成本變高。此外，在氣體供應(yīng)裝置中需要 用于布置流量計(jì)的空間。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明被實(shí)現(xiàn)用于解決以上問題。本發(fā)明的一個目的在于提供一 種能夠降低成本和節(jié)約空間的容器輸送系統(tǒng)和測量容器。
根據(jù)本發(fā)明的一個方面，提供一種容器輸送系統(tǒng)，包括存儲容 器，它具有形成用于存儲基片的空間的外罩和用于使得氣體流入該空 間中的在該外罩中形成的開口；多個凈化單元，每一個凈化單元具有
凈化臺和氣體進(jìn)口，存儲容器放置在凈化臺上，氣體進(jìn)口用于在存儲 容器被置于凈化臺上的情況下通過與開口連通而使得用于凈化的氣流
從開口進(jìn)入空間中；測量容器，它具有在被置于凈化臺上的情況下與 氣體進(jìn)口連通的氣體通道以及用于測量經(jīng)過氣體通道從氣體進(jìn)口流入 的氣體流量的流量測量單元；和輸送單元，用于將存儲容器輸送到凈 化臺，并且在多個凈化臺之間輸送測量容器。根據(jù)該容器輸送系統(tǒng)，從凈化單元的每一個流入存儲容器的氣體 流量可以通過利用輸送單元輸送到每一個凈化臺上的測量容器而被測 量。由此，無需在每一個凈化單元中布置流量測量單元。因此，可以 降低成本并且可以節(jié)約空間。
根據(jù)本發(fā)明的另一個方面，在容器輸送系統(tǒng)中提供一種測量容器， 該容器輸送系統(tǒng)包括存儲基片的存儲容器；多個凈化單元，每一個 凈化單元具有凈化臺和氣體進(jìn)口，存儲容器放置在凈化臺上，氣體進(jìn)
口用于使得氣體流入由存儲容器形成的空間中；以及輸送存儲容器和 測量容器的輸送單元，所述測量容器包括在被置于凈化臺上的情況 下與氣體進(jìn)口連通的氣體通道；和測量經(jīng)過氣體通道從氣體進(jìn)口流入 的氣體流量的流量測量單元。
根據(jù)該測量容器，能夠通過連續(xù)地將測量容器移動到每一個凈化 臺上而測量從每一個凈化單元流入存儲容器中的氣體流量。由此，無 需在每一個凈化單元中提供流量測量單元。因此，可以降低成本并且
可以節(jié)約空間。
優(yōu)選地，該測量容器還可具有存儲由流量測量單元測得的氣體流 量的存儲單元。利用這種構(gòu)造，因?yàn)橛闪髁繙y量單元測得的氣體流量 被存儲，能夠在以后掌握氣體流量。
測量容器還可具有傳送單元，用于將存儲單元存儲的氣體流量傳 輸?shù)酵獠吭O(shè)備。利用這種構(gòu)造，使用者可以利用外部設(shè)備掌握從凈化 單元流入存儲容器的氣體流量。
此外，測量容器還可具有顯示由流量測量單元測得的氣體流量 的顯示單元；捕捉顯示單元的流量顯示圖像并且將流量顯示圖像轉(zhuǎn)換 成圖像數(shù)據(jù)的圖像轉(zhuǎn)換單元；以及將由圖像轉(zhuǎn)換單元轉(zhuǎn)換的圖像數(shù)據(jù)
傳輸?shù)酵獠吭O(shè)備的傳送單元。根據(jù)該構(gòu)造，通過基于圖像數(shù)據(jù)顯示從 凈化單元流入的氣體流量的圖像，即使流量測量單元不具有氣體流量 的存儲單元和氣體流量數(shù)據(jù)的傳送單元，使用者也能夠通過外部設(shè)備
掌握從凈化單元流入存儲容器中的氣體流量。
當(dāng)結(jié)合在下面簡要描述的附圖閱讀時，從下面對本發(fā)明的優(yōu)選實(shí) 施例的詳細(xì)描述，可以更加清楚本發(fā)明的性質(zhì)、用途和其它特征。


圖1是根據(jù)第一實(shí)施例的儲料器的概略透視圖2是根據(jù)第一實(shí)施例的儲料器的概略縱向截面視圖3是存儲FOUP的縱向截面視圖4是根據(jù)第一實(shí)施例的測量FOUP的縱向截面視圖5是示出根據(jù)第一實(shí)施例的流量計(jì)的電子構(gòu)造的框圖6是根據(jù)第二實(shí)施例的測量FOUP的縱向截面視圖；和
圖7是示出根據(jù)第二實(shí)施例的流量計(jì)的電子構(gòu)造的框圖。
具體實(shí)施方式
第一實(shí)施例
參考附圖描述本發(fā)明的第一實(shí)施例。首先，參考圖1和圖2對作 為根據(jù)第一實(shí)施例的容器輸送系統(tǒng)的儲料器進(jìn)行解釋。圖1是根據(jù)第 一實(shí)施例的儲料器的概略透視圖；圖2是根據(jù)第一實(shí)施例的儲料器的 概略縱向截面視圖。
如圖l和圖2所示，儲料器l包括具有帶很多臺階的存儲擱架40 的外罩IO、多個凈化單元50和堆垛機(jī)(輸送單元)60。此外，儲料器 1具有控制單元80、個人計(jì)算機(jī)100、流量控制器150和氮?dú)夤?yīng)源 200。
存儲擱架40沿著高度方向z具有五個臺階。在每一個存儲擱架40
中沿著縱向方向Y (在圖2中的左右方向)形成具有相等間隔的凹部
40a。在各個凹部40a的上部上，沿著縱向方向Y成直線地放置存儲 FOUP (Front Open Unified Pod:前端開口整合盒)(存儲容器)20 。
凈化單元50包括凈化擱架51，凈化擱架51具有沿著縱向方向Y 成直線地布置的多個凈化臺54，在其上放置經(jīng)受凈化的多個存儲 FOUP20。每一個凈化單元50包括供應(yīng)管道52和在凈化臺54的下部 處的排氣管道53。
通過沿著縱向方向Y排列多個凈化臺54而獲得凈化擱架51，并 且凈化擱架51被布置在沿著高度方向Z成直線地排列的存儲擱架40 的下面。類似于存儲擱架40，在凈化擱架51上沿著縱向方向Y形成 具有相等間隔的凹部51a。目卩，在每一個凈化臺54上形成凹部51a，并 且存儲FOUP20和測量FOUP (測量容器)30被放置在凹部51a的上 部上。
供應(yīng)管道52的一端經(jīng)由流量控制器150與氮?dú)夤?yīng)源200連通， 流量控制器150用于控制作為被供給到存儲FOUP20的氣體的氮?dú)獾?流量。其另一端(氣體進(jìn)口)從凈化臺54的下表面?zhèn)韧怀龅缴媳砻鎮(zhèn)?之上。由此，從氮?dú)夤?yīng)源200供給的氮?dú)獾牧髁勘涣髁靠刂破?50 控制，并且氮?dú)饨?jīng)由供應(yīng)管道52從凈化臺54的上表面流出。
排氣管道53的一端從凈化臺54的下表面?zhèn)韧怀龅缴媳砻鎮(zhèn)戎稀?其另一端與用于排出氮?dú)獾呐艢庋b置(未示出)連通。由此，從凈化 臺54的上表面流入排氣管道53中的氮?dú)獗慌艢庋b置排出。
堆垛機(jī)60具有機(jī)架61、支柱62、支臺63和放置臺64。
機(jī)架61具有在左端和右端上布置的四個可旋轉(zhuǎn)行輪65。行輪65 在設(shè)于儲料器1的底表面上的導(dǎo)軌66上可旋轉(zhuǎn)地來回行進(jìn)。支柱62
沿著高度方向Z從機(jī)架61的上表面延伸。支臺63能夠相對于支柱62 沿著高度方向Z滑動，并且由支柱62支撐。放置臺64能夠沿著圖1 所示的左右方向(X方向)在支臺63上滑動，并且被放置在支臺63 上。
現(xiàn)在，描述堆垛機(jī)60的操作。首先，堆垛機(jī)60在導(dǎo)軌66上移動 到與待輸送的存儲FOUP20相對的位置處。然后，支臺63沿著高度方 向Z滑動到待輸送的存儲FOUP20的下部附近。接下來，放置臺64朝 向處于待輸送的存儲FOUP20的下部的凹部40a滑動。然后，支臺63 向上滑動。由此，待輸送的存儲FOUP20被放置到放置臺64上。
當(dāng)待輸送存儲FOUP20被放置在放置臺64上之后，放置臺64返 回到其初始位置。接下來，支臺63滑動并移動到存儲FOUP20要被輸 送到的存儲擱架40的高度處。然后，堆垛機(jī)60利用行輪65在導(dǎo)軌66 上移動，并且存儲FOUP20移動到作為輸送地的存儲擱架40的位置處。 放置臺64滑動到作為輸送地的存儲擱架40的凹部40a處，并且支臺 63向下滑動。由此，存儲FOUP20被放置到作為輸送地的存儲擱架40 的位置處。
控制單元80控制堆垛機(jī)60和流量控制器150。控制單元80控制 堆垛機(jī)60，并且將要求氮?dú)鈨艋拇鎯OUP20從存儲擱架40輸送到 凈化臺54。當(dāng)存儲FOUP20被放置于凈化臺54上時，控制單元80控 制流量控制器150以將所需流量的氮?dú)夤┙o到存儲FOUP20。當(dāng)對存儲 FOUP20的氮?dú)鈨艋Y(jié)束時，控制單元80控制堆垛機(jī)60以將存儲 FOUP20返回到存儲擱架40?？刂茊卧?0對每一個存儲FOUP20執(zhí)行 相同的操作。
此外，控制單元80不僅輸送存儲FOUP20而且還利用堆垛機(jī)60 在凈化臺54之間輸送測量FOUP30。然后，控制單元80使得將在下面 描述的流量計(jì)70測量從每一個凈化單元50供給的氮?dú)獾牧髁?。?dāng)經(jīng)由無線通訊接收到由流量計(jì)70測得的氮?dú)饬髁繑?shù)據(jù)時，個人 計(jì)算機(jī)IOO在其顯示器上顯示該流量數(shù)據(jù)。
下面，將參考圖3描述存儲FOUP20。圖3是存儲FOUP的縱向截面視圖。
存儲FOUP20包括形成外罩的頂蓋21和底表面部分22，并且頂 蓋21和底表面部分22形成密封空間23。盒體24設(shè)于密封空間23中， 并且沿著高度方向存儲多個半導(dǎo)體晶片25。
在底表面部分22的下表面上，在左端和右端附近形成凹部22a和 22b。凹部22a接合凈化單元50的供應(yīng)管道52，并且凹部22b接合凈 化單元50的排氣管道53。具有與供應(yīng)管道52和排氣管道53的內(nèi)徑相 同的直徑的凹部22c和22d在凹部22a和22b的上表面上形成。用于使 得密封空間23和外部相互連通的多個開口 22e和22f在凹部22c和22d 的上表面上形成。在底表面部分22上，布置兩個單向閥，即從上表面 覆蓋開口 22e并且使得氣體僅從外部流入密封空間23中的單向閥26 和從下表面覆蓋開口 22f并且使得氣體僅從密封空間23流出到外部的 單向閥27。
僅當(dāng)密封空間23的氣壓以預(yù)定氣壓低于外部氣壓時，單向閥26 打開并且允許氣體從外部流入密封空間23中。僅當(dāng)外部氣壓以預(yù)定氣 壓低于密封空間23的氣壓時，單向閥27打開并且允許氣體流出密封 空間23。通過將存儲FOUP20放置在凈化臺54上，凹部22a和供應(yīng)管 道52相互接合，并且凹部22b和排氣管道53相互接合。當(dāng)在此狀態(tài) 中利用等于或者大于預(yù)定氣壓的氣壓從氮?dú)夤?yīng)源200供應(yīng)氮?dú)鈺r， 單向閥26被經(jīng)由供應(yīng)管道52供應(yīng)的氮?dú)鈮毫Υ蜷_，并且氮?dú)獗还┙o 到密封空間23。當(dāng)密封空間23利用氮?dú)馓畛洳⑶覂?nèi)部壓力變得等于或 者大于預(yù)定氣壓時，單向閥27打開，并且由排氣裝置經(jīng)由排氣管道53 排出氮?dú)?。以此方式，通過利用氮?dú)馓畛涿芊饪臻g23，可防止由于半
導(dǎo)體晶片25的自然氧化而使得氧化膜生長。
下面，參考圖4描述測量FOUP30。圖4是根據(jù)第一實(shí)施例的測 量FOUP的縱向截面視圖。
類似于存儲FOUP20，測量FOUP30具有形成密封空間23的頂蓋 21和底表面部分22。流量計(jì)(流量測量單元)70被布置在密封空間 23中。
流量計(jì)70具有進(jìn)口 (未示出)和出口 (未示出)。通過使得氣體 從進(jìn)口流入并且使得氣體從出口流出，流量計(jì)70測量氣體流量。進(jìn)口 與管道32 (氣體通道)的一端連通。管道32的另一端與底表面部分 22的上表面連通以從上表面覆蓋單向閥26。出口與管道33的一端連 通。管道33的另一端與底表面部分22的上表面連通以從上表面覆蓋 單向閥27。因此，當(dāng)測量FOUP30被放置在凈化臺54上并且從氮?dú)夤?應(yīng)源200利用等于或者大于預(yù)定壓力的壓力供給氮?dú)鈺r，單向閥26被 經(jīng)由供應(yīng)管道52供給的氮?dú)獾膲毫Υ蜷_，并且氮?dú)饨?jīng)由管道32流入 流量計(jì)70的進(jìn)口中。當(dāng)從流量計(jì)70的出口流出到管道33的氮?dú)獾膲?力變得等于或者大于預(yù)定壓力時，單向閥27打開，并且氮?dú)饨?jīng)由排氣 管道53被排放到排氣裝置。由此，能夠測量從氮?dú)夤?yīng)源200供給的 氮?dú)獾牧髁俊?br> 現(xiàn)在，參考圖5描述流量計(jì)70的電子構(gòu)造。圖5是示出根據(jù)第一 實(shí)施例的流量計(jì)的電子構(gòu)造的框圖。
流量計(jì)70具有控制單元71、電池72和無線通訊單元(傳送單元) 73?？刂茊卧?1具有其中存儲用于控制各種操作的程序和數(shù)據(jù)的硬盤、 執(zhí)行各種計(jì)算以產(chǎn)生用于控制各種操作的信號的CPU以及暫時地存儲 數(shù)據(jù)例如CPU中的計(jì)算結(jié)果的RAM。
控制單元71具有流量測量單元74和流量存儲單元(存儲單元) 75。流量測量單元74測量從進(jìn)口流入的氣體流量。流量存儲單元75 存儲由流量測量單元74測得的氣體流量。
電池72驅(qū)動控制單元71和無線通訊單元73。無線通訊單元73 通過無線通信向個人計(jì)算機(jī)100傳送在流量存儲單元75中存儲的氣體 流量。
下面，描述測量FOUP30在儲料器1中的應(yīng)用。被放置在存儲擱 架40上的多個存儲FOUP20的每一個的密封空間23利用氮?dú)馓畛洹?然而，氮?dú)鉂舛入S著時間降低，并且濕氣和銨氣混入密封空間23中。 由此，在存儲FOUP20中的半導(dǎo)體晶片25的表面被氧化，并且發(fā)生分 子污染。為了防止這些不便，需要每隔預(yù)定時間在存儲FOUP20中執(zhí) 行氮?dú)鈨艋⑶胰コ凉駳夂弯@氣以在存儲FOUP20中填充氮?dú)狻Ｒ虼耍?存儲FOUP20利用堆垛機(jī)60按照順序被輸送到凈化單元50，并且在存 儲FOUP20中執(zhí)行氮?dú)鈨艋?br> 此時，因?yàn)槎鄠€存儲FOUP20被置于儲料器1中，難以使得單獨(dú) 的凈化單元50按照順序在所有的存儲FOUP20中執(zhí)行氮?dú)鈨艋Ｒ虼耍?在儲料器1中設(shè)置多個凈化單元50。通過流量控制器150分別控制每 一個凈化單元50的氮?dú)夤?yīng)流量。然而，由于流量控制器150的故障 和供應(yīng)管道52的堵塞，可能存在不能供給所需流量的氮?dú)獾膬艋瘑卧?50。在此情形中，因?yàn)榧俣ù嬖诓荒艹浞值貓?zhí)行氮?dú)鈨艋拇鎯?FOUP20，需要利用測量FOUP30測量從凈化單元50供應(yīng)的氮?dú)饬髁俊?因此，測量FOUP30利用堆垛機(jī)60被輸送到凈化單元50，并且按照順 序測量從凈化單元50供給的氮?dú)饬髁?。然后，在每一個凈化單元50 中測得的氮?dú)饬髁勘粋魉偷轿挥趦艋彝獠康膫€人計(jì)算機(jī)100。由此， 可向使用者告知從每一個凈化單元50供給的氮?dú)饬髁俊＠脙α掀?和測量FOUP30，通過利用堆垛機(jī)60不時地將測量 FOUP30輸送到每一個凈化臺54，可以測量從每一個凈化單元50供給 的氮?dú)饬髁?。由此，無需在每一個凈化單元50中設(shè)置流量計(jì)70，并且 可以降低成本。此外，可以節(jié)約空間。
而且，因?yàn)闇y量FOUP30具有用于將在流量存儲單元75中存儲的 氮?dú)饬髁總魉徒o個人計(jì)算機(jī)100的無線通訊單元73，使用者能夠利用 個人計(jì)算機(jī)100掌握從凈化單元50供給的氮?dú)饬髁俊?br> 第二實(shí)施例
下面，參考圖6和圖7描述本發(fā)明的第二實(shí)施例。圖6是根據(jù)第 二實(shí)施例的測量FOUP的縱向截面視圖。圖7是示出根據(jù)第二實(shí)施例 的流量計(jì)的電子構(gòu)造的框圖。相同參考數(shù)字被賦予與第一實(shí)施例的那 些實(shí)際上相同的操作，并且省略其解釋。
類似于存儲FOUP20，測量FOUP130具有形成密封空間23的頂 蓋21和底表面部分22。無線照相機(jī)160和流量計(jì)(流量測量單元)170 被布置在密封空間23中。
無線照相機(jī)160在密封空間23中被布置在頂蓋21的上表面上， 并且捕捉將在以后描述的流量計(jì)170的顯示器173上顯示的氮?dú)饬髁?的圖像以將流量圖片傳送給個人計(jì)算機(jī)100。
流量計(jì)170在示于圖6中的上表面上具有(顯示單元)顯示器173， 并且在顯示器173上顯示從進(jìn)口流入的氮?dú)饬髁?。其它?gòu)造與流量計(jì) 70的那些相同。
下面描述無線照相機(jī)160和流量計(jì)170的電子構(gòu)造。如圖7所示， 無線照相機(jī)160具有圖像轉(zhuǎn)換單元161和無線通訊單元(傳送單元) 162。圖像轉(zhuǎn)換單元161捕捉在顯示器173上顯示的氮?dú)饬髁康膱D像，
并且將該圖像轉(zhuǎn)換成數(shù)字圖像數(shù)據(jù)。無線通訊單元162經(jīng)由無線通訊
向個人計(jì)算機(jī)100傳送由圖像轉(zhuǎn)換單元161轉(zhuǎn)換的數(shù)字圖像數(shù)據(jù)。
流量計(jì)170具有控制單元171、電池72和顯示器(傳送單元)173。 控制單元171具有其中存儲用于控制各種操作的程序和數(shù)據(jù)的硬盤、 執(zhí)行各種計(jì)算以產(chǎn)生用于控制各種操作的信號的CPU以及暫時地存儲 數(shù)據(jù)例如CPU中的計(jì)算結(jié)果的RAM。
控制單元171具有流量測量單元74和顯示控制單元175。流量測 量單元74測量從進(jìn)口流入的氣體流量。顯示控制單元175在顯示器173 上顯示由流量測量單元74測得的氮?dú)饬髁俊?br> 以此方式，測量FOUP130包括用于顯示由流量計(jì)170測得的氮?dú)?流量的顯示器173、用于捕捉顯示器173的流量顯示圖像并且將顯示圖 像轉(zhuǎn)換成圖像數(shù)據(jù)的圖像轉(zhuǎn)換單元161、以及用于將圖像轉(zhuǎn)換單元161 轉(zhuǎn)換的圖像數(shù)據(jù)傳送到個人計(jì)算機(jī)100的無線通訊單元162。由此，可 以基于圖像數(shù)據(jù)顯示從凈化單元50流入的氮?dú)饬髁繄D像。因此，即使 流量計(jì)170不具有氮?dú)饬髁看鎯卧偷獨(dú)饬髁繑?shù)據(jù)傳送單元，使用 者也能夠利用個人計(jì)算機(jī)100掌握從凈化單元50流入存儲FOUP20中 的氮?dú)饬髁俊４送?，通過基于圖像數(shù)據(jù)顯示從凈化單元50流入的氮?dú)?流量圖像，使用者能夠以可視化方式掌握氮?dú)饬髁俊?br> 對本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行了描述，但是本發(fā)明并不限于以上實(shí) 施例。即，在權(quán)利要求的范圍內(nèi)可以作出改變。例如，在以上實(shí)施例 中，流量計(jì)70利用無線通訊單元73向個人計(jì)算機(jī)100傳送在流量存 儲單元75中存儲的氮?dú)饬髁?。然而，使用者可以通過直接地移除流量 計(jì)70使得個人計(jì)算機(jī)從流量存儲單元75讀出氮?dú)饬髁慷莆樟髁浚?從而無需無線通訊單元73。
根據(jù)以上實(shí)施例的方式，氮?dú)獗挥米髟诖鎯OUP20的密封空間
23中執(zhí)行凈化的氣體。然而，氣體不限于氮?dú)狻＜?，可以使用能夠?br> 止氧化和分子污染并且能夠去除濕氣的任何氣體，例如CDA (凈化干
燥空氣)。
而且，雖然在以上實(shí)施例的方式中以儲料器1作為實(shí)例解釋，本
發(fā)明的應(yīng)用不限于此。即使沒有布置存儲擱架40，不像儲料器1，可 以在凈化室中僅僅放置所述的多個凈化單元50。 S卩，通過將凈化單元 50放置在半導(dǎo)體晶片的制造過程之間的輸送通道中而非用于存儲存儲 FOUP20的裝置中，可以在輸送過程中在存儲FOUP20中執(zhí)行氮?dú)鈨艋?br> 根據(jù)以上實(shí)施例的方式，存儲FOUP20包括氮?dú)饬魅肫渲械拈_口 22c以及氮?dú)鈴钠淞鞒龅拈_口 22d。然而，在氮?dú)獗惶峁┯糜趦H僅去除 濕氣或者用于防止壓力在存儲FOUP20中降低的情形中，可以不包括 氮?dú)鈴钠淞鞒龅拈_口 22d。
此外，根據(jù)以上實(shí)施例的方式，半導(dǎo)體晶片25被存儲在存儲 FOUP20中。然而，本發(fā)明并不限于半導(dǎo)體晶片25。即，任何物體例 如光盤基片、液晶基片和電子基片可被存儲在存儲FOUP20中。
而且，根據(jù)以上實(shí)施例的方式，存儲FOUP20被用于存儲半導(dǎo)體 晶片25。然而，可以不使用存儲FOUP20而是使用網(wǎng)格盒和SMIF盒 (Standard Manufac ring Interface pod:標(biāo)準(zhǔn)禾幾械介面晶圓盒)。
而且，根據(jù)以上實(shí)施例的方式，包括流量控制器15以控制氮?dú)饬?量。然而，本發(fā)明不限于流量控制器150。即，也可利用針閥控制氮?dú)?流量。
在不背離其基本特征的精神的前提下，本發(fā)明能夠以其它特定形 式實(shí)施。因此本實(shí)施例在所有方面被認(rèn)為是示意性的而非限制性的， 本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求而非前面的描述指出，并且因此屬于權(quán)
利要求等同形式的范圍的意義中的所有改變均被包括在權(quán)利要求中。
包括說明書、權(quán)利要求、附圖和摘要的在2006年12月22日提交 的日本專利申請No.2006-345409的全部公開內(nèi)容通過引用而被整體結(jié) 合于此。
權(quán)利要求
1.一種容器輸送系統(tǒng)，包括存儲容器，它包括外罩和開口，該外罩形成用于存儲基片的空間，該開口形成在該外罩中，用于使得氣體流入該空間；多個凈化單元，每一個凈化單元包括凈化臺和氣體進(jìn)口，存儲容器放置在凈化臺上，氣體進(jìn)口用于在存儲容器被置于凈化臺上的情況下，通過與開口連通而使得用于凈化的氣流從開口進(jìn)入空間中；測量容器，它包括在被置于凈化臺上的情況下與氣體進(jìn)口連通的氣體通道，以及用于測量經(jīng)過氣體通道從氣體進(jìn)口流入的氣體的流量的流量測量單元；和輸送單元，用于將存儲容器輸送到凈化臺，并且在多個凈化臺之間輸送測量容器。
2. —種容器輸送系統(tǒng)中的測量容器，該容器輸送系統(tǒng)包括存儲 基片的存儲容器；多個凈化單元，每一個凈化單元包括凈化臺和氣體進(jìn)口，存儲容器放置在凈化臺上，氣體進(jìn)口用于使得氣體流入由存儲容器形成的空間中；以及輸送存儲容器和測量容器的輸送單元，所述 測量容器包括在被置于凈化臺上的情況下與氣體進(jìn)口連通的氣體通道；和 測量經(jīng)過氣體通道從氣體進(jìn)口流入的氣體的流量的流量測量單元。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2的測量容器，還包括存儲由流量測量單元測得 的氣體流量的存儲單元。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3的測量容器，還包括用于將存儲單元存儲的氣 體流量傳輸?shù)酵獠吭O(shè)備的傳送單元。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2的測量容器，還包括:顯示由流量測量單元測得的氣體流量的顯示單元； 捕捉顯示單元的流量顯示圖像并且將流量顯示圖像轉(zhuǎn)換成圖像數(shù)據(jù)的圖像轉(zhuǎn)換單元；以及將由圖像轉(zhuǎn)換單元轉(zhuǎn)換的圖像數(shù)據(jù)傳輸?shù)酵獠吭O(shè)備的傳送單元。
全文摘要
儲料器(1)包括存儲FOUP(20)、多個凈化單元(50)、測量FOUP(30)和堆垛機(jī)(60)。存儲FOUP(20)在其中存儲半導(dǎo)體晶片。測量FOUP(30)在其中具有流量計(jì)。凈化單元(50)包括具有用于放置存儲FOUP(20)的多個凈化臺(54)的凈化擱架(51)，并且氮?dú)獗还┙o到放置在凈化臺(54)上的存儲FOUP(20)中。堆垛機(jī)(60)將存儲FOUP(20)輸送到凈化臺(54)上，并且在多個凈化臺(54)之間輸送測量FOUP(30)。
文檔編號H01L21/67GK101207059SQ20071016010
公開日2008年6月25日 申請日期2007年12月24日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月22日
發(fā)明者前瀧進(jìn), 村田正直 申請人:日本阿西斯特技術(shù)株式會社