專利名稱：靜電保持裝置以及使用其的靜電鉗的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及靜電保持裝置以及使用此裝置的靜電鉗(electrostatic pincette),即使取下電源也可進行長時間操作(handling )。
背景技術：
先前以來，作為保持對象物的保持裝置， 一般是使用真空夾頭(vacuum chuck),但在保持薄板時存在其周邊彎曲的缺點。相對于此，利用靜電夾頭 等靜電保持裝置，則可通過電極面整體的靜電力而保持對象物，因此，即 使操作(保持)薄板時，周邊也不會彎曲(例如，參照專利文獻l、 2)。
作為這樣的靜電保持裝置，已知有例如圖6及圖7所示的靜電夾頭。 該靜電夾頭如圖6所示，其包括基板201以及安裝于該基板上的保持部110。 保持部110是由具有電極元件組202a與電極元件組202b的電極、以及覆蓋 該電極的絕緣層203而形成。在該絕緣層203的背面203b固定有基板201。 另外，這些電極元件組202a、 202b分別經(jīng)由開關121a、 121b電連接于直流 高壓電源122。
圖6所示的保持部110如圖7所示，其包括使電荷蓄積的電容器112 以及電阻111。
根據(jù)上述靜電保持裝置，通過開關121a、 121b的接通(ON)操作，將+V 伏特的高電壓施加于電極元件組202a，并將-V伏特的高電壓施加于電極元 件組202b。由此，在開關121a、 121b接通時，絕緣層203的表面203a成 為保持面，并且與操作對象物205之間感應產(chǎn)生靜電吸引力，使操作對象 物205因靜電吸引力而被吸引并保持在保持面203a上。
在此期間，保持部110在電容器112中保持有作為靜電吸引力的原因 的電位，另外，電阻lll(電極元件組202a與電極元件組202b之間的絕緣層 203)中產(chǎn)生固定的漏電流。電阻111 (絕緣層203)的體積電阻率一般為10)4Qm 以上，當使用具有200mmx200mm表面尺寸的電極時，該固定的漏電流為
約lnA以下，4及小。
其次，在開關121a、 121b斷開(OFF)時，直流高壓電源122的電壓凈皮 阻斷。電極元件組202a與電極元件組202b之間的漏電流繼續(xù)產(chǎn)生。該漏電 流雖是lnA左右的極小電流，但也會使得電極元件組202a以及電極元件組 202b的電位逐漸下降，從而使靜電吸引力下降。在此期間，示意電路圖的 保持部110中，電容性分量112的電位由于經(jīng)由高電阻分量111逐漸泄漏的 電荷的消耗而下降。
由此，在開關121a、 121b斷開時，保持部110的靜電吸引力下降，而 使操作對象物205的保持力下降，不久后使操作對象物205脫離。另外， 如果要快速地釋放操作對象物205時，進行未圖示的接地操作。
根據(jù)這樣的靜電夾頭，通過開關121a、 121b的接通(ON)、斷開(OFF) 操作，在接通時輸出固定的高電壓(例如，對電極元件組202a輸出+V伏特， 對電極元件組202b輸出-V伏特)，在斷開時，這些電壓被阻斷。由此，在 開關121a、 121b接通時，絕緣層203的表面203a成為保持面，并且與操作 對象物205之間感應產(chǎn)生靜電吸引力，使操作對象物205因靜電吸引力而 被吸引并保持于保持面203a上。在開關121a、 121b斷開時，這些靜電吸引 力被解除而可釋放操作對象物205。由此，可將導體、半導體或高電阻體等 操作對象物通過靜電吸引力而吸引且保持(承載，load),并且在釋放時可將 操作對象物脫附(卸載，unload)。日本專利特開2004-335811號公報(圖11)日本專利特開2003-282671號公報(圖1、 2)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的課題
然而，施加于這樣的靜電夾頭的電極元件組(電極)的電壓，必須約為例 如± 1KV以上的高電壓的直流電壓。因此，使用低電壓的干電池或商用交 流電源作為直流高壓電源時，必須結(jié)合使用升壓電路與電壓穩(wěn)定化電路。
然而，這樣的升壓電路及電壓穩(wěn)定化電路一般消耗功率較大，所以， 使用電池作為低電壓電源時，實際上難以進行例如超過1小時的長時間操 作。因此，為在長時間內(nèi)確保如± 1KV這樣的直流高電壓，必須自外部一 直供給大容量電源。
在近年來的半導體芯片(chip)的制造步驟中，正逐漸引入厚度為
50|im~150|am左右的薄棵晶圓(thinbare wafer)。由于這樣的薄棵晶圓易破， 故難以進行單體操作。另外，薄棵晶圓易發(fā)生翹曲，必須以該翹曲修正后 的狀態(tài)轉(zhuǎn)至下一制造步驟。因此提出如下方案，即，例如將薄晶片的背面 通過雙面膠貼在支持基板上，從而增強機械強度，在抑制或者修正了翹曲 的狀態(tài)下，使薄棵晶圓轉(zhuǎn)至下一制造步驟。這樣地貼附在支持基板上的晶 片，經(jīng)由UV照射步驟等而從支持基板取下。
這里，在這樣的半導體芯片的制造步驟中，作為保持面而引入具有平 滑面的靜電夾頭，則具有以下優(yōu)點通過電源的接通斷開，可簡易保持及 拆卸晶片，并且可同時抑制、修正翹曲。然而，現(xiàn)有的靜電夾頭中，如上 所述，必須一直確保高電壓的直流高壓電源，因此，對于在需要靈活操作 的半導體芯片的制造步驟中引入靜電夾頭而言，預計較為困難。
有鑒于此，本發(fā)明的目的在于提供一種靜電保持裝置，其具有即使切 斷直流高壓電源也可進行長時間操作的簡易構(gòu)造。 解決課題的手段
為達成上述目的，本發(fā)明的一實施例的靜電保持裝置具備具有電極的 保持部和對電極施加電壓的直流高壓電源，并通過保持部的靜電力將保持 對象物保持，該靜電保持裝置包括電極電位下降緩和裝置，其緩和施加 于上述電極的電位的下降。
在一實施例中，電極包括多個電極元件組，并且電極電位下降緩和裝 置緩和對電才及元件組所施加的電位的下降。
根據(jù)上述構(gòu)成，由于包括電極電位下降緩和裝置，其緩和施加于電極 元件組的電位的下降，因此，即使切斷直流高壓電源，也可進行長時間操 作。
這里，作為如此的電極電位下降緩和裝置，例如示出可蓄積高壓電荷 的電容器作為 一例，而電極元件組例如包括第 一電極元件組以及第二電極 元件組。
另外，當解除操作對象物的靜電保持時，通過使第一電極元件組與第 二電極元件組短^各，而可快速釋放操作對象物。因此，優(yōu)選將短路電3各配 置在電容器與第一電極元件組及第二電極元件組之間。
另外，以保持部的保持面為表面時，通過將電極電位下降緩和裝置平
面配置在保持部的背面，而成為使配置有電極電位下降緩和裝置的部位作 為保持部的增強材料而發(fā)揮作用的結(jié)構(gòu)，靜電保持裝置通過配置有電極電 位下降緩和裝置的部位而被增強，進而整體的外觀形狀也可以構(gòu)成為薄型 結(jié)構(gòu)。由此，本發(fā)明的靜電保持裝置可作為例如使半導體晶片等的薄膜材 料以不發(fā)生翹曲、或者翹曲修正后的狀態(tài)保持的保持裝置而利用。
另外，如果為以下結(jié)構(gòu)當判斷電容器中蓄存電荷的電位下降至低于 規(guī)定值時，使直流高壓電源運轉(zhuǎn)并對電容器充電；當判斷電容器中蓄存電 荷的電位達到規(guī)定值時，使直流高壓電源停止，則可延長連續(xù)吸附保持的 時間。
另外，此時，可將直流高壓電源內(nèi)置于靜電保持裝置中，并且優(yōu)選以 下結(jié)構(gòu)，即，當判斷為電容器中蓄存電荷的電位達到規(guī)定值時，使直流高 壓電源停止，進而將直流高壓電源與電容器電性切斷。由此，可使靜電保 持裝置能進一步地抑制消耗功率，故可延長使用電池時的電池壽命，而且， 在將直流高壓電源內(nèi)置于靜電保持裝置時，也可長時間操作。
以上所揭示的靜電保持裝置，通過將保持部作為鉗吸引部，從而可作 為靜電鉗而利用。
發(fā)明效果
根據(jù)本發(fā)明，可提供一種靜電保持裝置，即使切斷直流高壓電源，也 可長時間操作。


圖1為通過以本發(fā)明的靜電保持裝置的保持部作為電結(jié)構(gòu)元件來示意
表現(xiàn)的電性示意電路進行說明的圖。
圖2為用于說明本發(fā)明的靜電保持裝置的結(jié)構(gòu)的優(yōu)選實施例的圖。 圖3為用于說明本發(fā)明的靜電保持裝置的結(jié)構(gòu)的優(yōu)選實施例的圖。 圖4為用于說明圖3的直流高壓電源的結(jié)構(gòu)的方塊圖。 圖5(A)及圖5(B)為用于說明本發(fā)明的靜電保持裝置的結(jié)構(gòu)的優(yōu)選實施
例的圖。
圖6為用于說明以往的靜電保持裝置的結(jié)構(gòu)的圖。 圖7為通過以圖6的靜電保持裝置的保持部作為電結(jié)構(gòu)元件來示意表 現(xiàn)的電性示意電路進行說明的圖。
標號說明
100:電極電位下降緩和裝置(緩和裝置)
101a、 101b:開關
102a、 102b:電容器
103:開關
104:電阻
110:保持部
111:(作為保持部的一部分電結(jié)構(gòu)元件的)高電阻分量 112:(作為保持部的一部分電結(jié)構(gòu)元件的)電容性分量 121a、 121b:開關(或充電接點) 122:直流高壓電源 123:電池
124a、 124b:開關(或接點)
125:升壓電^各
126:電壓穩(wěn)定化電^各
200:增強基板
201:基板
202a 、 202b:電極元件組(電極組)
203:絕纟彖層
2(Ba:表面(保持面)
203b:背面
205:操作對象物(保持對象物)
300:增強基板
400:手柄部
401:聯(lián)動開關
410:纟奉狀部件
800:靜電保持裝置
具體實施例方式
以下，對本發(fā)明的靜電保持裝置的最佳方式，基于實施其的實施例, 參照附圖進行詳細說明。
參照圖1,通過電性示意電路表示本發(fā)明的靜電保持裝置的一實施例。
該靜電保持裝置如圖2及圖3所示，其包括基板201以及設置于該基 板201上的保持部110。該保持部110包括電阻111以及并聯(lián)連接于該電阻 的電容器112。另外，該保持部110具有電極，而該電極例如具有第一電極 元件組202a與第二電極元件組202b。
在圖l中，在直流高壓電源122與保持部IIO之間，經(jīng)由開關121a、 121b,配置有本發(fā)明的電極電位下降緩和裝置(以下，僅稱為緩和裝置100)。
該緩和裝置100包括 一對電容器102a、 102b;在這些電容器102a、 102b之間接地的地線105;開關103;在該開關103上，與保持部110串聯(lián) 配置的電阻104。還有，電容器112包括與電容器具有同樣功能的電子零件， 而且電阻111具有高電阻分量。
這里，電容器102a、 102b用于補充電阻111所消耗的電流，并維持電 容器112的電位。
另外，地線105是用于將一對電容器102a、 102b間的電位設為零，使 供給至第一及第二電極元件組202a、 202b的電荷極性互不相同，從而分別 供給正極和負極的電荷。
另夕卜，開關103用于快速解除保持部110的靜電吸引力而使電容器112 短路，電阻104用于抑制電容器112通過開關103的連接而短路時，產(chǎn)生 瞬間的大電 流。
另外，作為電荷蓄積源的一對電容器102a、 102b與作為短路元件的開 關103之間，插入有開關101a、開關101b。該開關10a、 101b用于在開關 103短^^時，將開關101a、 101b分別打開，以抑制對作為電荷蓄積源的電 容器102a、 102b所蓄積的電荷的放電。
直流高壓電源122的正極(+Vl)側(cè)經(jīng)由開關121a連接電容器102a及開 關101a，直流高壓電源122的負極(-Vl)側(cè)經(jīng)由開關121b連接電容器102b 以及開關101b。另外，開關101a的另一端連接于保持部110的電極202a 與電阻104;開關101b的另一端連接保持部110的另一端和開關103，該 開關103的另一端連接電阻104的另一端。
其次，對以上述方式所構(gòu)成的靜電保持裝置的作用進行說明。
(1)充電
從將所有開關121a、 121b、 101a、 101b以及103打開的狀態(tài)，通過開 關121a、 121b的接通(ON)操作，將+V伏特的高電壓施加于電容器102a， 而-V伏特的高電壓施加于電容器102b，并使對應于電容器102a、 102b容 量的電荷蓄積，以完成充電。在充電完成后，關閉開關121a、 121b或者取 下電源122，從而切斷電源122與緩和電路100的連接。
(2)保持與釋放操作及其重復操作
通過開關101a、 101b的接通(ON)操作，將+V伏特的高電壓施加于第 一電極元件組202a,而-V伏特的高電壓施加于第二電極元件組202b,且操 作對象物205被靜電吸引。絕緣層203上流動有微小的電流，但使用具有 200mmx200mm平面尺寸的電極時，此電流為lnA左右的極小電流，其漏 電流/人電容器102a、 102b補充。
在此期間，使用示意電路圖進行說明，在電容性分量112中保持有感 應產(chǎn)生靜電吸引力的電位。另外，高電阻分量111(第一電極元件組202a與 第二電極元件組202b之間的絕緣層203)中產(chǎn)生固定的漏電流，但該漏電流 /人電容器102a、 102b補充。
由此，開關101a、 101b接通時，絕緣層203的表面203a成為保持面， 并且與操作對象物205之間感應產(chǎn)生靜電吸引力，使操作對象物205因靜 電吸引力而被吸《1并保持于保持面203a上。
其次，通過將開關101a、 101b斷開(OFF),而阻斷電容器102a、 102b 的電壓。第 一 電極元件組202a與第二電極元件組202b之間，經(jīng)由絕緣層 203繼續(xù)產(chǎn)生漏電流。該漏電流為lnA左右的;f及小電流，^旦會〗吏電容器 112(或者第一電才及元件組202a及第二電才及元件組202b)的電位下降，由此降 低對操作對象物205的靜電吸引力而進行釋放操作。
此時如果關閉開關103,則電容器112的電荷會快速下降，并且快速釋 放操作對象物205。在此，如果4吏電阻104(例如，1KQ左右的電阻)插入其 間，則可將短路時的瞬間電流抑制為固定值以下。
另外，在使第 一電極元件組202a與第二電極元件組202b的總面積相
等，且分別施加極性相反而振幅相同的電壓時，使開關103短路，從而可 將第一及第二電極元件組202a、 202b的電位瞬間清除。 [保持—釋放操作的重復]
其次，斷開開關103，并使開關lOla、 101b接通，則進行操作對象物 205的保持操作。另外，斷開開關101a、 101b，并接通開關103，則進行釋 放操作》
這里，充電于電容器102a、 102b中的電荷，由以下幾方面而^C消^^ 即(l)對電容器112的充電；(2)開關103短路而引起電容性分量112的放電； 以及(3)基于高電阻分量111的漏電。因此，如果使用電荷容量大于電容性 分量112的大容量電容器102a、 102b,則可重復進行保持-釋放操作。
使用具有200mmx200mm平面尺寸的電極，且使用具有0.1|iF左右容 量的電容器以作為電容器102a、 102b時，可將上述保持-釋放操作重復數(shù)千 次。
當保持力下降(或電容器102a、 102b的電位下降)時，進行充電操作即 可。還有，該充電操作也可在保持操作對象物205的狀態(tài)下進行。該充電 時間數(shù)秒即足夠。
如上所述，由于具備使施加于電極組的電位下降緩和的電極電位下降 緩和裝置，所以，即使切斷直流高壓電源，也可進行長時間操作。 實施例1
其次，通過實施例1，參照圖2說明具體的應用例。
該實施例1的靜電保持裝置是可與直流高壓電源122切斷的薄型靜電 保持裝置的一例。緩和裝置100為平面薄型的結(jié)構(gòu)，且其被組裝入固定于 保持部110的背面203b上的基板201的內(nèi)部，進而構(gòu)成增強基板200。變 更圖1的開關121a、 121b而設置接點(未圖示)，構(gòu)成為經(jīng)由這些接點可與 外部直流高壓電源122連接、切斷。
根據(jù)以上所構(gòu)成的靜電保持裝置，其形成為與直流高壓電源122切斷 的所謂的無電線型(cordlesstype)。另外，裝置整體為薄型，可通過增強基板 200而維持保持部的機械強度及平滑性。由此，其可作為以薄晶片的翹曲修 正后的狀態(tài)投入至下一制造工序的裝置而利用，所以，通過將其并入半導 體制造工序，而可發(fā)揮其優(yōu)勢性。
此時，保持及釋放操作可瞬間進行，可進行長時間連續(xù)吸附、或者重 復進行吸附操作-釋放操作。在需要充電時，進行數(shù)秒鐘的充電即可。
實施例2
其次，通過實施例2,并參照圖3及圖4說明具體的應用例。
該實施例2的靜電保持裝置是內(nèi)置有直流高壓電源122的薄型靜電保 持裝置的一例。緩和裝置100及直流高壓電源122構(gòu)成為平面薄型，且被 組裝入保持部110背面的基板201的內(nèi)部，進而構(gòu)成增強基板300。
另外，該直流高壓電源122如圖4所示，其包括電池123;經(jīng)由開關 124a、 124b連接于該電池123的升壓電^各125;以及連接于升壓電路125 的電壓穩(wěn)定化電^各126。
由此，連接有開關124a、 124b時，構(gòu)成為電池123連接于升壓電路125、 電壓穩(wěn)定化電路126，以使直流高壓電源122動作，并自直流高壓電源122 輸出+V、 -V伏特的高壓直流。
由此，圖3及圖4的靜電保持裝置中，直流高壓電源122的動力源采 用電池，以實現(xiàn)無電線型的結(jié)構(gòu)。而升壓電路125及電壓穩(wěn)定化電路126 在充電時間以外，可阻斷開關124a、 124b以及開關121a、 121b，所以，可 使功率消耗最小。
還有，此時的充電操作，也可在開關101a、 101b斷開狀態(tài)或者接通狀 態(tài)的任一狀態(tài)下進行。
由此，緩和裝置100的電蓄積量下降至規(guī)定值以下時，在使開關124a、 124b接通，并使直流高壓電源122驅(qū)動的狀態(tài)下，開關121a、 121b為接通， 電容器10h、 10a被充電。另外，電容器102a、 102b在充滿電時(在判斷 為蓄積在電容器102a、 102b的電位達到了規(guī)定值時)， 一并切斷開關121a、 Ulb以及開關1Ma、 124b,并使直流高壓電源122停止，進而也切斷直流 高壓電源122與電容器102a、 102b的連接。
如此，如果構(gòu)成為僅在緩和裝置100的電蓄積量下降至規(guī)定值以下時 進4亍充電操作，則^f吏用三個單四電池作為直流高壓電源122的動力源時， 也可實現(xiàn)20小時左右的連續(xù)吸附。
還有，對蓄積于電容器102a、 102b中的電荷的電位是否達到規(guī)定值的 判斷，可通過將電位計配置在可直接或間接檢測電容器102a、 102b電位的 位置而檢測出。另外，作為替代方法，也可檢測保持面的電位。即使一直 對保持面的電位進行檢測，由于被消耗的電流極小，故不存在實用上的障 礙。
另外，裝置整體為薄型，利用增強基板300可維持保持部的機械強度 及平滑性，故通過將其組裝入半導體制造工序，而可以薄晶片翹曲修正后
的狀態(tài)導入至下一制造工序。
此時保持及釋放操作可瞬間進行，可進行長時間連續(xù)吸附、或者重復 進行吸附操作-釋放操作。
實施例3
其次，通過實施例3，參照圖5說明具體的應用例。
該實施例的靜電保持裝置是將保持部110作為鉗吸引部，由此將靜電 保持裝置作為靜電鉗而利用的例子。
該圖中，保持部110被固定于基板201上，該基板201經(jīng)由棒狀部件 410而固定于手柄部400。該手柄部400內(nèi)置有緩和裝置100,并設置有未 圖示的用以連接直流高壓電源122的接點，緩和裝置100經(jīng)過棒狀部件410 內(nèi)部而電連接保持部110。另外，手柄部400上配置有操作按鈕401，該操 作按鈕401與各開關聯(lián)動。
由此，對操作按鈕401進行接通操作，以使開關103斷開，并使開關 101a、 101b接通，使保持部110上感應產(chǎn)生有靜電吸引力。另外，對操作 按鈕401進行斷開操作，以使開關101a、 101b斷開，并使開關103接通， 使靜電吸附瞬間解除。
使用者在靜電鉗吸附力減弱時，再次將未圖示的接點連接于直流高壓 電源122,并對內(nèi)置的緩和裝置IOO進行充電，可使靜電吸引力恢復。作為 無電線型靜電鉗，可期待廣泛的應用。
另外，圖5的實施例中，沒有內(nèi)置直流高壓電源122，可以將該直流高 壓電源122內(nèi)置于手柄部400中。
以上，通過附圖以及實施例，對本發(fā)明的實施方式進行了詳細說明， 但具體的構(gòu)成并不限定于上述實施方式，未脫離本發(fā)明要旨范圍的設計變 更等也包含于本發(fā)明。
例如，以上說明中，電容器102a、 102b與保持部110之間設置有短路 電路(開關103),通過使第 一 電極元件組及第二電極元件組根據(jù)需要而短路， 而可消除靜電吸引力，所以，短路電路(開關103)的位置，也可獨立于電容 器102a、 102b而設置。
另外，本發(fā)明中實質(zhì)上無需地線105，此時，電容器102a、 102b可使 用未分割成兩個的一個電容器，且其電容量大于保持部IIO的電容量。
另外，以上是對接觸型靜電保持裝置進行說明，本發(fā)明也可應用于非 接觸型(懸浮型)靜電保持裝置。 產(chǎn)業(yè)上的可利用性
根據(jù)本發(fā)明的靜電保持裝置，可提出一種靜電保持裝置，即使切斷直 流高壓電源，也可長時間地維持長時間吸附性能，因此，作為需要直流高 壓電源的靜電保持裝置，但無須一直連接有直流高壓電源，故可實現(xiàn)裝置 的小型化。
由此，將其組入半導體晶片的制造步驟、半導體芯片等各種電子零件 的裝配步驟、封裝步驟等各種制造步驟中，可期待作為靈活的操作裝置、 運送裝置、靜電鉗的廣泛用途的開展。
權利要求
1.一種靜電保持裝置，包括具有電極的保持部和對該電極施加電壓的直流高壓電源，并通過所述保持部的靜電力而將保持對象物保持，該靜電保持裝置包括電極電位下降緩和裝置，其緩和施加于所述電極的電位的下降。
2. 靜電保持裝置，其中，所述電極包括第一電極元件組和第二電極元件組。
3. 如權利要求1所述的靜電保持裝置，其中，所述電極電位下降緩和 裝置包括根據(jù)需要使第一電極元件組與第二電極元件組的電路短路的電 路，該短路電路在解除操作對象物的靜電保持時被短路。
4. 如權利要求1至3中任一項所述的靜電保持裝置，其中，在以所述 保持部的保持面為表面的情況下，通過將所述電極電位下降緩和裝置平面 地配置在所述保持部的背面，使配置有該電極電位下降緩和裝置的部位作 為所述保持部的增強材料而發(fā)揮作用。
5. 如權利要求1所述的靜電保持裝置，其中，所述電極電位下降緩和 裝置包括電容器，當判斷所述電容器中蓄存電荷的電位下降至低于規(guī)定值時，使所述直 流高壓電源運轉(zhuǎn)并對該電容器充電；當判斷該電容器中蓄存電荷的電位達到規(guī)定值時，使所述直流高壓電 源停止。
6. 如權利要求1所述的靜電保持裝置，其中，所述電極電位下降緩和 裝置包括電容器；所述直流高壓電源內(nèi)置于靜電保持裝置中；當判斷所述電容器中蓄存電荷的電位下降至低于規(guī)定值時，使所述直 流高壓電源運轉(zhuǎn)并對該電容器充電；當判斷所述電容器中蓄存電荷的電位達到規(guī)定值時，使所述直流高壓 電源停止，同時電切斷該直流高壓電源與電容器。
7. 如權利要求1所述的靜電保持裝置，其中，所述電極是相互施加有 相反極性電壓的第 一 電極元件組以及第二電極元件組，所述電極電位下降 緩和裝置包括一對電容器，所述一對電容器被與所述直流高壓電源并聯(lián)而排列在所述電極組之間；該一對電容器與所述直流高壓電源構(gòu)成為可分別電切斷及連接。
8. —種靜電鉗，使用權利要求1至7中任一項所述的靜電保持裝置， 將所述保持部作為鉗吸引部。
全文摘要
提供一種靜電保持裝置，即使切斷直流高壓電源，也可進行長時間操作。該靜電保持裝置將多個電極組(202a、202b)作為保持部(110)，并從直流高壓電源(122)向電極組(202a、202b)施加規(guī)定電壓，且通過靜電力而將保持對象物(205)保持。包括電極電位下降緩和裝置(100)，當通過開關(121a、121b)而與直流高壓電源(122)切斷時，緩和施加至電極組(202a、202b)的電位的下降。該電極電位下降緩和裝置(100)例如包括電容器(102a、102b)。
文檔編號H01L21/67GK101180718SQ20068001738
公開日2008年5月14日 申請日期2006年5月17日 優(yōu)先權日2005年5月20日
發(fā)明者傅寶萊 申請人:筑波精工株式會社